KR100667291B1 - 마이크로 미러 소자 패키지 및 그 제조방법 - Google Patents

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김운배
문창렬
이성희
문용권
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Abstract

마이크로 미러 소자 패키지가 개시된다. 상기 패키지는 마이크로 미러 소자(micro-mirror device), 상기 마이크로 미러 소자를 실장하는 기판; 및 상기 마이크로 미러 소자를 덮도록 상기 기판 위에 설치되는 윈도우 덮개(window lid);를 포함한다. 상기 윈도우 덮개는, 광이 투과되는 상부면 일부가 경사져 있다. 상기 덮개는, 상기 소자에 레이저 빔이 투과되는 광투과부(light transmitting part)가 상기 소자에 대하여 경사지며, 상기 광투과부로부터 하방으로 지지부(supporting part)가 연장된다. 상기 패키지는 레이저 빔이 입력되면 잡빔과 분리하여 스크린의 화질을 높일 수 있다.
각각의 마이크로 미러 소자에 대응하는 윈도우 덮개 어레이를 제작함으로써, 이러한 마이크로 미러 소자 패키지를 웨이퍼 크기 단위의 일괄 공정으로 제작할 수 있다.
마이크로 미러, 윈도우, 마이크로 스캐너, 디스플레이, 레이저

Description

마이크로 미러 소자 패키지 및 그 제조방법{Micro-mirror Device Package and Process for Fabricating thereof}
도 1은 종래의 마이크로 미러 소자 패키지에 대한 정단면도,
도 2는 도 1의 분해 사시도,
도 3은 도1의 마이크로 미러 소자 패키지에서의 영상 빔의 진행과정을 설명하기 위한 도면,
도 4는 종래의 다른 마이크로 미러 소자의 경사 패키지(slopped package)의 단면도,
도 5 내지 도 8은 본 발명에 따른 마이크로 미러 소자 패키지의 단면도,
도 9는 본 발명의 패키지의 작동상태도,
도 10a 내지 도 10c는 본 발명에 따른 패키지의 제조공정을 설명하기 위한 패키지의 단면도,
도 11은 본 발명의 패키지 제조공정에서 마이크로 미러 소자가 형성된 웨이퍼에 대한 평면도,
도 12 및 도 14는 본 발명의 다른 패키지에 대한 제조공정을 설명하기 위한 패키지의 단면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100, 200, 300, 400, 500 ... 패키지
310, 410, 510, 610 ........ 마이크로 미러 소자
320, 420, 520, 620 ........ 기판
340, 440, 540, 640 ........ 윈도우 덮개
341, 441, 541, 641 ........ 광투과부
342, 442, 542, 642 ........ 지지부
본 발명은 마이크로 미러 소자 패키지의 제조에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 마이크로 미러 소자 패키지 및 이 패키지를 일괄 공정(batch process)을 통하여 제조하는 방법에 관한 것이다.
멀티미디어 시대의 도래에 따라 대형 디스플레이에 대한 요구가 증대되고 있으며, 다양한 방식의 대형 디스플레이장치(display device)들이 속속 개발되고 있다. 예컨대, 레이저 TV는 저가격으로 대형이면서 고해상도를 구현할 수 있는 차세대 디스플레이장치로 주목받고 있다. 이러한 레이저 TV는 RGB 영상신호에 따라 레이저 다이오드 모듈(laser diode module)에서 출사되는 레이저 빔을 수평 및 수직 방향으로 스캔하는 마이크로 스캐너(micro scanner)를 구비한다. 상기 마이크로 스캐너는 MEMS(Micro-Electro Mechanical System) 기술로 제조되는 마이크로 미러 소자를 포함한다. 상기 마이크로 미러 소자는 빛을 반사하기 위한 미러를 구비하고, 상기 미러의 회동에 의해 빛의 반사방향을 변화시킬 수 있다. 이러한 마이크로 미러 소자는 하나의 모듈로서 패키징(packaging)되고 있다.
