KR100252711B1 - 기판 이송방법 및 인터페이스장치 - Google Patents

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이시다 아키라
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Abstract

노광처리전후의 각종의 기관처리를 하는 처리유니트와 노광처리를 하는 노광유니트와의 사이에 인터페이스장치가 배치되어 있다. 이 인터페이스장치내에는 제1, 제2의 기판이송 로봇, 기판수납부 등이 배치되어 있다. 기판수납부는 복수매의 기판을 수납하기 위한 복수개의 수납선반을 갖는다. 제1의 기판이송 로봇은 처리유니트와 기판수납부와의 사이의 기판의 이송을, 제2의 기판이송 로봇은 기판수납부와 노광유니트와의 사이의 기판의 이송을 각각 독립·병행한다. 또한, 제1의 기판반송 로봇을 생략하여 제1의 기판이송 로봇의 동작을 처리유니트내의 기판반송로봇이 한다.

Description

기판 이송방법 및 인터페이스장치
제1a도는 종래 예에 관한 IF 유니트를 구비한 기판처리 장치의 전체평단면도, 제1b도는 종래 예에 관한 IF 유니트를 처리유니트측에서 본 정면도.
제1c도는 종래 예에 관한 IF 유니트의 측면도.
제2도는 본 발명의 제1실시예에 관한 인터페이스 장치를 구비한 기판처리장치 전체의 구성을 도시한 평단면도.
제3도는 제1실시예 장치의 버퍼부 근처의 개략구성을 도시하는 사시도.
제4도는 제1실시예 장치를 노광유니트측에서 본 정면도.
제5a도는 처리유니트내의 기판반송 로봇에 의한 냉각장치에 대한 액세스의 순서를 설명하기 위한 설명도.
제5b도는 처리유니트내의 기판반송 로봇에 의한 기판이송대에 대한 기판의 재치 순서를 설명하기 위한 설명도.
제6도는 IF 유니트내의 제1의 기판이송 로봇에 의한 버퍼부에 대한 기판의 수납의 순서를 설명하기 위한 설명도.
제7도는 제1(제2)실시예 장치의 제어계의 개략구성을 도시한 블록도.
제8도, 제9a도~제9e도, 제10a도~제10e도, 제11a도~제11j도는 버퍼부의 사용관리의 일례를 설명하기 위한 설명도.
제12a도, 제12b도는 버퍼부의 사용관리의 다른 예를 설명하기 위한 설명도.
제13도는 본 발명의 제2실시예 장치를 구비한 기판처리장치 전체의 구성을 도시한 평단면도.
제14도는 제2실시예 장치의 제1의 기판반송 로봇의 개략구성을 도시한 정면도.
제15도는 개량된 처리유니트의 베이크유이트의 구성을 도시한 정면도.
제16도는 개량된 처리유니트의 구성을 도시한 종단면도.
제17a도, 제17b도는 제2실시예에 있어서의 처리유니트와 IF 유니트와의 사이의 기판의 이송의 순서를 설명하기 위한 설명도.
제18도는 본 발명의 제3실시예 장치를 구비한 기판처리장치 전체의 구성을 도시한 평단면도.
제19도는 제3실시예 장치의 버퍼부 근처의 개략구성을 도시한 사시도.
제20도는 제3실시예 장치를 노광우니트측에서 본 정면도.
제21a도, 제21b도는 처리유니트내의 기판반송 로봇에 의한 버퍼부의 수납선반에 대한 기판의 수납의 순서를 설명하기 위한 설명도.
제22도는 제3(제4)실시예 장치의 제어계의 개략구성을 도시한 블록도.
제23도는 본 발명의 제4실시예 장치를 구비한 기판처리장치 전체의 구성을 도시한 평단면도.
제24a도, 제24b도, 제25a도, 제25b도, 제26a도~제26d도, 제27a도~제27c도, 제28a도~제28d도, 제29a도~제29f도는 각 실시예에 대한 변형예의 구성등을 도시하는 도면.
본 발명은 반도체웨이퍼나 액정표시기용의 유리기판등의 기판에 대하여 포토리소그래프(photolithography) 공정의 각 기판처리(레지스트 도포, 프리베이크(prebake), 노광, 현상, 포스트베이크(postbake)등)을 행하기 위한 기판처리장치에 있어서, 포토리소그래피 공정 중 노광처리전후의 레지스트도포, 베이크, 현상등의 각종의 기판처리를 하기 위한 처리유니트와 노광처리를 하기 위한 노광유니트와의 사이에서의 기판의 이송을 하기 위한 기판 이송 방법과, 그 방법을 실시하는 인터페이스 장치에 관한 것이다.
기판에 대하여 포토리소그래피 공정의 각종의 기판처리를 행하기 위한 기판처리장치는, 종래 포토리소그래피 공정중, 노광처리 전후의 각종의 기판처리를 하기 위한 처리유니트와 노광처리를 하기 위한 노광유니트로 나누어져 구성되어 있다. 처리유니트는 레지스트도포, 프리베이크 등의 노광처리전의 각 기판처리나, 현상, 포스트베이크 등의 노광처리후의 각 기판처리를 행하기 위한 스핀코터(spin coater), 스핀 디벨로퍼(spin developer), 베이크유니트(가열판(hot plate)이나 냉각판(cool pate)을 포함하고 있음) 등의 각종 장치나, 처리유니트내에서 기판의 반송 등을 하는 기판반송 로봇 등을 일체적으로 유니트화하여 구성하고 있다.
노광 유니트는 노광을 하기 위한 예컨대, 축소투영노광기(스텝퍼(stepper)) 등의 노광기나, 노광기에서의 노광패턴의 인화를 위한 위치 결정을 하는 얼라인먼트기구, 노광유니트내에서 기판의 반송 등을 하는 기판반송 로봇 등을 일체적으로 유니트화하여 구성하고 있다.
이 장치에 의한 처리순서는, 우선 처리유니트에서 노광처리전의 기판처리가 행하여지며, 다음에 노광유니트에서 노광처리가 행하여지며, 그리고 다시 처리유니트에서 노광처리후의 기판처리가 행하여진다. 따라서, 처리유니트와 노광유니트와의 사이에서 기판을 이송할 필요가 있고, 이 종류의 장치에 있어서는, 이들 유니트사이에서 기판의 이송을 하기 위한 인터페이스장치를 구비하고 있다. 이 인터페이스장치는 종래 기판이송 로봇이나 기판이송대, 기판반입대, 기판반출대, 버퍼부등을 일체적으로 유니트화하여 구성하고 있다. 이 유니트는 인터페이스 유니트(interface unit)(이하, 「IF 유니트」라 말함)라고 불리고 있다.
종래의 IF 유니트(인터페이스장치)의 구성은 제1a도~제1c도를 참조하여 설명한다. 제1a도는 종래 예에 관한 IF 유니트를 구비한 기판처리장치의 전체 평단면도이고, 제1b도는 종래 예에 관한 IF 유니트를 처리유니트측에서 본 정면도, 제1c도는 그 측면도이다. 또, 각 도면의 위치관계를 명확히 하기 위해 XYZ 직교좌표를 각 도면에 붙이고 있다.
IF 유니트(100)내에 구비된 기판이송 로봇(101)은 기판(W)을 지지하는 기판 지지부(102)와, 기판지지부(102)를 도면의 X축방향으로 이동시키는 X방향 이동기구(103)와, X방향 이동기구(103)를 통해 기판지지부(102)를 도면의 Z축방향으로 이동시키는 Z방향 이동기구(104)와, Z방향 이동기구(104) 및 X방향 이동기구(103)를 통해 기판지지부(102)를 도면의 Y축방향으로 이동시키는 Y 방향 이동기구(105)를 구비하고 있다.
