KR100618261B1 - 막형성방법 및 막형성장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (18)
- 레지스트 도포, SOD 막형성, SOG 막형성, 또는 현상액막 형성 중의 어느 하나의 처리를 위한 처리실 내의 기판의 표면에 상기 처리를 위한 처리액의 막을 형성하는 막형성방법으로서,상기 처리실 내에 기체를 공급하는 동시에, 상기 처리실 내의 분위기를 배기하는 상태에서, 상기 처리실 내의 유지부재에 얹어놓은 기판에 처리액을 공급하는 공정과,상기 처리액의 공급전에, 상기 기판표면의 온도를 측정하는 공정을 가진 막형성방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 기판표면의 온도의 측정결과에 기초하여, 상기 처리실내에의 기체의 공급상태가 변경되는 공정을 가진 막형성방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 기판표면의 온도의 측정결과에 기초하여, 상기 기판에 상기 처리액의 용제의 증기를 내뿜는 공정을 가진 막형성방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 기판에의 처리액의 공급은 기판을 회전시킨 상태에서 행하여지며, 상기 기판표면의 온도의 측정결과에 기초하여, 상기 기판의 회전속도를 변경시키는 공정을 가진 막형성방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 온도측정은 비접촉 온도측정장치에 의해 행하여지는 막형성방법.
- 레지스트 도포, SOD 막형성, SOG 막형성, 또는 현상액막 형성 중의 어느 하나의 처리를 위한 처리실 내의 기판의 표면에 상기 처리를 위한 처리액의 막을 형성하는 막형성방법으로서,상기 처리실 내에 기체를 공급하는 동시에, 상기 처리실 내의 분위기를 배기하는 상태에서, 상기 처리실 내의 유지부재에 얹어놓은 기판에 처리액을 공급하는 공정과,상기 처리액의 공급전에, 상기 유지부재의 온도를 측정하는 공정을 가진 막형성방법.
- 제 6 항에 있어서, 상기 유지부재상의 온도의 측정결과에 기초하여, 상기 유지부재의 온도를 변경하는 공정을 가진 막형성방법.
- 제 6 항에 있어서, 상기 유지부재의 온도의 측정결과에 기초하여, 상기 처리실내에의 기체의 공급상태가 변경되는 공정을 가진 막형성방법.
- 제 6 항에 있어서, 상기 유지부재의 온도의 측정결과에 기초하여, 상기 기판에 상기 처리액의 용제의 증기를 내뿜는 공정을 가진 막형성방법.
- 제 6 항에 있어서, 상기 기판에의 처리액의 공급은 기판을 회전시킨 상태에서 행하여지며,상기 유지부재의 온도의 측정결과에 기초하여, 상기 기판의 회전속도를 변경시키는 공정을 가진 막형성방법.
- 제 6 항에 있어서, 상기 온도측정은 비접촉 온도측정장치에 의해 행하여지는 막형성방법.
- 레지스트 도포, SOD 막형성, SOG 막형성, 또는 현상액막 형성 중의 어느 하나의 처리를 위한 처리실 내에 있어서 유지부재 위에 얹어놓은 기판에 상기 처리를 위한 처리액을 공급하고, 상기 기판 표면에 상기 처리액의 막을 형성하는 막형성장치로서,상기 기판표면 또는 상기 유지부재의 온도를 측정하는 비접촉 온도측정장치를 가진 막형성장치.
- 제 12 항에 있어서, 상기 비접촉 온도측정장치는 열적외선 측정장치이며, 상기 측정대상물로부터의 적외선을 상기 열적외선 측정장치로 반사시키는 반사판을 가진 막형성장치.
- 제 12 항에 있어서, 상기 처리실내의 분위기를 배기하는 배기수단과,상기 비접촉 온도측정장치에 의한 측정결과에 기초하여, 상기 배기수단에 의한 상기 분위기의 배기량을 제어하는 제어장치를 가진 막형성장치.
- 제 12 항에 있어서, 상기 기판상의 임의의 위치에 상기 처리액의 용제증기를 공급하는 것이 가능한 용제증기공급수단과,상기 비접촉 온도측정장치에 의한 측정결과에 기초하여, 상기 용제증기공급수단의 상기 용제증기의 공급위치를 제어하는 제어장치를 가진 막형성장치.
- 제 12 항에 있어서, 상기 유지부재를 회전시키고, 또한 그 회전속도를 변경하는 것이 가능한 회전구동기구와,상기 비접촉 온도측정장치에 의한 측정결과에 기초하여, 상기 회전구동기구를 제어하는 제어장치를 가진 막형성장치.
- 제 12 항에 있어서, 상기 처리실내에 기체를 공급하는 기체공급수단과,상기 비접촉 온도측정장치에 의한 측정결과에 기초하여, 상기 기체공급수단으로부터의 기체의 온도, 습도 또는 공급방향을 제어하는 제어장치를 가지는 막형성장치.
- 제 17 항에 있어서, 상기 기체공급수단은 상기 기판 위쪽에 설치되고, 또한, 상기 기판 방향을 향한 복수의 공급구를 가지며,상기 공급구마다에, 공급되는 기체의 온도, 습도 또는 공급방향이 제어되는 막형성장치.
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