KR100360157B1 - 어레이기판 및 어레이기판의 검사방법 - Google Patents

어레이기판 및 어레이기판의 검사방법 Download PDF

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Abstract

본 발명에서는, 서로 인접하는 제1신호선 및 제2신호선을 쌍(pair)으로 하고, 하나의 신호선 선택기간에 있어서 검사용 회로의 CPU(computer program unit)는 기록회로를 제어하며, 선택회로의 스위치(SW1)가 선택한 제1신호선에 대해 아날로그 신호를 기록한다. 다음 신호선 선택기간에 있어서, CPU는 독출회로를 제어하여 스위치(SW1)가 선택한 제2신호선으로부터의 출력신호를 독출한다. CPU는 제2신호선으로부터의 출력신호에 기초하여 쌍의 신호선간의 단락을 검출한다.

Description

어레이기판 및 어레이기판의 검사방법 {ARRAY SUBSTRATE AND METHOD FOR CHECKING ARRAY SUBSTRATE}
본 발명은 어레이기판의 검사방법에 관한 것으로, 특히 외부회로와의 접속수를 줄일 수 있는 어레이기판의 검사방법에 관한 것이다.
표시장치, 예컨대 다결정 실리콘 TFT(Thin Film Transistor)를 이용한 액정표시장치에서는 구동회로로서의 신호선 구동용 회로의 일부 및 게이트선 구동용 회로는 어레이기판상에 일체적으로 형성되어 있다. 이 경우, 신호선 구동회로의 일부, 예컨대 디지털ㆍ아날로그 변환회로(D/A 변환기)는 기판 외부에 설치되어 있다. 그렇지만, 이와 같이 구성한 액정표시장치는 비정질 실리콘 TFT를 이용한 액정표시장치와 비교하여 어레이기판과 외부회로의 접속배선의 수를 대폭적으로 감소할 수 있다.
상술한 바와 같은 표시장치에 있어서, 인접하는 신호선간의 단락을 검사하는 경우에는, 각 신호선에 검사용 패드를 설치하고, 이 패드에 검사용 회로의 프로브(probe)를 접속하며, 인접하는 신호선간의 도통을 검사하여 양 신호선이 도통한 경우에 신호선간의 단락을 검출한다.
또, 상술한 바와 같은 표시장치에 있어서, 신호선의 단선을 검사하는 경우에는 각 신호선의 양단에 검사용 패드를 설치하고, 양패드에 검사용 회로의 프로브를 접속하며, 신호선의 도통을 검사하여 신호선이 도통하지 않는 경우에 단선을 검출한다.
그렇지만, 신호선간의 단락을 검사하기 위해, 신호선과 동수인 검사용 패드가 필요하게 될 뿐만 아니라, 패드수에 대응한 수의 검사용 프로브도 필요하게 된다. 또, 신호선의 단선을 검사하기 위해, 신호선수의 2배의 수의 검사용 패드가 필요하게 될 뿐만 아니라, 패드수에 대응한 수의 검사용 프로브도 필요하게 된다.
이와 같이, 수많은 검사용 프로브가 필요하게 되기 때문에, 검사용 회로의 비용이 증대함과 더불어, 유지ㆍ보수가 번잡하게 된다는 문제가 발생한다.
또, 화소의 고정세화(高精細化)에 따라 신호선수가 증대한 경우, 검사용 패드를 배치하는 스페이스를 확보하는 것이 곤란해져, 다결정 실리콘 TFT를 이용하는 이점이 적어진다.
본 발명은 상술한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은 화소의 고정세화가 가능한 표시장치의 어레이기판을 제공함에 있다. 또, 본 발명의 목적은 비용을 증대시키지 않고 유지ㆍ보수가 용이한 검사용 회로를 이용하여 단락 및 단선을 확실히 검사하는 어레이기판의 검사방법을 제공함에 있다.
도 1은 본 발명의 어레이기판이 적용되는 표시장치의 1실시형태에 따른 액정표시장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이고,
도 2는 도 1에 나타낸 액정표시장치의 한변에 설치되는 TCP의 구성을 개략적으로 나타낸 도면,
도 3은 도 1에 나타낸 액정표시장치의 신호선 구동회로의 구성을 개략적으로 나타낸 도면,
도 4는 도 1에 나타낸 액정표시장치의 각 화소에 데이터신호를 기록할 때의 타이밍차트를 나타낸 도면,
도 5는 도 1에 나타낸 액정표시장치의 각 화소에 데이터신호를 기록할 때의 타이밍차트를 나타낸 도면,
도 6은 도 1에 나타낸 액정표시장치의 한변에 설치되는 TCP의 구성을 개략적으로 나타낸 도면,
도 7은 도 1에 나타낸 액정표시장치의 어레이기판의 일단측에 설치된 배선패드의 구성을 개략적으로 나타낸 도면,
도 8은 도 1에 나타낸 액정표시장치의 어레이기판의 중앙부에 설치된 배선패드의 구성을 개략적으로 나타낸 도면,
도 9는 도 1에 나타낸 액정표시장치의 어레이기판의 타단측에 설치된 배선패드의 구성을 개략적으로 나타낸 도면,
도 10은 본 발명의 제1검사방법에서의 2신호선간의 단락을 검사할 때의 신호기록시의 회로구성을 개략적으로 나타낸 도면,
도 11은 본 발명의 제1검사방법에서의 2신호선간의 단락을 검사할 때의 신호독출시의 회로구성을 개략적으로 나타낸 도면,
도 12는 본 발명의 제2검사방법에서의 2신호선간의 단선을 검사할 때의 신호기록시의 회로구성을 개략적으로 나타낸 도면,
도 13은 본 발명의 제2검사방법에서의 2신호선간의 단선을 검사할 때의 신호독출시의 회로구성을 개략적으로 나타낸 도면,
도 14는 본 발명의 제3검사방법에서의 2신호선간의 단락을 검사하기 위한 회로구성을 개략적으로 나타낸 도면,
도 15는 본 발명의 제4검사방법에서의 2신호선간의 단락을 검사하기 위한 회로구성을 개략적으로 나타낸 도면,
도 16은 본 발명의 제5검사방법에서의 2신호선간의 단락을 검사하기 위한 회로구성을 개략적으로 나타낸 도면,
도 17은 본 발명의 1실시형태에 따른 액정표시장치의 구성을 개략적으로 나타낸 단면도,
도 18은 본 발명의 1실시형태에 따른 유기 EL(organic electroluminescence)표시장치의 구성을 개략적으로 나타낸 단면도,
도 19는 본 발명의 1실시형태에 따른 유기 EL표시장치의 구성을 개략적으로 나타낸 평면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1 -- 액정표시장치, 11 -- 유리기판(어레이기판),
13 -- 배향막(어레이기판),
14 -- TFT(Thin Film Transistor), 24 -- 컬러필터층,
52 -- 보조용량선, 60 -- 언더코트(undercoat)층,
61 -- 보조용량전극, 62 -- 게이트 절연막,
63 -- 게이트전극, 76 -- 층간절연막,
80 -- 접촉전극, 88 -- 드레인전극,
89 -- 소스전극, 100 -- 어레이기판,
110 -- 화소TFT, 110N -- 화소 트랜지스터,
112 -- 반도체층, 112D -- 드레인영역,
112S -- 소스영역, 120 -- 화소전극,
130 -- 보조용량소자, 150 -- 게이트선 구동회로,
151 -- 화소전극, 160 -- 신호선 구동회로부,
170 -- 선택회로, 200 -- 대향기판,
210 -- 대향전극, 300 -- 액정층,
400 -- 밀봉재,
500-1~N -- TCP(Tape Carrier Package),
511 -- 신호선 구동용 IC, 513 -- 패드(PCB측),
515 -- 패드(어레이측), 521 -- 시프트 레지스터,
523 -- 데이터 레지스터, 525 -- D/A 변환기,
531 -- 입력신호용 배선군, 533 -- 출력신호용 배선군,
535 -- 각종 배선군, 537 -- 각종 배선군,
541 -- 각종 배선군, 543 -- 각종 배선군,
600 -- PCB기판(Printed Circuit Board),
900 -- 검사용 회로,
901 -- CPU(Computer Program Unit), 902 -- 기록회로,
903 -- 독출회로, 904 -- 제1스위치,
905 -- 제2스위치, 950 -- 절환회로,
950-1, 950-2 -- 스위치, 1100 -- 어레이기판,
1102 -- TFT, 1104 -- 양극,
1106 -- 음극, 1108 -- 유기 발광막,
1110 -- 양극 버퍼층, 1112 -- 음극 버퍼층,
1114 -- 발광부(표시화소), 1120 -- 게이트전극,
1121 -- 전류공급선, 1123 -- 전극부,
1125 -- 화소용량.
본 발명에 의하면, 청구항 1의 어레이기판의 검사방법은,
기판상에 서로 직교하여 배열된 복수의 게이트선 및 복수의 신호선과, 게이트선과 신호선의 각 교차부에 배치된 스위칭소자, 각 스위칭소자에 전기적으로 접속된 화소용량, 외부 구동회로로부터 출력된 아날로그 신호가 입력되는 복수의 입력단자 및, 상기 입력단자 각각으로부터 입력된 아날로그 신호를 대응하는 복수의 신호선으로 이루어진 신호선군의 적어도 하나의 신호선에 순차 분배하는 선택수단을 갖춘 어레이기판의 검사방법에 있어서,
복수의 상기 신호선군중 하나의 신호선을 선택하는 제1신호선 선택기간에 있어서 상기 하나의 신호선에 신호를 기록하고,
상기 제1신호선 선택기간에 계속되는 타이밍에서, 상기 신호선군중 다른 하나의 신호선을 선택하는 제2신호선 선택기간에 있어서 상기 다른 하나의 신호선으로부터 신호를 독출하며,
독출된 신호에 기초하여 상기 하나의 신호선과 상기 다른 하나의 신호선 사이의 단락을 검사하는 것을 특징으로 한다.
청구항 5에 기재된 어레이기판의 검사방법은,
기판상에 서로 직교하여 배열된 복수의 게이트선 및 복수의 신호선과, 게이트선과 신호선의 각 교차부에 배치된 스위칭소자, 각 스위칭소자에 전기적으로 접속된 화소용량, 구동회로로부터 출력된 신호가 입력되는 복수의 입력단자, 상기 입력단자 각각으로부터 입력된 신호를 대응하는 복수의 신호선으로 이루어진 신호선군의 적어도 하나의 신호선에 순차 분배하는 선택수단 및, 상기 신호선군중 하나의 신호선과 다른 하나의 신호선의 도통을 온(on)/오프(off)하는 절환수단을 갖춘 어레이기판의 검사방법에 있어서,
상기 하나의 신호선과 상기 다른 하나의 신호선을 도통하고,
상기 하나의 신호선을 선택하는 제1신호선 선택기간에 있어서, 상기 하나의 신호선에 신호를 기록하며,
상기 제1신호선 선택기간에 계속되는 타이밍에서, 상기 다른 하나의 신호선을 선택하는 제2신호선 선택기간에 있어서, 상기 다른 하나의 신호선으로부터 신호를 독출하며,
독출된 신호에 기초하여 상기 하나의 신호선 및 상기 다른 하나의 신호선의 단선을 검사하는 것을 특징으로 한다.