이것에 의해 이 기판이송 로봇(101)은 기판지지부(102)에 기판(W)을 재치(裁置)하여 지지하고 X, Y, Z축방향(3차원 공간내)으로 기판(W)을 이동시켜 기판 이송대(110), 기판반입대(111), 기판반출대(112), 및 버퍼부(113)의 임의의 수납선반(113a)(의 각 포지션)의 사이에서 기판(W)을 이송하도록 구성하고 있다.
기판이송대(110)는 처리유니트(2)(처리유니트(2)내의 기판반송 로봇23)와의 사이에서 기판(W)의 이송을 하기 위한 대(臺)이고, 기판반입대(111), 기판반출대(112)는 노광유니트(4)(도시하지 않은 노광유니트(4)내의 기판반송로봇)와의 사이에서 기판(W)의 이송(노광유니트(4)에의 반입과 노광유니트(4)로부터의 반출)을 하기 위한 대이다. 또, 제1b도 중의 개구(4a)는 노광유니트(4)와 IF 유니트(100)와의 사이에서 기판(W)을 이송할 때에, 기판(W)을 지지한 노광유니트(4)내의 기판반송 로봇이 통과하기 위한 개구이다. 또한, 도시하지는 않았으나, 처리유니트(2)와 IF 유니트(100)와의 사이에서 기판(W)을 이송할 때에 기판(W)을 지지한 처리유니트(2)내의 기판반송로봇(23)이 통과하기 위한 개구도 처리유니트(2)와 IF 유니트(100)와의 사이에 설치되어 있다. 버퍼부(113)는 복수매의 기판(W)을 일시 수납하여 놓기 위한 복수의 수납선반(113a)을 구비하며, 처리유니트(2)에서의 처리시간과 노광유니트(4)에서의 처리시간과의 시간차가 생길 때에 기판(W)을 일시수납하여 놓기 위해 설치하고 있다.
노광유니트(4)에서의 처리시간은 대략 노광기에 의한 노광패턴의 인화에 필요한 시간과 노광유니트(4)내에서의 기판(W)의 반송시간과 기판(W)의 위치 결정에 필요한 시간에 의해 결정된다. 이 중, 앞의 2개의 처리시간은 대략 일정하지만, 위치 결정에 필요한 시간에는 편차가 생긴다.
한편, 처리유니트(2)에서의 처리시간은 대략 이 처리유니트(2)에서 행하여지는 노광처리전후의 레지스트도포, 프리베이크, 현상, 포스트베이크 등의 각 기판처리에 필요한 처리시간과 처리유니트(2)내에서의 기판(W)의 반송시간에 의해 결정되며, 이들 처리시간은 대략 일정하다. 또한, 처리유니트(2)내의 기판반송 로봇(23)은 노광유니트(4)에서의 처리시간에 대응해서 노광처리전에 해야되는 처리가 종료한 기판(이하, 「노광전 기판」이라 함)(W)을 IF 유니트(100)로 송출하여 노광유니트(4)내의 기판반송 로봇에 이송시킴과, 동시에 노광 유니트(4)로부터 IF 유니트(100)를 통해 반송되어 오는 노광처리가 종료한 기판(이하, 「노광후 기판」이라 함)(W)을 처리유니트(2)에 투입하도록 하고 있다. 처리유니트(2)내의 기판반송 로봇(23)에 의한 노광전 기판(W)의 IF 유니트(100)로의 송출 타이밍이나, 노광후 기판(W)의 처리유니트(2)에의 투입 타이밍은 일반적으로 노광유니트(4)에서의 기판(W)의 위치결정시간을 평균위치결정시간으로 한 노광유니트(4)에서의 노광처리시간(평균 노광처리시간)에 기초하여 결정되고 있다.
노광유니트(4) 측에서 상기 평균 노광처리시간에 기초하여 노광처리르 할 수 있으며, 처리유니트(2)로부터 송출되고 IF 유니트(100)를 통해 노광유니트(4)로 반입되는 노광전 기판(W)의 이송이나, 노광유니트(4)로부터 반출되어 IF 유니트(100)을 통해 처리유니트(2)에 투입하는 노광후 기판(W)의 이송은 부드럽게 행하여진다. 그렇지만, 전술한 바와 같이 노광유니트(4)에 있어서의 기판(W)의 위치결정시간에는 편차가 생기기 때문에 노광전 기판(W)의 이송이나 노광후 기판(W)의 이송이 부드럽게 행하여지지 않은 경우가 발생한다.
예컨대, 어떤 노광전 기판(W)이 노광유니트(4)내에 반입되어 있고, 그 위치결정에 평균위치 결정시간보다도 긴 시간을 필요로 하는 경우, 다음의 노광전 기판(W)이 처리유니트(2)로부터 IF 유니트(100)에 송출되어 오더라도 전에 반입되어 있는 노광전 기판(W)이 노광유니트(4)내에서 노광처리되기 때문에 IF 유니트(100)내의 기판이송 로봇(101)는 그 노광전 기판(W)을 노광유니트(4)내의 기판 반송 로봇에 이송할 수 없으며, 따라서 IF 유니트(100)내에서의 기판(W)의 이송동작이 정체한다.
또한, 노광유니트(4)내에서의 노광처리가 평균 노광처리시간으로 행하여지지 않고, 노광유니트(4)로부터 IF 유니트(100)에의 노광후 기판(W)의 반출 타이밍과 처리유니트(2)내의 기판반송 로봇(23)에 의한 IF 유니트(100)로부터 처리유니트(2)에의 노광후 기판(W)의 투입 타이밍과의 어긋남이 발생한 경우에는, IF 유니트(100)내의 기판이송 로봇(101)은 노광후 기판(W)이 노광유니트(4)로부터 반출되어 오더라도 그 기판(W)을 처리유니트(2)내의 기판반송로봇(23)에 이송할 수 없으며, 따라서 IF 유니트(100)내에서의 기판(W)의 이송동작이 정체한다.
이와 같이 IF 유니트(100)내에서 기판(W)의 이송동작이 정체하면 처리유니트(2)내에서의 일련의 처리나 노광유니트(4)내에서의 일련의 처리의 정체를 초래하며, 포토리소그래피 공정전체의 처리의 스루프트(throughput)가 저하하여 버린다.
그래서, 종래장치에서는 IF 유니트(100)내에 버퍼부(113)를 설치하여 후술하는 바와 같이 노광유니트(4)내의 기판반송 로봇으로의 노광전 기판(W)의 이송이나, 처리유니트(2)내의 기판반송 로봇(23)에의 노광후 기판(W)의 이송이 행해지지 않은 경우 그 기판(W)을 버퍼부(113)의 수납선반(113a)에 일시 수납하여 두어 IF 유니트(100)내에서의 기판(W)의 이송동작의 정체를 방지하고 있다.
그런데, 상기 종래의 IF 유니트(100)에서의 기판이송동작은 앞서 말한 기판처리장치 전체의 처리순서에 따르면 이하와 같다.
우선, 처리유니트(2)의 기판반송 로봇(23)은 노광전 기판(W)을 기판이송대(110)에 재치한다. IF 유니트(100)내의 기판이송 로봇(101)은 기판이송대(110)에 재치된 기판(W)의 하방으로부터 기판지지부(102)를 상승(Z축방향으로 이동)시키는 것으로 그 기판(W)을 기판지지부(102)에 수취하여 지지하며, 기판지지부(102)를 X축, Y축, Z축방향으로 적당히 이동시키고, 기판지지부(102)를 기판반입대(111)의 상방으로부터 하강(Z축방향으로 이동)시키는 것으로 그 기판(W)을 기판반입대(111)에 재치한다. 기판반입대(111)에 재치된 노광전 기판(W)은 노광유니트(4)내의 기판반송 로봇에 의해 노광유니트(4)내에 투입된다.