도 1 및 도 2는 MEMS 기술로 제조된 종래의 마이크로 미러 소자 패키지를 도시하는 도면이다. 도면을 참조하면, 상기 마이크로 미러 소자 패키지(100)는 마이크로 미러 소자(110), 기판(substrate, 120) 및 윈도우 덮개(window lid, 140)가 적층된 구조를 가진다. 상기 기판(120)과 덮개(140) 사이에는 전극을 포함한 절연구조물(130)이 형성될 수 있으며, 상기 절연구조물(130)과 기판이 일체로 된 하우징(housing)일 수도 있다. 상기 미러 소자(110)는 와이어(125) 또는 패턴(pattern)으로 기판의 리드 프레임(lead frame, 124)과 도통하도록 연결된다.
도면에 도시된 마이크로 미러 소자는 본 출원인이 특허출원하여 공개된 대한민국 특허공개 10-2005-0053053호에 개시된 타원형 미러 소자를 예시한 것이다. 상기 마이크로 미러 소자(100)는 통상 광을 반사하는 미러(111), 상기 미러(111)를 지지하는 한 쌍의 스프링(spring, 113), 및 이들을 연결하는 연결부재(112)와 프레임(frame, 114)을 포함한다. 상기 미러 소자는 외부로부터 영상 레이저 빔(RGB)이 들어오면 미러(111)가 X축, 즉 스프링(113)을 축으로 하여 회동하며 광을 반사한다.
통상 마이크로 미러 소자는 미러를 보호하기 위하여 상기 기판(130)에 실장되어 투명한 재질의 윈도우 덮개(140)를 덮어 패키징(packaging)된다. 그러므로 실제 마이크로 미러 소자 패키지는 도 3에 도시된 바와 같이, 광신호가 인입되면 상기 윈도우 덮개(140)의 표면에서 상기 영상신호 빔이 나가는 방향과 동일한 방향으 로 잡빔(noise beam)이 발생하기 때문에 스크린(screen, 150) 상에서 영상의 화질이 떨어진다.
이러한 잡빔 제거를 위해서는 윈도우 덮개나 미러에 대하여 무반사 코팅(Anti-Refraction coating)을 행하거나 또는 기하광학적으로 개선하는 등 다양한 방법이 개발되었다. 도 4는 그러한 결과물 중 하나로서, 종래의 다른 마이크로 미러 소자의 경사 패키지(slopped package)의 단면을 도시하고 있다.
도 4의 마이크로 미러 소자 패키지는 본 출원인이 개발한 패키지로서, 상기 미러 소자(210)를 패키징할 때, 윈도우 덮개(240)를 경사지도록 덮은 패키지(200)이다. 이러한 경사 구조의 마이크로 미러 소자 패키지(200)는 레이저 빔이 스캔될 때 윈도우 덮개(240) 표면에서 발생되는 잡빔(noised beam)들의 경로와 스캔된 영상빔의 경로가 서로 분리되어 잡빔들이 스크린에 도달하지 못하기 때문에 상대적으로 영상의 화질이 우수하다.
그러나 상기 경사 패키지(200)는 상기 윈도우 덮개(240)를 기판(220) 위에 접합할 때, 기판(220)과 덮개(240)가 접합되는 부분(231, 232)들이 경사지도록 절연구조물(230)을 형성하거나 미러 소자(210)가 내장되는 하우징 자체를 그러한 구조로 만들어야 한다. 이 경우, 상기 경사 패키지(200)는 하나의 미러 소자 단위로 상기 절연구조물(230) 또는 하우징에 덮개(240)를 접합해야 하므로 씰링(glass sealing)이나 웨이퍼 레벨 패키징(wafer level packaging)이 어렵다. 따라서 이러한 경사 패키지는 웨이퍼 레벨-칩 크기(wafer level-chip size)로 제조가 불가능하다는 것을 의미한다. 무엇보다도 상기 경사 패키지(200)를 포함하여 기존의 마이크 로 미러 소자 패키지(100)들은 그 구조상 패키지로서 더 이상 소형화가 곤란하며 그 제조공정이 복잡하다.
본 발명의 목적은 기존의 마이크로 스캐너에서 스캔된 영상빔과 잡빔의 분리가 용이하도록 윈도우 덮개 구조를 개선한 마이크로 미러 소자 패키지를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 그러한 마이크로 미러 소자 패키지를 웨이퍼 크기 단위의 일괄 공정(batch process)으로 제조할 수 있는 방법을 제공함에 있다.
