TWI825798B - 彈性探針及電路測試裝置 - Google Patents

Abstract

一種電路測試裝置，包括一基座、一固定座、一彈性探針，及一檢測電極，該基座包括一測試開口，該固定座包括一固定槽，該彈性探針依序包括一固定段、一第一彈性段、一第二彈性段、一彈性延伸段，及一接觸段，該固定段設置於該固定槽並向該測試槽中突出，該第一彈性段向朝相反該測試開口的方向進行彎曲，該第二彈性段朝向該測試開口的方向進行彎曲，該彈性延伸段延伸至該測試開口，該接觸段由該測試開口向外突出，該檢測電極設置於該基座中並與該彈性探針電性連接，該接觸段可供電待測電路之待測電極抵接並使該待測電極與該檢測電極電性連接。

Description

彈性探針及電路測試裝置

本發明是有關於一種電路測試裝置，尤其是一種設置在測試機台上並使其偵測積體電路之電性的電路測試裝置。

積體電路在封裝後會進行電性測試，以判斷晶片中包含電子元件的電路是否正常，封裝後積體電路會在外部設置接觸電極(包含金屬接腳)，以提供測試機台進行積體電路的電性測試。

請參閱圖1，及圖2，為中華民國專利號M340580，說明一種電路測試裝置，包含一殼體11、一固定體12、一定位塊13、一定位彈性膠條14、一減壓彈性膠條15、複數負載板16，及複數彈性電觸接點17，該殼體11之複數第一槽縫111，及第二槽縫112中固定該複數彈性電觸接點17的位置並使該複數彈性電觸接點17彼此間隔，該固定體12固定該定位彈性膠條14以使其與該複數彈性電觸接點17抵接，用以提供該複數彈性電觸接點17彈力以使該複數彈性電觸接點17分別抵接該複數負載板16，該定位塊13固定該減壓彈性膠條15以使其與該複數彈性電觸接點17接觸，該減壓彈性膠條15提供該複數彈性電觸接點17彈力，用以緩衝該複數彈性電觸接點17被一受測元件18壓抵的力量。

雖然習知技術揭露了一種可以偵測積體電路的電路測試裝置，但是實際使用時仍具有下列缺點：

一、測試電極的間距無法縮小：

隨著科技的進步，單位體積中積體電路所設置的電子元件數量越來越多，導電路徑也越來越小，導致積體電路外部的接觸電極，不僅體積縮小，其彼此的間距越來越小，但是習知偵測裝置之第一槽111與第二槽縫112的設置只能固定一個彈性電觸接點17，以避免與彈性觸接點17接觸而造成短路，由於每一彈性電觸接點17必須具有一定的線徑，並且該複數第一槽111與第二槽縫112必須彼此間隔，導致測試裝置的設置尺寸受到限制，難以縮小該複數彈性電觸接點17的間距，可以測試的積體電路種類有所限制。

二、必須另外設置緩衝彈力體：

習知的彈性電觸接點17的形狀為V型，該彈性電觸接點17的左側用於承接該受測元件18下向壓抵的力量，當該彈性電觸接點17的左側被下壓後會使的右側向上抬起，為了使該彈性電觸接點17可以緩衝該受測元件18下壓的力量，必須另外於該彈性電觸接點17右側端點上設置該減彈性膠條15，來避免該彈性電觸接點17的左側端點產生過大的磨耗。

三、會發生接觸不良的狀況：

習知設置於該第一槽111與第二槽縫112中之彈性電觸接點17的位置並未被固定，當該彈性電觸接點17左側端點受到該受測元件18下向壓抵時會向使該彈性電觸接點17右滑動，而當該受測元件18離開該彈性電觸接點17左側端點時，該減壓彈性膠條15所提供的彈力會使該彈性電觸接點17向左滑動，由於該彈性電觸接點17的底部是與該負載板16的上表面抵接在一起，當該彈性電觸接點17發生左右滑動的狀況時，該彈性電觸接點17與該負載板16彼此之間會產生摩擦，不僅會影響該彈性電觸接點17與該負載板16的壽命，還會發生電性接觸不良的狀況，造成訊號的傳輸受到影響，因此習知電路測試裝置無法執行更為精密的電性量測。

