KR100720605B1 - 회전방향으로 진동하는 관성체를 구비한 각속도 검출기 - Google Patents

회전방향으로 진동하는 관성체를 구비한 각속도 검출기 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 각속도 검출기(100)는 구동빔(40)을 통해 기판(10)에 지지되는 원판형상의 관성체(30) 및 검출빔(50)을 통해 상기 관성체(30)에 연결되는 제2관성부(32)를 포함한다. 상기 관성체(30)는 중심축(z) 주위의 회전방향으로 정전기력에 의해 진동한다. 상기 중심축(z)에 직교하는 제1검출축(x) 주위의 각속도(Ωx)가 관성체(30)가 진동하는 동안에 제2관성부(32)에 가해지는 경우, 상기 제2관성부(32)는 중심축(z)에 평행한 방향으로 변위된다. 상기 제2관성부(32)와 기판(10) 사이의 커패시턴스는 제2관성부(32)의 변위에 따라서 변화한다. 상기 각속도(Ωx)는 커패시턴스의 변화에 근거하여 검출된다. 상기 구동빔(40)은 관성체(30)가 회전방향으로만 진동될 수 있도록 하기 때문에, 상기 구동빔(40)은 용이하게 형성 및 제조된다.
관성체, 제1관성부, 제2관성부, 구동빔, 검출빔, 검출축, 중심축

Description

회전방향으로 진동하는 관성체를 구비한 각속도 검출기{ANGULAR VELOCITY DETECTOR HAVING INERTIAL MASS OSCILLATING IN ROTATIONAL DIRECTION}
도1a는 본 발명의 제1실시예에 따른 각속도 검출기를 나타낸 평면도.
도1b는 도1a의 IB-IB라인에 따라 각속도 검출기를 나타낸 단면도.
도2a는 본 발명의 제2실시예에 따른 각속도 검출기를 나타낸 평면도.
도2b는 도2a의 IIB-IIB라인에 따라 각속도 검출기를 나타낸 단면도.
도3a는 종래기술에 따른 각속도 검출기를 나타낸 평면도.
도3b는 도3a의 IIIB-IIIB라인에 따라 각속도 검출기를 나타낸 단면도.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
10: 기판 20: 지지부
30: 관성체 31: 제1관성부
31a: 이동전극 32: 제2관성부
40: 구동빔 50: 검출빔
60, 61: 구동전극 60a, 61a: 고정전극
70: 검출전극 x: 제1검출축
y: 제2검출축 z: 중심축
본 발명은 회전방향으로 진동하는 관성체를 구비하는 각속도 검출기에 관한 것이다.
회전방향으로 진동하는 관성체를 구비하는 각속도 검출기는 관성체의 회전축에 직교하는 검출축의 주위로 가해지는 각속도를 검출한다. 상기 관성체가 회전중심의 주위로 진동하는 경우, 상기 관성체는 관성체에 가해지는 코리올리력(Coriolis force)에 의해 변위된다. 이러한 방식의 각속도 검출기의 일예는 일본공개특허공보 제2001-99855호에 제안되어 있다.
다른 방식의 각속도 검출기는 관성체를 직선방향을 따라 진동시키는 코리올리력을 이용한다. 이러한 각속도 검출기에서, 상기 관성체는 진동하는 방향을 따라 직선방향에 대해 직교하는 방향으로 각속도에 의해 변위된다. 그러나, 상기 각속도 검출기에서, 각속도가 0이라도 선가속도(linear acceleration)가 검출방향으로 가해지는 경우, 각속도는 잘못 검출된다. 이와 같이 잘못 검출되는 선가속도를 없애기 위해서, 서로 역상(opposite phase)으로 진동하는 두개의 관성체가 이용된다. 그러나, 이와 같은 상기 각속도 검출기의 구조는 복잡하게 이루어지는 문제점이 있다.
회전중심의 주위로 진동하는 관성체를 구비한 검출기는 직선방향을 따라 진동하는 관성체를 구비한 각속도 검출기에 대향되기 때문에, 상기 회전중심의 주위로 진동하는 관성체를 구비한 검출기는 선가속도를 없애기 위한 어떠한 수단도 필요하지 않다. 상기 회전중심의 주위로 진동하는 관성체를 구비한 일반적인 검출기의 필수 구성은 도3a 및 도3b에 나타나 있다. 상기 각속도 검출기(J100)는 기판(10)에 지지되는 관성체(30)를 포함한다. 상기 관성체(30)는 기판(10)의 평면에 직교하는 중심축(z)의 주위로 진동한다.
