KR100671253B1 - 정보 기록 매체와 그 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (70)
- 광의 조사 또는 전기적 에너지의 인가에 의해서, 정보의 기록 및 재생 중 적어도 하나를 가능하게 하는 정보 기록 매체에 있어서,Zr와, La, Ga 및 In로 이루어지는 그룹 GL1에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, 산소(O)를 포함하는 산화물계 재료층을 포함하고,상기 산화물계 재료층이, 하기의 식:ZrQ1L1T1O100-Q1-T1(원자%)(식 중, L1은 상기 그룹 GL1에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 나타내고, Q1 및 T1은 0<Q1<34, 0<T1<50, 20<Q1+T1<60을 만족한다)로 표시되는 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 삭제
- 제 1항에 있어서, 상기 L1이 Ga인 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 제 1항에 있어서, 상기 산화물계 재료층이, 하기의 식:(D1)X1(E1)100-X1(mol%)(식 중, D1은 Zr의 산화물을 나타내고, E1는 상기 그룹 GL1에서 선택되는 적어도 하나의 원소의 산화물을 나타내며, X1은 0<X1<100를 만족한다)로 표시할 수 있는 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 제 4항에 있어서, 상기 D1이 ZrO2이고, 상기 E1이 Ga2O3인 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 광의 조사 또는 전기적 에너지의 인가에 의해서, 정보의 기록 및 재생중 적어도 하나를 가능하게 하는 정보 기록 매체에 있어서, M1(단, M1은 Zr과 Hf의 혼합물 또는 Hf이다)과, La, Ce, Al, Ga, In, Mg 및 Y로 이루어지는 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, 산소(O)를 포함하는 산화물계 재료층을 포함하고,상기 산화물계 재료층이, 하기의 식:M1Q2L2T2O100-Q2-T2(원자%)(식 중, M1은 Zr과 Hf의 혼합물 또는 Hf를 나타내고, L2는 상기 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 나타내며, Q2 및 T2는 0<Q2<34, 0<T2<50, 20<Q2+T2<60을 만족한다)로 표시되는 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 삭제
- 제 6항에 있어서, 상기 L2가 Ga인 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 제 6항에 있어서, 상기 산화물계 재료층이, 하기의 식:(D2)X2(E2)100-X2(mol%)(식 중, D2는 상기 M1의 산화물을 나타내고, E2는 상기 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소의 산화물을 나타내며, X2는 0<X2<100을 만족한다)로 표시할 수 있는 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 제 9항에 있어서, 상기 E2가 Ga2O3인 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 광의 조사 또는 전기적 에너지의 인가에 의해서, 정보의 기록 및 재생중 적어도 하나를 가능하게 하는 정보 기록 매체에 있어서, Zr 및 Hf로 이루어지는 그룹 GM2에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, La, Ce, Al, Ga, In, Mg 및 Y로 이루어지는 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, Si와, 산소(O)를 포함하는 산화물계 재료층을 포함하고,상기 산화물계 재료층이, 하기의 식:M2Q3SiR1L2T3O100-Q3-R1-T3(원자%)(식 중, M2는 상기 그룹 GM2에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 나타내고, L2는 상기 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 나타내며, Q3, R1 및 T3은 0<Q3≤32, 0<R1≤32, 3<T3<43, 20<Q3+R1+T3<60을 만족한다)로 표시되는 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 삭제
- 제 11항에 있어서, 상기 M2가 Zr이고, 상기 L2가 Ga인 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 제 11항에 있어서, 상기 산화물계 재료층이, 하기의 식:(D3)X3(g)Z1(E2)100-X3-Z1(mol%)(식 중, D3는 상기 그룹 GM2에서 선택되는 적어도 하나의 원소의 산화물을 나타내고, g는 SiO2, Si3N4 및 SiC로 이루어지는 그룹에서 선택되는 적어도 하나의 화합물을 나타내고, E2는 상기 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소의 산화물을 나타내며, X3 및 Z1은 10≤X3<90, 0<Z1≤50, 10<X3+Z1≤ 90을 만족한다)로 표시할 수 있는 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 