상기의 노광전 기판(W)의 이송동작에 있어서 예컨대, 노광유니트(4)내에 반입되어 있는(이전에 반입된) 노광전 기판(W)의 위치결정에 장시간을 필요로 하고, 노광처리시간이 평균 노광처리시간보다도 긴 경우, 기판이송 로봇(101)이 이전의 노광전 기판(W)의 이송에서 기판반입대(111)에 재치한 노광전 기판(W)이 노광유니트(4)에 반입되지 않고 기판반입대(111)에 재치된 채로 있기 때문에 기판이송로봇(101)은 처리유니트(2)내의 기판반송로봇(23)으로부터 이번에 수취한 노광전기판(W)을 기판반입대(111)에 재치할 수가 없다. 이러한 경우에는 기판이송 로봇(101)은 버퍼부(113)의 임의의 수납선반(113A)에 그 노광전 기판(W)을 일시 수납하여 놓는다. 그리고, 기판반입대(111)에 재치되어 있던 노광전 기판(W)이 노광유니트(4)내의 기판반송 로봇에 의해 노광유니트(4)내에 투입되고, 기판반입대(111)가 빈 상태로 되면 기판이송 로봇(101)은 버퍼부(113)에 수납하여 놓은 노광전 기판(W)을 꺼내어 기판반입대(111)에 재치시킨다. 이것에 의해, 노광유니트(4)에서의 노광처리에 지연이 생긴 경우라도 IF 유니트(100)내에서의 기판(W)의 이송동작에 정체가 생기지 않고, 기판이송대(110)에 기판(W)을 장시간 재치한 채로 하지 않고 일정 타이밍으로 처리유니트(2)로부터 송출되어오는 노광전 기판(W)을 IF 유니트(100)에서 받아들이는 것을 가능하게 하고 있다.
노광유니트(4)에서의 노광처리가 종료한 노광후 기판(W)을 노광유니트(4)내의 기판반송 로봇에 의해 노광유니트(4)로부터 반출되어 기판반출대(112)에 재치된다. IF 유니트(100)내의 기판이송 로봇(101)은 기판반출대(112)에 재치된 기판(W)의 하방으로부터 기판지지부(102)를 상승시키는 것으로 그 기판(W)을 기판지지부(102)에 받아들여 지지하고, 기판지지부(102)를 X축, Y축, Z축방향으로 적당히 이동시키며, 기판지지부(102)를 기판이송대(110)의 상방으로부터 하강시키는 것으로 그 기판(W)을 기판이송대(110)에 재치한다. 기판이송대(110)에 재치된 노광후 기판(W)은 처리유니트(3)내의 기판반송로봇(23)에 의해 처리유니트(2)내에 투입된다.
상기의 노광후 기판(W)의 이송동작에 있어서, 노광유니트(4)내에서의 노광처리가 평균 노광처리시간으로 행하여지지 않고, 노광유니트(4)로부터 IF 유니트(100)에의 노광후 기판(W)의 반출 타이밍과 처리유니트(2)내의 기판반송 로봇(23)에 의한 IF 유니트(100)로부터 처리유니트(2)에의 노광후 기판(W)의 투입 타이밍에 어긋남이 발생한 경우에는, 기판이송대(110)에 이전에 재치한 노광후 기판(W)(경우에 따라서는 노광전 기판(W))이 재치된 채로 되는 것도 있어, 이때 기판이송 로봇(101)은 노광유니트(4)내의 기판반송 로봇으로부터 이번에 받아들인 기판(W)을 기판이송대(110)에 재치할 수가 없다. 이러한 경우에도, 기판이송로봇(101)은 버퍼부(113)의 임의의 수납선반(113a)에 그 기판(W)을 일시 수납하고 놓고, 기판이송대(110)에 재치되어 있던 기판(W)이 처리유니트(2)내의 기판반송 로봇(23)에 의해 처리유니트(2)내에 투입되는 등에 의해 기판이송대(110)가 빈상태로 되면, 기판이송 로봇(101)은 버퍼부(113)에 수납하여 놓은 노광후 기판(W)을 꺼내어 기판이송대(110)에 재치시킨다. 이것에 의해, 노광유니트(4)에서의 노광 처리시간에 변동이 생긴 경우라도 IF 유니트(100)내에서의 기판(W)의 이송 동작에 정체가 생기지 않고, 기판반출대(110)에 기판(W)을 장시간 채치한 채로 하지 않고, 노광후 기판(W)을 노광유니트(4)로부터 IF 유니트(100)로 부드럽게 반출할 수 있도록 하고 있다.
그렇지만, 이러한 구성을 갖는 종래 예의 경우에는 다음과 같은 문제가 있다.
종래 예에 관한 IF 유니트(100)에서는, 처리유니트(2)에서의 처리시간과 노광유니트(4)에서의 처리시간과의 시간차를 고려하여 버퍼부(113)를 설치하고 있지만, 노광유니트(4)에서의 기판(W)의 위치 결정에 필요한 시간은 일반적으로 기판(W) 1장마다 다양하게 되기 쉽고 따라서, 버퍼부(113)가 빈번하게 이용되거 있다.
즉, 대개의 경우에 IF 유니트(100)내의 기판이송 로봇(101)은 노광전 기판(W)을 기판이송대(110)로부터 일단 버퍼부(113)에 이송하며, 버퍼부(113)로부터 기판반입대(111)에 이송하는 과정을 거치고, 또한 노광후 기판(W)의 이송에 있어서도 마찬가지로 기판반출대(112)로부터 기판이송대(110)에의 이송은 일단 버퍼부(113)를 경유하고 있다. 이와 같이, 종래 구성에서는 처리유니트(2)에서의 처리시간과 노광유니트(4)에서의 처리시간과의 시간차에 대응하기 위해 IF 유니트(100)내의 기판이송 로봇(101)에 의한 기판(W)의 이송을 하기 위한 포지션수가 버퍼부(113)를 경유하는 만큼 많아져서 기판(W)의 이송동작 그 자체에 필요한 시간을 단축하는 것이 곤란하다.
또한, 제1a도에 도시한 바와 같이 종래의 처리유니트(2)는 제1의 장치배치부(21)(통상, 스핀 코터(spin coater)나 스핀 디벨로퍼(spin developer) 등이 배치됨)와 제2의 장치배치부(22)(통상 베이크 유니트 등이 배치됨) 사이에 처리유니트(2)내의 기판반송 로봇(23)의 기판반송로 24가 설치되고 있는 관계로 제1a도, 제1b도에 도시한 바와 같이 IF 유니트(100)의 기판이송대(110)를 도면의 Y축방향의 중앙부근에 배치하고 있다. 요컨대, 기판이송대(110)가 기판이송 로봇(101)의 이동영역내에 배치되어 있기 때문에, 예컨대 기판이송대(110)를 사이에 두고 기판반입대(111)나 기판반출대(112)와 반대측에 배치되어 있는 버퍼부(113)와 기판반입대(111)나 기판반출대(112)와의 사이에서 기판(W)을 이송할 때, 기판이송 로봇(101)은 기판이송대(110)를 피하여 이동하지 않으면 안되는 경우도 있어 이러한 쓸데없는 동작때문에 IF 유니트(100)내에서의 기판(W)의 이송시간의 단축화가 방해되고 있다.
