KR100514547B1 - 방사선검출소자및그제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- 복수의 수광 소자를 기판 상에 1차원 또는 2차원으로 배열하여 수광부를 형성하며, 상기 수광부의 각 행 또는 각 열의 상기 수광 소자와 전기적으로 접속된 복수의 본딩 패드를 상기 수광부의 외부에 배치한 수광 소자 어레이와,상기 수광부의 적어도 유효 화면 영역의 상기 수광 소자 상에 퇴적된 방사선을 가시광으로 변환하는 신틸레이터층과,상기 수광 소자 어레이 상의 상기 신틸레이터층이 형성된 영역과 상기 본딩 패드가 배치된 영역을 구분하는 폐쇄된 프레임 형상으로 형성된 수지로 이루어진 하나 또는 복수의 수지 프레임과,적어도 상기 신틸레이터층을 덮고 있는 동시에, 상기 수지 프레임 상까지 도달하여 적어도 상기 본딩 패드부를 노출시키고 있는 방사선 투과성의 내습 보호막을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 방사선 검출소자.
- 제 1 항에 있어서, 상기 수지 프레임은 상기 유효 화면 영역을 둘러싸는 직사각형 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 방사선 검출소자.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 하나 또는 복수의 수지 프레임은, 각각 상기 본딩 패드부 영역을 둘러싸는 직사각형 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 방사선 검출소자.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 수지 프레임을 따라서 상기 내습 보호막의 가장자리를 덮는 피복 수지를 또한 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 방사선 검출소자.
- 제 1 항에 있어서, 상기 내습 보호막은 적어도 유기막을 포함하는 2층 이상의 다층막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 방사선 검출소자.
- 제 5 항에 있어서, 상기 내습 보호막은 적어도 1층의 무기막을 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 검출소자.
- 복수의 수광 소자를 기판 상에 1차원 또는 2차원으로 배열하여 수광부를 형성하며, 상기 수광부의 각 행 또는 각 열의 상기 수광 소자와 전기적으로 접속된 복수의 본딩 패드를 상기 수광부의 외부에 배치한 수광 소자 어레이의 상기 수광부의 적어도 유효 화면 영역의 상기 수광 소자 상에 방사선을 가시광으로 변환하는 신틸레이터층을 퇴적시키는 공정과,상기 수광 소자 어레이 상에 수지에 의해 상기 신틸레이터층과 상기 본딩 패드부를 구분하는 하나 또는 복수의 폐쇄된 프레임 형상의 수지 프레임을 형성하는 공정과,상기 수광 소자 어레이 전체를 포위하는 방사선 투과성의 내습 보호막을 형성하는 공정과,상기 수지 프레임의 길이 방향을 따라서, 상기 내습 보호막을 절단하며, 본딩 패드부상의 상기 내습 보호막을 제거하여 상기 본딩 패드부를 노출시키는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 방사선 검출소자의 제조방법.
- 제 7 항에 있어서, 상기 내습 보호막의 가장자리를 상기 수지 프레임을 따라서 수지에 의해 덮어 접착하는 공정을 또한 구비하는 것을 특징으로 하는 방사선 검출소자의 제조방법.
- 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서, 상기 내습 보호막을 형성하는 공정은,방사선 투과성의 제 1 유기막을 형성하는 공정과,상기 제 1 유기막 상에 적어도 1층 이상의 막을 또한 퇴적하여, 2층 이상의 다층막으로 이루어진 방사선 투과성의 내습 보호막을 형성하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 방사선 검출소자의 제조방법.
- 제 9 항에 있어서, 상기 내습 보호막은 적어도 1층의 무기막을 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 검출소자의 제조방법.
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