제 14항에 있어서, 상기 D3가 ZrO2이고, 상기 E2가 Ga2O3인 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 광의 조사 또는 전기적 에너지의 인가에 의해서, 정보의 기록 및 재생중 적어도 하나를 가능하게 하는 정보 기록 매체에 있어서, Zr 및 Hf로 이루어지는 그룹 GM2에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, La, Ce, Al, Ga, In, Mg 및 Y로 이루어지는 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, Si와, 산소(O)를 포함하는 산화물계 재료층을 포함하고,상기 산화물계 재료층이, 또한 탄소(C), 질소(N) 및 Cr로 이루어지는 그룹 GK1에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 제 16항에 있어서, 상기 산화물계 재료층이, 하기의 식:M2Q3SiR 1L2T3K1J1O100-Q3-R1-T3-J1(원자%)(식 중, M2는 상기 그룹 GM2에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 나타내고, L2는 상기 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 나타내고, K1은 상기 그룹 GK1에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 나타내며, Q3, R1, T3 및 J1은 0<Q3≤32, 0<R1≤35, 2<T3≤40, 0<J1≤40, 20<Q3+R1+T3+J1<80을 만족한다)로 표시되는 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 제 17항에 있어서, 상기 M2가 Zr이고, 상기 L2가 Ga인 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 제 17항에 있어서, 상기 산화물계 재료층이, 하기의 식:(D3)X3(g)Z1(E2)100-X3-Z1(mol%)(식 중, D3은 상기 그룹 GM2에서 선택되는 적어도 하나의 원소의 산화물을 나타내고, g는 SiO2, Si3N4 및 SiC로 이루어지는 그룹에서 선택되는 적어도 하나의 화합물을 나타내고, E2는 상기 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소의 산화 물을 나타내며, X3 및 Z1는 10≤X3<90, 0<Z1≤50, 10<X3+Z1≤ 90을 만족한다)로 표시할 수 있는 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 제 19항에 있어서, 상기 D3가 ZrO2이고, 상기 E2가 Ga2O3인 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 제 17항에 있어서, 상기 산화물계 재료층이, 하기의 식:(D3)X3(SiO2)Z2(f)A1(E2)100-X3-Z2-A1(mol%)(식 중, D3은 상기 그룹 GM2에서 선택되는 적어도 하나의 원소의 산화물을 나타내고, f는 SiC, Si3N4 및 Cr2O3으로 이루어지는 그룹에서 선택되는 적어도 하나의 화합물을 나타내고, E2는 상기 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소의 산화물을 나타내며, X3, Z2 및 A1는 10≤X3<90, 0<Z2≤50, 0<A1≤50, 10<X3+Z2+A1≤90을 만족한다)로 표시할 수 있는 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 제 21항에 있어서, 상기 D3가 ZrO2이고, 상기 E2가 Ga2O3인 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 광의 조사 또는 전기적 에너지의 인가에 의해서, 정보의 기록 및 재생중 적어도 하나를 가능하게 하는 정보 기록 매체에 있어서, Zr 및 Hf로 이루어지는 그룹 GM2에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, La, Ce, Al, Ga, In, Mg 및 Y로 이루어지는 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, Cr과, 산소(O)를 포함하는 산화물계 재료층을 포함하고,상기 산화물계 재료층이, 하기의 식:M2Q4CrUL2T4O100-Q4-U-T4(원자%)(식 중, M2는 상기 그룹 GM2에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 나타내고, L2는 상기 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 나타내며, Q4, U 및 T4는 0<Q4≤32, 0<U≤25, 0<T4≤40, 20<Q4+U+T4<60을 만족한다)로 표시되는 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 삭제