상기 목적 달성을 위하여 본 발명의 마이크로 미러 소자 패키지는, 마이크로 미러 소자; 상기 마이크로 미러 소자를 실장하는 기판; 및 상기 마이크로 미러 소자를 덮도록 상기 기판 위에 설치되는 윈도우 덮개;를 포함하고, 상기 윈도우 덮개는, 상기 소자에 레이저 빔이 투과되는 광투과부(light transmitting window part)가 상기 소자에 대하여 경사지며, 상기 광투과부로부터 하방으로 지지부(supporting part)가 연장되는 것을 특징으로 한다.
상기 마이크로 미러 소자는 공지된 마이크로 미러 소자이면 어느 것을 적용하든 관계없으나, 본 발명에 적합한 마이크로 미러 소자는, 광을 반사하며, 회전 가능한 미러; 상기 미러를 지지하며, 상기 미러의 회전 구동시 회전축이 되는 한 쌍의 스프링; 상기 미러와 상기 한 쌍의 스프링을 연결하는 연결부재; 및 상기 미러가 회동되도록 정전기력을 발생시키기 위한 전극이 마련되는 프레임;을 포함한 다.
상기 윈도우 덮개는 상기 광투과부를 제외한 나머지 상부 표면들이 상기 기판에 대하여 수평면인 것이 바람직하다. 이러한 윈도우 덮개는 광을 투과할 수 있는 투명재질이면 무방하다.
상기 윈도우 덮개에서 광투과부는 상기 소자에 대하여 경사져 있으며 어떠한 단면 형상을 가져도 무방하다. 예컨대, 상기 광투과부의 단면 형상은 평행사변형, 사다리꼴, 또는 제트(Z) 모양이거나, 렌즈(lens) 모양일 수도 있다. 다만, 상기 광투과부는 상기 소자에 대하여 미러의 스캔 각도보다 큰 경사각을 가지는 것이 좋다.
상기 윈도우 덮개에서 지지부는 상기 미러가 기판 내에서 회동할 수 있는 공간이 확보되도록 충분한 높이를 가지는 것이 바람직하다. 또한 상기 지지부는 그 상부 표면이 상기 기판에 대하여 수평면을 이루는 것이 좋다. 이러한 구조를 가지면 마이크로 미러 소자 패키지를 일괄 공정으로 제조할 수 있게 된다.
한편, 본 발명에 따른 마이크로 미러 소자 패키지의 제조방법은, 마이크로 미러 소자 어레이가 형성된 웨이퍼를 준비하는 단계; 상기 웨이퍼를 기판 위에 부착하는 단계; 상기 마이크로 미러 소자에 레이저 빔이 투과되는 광투과부가 상기 소자에 대하여 경사지며, 상기 광투과부로부터 하방으로 지지부가 연장되는 윈도우 덮개 어레이(window lid array)를 제작하는 단계; 및 상기 윈도우 덮개 어레이를 상기 웨이퍼의 표면에 접합하는 단계; 및 상기 웨이퍼를 개별 마이크로 미러 소자 단위로 절단하는 단계;를 포함한다.
상기 웨이퍼 절단은 상기 윈도우 덮개 어레이의 각 지지부 상부면을 따라 행하는 것이 좋다.
첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 마이크로 미러 소자 패키지에 대하여 상세히 설명한다.
도 5 내지 도 8은 본 발명에 따른 마이크로 미러 소자 패키지의 다양한 구조를 예시하고 있다. 도 5에 도시된 마이크로 미러 소자 패키지(300)는, 마이크로 미러 소자(310)와, 상기 마이크로 미러 소자를 실장하는 기판(320); 및 상기 마이크로 미러 소자를 덮도록 상기 기판 위에 설치되는 윈도우 덮개(340)를 포함한다.
