KR100791136B1 - 도전성 접촉자용 홀더 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (16)
- 피접촉체에 접촉시키는 복수의 도전성 접촉자를 병렬로 배치한 상태로 지지하기 위한 도전성 접촉자용 홀더로서,제1재료로 이루어지며 개구가 설치된 기판과,제2재료로 이루어지며 적어도 상기 개구의 내주면을 덮도록 상기 기판 표면에 피복부착된 피막과,제3재료로 이루어지며 상기 개구내에 충전된 홀더공 형성부재를 가지며,하나의 상기 개구에 대하여, 각각 접촉자를 수용하기 위한 복수의 홀더공이, 상기 홀더공 형성부재를, 그 두께 방향으로 관통하고 있는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자용 홀더.
- 제1항에 있어서,상기 제1재료가 금속, 반도체, 세라믹 및 유리재료에서 선택된 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자용 홀더.
- 제1항에 있어서,상기 제2 및 제3재료는 동일 또는 다른 종류의 합성수지재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자용 홀더.
- 제1항에 있어서,상기 피막이 대략 상기 기판의 표면의 전체에 걸쳐 피복부착되어 있는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자용 홀더.
- 제1항에 있어서,상기 피막이 상기 홀더공 형성부재와 상기 기판 간의 접합력을 높이는 재료로 이루어진 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자용 홀더.
- 제1항에 있어서,상기 피막이 상기 홀더공 형성부재와 상기 기판 간의 절연을 높이는 재료로 이루어진 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자용 홀더.
- 제6항에 있어서,상기 제2재료가 상기 제3재료보다 높은 전기절연성을 가지며, 상기 제3재료가 상기 제2재료보다 정전기를 잘 발생시키지 않는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자용 홀더.
- 제1항에 있어서,상기 홀더공 형성부재가 상기 개구로부터 탈락되는 것을 방지하기 위하여, 상기 개구의 내주면에 상기 홀더공 형성부재와 결합되는 결합부가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자용 홀더.
- 제8항에 있어서,상기 기판이 실리콘 웨이퍼로 이루어지며, 상기 결합부가 상기 개구 내주면에 대해 이방성 식각을 행함으로써 형성된 릿지를 포함하는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자용 홀더.
- 제1항에 있어서,상기 고강도 기판에, 상기 홀더와 다른 부재를 결합하기 위한 결합용 나사공이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자용 홀더.
- 제1항에 있어서,상기 고강도 기판에, 상기 홀더와 다른 부재를 결합할 때의 위치결정을 위한 구멍이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자용 홀더.
- 제1항에 있어서,상기 홀더공 형성부재에, 상기 홀더와 다른 부재를 결합할 때의 위치결정을 위한 구멍이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자용 홀더.
- 제1항에 있어서,상기 개구의 내주면에만 상기 피막이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자용 홀더.
- 제1항에 있어서,상기 개구 내에 충전된 홀더공 형성부재는, 나사에 의해 상기 기판에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자용 홀더.
- 제14항에 있어서,상기 홀더공 형성부재를 상기 개구 내에 고정시킨 상태로 상기 피막이 피복부착되어 있는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자용 홀더.
- 제15항에 있어서,상기 피막의 표면이 절삭·연마 가공되어 있는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자용 홀더.
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