IF 유니트(100)내에서의 기판의 이송은 처리유니트(2)와 노광유니트(4)와의 사이에서 기판(W)의 이송을 하는 타이밍내에 행하면 좋다. 처리유니트(4)와 노광유니트(4)와의 사이에서의 기판(W)의 이송 타이밍은 대략 노광유니트(4)에서의 평균 노광처리시간에 의존하고 있다. 노광유니트(4)에서의 평균 노광처리시간은 종래, 60초/기판1장 정도로 비교적 저속이기 때문에 종래 예에 관한 IF 유니트(100)와 같이 IF 유니트(100)내에서의 기판이송 포지션수가 많거나, 기판이송대(110)를 피하는 쓸데 없는 동작이 발생하더라도 IF 유니트(100)내에서의 기판의 이송을 처리유니트(2)와 노광유니트(4)와의 사이에서의 기판(W)의 이송 타이밍내에서 행할 수 있어 큰 문제가 되지 않았다.
그렇지만, 최근에 평균 노광처리시간이 40초/기판1장으로부터 30초/기판1장으로 더욱 고속화된 노광유니트(4)가 제공되어 있다. 처리유니트(2)에서는 예컨대, 기판반송 로봇(23)에 의한 반송동작을 최적화시키는 등에 의해 처리유니트(2)에서의 처리시간의 고속화를 도모하는 것도 가능하고, 노광유니트(4)에서의 노광처리시간이 고속화되더라도 어느 정도는 그것에 추종시킬 수 있다. 그렇지만, 상기한 바와 같은 고속화된 노광유니트(4)와 그것에 추종시킨 처리유니트(2)와의 사이에 기판(W)의 이송을 하는 IF 유니트로서, 종래 예에 관한 IF 유니트(100)를 사용하는 경우 전술한 바와 같이 IF 유니트(100)내에서의 기판(W)의 이송시간의 단축화가 곤란하기 때문에, IF 유니트(100)내에서의 기판의 이송은 처리유니트(2)와 노광유니트(4)와의 사이에서의 기판(W)의 이송 타이밍에 비해 지연이 생기고 있다.
이와 같이 IF 유니트(100)내에서의 기판의 이송에 지연이 생기면 그 지연에 의해 노광처리전의 기판처리(처리유니트(2)에서 행함)로부터 노광처리 및 노광처리로부터 노광처리의 다음 기판처리(처리유니트(2)에서 행함)의 사이의 처리 흐름이 부드럽게 행하여지지 않고, 그 결과 노광유니트(4)나 처리유니트(2)에서 처리를 고속화함에도 불구하고 포토리소그래피 공정전체의 처리의 스루푸트가 고속화되지 않는다는 문제점이 생기고 있다. 또한, 상기한 바와 같이 고속화된 노광유니트(4)과 그것에 추종시킨 처리유니트(2)와의 사이에서의 기판(W)의 이송 타이밍에 추종할 수 있는 IF 유니트(인터페이스장치)는 종래 개발되거나 제안되어 있지 않은 실정이다.
본 발명은, 이러한 사정을 감안한 것으로 처리유니트에서의 처리시간과 노광유니트에서의 처리시간과의 시간차에 대응하면서, 인터페이스장치내에서의 기판 이송 동작자체의 고속화를 도모하는 기판 이송방법과 인터페이스장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 이러한 목적을 달성하기 위해 다음과 같은 구성을 채용한다.
즉, 본 발명에 관한 기판 이송방법은, 포토리소그래피 공정 중 노광처리전후의 각종의 기판처리를 하기 위한 처리유니트와 노광처리를 하기 위한 노광유니트와의 사이에서 기판의 이송을 하기 위한 기판 이송방법에 있어서, 처리유니트로부터 노광유니트에 인도하는 기판을 처리유니트로부터 복수매의 기판을 일시 수납하여 놓을 수 있는 복수의 수납부를 구비한 기판수납부에 이송하여 상기 기판수납부의 임의의 수납부에 수납하는 제1의 이송 공정과, 상기 제1의 이송 공정에서 상기 기판수납부에 수납된 기판을 상기 기판수납부로부터 꺼내어 그 기판을 상기 기판수납부에서 노광유니트에 이송하는 제2의 이송공정과, 노광유니트로부터 처리유니트에 인도하는 기판을 노광유니트로부터 상기 기판수납부에 이송하여 상기 기판수납부의 임의의 수납부에 수납하는 제3의 이송공정과, 상기 제3의 이송공정에서 상기 기판수납부에 수납된 기판을 상기 기판수납부로부터 꺼내어 그 기판을 상기 기판수납부로부터 처리 유니트에 이송하는 제4의 이송공정과를 구비하며, 상기 제1의 이송공정 및 상기 제4의 이송공정과 상기 제2의 이송공정 및 상기 제3의 이송공정을 별개의 기판 이송수단으로 한다.
제1의 이송공정 및 제4의 이송공정을 하는 제1의 기판 이송수단과 제2의 이송 공정 및 제3의 이송공정을 하는 제2의 기판 이송수단을 인터페이스 장치내에 구비해도 좋고, 제2의 이송공정 및 제3의 이송공정을 하는 기판 이송수단을 인터페이스 장치내에 구비하여 노광처리전후의 각종의 기판처리를 하는 처리유니트내의 복수개의 기판처리부에 대하여 기판을 반입·반출함과 동시에 처리유니트내서의 기판의 반송도 하는 처리유니트내 기판 반송수단이 제1의 이송공정 및 제4의 이송공정을 하도록 해도 좋다.
또한, 제1의 이송공정과 제4의 이송공정은 처리유니트내의 동작정보에 기초하여 행하고, 제2의 이송공정과 제3의 이송공정은 노광유니트내의 동작정보에 기초하여 행한다.
게다가, 상기 기판수납부의 복수의 수납부가 연직방향에 다단계로 적층되어 기판수납부의 복수의 수납부를 상하로 2개의 수납부군으로 나눠 사용관리하며, 어느 한쪽의 수납부군(제1의 수납부군)은 상기 제1의 이송공정에서의 기판의 수납에 사용하며, 다른 쪽의 수납부군(제2의 수납부군)은 상기 제3의 이송공정에서의 기판의 수납에 사용하며, 상기 제1의 이송공정에서는 상기 제1의 수납부군의 하방으로부터 빈 상태를 검색하여 가장 하방의 빈 수납부에 기판을 수납하며, 상기 제2의 이송공정에서는 상기 제1의 이송공정에서 수납된 기판중 가장 먼저 수납된 기판을 상기 기판수납부에서 꺼내며, 상기 제3의 이송공정에서는 상기 제2의 수납부군의 하방으로부터 빈 상태를 검색하여 가장 하방의 빈 수납부에 기판을 수납하며, 상기 제4의 이송공정에서는 상기 제3의 이송공정에서 수납된 기판 중 가장 먼저 수납된 기판을 상기 기판수납부에서 꺼내도록 하면, 기판의 이송시간의 단축화에 공헌할 수 있다.
또한, 상기 기판수납부의 복수의 수납부가 연직방향으로 다단계로 적층되며, 상기 제1의 이송공정에서는 모든 수납부의 하방으로부터 빈 상태를 검색하여 가장 하방의 빈 수납부에 기판을 수납하며, 상기 제2의 이송공정에서는 상기 제1의 이송공정에서 수납된 기판중 가장 먼저 수납된 기판을 상기 기판수납부에서 꺼내며, 상기 제3의 이송공정에서도 모든 수납부의 하방으로부터 빈 상태를 검색하여 가장 하방의 빈 수납부에 기판을 수납하며, 상기 제4의 이송공정에서는 상기 제3의 이송공정에서 수납된 기판 중 가장 먼저 수납된 기판을 상기 기판수납부에서 꺼내도록 해도, 기판의 이송시간의 단축화에 공헌할 수 있다.
