KR100854801B1 - 웨이퍼척 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (6)
- 탑재대에 형성된 복수의 연직 방향의 관통공을 출몰하는 복수의 핀과,상기 복수의 핀을 공통으로 지지하는 연결부재와,상기 연결부재를 승강시키는 것에 의해 상기 복수의 핀을 출몰시키는 승강기구를 구비하고,상기 복수의 핀을 상기 탑재대의 탑재면으로부터 돌출시켜 웨이퍼를 수수하도록 구성되어 있는 웨이퍼척으로서, 상기 복수의 핀의 각 상단면에, 대응하는 각 관통공 사이에 실질적으로 틈을 만들지 않는 받음면부가 마련되고,해당 받음면부를, 상기 탑재면에 대하여 가지런히 하는 수단이 마련되고,상기 받음면부를 상기 탑재면에 대하여 가지런히 하는 수단은상기 핀에 있어서 해당 핀의 받음면부보다 하측에 형성된 걸림면부와,상기 관통공 안에 상기 걸림면부와 맞닿도록 형성된 걸림부와,상기 걸림면부를 상기 걸림부에 각각 맞닿게 하는 탄압수단을 가지며,상기 탄압수단은상기 걸림면부를 상기 걸림부에 각각 맞닿게 하기 위하여, 상기 연결부재를 바이어스하도록 설치된 제1탄압기구와,상기 걸림면부를 상기 걸림부에 각각 맞닿게 하기 위하여, 상기 각 핀을 바이어스 하도록 상기 각 핀에 설치된 제2탄압기구를 구비하는 것을 특징으로 하는웨이퍼척.
- 탑재대에 형성된 복수의 연직 방향의 관통공을 출몰하는 복수의 핀과,상기 복수의 핀을 공통으로 지지하는 연결부재와,상기 연결부재를 승강시키는 것에 의해 상기 복수의 핀을 출몰시키는 승강기구와,탑재대의 주위에 배치된, 연직 방향으로 이동하는 받음부를 가지는 복수의 실린더기구를 구비하고,상기 복수의 실린더기구의 받음부를 상기 탑재대의 탑재면으로부터 돌출시켜 다이싱 프레임에 유지된 웨이퍼를 수수하도록 구성되어 있는 웨이퍼척으로서, 상기 복수의 핀의 각 상단면에, 대응하는 각 관통공과의 사이에 실질적으로 틈을 만들지 않는 받음면부가 마련되고,해당 받음면부를, 상기 탑재면에 대하여 가지런히 하는 수단이 마련되고,상기 받음면부를 상기 탑재면에 대하여 가지런히 하는 수단은상기 핀에 있어서 해당 핀의 받음면부보다 하측에 형성된 걸림면부와,상기 관통공 안에 상기 걸림면부와 맞닿도록 형성된 걸림부와,상기 걸림면부를 상기 걸림부에 각각 맞닿게 하는 탄압수단을 가지며,상기 탄압수단은상기 걸림면부를 상기 걸림부에 각각 맞닿게 하기 위하여, 상기 연결부재를 바이어스하도록 설치된 제1탄압기구와,상기 걸림면부를 상기 걸림부에 각각 맞닿게 하기 위하여, 상기 각 핀을 바이어스 하도록 상기 각 핀에 설치된 제2탄압기구를 구비하는 것을 특징으로 하는웨이퍼척.
- 삭제
- 제 1 항 또는 제 2 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 걸림부는, 상기 관통공내에서, 상기 핀의 상기 받음면부를 수용하는 부분보다 직경이 축소하는 단부로서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는웨이퍼척.
- 제 1 항 또는 제 2 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 핀의 상기 받음면부로부터 상기 걸림면부까지의 부분은, 역원추대 형상을 가지는 것을 특징으로 하는웨이퍼척.
- 제 4 항에 있어서,상기 핀의 상기 받음면부로부터 상기 걸림면부까지의 부분은, 역원추대 형상을 가지는 것을 특징으로 하는웨이퍼척.
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