상기 각속도 검출기(J100)는 기판(10), 희생층(sacrifice layer)(11) 및 반도체층(12)의 순서로 적층되는 3층 구조의 반도체 플레이트를 에칭(etching)함으로써 제조된다. 도3a에 나타낸 원판 형상의 관성체(30), 구동빔(driving beam)(40), 구동전극(60, 61) 및 다른 구성부품들은 반도체층(12)을 패터닝(patterning)함으로써 형성된다. 그리고, 상기 관성체(30)는 희생층(11)을 부분적으로 제거함에 의해 기판(10)에서 분리된다. 상기 관성체(30)는 희생층(11)으로 이루어지는 지지부(20)에 구동빔(40)을 통해 탄성적으로 연결된다. 각속도(Ωx)가 검출축(x) 주위로 가해지는 경우, 즉 상기 각속도(Ωx)가 중심축(z)에 직교하며 기판(10)의 평면에 평행한 경우, 상기 관성체(30)가 중심축(z) 주위로 진동가능하고, 상기 관성체(30)가 중심축(z)에 대하여 평행한 방향으로 변형가능하도록 상기 구동빔(40)이 이루어진다.
상기 중심축(z) 주위로 관성체(30)를 진동하기 위한 구동전극(60, 61)은 기판(10)에 희생층(11)을 통해 고정된다. 상기 관성체(30)가 중심축(z) 주위로 진동하기 위해서, 역상의 교류(opposite alternating current phase)를 갖는 구동신호는 제1구동전극(60)과 제2구동전극(61)에 각각 공급된다. 상기 관성체(30)에 접속되는 이동전극(31a)과 대향되는 고정전극(60a, 61a)에 각 구동전극(60, 61)이 접속된다. 상기 구동전극(60, 61)에 구동력이 공급되는 경우, 도3a의 화살표로 나타낸 바와 같이, 상기 관성체(30)는 고정전극(60a, 61a)과 이동전극(31a) 사이의 정전기력에 의해 중심축(z) 주위의 전후방으로 진동한다. 작은 구동력으로부터 큰 진동력을 얻기 위해서, 상기 관성체(30)의 공진주파수는 구동력의 주파수와 일치하도록 이루어진다. 상기 관성체(30)의 공진주파수는 구동빔(40)의 종탄성계수(Young's modulus) 및 관성체(30)의 질량에 의해 결정된다.
상기 관성체(30)의 진동주기 동안에 검출축(x) 주위로 각속도(Ωx)가 가해지는 경우, 도3b에 나타낸 바와 같이, 상기 관성체(30)의 외주연부는 기판(10)의 평면에 직교하는 방향(중심축(z)에 평행한 방향)으로 코리올리력에 의해 변형된다. 따라서, 상기 관성체(30)의 외주연부와 기판(10)에 형성된 검출전극(70) 사이의 거리(커패시턴스(capacitance))는 각속도(Ωx)에 따라서 변화한다. 상기 각속도(Ωx)는 관성체(30)의 외주연부와 검출전극(70) 사이의 커패시턴스에 근거하여 검출된다.
전술한 일반적인 검출기(J100)에서, 상기 각속도는 기판(10)의 평면에 직교하는 방향으로 관성체(30)의 변형량에 근거하여 검출되기 때문에, 상기 구동빔(40)은 관성체(30)가 양방향, 즉 회전방향 및 축방향(중심축(z)의 방향)으로 이동하도록 이루어져야 한다. 따라서, 상기 구동빔(40)은 회전방향 및 축방향으로 공진주파 수를 충분히 고려하여 형성 및 제조될 필요가 있다. 여기에서, 상기 구동빔(40)은 양방향으로 소정의 공진주파수가 달성되도록 정확한 치수로 이루어지는 것은 특히 어려운 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 상기의 제반 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서, 용이하게 형성 및 제조될 수 있는 구동빔을 구비한 향상된 각속도 검출기를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 각속도 검출기는 주로 구동빔을 통해 기판에 지지되는 원판형상의 관성체 및 검출빔을 통해 상기 관성체에 연결되는 제2관성부로 이루어진다. 상기 관성체는 중심축(z) 주위의 회전방향으로 정전기력에 의해 진동된다. 상기 구동빔은 관성체의 진동이 회전방향으로만 허용되도록 탄성적으로 이루어진다. 상기 관성체에 제2관성부를 연결하는 검출빔은 제2관성부가 중심축(z)에 평행하며 관성체의 평면에 직교하는 축방향으로만 변위되도록 탄성적으로 이루어진다.