상기 마이크로 미러 소자(310)는 공지된 마이크로 미러 소자이면 어느 것이나 적용 가능하다. 예컨대 본 발명에 적합한 마이크로 미러 소자는, 도 1에 도시된 바와 같이, 광을 반사하며 회전 가능한 미러(111)와, 상기 미러를 지지하며 상기 미러의 회전 구동시 회전축이 되는 한 쌍의 스프링(113), 상기 미러와 상기 한 쌍의 스프링을 연결하는 연결부재(112); 및 상기 미러가 회동되도록 정전기력을 발생시키기 위한 전극이 마련되는 프레임(114);을 포함하는 마이크로 미러 소자(100)일 수도 있다.
도면에서 상기 미러(100)는 원형을 가지나, 그 형상이 한정되는 것은 아니며, 광 반사를 위한 최소의 면적을 가지는 것이 바람직하다. 상기 연결부재(112)는 타원형을 가진다. 상기 연결부재(112)의 테두리에는 수많은 이동콤(미도시)들이 배치되어 프레임(114)에 마련된 고정콤(미도시)과 상호 정전력이 작용하여 스프링(113)을 중심으로 미러(112)를 회동시킨다. 상기 프레임(114)은 전극(115)을 구비 하며 이 전극(115)을 통하여 상기 이동콤과 고정콤에 전류를 인가한다. 상기한 구조를 가지는 마이크로 미러 소자에 대하여는 대한민국 특허공개 10-2005-0053053호에 자세히 개시되어 있다.
상기 마이크로 미러 소자(300)는 소정의 기판(320) 상에 실장된다. 상기 기판(320)은 필요에 따라 다른 세라믹 기판(322)을 마련할 수도 있다.
본 발명에서 상기 윈도우 덮개(340)는 광투과부(light transmitting part, 341)와 상기 광투과 부분을 지지하는 지지부(342)를 포함한다. 상기 윈도우 덮개(340)는 광을 투과할 수 있는 투명재질, 예컨대 글라스(glass) 또는 투명 플라스틱(transparent plastic)이 바람직하다.
상기 광투과부(341)는 상기 소자(310), 정확하게는 소자의 미러에 대하여 경사지며, 하방으로 지지부(342)가 연장된다. 상기 윈도우 덮개(340)는 상기 광투과부(341)를 제외한 나머지 상부 표면(343)이 상기 기판(320)에 대하여 수평면을 가지도록 구성할 수도 있다. 즉 본 발명의 윈도우 덮개(340)는 상부 표면(343)의 적어도 일부가 수평면을 가지므로, 후술하는 바와 같이, 상기 패키지의 제조시 웨이퍼 레벨 패키징(wafer level packaging)이 가능하며 기판에 안치하기가 용이하다.
본 발명의 패키지는 윈도우 덮개의 광투과부(341) 이외의 부분도 광이 투과될 수 있는 재질로 제조되어도 무방하다. 그러나 상기 광투과부는 일정한 경사각을 가져야 한다. 즉 상기 광투과부(341)는 상기 소자에 대하여 미러의 스캔 각도보다 큰 경사각을 가지도록 하는 것이 바람직하다. 마이크로 미러 소자를 구비하는 마이크로 스캐너는 스캔 각도에 따라 상기 광투과부의 경사각이 결정된다. 예컨대 미러 의 회전 각도가 ±8도일 경우에는 광투과부의 경사각은 8도보다 크면 된다. 이 경우 윈도우 덮개의 표면에서 반사된 빔이 미러의 스캔에 의해 나가는 영상빔과 다른 방향으로 진행되거나 다른 범위의 각도로 진행될 수 있기 때문에 잠빔이 스크린에 도달하지 않게 된다.
상기 광투과부는 그 단면 형상이 일정한 도형 형상을 가질 수 있다. 도 5에 도시된 패키지(300)의 경우 상기 광투과부의 단면 형상이 평행사변형이지만, 상기 광투과부는 도 6 내지 도8과 같이 다양한 모양을 가질 수 있다. 예컨대, 도 6에 도시된 패키지(400)의 경우, 상기 광투과부(441)는 그 단면 형상이 제트(Z) 모양이며, 도 7의 패키지(500)의 경우에는 상기 광투과부(541)가 렌즈(lens) 모양의 단면 형상을 가지고, 도 8의 패키지(600)의 경우 상기 광투과부(641)의 단면 형상이 사다리꼴 모양을 가진다. 도 6 내지 도 8의 패키지에서 다른 참조부호들은 도 5의 패키지와 대응하므로, 중복되는 설명은 생략한다. 다만 도 8의 패키지(600)는 광투과부(641)가 사다리꼴(혹은 프리즘 형태)로서, 영상 빔이 측면에서 들어오게 되므로, 한쪽 빗면에 반사면(644)이 마련된다. 중요한 것은 상기 광투과부들이 모두 상기 소자에 대하여 미러의 스캔 각도보다 큰 경사각을 가지도록 경사져 있는 것이다.
