KR100923022B1 - 감광물질 코팅 방법 및 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (24)
- 유동성 감광물질을 폭보다 길이가 길은 띠 형상으로 변경시키는 단계;상기 띠 형상을 갖는 감광물질을 제 1 표면에 제 1 시간 동안 공급하여 띠 형상을 갖는 상기 감광물질의 공급량을 안정화시키는 단계; 및상기 제 1 표면으로부터 이격된 피 도포대상물에 공급량이 안정된 상기 감광물질을 상기 폭 방향으로 공급하여 면 형태로 도포하는 단계를 포함하고,상기 면 형태로 도포하는 단계는,상기 감광물질을 제 2 시간 동안 제 1 압력에 도달되도록 하는 단계;상기 감광물질이 목표 공급량에 도달될 때까지 제 3 시간 동안 대기하는 단계; 및상기 목표 공급량에 도달한 상기 감광물질을 제 2 압력으로 토출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 감광물질은 도포 속도를 향상시키기 위하여 5wt% ∼ 25wt%의 고형분(solid powder)과, 95wt% ∼ 75wt%의 휘발성 솔벤트를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 감광물질은 상기 감광물질의 건조 시간을 지연시키기 위한 건조 지연제를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 방법.
- 제 3 항에 있어서, 상기 건조 지연제는 상기 감광물질에 80wt% ∼ 10wt%가 포함되는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 감광물질은 표면 장력을 낮추기 위하여, 계면 활성제를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 방법.
- 제 5 항에 있어서, 상기 계면 활성제는 불소계 계면 활성제인 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 방법.
- 제 5 항에 있어서, 상기 계면 활성제는 상기 감광물질에 5000ppm ∼ 200ppm 이 포함되는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 방법.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 표면에서의 상기 감광물질의 높이는 10∼200㎛인 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 감광물질을 도포하는 단계는 상기 피 도포대상물의 제 1 위치에서 도포되는 상기 감광물질의 높이를 측정하는 단계, 상기 제 1 위치와 이격된 제 2 위치에서 상기 감광물질의 높이를 측정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 감광물질을 도포하는 단계 이후에는 상기 감광물질을 건조하는 단계가 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 감광물질을 도포하는 단계 이후에는 잉여 감광물질을 흡입하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 방법.
- 유동성 감광물질을 폭보다 길이가 길은 띠 형상으로 변경시키는 감광물질 형상 가공 장치;상기 띠 형상을 갖는 감광물질을 제 1 표면에 제 1 시간 동안 공급하여 상기 감광물질의 공급량을 안정화시키는 공급량 안정화 수단;상기 제 1 표면으로부터 이격된 피 도포대상물을 고정하는 피 도포 대상물 고정 장치; 및상기 피 도포 대상물에 상기 감광물질을 상기 폭 방향으로 공급하여 상기 감광물질이 면 형태로 도포되도록 상기 감광물질을 제 2 시간 동안 제 1 압력에 도달되도록 제어하고, 상기 감광물질이 목표 공급량에 도달될 때까지 제 3 시간 동안 대기한 후, 상기 목표 공급량에 도달한 상기 감광물질을 제 2 압력으로 토출하는 이송 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 장치.
- 제 13 항에 있어서, 상기 감광물질 형상 가공 장치는 부정형 감광물질을 공 급하는 감광물질 공급장치와, 상기 유동성 감광물질을 공급받아 띠 형상으로 변경시키는 슬릿 코터를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 장치.
- 제 14 항에 있어서, 상기 감광물질 공급장치는 감광물질 저장 탱크 및 상기 감광물질 저장 탱크에 저장된 상기 감광물질에 압력을 가하는 감광물질 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 장치.
- 제 14 항에 있어서, 상기 감광물질 공급 장치는 고형분이 저장된 제 1 탱크, 휘발성 용제가 저장된 제 2 탱크, 비등점 조절 용제가 저장된 제 3 탱크, 상기 제 1 탱크, 제 2 탱크, 제 3 탱크에 연결된 혼합 탱크 및 상기 혼합 탱크에 연결된 감광물질 가압 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 장치.
- 제 14 항에 있어서, 상기 감광물질 공급 장치는 고형분이 저장된 제 1 탱크, 휘발성 용제가 저장된 제 2 탱크, 계면 활성제가 저장된 제 4 탱크, 상기 제 1 탱크, 제 2 탱크, 제 4 탱크에 연결된 혼합 탱크 및 상기 혼합 탱크에 연결된 감광물질 가압 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 장치.
- 제 14 항에 있어서, 상기 슬릿 코터는 슬릿 코터 몸체, 상기 슬릿 코터 몸체의 내부에 형성되며 상기 감광물질이 공급되는 감광물질 공급 포트, 상기 감광물질 공급 포트를 통하여 공급된 감광물질을 저장하는 긴 공동 형상의 감광물질 버퍼 및 상기 감광물질 버퍼와 연결되며 상기 감광물질이 띠 형상으로 토출하기 위한 슬릿 형상의 슬릿 노즐을 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 장치.
- 제 18 항에 있어서, 상기 감광물질 버퍼의 직경은 3㎜ ∼ 5㎜인 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 장치.
- 제 18 항에 있어서, 상기 슬릿 노즐의 길이는 10mm ∼ 35mm 이고, 상기 슬릿 노즐의 폭은 100mm ∼ 50mm인 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 장치.
- 제 14 항에 있어서, 상기 슬릿 코터는 기판과 이루는 간격을 측정하는 측정 센서 및 기판과 이루는 간격을 조정하는 간격 조절 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 장치.
- 제 13 항에 있어서, 상기 감광물질은 고형분, 휘발성 용제, 상기 휘발성 용제의 비등점을 조절하기 위한 비등점 조절 용제 및 계면 활성제를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 장치.
- 제 13 항에 있어서, 상기 공급량 안정화 수단은 회전하는 감광물질 도포 롤러인 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 장치.
- 제 23 항에 있어서, 상기 감광물질 형상 가공 장치와 상기 감광물질 도포 롤러의 갭은 10㎛ ∼ 200㎛인 것을 특징으로 하는 감광물질 코팅 장치.
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