상기 각속도 검출기는 기판, 희생층 및 반도체층의 순서로 적층되어 구성되는 3층의 플레이트로 제조된다. 상기 원판형상의 관성체는 에칭에 의해 희생층을 제거함으로써 구동빔에 의해서만 기판에 지지되도록 기판으로부터 분리된다. 또한, 상기 구동빔, 제2관성부 및 검출빔은 에칭에 의해 반도체층으로부터 패터닝된다.
상기 관성체가 중심축(z) 주위의 전후방으로 진동하는 동안에 상기 중심축(z)에 직교하며 관성체의 평면에 평행한 제1검출축(x) 주위로 각속도가 가해지는 경우, 상기 검출빔을 통해 관성체에 연결되는 제2관성부는 중심축(z)에 평행한 방향으로 변위된다. 상기 제2관성부와 기판에 형성되는 검출전극 사이에 형성되는 커패시턴스는 제2관성부의 변위에 따라서 변화한다. 상기 제1검출축(x) 주위의 각속도는 커패시턴스의 변화에 근거해서 검출된다.
상기 제1검출축(x) 주위로 검출되는 각속도로부터 중심축(z)의 방향으로 가해지는 소정의 가속도 성분을 없애기 위해서 한쌍의 제2관성부는 중심축(z)에 대하여 대칭되게 위치될 수 있다. 상기 가속도 성분을 없애는 것은 쌍으로 이루어지는 제2관성부 사이의 변위차이에 의해서 달성될 수 있다. 상기 제1검출축(x) 주위의 각속도는 한쌍에 의해 검출되고, 상기 제1검출축(x)에 직교하는 제2검출축(y) 주위의 다른 각속도는 다른 쌍에 의해 검출되도록 두쌍의 제2관성부가 이용될 수 있다.
본 발명의 각속도 검출기에서, 상기 기판에 관성체를 연결하는 구동빔은 회전방향으로만 관성체의 진동을 허용하지만, 반면에 상기 관성체에 제2관성부를 연결하는 검출빔은 제2관성부를 축방향으로만 변위되도록 이루어진다. 따라서, 상기 양 빔(구동빔 및 검출빔)은 여러 요인에 의해 제한되지 않고도 용이하게 형성 및 제조된다.
상술한 목적, 특징들 및 장점은 첨부된 도면과 관련한 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해 질 것이다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
본 발명의 제1실시예는 도1a 및 도1b에 나타낸 각속도 검출기(100)의 평면도 및 단면도를 참조하여 설명한다. 도1a의 해칭은 단면을 의미하는 것이 아니라 구성부품의 상부 평면을 나타낸 것이다. 관성체(inertial mass)(30)와 구동전극(driving electrode)(60, 61)을 보다 명확하게 식별하기 위해서, 상기 관성체(30)는 해칭으로 표시하고 상기 구동전극(60, 61)은 점으로 표시한다.
상기 각속도 검출기(100)는 기판(10), 실리콘 산화층(silicon oxide layer)과 같은 희생층(sacrifice layer)(11) 및 에피택셜 폴리실리콘층(epitaxial poly-silicon layer)과 같은 반도체층(12)의 순서로 적층되어 구성되는 3층의 플레이트로 제조된다. 상기 검출기(100)는 공지된 반도체 가공기술로 제조된다. 상기 희생층(11)의 부분은 기판(10)으로부터 관성체(30)를 분리하기 위하여 에칭(etching)에 의해서 제거된다. 또한, 상기 각속도 검출기(100)는 실리콘 온 인슐레이터(silicon-on-insulator; SOI) 기판으로 제조될 수 있다. 상기 SOI 기판의 경우, 반도체층의 상측에 불순물을 확산시켜서 전기전도성을 높이는 것이 바람직하다.