청구항 14에 기재된 어레이기판은,
기판상에 서로 직교하여 배열된 복수의 게이트선 및 복수의 신호선과, 게이트선과 신호선의 각 교차부에 배치된 스위칭소자, 각 스위칭소자에 접속된 화소용량, 구동회로로부터 출력된 신호가 입력되는 입력단자, 상기 입력단자로부터 입력된 신호를 복수의 인접하는 신호선으로 순차 선택하여 분배하는 선택수단 및, 상기 선택수단과 상기 스위칭소자 사이에 배치되고, 상기 신호선에 전기적으로 접속된 검사용 패드를 갖춘 것을 특징으로 한다.
청구항 18에 기재된 어레이기판의 검사방법은,
기판상에 서로 직교하여 배열된 복수의 게이트선 및 복수의 신호선과, 게이트선과 신호선의 각 교차부에 배치된 스위칭소자, 각 스위칭소자에 접속된 화소용량, 구동회로로부터 출력된 신호가 입력되는 입력단자, 상기 입력단자로부터 입력된 신호를 복수의 인접하는 신호선으로부터 순차 선택하여 분배하는 선택수단 및, 상기 선택수단과 상기 스위칭소자 사이에 배치되고, 상기 신호선에 전기적으로 접속된 검사용 패드를 갖춘 어레이기판의 검사방법에 있어서,
상기 선택수단에 의해 제1신호선을 선택하고,
상기 입력단자 및 상기 제1신호선에 인접하는 제2신호선상에 배치된 검사용패드에 검사용 회로의 프로브를 접속하며,
상기 입력단자로부터 상기 제1신호선에 신호를 기록하고,
상기 제2신호선으로부터 상기 검사용 패드를 매개로 출력되는 출력신호를 독출하며,
상기 검사용 패드로부터 독출된 신호에 기초하여 상기 제1신호선과 상기 제2신호선 사이의 단락을 검사하는 것을 특징으로 한다.
(발명의 실시형태)
이하, 본 발명의 검사방법, 예컨대 다결정 실리콘 TFT를 화소 TFT로서 이용하여 유효표시영역이 대각 15인치 사이즈의 광투과형 액정표시장치에 적용되는 신호선의 단락 및 단선의 검사방법에 따른 1실시형태에 대해 도면을 참조하여 설명한다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 이 액정표시장치(1)는 어레이기판(100)과, 이 어레이기판(100)에 대해 소정의 간격을 두고 대향배치된 대향기판(200) 및, 이들 어레이기판(100)과 대향기판(200) 사이에 끼워져 배향막을 매개로 배치되는 액정층 (300)을 갖추고 있다. 어레이기판(100)과 대향기판(200)은, 그 주변에 배치되는 밀봉재(400)에 의해 맞붙여져 있다.
어레이기판(100)은 행방향을 따라 뻗어나온 복수의 게이트선(Y)과, 열방향을 따라 뻗어나온 복수의 신호선(X), 게이트선(Y)과 신호선(X)의 각 교차부에 형성된 스위칭소자로서의 화소 박막 트랜지스터, 즉 화소TFT(110) 및, 게이트선(Y)과 신호선(X)에 의해 둘러싸인 각 화소에 대응하여 형성된 화소전극(120)을 갖추고 있다.
화소TFT(110)는 그 반도체층에 다결정 실리콘막을 이용하여 구성된다. 화소TFT(110)의 게이트 전극은 게이트선(Y)에 접속되어 있다. 화소TFT(110)의 소스전극은 신호선(X)에 접속되어 있다. 화소TFT(110)의 드레인전극은 화소전극 (120) 및 이 화소전극(120)과 병렬로 보조용량소자(130)를 구성하는 한쪽 전극에 접속되어 있다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 이 액정표시장치(1)는 어레이기판(100)의 화소전극(120), 액정층(300) 및 대향기판(200)의 대향전극(210)에 의해 형성되는 액정용량을 갖추고 있다. 또, 액정표시장치(1)는 액정용량에 병렬로 접속된 보조용량(화소용량)을 갖추고 있다. 이 보조용량은 보조용량소자(130)에 의해 형성된다.
게이트선(Y)을 구동하기 위한 구동신호를 출력하는 게이트선 구동수단으로서 기능하는 게이트선 구동회로(150)는 화소TFT(110)와 동일 프로세스로 어레이기판 (100)상에 일체적으로 형성되어 있다.
신호선(X)을 구동하기 위한 구동신호를 출력하는 신호선 구동회로부(160)는 TCP(tape carrier package; 500-1, 500-2, …, 500-6)와, 선택수단으로서 기능하는 선택회로(170)에 의해 구성된다. TCP(500-1, 500-2, …, 500-6)는 플렉시블 (flexible) 배선기판상에 실장된 신호선 구동용 IC(511)를 구비하고, 어레이기판 (100)과 전기적으로 접속되어 있다. 선택회로(170)는 어레이기판(100)상에 화소TFT(110)와 동일 프로세스로 형성된다.
TCP(500-1~6)는 어레이기판(100)의 한변에 늘어서고, 외부회로기판으로서의 PCB(printed circuit board)기판(600)에 접속되어 있다. 이 PCB기판(600)에는 외부로부터 입력되는 기준클럭신호 및 디지털방식의 데이터신호에 기초하여 각종 제어신호 및 제어신호에 동기한 데이터신호를 출력하는 제어IC나 전원회로 등이 실장되어 있다.
TCP(500-N(N=1, 2, 3, 4, 5, 6))는 도 2에 나타낸 바와 같이 PCB기판(600)에 형성된 접속배선상의 접속단자에 접속되는 PCB측 패드(513) 및, 어레이기판(100)에 형성된 접속배선상의 접속단자에 접속되는 어레이측 패드(515) 및, 이들 패드간을 접속하는 각종 배선을 갖추고 있다. 이들 PCB측 패드(513) 및 어레이측 패드(515)는 이방성 도전필름(ACF)을 매개로 각각 PCB기판(600) 및 어레이기판(100)에 전기적으로 접속되어 있다.
신호선 구동회로부(160)의 신호선 구동용 IC(511)는 PCB기판(600)으로부터의 입력신호에 기초하여 데이터신호를 아날로그 방식의 영상신호로서 출력한다.
즉, 도 3에 나타낸 바와 같이 신호선 구동용 IC(511)는 시프트 레지스터 (521), 데이터 레지스터(523), D/A변환기(525) 등으로 구성되어 있다. 시프트 레지스터(521)에는 PCB기판(600)측으로부터 클럭신호 및 제어신호가 입력된다. 데이터 레지스터(523)에는 PCB기판(600)측으로부터 데이터신호가 입력된다. 또, D/A변환기(525)에는 PCB기판(600)측으로부터 기준신호가 입력되고, 입력된 데이터신호가 아날로그 영상신호로 변환된다.
TCP-N의 신호선 구동용 IC(511)로부터 출력되는 각 아날로그 영상신호는 각 수평주사기간마다 2개의 신호선에 대응한 아날로그 영상신호를 포함한다. 이 아날로그 영상신호는 시계열(時系列)로 출력되고, 어레이기판(100)상에 형성된 신호선구동회로부(160)의 선택회로(170)에 입력된다.
선택회로(170)는 신호선 구동용 IC(511)로부터의 배선에 접속되고, 신호선 구동용 IC(511)로부터의 각 시리얼 아날로그 영상신호가 출력되는 출력단자(OUT1, OUT2, …)와, 신호선(X1, X2, …)의 일단에 형성된 입력단자(1A, 1B, 2A, 2B)를 선택적으로 접속하는 스위치(SW1, SW2, …)를 구비하고 있다. 이에 따라, 각 수평주사기간에서 신호선 구동용 IC(511)로부터의 2개의 인접하는 신호선에 대응하여 출력되는 각 시리얼 아날로그 영상신호는 후술하는 바와 같이 인접하는 2개의 신호선에 순차 분배된다.
이 실시형태에서는, 출력단자(OUT)수는 신호선(X)수의 반이고, 1출력단자로부터 2개의 신호선에 대해 순차 구동신호를 출력하고 있다. 더욱이, 접속수를 저감하는 것이면, 출력단자(OUT)수를 신호선(X)수의 1/3 혹은 1/4 등으로 하는 것도 가능하다.
그리고, 예컨대 스위치(SW1)는 스위치신호에 기초하여 1수평주사기간내에 출력단자(OUT1)와 신호선(X1, X2)의 입력단자(1A, 1B)를 각각 소정의 타이밍에서 순차 접속한다. 스위치(SW1)는 스위치신호가 온 타이밍에서 출력단자(OUT1)와 입력단자(1A)를 접속하고, 스위치신호가 오프 타이밍에서 출력단자(OUT1)와 입력단자 (1B)를 접속한다.
스위치(SW2)도 마찬가지로, 1수평주사기간내에 출력단자(OUT2)와 신호선 (X3, X4)의 입력단자(2A, 2B)를 각각 소정의 타이밍에서 접속한다. 스위치(SW2)는 스위치신호가 온 타이밍에서 출력단자(OUT2)와 입력단자(2A)를 접속하고, 스위치신호가 오프 타이밍에서 출력단자(OUT2)와 입력단자(2B)를 접속한다.
이와 같이, 게이트선 구동회로를 기판상에 일체적으로 형성하고, 신호선 구동회로를 기판상에 일체적으로 형성한 선택회로와 TCP상에 실장된 신호선 구동용 IC로 구성하고, 1수평주사기간내에 선택회로의 스위치가 복수의 신호선에 순차구동신호를 출력함으로써, 화소를 고정세화해도 어레이기판상에 형성되는 접속배선의 수를 신호선의 갯수에 대응하여 형성할 필요가 없어져, 접속배선간의 피치를 충분히 확보할 수 있다.
또, 게이트선 구동회로 및 신호선 구동회로를 전부 기판상에 형성하는 경우와 비교하여 배선길이가 길어지는 것을 방지할 수 있어, 데이터신호 혹은 영상신호의 열화를 방지할 수 있음과 더불어, 제조비용의 증대를 방지할 수 있다.
