JP7310341B2 - 光モジュール - Google Patents
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Description
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。本開示に係る光モジュールは、レーザダイオードと、レーザダイオードから出射される光を走査するミラー駆動機構と、ミラー駆動機構を支持する台座と、を備える。ミラー駆動機構は、貫通孔が形成されているベース部と、板状であって、貫通孔内に配置され、レーザダイオードから出射される光を反射する反射面および反射面と板厚方向の反対側に位置する裏面を含むミラーと、貫通孔を取り囲むベース部の内壁面とミラーの外縁とを接続する接続部と、を含む。台座は、ベース部が取り付けられる第1面を含む。第1面の、裏面に対向する領域には、穴が形成されている。
次に、本開示の光モジュールの一実施形態を、図面を参照しつつ説明する。以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照符号を付しその説明は繰り返さない。
まず、実施の形態1における光モジュールの構成について説明する。図1は、実施の形態1における光モジュールの構造を示す概略斜視図である。図2は、図1とは異なる視点から見た光モジュールの構造を示す概略斜視図である。図3は、図1の後述するキャップを取り外した状態に対応する斜視図である。図4は、図2のキャップを取り外した状態に対応する斜視図である。図5は、キャップを断面にて、他の部品を平面視にて示したX-Y平面における概略図である。図6は、キャップを断面にて、他の部品を平面視にて示したX-Z平面における概略図である。なお、図3~図6において、後述するミラー駆動機構の図示を簡略化している。
次に、他の実施の形態である実施の形態2について説明する。図10は、実施の形態2における光モジュールに含まれる台座にミラー駆動機構110を取り付けた状態のミラー駆動機構110および台座の概略断面図である。実施の形態2の光モジュールは、台座に形成された穴の形状が異なる点において実施の形態1の場合とは異なっている。
次に、さらに他の実施の形態である実施の形態3について説明する。図11は、実施の形態3における光モジュールに含まれる台座にミラー駆動機構110を取り付けた状態のミラー駆動機構110および台座の概略断面図である。実施の形態3の光モジュールは、台座に形成された穴の形状が異なる点において実施の形態1の場合とは異なっている。
次に、さらに他の実施の形態である実施の形態4について説明する。図12は、実施の形態4における光モジュールに含まれる台座にミラー駆動機構110を取り付けた状態のミラー駆動機構110および台座の概略断面図である。実施の形態4の光モジュールは、台座に形成された穴を規定する底壁面の形状が異なる点において実施の形態1の場合とは異なっている。
次に、さらに他の実施の形態である実施の形態5について説明する。図13は、実施の形態5における光モジュールに含まれる台座にミラー駆動機構110を取り付けた状態のミラー駆動機構110および台座の概略断面図である。実施の形態5の光モジュールは、台座が反射防止膜をさらに含む点において実施の形態1の場合とは異なっている。
次に、さらに他の実施の形態である実施の形態6について説明する。図14は、実施の形態6における光モジュールに含まれる台座にミラー駆動機構110を取り付けた状態のミラー駆動機構110および台座の概略断面図である。実施の形態6の光モジュールは、台座に形成される穴が台座を貫通している点において実施の形態1の場合とは異なっている。
上記の実施の形態においては、圧電現象によりミラーを揺動させることにしたが、これに限らず、他の方式、例えば電磁力を利用してミラーを揺動させることにしてもよい。
2 保護部材
4 ベース部材
10 基部
10A,10B,60A 主面
20 光形成部
30 第1の電子温度調整モジュール
31,35 吸熱板
32,36 放熱板
33,37 半導体柱
34 第2の電子温度調整モジュール
40 キャップ
42 窓
43,114B 内壁面
51 リードピン
55 アパーチャ部材
55A,115A,115B,115C,115D 貫通孔
60 レーザダイオードベース
61 レンズ搭載領域
62 チップ搭載領域
63 フィルタ搭載領域
65A,65B,65C,65D,65E,65F 台座
71 第1サブマウント
72 第2サブマウント
73 第3サブマウント
81 赤色レーザダイオード
82 緑色レーザダイオード
83 青色レーザダイオード
91 第1レンズ
92 第2レンズ
93 第3レンズ
94 フォトダイオード
94A 受光部
97 第1フィルタ
98 第2フィルタ
99 第3フィルタ
100 サーミスタ
110 ミラー駆動機構
111 ベース部
112 枠体
113 駆動部
114A,129A,129B 外壁面
116A,116B 第1部分
117 第2部分
118A,118B 第1の軸部
119A,119B 第2の軸部
121A,121B,121C,121D 面
122A,122B,123A,123B,127A,127B ピエゾ素子
124,130,157A,157B,157E 外縁
125A,125B 仮想線
126 ミラー
126A 反射面
126B 裏面
128 温度検出部
141A 第1面
142A 第2面
143A 第3面
144A 取り付け面
145A 面取り部
151A,151B,151C,151D,151E,151F 穴
152A,152B,152D,152E 底壁面
152C,152F 壁面
153A,153B,153D,153E 側壁面
154B 第1仮想平面
155B 第2仮想平面
156 反射防止膜
Claims (5)
- レーザダイオードと、
前記レーザダイオードから出射される光を走査するミラー駆動機構と、
前記ミラー駆動機構を支持する台座と、
前記レーザダイオード、前記ミラー駆動機構および前記台座を取り囲み、ハーメチックシールにより前記レーザダイオード、前記ミラー駆動機構および前記台座を封止する保護部材と、を備え、
前記ミラー駆動機構は、
貫通孔が形成されているベース部と、
板状であって、前記貫通孔内に配置され、前記レーザダイオードから出射される光を反射する反射面および前記反射面と板厚方向の反対側に位置する裏面を含むミラーと、
前記貫通孔を取り囲む前記ベース部の内壁面と前記ミラーの外縁とを接続する接続部と、を含み、
前記台座は、前記ベース部が取り付けられる第1面を含み、
前記第1面の、前記裏面に対向する領域には、穴が形成されており、
前記穴は、前記台座を貫通している、光モジュール。 - レーザダイオードと、
前記レーザダイオードから出射される光を走査するミラー駆動機構と、
前記ミラー駆動機構を支持する台座と、を備え、
前記ミラー駆動機構は、
貫通孔が形成されているベース部と、
板状であって、前記貫通孔内に配置され、前記レーザダイオードから出射される光を反射する反射面および前記反射面と板厚方向の反対側に位置する裏面を含むミラーと、
前記貫通孔を取り囲む前記ベース部の内壁面と前記ミラーの外縁とを接続する接続部と、を含み、
前記台座は、前記ベース部が取り付けられる第1面を含み、
前記第1面の、前記裏面に対向する領域には、穴が形成されており、
前記第1面は、
前記穴を規定する平面状の底壁面と、
前記穴を規定し、前記底壁面の外縁から立ち上がる側壁面と、を含む、光モジュール。 - 前記ミラーの反射面の外縁を含む仮想平面である第1仮想平面と前記底壁面を含む第2仮想平面とのなす角度は、5度以上である、請求項2に記載の光モジュール。
- 前記穴を規定する壁面の少なくとも一部には、凹凸が形成されている、請求項2または請求項3に記載の光モジュール。
- 前記台座は、前記穴を規定する壁面を覆い、前記レーザダイオードから出射される光の反射を防止する反射防止膜をさらに含む、請求項2から請求項4のいずれか1項に記載の光モジュール。
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