예를 들면, 상기 각속도 검출기(100)는 차량에 장착되는 요잉율센서(yaw rate sensor), 롤링율센서(roll rate sensor) 또는 피칭율센서(pitch rate sensor)와 같은 장치로서 이용된다. 상기 각속도 검출기(100)를 요잉율센서로 이용하기 위해서, 상기 기판(10)의 평면이 수직으로 이루어지도록 차량에 장착된다. 또한, 상기 각속도 검출기(100)를 롤링율센서 또는 피칭율센서로 이용하기 위해서, 상기 기판(10)의 평면이 수평으로 되도록 위치된다.
상기 각속도 검출기(100)는, 예를 들어 다음과 같은 방법으로 3층의 플레이트로 이루어진다. 먼저, 상기 관성체(30), 구동빔(driving beam)(40), 검출빔(50) 및 구동전극(60, 61) 같은 구성부품은 에칭에 의해 반도체층(12)에 패터닝(patterning)된다. 그리고, 상기 희생층(11)의 부분을 에칭에 의해 제거함으로써 기판(10)에 지지부(20)가 형성된다.
상기 희생층(11)으로 이루어지는 지지부(20)는 기판(10)에 고정되고, 상기 관성체(30)는 네개의 구동빔(40)을 통해 지지부(20)에 지지된다. 상기 지지부(20)는 정사각형 형상이며 기판(10)의 중심에 위치된다. 상기 구동빔(40)의 일단은 지지부(20)에 고정되고, 상기 구동빔(40)의 타단은 관성체(30)의 내경에 연결된다. 상기 관성체(30)가 기판(10)의 평면에 직교하는 중심축(z) 주위로 회전 또는 진동가능하도록 상기 구동빔(40)은 탄성적으로 이루어진다. 상기 구동빔(40)은, 관성체가(30)가 대략 회전방향으로만 이동될 수 있도록 하고, 상기 관성체가(30)가 축방향, 즉 중심축(z)에 평행한 방향으로는 이동될 수 없도록 한다.
상기 관성체(30)는 구동빔(40)이 위치되는 부분에 중심홀을 가지는 원판형상으로 이루어진다. 도1a에 나타낸 바와 같이, 상기 관성체(30)는 하나의 제1관성부(first mass)(31)와 한쌍의 제2관성부(32)로 구성되고, 상기 제2관성부(32)는 중심축(z)에 대하여 대칭되게 상기 제1관성부(31)의 절단부(cutout portion)에 위치된다. 상기 제1관성부(31)의 절단부에 제2관성부(32)를 위치시킴으로써, 상기 검출기(100)의 크기가 증가되는 것을 방지할 수 있다. 상기 제2관성부(32)는 대략 축방향으로만 탄성적으로 변형가능한 검출빔(50)을 통해 제1관성부(31)에 연결된다. 상기 제1관성부(31) 및 한쌍의 제2관성부(32)를 포함하는 전체의 관성체(30)는 중심축(z) 주위로 진동가능하지만, 반면에 상기 제2관성부(32)만은 축방향으로 변위가능하도록 이루어진다.
상기 관성체(30)를 중심축(z) 주위의 회전방향으로 진동시키기 위해서, 도1a에 나타낸 바와 같이 네부분의 위치에서 제1관성부(31)에 이동전극(31a)이 접속된다. 상기 제1구동전극(60)에 접속되는 고정전극(60a)과 제2구동전극(61)에 접속되는 고정전극(61a)은 이동전극(31a)에 대향되게 형성된다. 역상의 교류성분을 갖는 전력은 중심축(z) 주위로 관성체(30)의 진동운동을 발생시키기 위해서 제1구동전극(60) 및 제2구동전극(61)에 각각 공급된다. 상기 관성체(30)는 이동전극(31a)과 고정전극(60a, 61a) 사이의 정전기력에 의해 회전방향으로 진동된다. 또한, 상기 구동력을 최소화시키기 위해서, 상기 구동력의 주파수는 관성체(30)의 공진주파수와 일치하도록 셋팅된다. 여기에서, 상기 제2관성부(32)의 공진주파수와 관성체(30)의 공진주파수는 다르다.