다음으로, 각 신호선(X)의 구동방법, 즉 각 신호선으로부터 각 화소로의 아날로그 영상신호의 기록방법의 일례에 대해 설명한다.
여기에서는, 예컨대 1수평주사기간의 전반에 입력단자(1A), 후반에 입력단자 (1B)에 각각 접속된 인접하는 한쌍의 신호선(X1, X2)으로 이루어진 신호선군에 순차로 영상신호의 기록을 행하는 경우에 대해 설명한다.
먼저, 1수평주사기간의 전반에 스위치(SW1)가 입력단자(1A)에 접속되고, 신호선(X1)에 아날로그 영상신호가 기록된다. 신호선(X1)에 아날로그 영상신호가 유지되고 있는 상태에서 1수평주기의 후반에 스위치(SW1)가 입력단자(1B)에 접속되고, 신호선(X2)에 아날로그 영상신호가 기록된다.
이 때, 신호선(X1)은 신호선(X2)의 전위변화에 따라 신호선끼리의 결합용량에 의해 전위의 변화가 생겨 버린다. 그 결과, 신호선(X1)에서는 본래 기록되야 할 아날로그 영상신호에 기초한 전위와 다른 전위로 변동하여 표시상 문제가 생길 우려가 있다.
예컨대, 여기에서는 1수직주사기간마다 신호선에 기록되는 영상신호의 극성(공통전위에 대한 전위), 즉 정(正)/부(負)를 절환하고 있다. 또, 인접하는 신호선에 정/부가 반전하는 영상신호가 기록되는 V라인 반전구동의 경우, 동일화면을 표시시키는, 예컨대 전압을 인가하여 흑(黑)표시를 할 때, 공통전위를 5V로 하면 정측은 9V, 부측은 1V의 전압을 인가하는 것으로 된다.
앞의 문제가 생긴 경우, 신호선(X1)이 9V의 전위를 기록한 후, 인접하는 신호선(X2)에 1V를 기록하지만, 신호선(X1)의 전위가 신호선(X2)의 전위변동에 의해 9V의 전위가 5V에 가까워지는 방향으로 변화하게 된다. 즉, 흑의 레벨이 변화하여 변동이 큰 경우에는, 세로로 계조(階調)가 다른 줄무늬가 보이게 되어 표시장치로서의 기능에 중대한 지장을 초래한다.
그래서, 이 실시형태에서는 신호선으로의 기록순서를 소정의 수직주사기간 및 수평주사기간의 적어도 한쪽마다 변화시킴으로써, 전위변동이 생긴 화소를 시간적 혹은 공간적으로 분산하고, 이에 따라 표시화면의 계조변동을 시인(視認)하기 어렵게 하고 있다.
즉, 도 4에 나타낸 바와 같이, n 프레임에 있어서, 스위치(SW1)에는 1수평주사기간의 전반에서 온으로 되고, 후반에서 오프로 되는 스위치신호가 입력된다. 이에 따라, 출력단자(OUT1)는 1수평주사기간의 전반에 입력단자(1A)에 접속되고,후반에 입력단자(1B)에 접속된다. 또, 스위치(SW2)에는 1수평주사기간의 전반에서 오프로 되고, 후반에서 온으로 되는 스위치신호가 입력된다. 이에 따라, 출력단자 (OUT2)는 1수평주사기간의 전반에 입력단자(2B)에 접속되고, 후반에 입력단자(2A)에 접속된다.
출력단자(OUT1)로부터 출력되는 출력신호는, 1수평주사기간의 전반 및 후반에서 반전한다. 즉, 전반에는 접속된 입력단자(1A)를 매개로 신호선(X1)에 정의 영상신호가 기록되고, 후반에는 접속된 입력단자(1B)를 매개로 신호선(X2)에 부의 영상신호가 기록된다.
출력단자(OUT2)로부터 출력되는 출력신호는, 1수평주사기간의 전반 및 후반에서 반전한다. 즉, 전반에는 접속된 입력단자(2B)를 매개로 신호선(X4)에 부의 영상신호가 기록되고, 후반에는 접속된 입력단자(2A)를 매개로 신호선(X3)에 정의 영상신호가 기록된다.
이에 따라, 제1화소에는 1수평주사기간의 전반부터 정의 영상신호가 기록되고, 제1화소에는 후반부터 부의 영상신호가 기록되게 된다. 또, 제3화소에는 1수평주사기간의 후반부터 정의 영상신호가 기록되고, 제4화소에는 전반으로부터 부의 영상신호가 기록되게 된다.
이 때, 인접하는 화소의 기록전위의 영향에 의해 1수평주사기간의 전반에 기록된 전위가 변동한다. 즉, 제1화소에서는 제2화소에 전위가 기록된 영향에 의해 기록시의 9V에서 약간 저하하고, 또 제4화소에서는 제3화소에 전위가 기록된 영향에 의해 기록시의 1V에서 약간 상승한다.
이어서, 도 5에 나타낸 바와 같이 (n+1) 프레임에 있어서, 스위치(SW1)에는 1수평주사기간의 전반에서 오프로 되고, 후반에서 온으로 되는 스위치신호가 입력된다. 이에 따라, 출력단자(OUT1)는 1수평주사기간의 전반에 입력단자(1B)에 접속되고, 후반에 입력단자(1A)에 접속된다. 또, 스위치(SW2)에는 1수평주사기간의 전반에서 온으로 되고, 후반에서 오프로 되는 스위치신호가 입력된다. 이에 따라, 출력단자(OUT2)는 1수평주사기간의 전반에 입력단자(2A)에 접속되고, 후반에 입력단자(2B)에 접속된다.
출력단자(OUT1)로부터 출력되는 출력신호는, 1수평주사기간의 전반 및 후반에서 반전한다. 즉, 전반에는 접속된 입력단자(1B)를 매개로 신호선(X2)에 정의 영상신호가 기록되고, 후반에는 접속된 입력단자(1A)를 매개로 신호선(X1)에 부의 영상신호가 기록된다.
출력단자(OUT2)로부터 출력되는 출력신호는, 1수평주사기간의 전반 및 후반에서 반전한다. 즉, 전반에는 접속된 입력단자(2A)를 매개로 신호선(X3)에 부의 영상신호가 기록되고, 후반에는 접속된 입력단자(2B)를 매개로 신호선(X4)에 정의 영상신호가 기록된다.
이에 따라, 제1화소에는 1수평주사기간의 후반부터 부의 영상신호가 기록되고, 제2화소에는 전반부터 정의 영상신호가 기록되게 된다. 또, 제3화소에는 1수평주사기간의 전반부터 부의 영상신호가 기록되고, 제4화소에는 후반부터 정의 영상신호가 기록되게 된다.
이 때, 제2화소에서는 제1화소에 전위가 기록된 영향에 의해 기록시의 9V에서 약간 저하하고, 또 제3화소에서는 제4화소에 전위가 기록된 영향에 의해 기록시의 1V에서 약간 상승한다.
이와 같이, n 프레임에 있어서, 제1화소 및 제4화소의 전위가 각각 공통전위에 가까운 방향으로 어긋나고, 제2화소 및 제3화소와 비교하여 흑레벨이 얇아진다. 또, (n+1) 프레임에 있어서, 제2화소 및 제3화소의 전위가 각각 공통전위에 가까운 방향으로 어긋나고, 제1화소 및 제4화소와 비교하여 흑레벨이 얇아진다.
표시화면상의 다른 부분에 대해서도 마찬가지로 동작하기 때문에, 이 경우 신호선(X1)에 접속된 화소열 및 신호선(X2)에 접속된 화소열 혹은 신호선(X3)에 접속된 화소열 및 신호선(X4)에 접속된 화소열의 흑레벨이 1프레임마다 교대로 얇아진다. 이 결과, 표시화면 전체로 하여 표시가 얇아지는 부분이 평균화되고, 전위변동의 영향에 의한 표시의 변동을 시인하기 어렵게 하는 것이 가능해진다. 또, 상기의 전위변동을 고려하여 기록되는 전위를 미리 보상하여 두는 것은 유효하다.
따라서, 신호선 구동용 IC의 출력단자수가 신호선의 갯수보다 적기 때문에, 신호선 구동용 IC의 갯수를 저감하는 것이 가능해져 비용을 저감할 수 있음과 더불어, 신호선 구동용 IC의 갯수를 저감해도 화면의 표시품위를 저하시키지 않고 표시시키는 것이 가능해진다.
상술한 실시형태에서는, 신호선의 선택주기를 1수직주사기간마다로 했지만, 1수평주사기간마다에서도 마찬가지의 작용이 생겨, 전위가 변동하는 화소를 체크무늬로 분산할 수 있다. 또, 1수평주사기간마다, 또 1수직주사기간마다 신호선의 선택주기를 변경해도 좋다. 이 경우, 체크무늬의 배열이 수직주사기간마다 교체하게되어 전위변동이 생긴 화소를 한층 더 평균화할 수 있다.
마찬가지로, 신호선의 선택주기는 1수평주사기간이나 1수직주사기간에 한정되지 않고, 복수주기로 실행해도 좋다. 예컨대, 신호선의 선택주기를 1수평주사기간마다, 또 2수직주사기간마다 변경해도 좋다. 즉, 상술한 실시형태에서는 어떤 화소에 주목한 경우, 전위변동이 특정 극성의 영상신호를 기록할 때에 생긴다는 치우침이 있었지만, 이 경우에는 극성에 관해서도 차례로 교체하기 때문에, 치우침의 발생을 억제할 수 있다.
상술한 실시형태에서는, 도 1에 나타낸 TCP(500-1~6)는 전부 동일하고, 도 2에 나타낸 바와 같이 구성되어 있다. 즉, 각 TCP(500-N)의 PCB패드(513)수는 PCB기판(600)상의 접속배선수와 동일함과 더불어, PCB패드(513)의 피치는 PCB기판 (600)상의 접속배선간의 피치와 동일하다. 또, 어레이패드(515)의 수는 어레이기판(100)상의 접속배선수와 동일함과 더불어, 어레이패드(515)의 피치는 어레이기판 (100)상의 접속배선간의 피치와 동일하다.
이 TCP(500-N)는 신호선 구동용 IC(511)에 PCB기판(600)으로부터의 입력신호에 대응하여 형성된 입력신호용 배선군(531), 신호선 구동용 IC(511)로부터의 출력신호에 대응하여 형성된 출력신호용 배선군(533), 액정표시장치용 전원배선, 선택회로(170)의 스위치(SW)용 전원배선 및 스위치신호(제어신호)용 배선 등의 각종 배선군(535, 537)을 갖추고 있다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 신호선 구동용 IC(511)로의 입력신호용 배선군 (531) 및 출력신호용 배선군(533)은 거의 동일한 갯수로 분배된 각종 배선군(535)과 배선군(537) 사이에 배치되어 있다.