상기 기판 이송방법을 실시하는 제1의 인터페이스 장치는, 복수매의 기판을 일시수납하여 놓을 수 있는 복수의 수납부를 구비한 기판수납부와, 처리유니트로부터 수취한 기판을 상기 기판수납부의 임의의 수납부에 수납하는 동작과 상기 기판수납부의 임의의 수납부에서 꺼낸 기판을 처리유니트에 인도하는 동작을 행하는 제1의 기판 이송수단과 상기 기판수납부의 임의의 수납부에서 꺼낸 기판을 노광유니트에 인도하는 동작과 노광유니트로부터 수취한 기판을 상기 기판수납부의 임의의 수납부에 수납하는 동작을 행하는 제2의 기판 이송수단을 구비하여 구성된다.
이 제1의 인터페이스 장치에 있어서의 처리유니트로부터 노광유니트의 노광전 기판의 이송은, 제1의 기판 이송수단이 처리유니트로부터 노광전 기판을 수취하여 그 기판을 기판수납부의 임의의 수납부에 수납하며(제1의 이송 공정), 제2의 기판이송수단이 기판수납부에서 그 기판을 꺼내어 노광유니트에 인도하는 것(제2의 이송 공정)으로 행하여진다. 노광유니트에서의 노광처리가 지연되어 이후에 처리유니트로부터 수취한 노광전 기판을 노광유니트에 이송할 수 없는 경우에는 제1의 기판 이송수단은 이후에 수취하는 노광전 기판을 기판수납부의 빈 수납부에 순차로 수납하며, 제2의 기판 이송수단은 노광유니트에의 노광전 기판의 인도가 가능해지면 기판수납부에서 노광전 기판을 꺼내어 노광유니트로 인도한다.
또한, 노광유니트로부터 처리유니트로의 노광후 기판의 이송은, 제2의 기판이송 수단이 노광유니트로부터 노광후 기판을 수취하여 그 기판을 기판수납부의 임의의 수납부에 수납하며(제3의 이송공정), 제1의 기판 이송수단이 기판수납부에서 그 기판을 꺼내어 처리유니트에 인도하는 것(제4의 이송 공정)으로 행하여진다. 이 경우도, 처리유니트로의 기판의 인도를 부드럽게 행할 수 없을 때에는 기판수납부의 1 또는 복수의 수납부에 기판을 일시 수납하여 놓는다.
상기 이송에 있어서, 상기 제1의 기판 이송수단은 처리유니트내의 동작정보에 기초하여 처리유니트로부터 수취한 기판을 상기 기판수납부의 임의의 수납부에 수납하는 동작과 상기 기판수납부의 임의의 수납부에서 꺼낸 기판을 처리유니트에 인도하는 동작을 행하며, 상기 제2의 기판 이송수단은 노광유니트내의 동작정보에 기초하여 상기 기판수납부의 임의의 수납부에서 꺼낸 기판을 노광유니트에 인도하는 동작과 노광유니트로부터 수취한 기판을 상기 기판수납부의 임의의 수납부에 수납하는 동작을 행한다.
즉, 제1의 기판 이송수단에 의한 제1의 이송공정은 처리유니트로부터 노광전기판이 송출하는 타이밍으로 행함과 동시에 제4의 이송공정은 처리유니트가 노광후 기판을 투입하는 타이밍으로 행한다. 한편, 제2의 기판 이송수단에 의한 제2의 이송공정은 노광유니트가 노광전 기판을 반입하는 타이밍으로 행함과 동시에 제3의 이송공정은 노광유니트가 노광후 기판을 반출하는 타이밍으로 행한다. 이와 같이, 제1기판 이송수단은 처리유니트안에서의 기판의 송출, 투입이 타이밍에 대응하여 제1, 제4의 이송공정을 하며, 한편 제2기판 이송수단은 제1의 기판 이송수단의 동작과 비동기로 노광유니트내에서의 기판의 반입, 반출 타이밍에 대응하여 제2, 제3의 이송공정을 행한다.
이와 같은 구성에 의해 처리유니트에서의 처리시간과 노광유니트에서의 처리시간과의 시간차에 유연하게 대응할 수 있다. 또한, 제1, 제2의 기판 이송수단에서의 기판 이송의 포지션수가 감소하여 제1의 기판 이송수단에 의한 기판의 이송동작과 제2의 기판 이송수단에 의한 기판의 이송이 독립·병행하게 할 수 있기 때문에, 처리유니트와 노광유니트와의 사이의 기판의 이송에 필요한 시간을 단축할 수가 있다. 또한, 제1, 제2의 기판 이송수단에 의한 기판의 이송을 기판수납부를 사이에 두어 행할 수 있기 때문에, 제1, 제2의 기판 이송수단은 동시에 기판수납부를 포함하는 기판 이송의 포지션을 넘어 이동할 필요가 없고, 기판 이송의 포지션을 피하는 것 같은 쓸데 없는 동작을 없앨 수 있어 그만큼 처리유니트와 노광유니트와의 사이의 기판의 이송에 필요한 시간의 단축화를 도모할 수 있다.
따라서, 고속화된 노광유니트와 그것에 추종시킨 처리유니트와의 사이의 인터페이스장치로서 본 발명에 관한 장치를 사용하면, 처리유니트와 노광유니트와의 사이의 기판의 이송을 노광유니트나 처리유니트의 고속 처리속도에 추종시키는 것이 가능해져 포토리소그래리 공정전체의 처리의 스루프트가 저하한다는 문제점을 해소할 수가 있다.
또, 상기 제1의 인터페이스 장치에 있어서, 상기 기판수납부의 복수의 수납부가 연직방향으로 다단계로 적층되며, 상기 제1의 기판 이송수단을, 처리유니트와의 사이에서 기판의 이송을 행하는 처리유니트간 기판 이송수단과 기판을 지지하여 수평방향으로 신축하여 상기 기판수납부의 임의의 수납부에 대하여 기판의 수납/취출(꺼내기)을 행하는 기판 수납/취출 수단과 상기 기판 수납/취출 수단을 연직방향으로 이동시키는 연직방향 이동수단과를 구비하여 구성하며, 상기 제2의 기판 이송수단을, 기판을 지지하고 수평방향으로 신축하여 상기 기판수납부의 임의의 수납부에 대하여 기판의 수납/취출을 행함과 동시에 노광유니트와의 사이에서 기판의 이송을 하기 위한 기판 반입/반출대에 대하여 기판의 재치/취출을 행하는 기판 수납/취출 수단과 상기 기판 수납/취출 수단을 연직축 주위로 회전시키는 회전수단과 상기 기판 수납/취출 수단을 연직방향으로 이동시키는 연직방향 이동수단과 상기 기판 수납/취출 수단을 수평 1축방향으로 이동시키는 1축방향 이동수단과를 구비하여 구성하며, 상기 제1의 기판 이송수단, 상기 기판수납부, 상기 제2의 기판 이송수단을 그 순서로 상기 제2의 이송수단의 상기 1축방향 이동수단의 이동방향에 평행하여 대략 일직선 모양으로 배치함과 동시에 상기 1축방향 이동수단의 이동방향에 따라 상기 기판 반입/반출대를 배치해도 좋다.
이와 같이 구성한 장치의 기판의 이송은 다음과 같이 행하여진다.
처리유니트로부터 노광유니트로의 노광전 기판의 이송은 우선 제1의 기판 이송수단을 구성하는 처리유니트간 기판 이송수단이 처리유니트로부터 노광전 기판을 수취하여 제1의 기판 이송수단을 구성하는 기판 수납/취출 수단에 지지시킨다. 제1의 기판 이송수단을 구성하는 연직방향 이동수단은 이 기관 수납/취출 수단을 연직방향으로 이동시켜 이 기판 수납/취출 수단의 연직방향의 위치를 그 기판을 수납하려고 하는 기판수납부의 소정의 수납부의 연직방향의 위치에 합쳐서 조절한다. 그리고, 상기 기판 수납/취출 수단은 그 기판을 지지하고 수평방향으로 신축하여 기판수납부의 소정의 수납부에 대하여 그 기판의 수납을 행한다.