상기 기판(10)의 제2관성부(32)와 대향되는 위치에 한쌍의 검출전극(70)이 형성된다. 상기 검출전극(70)과 제2관성부(32) 사이에는 커패시터(capacitor)가 형성된다. 도1b에 점선으로 나타낸 바와 같이, 상기 제2관성부(32)가 축방향으로 변위되는 경우, 상기 커패시터의 커패시턴스(capacitance)는 변화한다. 상기 검출전극(70)은 커패시턴스의 변화를 검출하기 위한 회로(미도시)에 접속된다. 상기 구동전극(60, 61)은 구동력 공급용 전원에 접속된다. 이러한 검출회로 및 전원회로는 각속도 검출기(100)와 다른 칩(chip)에 형성될 수 있다. 또한, 이러한 회로는 각속 도 검출기(100)가 형성되는 동일한 칩에 형성될 수 있다.
이하, 상기 각속도 검출기(100)의 작동에 대해서 설명한다. 교류성분을 가지는 제1구동력은 제1구동전극(60)에 공급되고, 상기 제1구동력의 교류성분과 대향되는 위상, 즉 역상의 교류성분을 가지는 제2구동력은 제2구동전극(61)에 공급된다. 도1a의 화살표로 나타낸 바와 같이, 상기 관성체(30)는 고정전극(60a, 61a)과 이동전극(31a) 사이의 정전기력에 의해 중심축(z) 주위의 전후방으로 진동한다.
상기 관성체(30)가 중심축(z) 주위로 진동하는 동안, 상기 중심축(z)에 직교하며 기판(10)의 평면에 평행한 방향으로 제1검출축(x) 주위에서 각속도(Ωx)가 가해지는 경우, 상기 제2관성부(32)는 중심축(z)에 평행한 방향으로 코리올리력(Coriolis force)에 의해 변위된다. 상기 제2관성부(32)와 검출전극(70) 사이의 커패시턴스는 각속도(Ωx)에 따라서 변화한다. 상기 커패시턴스의 변화를 검출함으로써, 상기 각속도(Ωx)는 검출된다. 본 실시예에서, 두개의 제2관성부(32)는 중심축(z)에 대해서 대칭되게 위치되고, 상기 두개의 제2관성부(32)는 서로 대향되는 방향으로 변위된다. 이에 따라, 본 실시예에서, 상기 각속도(Ωx)의 양은 양측의 검출전극(70)의 출력 사이의 차이(차등출력)에 근거해서 검출된다.
이하, 전술한 제1실시예에 의해 달성되는 효과 및 장점을 설명한다. 상기 제2관성부(32)가 축방향(기판(10)의 평면에 직교하는 방향)으로 변위되는 동안에 상기 제1관성부(31)와 제2관성부(32)를 포함하는 관성체(30)는 회전방향으로 진동하기 때문에, 상기 검출빔(50)은 구동빔(40)과는 독립적으로 형성 및 제조되고, 이에 따라 상기 검출빔(50)은 축방향으로만 변형된다. 반면에, 상기 구동빔(40)이 회전 방향으로만 진동하도록 구동빔(40)은 형성 및 제조된다. 따라서, 상기 구동빔(40) 및 검출빔(50)은 용이하게 형성 및 제조될 수 있다. 이로 인하여, 특히 상기 빔(40, 50)이 매우 정확한 치수로 이루어지는 것은 필요하지 않다.
상기 구동빔(40)은 축방향(중심축(z)에 평행한 방향)으로 진동하지 않도록 형성되기 때문에, 회전방향으로의 진동은 축방향으로의 검출신호에 누락되지 않는다. 따라서, 상기 각속도 검출기의 검출 정확도는 향상될 수 있다. 두개의 제2관성부(32)는 중심축(z)에 대하여 대칭되게 제공되기 때문에, 상기 중심축(z) 방향으로 선가속도 때문에 발생하는 출력신호는 두개의 제2관성부(32) 사이에서 없어진다. 그러므로, 상기 각속도(Ωx)는 선가속도로부터 확실하게 분리될 수 있다.
본 발명의 제2실시예를 도2a 및 도2b를 참조하여 설명한다. 제2실시예의 각속도 검출기(200)는 상기 제1검출축(x)에 직교하며 기판(10)의 평면에 평행한 제2검출축(y) 주위로 각속도(Ωy)를 검출하기 위하여 한쌍 이상의 제2관성부(32)가 부가적으로 제공되는 것을 제외하고는 전술한 제1실시예의 각속도 검출기(100)와 유사하다. 다시 말해서, 제2실시예에서는 상기 제1검출축(x) 주위의 각속도(Ωx)에 부가해서 제2검출축(y) 주위로 각속도(Ωy)가 검출된다. 부가된 한쌍의 제2관성부(32)는 제2검출축(y)에 따라서 위치결정된다. 모든 제2관성부(32)는 제1관성부(31)의 절단부에 위치되고, 이에 따라 상기 각속도 검출기(200)의 크기는 부가된 한쌍의 제2관성부(32)로 인해서 커지지는 않는다.