因此，如何使該電路測試裝置可以偵測電極間距更小之積體電路的電性，並且可以執行較為精密的電性量測，更可以減少金屬探針的磨耗，是相關技術人員亟需努力的目標。

有鑑於此，本發明之目的是在提供一種彈性探針。

該彈性探針設置於一測試裝置中，該測試裝置中設置有一固定座及一測試開口。

該彈性探針包含一固定段、一第二彈性段、一彈性延伸段，及一接觸段。

該固定段固設於該固定座。

該第二彈性段與該固定座連接，該第二彈性段的結構是朝向該測試開口的方向進行彎曲。

該彈性延伸段與該第二彈性段連接並延伸至該測試開口。

該接觸段與該彈性延伸段連接並從該測試開口向外突出。

本發明的又一技術手段，是在於上述之彈性探針更包含一第一彈性段，該第一彈性段設置於該固定段與該第二彈性段之間，該第一彈性段的結構是朝著相反該測試開口的方向進行彎曲。

本發明的另一技術手段，是在於上述之該第一彈性段彎曲的曲率是大於該第二彈性段彎曲的曲率，該第一彈性段彎曲的弧度為角度20度到角度90度，該第二彈性段彎曲的弧度為角度180度到角度270度。

本發明的再一技術手段，是在於上述之彈性探針更包含一套設於該彈性探針的絕緣套。

本發明的又一技術手段，是在於上述之絕緣套是套設於該彈性探針之固定段、第一彈性段、第二彈性段、彈性延伸段、接觸段、其中之一及其組合。

本發明的另一目的是提供一種電路測試裝置。

該電路測試裝置適用於取得一待測電路之至少一待測電極的電性。

該電路測試裝置包括一基座、至少一固定座、至少一彈性探針，及至少一檢測電極。

該基座包括至少一由該基座圍繞界定之測試槽，及至少一設置於該基座並與該測試槽連接之測試開口。

該固定座設置於該基座之測試槽中，該固定座包括至少一由該固定座圍繞界定之固定槽，該固定槽與該測試槽連接。

該彈性探針依序包括一固定段、一第一彈性段、一第二彈性段、一彈性延伸段，及一接觸段，該彈性探針之固定段設置於該固定座之固定槽並突出於該測試槽中，該第一彈性段朝著相反該測試開口的方向進行彎曲，該第二彈性段朝向該測試開口的方向進行彎曲，並由該彈性延伸段延伸至該測試開口，該接觸段由該測試開口向外突出並且設置位置與該待測電極的位置相配合，該待測電路之待測電極壓抵該接觸段並使該接觸段回縮於該測試開口，該第二彈性段可提供該接觸段抵接該待測電路之待測電極的彈力。

該檢測電極與設置於該基座中之彈性探針電性連接，該彈性探針之接觸段提供該待測電路之待測電極接觸以使該檢測電極與該待測電極電性連接。

本發明的再一技術手段，是在於上述之測試開口的開口方向與該固定槽的開口方向相反。

本發明的又一技術手段，是在於上述之彈性探針更包括一套設於該彈性探針表面的絕緣套。

本發明的另一技術手段，是在於上述之絕緣套套設於該固定段的表面，該固定座之固定槽固定複數個彈性探針之固定段，該複數彈性探針藉由設置之絕緣套而彼此絕緣。

本發明的再一技術手段，是在於上述之絕緣套套設於該接觸段的表面，該基座之測試開口中容置複數個彈性探針之接觸段，該複數彈性探針藉由設置之絕緣套而彼此絕緣。

本發明之有益功效在於，該固定座將該彈性探針之固定段進行固定，用於穩固該彈性探針在該測試裝置中的位置，該第一彈性段朝著相反該測試開口的方向進行彎曲，用於讓該第二彈性段的彎曲的弧度更大，以使該第二彈性段可以有效緩衝該接觸段被待測電路之待測電極抵壓的力量，並提供該接觸段抵接該待測電極的彈力。

