JP3139761B2 - ハンドラ装置 - Google Patents
ハンドラ装置Info
- Publication number
- JP3139761B2 JP3139761B2 JP02269598A JP26959890A JP3139761B2 JP 3139761 B2 JP3139761 B2 JP 3139761B2 JP 02269598 A JP02269598 A JP 02269598A JP 26959890 A JP26959890 A JP 26959890A JP 3139761 B2 JP3139761 B2 JP 3139761B2
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- Japan
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- collet
- socket
- integrated circuit
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) この発明は、被検査集積回路を検査状態にセットする
ハンドラ装置に関し、特に被検査集積回路と測定ソケッ
トとの接合性を改良したハンドラ装置に関する。
ハンドラ装置に関し、特に被検査集積回路と測定ソケッ
トとの接合性を改良したハンドラ装置に関する。
(従来の技術) 従来、ハンドラ装置を用いて集積回路を検査する場合
には、テスター装置と電気的に接続された測定ソケット
に、配送されてきた被検査集積回路をセットして、測定
検査を行なっていた。
には、テスター装置と電気的に接続された測定ソケット
に、配送されてきた被検査集積回路をセットして、測定
検査を行なっていた。
例えば、被検査集積回路を吸着支持し、吸着支持した
被検査集積回路を測定ソケットにセットする場合に、被
検査集積回路を吸着支持する支持部材と測定ソケットと
の位置決めが、予め検査前に行なわれる。
被検査集積回路を測定ソケットにセットする場合に、被
検査集積回路を吸着支持する支持部材と測定ソケットと
の位置決めが、予め検査前に行なわれる。
(発明が解決しようとする課題) しかしながら、支持部材と測定ソケットとの位置合せ
は、被検査集積回路のリードピンと測定ソケットの接触
子との寸法的余裕が少ないために、極めて手間がかかる
とともに熟練を要し、位置決めに多くの時間が費されて
いた。
は、被検査集積回路のリードピンと測定ソケットの接触
子との寸法的余裕が少ないために、極めて手間がかかる
とともに熟練を要し、位置決めに多くの時間が費されて
いた。
また、支持部材と測定ソケットの位置決めが一旦行な
われると、支持部材は測定ソケットに対して垂直方向に
しか移動できず水平方向へは移動できないため、検査中
に位置決めがずれると、被検査集積回路のリードピンを
測定ソケットの接触子に確実に接触させることができな
くなり、リードピンに損傷を与えるとともに検査を正確
に行なうことができなくなるといった不具合を招くおそ
れがあった。
われると、支持部材は測定ソケットに対して垂直方向に
しか移動できず水平方向へは移動できないため、検査中
に位置決めがずれると、被検査集積回路のリードピンを
測定ソケットの接触子に確実に接触させることができな
くなり、リードピンに損傷を与えるとともに検査を正確
に行なうことができなくなるといった不具合を招くおそ
れがあった。
そこで、この発明は、上記に鑑みてなされたものであ
り、その目的とするところは、被検査集積回路を正確か
つ容易に測定ソケットにセットして、被検査集積回路と
測定ソケットとの接触不良や被検査集積回路の損傷を防
止し得るハンドラ装置を提供することにある。
り、その目的とするところは、被検査集積回路を正確か
つ容易に測定ソケットにセットして、被検査集積回路と
測定ソケットとの接触不良や被検査集積回路の損傷を防
止し得るハンドラ装置を提供することにある。
[発明の構成] (課題を解決するための手段) 上記目的を達成するために、この発明は、被検査集積
回路を測定ソケットに位置合わせして前記被検査集積回
路のリードピンを前記測定ソケットの対応する接触子に
接触させ、前記被検査集積回路を前記測定ソケットにセ
ットするハンドラ装置において、被検査集積回路を吸着
支持し、前記測定ソケットとコレット本体とを位置合わ
せする案内機構が設けられ、前記コレット本体を前記測
定ソケットに位置合わせする際に、前記案内機構は前記
測定ソケットに設けられた案内機構に導かれて案内され
るコレット本体と、前記ハンドラ装置本体の動きとは独
立して前記コレット本体を所定の範囲内で水平方向に自
