JP4319504B2 - 基板搬送装置および基板処理システム - Google Patents
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Description
110 支持ベース
112 上段部
114 下段部
115 レール
120 搬送室
140 処理室
142 ゲートバルブ
200 上段搬送体
202 モータ
204 駆動軸
210 摺動支持部材
212 取付部
214 レール
215 ガイド部材
220 ピック部
222 基端部
225 ガイド部材
224 ピック
231 軸
232 従動アーム
233 軸
234 駆動アーム
236 連結アーム
237 軸
310 駆動軸
311 歯車機構
312 歯車
314 歯車
320 下部駆動伝達機構
322 平行リンク
330 円板
362 円板
340 上部駆動伝達機構
342 平行リンク
360 軸
362 円板
364 円板
400 下段搬送体
402 モータ
404 駆動軸
510 従動アーム側歯車
520 平行アーム側歯車
532 平行アーム
L 被処理基板
Claims (6)
- 上下に並設された複数段の支持ベースと、
前記支持ベースにそれぞれ取付けられ、被処理基板を搬送する複数の搬送体と、
を備え、
前記搬送体は,
前記支持ベースに一方向に進退自在に取付けられる摺動支持部材と,
前記摺動支持部材にこの摺動支持部材の進退方向と同一方向に摺動自在に支持され,前記被処理基板を支持するためのピック部と,
前記摺動支持部材に対して前記ピック部を進退させるとともに,前記支持ベースに対して前記摺動支持部材を進退させるためのアーム機構とを有する,
ことを特徴とする基板搬送装置。 - 前記アーム機構は,
駆動源に接続される一対の駆動アームと,
前記一対の駆動アームと前記ピック部とをそれぞれ接続する一対の従動アームと,
前記一対の駆動アームと前記摺動支持部材とをそれぞれ接続する一対の連結アームと,
を有することを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。 - 前記アーム機構はさらに,
前記駆動アームと平行リンク機構を構成するように配設された平行アームと,
前記従動アームの先端に固定された従動アーム側歯車と,
前記平行アームの先端に固定され,前記従動アーム側歯車に噛合う平行アーム側歯車と,
を有することを特徴とする請求項2に記載の基板搬送装置。 - 被処理基板を処理する処理室と,この処理室にゲートバルブを介して連設された搬送室とを備える基板処理システムであって,
前記搬送室に前記被処理基板を前記処理室に搬入出するための搬送体を備える基板搬送装置を設け,
前記搬送体は,前記搬送室に旋回自在に配設された支持ベースに一方向に進退自在に取付けられる摺動支持部材と,前記摺動支持部材にこの摺動支持部材の進退方向と同一方向に摺動自在に支持され,被処理基板を支持するためのピック部と,前記摺動支持部材に対して前記ピック部を進退させるとともに,前記支持ベースに対して前記摺動支持部材を進退させるためのアーム機構とを備え,前記被処理基板を前記処理室に搬入出する際には,前記ピック部全体を前記ゲートバルブへ挿入させる、
ことを特徴とする基板処理システム。 - 前記アーム機構は,
駆動源に接続される一対の駆動アームと,
前記一対の駆動アームと前記ピック部とをそれぞれ接続する一対の従動アームと,
前記一対の駆動アームと前記摺動支持部材とをそれぞれ接続する一対の連結アームと,
を有することを特徴とする請求項4に記載の基板処理システム。 - 前記アーム機構はさらに,
前記駆動アームと平行リンク機構を構成するように配設された平行アームと,
前記従動アームの先端に固定された従動アーム側歯車と,
前記平行アームの先端に固定され,前記従動アーム側歯車に噛合う平行アーム側歯車と,
を有することを特徴とする請求項5に記載の基板処理システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003346781A JP4319504B2 (ja) | 2003-10-06 | 2003-10-06 | 基板搬送装置および基板処理システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003346781A JP4319504B2 (ja) | 2003-10-06 | 2003-10-06 | 基板搬送装置および基板処理システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005116665A JP2005116665A (ja) | 2005-04-28 |
JP4319504B2 true JP4319504B2 (ja) | 2009-08-26 |
Family
ID=34539597
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003346781A Expired - Fee Related JP4319504B2 (ja) | 2003-10-06 | 2003-10-06 | 基板搬送装置および基板処理システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4319504B2 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100949502B1 (ko) | 2005-06-20 | 2010-03-24 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치 제조 공정용 기판 반송장치 |
US7955043B2 (en) | 2006-05-29 | 2011-06-07 | Ulvac, Inc. | Substrate transfer apparatus |
KR101394389B1 (ko) | 2007-07-24 | 2014-05-14 | 세메스 주식회사 | 웨이퍼 이송 장치 및 이의 구동 방법 |
JP4824645B2 (ja) * | 2007-08-03 | 2011-11-30 | 株式会社アルバック | 基板搬送装置 |
JP4918430B2 (ja) * | 2007-08-03 | 2012-04-18 | 株式会社アルバック | 基板搬送装置 |
JP4824648B2 (ja) * | 2007-08-07 | 2011-11-30 | 株式会社アルバック | 基板搬送装置 |
JP5190303B2 (ja) | 2008-06-04 | 2013-04-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送装置及び処理装置 |
CN102439710B (zh) * | 2010-03-25 | 2017-03-29 | 应用材料公司 | 用于多个基材处理的分段基材负载 |
JP2012109536A (ja) * | 2010-10-28 | 2012-06-07 | Canon Anelva Corp | 基板搬送装置、電子デバイスの製造システムおよび電子デバイスの製造方法 |
JP5663638B2 (ja) | 2012-10-11 | 2015-02-04 | 株式会社ティーイーエス | 基板移送装置 |
WO2015109189A1 (en) * | 2014-01-17 | 2015-07-23 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus |
EP3218926A2 (en) * | 2014-11-14 | 2017-09-20 | Mapper Lithography IP B.V. | Load lock system and method for transferring substrates in a lithography system |
CN109048882B (zh) * | 2018-10-30 | 2024-04-02 | 珠海格力智能装备有限公司 | 机械手臂 |
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2003
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005116665A (ja) | 2005-04-28 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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