- 제 23항에 있어서, 상기 M2가 Zr이고, 상기 L2가 Ga인 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 제 23항에 있어서, 상기 산화물계 재료층이, 하기의 식:(D3)X4(Cr2O3)A2(E2)100-X4-A2(mol%)(식 중, D3는 상기 그룹 GM2에서 선택되는 적어도 하나의 원소의 산화물을 나타내고, E2는 상기 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소의 산화물을 나타내며, X4 및 A2는 10≤X4<90, 0<A2≤40, 10<X4+A2≤90을 만족한다)로 표시할 수 있는 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 제 26항에 있어서, 상기 D3가 ZrO2이고, 상기 E2가 Ga2O3인 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 광의 조사 또는 전기적 에너지의 인가에 의해서, 정보의 기록 및 재생중 적어도 하나를 가능하게 하는 정보 기록 매체에 있어서, Zr 및 Hf로 이루어지는 그룹 GM2에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, La, Ce, Al, Ga, In, Mg 및 Y로 이루어지는 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, Cr과, 산소(O)를 포함하는 산화물계 재료층을 포함하고,상기 산화물계 재료층이, 하기의 식:M2Q4CrUL2T4SiR2K2J2O100-Q4-U-T4-R2-J2(원자%)(식 중, M2는 상기 그룹 GM2에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 나타내고, L2는 상기 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 나타내고, K2는 질소(N) 및 탄소(C)로 이루어지는 그룹 GK2에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 나타내며, Q4, U, T4, R2 및 J2는 0<Q4≤32, 0<U≤25, 0<T4≤40, 0<R2≤30, 0<J2≤40, 25<Q4+U+T4+R2+J2<85를 만족한다)로 표시되는 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 제 28항에 있어서, 상기 M2가 Zr이고, 상기 L2가 Ga인 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 제 28항에 있어서, 상기 산화물계 재료층이, 하기의 식:(D3)X4(Cr2O3)A2(h)Z3(E2)100-X4-A2-Z3(mol%)(식 중, D3는 상기 그룹 GM2에서 선택되는 적어도 하나의 원소의 산화물을 나타내고, h는 Si3N4 및 SiC로 이루어지는 그룹에서 선택되는 적어도 하나의 화합물을 나타내고, E2는 상기 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소의 산화물을 나타내며, X4 및 A2 및 Z3는 10≤X4<90, 0<A2≤40, 0<Z3≤40, 10<X4+A2+Z3≤90을 만족한다)로 표시할 수 있는 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 제 30항에 있어서, 상기 D3가 ZrO2이고, 상기 E2가 Ga2O3인 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 제1항, 제6항, 제11항, 제16항, 제23항 또는 제28항 중 어느 한 항에 있어서, 적어도 하나의 기록층을 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 제 32항에 있어서, 상기 기록층이 상 변태를 일으키는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 제 33항에 있어서, 상기 기록층이, Ge-Sb-Te, Ge-Sn-Sb-Te, Ge-Bi-Te, Ge-Sn-Bi-Te, Ge-Sb-Bi-Te, Ge-Sn-Sb-Bi-Te, Ag-In-Sb-Te 및 Sb-Te에서 선택되는 어느 하나의 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 제 34항에 있어서, 상기 기록층의 막 두께가, 20㎚ 이하인 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 제 32항에 있어서, 상기 산화물계 재료층이 상기 기록층의 적어도 한쪽 면과 접하여 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- 제 32항에 있어서, 상기 기록층을 포함하는 다수의 기록층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- Zr과, La, Ga 및 In으로 이루어지는 그룹 GL1에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, 산소(O)를 포함하는 산화물계 재료층을 포함하는 정보 기록 매체의 제조 방법으로서,상기 산화물계 재료층을, Zr과, 상기 그룹 GL1에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, 산소(O)를 포함하는 스퍼터링 타겟을 이용하여, 스퍼터링법으로 형성하는 공정을 포함하고,상기 스퍼터링 타겟이, 하기의 식:Zrq1L1t1O100-q1-t1(원자%)(식 중, L1은 상기 그룹 GL1에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 나타내고, q1 및 t1은 0<q1<34, 0<t1<50, 20<q1+t1<60을 만족한다)로 표시되는 재료를 포함하는 것을 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체의 제조 방법.
- 삭제
- 제 38항에 있어서, 상기 L1이 Ga인 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체의 제조 방법.