기존의 마이크로 미러 소자 패키지(100, 200)와는 달리, 본 발명의 패키지(300)는 상기 윈도우 덮개(340)에 지지부(342)가 마련된다. 본 발명에서 상기 윈도우 덮개의 지지부(342)는 상기 소자(310)의 미러가 기판 내에서 회동할 수 있는 공간이 확보되도록 충분한 높이를 가지며, 상기 소자를 둘러쌓는 것이 좋다. 물론 상기 공간은 진공 상태가 바람직하다. 상기 지지부(342)는 그 상부 표면(342s)이 상 기 기판에 대하여 수평면을 이루기 때문에, 후술하는 바와 같이, 본 발명의 패키지는 일괄 공정에 의해 웨이퍼 레벨 크기로 제조가 가능하다.
도 9는 본 발명의 마이크로 미러 소자 패키지(300)에서 영상빔의 진행과정을 도시하고 있다. 본 발명에 따른 패키지(300)는 도시된 바와 같이, 레이저 빔이 소자(310)의 미러에 의해 스캔될 때 윈도우 덮개(340) 표면에서 발생되는 잡빔들의 경로와 스캔된 영상빔의 경로가 서로 분리되어 잡빔들이 스크린(350)에 도달하지 못하기 때문에 상대적으로 영상의 화질이 우수하다.
본 발명에서는 마이크로 미러 소자에 대한 패키징 기술을 개선함으로써, 기존의 마이크로 미러 소자의 패키지에 비하여 본 발명의 패키지를 소형화할 수 있다. 예컨대 기존의 경사 패키지에서는 하우징 또는 절연구조물(230)의 단변 높이가 약 3.0mm, 장변 높이가 약 7.5mm이었으나, 본 발명의 패키지(300)에서는 미러 소자의 두께보다 약간 큰 1~2mm까지도 가능하기 때문에 전체적인 패키지의 크기가 대폭 감소될 수 있다. 더욱이 아래와 같은 본 발명의 제조공정에 의하면, 상기한 구조를 가지는 패키지를 대량으로 생산할 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 마이크로 미러 소자 패키지의 바람직한 제조방법을 대하여 상세히 설명한다.
도 10a 내지 도 10c는 도 5의 패키지에 대한 제조공정을 도시하고 있다. 도면을 참조하면, 먼저 마이크로 미러 소자 어레이(310a, 310b, 310c, 310d, ...)가 형성된 웨이퍼(W)를 준비한다(도 10b 참조). 이러한 웨이퍼(W) 제조는 통상적인 MEMS 제조기술로 가능하다.
그 다음 상기 웨이퍼(W)를 반도체 접합기술 등에 의해 기판(S) 위에 부착한다(도 10b 참조).
그리고 상기 웨이퍼를 덮기 위한 윈도우 덮개 어레이(340a, 340b, 340c, 340d, ...)를 제작한다. 상기 윈도우 덮개 어레이는 상기 웨이퍼(W)에 형성된 각 소자 어레이(310a, 310b, 310c, 310d, ...)에 대응하도록 웨이퍼 크기로 특별히 주물로 제작할 수 있다. 물론 상기 윈도우 덮개 어레이는 상기 웨이퍼(W)에 형성된 각 마이크로 미러 소자 어레이(310a, 310b, 310c, 310d, ...)에 대응하도록 경사진 각각의 광투과부(341a, 341b, 341c, 341d, ...)가 형성되어 있으며, 상기 각 광투과부의 하방으로 다수의 지지부(342a, 342b, 342c, 342d, ...)가 형성되어 있다(도 10a 참조).