11:殼體

12:固定體

13:定位塊

14:定位彈性膠條

15:減壓彈性膠條

16:負載板

17:彈性電觸接點

18:受測元件

21:待測電路

22:待測電極

3:基座

301:底板

302:側壁

303:上蓋

304:下隔板

305:上隔板

306:開口

31:測試槽

32:測試開口

33:填充物

4:固定座

41:固定槽

5:彈性探針

51:固定段

52:第一彈性段

53:第二彈性段

54:彈性延伸段

55:接觸段

551:平緩延伸部

56:絕緣套

6:檢測電極

61:電極絕緣套

圖1是一結構分解示意圖，說明台灣專利M340580，一種電路測試裝置的局部結構分解；圖2是一剖面示意圖，說明台灣專利M340580之電路測試裝置的局部剖面；圖3是一側視示意圖，為本發明彈性探針及電路測試裝置之一第一較佳實施例，說明該彈性探針的外觀； 圖4是一剖面示意圖，說明於該第一較佳實施例中，設有該彈性探針之電路測試裝置；圖5是一結構分解示意圖，說明於該第一較佳實施例中，該電路測試裝置之局部結構分解狀態；圖6是一剖面示意圖，為本發明彈性探針及電路測試裝置之一第二較佳實施例，說明一待測電路與該電路測試裝置的剖面；圖7是一剖面示意圖，為本發明彈性探針及電路測試裝置之一第三較佳實施例，說明一待測電路與該電路測試裝置的剖面；圖8是一側視示意圖，為本發明彈性探針及電路測試裝置之一第四較佳實施例，說明該彈性探針的外觀；圖9是一剖面示意圖，說明於該第四較佳實施例中，該彈性探針設置於一固定座及一基座的局部剖面態樣；圖10是一結構分解示意圖，說明於該第四較佳實施例中，該電路測試裝置之局部結構分解狀態；圖11是一側視示意圖，為本發明彈性探針及電路測試裝置之一第五較佳實施例，說明該彈性探針的外觀；圖12是一局部立體示意圖，說明於該第五較佳實施例中，一測試開口突伸出複數測試探針的狀態；圖13是一局部立體示意圖，為本發明彈性探針及電路測試裝置之一第六較佳實施例，說明一測試開口中同時容置二測試探針的接觸段；及圖14是一側視示意圖，為本發明彈性探針及電路測試裝置之一第七較佳實施例，說明該彈性探針的外觀。

有關本發明之相關申請專利特色與技術內容，在以下配合參考圖式之六個較佳實施例的詳細說明中，將可清楚地呈現。在進行詳細說明前應注意的是，類似的元件是以相同的編號來做表示。

參閱圖3、圖4，及圖5，為本發明一種彈性探針及電路測試裝置之一第一較佳實施例，該電路測試裝置適用於取得一待測電路21之複數待測電極22的電性，其中，該複數待測電極22為設置於該待測電路21側邊的針腳結構，實際實施時，該待測電路21可以是球柵陣列封裝(英語：Ball Grid Array，BGA)、覆晶技術(英語：Flip Chip)等的半導體結構，該電路測試裝置可以偵測設置於該待測電路21底部之複數待測電極22的電性，不應以此為限。

該電路測試裝置包括一基座3、複數固定座4、複數彈性探針5，及複數檢測電極6，實際實施時，該固定座4、該彈性探針5，及該檢測電極6的設置數量是配合該待測電路21之複數待測電極22，不應以此為限。

該基座3包括複數由該基座3圍繞界定之測試槽31，及複數設置於該基座3並與該測試槽31連接之測試開口32，該複數測試開口32的設置位置與該複數待測電極22的位置相配合。

於該第一較佳實施例，該基座3是由一底板301、複數圍繞該底板301之側壁302，及一設置於該複數側壁302上的上蓋303所構成，該底板301上方設有複數間隔設置之下隔板304，該上蓋303下方設有複數間隔設置之上隔板305，該複數上隔板305分別抵接該複數下隔板304並界定出該複數測試槽31，該複數測試開口32設置於該上蓋303並與該複數測試槽31相連通，每一測試槽31中設置一彈性探針5。

該複數固定座4設置於該基座3之測試槽31中，並包括複數由該固定座4圍繞界定之固定槽41，其中，該固定槽41與該測試槽31相連通， 實際實施時，可以於每一測試槽31設置一固定座4，並且該固定座4設置一固定槽41，不應以此為限。

該彈性探針5為長條形狀並具有彈性的導電材料，並依序包括一固定段51、一第一彈性段52、一第二彈性段53、一彈性延伸段54，及一接觸段55，該彈性探針5之固定段51設置於該固定座4之固定槽41並突出至該測試槽31中，該第一彈性段52朝著相反該測試開口32的方向進行彎曲，該第二彈性段53朝向該測試開口32的方向進行彎曲，並由該彈性延伸段54將該彈性探針5延伸至該測試開口32。