- 제 38항에 있어서, 상기 스퍼터링 타겟이, 하기의 식:(D1)x1(E1)100-x1(mol%)(식 중, D1은 Zr의 산화물을 나타내고, E1은 상기 그룹 GL1에서 선택되는 적어도 하나의 원소의 산화물을 나타내며, x1은 0<x1<100을 만족한다)로 표시할 수 있는 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체의 제조 방법.
- 제 41항에 있어서, 상기 D1이 ZrO2이고, 상기 E1이 Ga2O3인 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체의 제조 방법.
- M1(단, M1은 Zr과 Hf의 혼합물 또는 Hf이다)과, La, Ce, Al, Ga, In, Mg 및 Y로 이루어지는 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, 산소(O)를 포함하는 산화물계 재료층을 포함하는 정보 기록 매체의 제조 방법으로서,상기 산화물계 재료층을, 상기 M1과, 상기 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, 산소(O)를 포함하는 스퍼터링 타겟을 이용하여, 스퍼터링법으로 형성하는 공정을 포함하고,상기 스퍼터링 타겟이, 하기의 식:M1q2L2t2O100-q2-t2(원자%)(식 중, M1은 Zr과 Hf의 혼합물 또는 Hf를 나타내고, L2는 상기 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 나타내며, q2 및 t2는 0<q2<34, 0<t2<50, 20<q2+t2<60을 만족한다)로 표시되는 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체의 제조 방법.
- 삭제
- 제 43항에 있어서, 상기 L2가 Ga인 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체의 제조 방법.
- 제 43항에 있어서, 상기 스퍼터링 타겟이, 하기의 식:(D2)x2(E2)100-x2(mol%)(식 중, D2는 상기 M1의 산화물을 나타내고, E2는 상기 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소의 산화물을 나타내며, x2는 0<x2<100을 만족한다)로 표시할 수 있는 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체의 제조 방법.
- 제 46항에 있어서, 상기 E2가 Ga2O3인 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체의 제조 방법.
- Zr 및 Hf로 이루어지는 그룹 GM2에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, La, Ce, Al, Ga, In, Mg 및 Y로 이루어지는 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, Si와, 산소(O)를 포함하는 산화물계 재료층을 포함하는 정보 기록 매체의 제조 방법으로서,상기 산화물계 재료층을, 상기 그룹 GM2에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, 상기 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, Si와, 산소(O)를 포함하는 스퍼터링 타겟을 이용하여, 스퍼터링법으로 형성하는 공정을 포함하고,상기 스퍼터링 타겟이, 하기의 식:M2q3Sir1L2t3O100-q3-r1-t3(원자%)(식 중, M2는 상기 그룹 GM2에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 나타내고, L2는 상기 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 나타내며, q3, r1 및 t3은 0<q3≤32, 0<r1≤32, 3<t3<43, 20<q3+r1+t3<60을 만족한다)로 표시되는 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체의 제조 방법.
- 삭제
- 제 48항에 있어서, 상기 M2가 Zr이고, 상기 L2가 Ga인 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체의 제조 방법.
- 제48항에 있어서, 상기 스퍼터링 타겟이, 하기의 식:(D3)x3(g)z1(E2)100-x3-z1(mol%)(식 중, D3은 상기 그룹 GM2에서 선택되는 적어도 하나의 원소의 산화물을 나타내고, g는 SiO2, Si3N4 및 SiC로 이루어지는 그룹에서 선택되는 적어도 하나의 화합물을 나타내고, E2는 상기 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소의 산화물을 나타내며, x3 및 z1은 10≤x3<90, 0<z1≤50, 10<x3+z1≤90을 만족한다)로 표시할 수 있는 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체의 제조 방법.
- 제 51항에 있어서, 상기 D3가 ZrO2이고, 상기 E2가 Ga2O3인 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체의 제조 방법.
- Zr 및 Hf로 이루어지는 그룹 GM2에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, La, Ce, Al, Ga, In, Mg 및 Y로 이루어지는 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, Si와, 산소(O)를 포함하는 산화물계 재료층을 포함하는 정보 기록 매체의 제조 방법으로서,상기 산화물계 재료층을, 상기 그룹 GM2에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, 상기 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, Si와, 산소(O)를 포함하는 스퍼터링 타겟을 이용하여, 스퍼터링법으로 형성하는 공정을 포함하고,상기 스퍼터링 타겟이, 또한 탄소(C), 질소(N) 및 Cr로 이루어지는 그룹 GK1에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체의 제조 방법.