在に移動可能に、前記コレット本体を遊嵌するコレッド
ガイドとを具備し、前記コレット本体に設けられた案内
機構が前記測定ソケットに設けられた案内機構に案内さ
れ、前記コレット本体が前記コレットガイド内で前記ハ
ンドラ装置本体とは独立して水平方向に移動し、前記コ
レット本体に吸着支持された前記被検査集積回路を前記
測定ソケットに位置合わせしてセットすることを特徴と
する。
回路を測定ソケットに位置合わせして前記被検査集積回
路のリードピンを前記測定ソケットの対応する接触子に
接触させ、前記被検査集積回路を前記測定ソケットにセ
ットするハンドラ装置において、被検査集積回路を吸着
支持し、前記測定ソケットとコレット本体とを位置合わ
せする案内機構が設けられ、前記コレット本体を前記測
定ソケットに位置合わせする際に、前記案内機構は前記
測定ソケットに設けられた案内機構に導かれて案内され
るコレット本体と、前記ハンドラ装置本体の動きとは独
立して前記コレット本体を所定の範囲内で水平方向に自
在に移動可能に、前記コレット本体を遊嵌するコレッド
ガイドとを具備し、前記コレット本体に設けられた案内
機構が前記測定ソケットに設けられた案内機構に案内さ
れ、前記コレット本体が前記コレットガイド内で前記ハ
ンドラ装置本体とは独立して水平方向に移動し、前記コ
レット本体に吸着支持された前記被検査集積回路を前記
測定ソケットに位置合わせしてセットすることを特徴と
する。
(作用) 上記構成において、この発明は、被検査集積回路を吸
着支持した支持手段を、測定ソケットとの案内機構に倣
いながら本体装置と独立して水平方向に自在に移動さ
せ、被検査集積回路と測定ソケットとの位置決めを行な
うようにしている。
着支持した支持手段を、測定ソケットとの案内機構に倣
いながら本体装置と独立して水平方向に自在に移動さ
せ、被検査集積回路と測定ソケットとの位置決めを行な
うようにしている。
(実施例) 以下、図面を用いてこの発明の実施例を説明する。
第1図はこの発明の一実施例に係わるハンドラ装置に
おける要部構成を示す分解斜視図である。
おける要部構成を示す分解斜視図である。
第1図において、ハンドラ装置本体1には、コレット
本体2及びコレットガイド3、コレット支持材4とから
なり、被検査集積回路を吸着支持するコレットが取り付
けられる。
本体2及びコレットガイド3、コレット支持材4とから
なり、被検査集積回路を吸着支持するコレットが取り付
けられる。
コレットは、第2図に示すように、コレット本体2が
コレットガイド3との間に数mm程度の間隔を有してコレ
ットガイド3に遊嵌され、遊嵌された状態でコレット支
持材4をコレットガイド3に取り付けることによってコ
レット本体2が支持されている。このようなコレット
は、コレット本体2内に被検査集積回路を吸着支持する
気体の吸引路となるバキュームパッド5が設けられてお
り、このバキュームパッド5の端部に生じる吸引力によ
って被検査集積回路6がコレット本体2に吸着されて支
持される。
コレットガイド3との間に数mm程度の間隔を有してコレ
ットガイド3に遊嵌され、遊嵌された状態でコレット支
持材4をコレットガイド3に取り付けることによってコ
レット本体2が支持されている。このようなコレット
は、コレット本体2内に被検査集積回路を吸着支持する
気体の吸引路となるバキュームパッド5が設けられてお
り、このバキュームパッド5の端部に生じる吸引力によ
って被検査集積回路6がコレット本体2に吸着されて支
持される。
このように構成されたコレットは、第2図に示すよう
に、コレット本体2がコレットガイド3に対して第2図
のAで示す部分において水平移動可能となる。すなわ
ち、コレット本体2は、コレットガイド3に対して平面
方向(X−Y方向)に第2図のAで示す範囲内において
自在に移動可能となる。
に、コレット本体2がコレットガイド3に対して第2図
のAで示す部分において水平移動可能となる。すなわ
ち、コレット本体2は、コレットガイド3に対して平面
方向(X−Y方向)に第2図のAで示す範囲内において
自在に移動可能となる。
このようなコレットは、コレット本体2のバキューム
パッド5の開口部7がハンドラ装置本体1のバキューム
ホース接続部8と位置合せされて、コレット本体2が本
体装置1のコレット取付部9に、コレットガイド3が本
体装置1のコレットガイド取付板10に取り付けられてハ
ンドラ装置本体1に取り付けられる。
パッド5の開口部7がハンドラ装置本体1のバキューム
ホース接続部8と位置合せされて、コレット本体2が本
体装置1のコレット取付部9に、コレットガイド3が本
体装置1のコレットガイド取付板10に取り付けられてハ