다음에, 제2의 이판 이송수단을 구성하는 회전수단은 제2의 기판 이송수단을 구성하는 기판 수납/취출 수단의 수평방향으로 신축을 기판수납부에 대하여 행할 수 있도록 이 기판 수납/취출 수단을 연직축주위로 회전시킨다. 그리고, 제2의 기판이송수단을 구성하는 연직방향 이동수단은 이 기판 수납/취출 수단을 연직방향으로 이동시켜 이 기판 수납/취출 수단의 연직방향의 위치를 조절하며, 상기 기판 수납/취출 수단을 신축시켜 제1의 기판 이송수단에 의해 수납된 기판을 기판수납부의 소정의 수납부로부터 꺼낸다. 게다가, 제2의 기판 이송수단을 구성하는 1축방향 이동수단은 꺼낸 기판을 지지하고 있는 기판 수납/취출 수단을 수평 1축방향으로 이동시켜 이 이동방향에 따라 배치되어 있는 기판 반입/반출대의 앞에 정지시킨다. 그리고, 상기 회전수단이 기판 수납/취출 수단의 수평방향의 신축을 기판 반입/반출대에 대하여 행할 수 있도록 이 기판 수납/취출 수단을 연직축 주위로 회전시켜 연직방향 이동수단이 기판 수납/취출 수단이 연직방향의 위치를 기판 반입/반출대의 연직방향의 위치에 맞추어서 조절하며, 기판 수납/취출 수단을 신축시쳐 그 기판을 기판 반입/반출대에 재치시킨다. 기판 반입/반출대에 재치된 기판은 노광유니트내의 기판반송 로봇 등에 의해 노광유니트내에 투입된다.
또, 제2의 기판 이송수단에 의한 기판수납부에서의 기판의 취출시의 기판 수납/취출 수단에 대한 연직축주위의 회전, 연직방향에의 이동은 어느것이나 먼저 하더라도 좋고, 기판수납부로부터 기판을 꺼내고나서 기판 반입/반출대로 기판을 재치하기까지의 사이에 할 수 있는 기판 수납/취출 수단에 대한 수평 1축 방향에의 이동, 연직축 주위의 회전, 연직방향에의 이동은 어떤 순서로 행하더라도 좋다.
또한, 이 장치에 의한 노광유니트로부터 처리유니트로의 노광후 기판의 이송은 전술한 처리유니트부터 노광유니트로의 노광전 기판의 이송과 대략 반대의 동작으로 행하여진다. 또, 노광후 기판은 노광유니트내의 기판반송 로봇 등에 의해 노광유니트로부터 반출되어 기판 반입/반출대에 재치된다.
이 장치에서는, 제1의 기판 이송수단, 기판수납부, 제2의 기판 이송수단을 그 순서로 제2의 기판 이송수단의 1축방향 이동수단의 이동방향에 평행하여 대략 일직선 모양으로 함과 동시에 1축바양 이동수단의 이동방향에 따라 기판 반입/반출대를 배치하였기 때문에, 제1의 기판 이송수단에 의한 기판수납부에 대한 기판의 수납/취출과, 제2의 기판 이송수단에 의한 기판수납부에 대한 기판의 수납/취출 및 수평 1축 방향에의 이동을 대략 일직선모양에 따라 행할 수 있다. 이 인터페이스 장치는 유니트(인터페이스 유니트)화되지만, 이 장치에 의하면 그 유니트를 수평 1축방향으로 길게 형성할 수가 있다. 상기 인터페이스 유니트(IF 유니트)는 처리유니트와 노광유니트와의 사이에 배치되지만, 예컨대 처리유니트, IF 유니트, 노광유니트를 수평 1축방향으로 배치하는 경우 이하와 같이 IF 유니트의 긴 방향을 처리유니트, IF 유니트, 노광유니트의 배열방향으로 직교시켜 각 유니트를 배치시키면, 처리유니트와 노광유니트와의 사이의 간격을 작게 할 수 있기 때문에 처리 유니트로부터 노광유니트까지의 폭이 작게 되어 이들 유니트가 전유(專有)하는 플로어(floor)의 면적 이용 효율이 좋게 된다.
예컨대 처리유니트가, 포토리소그래피 공정 중 노광처리전후의 각종이 기판처리를 행하기 위한 복수개의 기판처리부와 복수개의 기판지지핀이 입설(立設)된 기판이송대와 상기 각 기판처리부에 대한 기판의 반입·반출 및 처리유니트내의 기판의 반송, 상기 기판이송대에 대한 기판의 재치/취출을 행하는 처리유니트내 기판반송수단을 구비하며, 상기 복수개의 기판처리부를 나눠 배치하기 위한 제1의 장치배치부 및 제2의 장치배치부가 설치되고, 평면으로 볼 때 상기 제의 장치배치부, 상기 처리유니트내 기판 반송수단의 기판반송로 상기 제2의 장치배치부가 그 순서로 배치되며, 상기 제1의 장치배치부 또는 상기 제2의 장치배치부의 인터페이스장치측의 단부에 상기 기판이송대가 배치되어 구성될 때에는 상기 제2의 기판 이송수단의 상기 1축방향 이동수단의 이동방향이 처리유니트내의 상기 제1의 장치배치부, 상기 기판반송로, 상기 제2의 장치배치부의 배열방향에 평행하게 되도록 상기 제2의 기판 이송수단의 상기 1축방향 이동수단을 배치하고, 상기 제1의 기판 이송수단을 처리유니트내의 상기 제1의 장치배치부 또는 상기 제2의 장치배치부의 단부에 인접하게 설치하며, 상기 제1의 기판 이송수단이 처리유니트내 기판반송수단과의 사이에서 상기 기판이송대를 통해 기판을 이송하는 것으로 상기 처리유니트로부터의 기판의 취출 및 상기 처리유니트로의 기판의 인도를 행한다.
또한, 처리유니트가, 포토리소그래피 공정 중 노광처리전후의 각종의 기판처리를 행하기 위한 복수개의 기판처리부와 상기 각 기판처리부에 대한 기판의 반입·반출 및 처리유니트내의 기판의 반송, 상기 기판 이송수단과의 사이의 기판이 이송을 분담하여 행하는 처리유니트내 제1기판 반송수단 및 처리유니트내 제2기판 반송수단을 구비하며, 상기 복수개의 기판처리부를 나눠 배치하기 위한 제1의 장치배치부 및 제2의 장치배치부가 설치되며, 평면으로 볼 때 상기 제1의 장치배치부, 상기 처리유니트내 제1기판 반송수단의 제1의 기판반송로, 상기 제2의 장치배치부, 상기 처리유니트내 제2기판 반송수단의 제2의 기판반송로가 그 순서로 배치되어 구성될 때에는 상기 제2의 기판 이송수단의 상기 1축방향 이동수단의 이동방향이 처리유니트내의 상기 제1의 장치배치부, 상기 제1의 기판반송로, 상기 제2의 장치배치부, 상기 제2의 기판반송로의 배열방향에 평행하게 되도록 상기 제2의 기판 이송수단의 상기 1축방향 이동수단을 배치하며, 상기 제1의 기판 이송수단을 처리유니트내의 상기 제1의 기판반송로 또는 상기 제2의 기판반송로의 단부에 인접하게 설치하여 상기 제1의 기판 이송수단은 상기 처리유니트내 제1기판반송수단 또는 상기 처리유니트내 제2기판 반송수단과의 사이에서 기판을 이송함으로써 상기 처리유니트로부터의 기판의 취출 및 상기 처리유니트로의 기판의 인도를 행한다.
