KR20080112964A - 프로브 카드의 등록 방법 및 이 프로그램을 기록한프로그램 기록 매체 - Google Patents

프로브 카드의 등록 방법 및 이 프로그램을 기록한프로그램 기록 매체 Download PDF

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Abstract

프로브의 침 높이를 입력할 필요가 없고, 또한 프로브 카드를 손상시키는 일없이 확실히 또한 안전하게 프로브 카드를 등록할 수 있는 프로브 카드의 등록 방법을 제공한다.
본 발명의 프로브 카드의 등록 방법은, 복수의 프로브(12A)를 가지는 프로브 카드(12)를 이용하여 탑재대(11) 상의 웨이퍼를 검사하는데 앞서, 프로브(12A)의 침 위치를 프로브 장치(10)에 등록할 때에, 탑재대(11)의 상방에 배치된 제 1 CCD 카메라(13B)를 이용하여 탑재대(11)에 마련된 하중 센서(16)의 높이를 검출하는 공정과, 탑재대(11)를 거쳐서 하중 센서(16)를 이동시켜서 하중 센서(16)와 프로브(12A)를 접촉시키는 공정과, 하중 센서(16)와 프로브(12A)의 접촉 개시시에 하중 센서(16)를 정지시키는 공정, 하중 센서(16)의 높이와 상기 정지 높이에 근거하여 프로브(12A)의 침 높이를 구하는 공정을 구비하고 있다.

Description

프로브 카드의 등록 방법 및 이 프로그램을 기록한 프로그램 기록 매체{METHOD FOR REGISTERING PROBE CARD AND A STORAGE MEDIUM STORING PROGRAM THEREOF}
본 발명은, 피검사체의 전기적 특성 검사를 실행하는 프로브 장치에, 그 검사에 이용되는 프로브 카드를 등록하는 방법에 관한 것으로 보다 상세하게는, 프로브 카드의 등록 작업을 실행할 때에 프로브 카드의 손상을 방지 할 수 있는 프로브 카드의 등록 방법 및 이 프로그램을 기록한 프로그램 기록 매체에 관한 것이다.
프로브 장치는, 일반적으로, 반도체 웨이퍼 등의 피검사체를 탑재하는 탑재대와, 탑재대의 상방에 배치된 프로브 카드와, 프로브 카드의 프로브와 탑재대 상의 피검사체의 전극 패드의 얼라이먼트를 실행하는 얼라이먼트 기구를 구비하고, 얼라이먼트 기구를 거쳐서 피검사체와 프로브의 얼라이먼트를 실행한 후, 피검사체의 전기적 특성 검사를 실행하도록 구성되어 있다. 얼라이먼트 기구는, 예컨대, 얼라이먼트 브리지에 부착된 제 1 카메라와, 탑재대에 부착된 제 2 카메라를 가지고, 제 1 카메라에 의해 피검사체의 전극 패드 등을 검출하고, 제 2 카메라로 프로 브를 검출하는 것에 의해 피검사체와 프로브 카드의 얼라이먼트를 실행하고 있다.
그리고, 신규 프로브 카드를 사용할 경우에는, 그 프로브 카드를 프로브 장치에 등록할 필요가 있다. 프로브 카드를 신규로 등록할 때에, 프로브 카드를 프로브 장치에 장착했을 때의 프로브의 침 높이(원점으로부터 프로브 침까지의 거리)를 입력하고, 그 입력된 프로브의 바로 아래에 제 2 카메라가 탑재대를 거쳐서 이동하여 프로브를 찾아내고, 제 2 카메라는 그 위치로부터 상승하여 프로브의 침 높이를 검출하고, 그 상승 거리에 근거하여 침 높이를 산출하고 있다.
프로브의 침 높이를 입력할 때에는, 등록을 개시할 때에 탑재대의 초기 위치를 정하기 위해서, 프로브 카드가 프로브 장치에 장착되었을 때의 프로브의 침 높이를 프로브 카드의 설계값에 근거하여 예측하여 입력할 필요가 있다. 프로브의 침 높이를 입력한 후, 예컨대, 도6의 (a)에 도시하는 바와 같이 입력값 따른 초기위치까지 탑재대(1)가 상승해서 정지한다. 그 후, 오퍼레이터가 MMI(Man Machine Interface)를 거쳐서 탑재대를 상하 좌우로 이동시키고, 프로브카드(3)의 프로브(3A)의 침끝이, 제 2의 카메라(2)의 화면 중앙에 오는 동시에 초점이 맞도록 한다. 이 때 프로브 (3A)의 X, Y, Z좌표가 프로브의 등록 좌표로서 프로브 장치에 등록된다. 이 때, 동 도면의 (a)에 일점쇄선에서 도시하는 바와 같이 탑재대1가 프로브 카드2에 접촉하지 않도록 미리 탑재대(1)에 동작 제한을 마련하여, 탑재대의 과잉상승에 의한 프로브 카드의 손상을 미연에 방지하고 있다.