其中，該固定座4是一種夾持結構，用以夾住該彈性探針5的固定段51，可以固定該彈性探針5之固定段51在該測試槽31中的位置，舉例來說，該固定座4於該固定槽41中設有彈力夾片，所述彈力夾片可以緊緊夾住伸入該固定槽41之彈性探針5的固定段51，實際實施時，該固定槽41可使用其他的探針固定結構，不應以此為限，由於探針固定結構為習知技術，非本案之重點，於此不再詳加贅述。

另外，位於該基座3左側之彈性探針5中，該第一彈性段52從該固定段51向下延伸後於該測試槽31中向左彎曲約角度60度(彎曲的弧度約為1/3 π)，該第二彈性段53從該第一彈性段52延伸後於該測試槽31中向下並向右彎曲約角度225度(彎曲的弧度約為5/4 π)，位於該基座3右側的彈性探針5為左側的鏡像設置，實際實施時，該第一彈性段52彎曲的弧度可介於角度20度到角度90度，該第二彈性段53彎曲的弧度可介於角度180度到角度270度，不應以此為限。

於該第一較佳實施例，該第一彈性段52彎曲的曲率是大於該第二彈性段53彎曲的曲率，曲線的曲率(curvature)為曲線上某個點的切線方向角對弧長的轉動率，曲率越大表示曲線的彎曲的程度越大，因此位 於該基座3左側之彈性探針5由該測試槽31向外突出後是藉由該第一彈性段52以較大的曲率快速向左彎曲，接著再以該第二彈性段53以較小的曲率慢慢向下並向右彎曲至該測試開口32的方向，可使該第二彈性段53呈現較大的圓弧彎曲形狀，由於該第二彈性段53具有較大的彎曲角度及較小的彎曲曲率，因此可以使該彈性探針5提供更好的彈性。

該彈性延伸段54支撐著該接觸段55以使該接觸段55由該測試開口32向外突出，並且該接觸段55的設置位置與該待測電極22的位置相配合，以使該待測電路21接近該基座3時，可使該複數待測電極22抵壓該複數彈性探針5的接觸段55，較佳地，該彈性探針5之接觸段55靠近該彈性延伸段54具有一平緩延伸部551，該平緩延伸部551用以使該彈性探針5之接觸段55設置於對應的測試開口32的位置，舉例來說，該複數測試開口32於該上蓋303上呈矩陣排列時，不同的平緩延伸部551可將彈性探針5之接觸段55設置在正確的測試開口32中，實際實施時，該接觸段55可不需要設置該平緩延伸部551，不應以此為限。

較佳地，位於該上蓋303之複數測試開口32的開口方向朝上，可使該彈性探針5之接觸段55向上伸出，位於該固定座4之固定槽41的開口方向朝下，以使該彈性探針5之固定段51向下伸出，該彈性探針5由該固定槽41向下突出後，藉由該第一彈性段52的彎曲可使該彈性探針5與該檢測電極6接觸，再藉由該第二彈性段53轉向該測試開口32的方向並由該彈性延伸段54延伸至該測試開口32，最後利用該接觸段55從該測試開口32向外突出，由於該測試開口32的開口方向與該固定槽41的開口方向相反，並藉由該第二彈性段53之大角度圓弧形狀，可提供該彈性探針5提供絕佳的彈性力，其中，該固定段51與該接觸段55是設置於該第二彈性段53的同一 側邊，並且與該第二彈性段53連接之固定段51伸入該固定槽41之方向，是相同於該接觸段55從該測試開口32向外突出之方向。

該複數檢測電極6設置於該基座3中並分別與設置於該基座3中之複數彈性探針5電性連接，該複數彈性探針5之接觸段55提供該待測電路21之待測電極22接觸以使該複數檢測電極6分別與該複數待測電極22電性連接，於該第一較佳實施例中，該複數檢測電極6是設置於該基座3之複數側壁302上，彎曲的第一彈性段52可使該第二彈性段53的側緣抵觸該檢測電極6之表面，並且提供該第二彈性段53壓抵該檢測電極6的彈力，實際實施時，該複數檢測電極6可以設置於該基座3的其他位置，例如可將該複數檢測電極6設置於該底板301的上表面，以使該第二彈性段53的底緣可以抵觸該檢測電極6的表面，不應以此為限。