어레이기판(100)의 양단에 배치된 TCP(500-1, 500-6)는 어레이기판(100)의 양단에 형성된 게이트선 구동회로(150)에 접속되는데 대응하여 각종 배선군(535, 537)에 게이트선 구동회로(150)용 전원배선 및 제어신호용 배선을 갖추고 있다. 물론, 게이트선 구동회로(150)가 어레이기판의 일단에만 형성된 경우에는, 이에 대응하여 한쪽 TCP(500-1) 또는 TCP(500-6)에만 게이트선 구동회로(150)용 전원배선 및 제어신호용 배선을 갖추면 좋다.
이와 같이, TCP상에 게이트선 구동회로용 전원배선 및 제어신호용 배선이나 선택회로의 스위치용 전원배선 및 스위치신호용 배선, 액정표시장치용 전원배선 등을 신호선 구동용 IC의 입출력 신호용 배선과 더불어 형성함으로써 별도의 배선부재를 준비할 필요가 없어져, 비용을 저감하는 것이 가능해진다.
또, 상술한 실시형태에서는 TCP(500-1~6)를 전부 동일하게 했지만, TCP(500-1, 500-6)와, TCP(500-2~500-5)를 다른 구성으로 해도 좋다. 즉, TCP(500-2~500-5)의 어레이패드(515)에 대응한 어레이기판(100)상의 접속배선수는 TCP(500-1, 500-6)에 비해 적다. 이 때문에, TCP(500-2~500-5)는 접속배선간의 피치를 보다 확대할 수 있다.
보다 구체적으로는, TCP(500-1, 500-6)는 도 2에 나타낸 바와 같은 구조이고, 신호선 구동용 IC(511)에 PCB기판(600)으로부터의 입력신호에 대응하여 형성된 입력신호용 배선군(531), 신호선 구동용 IC(511)로부터의 출력신호에 대응하여 형성된 출력신호용 배선군(533), 액정표시장치용 전원배선, 선택회로(170)의스위치(SW)용 전원배선 및 스위치신호(제어신호)용 배선, 게이트선 구동회로(150)용 전원배선 및 제어신호용 배선 등의 각종 배선군(535, 537)을 갖추고 있다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 신호선 구동용 IC(511)로의 입력신호용 배선군 (531) 및 출력신호용 배선군(533)은 거의 동일한 갯수로 분배된 각종 배선군(535)과 배선군(537) 사이에 배치되어 있다.
TCP(500-2~500-5)는 도 6에 나타낸 바와 같은 구조이고, 신호선 구동용 IC(511)에 PCB기판(600)으로부터의 입력신호에 대응하여 형성된 입력신호용 배선군 (531), 신호선 구동용 IC(511)로부터의 출력신호에 대응하여 형성된 출력신호용 배선군(533), 액정표시장치용 전원배선, 선택회로(170)의 스위치(SW)용 전원배선 및 스위치신호(제어신호)용 배선 등의 각종 배선군(541, 543)을 갖추고 있다.
도 6에 나타낸 바와 같이, 신호선 구동용 IC(511)로의 입력신호용 배선군 (531) 및 출력신호용 배선군(533)은 거의 동일한 갯수로 분배된 각종 배선군(541)과 배선군(543) 사이에 배치되어 있다.
도 2에 나타낸 TCP에서의 각종 배선군(535, 537)의 갯수는 20~40개 정도인 것에 대해 도 6에 나타낸 TCP에서의 각종 배선군(541, 543)의 갯수는 5~20개 정도이다.
도 7에 나타낸 바와 같이, 어레이기판(100)의 일단측에 TCP(500-1)가 접속된다. 어레이기판(100)은 그 한변을 따라 TCP(500-1)의 어레이패드(515)가 접속되는 접속패드군(PD)을 갖추고 있다. 이들 접속패드군(PD)의 중앙부에는 신호선 구동용 IC(511)로부터의 출력신호, 스위치신호, 스위치의 전원을 선택회로(170)에 입력하기 위한 패드가 설치되어 있다.
접속패드군(PD)의 일단측에는 주로 게이트선 구동회로(150)에 전원 및 제어신호를 입력하기 위한 패드가 설치되어 있다. 이들 패드로부터 공급되는 제어신호로서는, 예컨대 게이트선 구동회로(150)가 시프트 레지스터로 구성되어 있는 경우,클럭신호나 스타트(start)신호, 리셋신호 등이다. 또, 이들 패드로부터는 필요에 따라 액정표시장치의 전원이 공급되어도 좋다.
도 8에 나타낸 바와 같이, 어레이기판(100)의 한변을 따르는 중앙부에는 TCP(500-2~500-5)가 접속된다. 어레이기판(100)은 그 한변을 따라 TCP(500-2~500-5)의 어레이패드(515)가 접속되는 접속패드군(PD)을 갖추고 있다. 이들 접속패드군(PD)에는 신호선 구동용 IC(511)로부터의 출력신호, 스위치신호, 스위치의 전원을 선택회로(170)에 입력하기 위한 패드가 설치되어 있다.
도 9에 나타낸 바와 같이, 어레이기판(100)의 타단측에 TCP(500-6)가 접속된다. 어레이기판(100)은 그 한변을 따라 TCP(500-6)의 어레이패드(515)가 접속되는 접속패드군(PD)을 갖추고 있다. 이들 접속패드군(PD)의 중앙부에는 신호선 구동용 IC(511)로부터의 출력신호, 스위치신호, 스위치의 전원을 선택회로(170)에 입력하기 위한 패드가 설치되어 있다.
접속패드군(PD)의 타단측에는 주로 게이트선 구동회로(150)에 전원 및 제어신호를 입력하기 위한 패드가 설치되어 있다. 또, 이들 패드로부터는 필요에 따라 액정표시장치의 전원이 공급되어도 좋다.
이상의 구성에 의해, TCP(500-2~500-5)는 신호선 구동IC로부터의 출력신호가입력되는 배선외에 선택회로(170)의 스위치(SW)용 전원 및 스위치신호를 입력하기 위한 배선만으로 좋고, TCP(500-1, 500-6)에 비해 접속해야 할 배선수를 삭감할 수 있다. 이 때문에, 각 배선의 일단에 배치된 패드의 피치를 확대할 수 있다. 이에 따라, 신뢰성을 손상시키지 않고 고정세화를 도모하는 것이 가능하다.
다음으로, 상술한 바와 같은 표시장치에 있어서, 어레이기판(100)의 신호선 (X(1, 2, 3, …))의 단락을 검사하는 제1검사방법에 대해 설명한다. 또, 이 검사공정은 어레이기판(100)이 예컨대 도 17에 나타낸 바와 같은 구조인 경우, 어레이기판(100)상에 컬러필터층(24), 화소전극(120), 배향막(13) 등을 형성하기 전에 행해진다.
즉, 도 17에 나타낸 바와 같은 구조의 어레이기판(100)은 이하의 순서대로 형성된다. 먼저, 투명한 유리기판(11)상에 언더코트(undercoat)층(60), TFT(14)의 반도체층(112) 및 보조용량전극(61), 게이트 절연막(62), 주사선(Y)과 일체인 게이트전극(63) 및 보조용량선(52), 층간절연막(76)을 차례로 형성한다. 이어서, 층간절연막(76)상에 반도체층(112)의 드레인영역(112D)에 접촉한 신호선(X)과 일체인 드레인전극(88), 반도체층(112)의 소스영역(112S)에 접촉한 소스전극(89) 및 보조용량전극(61)에 접촉한 접촉전극(80)을 형성한다. 이어서, 컬러필터층(24), 화소전극(151), 배향막(13)을 차례로 형성한다.
게이트 절연막(62)을 매개로 대향배치된 보조용량전극(61) 및 보조용량선 (52)은 보조용량소자(130)를 구성하여 보조용량, 즉 화소용량을 형성한다.
이 검사방법은, 예컨대 어레이기판(100)의 컬러필터층(24)을 형성하기 전의타이밍에서 행한다. 이에 따라, 신호선에 불량이 있는 어레이기판을 다음 공정으로 진행시키기 전에 제거하는 것이 가능해져, 쓸데없는 작업을 삭감할 수 있다. 또, 후술하는 다른 제2 내지 제5검사방법도 마찬가지의 타이밍에서 행해진다.
도 10 및 도 11에 나타낸 바와 같이, 먼저 어레이기판(100)에 검사용 회로(900)를 접속한다. 이 검사용 회로(900)는 내부의 각 회로나 스위치를 제어하는 CPU(computer program unit; 901)와 신호선에 아날로그 신호를 기록하는 기록회로(902), 신호선으로부터 출력되는 신호를 독출하는 독출회로(903), 기록회로 (902)와 독출회로(903)를 선택하는 제1스위치(904), 접속패드(PD(1, 2, 3, …))에 각각 접속되는 프로브(PR(1, 2, 3, …)) 및 프로브(PR)를 선택하는 제2스위치(905)를 갖추고 있다.
CPU(901)는 기록회로(902), 독출회로(903), 제1스위치(904), 제2스위치(905) 및 어레이기판(100)의 선택회로(170)에 대해 각각 소정의 타이밍에서 제어신호를 출력한다.
먼저, 서로 인접하는 제1신호선(X1)과 제2신호선(X2)의 단락을 검사하는 검사방법에 대해 설명한다. 이들 제1신호선(X1) 및 제2신호선(X2)은 선택회로(170)의 동일 스위치(SW1)에 의해 선택되고, 동일한 접속패드(PD1)를 매개로 아날로그 신호의 기록 및 독출이 행해진다.
즉, 제1신호선(X1)을 선택하는 제1신호선 선택기간에 있어서, CPU(901)는 도 10에 나타낸 바와 같이, 제1스위치(904)에 대해 기록회로(902)를 선택하는 제어신호를 출력함과 더불어, 제2스위치(905)에 대해 접속패드(PD1)에 접속된 프로브(PR1)를 선택하는 제어신호를 출력한다. 또, 이 때 CPU(901)는 선택회로(170)에 대해 스위치(SW1)의 출력단자(OUT1)를 제1신호선(X1)의 입력단자(1A)에 접속하는 제어신호를 출력한다.
이러한 제1신호선 선택기간에 있어서, CPU(901)는 기록회로(902)를 제어하여 제1신호선(X1)에 소정의 아날로그 신호를 기록한다.