그러나, 프로브(3A)의 침 높이의 입력 미스가 있으면, 제 2 카메라에 의해 소정의 프로브를 찾아내는 것이 어렵게 되고, 혹은 탑재대(1)의 초기위치가 본래의 위치보다 높게 설정되어서, 탑재대(1)가 초기위치로부터 동작 제한내에서 상승했다고 해도 탑재대(1)가 도 6의 (b)에 도시하는 바와 같이 프로브 카드(3)의 프로브(3A)와 접촉해버려, 최악의 경우에는 프로브 카드(3)를 손상시킬 우려가 있었다.
본 발명은, 상기 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 프로브의 침 높이를 입력할 필요가 없고, 또한 프로브 카드를 손상시키는 일없이 확실 또한 안전하게 프로브 카드를 등록 할 수 있는 프로브 카드의 등록 방법 및 이 프로그램을 기록한 프로그램 기록 매체를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.
본 발명의 제 1 관점에 있어서의 프로브 카드의 등록 방법은, 피검사체의 전기적 특성 검사를 실행하는 프로브 장치에, 그 검사에 이용되는 프로브 카드를 등록하는 방법으로써, 상기 피검사체를 탑재하는 탑재대의 상방에 배치된 제 1 촬상 수단을 이용하여 상기 탑재대에 마련된 하중 센서의 높이를 검출하는 제 1 공정과, 상기 탑재대를 거쳐서 상기 하중 센서를 이동시켜서 상기 하중 센서와 상기 프로브 카드의 프로브를 접촉시키는 제 2 공정과, 상기 하중 센서와 상기 프로브의 접촉 개시시에 상기 하중 센서를 정지시키는 제 3 공정, 상기 하중 센서의 높이와 상기 하중 센서의 정지 높이에 근거하여 상기 프로브의 침 높이를 구하는 제 4 공정을 구비한 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 프로브 카드의 등록 방법은 탑재대에 마련된 제 2 촬상 수단을 이용하여 상기 프로브 카드의 프로브의 침의 수평위치를 구하는 공정을 구비한 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 프로브 카드의 등록 방법은, 상기 제 1 공정에 앞서, 상기 하중 센서에 핀을 접촉시켜서 상기 하중 센서의 동작을 확인하는 공정을 구비한 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 프로브 카드의 등록 방법은, 상기 제 2 촬상 수단을 이용하여 상기 핀의 높이를 검출 하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 2 관점에 있어서의 프로그램 기록 매체는, 피검사체의 전기적 특성 검사를 실행하는 프로브 장치에, 그 검사에 이용되는 프로브 카드를 등록하는 방법의 프로그램을 기록한 프로그램 기록 매체로서, 상기 프로그램에 의해 컴퓨터를 구동시켜서, 상기 프로브 카드의 등록 방법을 실행시키는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면， 프로브의 침 높이를 입력할 필요가 없고, 또한 프로브 카드를 손상시키는 일없이 확실히 또한 안전하게 프로브 카드를 등록할 수 있는 프로브 카드의 등록 방법 및 이 프로그램을 기록한 프로그램 기록 매체를 제공할 수 있다.
이하, 도 1 내지 도 5에 도시하는 실시 형태에 근거하여 본 발명을 설명한다.
우선, 본 실시형태의 프로브 카드의 등록 방법이 적용되는 프로브 장치에 대해서 도 1 내지 도 3을 참조하면서 설명한다.