請參閱圖6，為本發明一種彈性探針及電路測試裝置之一第二較佳實施例，該第二較佳實施例與該第一較佳實施例大致相同，相同之處不再詳述，不同之處在於該複數測試槽31中充滿填充物33，較佳地，該填充物33為矽膠，實際實施時，可填充其他具有彈性的絕緣材料，不應以此為限。

其中，該待測電路21是一種球柵陣列封裝(英語：Ball Grid Array，BGA)的封裝結構，該複數待測電極22為設置於該待測電路21底面的錫球，設置於該複數測試開口32中之彈性探針5之接觸段55的位置對應該複數待測電路21的位置，該底板301上開設有複數開口306，該複數開口306可供該彈性探針5之第二彈力段53底緣向外突出，用以與測試平台(圖式未示出)之複數檢測電極6電性接觸，該電路測試裝置可組裝在該測試平台上，藉此可使該測試平台取得該複數待測電路21的電性。

請參閱圖7，為本發明一種彈性探針及電路測試裝置之一第三較佳實施例，該第三較佳實施例與該第二較佳實施例大致相同，相同之處不再詳述，不同之處在於該複數測試槽31中充滿填充物33並未填滿該測試槽31的整個空間。

較佳地，該填充物33包覆該固定座4，並藉由該填充物33固定該固定座4在該測試槽31中的位置，除此之外，該填充物33與該彈性探針5之接觸段55接觸，可固定該接觸段55的位置而提供絕緣的效果，也可以提供彈力給該接觸段55。

請參閱圖8、圖9，及圖10，為本發明一種彈性探針及電路測試裝置之一第四較佳實施例，該第四較佳實施例與該第一較佳實施例大致相同，相同之處不再詳述，不同之處在於該彈性探針5更包含一套設於該固定段51表面的絕緣套56，其中，設置於該固定段51表面的絕緣套56延伸至該第一彈性段52的表面，較佳地，該絕緣套56軟性絕緣塑膠(聚醯亞胺，Polyimide，PI)，實際實施時，該絕緣套56可使用其他的絕緣材料，並且不需要延伸至該第一彈性段52的表面，不應以此為限。

該固定座4上設置一個固定槽41，該固定槽41可同時容置六條彈性探針5之固定段51並加以固定，該複數彈性探針5的彈性延伸段54再以扇形的方式分別延伸至對應的測試開口32，其中，該基座3之側壁302上可設置複數絕緣溝槽(圖式未示出)的結構，每一絕緣溝槽之底部設置一檢測電極6，該複數絕緣溝槽分別容置該複數第二彈性段53，以使該第二彈性段53分別與複數檢測電極6電性接觸。

於該第四較佳實施例中，藉由該彈性探針5之固定段51及第一彈性段52之表面設置的絕緣套56，可使一個固定槽41中固定複數彈性探 針5的位置，該固定座4的結構相較該第一較佳實施例之固定座4較為簡單，藉此縮小該固定座4的體積，進一步縮減該電路測試裝置的體積。

請參閱圖10，為本發明一種彈性探針及電路測試裝置之一第五較佳實施例，該第五較佳實施例與該第四較佳實施例大致相同，相同之處於此不再詳述，不同之處在於，該複數彈性探針5之固定段51、第一彈性段52、第二彈性段53、彈性延伸段54及接觸段55的外側皆包覆該絕緣套56，其中，該彈性探針5之接觸段55的端部突出該絕緣套56一段長度。

於該第五較佳實施例，該複數檢測電極6分別為連接該彈性探針5之固定段51端部的電線，並且該複數檢測電極6的外側也分別包複一電極絕緣套61，該複數檢測電極6可將該複數彈性探針5之電訊號傳輸至一訊號分析裝置(圖式未示出)，用以分析該待測電路21的電路特性。