이어서, 제1신호선(X1)에 인접하는 제2신호선(X2)을 선택하는 제2신호선 선택기간에 있어서, CPU(901)는 도 11에 나타낸 바와 같이 제1스위치(904)에 대해 독출회로(903)를 선택하는 제어신호를 출력함과 더불어, 제2스위치(905)에 대해 접속패드(PD1)에 접속된 프로브(PR1)를 선택하는 제어신호를 출력한다. 또, 이 때 CPU(901)는 선택회로(170)에 대해 스위치(SW1)의 출력단자(OUT1)를 제2신호선(X2)의 입력단자(1B)에 접속하는 제어신호를 출력한다.
이러한 제2신호선 선택기간에 있어서, CPU(901)는 독출회로(903)를 제어하여 제2신호선(X2)으로부터의 출력신호를 독출한다.
CPU(901)는 제1신호선(X1)으로부터 소정의 아날로그 신호를 검출한 경우에 제1신호선(X1)과 제2신호선(X2)이 단락하고 있다고 판단하고, 제2신호선(X2)으로부터 신호를 검출하지 않은 경우에 제1신호선(X1)과 제2신호선(X2) 사이에 단락이 발생하고 있지 않는 것으로 판단한다.
다음으로, 서로 인접하는 제2신호선(X2)과 제3신호선(X3)의 단락을 검사하는 검사방법에 대해 설명한다. 이들 제2신호선(X2) 및 제3신호선(X3)은 각각 선택회로(170)의 다른 스위치, 즉 스위치(SW1, SW2)에 의해 선택되고, 각각의 스위치(SW1, SW2)에 접속된 접속패드(PD1, PD2)를 매개로 아날로그 신호의 기록 및 독출을 행한다.
즉, 제2신호선(X2)을 선택하는 제2신호선 선택기간에 있어서, CPU(901)는 제1스위치(904)에 대해 기록회로(902)를 선택하는 제어신호를 출력함과 더불어, 제2스위치(905)에 대해 접속패드(PD1)에 접속된 프로브(PR1)를 선택하는 제어신호를 출력한다. 또, 이 때 CPU(901)는 선택회로(170)에 대해 스위치(SW1)의 출력단자(OUT1)를 제2신호선(X2)의 입력단자(1B)에 접속하는 제어신호를 출력한다.
이러한 제2신호선 선택기간에 있어서, CPU(901)는 기록회로(902)를 제어하여 제2신호선(X2)에 소정의 아날로그 신호를 기록한다.
이어서, 제2신호선(X2)에 인접하는 제3신호선(X3)을 선택하는 제3신호선 선택기간에 있어서, CPU(901)는 제1스위치(904)에 대해 독출회로(903)를 선택하는 제어신호를 출력함과 더불어, 제2스위치(905)에 대해 접속패드(PD2)에 접속된 프로브 (PR2)를 선택하는 제어신호를 출력한다. 또, 이 때 CPU(901)는 선택회로(170)에 대해 스위치(SW2)의 출력단자(OUT2)를 제3신호선(X3)의 입력단자(2A)에 접속하는 제어신호를 출력한다.
이러한 제3신호선 선택기간에 있어서, CPU(901)는 독출회로(903)를 제어하여 제3신호선(X3)으로부터의 출력신호를 독출한다.
CPU(901)는 제3신호선(X3)으로부터 소정의 아날로그 신호를 검출한 경우에 제2신호선(X2)과 제3신호선(X3)이 단락하고 있다고 판단하고, 제3신호선(X3)으로부터 신호를 검출하지 않은 경우에 제2신호선(X2)과 제3신호선(X3) 사이에 단락이 발생하고 있지 않는 것으로 판단한다.
이하, 마찬가지로 하여 서로 인접하는 2개의 신호선을 쌍(pair)으로 하고, 하나의 신호선 선택기간에 있어서 한쪽 신호선에 대해 아날로그 신호를 기록하고, 다음의 신호선 선택기간에 있어서 다른쪽 신호선으로부터의 출력신호를 독출함으로써, 쌍의 신호선간의 단락을 검출하는 것이 가능해진다.
따라서, 검사용 패드수를 종래의 반 이하로 하는 것이 가능해져, 화소를 고정세화한 경우에 있어서도 패드를 배치하는 스페이스의 확보가 용이해짐과 더불어, 다결정 실리콘 TFT를 이용한 이점을 유효하게 활용하는 것이 가능해진다.
또, 검사용 패드수의 감소에 따라 프로브수도 감소할 수 있고, 비용을 증대시키지 않고 유지ㆍ보수가 용이한 검사용 회로를 제공하는 것이 가능해진다.
다음으로, 상술한 바와 같은 표시장치에 있어서, 어레이기판(100)의 신호선 (X(1, 2, 3, …))의 단선을 검사하는 제2검사방법에 대해 설명한다.
도 12 및 도 13에 나타낸 바와 같이, 먼저 어레이기판(100)에 검사용 회로 (900)를 접속한다. 이 검사용 회로(900)의 CPU(901)는 기록회로(902), 독출회로 (903), 제1스위치(904), 제2스위치(905), 어레이기판(100)의 선택회로(170) 및 어레이기판(100)의 절환회로(950)에 대해 각각 소정의 타이밍에서 제어신호를 출력한다.
어레이기판(100)에 일체로 형성된 선택회로(170)는 각 신호선(X(1, 2, 3, …))의 일단에 배치되어 있음과 더불어, 어레이기판(100)에 일체로 형성된 절환회로(950)는 각 신호선(X(1, 2, 3, …))의 타단에 배치되어 있다. 이 절환회로(950)는 인접하는 신호선의 도통을 온/오프하는 스위치(950-1, 950-2, …)를 갖추고 있다.
먼저, 서로 인접하는 제1신호선(X1) 및 제2신호선(X2)의 단선을 검사하는 검사방법에 대해 설명한다. 이들 제1신호선(X1) 및 제2신호선(X2)은 선택회로(170)의 동일 스위치(SW1)에 의해 선택되고, 동일한 접속패드(PD1)를 매개로 아날로그 신호의 기록 및 독출을 행한다.
즉, 제1신호선(X1)을 선택하는 제1신호선 선택기간에 있어서, CPU(901)는 도 12에 나타낸 바와 같이, 제1스위치(904)에 대해 기록회로(902)를 선택하는 제어신호를 출력함과 더불어, 제2스위치(905)에 대해 접속패드(PD1)에 접속된 프로브 (PR1)를 선택하는 제어신호를 출력한다.
또, 이 때 CPU(901)는 선택회로(170)에 대해 스위치(SW1)의 출력단자(OUT1)를 제1신호선(X1)의 입력단자(1A)에 접속하는 제어신호를 출력한다. 더욱이, 이 때 CPU(901)는 절환회로(950)에 대해 제1신호선(X1)과 제2신호선(X2)을 도통하도록 스위치(950-1)를 온하는 제어신호를 출력한다.
이러한 제1신호선 선택기간에 있어서, CPU(901)는 기록회로(902)를 제어하여 제1신호선(X1)에 소정의 아날로그 신호를 기록한다.
이어서, 제1신호선(X1)에 인접하는 제2신호선(X2)을 선택하는 제2신호선 선택기간에 있어서, CPU(901)는 도 13에 나타낸 바와 같이 제1스위치(904)에 대해 독출회로(903)를 선택하는 제어신호를 출력함과 더불어, 제2스위치(905)에 대해 접속패드(PD1)에 접속된 프로브(PR1)를 선택하는 제어신호를 출력한다.
또, 이 때 CPU(901)는 선택회로(170)에 대해 스위치(SW1)의 출력단자(OUT1)를 제2신호선(X2)의 입력단자(1B)에 접속하는 제어신호를 출력한다. 더욱이, 이 때 CPU(901)는 절환회로(950)에 대해 제1신호선(X1)과 제2신호선(X2)을 도통하도록 스위치(950-1)를 온하는 제어신호를 출력한다.
이러한 제2신호선 선택기간에 있어서, CPU(901)는 독출회로(903)를 제어하여 제2신호선(X2)으로부터의 출력신호를 독출한다.
CPU(901)는 제2신호선(X2)으로부터 소정의 아날로그 신호를 검출한 경우에 제1신호선(X1) 및 제2신호선(X2)에 단선이 발생하고 있지 않는 것으로 판단하고, 제2신호선(X2)으로부터 신호를 검출하지 않은 경우에 제1신호선(X1) 및 제2신호선 (X2)의 적어도 한쪽에 단선이 발생하고 있는 것으로 판단한다.
이하, 마찬가지로 하여 제3신호선(X3)-제4신호선(X4), 제5신호선(X5)-제6신호선(X6)과 같이, 서로 인접하는 2개의 신호선을 쌍으로 하고, 이들 쌍의 신호선을 도통상태로 하며, 하나의 신호선 선택기간에 있어서 한쪽 신호선에 대해 아날로그 신호를 기록하고, 다음의 신호선 선택기간에 있어서 다른쪽 신호선으로부터의 출력신호를 독출한다. 이에 따라, 쌍의 신호선의 단선을 검출하는 것이 가능해진다.
따라서, 검사용 패드수를 종래의 반 이하로 하는 것이 가능해져, 화소를 고정세화한 경우에 있어서도 패드를 배치하는 스페이스의 확보가 용이해짐과 더불어, 다결정 실리콘 TFT를 이용한 이점을 유효하게 활용하는 것이 가능해진다.
또, 검사용 패드수의 감소에 따라 프로브수도 감소시킬 수 있어, 비용을 증대시키지 않고 유지ㆍ보수가 용이한 검사용 회로를 제공하는 것이 가능해진다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 화소의 고정세화가 가능한 표시장치의 어레이기판을 제공할 수 있다. 또, 본 발명에 의하면, 비용을 증대시키지 않고 유지ㆍ보수가 용이한 검사용 회로를 이용하여 단락 및 단선을 확실히 검사하는 어레이기판의 검사방법을 제공할 수 있다.
다음으로, 상술한 바와 같은 표시장치에 있어서 어레이기판(100)의 신호선(X (1, 2, 3, …))의 단락을 검사하는 제3검사방법에 대해 설명한다.
도 14에 나타낸 바와 같이, 먼저 어레이기판(100)에 검사용 회로(900)를 접속한다. 이 검사용 회로(900)는 내부의 각 회로나 스위치를 제어하는 CPU(901)와 신호선에 아날로그 신호를 기록하는 기록회로(902), 신호선으로부터 출력되는 신호를 독출하는 독출회로(903) 및 접속패드(PD(1, 2, 3, …))에 각각 접속되는 프로브 (PR(1, 2))를 갖추고 있다.