또한, 상기 인터페이스 장치에서는 기판수납부의 수납부를 연직축 방향으로 다단계로 적층형성하고, 제1, 제2의 기판 이송수단에 의한 기판수납부의 각 수납부에 대한 기판의 수납/취출은 각 이송 수단의 기판 수납/취출 수단을 연직방향으로 이동시켜 행할 수 있도록 구성하였기 때문에, 기판수납부를 배치하는데 필요한 플로어의 이용면적을 작게 할 수 있고, 그만큼 IF 유니트를 수평방향으로 조밀하게 구성할 수 있어 IF 유니트의 플로어의 전유면적을 작게 할 수 있다.
이 종류의 처리유니트나 인터페이스장치, 노광유니트는 운용 코스트가 높은 청질실(clean room)내에 설치되지만, 상기 구성에 의하면 청정실의 플로어면을 효율좋게 이용할 수가 있다.
또한, 상기 인터페이스 장치에 있어서, 상기 기판수납부의 복수의 수납부를 상하로 2개의 수납부군으로 나눠 사용관리함과 동시에 어느 한쪽의 수납부군(제1의 수납부군)은 상기 제1의 기판 이송수단이 처리유니트로부터 수취한 기판을 수납하는데 사용하며, 다른쪽의 수납부군(제2의 수납부군)은 상기 제2의 기판 이송수단이 노광유니트로부터 수취한 기판을 수납하는데 사용하며, 상기 제1의 기판 이송수단이 상기 제1의 수납부군에 대하여 기판을 수납하는 때는 상기 제1의 수납부군의 하방으로부터 빈 상태를 검색하여 가장 하방의 빈 수납부에 기판을 수납시키며, 상기 제2의 기판 이송수단이 상기 제1의 수납부군으로부터 기판을 꺼낼 때는 상기 제1의 수납부군에 가장 먼저 수납된 기판을 꺼내며, 상기 제2의 기판 이송수단이 상기 제2의 수납부군에 대하여 기판을 수납하는 때는 상기 제2의 수납부군의 하방으로부터 빈 상태를 검색하여 가장 하방의 빈 수납부에 기판을 수납시키며, 상기 제1의 기판 이송수단이 상기 제2의 수납부군으로부터 기판을 꺼낼 때는 상기 제2의 수납부군에 가장 먼저 수납된 기판을 꺼내도록 제어하는 제어수단을 구비해도 좋다.
또한, 상기 제1의 기판 이송수단이 상기 기판수납부에 대하여 기판을 수납하는 때는 모든 수납부의 하방으로부터 빈 상태를 검색하여 가장 하방의 빈수납부에 기판을 수납시키며, 상기 제2의 기판 이송수단이 상기 기판수납부에서 기판을 꺼낼 때는 상기 제1의 기판 이송수단에 의해 수납된 기판중 가장 먼저 수납된 기판을 꺼내며, 상기 제2의 기판 이송수단이 상기 기판 수납부에 대하여 기판을 수납하는 때에도 모든 수납부의 하방으로부터 빈 상태를 검색하여 가장 하방의 빈수납부에 기판을 수납시키며, 상기 제1의 기판 이송수단이 상기 기판수납부에서 기판을 꺼낼 때는 상기 제2의 기판 이송수단에 의해 수납된 기판 중 가장 먼저 수납된 기판을 꺼내도록 제어하는 제어수단을 구비해도 좋다.
처리유니트나 노광유니트의 구성상 인터페이스 장치에서는, 기판수납부를 처리유니트내 기판반송수단과의 기판의 이송위치나 기판이송대나 기판 반입/반출대 등보다 연직축방향으로 상방에 배치하는 것이 많고, 그와 같은 경우 상기한 바와 같이 기판수납부의 수납부를 하방으로부터 사용하도록 제어하는 것에 의해 그만큼 제1, 제2의 기판 이송수단의 연직방향의 이동이 작게 되고, 제1, 제2의 기판이송수단의 이송동작에 낭비가 적게되어 인터페이스 장치내에서의 기판의 이송의 고속화에 공헌할 수 있다.
또한, 상기 기판 이송방법을 실시하는 제2의 인터페이스장치는, 복수매의 기판을 일시 수납하여 놓을 수 있는 복수의 수납부를 구비하며, 노광처리전후의 각종의 기판처리를 행하는 처리유니트내의 복수개의 기판처리부에 대하여 기판을 반입·반출함과 동시에 상기 처리유니트내에서의 기판의 반송도 행하는 처리유니트 기판 반송수단이, 임의의 수납부에 대하여 기판의 수납/취출을 할 수 있도록 구성한 기판수납부와 상기 기판수납부의 임의의 수납부에서 꺼낸 기판을 노광유니트로 인도하는 동작과 노광유니트로부터 수취한 기판을 상기 기판수납부의 임의의 수납부에 수납하는 동작을 행하는 기판 이송수단을 구비한다.
또한, 상기 기판이송수단은 노광유니트내의 동작정보에 기초하여 상기 기판 수납부의 임의의 수납부에서 꺼낸 기판을 노광유니트에 인도하는 동작과 노광유니트로부터 수취한 기판을 상기 기판수납부의 임의의 수납부에 수납하는 동작을 행한다.
이 인터페이스 장치에 의한 처리유니트로부터 노광유니트로의 노광전 기판의 이송은 처리유니트내 기판반송수단이 노광전 기판의 송출 마이밍마다 노광전기판을 기판수납부의 임의의 수납부에 수납하고, 다음에 기판 이송수단이 기판수납부에서 노광전 기판을 꺼내어 노광유니트에 인도하는 것으로 행하여진다. 노광유니트에서의 노광처리가 지연되어 이후에 처리유니트로부터 보내주는 기판을 노광유니트에 이송할 수 없는 경우에는 처리유니트내 기판 반송수단은 노광전 기판을 빈 수납부로 순차 수납하며, 기판 이송수단은 노광유니트로의 노광전 기판의 인도가 가능해지면 기판수납부에서 노광전 기판을 꺼내어 노광유니트로 인도한다.
또한, 노광유니트로부터 처리유니트로의 노광후 기판의 이송은 기판 이송수단이 노광유니트로부터 노광후 기판을 수취하여 그 기판을 기판수납부의 임의의 수납부에 수납하며, 처리유니트내 기판반송수단이 노광후 기판의 투입 타이밍마다 기판수납부에서 노광후 기판을 꺼내어 처리유니트 넣은 것으로 행하여진다.
이 경우도, 처리유니트로의 기판의 투입 타이밍보다도 빠른 타이밍으로 노광후 기판이 노광유니트로부터 반출되어 오면 기판 이송수단은 기판수납부의 빈 수납부에 기판을 일시수납하며, 처리유니트내 기판반송수단은 노광후 기판의 처리유니트로의 투입 타이밍마다 기판수납부에서 노광후 기판을 순차 꺼내어 처리유니트로 투입한다.
이 제2의 인터페이스 장치에 의하면 기판수납부를 구비하고 있기 때문에 처리유니트에서의 처리시간과 노광유니트에서의 처리시간과의 시간차에 유연하게 대응할 수가 있다.
또한, 기판수납부를 처리유니트내 기판반송수단과 인터페이스 장치내의 기판이송수단과의 이송 포지션으로서 겸용하고 있기 때문에 인터페이스 장치내의 기판 이송수단의 기판의 이송 포지션수가 적게되어 인터페이스 장치내에서의 기판의 이송동작의 고속화를 도모할 수 있다.