상기 기판(10)의 평면이 수평으로 이루어지며 제2검출축(y)의 방향이 구동방향으로 이루어지도록 상기 각속도 검출기(200)가 차량에 위치되는 경우, 상기 피칭 은 각속도(Ωx)로 검출될 수 있으며 상기 롤링은 각속도(Ωy)로 검출될 수 있다. 본 제2실시예에서도 전술한 제1실시예와 유사한 효과 및 장점이 달성될 수 있다.
본 발명은 전술한 실시예에 한정되는 것은 아니고, 다양하게 변형될 수 있다. 예를 들면, 전술한 실시예에서 상기 제2관성부(32)가 한쌍으로 제공되는 경우에도, 하나의 축 주위의 각속도는 하나의 제2관성부(32)에 의해 검출될 수 있다. 또한, 전술한 실시예에서 상기 각속도 검출기가 3층의 플레이트로 제조되는 경우에도, 다른 소재(raw material)로 제조될 수 있다. 또한, 전술한 기능이 달성될 수 있는 한, 상기 제1관성부(31) 및 제2관성부(32)를 포함하는 관성체(30)의 형상은 다양하게 변형될 수 있다. 또한, 상기 구동빔(40)이 대략 회전방향으로 변형되며 상기 검출빔(50)이 대략 축방향으로 변형될 수 있는 한, 상기 구동빔(40) 및 검출빔(50)의 형상은 다양하게 변형될 수 있다. 여기에서, 상기 구동전극(60, 61), 고정전극(60a, 61a) 및 이동전극(31a)이 관성체(30)에 적절한 회전진동을 부여할 수 있는 한, 상기 구동전극(60, 61), 고정전극(60a, 61a) 및 이동전극(31a)의 형상은 다양하게 변형될 수 있다. 본 발명의 각속도 검출기는 차량이 아닌 여러 장치에서도 이용될 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
전술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 제2관성부가 축방향으로 변위되는 동안에 제1관성부와 제2관성부를 포함하는 관성체는 회전방향으로 진동하기 때문에, 검출빔은 구동빔과는 독립적으로 형성 및 제조되고, 이에 따라 구동빔 및 검출빔은 용이하게 형성 및 제조될 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 구동빔이 축방향으로 진동하지 않도록 형성되기 때문에, 각속도 검출기의 검출 정확도를 향상시킬 수 있는 효과도 있다.

Claims (4)

  1. 기판;
    상기 기판에 고정되는 지지부; 및
    상기 지지부에 의해 지지되어 기판의 평면에 직교하는 중심축 주위의 회전방향으로 진동가능한 관성체
    를 포함하며,
    상기 관성체는 탄성가능한 구동빔을 통해 지지부에 연결되는 제1관성부 및 상기 제1관성부에 탄성가능한 검출빔을 통해 연결되는 제2관성부를 포함하여, 상기 관성체가 중심축 주위의 회전방향으로 진동하는 경우, 상기 중심축에 직교하는 제1검출축 주위로 각속도의 가함에 따라 중심축에 평행한 방향으로 제2관성부가 변위가능하고;
    상기 제1검출축 주위의 각속도는 기판의 평면에 대하여 중심축에 평행한 방향으로 제2관성부의 변위에 근거해서 검출되는
    각속도 검출기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제2관성부는
    상기 제1검출축에 따라 위치결정되는 한쌍의 부재로 이루어지며, 상기 중심축에 대해서 대칭되게 이루어지는
    각속도 검출기.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제2관성부는, 기판의 평면에 평행하며 제1검출축에 직교하는 제2검출축에 따라 위치결정되는 제2의 한쌍의 부재를 더 포함하며, 상기 중심축에 대해서 대칭되게 이루어지고;
    상기 제2검출축 주위의 각속도는 기판의 평면에 대하여 제2의 한쌍의 부재의 변위에 근거해서 검출되는
    각속도 검출기.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 기판의 제2관성부와 대향되는 위치에 검출전극이 형성되어, 상기 검출전극과 제2관성부 사이에 커패시터가 형성되는
    각속도 검출기
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