검사용 회로(900)의 CPU(901)는 기록회로(902), 독출회로(903) 및 어레이기판(100)의 선택회로(170)에 대해 각각 소정의 타이밍에서 제어신호를 출력한다.
한편, 어레이기판(100)측은 신호선상에 있어서 선택회로(170)의 스위치(SW(1 , 2, …))와 이 스위치에 가장 가까운 화소 트랜지스터(110N) 사이에 배치된 검사용 패드(PD1B(2B, 3B, …))를 갖추고 있다. 즉, 이 검사용 패드(PD1B)는 신호선 (X2)에 전기적으로 접속되어 있음과 더불어, 선택회로(170)에 포함되는 스위치 (SW1)의 입력단자(1B)와 화소 트랜지스터(110N) 사이에 배치되어 있다.
마찬가지로, 다른 검사용 패드(PD2B, …)도, 예컨대 짝수번째의 신호선(X2n (n=1, 2, …))상에서의 선택회로(170)의 스위치와 이 스위치에 가장 가까운 화소트랜지스터 사이에 배치되어 있다.
먼저, 서로 인접하는 제1신호선(X1)과 제2신호선(X2)의 단락을 검사하는 검사방법에 대해 설명한다. 이들 제1신호선(X1) 및 제2신호선(X2)은 선택회로(170)의 동일 스위치(SW1)에 의해 선택되고, 동일한 접속패드(PD1)를 매개로 아날로그 신호의 기록 및 독출을 행한다.
즉, 도 14에 나타낸 바와 같이, 제1프로브(PR1)를 접속패드(PD1A)에 접속하고, 제2프로브(PR2)를 검사용 패드(PD1B)에 접속한다.
그리고, 검사용 회로(900)의 CPU(901)는 선택회로(170)에 대해 스위치(SW1)의 출력단자(OUT1)를 제1신호선(X1)의 입력단자(1A)에 접속하는 제어신호를 출력한다.
그리고, CPU(901)는 기록회로(902)를 제어하여 제1프로브(PR1)를 매개로 제1신호선(X1)에 소정의 아날로그 신호를 기록한다.
이어서, CPU(901)는 독출회로(903)를 제어하여 제2프로브(PR2)를 매개로 제2신호선(X2)으로부터의 출력신호를 독출한다.
CPU(901)는 제2신호선(X2)으로부터 소정의 아날로그 신호를 검출한 경우에 제1신호선(X1)과 제2신호선(X2)이 단락하고 있다고 판단하고, 제2신호선(X2)으로부터 신호를 검출하지 않은 경우에 제1신호선(X1)과 제2신호선(X2) 사이에 단락이 발생하고 있지 않는 것으로 판단한다.
다음으로, 서로 인접하는 제2신호선(X2)과 제3신호선(X3)의 단락을 검사하는 검사방법에 대해 설명한다. 이들 제2신호선(X2) 및 제3신호선(X3)은 각각 선택회로(170)의 다른 스위치, 즉 스위치(SW1, SW2)에 의해 선택되고, 각각의 스위치 (SW1, SW2)에 접속된 접속패드(PD1A, PD2A)를 매개로 아날로그 신호의 기록 및 독출을 행한다.
이 때, 제1프로브(PR1)는 접속패드(PD2A)에 접속되어 있다.
즉, CPU(901)는 선택회로(170)에 대해 스위치(SW2)의 출력단자(OUT2)를 제3신호선(X3)의 입력단자(2A)에 접속하는 제어신호를 출력한다.
그리고, CPU(901)는 기록회로(902)를 제어하여 제1프로브(PR1)를 매개로 제3신호선(X3)에 소정의 아날로그 신호를 기록한다.
이어서, CPU(901)는 독출회로(903)를 제어하여 제2프로브(PR2)를 매개로 제2신호선(X2)으로부터의 출력신호를 독출한다.
CPU(901)는 제2신호선(X2)으로부터 소정의 아날로그 신호를 검출한 경우에 제2신호선(X2)과 제3신호선(X3)이 단락하고 있다고 판단하고, 제2신호선(X2)으로부터 신호를 검출하지 않은 경우에 제2신호선(X2)과 제3신호선(X3) 사이에 단락이 발생하고 있지 않는 것으로 판단한다.
이하, 마찬가지로 하여 서로 인접하는 2개의 신호선을 쌍으로 하고, 검사용 회로의 한쪽 프로브를 접속패드에 접속함과 더불어 다른쪽 프로브를 신호선상에 설치된 검사용 패드에 접속하며, 한쪽 프로브에 접속된 접속패드와 한쪽 신호선을 전기적으로 접속한 상태에서 이 한쪽 신호선에 대해 아날로그 신호를 기록하고, 검사용 패드에 전기적으로 접속된 다른쪽 신호선으로부터의 출력신호를 독출함으로써, 쌍의 신호선간의 단락을 검출하는 것이 가능해진다.
이와 같이, 접속패드의 일부 또는 전부를 검사용 패드로서 이용함으로써, 검사용 패드수의 증대를 억제하는 것이 가능해져, 화소를 고정세화한 경우에 있어서도 패드를 배치하는 스페이스의 확보가 용이하게 됨과 더불어, 다결정 실리콘 TFT를 이용한 이점을 유효하게 활용하는 것이 가능해진다.
또, 프로브수의 증대도 억제할 수 있거나, 혹은 프로브의 간격을 충분히 넓게 취할 수 있기 때문에, 비용을 증대시키지 않고 유지ㆍ보수가 용이한 검사용 회로를 제공하는 것이 가능해진다.
다음으로, 상술한 바와 같은 표시장치에 있어서, 어레이기판(100)의 신호선(X(1, 2, 3, …))의 단락을 검사하는 제4검사방법에 대해 설명한다.
도 15에 나타낸 바와 같이, 먼저 어레이기판(100)에 검사용 회로(900)를 접속한다. 이 검사용 회로(900)는 내부의 각 회로나 스위치를 제어하는 CPU(901)와 신호선에 아날로그 신호를 기록하는 기록회로(902), 신호선으로부터 출력되는 신호를 독출하는 독출회로(903), 접속패드(PD(1, 2, 3, …))에 각각 접속되는 프로브 (PR(1, 2, 3)) 및 제2프로브(PR2) 또는 제3프로브(PR3)를 절환하는 제1스위치 (904)를 갖추고 있다.
검사용 회로(900)의 CPU(901)는 기록회로(902), 독출회로(903) 및 제1스위치 (904) 및 어레이기판(100)의 선택회로(170)에 대해 각각 소정의 타이밍에서 제어신호를 출력한다.
한편, 어레이기판(100)측에 있어서는, 선택회로(170)의 스위치(SW(1 , 2, …))는 1개의 출력단자(OUT1)에 대해 3개의 신호선(X1, X2, X3)에 각각 대응하는입력단자(1A, 1B, 1C)를 선택가능하게 형성되어 있다. 또, 어레이기판(100)은 신호선상에 있어서, 선택회로(170)의 스위치(SW(1, 2, …))와 이 스위치에 가장 가까운 화소 트랜지스터(110N) 사이에 배치된 검사용 패드(PD1B, PD1C(PD2B, PD2C, …))를 갖추고 있다.
먼저, 서로 인접하는 제1신호선(X1)과 제2신호선(X2)의 단락을 검사하는 검사방법에 대해 설명한다. 이들 제1신호선(X1) 및 제2신호선(X2)은 선택회로(170)의 동일 스위치(SW1)에 의해 선택되고, 동일한 접속패드(PD1A)를 매개로 아날로그 신호의 기록 및 독출을 행한다.
즉, 도 15에 나타낸 바와 같이, 제1프로브(PR1)를 접속패드(PD1A)에 접속하고, 제2프로브(PR2)를 검사용 패드(PD1C)에 접속한다. 또, 제3프로브(PR3)를 접속패드(PD1B)에 접속한다.
그리고, 검사용 회로(900)의 CPU(901)는 선택회로(170)에 대해 스위치(SW1)의 출력단자(OUT1)를 제1신호선(X1)의 입력단자(1A)에 접속하는 제어신호를 출력한다. 또, CPU(901)는 제1스위치(904)에 대해 제3프로브(PR3)를 선택하는 제어신호를 출력한다.
그리고, CPU(901)는 기록회로(902)를 제어하여 제1프로브(PR1)를 매개로 제1신호선(X1)에 소정의 아날로그 신호를 기록한다.
이어서, CPU(901)는 독출회로(903)를 제어하여 제3프로브(PR3)를 매개로 제2신호선(X2)으로부터의 출력신호를 독출한다.
CPU(901)는 제2신호선(X2)으로부터 소정의 아날로그 신호를 검출한 경우에제1신호선(X1)과 제2신호선(X2)이 단락하고 있다고 판단하고, 제2신호선(X2)으로부터 신호를 검출하지 않은 경우에 제1신호선(X1)과 제2신호선(X2) 사이에 단락이 발생하고 있지 않는 것으로 판단한다.
다음으로, 서로 인접하는 제2신호선(X2)과 제3신호선(X3)의 단락을 검사하는 검사방법에 대해 설명한다. 이들 제2신호선(X2) 및 제3신호선(X3)은 선택회로 (170)의 동일 스위치(SW1)에 의해 선택되고, 동일한 접속패드(PD1A)를 매개로 아날로그 신호의 기록 및 독출을 행한다.
즉, CPU(901)는 선택회로(170)에 대해 스위치(SW1)의 출력단자(OUT1)를 제2신호선(X2)의 입력단자(1B)에 접속하는 제어신호를 출력한다. 또, CPU(901)는 절환회로(904)에 대해 제2프로브(PR2)를 선택하는 제어신호를 출력한다.
그리고, CPU(901)는 기록회로(902)를 제어하여 제1프로브(PR1)를 매개로 제2신호선(X2)에 소정의 아날로그 신호를 기록한다.
이어서, CPU(901)는 독출회로(903)를 제어하여 제2프로브(PR2)를 매개로 제3신호선(X3)으로부터의 출력신호를 독출한다.
CPU(901)는 제3신호선(X3)으로부터 소정의 아날로그 신호를 검출한 경우에 제2신호선(X2)과 제3신호선(X3)이 단락하고 있다고 판단하고, 제3신호선(X3)으로부터 신호를 검출하지 않은 경우에 제2신호선(X2)과 제3신호선(X3) 사이에 단락이 발생하고 있지 않는 것으로 판단한다.
다음으로, 서로 인접하는 제3신호선(X3)과 제4신호선(X4)의 단락을 검사하는 검사방법에 대해 설명한다. 이들 제3신호선(X3) 및 제4신호선(X4)은 각각 선택회로(170)의 다른 스위치, 즉 스위치(SW1, SW2)에 의해 선택되고, 각각의 스위치 (SW1, SW2)에 접속된 접속패드(PD1A, PD2A)를 매개로 아날로그 신호의 기록 및 독출을 행한다.