請配合參閱圖12，藉由設置於該複數彈性探針5之絕緣套56，可使該複數彈性探針5彼此靠緊而不會產生短路狀況，不僅能使複數彈性探針5之固定段51固設於同一個固定槽41中，更可以使該複數彈性探針5之接觸段55同時設置在同一個測試開口32中，於該第五較佳實施例，該複數接觸段55是以橫向排列的方式設置在該測試開口32中，該複數彈性探針5之接觸段55由該測試開口32向外突出以供該待測電路21之待測電極22電性接觸，較佳地，該電路測試裝置中設置的每一條彈性探針5都包覆著該絕緣套56，實際實施時，可以將有包覆該絕緣套56之彈性探針5與未包覆該絕緣套56之彈性探針5交錯並排列設置，不應以本較佳實施例的舉例為限。

值得一提的是，由於複數彈性探針5之接觸段55共用同一個測試開口32，因此該複數彈性探針5之接觸段55彼此的間距不會受到複數測試開口32的結構限制，適用於取得具有較小間距之複數待測電極22的電性，實際實施時，該複數彈性探針5中可以只有該接觸段55設置有絕緣套 56而彼此靠緊，該複數彈性探針5以扇形展開而使該固定段51、該第一彈性段52、該第二彈性段53及該彈性延伸段54彼此間隔，並且該複數固定段51分設於複數固定槽41中，不應以此為限。

請配合參閱圖13，為本發明一種彈性探針及電路測試裝置之一第六較佳實施例，該第六較佳實施例與該第五較佳實施例大致相同，相同之處於此不再詳述，不同之處在於，該測試開口32中設置二彈性探針5之接觸段55，且該二接觸段55是以橫向排列的方式設置在該測試開口32中，實際實施時，複數接觸段55可以不同的排列方式設置在該試開口32中，舉例離說，可以矩陣的方式將複數接觸段55設置在該試開口32中，不應以此為限。

請參閱圖14，為本發明一種彈性探針及電路測試裝置之一第七較佳實施例，該彈性探針5包括一固定段51、一與該固定段51連接之第二彈性段53、一與該第二彈性段53連接之彈性延伸段54，及一與該彈性延伸段54連接之接觸段55。

該固定座4與該上蓋303連接，該固定座4上設置有一朝下的固定槽41，該上蓋303設置有一開口32，該彈性探針5之固定段51設置於該固定座4之固定槽41，該第二彈性段53由該固定段51向下延伸後向該開口32轉向，該彈性延伸段54將轉向後的第二彈性段53延伸到該開口32處，在藉由該接觸段55由該開口32處向上突出。

由該開口32處向上突出之接觸段55可供待測電路21之待測電極22接觸，該第二彈性段53底部用於接觸檢測電極6，以使該彈性探針5可以傳輸該待測電極22及該檢測電極6的電性訊號，並且可以緩衝該待測電路21的下壓力，其中，設置於該上蓋303的底部空間中可以填充矽膠。

由上述說明可知，本發明一種彈性探針及電路測試裝置確實具有下列功效：

一、可以檢測間距較小的電極：

設置於該固定段51表面的絕緣套56可使該固定槽41同時固定複數彈性探針5之固定段51，或是設置於該接觸段55表面的絕緣套56可使該測試開口32可以容置複數彈性探針5之接觸段55，用以縮小該複數彈性探針5的間距甚至達到靠緊的程度來不會發生短路的狀況，藉此可以用於檢測複數具有較小間距之待測電極22的電性。

二、可以不需要另外設置緩衝彈力體：

由於該彈性探針5之第一彈性段52彎曲的曲率是大於第二彈性段53彎曲的曲率，並且該第二彈性段53彎曲的弧度可介於角度180度到角度270度，可使該第二彈性段53提供該彈性探針5更好的彈性，以使該電路測試裝置中可以不需要另外設置緩衝彈力體。

三、不會發生接觸不良的狀況：

該固定座4之固定槽41可以將該彈性探針5固定於該測試槽31中，以使該彈性探針5不會在該測試槽31中產生滑動的狀況，並且該第一彈性段52朝著相反該測試開口32的方向進行彎曲，可使該第二彈性段53的側緣抵觸該檢測電極6，並且可提供該第二彈性段53壓抵該檢測電極6的彈力，由於該第二彈性段53的側緣緊緊抵觸該檢測電極6並且不會產生滑動的狀況，因此該彈性探針5與該檢測電極6的電性接觸良好，不會發生接觸不良的狀況。