상기 윈도우 덮개 어레이는 상부면 중 일정 부분이 경사져 있고, 상기 각각의 지지부 주변은 수평면을 이루기 때문에, 윈도우 덮개 어레이를 상기 웨이퍼(W) 위에 정치할 수 있다. 이러한 윈도우 덮개 어레이의 구조, 정확하게는 개별 윈도우 덮개(340a)의 구조로 인하여 본 발명에 따른 마이크로 미러 소자 패키지는 웨이퍼 레벨 크기 단위로 제조가 가능하다.
이후, 도 10b에서와 같이, 상기 제작된 윈도우 덮개 어레이를 상기 웨이퍼의 표면에 씰링(sealing)하여 접합하고, 도 10c에서와 같이, 상기 웨이퍼(W)를 절단기(cutter, 360)에 의해 개별 마이크로 미러 소자 단위로 절단한다. 도 11은 상기 웨이퍼(W)에 대한 평면도로서, 상기 절단(singulation)은 윈도우 덮개 어레이의 각 윈도우 덮개 사이를 지나는 곳, 다시 말하면 각 지지부 (342a, 342b, 342c, 342d, ....)의 상부 표면(342s)을 따라 행할 수 있다. 각각의 소자의 형태는 물론 도 5와 같다.
도 12 내지 도 14는 본 발명의 다른 패키지 어레이로서, 도 12 내지 도 14는 각각 제트(Z) 모양, 렌즈 모양 및 사다리꼴 형상의 광투과부를 구비한 윈도우 덮개 어레이를 사용한 경우를 도시하고 있다. 이러한 구조는 도 6 내지 도 8에서 설명된 구조와 대동소이하므로 자세한 설명은 생략한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 마이크로 미러 소자 패키지는, 윈도우 덮개의 구조를 개선함으로써, 영상빔과 잡빔의 분리가 용이하다.
또한 본 발명의 마이크로 미러 소자 패키지는 기존의 패키지와는 달리, 하우징 또는 절연구조물을 제거함으로써 패키지의 크기를 대폭적으로 축소하여 패키지 소형화가 가능하다.
또한 본 발명의 마이크로 미러 소자 패키지의 제조방법에 따르면, 웨이퍼 크기 단위의 일괄 공정으로 상기 마이크로 미러 소자 패키지의 제조할 수 있다. 이러한 제조공정은 단순화되고 대량 생산에 매우 적합하며, 그 결과 패키지의 코스트 절감에도 일조할 것이다.
이상에서 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명하였지만, 본 발명의 범위는 이에 한정되지 않으며, 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 다양한 변형예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 정해져야 할 것이다.

Claims (24)

  1. 마이크로 미러 소자(micro-mirror device);
    상기 마이크로 미러 소자를 실장하는 기판; 및
    상기 마이크로 미러 소자를 덮도록 상기 기판 위에 설치되는 윈도우 덮개(window lid);를 포함하고,
    상기 윈도우 덮개는, 상기 소자에 레이저 빔이 투과되는 광투과부(light transmitting part)가 상기 소자에 대하여 경사지며, 상기 광투과부로부터 하방으로 지지부(supporting part)가 연장되는 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 소자 패키지.
  2. 제1항에 있어서, 상기 마이크로 미러 소자는,
    광을 반사하며, 회전 가능한 미러;
    상기 미러를 지지하며, 상기 미러의 회전 구동시 회전축이 되는 한 쌍의 스프링;
    상기 미러와 상기 한 쌍의 스프링을 연결하는 연결부재; 및
    상기 미러가 회동되도록 정전기력 발생시키기 위한 전극이 마련되는 프레임;을 포함하는 마이크로 미러 소자 패키지.
  3. 제1항에 있어서, 상기 윈도우 덮개는 상기 광투과부를 제외한 나머지 상부 표면들이 상기 기판에 대하여 수평면인 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 소자 패키지.
  4. 제1항에 있어서, 상기 윈도우 덮개는 광을 투과할 수 있는 투명재질인 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 소자 패키지.
  5. 제1항에 있어서, 상기 광투과부는 상기 소자에 대하여 미러의 스캔 각도보다 크게 경사지며 수직보다 작게 경사진 경사각을 가지는 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 소자 패키지.