이 때, 제1프로브(PR1)는 접속패드(PD2A)에 접속되어 있다.
즉, CPU(901)는 선택회로(170)에 대해 스위치(SW2)의 출력단자(OUT2)를 제4신호선(X4)의 입력단자(2A)에 접속하는 제어신호를 출력한다. 또, CPU(901)는 절환회로(904)에 대해 제2프로브(PR2)를 선택하는 제어신호를 출력한다.
그리고, CPU(901)는 기록회로(902)를 제어하여 제1프로브(PR1)를 매개로 제4신호선(X4)에 소정의 아날로그 신호를 기록한다.
이어서, CPU(901)는 독출회로(903)를 제어하여 제2프로브(PR2)를 매개로 제3신호선(X3)으로부터의 출력신호를 독출한다.
CPU(901)는 제3신호선(X3)으로부터 소정의 아날로그 신호를 검출한 경우에 제3신호선(X3)과 제4신호선(X4)이 단락하고 있다고 판단하고, 제3신호선(X3)으로부터 신호를 검출하지 않은 경우에 제3신호선(X3)과 제4신호선(X4) 사이에 단락이 발생하고 있지 않는 것으로 판단한다.
이하, 마찬가지로 하여 서로 인접하는 2개의 신호선을 쌍으로 하고, 검사용 회로의 한쪽 프로브를 접속패드에 접속함과 더불어 다른쪽 프로브를 신호선상에 설치된 검사용 패드에 접속하며, 한쪽 프로브에 접속된 접속패드와 한쪽 신호선을 전기적으로 접속한 상태에서 이 한쪽 신호선에 대해 아날로그 신호를 기록하고, 검사용 패드에 전기적으로 접속된 다른쪽 신호선으로부터의 출력신호를 독출함으로써,쌍의 신호선간의 단락을 검출하는 것이 가능해진다.
이에 따라, 상술한 제3검사방법과 마찬가지의 작용효과를 얻는 것이 가능해진다.
다음으로, 상술한 바와 같은 표시장치에 있어서, 어레이기판(100)의 신호선(X(1, 2, 3, …))의 단락을 검사하는 제5검사방법에 대해 설명한다. 이 제5검사방법에서는, 각 신호선상에 검사용 패드를 설치하고, 서로 인접하는 신호선간의 단락을 검사함과 더불어, 선택회로에 포함되는 스위치의 동작도 동시에 검사한다.
도 16에 나타낸 바와 같이, 먼저 어레이기판(100)에 검사용 회로(900)를 접속한다. 이 검사용 회로(900)는 내부의 각 회로나 스위치를 제어하는 CPU(901)와 신호선에 아날로그 신호를 기록하는 기록회로(902), 신호선으로부터 출력되는 신호를 독출하는 독출회로(903), 접속패드(PD(1, 2, 3, …))에 각각 접속되는 프로브 (PR(1, 2, 3)) 및 제2프로브(PR2) 또는 제3프로브(PR3)를 절환하는 제1스위치 (904)를 갖추고 있다.
검사용 회로(900)의 CPU(901)는 기록회로(902), 독출회로(903) 및 제1스위치 (904) 및 어레이기판(100)의 선택회로(170)에 대해 각각 소정의 타이밍에서 제어신호를 출력한다.
한편, 어레이기판(100)측에 있어서는, 선택회로(170)의 스위치(SW(1 , 2, …))는 1개의 출력단자(OUT1)에 대해 2개의 신호선(X1, X2)에 각각 대응하는 입력단자(1A, 1B)를 선택가능하게 형성되어 있다. 또, 어레이기판(100)은 신호선상에있어서, 선택회로(170)의 스위치(SW(1, 2, …))와 이 스위치에 가장 가까운 화소 트랜지스터(110N) 사이에 배치된 검사용 패드(PD1B, PD1C(PD2B, PD2C, …))를 갖추고 있다. 이 검사용 패드(PD1B, PD1C)는 각 신호선에 각각 전기적으로 접속되어 있다.
먼저, 서로 인접하는 제1신호선(X1)과 제2신호선(X2)을 선택가능한 스위치 (SW1) 동작을 검사하는 검사방법에 대해 설명한다. 이들 제1신호선(X1) 및 제2신호선(X2)은 선택회로(170)의 동일 스위치(SW1)에 의해 선택되고, 동일한 접속패드 (PD1A)를 매개로 아날로그 신호의 기록 및 독출을 행한다.
즉, 도 16에 나타낸 바와 같이, 제1프로브(PR1)를 접속패드(PD1A)에 접속하고, 제2프로브(PR2)를 검사용 패드(PD1C)에 접속한다. 또, 제3프로브(PR3)를 접속패드(PD1B)에 접속한다.
그리고, 검사용 회로(900)의 CPU(901)는 선택회로(170)에 대해 스위치(SW1)의 출력단자(OUT1)를 제1신호선(X1)의 입력단자(1A)에 접속하는 제어신호를 출력한다. 또, CPU(901)는 제1스위치(904)에 대해 제3프로브(PR3)를 선택하는 제어신호를 출력한다.
그리고, CPU(901)는 기록회로(902)를 제어하여 제1프로브(PR1)를 매개로 제1신호선(X1)에 접속된 접속패드(PD1A)로부터 소정의 아날로그 신호를 기록한다.
이어서, CPU(901)는 독출회로(903)를 제어하여 제3프로브(PR3)를 매개로 제1신호선(X1)상의 검사용 패드(PD1B)로부터의 출력신호를 독출한다.
CPU(901)는 검사용 패드(PD1B)로부터 소정의 아날로그 신호를 검출한 경우에선택회로(170)에서의 스위치(SW1)가 정상으로 동작하고 있다고 판단하고, 검사용 패드(PD1B)로부터 신호를 검출하지 않은 경우에 스위치(SW1)가 이상(異常)하다고 판단한다.
다음으로, 서로 인접하는 제1신호선(X1)과 제2신호선(X2)의 단락을 검사하는 검사방법에 대해 설명한다.
즉, 검사용 회로(900)의 CPU(901)는 선택회로(170)에 대해 스위치(SW1)의 출력단자(OUT1)를 제1신호선(X1)의 입력단자(1A)에 접속하는 제어신호를 출력한다. 또, CPU(901)는 제1스위치(904)에 대해 제2프로브(PR2)를 선택하는 제어신호를 출력한다.
그리고, CPU(901)는 기록회로(902)를 제어하여 제1프로브(PR1)를 매개로 제1신호선(X1)에 소정의 아날로그 신호를 기록한다.
이어서, CPU(901)는 독출회로(903)를 제어하여 제2프로브(PR2)를 매개로 제2신호선(X2)으로부터의 출력신호를 독출한다.
CPU(901)는 제2신호선(X2)으로부터 소정의 아날로그 신호를 검출한 경우에 제1신호선(X1)과 제2신호선(X2)이 단락하고 있다고 판단하고, 제2신호선(X2)으로부터 신호를 검출하지 않은 경우에 제1신호선(X1)과 제2신호선(X2) 사이에 단락이 발생하고 있지 않는 것으로 판단한다.
다음으로, 서로 인접하는 제2신호선(X2)과 제3신호선(X3)의 단락을 검사하는 검사방법에 대해 설명한다. 이들 제2신호선(X2) 및 제3신호선(X3)은 각각 선택회로(170)의 다른 스위치, 즉 스위치(SW1, SW2)에 의해 선택되고, 각각의 스위치(SW1, SW2)에 접속된 접속패드(PD1A, PD2A)를 매개로 아날로그 신호의 기록 및 독출을 행한다.
이 때, 제1프로브(PR1)는 접속패드(PD2A)에 접속되어 있다.
즉, CPU(901)는 선택회로(170)에 대해 스위치(SW2)의 출력단자(OUT2)를 제3신호선(X3)의 입력단자(2A)에 접속하는 제어신호를 출력한다. 또, CPU(901)는 제1스위치(904)에 대해 제2프로브(PR2)를 선택하는 제어신호를 출력한다.
그리고, CPU(901)는 기록회로(902)를 제어하여 제1프로브(PR1)를 매개로 제3신호선(X3)에 소정의 아날로그 신호를 기록한다.
이어서, CPU(901)는 독출회로(903)를 제어하여 제2프로브(PR2)를 매개로 제2신호선(X2)으로부터의 출력신호를 독출한다.
CPU(901)는 제2신호선(X2)으로부터 소정의 아날로그 신호를 검출한 경우에 제2신호선(X2)과 제3신호선(X3)이 단락하고 있다고 판단하고, 제2신호선(X2)으로부터 신호를 검출하지 않은 경우에 제2신호선(X2)과 제3신호선(X3) 사이에 단락이 발생하고 있지 않는 것으로 판단한다.
이하, 마찬가지로 하여 서로 인접하는 2개의 신호선을 쌍으로 하고, 검사용 회로의 한쪽 프로브를 접속패드에 접속함과 더불어 다른쪽 프로브를 신호선상에 설치된 검사용 패드에 접속하며, 한쪽 프로브에 접속된 접속패드와 한쪽 신호선을 전기적으로 접속한 상태에서 이 한쪽 신호선에 대해 아날로그 신호를 기록하고, 검사용 패드에 전기적으로 접속된 다른쪽 신호선으로부터의 출력신호를 독출함으로써, 쌍의 신호선간의 단락을 검출하는 것이 가능해진다.
또, 마찬가지로 하여 선택회로에 포함되는 스위치를 동작시키고, 이 스위치를 사이에 두는 접속패드와 검사용 패드 사이에서 신호의 기록 및 독출을 행함으로써, 새로 패드를 준비하지 않고 스위치의 동작을 검사하는 것이 가능해진다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 화소의 고정세화가 가능한 표시장치의 어레이기판을 제공할 수 있다. 또, 본 발명에 의하면, 비용을 증대시키지 않고 유지ㆍ보수가 용이한 검사용 회로를 이용하여 단락 및 단선을 확실히 검사하는 어레이기판의 검사방법을 제공할 수 있다.
또, 상술한 실시형태에서는 본 발명을 액정표시장치의 어레이기판에 적용했지만, 본 발명은 신호선 절환방식으로 구동하는 어레이기판, 예컨대 유기 전기루미네선스(electroluminescence) 표시장치를 구성하는 기판의 검사방법에 적용하는 것도 가능하다.