ンドラ装置本体1に取り付けられる。
このようなコレットが取り付けられたハンドラ装置本
体1の下方には、第1図に示すように、ソケットゲージ
11に規整されたICソケット12が配設されている。ICソケ
ット12は、例えば第3図に示すように集積回路のリード
ピンが4方向に配設されたフラットパッケージ用のソケ
ットであり、4方向に被検査集積回路6のリードピンと
接触する接触子13が配設されている。また、ICソケット
12には、コレットとの接合における位置合わせとして機
能し、コレット本体2に設けられた溝部とともに案内機
構を構成するソケットガイド14が、第3図に示すように
四隅に設けられている。
体1の下方には、第1図に示すように、ソケットゲージ
11に規整されたICソケット12が配設されている。ICソケ
ット12は、例えば第3図に示すように集積回路のリード
ピンが4方向に配設されたフラットパッケージ用のソケ
ットであり、4方向に被検査集積回路6のリードピンと
接触する接触子13が配設されている。また、ICソケット
12には、コレットとの接合における位置合わせとして機
能し、コレット本体2に設けられた溝部とともに案内機
構を構成するソケットガイド14が、第3図に示すように
四隅に設けられている。
次に、被検査集積回路6をICソケット12にセットする
際の動作を説明する。
際の動作を説明する。
まず、ハンドラ装置本体1から与えられる吸引力によ
り被検査集積回路6が、第2図に示すようにコレット本
体2の下部に吸着支持される。このような状態におい
て、コレットがハンドラ装置本体1とともに下降し、コ
レット本体2に設けられた溝がICソケット12に設けられ
たソケットガイド14に倣いながら案内されるように、コ
レット本体2がコレットガイド3内のAで示す範囲内で
水平方向に自在に移動する。この時に、コレット本体2
がソケットガイド13に倣う範囲は、第2図のBで示す範
囲となる。
り被検査集積回路6が、第2図に示すようにコレット本
体2の下部に吸着支持される。このような状態におい
て、コレットがハンドラ装置本体1とともに下降し、コ
レット本体2に設けられた溝がICソケット12に設けられ
たソケットガイド14に倣いながら案内されるように、コ
レット本体2がコレットガイド3内のAで示す範囲内で
水平方向に自在に移動する。この時に、コレット本体2
がソケットガイド13に倣う範囲は、第2図のBで示す範
囲となる。
このようにして、被検査集積回路6とICソケット12と
の位置合せが行なわれ、被検査集積回路6のリードピン
が第4図に示すようにソケット12の接触子13に接触し
て、被検査集積回路6がICソケット12にセットされる。
の位置合せが行なわれ、被検査集積回路6のリードピン
が第4図に示すようにソケット12の接触子13に接触し
て、被検査集積回路6がICソケット12にセットされる。
このように、被検査集積回路6を吸着支持したコレッ
ト本体2が、ハンドラ装置本体1やICソケット12に対し
て所定の範囲内において平面方向に自在に移動し、コレ
ット本体2とICソケット12に設けられた案内機構に倣う
ようにして被検査集積回路6とICソケット12との位置決
めが行なわれるため、被検査集積回路6を容易かつ正確
にICソケットにセットすることが可能となる。
ト本体2が、ハンドラ装置本体1やICソケット12に対し
て所定の範囲内において平面方向に自在に移動し、コレ
ット本体2とICソケット12に設けられた案内機構に倣う
ようにして被検査集積回路6とICソケット12との位置決
めが行なわれるため、被検査集積回路6を容易かつ正確
にICソケットにセットすることが可能となる。
また、被検査集積回路6をICソケット12の接触子13に
正確に接触させることが可能となるため、被検査集積回
路6におけるリードピンの損傷や接触不良を防止するこ
とができ、確実に測定検査を行なうことができるように
なる。
正確に接触させることが可能となるため、被検査集積回
路6におけるリードピンの損傷や接触不良を防止するこ
とができ、確実に測定検査を行なうことができるように
なる。
[発明の効果] 以上説明したように、この発明によれば、被検査集積
回路を吸着支持した支持手段を、測定ソケットとの案内
機構に倣いながら本体装置と独立して水平方向に所定の
範囲内において自在に移動させるようにしたので、被検
査集積回路と測定ソケットとの位置決めを正確かつ容易
に行なうことが可能となる。この結果、被検査集積回路
と測定ソケットとの接触不良や被検査集積回路の損傷を
防止して、確実に測定検査を行なえるハンドラ装置を提
供することができる。
回路を吸着支持した支持手段を、測定ソケットとの案内