- 제 53항에 있어서, 상기 스퍼터링 타겟이, 하기의 식:M2q3Sir1L2t3K1j1O100-q3-r1-t3-j1(원자%)(식 중, M2는 상기 그룹 GM2에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 나타내고, L2는 상기 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 나타내고, K1은 상기 그룹 GK1에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 나타내며, q3, r1, t3및 j1는 0<q3≤32, 0<r1≤35, 2<t3≤40, 0<j1≤40, 20<q3+r1+t3+j1<80을 만족한다)로 표시되는 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체의 제조 방법.
- 제 54항에 있어서, 상기 M2가 Zr이고, 상기 L2가 Ga인 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체의 제조 방법.
- 제 54항에 있어서, 상기 스퍼터링 타겟이, 하기의 식:(D3)x3(g)z1(E2)100-x3-z1(mol%)(식 중, D3은 상기 그룹 GM2에서 선택되는 적어도 하나의 원소의 산화물을 나타내고, g는 SiO2, Si3N4 및 SiC로 이루어지는 그룹에서 선택되는 적어도 하나의 화합물을 나타내고, E2는 상기 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소의 산화물을 나타내며, x3 및 z1는 10≤x3<90, 0<z1≤50, 10<x3+z1≤90을 만족한다)로 표시할 수 있는 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체의 제조 방법.
- 제 56항에 있어서, 상기 D3가 ZrO2이고, 상기 E2가 Ga2O3인 것을 특징으로 하 는 정보 기록 매체의 제조 방법.
- 제 54항에 있어서, 상기 스퍼터링 타겟이, 하기의 식:(D3)x3(SiO2)z2(f)a1(E2)100-x3-z2-a1(mol%)(식 중, D3은 상기 그룹 GM2에서 선택되는 적어도 하나의 원소의 산화물을 나타내고, f는 SiC, Si3N4 및 Cr2O3으로 이루어지는 그룹에서 선택되는 적어도 하나의 화합물을 나타내고, E2는 상기 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소의 산화물을 나타내며, x3, z2 및 a1은 10≤x3<90, 0<z2≤50, 0<a1≤50, 10<x3+z2+a1≤90을 만족한다)로 표시할 수 있는 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체의 제조 방법.
- 제 58항에 있어서, 상기 D3가 ZrO2이고, 상기 E2가 Ga2O3인 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체의 제조 방법.
- Zr 및 Hf로 이루어지는 그룹 GM2에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, La, Ce, Al, Ga, In, Mg 및 Y로 이루어지는 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, Cr과, 산소(O)를 포함하는 산화물계 재료층을 포함하는 정보 기록 매체의 제조 방법으로서,상기 산화물계 재료층을, 상기 그룹 GM2에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, 상기 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, Cr과, 산소(O)를 포함하는 스퍼터링 타겟을 이용하여, 스퍼터링법으로 형성하는 공정을 포함하고,상기 스퍼터링 타겟이, 하기의 식:M2q4CruL2t4O100-q4-u-t4(원자%)(식 중, M2는 상기 그룹 GM2에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 나타내고, L2는 상기 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 나타내며, q4, u 및 t4는 0<q4≤32, 0<u≤25, 0<t4≤40, 20<q4+u+t4<60을 만족한다)로 표시되는 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체의 제조 방법.
- 삭제
- 제 60항에 있어서, 상기 M2가 Zr이고, 상기 L2가 Ga인 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체의 제조 방법.
- 제 60항에 있어서, 상기 스퍼터링 타겟이, 하기의 식:(D3)x4(Cr2O3)a2(E2)100-x4-a2(mol%)(식 중, D3는 상기 그룹 GM2에서 선택되는 적어도 하나의 원소의 산화물을 나타내고, E2는 상기 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소의 산화물을 나타내며, x4 및 a2는 10≤x4<90, 0<a2≤40, 10<x4+a2≤90을 만족한다)로 표시할 수 있는 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체의 제조 방법.