이 프로브 장치(10)는, 예컨대 도1에 도시하는 바와 같이 피검사체인 웨이퍼(도시하지 않음)를 탑재하는 이동 가능한 탑재대(11)와, 이 탑재대(11)의 상방에 배치되는 프로브 카드(12)와, 이 프로브 카드(12)의 복수의 프로브(12A)와 탑재대(11) 상의 웨이퍼의 얼라이먼트를 실행하는 얼라이먼트 기구(13)와, 탑재대(11) 및 얼라이먼트 기구(13)를 포함하는 각종의 구성 기기를 제어하는 컴퓨터를 주체로 하는 제어장치(14)를 구비하고, 제어장치(14)의 제어 하에서 얼라이먼트 기구(13)가 구동하여, 탑재대(11) 상의 웨이퍼와 프로브 카드(12)의 복수의 프로브(12A)의 얼라이먼트를 실행한 후, 복수의 프로브(12A)와 웨이퍼를 전기적으로 접촉시켜서 웨이퍼의 전기적 특성 검사를 실행하도록 구성되어 있다. 프로브 카드(12)는, 이미 알려진 프로브 카드여도 미지의 프로브 카드여도 좋고, 도1의 일점쇄선으로 나타내는 위치 에 새롭게 장착된다.
탑재대(11)는, 제어장치(14)의 제어하에서 구동하는 구동 장치(15)를 거쳐서 X, Y, Z 및 θ방향으로 이동하도록 구성되어 있다. 이 탑재대(11)의 측쪽에는, 본 실시형태의 프로브 카드(12)의 등록에 사용되는 하중 센서(16)가 배치되고, 이 하중 센서(16)는, 후술과 같이 미지의 프로브 카드(12)가 프로브 장치(10)에 장착되 었을 때에, 프로브 카드(12)의 프로브(12A)의 침 높이를 검출할 때 등에 사용된다. 또한, 이 하중 센서(16)는, 얼라이먼트 기구(13)를 거쳐서 프로브(12A)와 접촉했을 때의 하중에 의해, 프로브(12A)의 침 높이를 검출하는 것이다. 프로브 카드(12)는, 카드 홀더(17)를 거쳐서 프로브실의 헤드 플레이트(18)에 부착되어 있다.
얼라이먼트 기구(13)는, 예컨대 프로브실내의 배면과 프로브 센터의 사이에서 수평 이동하는 얼라이먼트 브리지(13A)와, 얼라이먼트 브리지(13A)에 마련된 제 1 촬상 수단(예컨대, CCD 카메라)(13B)과, 탑재대(11)의 측쪽에 마련된 제 2 촬상 수단(예컨대, CCD 카메라)(13C)를 구비하고, 이미 등록되어 있는 프로브 카드(12)와 탑재대(11) 상의 웨이퍼의 얼라이먼트를 실행한다. 제 1 CCD 카메라(13A)는, 얼라이먼트 브리지(13B)를 거쳐서 프로브실의 배면으로부터 프로브 센터까지 진출하여 프로브 카드(12)와 탑재대(11)의 사이에 위치하고, 여기서 탑재대(11)가 X, Y방향으로 이동하는 사이에, 웨이퍼의 검사용 전극을 상방으로부터 검출하여 촬상하고, 그 화상처리부(13D)에서 화상처리하여 제어장치(14)로 화상신호를 송신한다. 제 2 CCD 카메라(13C)는, 얼라이먼트 브리지(13A)가 프로브실내의 배면으로 후퇴한 후, 프로브 카드(12)의 하방에서 탑재대(11)가 X, Y방향으로 이동하는 동안에, 프로브 카드(12)의 하방으로부터 복수의 프로브(12A)를 순차적으로 검출해서 촬상하고, 그 화상처리부(13E)에서 화상처리하여 제어장치(14)에 화상신호를 송신한다. 또한, 예컨대 얼라이먼트 브리지(13A)에는 스프링을 내장한 핀(19)이 부착되어, 핀(19)이 하중 센서(16)와 접촉하여 소정의 하중(예컨대, 30gf±10%)을 부여하는 것에 의해, 하중 센서(16)가 정상적으로 동작하는지 아닌지를 확인하게 되어있다.
탑재대(11)에 마련된 하중 센서(16)는, 도1에 도시하는 바와 같이 소정의 하중을 검출하는 하중 센서를 내장하는 원형형상의 센서부(16A)와, 센서부(16A)를 승강시키는 실린더 기구(16B)를 구비하고, 센서부(16A)가 예컨대 탑재대(11)의 탑재면보다 낮은 위치와 탑재면보다 4∼5mm 높은 위치의 사이에서 승강한다. 그리고, 센서부(16A)는, 탑재면보다 4∼5mm 높은 상승단에 있을 때에, 핀(19)의 선단이나 복수의 프로브(12A)의 선단을 검출한다. 이 하중 센서(16)는, 고감도(±50μm)의 터치 센서로서 구성되어 있다.