機構に倣いながら本体装置と独立して水平方向に所定の
範囲内において自在に移動させるようにしたので、被検
査集積回路と測定ソケットとの位置決めを正確かつ容易
に行なうことが可能となる。この結果、被検査集積回路
と測定ソケットとの接触不良や被検査集積回路の損傷を
防止して、確実に測定検査を行なえるハンドラ装置を提
供することができる。
第1図はこの発明の一実施例に係わるハンドラ装置の要
部構成を示す分解斜視図、 第2図は第1図に示す装置の要部構成を示す断面図、 第3図はICソケットの構造を示す平面図、 第4図は被検査集積回路のリードピンとICソケットの接
触子との接触状態を示す断面図である。 1……ハンドラ装置本体 2……コレット本体 3……コレットガイド 4……コレット支持材 5……バキュームパッド 6……被検査集積回路 12……ICソケット 13……接触子 14……ソケットガイド
部構成を示す分解斜視図、 第2図は第1図に示す装置の要部構成を示す断面図、 第3図はICソケットの構造を示す平面図、 第4図は被検査集積回路のリードピンとICソケットの接
触子との接触状態を示す断面図である。 1……ハンドラ装置本体 2……コレット本体 3……コレットガイド 4……コレット支持材 5……バキュームパッド 6……被検査集積回路 12……ICソケット 13……接触子 14……ソケットガイド
Claims (1)
- 【請求項1】被検査集積回路を測定ソケットに位置合わ
せして前記被検査集積回路のリードピンを前記測定ソケ
ットの対応する接触子に接触させ、前記被検査集積回路
を前記測定ソケットにセットするハンドラ装置におい
て、 被検査集積回路を吸着支持し、前記測定ソケットとコレ
ット本体とを位置合わせする案内機構が設けられ、前記
コレット本体を前記測定ソケットに位置合わせする際
に、前記案内機構は前記測定ソケットに設けられた案内
機構に導かれて案内されるコレット本体と、 前記ハンドラ装置本体の動きとは独立して前記コレット
本体を所定の範囲内で水平方向に自在に移動可能に、前
記コレット本体を遊嵌するコレッドガイドとを具備し、 前記コレット本体に設けられた案内機構が前記測定ソケ
ットに設けられた案内機構に案内され、前記コレット本
体が前記コレットガイド内で前記ハンドラ装置本体とは
独立して水平方向に移動し、前記コレット本体に吸着支
持された前記被検査集積回路を前記測定ソケットに位置
合わせしてセットする ことを特徴とするハンドラ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP02269598A JP3139761B2 (ja) | 1990-10-09 | 1990-10-09 | ハンドラ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP02269598A JP3139761B2 (ja) | 1990-10-09 | 1990-10-09 | ハンドラ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04146640A JPH04146640A (ja) | 1992-05-20 |
JP3139761B2 true JP3139761B2 (ja) | 2001-03-05 |
Family
ID=17474596
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP02269598A Expired - Fee Related JP3139761B2 (ja) | 1990-10-09 | 1990-10-09 | ハンドラ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3139761B2 (ja) |
-
1990
- 1990-10-09 JP JP02269598A patent/JP3139761B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH04146640A (ja) | 1992-05-20 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071215 Year of fee payment: 7 |
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081215 Year of fee payment: 8 |
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