도 18 및 도 19에 나타낸 바와 같이, 유기 전기루미네선스 표시장치는 어레이기판(1100)을 갖추고 있다. 이 어레이기판(1100)은 유리기판상에 배치된 TFT(11 02)와, TFT(1102)에 접속된 양극(1104), 유기 발광층(1108)을 매개로 양극(1104)에 대향배치된 음극(1106)을 갖추고 있다. 양극(1104)의 표면은 양극 버퍼층(1110)으로 덮여져 있다. 또, 음극(1106)의 표면은 음극 버퍼층(1112)으로 덮여져 있다. 어레이기판(1100)에서의 발광부(표시화소; 1114)는 격벽(隔璧; 1116)에 의해 규정되어 있다. 이 발광부(1114)는 양극(1104)과 음극(1106) 및 이들 사이에 배치된 유기 발광층(1108)으로 구성된다. TFT(1102)는 게이트전극(1120)을 갖추고 있다. 이 TFT(1102)는 전류공급선(1121)에 접속되어 있다. 또, TFT(1102)의 전극부(1123)는 양극(1104)에 접속되어 있다. 어레이기판(1100)은 TFT(1102)와 병렬로 접속된 화소용량(1125)을 갖추고 있다.
이러한 구조의 유기 전기루미네선스 표시장치의 어레이기판에 이 실시예의 검사방법을 적용하는 경우, 어레이기판 완성전에 검사를 행하는 것이 바람직하고, 예컨대 유기 발광층 형성전에 형성하는 것이 바람직하다. 이 타이밍에서 검사함으로써, 전류공급선 등에 단선이나 단락 등의 불량이 있는 어레이기판을 다음 공정으로 진행시키기 전에 제거하는 것이 가능해져, 쓸데없는 작업을 삭감할 수 있다.
본 발명에 의하면, 화소의 고정세화가 가능한 표시장치의 어레이기판을 제공할 수 있다.
또한, 비용을 증대시키지 않고 유지ㆍ보수가 용이한 검사용 회로를 이용하여 단락 및 단선을 확실히 검사하는 어레이기판의 검사방법을 제공할 수 있다.

Claims (19)

  1. 기판상에 서로 직교하여 배열된 복수의 게이트선 및 복수의 신호선과, 게이트선과 신호선의 각 교차부에 배치된 스위칭소자, 각 스위칭소자에 전기적으로 접속된 화소용량, 외부 구동회로로부터 출력된 아날로그 신호가 입력되는 복수의 입력단자 및, 상기 입력단자 각각으로부터 입력된 아날로그 신호를 대응하는 복수의 신호선으로 이루어진 신호선군의 적어도 하나의 신호선에 순차 분배하는 선택수단을 갖춘 어레이기판의 검사방법에 있어서,
    복수의 상기 신호선군중 하나의 신호선을 선택하는 제1신호선 선택기간에 있어서 상기 하나의 신호선에 신호를 기록하고,
    상기 제1신호선 선택기간에 계속되는 타이밍에서, 상기 신호선군중 다른 하나의 신호선을 선택하는 제2신호선 선택기간에 있어서 상기 다른 하나의 신호선으로부터 신호를 독출하며,
    독출된 신호에 기초하여 상기 하나의 신호선과 상기 다른 하나의 신호선 사이의 단락을 검사하는 것을 특징으로 하는 어레이기판의 검사방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1신호선 선택기간에 있어서, 상기 선택수단에 대해 상기 하나의 신호선을 선택하는 선택신호를 입력하고,
    상기 제2신호선 선택기간에 있어서, 상기 선택수단에 대해 상기 다른 하나의 신호선을 선택하는 선택신호를 입력하는 것을 특징으로 하는 어레이기판의 검사방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 하나의 신호선 및 상기 다른 하나의 신호선은 동일한 선택수단에 의해 선택되고, 하나의 입력단자를 매개로 신호의 기록 및 독출을 행하는 것을 특징으로 하는 어레이기판의 검사방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 하나의 신호선 및 상기 다른 하나의 신호선은 다른 선택수단에 의해 선택되고, 각각의 선택수단에 접속된 입력단자를 매개로 신호의 기록 및 독출을 행하는 것을 특징으로 하는 어레이기판의 검사방법.
  5. 기판상에 서로 직교하여 배열된 복수의 게이트선 및 복수의 신호선과, 게이트선과 신호선의 각 교차부에 배치된 스위칭소자, 각 스위칭소자에 전기적으로 접속된 화소용량, 구동회로로부터 출력된 신호가 입력되는 복수의 입력단자, 상기 입력단자 각각으로부터 입력된 신호를 대응하는 복수의 신호선으로 이루어진 신호선군의 적어도 하나의 신호선에 순차 분배하는 선택수단 및, 상기 신호선군중 하나의 신호선과 다른 하나의 신호선의 도통을 온/오프하는 절환수단을 갖춘 어레이기판의 검사방법에 있어서,
    상기 하나의 신호선과 상기 다른 하나의 신호선을 도통하고,
    상기 하나의 신호선을 선택하는 제1신호선 선택기간에 있어서 상기 하나의 신호선에 신호를 기록하며,
    상기 제1신호선 선택기간에 계속되는 타이밍에서, 상기 다른 하나의 신호선을 선택하는 제2신호선 선택기간에 있어서 상기 다른 하나의 신호선으로부터 신호를 독출하며,
    독출된 신호에 기초하여 상기 하나의 신호선 및 상기 다른 하나의 신호선의 단선을 검사하는 것을 특징으로 하는 어레이기판의 검사방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 절환수단에 대해 상기 하나의 신호선과 상기 다른 하나의 신호선을 도통하는 제어신호를 입력하고,
    상기 제1신호선 선택기간에 있어서, 상기 선택수단에 대해 상기 하나의 신호선을 선택하는 선택신호를 입력하며,
    상기 제2신호선 선택기간에 있어서, 상기 선택수단에 대해 상기 다른 하나의 신호선을 선택하는 선택신호를 입력하는 것을 특징으로 하는 어레이기판의 검사방법.
  7. 제5항에 있어서, 상기 하나의 신호선 및 상기 다른 하나의 신호선은 동일한 절환수단에 의해 온/오프가 제어됨과 더불어 동일한 선택수단에 의해 선택되고, 하나의 입력단자를 매개로 신호의 기록 및 독출을 행하는 것을 특징으로 하는 어레이기판의 검사방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 구동회로는 입력되는 디지털 신호를 아날로그 신호로변환함과 더불어, 상기 신호선을 소정수의 신호선으로 이루어진 복수의 신호선군으로 구분하고, 상기 신호선군 각각마다 대응하는 신호를 시리얼로 출력하며,
    상기 선택수단은 상기 구동회로로부터의 신호를 상기 신호선군 각각의 대응하는 신호선에 순차 분배하는 것을 특징으로 하는 어레이기판의 검사방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 구동회로는 플렉시블 배선기판상에 실장되어 상기 어레이기판에 전기적으로 접속되는 것을 특징으로 하는 어레이기판의 검사방법.
  10. 제1항에 있어서, 상기 어레이기판은 상기 게이트선에 구동신호를 공급하는 게이트선 구동수단을 일체적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이기판의 검사방법.
  11. 제5항에 있어서, 상기 구동회로는 입력되는 디지털 신호를 아날로그 신호로 변환함과 더불어, 상기 신호선을 소정수의 신호선으로 이루어진 복수의 신호선군으로 구분하고, 상기 신호선군 각각마다 대응하는 신호를 시리얼로 출력하며,
    상기 선택수단은 상기 구동회로로부터의 신호를 상기 신호선군 각각의 대응하는 신호선에 순차 분배하는 것을 특징으로 하는 어레이기판의 검사방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 구동회로는 플렉시블 배선기판상에 실장되어 상기 어레이기판에 전기적으로 접속되는 것을 특징으로 하는 어레이기판의 검사방법.
  13. 제5항에 있어서, 상기 어레이기판은 상기 게이트선에 구동신호를 공급하는 게이트선 구동수단을 일체적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이기판의 검사방법.
  14. 기판상에 서로 직교하여 배열된 복수의 게이트선 및 복수의 신호선과,
    게이트선과 신호선의 각 교차부에 배치된 스위칭소자,
    각 스위칭소자에 접속된 화소용량,
    구동회로로부터 출력된 신호가 입력되는 입력단자,
    상기 입력단자로부터 입력된 아날로그 신호를 복수의 인접하는 신호선으로 순차 선택하여 분배하는 선택수단 및,
    상기 선택수단과 상기 스위칭소자 사이에 배치되고, 상기 신호선에 전기적으로 접속된 검사용 패드를 갖춘 것을 특징으로 하는 어레이기판.
  15. 제14항에 있어서, 하나의 상기 선택수단에 의해 선택되는 상기 신호선수를 N으로 했을 때, 상기 검사용 패드수는 (N-1)인 것을 특징으로 하는 어레이기판.
  16. 제14항에 있어서, 상기 선택수단은 상기 신호선을 소정수의 신호선으로 이루어진 복수의 신호선군으로 구분하고, 상기 신호선군 각각마다 대응하는 신호를 입력하며, 상기 신호를 상기 신호선군 각각의 대응하는 신호선으로 순차 분배하는 것을 특징으로 하는 어레이기판.
  17. 제14항에 있어서, 상기 어레이기판은 상기 게이트선에 구동신호를 공급하는 게이트선 구동수단을 일체적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이기판.
  18. 기판상에 서로 직교하여 배열된 복수의 게이트선 및 복수의 신호선과,
    게이트선과 신호선의 각 교차부에 배치된 스위칭소자,
    각 스위칭소자에 접속된 화소용량,
    구동회로로부터 출력된 신호가 입력되는 입력단자,
    상기 입력단자로부터 입력된 신호를 대응하는 복수의 신호선을 포함하는 신호선군의 적어도 하나의 신호선에 순차 분배하는 선택수단 및,
    상기 선택수단과 상기 스위칭소자 사이에 배치되고, 상기 신호선에 전기적으로 접속된 검사용 패드를 갖춘 어레이기판의 검사방법에 있어서,
    상기 선택수단에 의해 제1신호선을 선택하고,
    상기 입력단자로부터 상기 제1신호선에 신호를 기록하며,
    상기 제2신호선으로부터 상기 검사용 패드를 매개로 출력되는 출력신호를 독출하고,
    상기 검사용 패드로부터 독출된 신호에 기초하여 상기 제1신호선과 상기 제2신호선 사이의 단락을 검사하는 것을 특징으로 하는 어레이기판의 검사방법.
  19. 제18항에 있어서, 상기 선택수단에 대해 상기 제1신호선을 선택하는 신택신호를 입력하는 것을 특징으로 하는 어레이기판의 검사방법.
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