센서부(16A)는, 예컨대 도2에 도시하는 바와 같이 원형형상의 센서 플레이트(16A1)와, 센서 플레이트(16A1)의 하면중심부로부터 늘어뜨려지는 로드부(16A2)와, 로드부(16A2)의 하부가 관통하는 관통공이 상면에 형성되고 또한 센서 본체를 내장하는 원통형상의 몸체부(16A3)와, 몸체부(16A3)의 상면과 센서 플레이트(16A1)의 사이에 장착된 스프링(16A4)을 구비하고, 센서 플레이트(16A1)가 하중을 받으면 몸체부(16A3)의 상면에서 스프링(16A4)을 거쳐서 탄력적으로 하강하고, 소정의 하중(예컨대, 30gf±10%)에서 센서 본체가 반응하여, 하중 센서(16)가 작동하게 되어 있다.
실린더 기구(16B)는, 예컨대 도3에 도시하는 바와 같이 에어 실린더(16B1)와, 에어 실린더(16B1)에 공기 배관(16B2)을 거쳐서 접속된 전자밸브(16B3)와, 에어 실린더(16B1)와 전자밸브(16B3)의 사이에서 공기 배관(16B2)에 부착된 두개의 유량 제어 밸브(16B4)와, 에어 실린더(16B1)의 상하의 양쪽 단부 위치를 검출하는 상단 센서(16B5) 및 하단 센서(16B6)(도2참조)를 구비하고, 제어장치(14)의 제어하에서 전자밸브(16B3)가 에어 실린더(16B1)로의 압력공기의 급배 포트를 전환하여 센서부(16A)를 승강시킨다. 센서부(16A)가 상하의 양쪽 단부 위치에 도달하면, 각각의 위치에서 상단 센서(16B5), 하단 센서(16B6)가 작동하고, 제어장치(14)를 거쳐서 전자밸브(16B3)를 멈추도록 되어 있다.
제어장치(14)는, 도1에 도시하는 바와 같이 연산 처리부(14A) 및 기억부(14B)를 구비하고, 본 발명의 프로브 카드의 등록 방법을 실행할 때에, 연산 처리부(14A)에 있어서 프로브 장치(10)의 각 구성 기기와 여러 종류의 신호를 송수신하여, 여러가지 연산 처리를 실행하고, 그 연산 처리결과 등의 각종 데이터 정보를 기억부(14B)에서 기억한다. 기억부(14B)는 주기억부 및 보조 기억부로 이루어진다. 보조 기억부에는 본 발명의 프로브 카드 등록 방법의 프로그램을 포함한 복수의 프로그램이 저장되어 있다.
다음에, 본 발명의 프로브 카드의 등록 방법의 1실시 형태에 대해서 도4, 도5를 참조하면서 설명한다.
본 실시형태의 프로브 카드의 등록 방법은, 예컨대 프로브 장치(10)에 신규의 프로브 카드(12)를 장착할 때에 제어장치(14)의 기억부(14B)에 저장된 프로그램 에 근거하여 실시된다. 종래에는, 오퍼레이터가 신규인 프로브 카드(12)가 프로브 장치(10)에 장착됐을 때의 프로브(12A)의 침 높이를, 신규의 프로브 카드(12)의 설계값에 근거하여 입력하고 있었으나, 본 실시형태에서는 프로브 카드의 등록 방법이 제어장치(14)를 통하여 실행된다.
즉, 본 실시형태에서는, 우선, 도1에 도시하는 바와 같이 신규의 프로브 카드(12)가 카드 홀더(17)를 거쳐서 프로브 장치(10)의 헤드 플레이트(18)의 중앙개구부의 일점쇄선으로 나타내는 위치에 장착된다. 프로브 카드(12)가 장착된 후, 프로브 카드의 등록 방법이 제어장치(14)를 통하여 실행된다.
