JP5372706B2 - プローブ針ガイド部材及びこれを備えたプローブカード並びにそれを用いる半導体装置の試験方法 - Google Patents
プローブ針ガイド部材及びこれを備えたプローブカード並びにそれを用いる半導体装置の試験方法 Download PDFInfo
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Description
2 配線基板
3 補強部材
4 ハウジング
5 トップカバー
6 ガイドブロック
7 プローブ針押さえ部材
8 プローブ針
9 試験品挿入部
10 位置決め用のガイドピン
11 プローブ針ガイド部材
12 配向調整ネジで
13 ガイド部材
14 半導体装置
15 突起状接続電極
16 位置合わせ部材
17 突起頂点
18 直線状の側部
C 中心線
Claims (4)
- 突起状接続電極を有する半導体装置をカンチレバー型のプローブカードを用いて試験するときに用いられるプローブ針ガイド部材であって、試験時に突起状接続電極と接触するプローブ針先端部の移動をそのスクラブ方向に沿った直線方向にガイドする直線状の側部を備えたガイド孔を有し、当該ガイド孔が、上記プローブ針ガイド部材が突起状接続電極に対して使用位置に位置決めされたとき、突起状接続電極の突起頂点を通るスクラブ方向に沿った中心線から外れた頂点周辺部と対向する位置に開口するガイド孔であって、前記ガイド孔は前記中心線の両側に、それぞれ設けられ、その前記直線状の側部同士の間隔が、試験時のプローブ針先端部のスクラブ方向の先端に向かうに連れて次第に狭くなるようにハの字型に設けられているプローブ針ガイド部材。
- 請求項1記載のプローブ針ガイド部材を備えているカンチレバー型プローブカード。
- 1つの突起状接続電極あたり2本のプローブ針を接触させるケルビン接続式のプローブカードである請求項2記載のカンチレバー型プローブカード。
- 請求項1記載のプローブ針ガイド部材を用い、カンチレバー型プローブ針の先端部を、その移動をスクラブ方向に直線状にガイドしながら、突起状接続電極の突起頂点を通るスクラブ方向に沿った中心線から外れた頂点周辺部と接触させて、半導体装置の電気的試験を行う、突起状接続電極を有する半導体装置の試験方法。
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