  6. 제1항에 있어서, 상기 광투과부는 그 단면 형상이 일정한 도형 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 소자 패키지.
  7. 제6항에 있어서, 상기 광투과부는 그 단면 형상이 평행사변형인 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 소자 패키지.
  8. 제6항에 있어서, 상기 광투과부는 그 단면 형상이 제트(Z) 모양인 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 소자 패키지.
  9. 제6항에 있어서, 상기 광투과부는 그 단면 형상이 렌즈(lens) 모양인 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 소자 패키지.
  10. 제6항에 있어서, 상기 광투과부는 그 단면 형상이 사다리꼴 모양인 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 소자 패키지.
  11. 제1항에 있어서, 상기 지지부는 상기 미러가 기판 내에서 회동할 수 있는 공간이 확보되도록 충분한 높이를 가지는 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 소자 패키지.
  12. 제1항에 있어서, 상기 지지부는 그 상부 표면이 상기 기판에 대하여 수평면을 이루는 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 소자 패키지.
  13. 마이크로 미러 소자 어레이가 형성된 웨이퍼를 준비하는 단계;
    상기 웨이퍼를 기판 위에 부착하는 단계;
    상기 마이크로 미러 소자에 레이저 빔이 투과되는 광투과부(light transmitting window part)가 상기 소자에 대하여 경사지며, 상기 광투과부로부터 하방으로 지지부(supporting part)가 연장되는 윈도우 덮개 어레이(window lid array)를 제작하는 단계;
    상기 윈도우 덮개 어레이를 상기 웨이퍼의 표면에 접합하는 단계; 및
    상기 웨이퍼를 개별 마이크로 미러 소자 단위로 절단하는 단계;를 포함하는 마이크로 미러 소자 패키지의 제조방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 윈도우 덮개 어레이는 상기 광투과부를 제외한 나머지 상부 표면들이 상기 기판에 대하여 수평면이 되도록 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 소자 패키지의 제조방법.
  15. 제13항에 있어서, 상기 윈도우 덮개 어레이는 광을 투과할 수 있는 투명재질인 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 소자 패키지의 제조방법.
  16. 제13항에 있어서, 상기 윈도우 덮개 어레이는 상기 광투과부가 상기 소자에 대하여 미러의 스캔 각도보다 큰 경사각을 가지도록 제작되는 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 소자 패키지의 제조방법.
  17. 제13항에 있어서, 상기 윈도우 덮개 어레이는 상기 광투과부의 단면 형상이 일정한 도형 형상을 가지도록 제작하는 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 소자 패키지의 제조방법.
  18. 제17항에 있어서, 상기 윈도우 덮개 어레이는 상기 광투과부의 단면 형상이 평행사변형이도록 제작하는 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 소자 패키지의 제조방법.
  19. 제17항에 있어서, 상기 윈도우 덮개 어레이는 상기 광투과부의 단면 형상이 제트(Z) 모양이 되도록 제작하는 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 소자 패키지의 제조방법.
  20. 제17항에 있어서, 상기 윈도우 덮개 어레이는 상기 광투과부의 단면 형상이 렌즈(lens) 모양이 되도록 제작하는 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 소자 패키지의 제조방법.
  21. 제17항에 있어서, 상기 윈도우 덮개 어레이는 상기 광투과부의 단면 형상이 사다리꼴 모양이 되도록 제작하는 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 소자 패키지의 제조방법.
  22. 제13항에 있어서, 상기 윈도우 덮개 어레이는 미러가 기판 내에서 회동할 수 있는 공간이 확보되도록 지지부의 높이를 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 소자 패키지의 제조방법.
  23. 제13항에 있어서, 상기 윈도우 덮개 어레이는 그 지지부의 상부 표면이 상기 기판에 대하여 수평면을 이루도록 제작하는 것을 특징으로 하는 마이크로 미러 소자 패키지의 제조방법.
  24. 제13항에 있어서, 상기 웨이퍼 절단은 상기 윈도우 덮개 어레이의 각 지지부 상부면을 따라 행하는 것을 특징으로 하는 제조방법.
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