JP5959221B2 - 産業用ロボット - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット1の平面図である。図2は、図1(B)のE−E方向から産業用ロボット1を示す側面図である。図3は、図1に示す産業用ロボット1の概略構成を説明するための断面図である。
図4は、図3のF部の拡大図である。図5は、図3のG部の拡大図である。
図6は、図3のH部の拡大図である。図7は、図6のJ部の拡大図である。図8は、図6のK部の拡大図である。図9は、図6のL−L方向から本体部7の下端側および昇降機構8の下端側の概略構成を示す平面図である。
以上説明したように、本形態では、第1アーム部16および第2アーム部17、18がアルミニウム合金で形成されるとともに、第2アーム部17、18の本体に固定される軸部材26、36および第1アーム部16の本体に固定される筒部材27、37は、アルミニウム合金で形成されている。また、筒部材27、37の内周面と軸部材26、36の下端側の外周面との間には、熱伝導性に優れたグリースが充填されている。そのため、本形態では、ロボット1が温度の高い基板2を真空中で搬送する場合であっても、熱放射やハンド3、4を介した熱伝導によって基板2から第2アーム部17、18に伝わった熱を、第2関節部21、22において、熱放射を利用して第1アーム部16に伝えること、および、軸受23、33および筒部材76、77、86、87の熱伝導を利用して第1アーム部16に伝えることに加え、軸部材26、36、グリースおよび筒部材27、37の熱伝導を利用して効率的に第1アーム部16に伝えることが可能になる。したがって、本形態では、基板2から第2アーム部17、18に伝わった熱を第1アーム部16へ効率的に逃がすことが可能になる。
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
2 基板(ガラス基板、搬送対象物)
3、4 ハンド
5、6 アーム
7 本体部
8 昇降機構
16 第1アーム部
17、18 第2アーム部
20 第1関節部
21、22 第2関節部
23、33 軸受(第2の軸受)
26、36 軸部材(第2凸部)
27、37 筒部材(第2収容部)
45 磁性流体シール部
48 筒部材(第1凸部)
49 筒部材(第1収容部)
49b 凹部(第1凹部)
50 側面部材(接続部)
51 底面部材(放熱部)
52 放熱機構
59 軸受(第1の軸受)
63 流路(冷却機構の一部)
73a フィン
74 送風機
81〜83 磁性流体シール
Claims (14)
- 真空中で搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、
前記搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドがその先端側に連結されるアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部と、前記アームと前記本体部との連結部となる第1関節部で前記アームを回動可能に支持する第1の軸受とを備え、
前記アームまたは前記本体部のいずれか一方は、前記第1関節部に、前記アームまたは前記本体部のいずれか他方に向かって突出する第1凸部を備え、
前記アームまたは前記本体部のいずれか他方は、前記第1関節部に、前記第1凸部を収容する第1凹部が形成される第1収容部を備え、
前記第1凸部および前記第1収容部は、前記第1の軸受よりも熱伝導率の高い材料で形成され、
前記第1凹部の中には、前記第1の軸受よりも熱伝導率の高い液体状、半固体状またはゲル状の第1熱伝導性物質が配置され、
前記本体部は、前記第1の軸受よりも熱伝導率の高い材料で形成されるとともに大気中に配置されて熱を放散する放熱部と、前記第1の軸受よりも熱伝導率の高い材料で形成されるとともに前記本体部が有する前記第1収容部または前記第1凸部と前記放熱部とを繋ぐ接続部とを備えることを特徴とする産業用ロボット。 - 前記アームは、その基端側が前記本体部に回動可能に連結される第1アーム部と、前記第1アーム部の先端側にその基端側が回動可能に連結される第2アーム部とを備え、
前記第1アーム部と前記第2アーム部との連結部となる第2関節部には、前記第2アーム部を回動可能に支持する第2の軸受が配置され、
前記第1アーム部または前記第2アーム部のいずれか一方は、前記第2関節部に、前記第1アーム部または前記第2アーム部のいずれか他方に向かって突出する第2凸部を備え、
前記第1アーム部または前記第2アーム部のいずれか他方は、前記第2関節部に、前記第2凸部を収容する第2凹部が形成される第2収容部を備え、
前記第2凸部および前記第2収容部は、前記第2の軸受よりも熱伝導率の高い材料で形成され、
前記第2凹部の中には、前記第2の軸受よりも熱伝導率の高い液体状、半固体状またはゲル状の第2熱伝導性物質が配置されていることを特徴とする請求項1記載の産業用ロボット。 - 前記ハンドは、前記第2アーム部の先端側に回動可能に連結されていることを特徴とする請求項2記載の産業用ロボット。
- 前記第1凸部は、前記アームに形成されるとともに略円筒状に形成され、
前記第1凹部は、前記本体部に形成されるとともに略円環状に形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の産業用ロボット。 - 前記第2凸部は、前記第2アーム部に形成されるとともに略円柱状に形成され、
前記第2収容部は、前記第1アーム部に形成されるとともに略有底円筒状に形成されていることを特徴とする請求項2または3記載の産業用ロボット。 - 前記第1熱伝導性物質は、グリースであることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の産業用ロボット。
- 前記第2熱伝導性物質は、グリースであることを特徴とする請求項2、3または5記載の産業用ロボット。
- 前記本体部は、大気中に配置され前記放熱部の熱を放散させる放熱機構を備えることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の産業用ロボット。
- 前記放熱機構は、前記放熱部に形成または固定される複数の放熱用のフィンと、前記フィンに向かって空気を送る送風機とを備えることを特徴とする請求項8記載の産業用ロボット。
- 真空領域への空気の流入を防ぐ磁性流体シールと前記第1の軸受とを有する磁性流体シール部を前記第1関節部に備え、
前記第1収容部は、略円筒状に形成され、その内周側で前記磁性流体シール部を保持していることを特徴とする請求項1から9のいずれかに記載の産業用ロボット。 - 真空領域への空気の流入を防ぐ磁性流体シールと前記第1の軸受とを有する磁性流体シール部を前記第1関節部に備えるとともに、前記磁性流体シール部を冷却する冷却機構を備えることを特徴とする請求項1から10のいずれかに記載の産業用ロボット。
- 前記冷却機構は、前記磁性流体シール部に形成される冷却用空気の流路と、前記流路へ冷却用空気を供給する供給機構とを備えることを特徴とする請求項11記載の産業用ロボット。
- 前記本体部を昇降させる昇降機構を備え、
前記放熱部には、前記昇降機構の一部が取り付けられていることを特徴とする請求項1から12のいずれかに記載の産業用ロボット。 - 前記搬送対象物は、液晶ディスプレイ用のガラス基板であることを特徴とする請求項1から13のいずれかに記載の産業用ロボット。
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