- 제 63항에 있어서, 상기 D3가 ZrO2이고, 상기 E2가 Ga2O3인 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체의 제조 방법.
- Zr 및 Hf로 이루어지는 그룹 GM2에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, La, Ce, Al, Ga, In, Mg 및 Y로 이루어지는 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, Cr과, 산소(O)를 포함하는 산화물계 재료층을 포함하는 정보 기록 매체의 제조 방법으로서,상기 산화물계 재료층을, 상기 그룹 GM2에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, 상기 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, Cr과, 산소(O)를 포함하는 스퍼터링 타겟을 이용하여, 스퍼터링법으로 형성하는 공정을 포함하고,상기 스퍼터링 타겟이, 하기의 식:M2q4CruL2t4Sir2K2j2O100-q4-u-t4-r2-j2(원자%)(식 중, M2는 상기 그룹 GM2에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 나타내고, L2는 상기 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 나타내고, K2는 질소(N) 및 탄소(C)로 이루어지는 그룹 GK2에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 나타내며, q4, u, t4, r2 및 j2는 0<q4≤32, 0<u≤25, 0<t4≤40, 0<r2≤30, 0<j2≤40, 25<q4+u+t4+r2+j2<85를 만족한다)로 표시되는 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체의 제조 방법.
- 제 65항에 있어서, 상기 M2가 Zr이고, 상기 L2가 Ga인 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체의 제조 방법.
- 제 65항에 있어서, 상기 스퍼터링 타겟이, 하기의 식:(D3)x4(Cr2O3)a2(h)z3(E2)100-x4-a2-z3(mol%)(식 중, D3는 상기 그룹 GM2에서 선택되는 적어도 하나의 원소의 산화물을 나타내고, h는 Si3N4 및 SiC로 이루어지는 그룹에서 선택되는 적어도 하나의 화합물을 나타내고, E2는 상기 그룹 GL2에서 선택되는 적어도 하나의 원소의 산화물을 나타내며, x4 및 a2 및 z3는 10≤x4<90, 0<a2≤40, 0<z3≤40, 10<x4+a2+z3≤90을 만족한다)로 표시할 수 있는 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체의 제조 방법.
- 제 67항에 있어서, 상기 D3가 ZrO2이고, 상기 E2가 Ga2O3인 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체의 제조 방법.
- 광의 조사 또는 전기적 에너지의 인가에 의해서, 정보의 기록 및 재생중 적어도 하나를 가능하게 하는 정보 기록 매체에 있어서,Zr 및 Hf로 이루어지는 그룹 GM에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, La, Ce, Al, Ga, In, Mg 및 Y로 이루어지는 그룹 GL에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, 산소(O)를 포함하는 산화물계 재료층을 포함하고,상기 산화물계 재료층이, 하기의 식:MQ1LT1O100-Q1-T1(원자%)(식 중, M은 상기 그룹 GM에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 나타내고, L은 상기 그룹 GL에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 나타내며, Q1 및 T1은 0<Q1<34, 0<T1<50, 20<Q1+T1<60을 만족한다)로 표시되는 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체.
- Zr 및 Hf로 이루어지는 그룹 GM에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, La, Ce, Al, Ga, In, Mg 및 Y로 이루어지는 그룹 GL에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, 산소(O)를 포함하는 산화물계 재료층을 포함하는 정보 기록 매체의 제조 방법으로서,상기 산화물계 재료층을, 상기 그룹 GM에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, 상기 그룹 GL에서 선택되는 적어도 하나의 원소와, 산소(O)를 포함하는 스퍼터링 타겟을 이용하여, 스퍼터링법으로 형성하는 공정을 포함하고,상기 스퍼터링 타겟이, 하기의 식:Mq1Lt1O100-q1-t1(원자%)(식 중, M은 상기 그룹 GM에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 나타내고, L은 상기 그룹 GL에서 선택되는 적어도 하나의 원소를 나타내며, q1 및 t1은 0<q1<34, 0<t1<50, 20<q1+t1<60을 만족한다)로 표시되는 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 기록 매체의 제조 방법.
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