프로브 카드의 등록 방법을 실행할 경우에는, 예컨대 도4의 (a)에 도시하는 바와 같이 얼라이먼트 기구(13)의 얼라이먼트 브리지(13A)가 프로브 센터로 진출한다. 이와 병행하여 탑재대(11)가 이동하고, 제 2 CCD 카메라(13C)로 얼라이먼트 브리지(13A)에 부설된 핀(19)을 찾는다. 핀(19)의 위치는 미리 알고 있기 때문에, 제 2 CCD 카메라(13C)에 의해 간단히 찾아낼 수 있다. 핀(19)이 제 2 CCD 카메라(13C)의 시야에 들어오면, 탑재대(11)가 정지하고, 이 위치로부터 서서히 상승하여, 제 2 CCD 카메라(13C)가 핀(19)의 선단면에 초점을 맞추는 것에 의해 핀(19)의 선단을 검출한다. 제어장치(14)는, 이 때의 탑재대(11)의 높이를 인식하고, 이 높이를 기억부(14B)에 등록한다. 또한, 제1, 제 2 CCD 카메라(13B, 13C)의 초점거리는 미리 기억부(14B)에 등록되어 있기 때문에, 연산 처리부(14A)가 탑재대(11)의 높이와 제 2 CCD 카메라(13C)의 초점거리로부터 핀(19)의 침 높이를 계산하고, 그 결과를 그 때의 X, Y위치와 함께 기억부(14B)에 등록한다.
하중 센서(16)에서는, 제어장치(14)로부터의 신호에 근거하여 전자밸브(16B3)가 작동하여 실린더 기구(16B)를 구동시켜서, 센서부(16A)를 작동시킨다. 이에 의해, 센서부(16A)의 센서 플레이트(16A1)의 상면이 탑재대(11)의 탑재면보다 높은 위치, 즉 상단에 도달하면, 상단 센서(16B5)로부터의 신호에 근거하여 전자밸브(16B3)가 구동하여 압력공기의 공급을 멈추고, 센서 플레이트(16A1)를 상단위치에 고정한다. 이와 병행하여, 탑재대(11)가 이동하고, 그 동안 얼라이먼트 브리지(13A)의 제 1 CCD 카메라(13B)로 탑재대(11)에 부설된 하중 센서(16)를 찾는다. 하중 센서(16)가 제 1 CCD 카메라(13B)의 시야에 들어오면, 탑재대(11)가 정지하고, 이 위치에서 도4의 (b)에 도시하는 바와 같이 제 1 CCD 카메라(13B)가 하중 센서(16)의 센서부(16A)의 상면에 초점을 맞춰서 하중 센서(16)를 검출한다. 제어장치(14)는, 이 때의 탑재대(11)의 높이를 하중 센서(16)의 높이로서 인식하여, 이 높이를 그 때의 X, Y위치와 함께 기억부(14B)에 등록한다.
계속해서, 하중 센서(16)가 탑재대(11)에 의해 이동되고, 핀(19)의 바로 아래에 도달한 시점에서 정지하여, 이 위치에서 하중 센서(16)가 도4의 (c)에 도시하는 바와 같이 탑재대(11)에 의해 상승하여 핀(19)과 접촉하고, 하중 센서(16)에 소정의 하중이 작용한다. 이 때, 센서부(16A)가 스프링(16A4)의 탄력에 저항하여 몸체부(16A3)내에 가라앉아 센서 스위치가 작동하고, 제어장치(14)에 신호를 송신하여, 탑재대(11)를 정지시킨다. 이에 의해 하중 센서(16)가 정상적으로 기능하고 있는 것을 확인할 수 있다.
하중 센서(16)의 동작을 확인한 후, 도4의 (d)에 도시하는 바와 같이 하중 센서(16)가 탑재대(11)에 의해 이동하면, 제 1 CCD 카메라(13B)가 하중 센서(16)를 검출하고, 하중 센서(16)의 높이가 처음 검출할 때와 동일한 것을 확인한다. 이와 같이 하중 센서(16)가 정상적으로 기능하는 것을 확인한 후, 이 하중 센서(16)를 사용하여 신규인 프로브 카드(12)의 프로브(12A)의 침 높이를 검출한다.