綜上所述，該第一彈性段52向該檢測電極6的方向彎曲，可使該第二彈性段53的側緣與該檢測電極6抵接，該固定座4固定該彈性探針5之固定段51的位置，可使該第二彈性段53與該檢測電極6之間不會產生滑 動，該第二彈性段53向該測試開口32的方向彎曲，以使該彈性延伸段54朝著該測試開口32方向延伸並將該接觸段55由該測試開口32向外突出，該第二彈性段53具有較大的彎曲及弧度及較小的彎曲曲率可以有效緩衝該待測電極22抵壓該接觸段55的壓力，設置於彈性探針5之絕緣套56可以使複數彈性探針5彼此靠緊並彼此絕緣，藉此提供更小的電極測試間距，故確實可以達成本發明之目的。

惟以上所述者，僅為本發明之六個較佳實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，即大凡依本發明申請專利範圍及發明說明內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。

21:待測電路

22:待測電極

3:基座

301:底板

302:側壁

303:上蓋

31:測試槽

32:測試開口

4:固定座

41:固定槽

5:彈性探針

6:檢測電極

Claims (10)

1. 一種彈性探針，設置於一測試裝置中，該測試裝置中設置有一固定座及一測試開口，該固定座設有一固定槽，其包含：一固定段，固設於該固定座之固定槽；一第二彈性段，與該固定座及該固定段連接，該第二彈性段的結構是朝向該測試開口的方向進行彎曲；一彈性延伸段，與該第二彈性段連接並延伸至該測試開口；及一接觸段，與該彈性延伸段連接並從該測試開口向外突出；其中，該固定段與該接觸段是設置於該第二彈性段的同一側邊，並且與該第二彈性段連接之固定段伸入該固定槽的方向，是相同於該接觸段從該測試開口向外突出之方向。
2. 如請求項1所述彈性探針，更包含一第一彈性段，該第一彈性段設置於該固定段與該第二彈性段之間，該第一彈性段的結構是朝著相反該測試開口的方向進行彎曲。
3. 如請求項1所述彈性探針，其中，該第一彈性段彎曲的曲率是大於該第二彈性段彎曲的曲率，該第一彈性段彎曲的弧度為角度20度到角度90度，該第二彈性段彎曲的弧度為角度180度到角度270度。
4. 如請求項1所述彈性探針，更包含一套設於該彈性探針表面的絕緣套。
5. 如請求項2所述彈性探針，其中，該絕緣套是套設於該彈性探針之固定段、第一彈性段、第二彈性段、彈性延伸段、接觸段、其中之一及其組合。
6. 一種電路測試裝置，適用於取得一待測電路之至少一待測電極的電性，並包括：一基座，包括至少一由該基座圍繞界定之測試槽，及至少一設置於該基座並與該測試槽連接之測試開口；至少一固定座，設置於該基座之測試槽中，並包括至少一由該固定座圍繞界定之固定槽，該固定槽與該測試槽連接；至少一如請求項1~5任一項所述彈性探針，依序包括一固定段、一第一彈性段、一第二彈性段、一彈性延伸段，及一接觸段，該彈性探針之固定段設置於該固定座之固定槽並突出於該測試槽中，該第一彈性段朝著相反該測試開口的方向進行彎曲，該第二彈性段朝向該測試開口的方向進行彎曲，並由該彈性延伸段延伸至該測試開口，該接觸段由該測試開口向外突出並且設置位置與該待測電極的位置相配合；及至少一檢測電極，與設置於該基座中之彈性探針電性連接，該彈性探針之接觸段提供該待測電路之待測電極接觸以使該檢測電極與該待測電極電性連接。
7. 如請求項6所述電路測試裝置，其中，該測試開口的開口方向與該固定槽的開口方向相反。
8. 如請求項6所述電路測試裝置，其中，該彈性探針更包括一套設於該彈性探針表面的絕緣套。
9. 如請求項8所述電路測試裝置，其中，該絕緣套套設於該固定段的表面，該固定座之固定槽固定複數個彈性探針之固定段，該複數彈性探針藉由設置之絕緣套而彼此絕緣。
10. 如請求項8所述電路測試裝置，其中，該絕緣套套設於該接觸段的表面，該基座之測試開口中容置複數個彈性探針之接觸段，該複數彈性探針藉由設置之絕緣套而彼此絕緣。