하중 센서(16)를 이용하여 프로브(12A)의 침 높이를 검출하기 위해서는, 우선 제어장치(14)의 제어 하에서 얼라이먼트 브리지(16A)가 도4의 (d)에 나타내는 프로브 센터로부터 후퇴함과 함께, 도5의 (a)에 도시하는 바와 같이 탑재대(11)가 수평방향으로 이동하여 하중 센서(16)가 프로브 카드(12)의 바로 아래에 도달한다. 그런 후, 도5의 (a)에 화살표로 도시하는 바와 같이 하중 센서(16)가 탑재대(11)를 거쳐서 예컨대 20μm 씩 서서히 상승하면서, 하중 센서(16)에 의해 프로브(12A)의 침을 찾는다. 하중 센서(16)가 20μm 씩 서서히 상승하고, 도5의 (b)에 도시하는 바와 같이 프로브(12A)의 침에 접촉하기 시작하면, 하중 센서(16)가 프로브(12A)에 반응하고, 제어장치(14)에 검출 신호를 송신한다. 제어장치(14)는, 검출 신호에 근거하여 탑재대(11)를 정지시킨다. 제어장치(14)에서는 이 때의 탑재대(11)의 높이와 제 1 CCD 카메라(13B)로 검출했을 때의 하중 센서(16)의 높이에 근거하여 프로브(12A)의 침의 높이를 산출하고, 그 침 높이를 제어장치(14)의 기억부(14B)에 저장한다.
계속해서, 도5의 (c)에 도시하는 바와 같이 제 2 CCD 카메라(13C)가 탑재 대(11)를 거쳐서 프로브 카드(12)의 바로 아래까지 자동적으로 이동해서 정지한다. 그 후, 오퍼레이터가 MMI(14C) 을 거쳐서, 탑재대(l1)을 수평방향으로 이동시키고, 등록을 대상의 프로브 (12A)(예컨대, 프로브카드(12)의 최외측 모서리의 프로브)가 제 2 CCD 카메라(13C)의 화면중앙에 오도록 위치조정을 실행한다. 이 때, 초점은 이미 맞고 있기 때문에, 높이 조정을 하지 않고 간단하게 프로브(12A)의 선단을 화면 중심으로 맞출 수 있다. 이 때의 프로브(12A)의 X, Y좌표값을 제어장치(14)의 기억부(14B)에 저장하는 것에 의해, 프로브 카드(12)의 등록을 종료한다.
가령, 프로브(12A)의 침이 제 2 CCD 카메라(13C)에 의해 검출하기 어려운 것이더라도, 제어장치(14)에서는 미리 하중 센서(16)에 의해 정확하게 프로브(12A)의 침 높이를 인식하고 있기 때문에, 그 후, 제 2 CCD 카메라(13C)에 의해 고정밀도로 프로브(12A)의 침 위치(수평방향의 위치 및 높이)를 검출 할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이 본 실시형태에 의하면， 프로브 카드(12)를 프로브 장치(10)에 등록할 때에, 탑재대(11)의 상방에 배치된 제 1 CCD 카메라(13B)를 이용하여 탑재대(11)에 마련된 하중 센서(16)의 높이를 검출하는 공정과, 탑재대(11)에 의해 하중 센서(16)를 이동시켜서 하중 센서(16)와 프로브(12A)를 접촉시키는 공정과, 하중 센서(16)와 프로브(12A)의 접촉 개시시에 하중 센서(16)를 정지시키는 공정, 하중 센서(16)의 높이와 상기 정지 높이에 근거하여 프로브(12A)의 침 높이를 구하는 공정을 구비하고 있어, 프로브(12A)의 침 높이를 하중 센서(16)에 의해 직접 검출할 수 있기 때문에, 종래와 같이 프로브 카드(12)의 설계값에 근거하는 데이터 입력을 하지 않아도 되기 때문에, 침 높이의 입력 미스에 의한 프로브 카드(12)의 손상을 확실히 방지 할 수 있다. 또한, 가령 프로브 카드(12)가 전혀 미지인 것으로 프로브 카드(12)의 설계 데이터가 없을 경우라도, 본 실시형태에 의하면 프로브 카드(12)를 손상하는 일없이, 프로브(12A)의 침 높이를 확실에 검출할 수 있다.
또한, 본 실시형태에 의하면， 동일 품종 웨이퍼를 검사하는 프로브 카드(12)이더라도 제조업자에 의해 침 높이에 편차가 있는 경우나, 본래의 프로브 카드와는 다른 프로브 카드를 장착한 경우이더라도, 프로브 카드(12)를 손상시키는 일없이 확실히 프로브(12A)의 침 높이 검출할 수 있고, 그러한 프로브 카드(12)이더라도 확실히 또한 고정밀도로 등록할 수 있다.
또한, 본 실시형태에 의하면， 탑재대(11)에 마련된 제 2 CCD 카메라(13C)를 이용하여 프로브 카드(12)의 프로브(12A)의 침의 수평방향의 위치를 구하는 공정을 구비하고 있기 때문에, 검사에 앞서 실행되는 얼라이먼트시에 프로브(12A)의 침 위치를 신속에 검출할 수 있다.
또한, 본 실시형태에 의하면， 하중 센서(16)의 높이를 검출한 후, 프로브(12A)의 침 높이를 검출하기 전에, 핀(19)을 이용하여 하중 센서(16)의 동작을 확인하기 때문에, 하중 센서(16)가 오동작하는 일 없이 프로브(12A)의 침 높이를 보다 확실히 검출할 수 있다. 하중 센서(16)의 높이를 검출하기 전에 제 2 CCD 카메라(13C)를 이용하여 핀(19)의 높이를 검출하기 때문에, 하중 센서(16)와 핀(19)을 소정의 하중으로 접촉시킬 수 있다. 또한, 핀(19)을 이용하여 하중 센서(16)의 동작을 확인한 후, 재차 하중 센서(16)의 높이를 검출하기 때문에, 프로브(12A)의 침 높이를 고정밀도로 검출할 수 있다.
또, 본 실시형태에 의하면， 본 실시형태의 프로브 카드의 등록 방법을 기억 매체에 기록하고 있기 때문에, 복수의 프로브 장치(10)에 간단히 이식할 수 있어, 어떠한 프로브 장치(10)에도 프로브 카드(12)를 간단히 등록 할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기실시 형태에 하등 제한되는 것은 아니고, 필요에 따라서 각 구성 요소를 적절히 변경할 수 있다. 예컨대, 상기실시 형태에서는 탄력적으로 작동하는 하중 센서에 대해서 설명했으나, 하중 센서로서는 탄력적으로 작동하는 것이 아니어도 좋다.
본 발명은, 반도체 웨이퍼 등의 피검사체의 전기적 특성 검사를 실행하는 프로브 장치에 적합하게 이용할 수 있다.
도1은 본 발명의 프로브 장치의 1실시 형태를 도시하는 개념도.
도2는 도1에 도시된 하중 센서를 도시하는 개념도.
도 3은 도1에 도시된 하중 센서의 실린더 기구의 공기 제어 회로를 도시하는 블럭도.
도4(a)∼(d)는 각각 본 발명의 프로브 카드의 등록 방법의 1실시 형태를 공정순으로 도시하는 공정도.
도5(a)~(c)는 각각 도4에 계속되는 공정을 도시하는 공정도.
도6(a), (b)는 종래의 얼라이먼트 방법의 일례를 도시하는 개념도.

Claims (5)

  1. 피검사체의 전기적 특성 검사를 실행하는 프로브 장치에, 그 검사에 이용되는 프로브 카드를 등록하는 방법에 있어서,
    상기 피검사체를 탑재하는 탑재대의 상방에 배치된 제 1 촬상 수단을 이용하여 상기 탑재대에 마련된 하중 센서의 높이를 검출하는 제 1 공정과,
    상기 탑재대를 거쳐서 상기 하중 센서를 이동시켜서 상기 하중 센서와 상기 프로브 카드의 프로브를 접촉시키는 제 2 공정과,
    상기 하중 센서와 상기 프로브의 접촉 개시시에 상기 하중 센서를 정지시키는 제 3 공정과,
    상기 하중 센서의 높이와 상기 하중 센서의 정지 높이에 근거하여 상기 프로브의 침의 높이를 구하는 제 4 공정을 구비한 것을 특징으로 하는
    프로브 카드의 등록 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 탑재대에 마련된 제 2 촬상 수단을 이용하여 상기 프로브 카드의 프로브의 침의 수평위치를 구하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는
    프로브 카드의 등록 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 공정에 앞서, 상기 하중 센서에 핀을 접촉시켜서 상기 하중 센서의 동작을 확인하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는
    프로브 카드의 등록 방법.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 2 촬상 수단을 이용하여 상기 핀의 높이를 검출하는 것을 특징으로 하는
    프로브 카드의 등록 방법.
  5. 피검사체의 전기적 특성 검사를 실행하는 프로브 장치에, 그 검사에 이용되는 프로브 카드를 등록하는 방법의 프로그램을 기록한 프로그램 기록 매체에 있어서,
    상기 프로그램에 의해 컴퓨터를 구동시켜서, 제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 프로브 카드의 등록 방법을 실행시키는 것을 특징으로 하는
    프로그램 기록 매체.
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