게다가, 기판수납부를 처리유니트내 기판반송수단과 인터페이스 장치내의 기판 이송수단과의 이송 포지션으로서 겸용하고 있기 때문에 인터페이스 장치내의 기판 이송수단은 기판수납부와 노광유니트와의 사이에서 기판을 반송하면 좋고, 이 기판 이송수단은 기판수납부를 포함하는 기판의 이송의 포지션을 피하도록 이동할 필요가 없어 인터페이스 장치내의 기판 이송수단의 동작이 부드럽게 이루어진다.
따라서, 고속화된 노광유니트와 그것에 추종시킨 처리유니트와의 사이에서 기판을 이송하는 인터페이스처장치로서 상기 제2의 인터페이스 장치를 사용하더라도 처리유니트와의 사이의 기판의 이송을 노광유니트나 처리유니트의 고속 처리속도에 추종시키는 것이 가능해져 포토리소그래피 공정전체의 처리의 스루프트가 저하한다고 하는 문제점을 해소할 수가 있다.
또, 상기 제2의 인터페이스 장치에 있어서, 상기 처리유니트내 기판반송수단은 적어도 기판을 지지하는 기판지지부와 상기 기판지지부를 수평방향으로 신축시키는 신축수단과 상기 기판지지부를 연직방향으로 이동시키는 연직방향 이동수단과를 구비하고 있고, 상기 기판수납부의 복수의 수납부가 연직방향으로 다단계로 적층되며, 상기 기판 이송수단은 기판을 지지하고 수평방향으로 신축하여 상기 기판수납부의 임의의 수납부에 대하여 기판의 수납/취출을 행함과 동시에 노광유니트와의 사이에서 기판의 이송을 행하기 위한 기판 반입/반출대에 대하여 기판이 재치/취출을 행하는 기판 수납 추출 수단과 상기 기판 수납/취출 수단을 연직축주위로 회전시키는 회전수단과 상기 기판 수납/취출 수단을 연직방향으로 이동시키는 연직방향 이동수단과 상기 기판 수납/취출 수단을 수평 1축방향으로 이동시키는 1축방향 이동수단과를 구비하여 구성되며, 상기 기판수납부, 상기 기판 이송수단을 그 순서로 상기 기판 이송수단의 상기 1축방향 이동수단의 이동방향에 평행하여 대략 일직선 모양으로 배치함과 동시에 상기 1축방향 이동수단의 이동방향에 따라 상기 기판 반입/반출대를 배치해도 좋다.
이 장치에 있어서의 기판 이송수단에 의한 기판수납부에 대한 기판의 수납/취출이나 기판수납부와 기판 반입/반출대와의 사이의 기판의 이송은 상기 제1의 인터페이스 장치의 제2의 기판 이송수단과 같은 동작으로 행하여진다. 또한, 처리 유니트내 기판반송수단에 의한 기판수납부의 임의의 수납부에의 노광전 기판의 수납은 기판지지부에 노광전 기판을 지지하여 연직방향의 위치를 조절하고 나서 기판지지부를 신축시켜 행하며, 처리유니트내 기판 반송수단에 의한 기판수납부의 임의의 수납부에서의 노광후 기판의 취출은 상기 수납과 대략 반대의 동작으로 행하여진다.
또, 상기 구성에 있어서 처리유니트가 포토리소그래피 공정 중 노광처리전후의 각종의 기판처리를 행하기 위한 복수개의 기판처리부와 상기 각 기판처리부에 대한 기판의 반입·반출 및 처리유니트내의 기판의 반송, 상기 인터페이스 장치내의 상기 기판수납부의 임의의 수납부에 대한 기판의 수납/취출을 행하는 처리유니트내 기판반송수단을 구비하며, 상기 복수개의 기판처리부를 나눠 배치하기 위한 제1의 장치배치부 및 제2의 장치배치부가 설치되고, 평면으로 볼 때 상기 제1의 장치배치부, 상기 처리유니트내 기판반송수단의 기판반송로, 상기 제2의 장치배치부가 그 순서로 배치되어 구성될 때에는 상기 기판 이송수단의 상기 1축방향 이동수단의 이동방향이 처리유니트내의 상기 제1의 장치배치부, 상기 기판반송로, 상기 제2의 장치배치부의 배열방향에 평행하게 되도록 상기 기판 이송수단의 상기 1축방향 이동수단을 배치하며, 상기 기판수납부를 처리유니트내의 상기 기판반송로의 단부에 인접하게 설치하면 청정실의 플로어면을 효율적으로 이용할 수가 있다.
또한, 처리유니트가 포토리소그래피 공정 중 노광처리전후의 각종의 기판처리를 행하기 위한 복수개의 기판처리부와 상기 각 기판처리부에 대한 기판의 반입·반출 및 처리유니트내의 기판의 반송, 상기 인터페이스 장치내의 상기 기판수납부의 임의의 수납부에 대한 기판의 수납/취출을 분담하여 행하는 처리유니트내 제1기판 반송수단 및 처리유니트내 제2기판 반송수단을 구비하며, 상기 복수개의 기판처리부를 나눠 배치하기 위한 제1의 장치배치부 및 제2의 장치배치부가 설치되며, 평면으로 볼 때 상기 제1의 장치배치부, 상기 처리유니트내 제1기판 반송수단의 제1의 기판반송로, 상기 제2의 장치배치부, 상기 처리유니트내 제2기판반송수단의 제2의 기판반송로가 그 순서로 배치되어 구성된 때에는 상기 기판 이송수단의 상기 1축방향 이동수단의 이동방향이 처리유니트내의 상기 제1의 장치배치부, 상기 제1의 기판반송로, 상기 제2의 장치배치부, 상기 제2의 기판반송로의 배열방향에 평행하게 되도록 상기 기판 이송수단의 상기 1축방향 이동수단을 배치하며, 상기 기판수납부를 처리유니트내의 상기 제1의 기판반송로 또는 상기 제2의 기판반송로의 단부에 인접하게 설치하면 청정실의 플로어면을 효율적으로 이용할 수 있다.
또한, 상기 구성에 있어서 상기 기판수납부의 복수의 수납부를 상하로 2개의 수납부군으로 나눠 사용관리함과 동시에 어느 한쪽의 수납부군(제1의 수납부군)은 상기 처리유니트내 기판반송수단이 기판을 수납하는데 사용하며, 다른쪽의 수납부군(제2의 수납부군)은 상기 기판 이송수단이 노광유니트로부터 수취한 기판을 수납하는데 사용하며, 상기 처리유니트내 기판반송수단이 상기 제1의 수납부군에 대하여 기판을 수납할때에는 상기 제1의 수납부군의 하방으로부터 빈 상태를 검색하여 가장 하방의 빈 수납부에 기판을 수납시키며, 상기 기판 이송수단이 상기 제1의 수납부군으로부터 기판을 꺼낼 때에는 상기 제1의 수납부군에 가장 먼저 수납된 기판을 꺼내며, 상기 기판 이송수단이 상기 제2의 수납부군에 대하여 기판을 수납하는 때는 상기 제2의 수납부군의 하방으로부터 빈 상태를 검색하여 가장 하방의 빈 수납부에 기판을 수납시키며, 상기 처리유니트내 기판반송수단이 상기 제2의 수납부군으로부터 기판을 꺼낼 때는 상기 제2의 수납부군에 가장 먼저 수납된 기판을 꺼내도록 제어하는 제어수단을 구비하면 기판의 이송시간의 단축화에 공헌할 수 있다.
또한, 상기 처리유니트내 기판반송수단이 상기 기판수납부에 대하여 기판을 수납하는 때는 모든 수납부의 하방으로부터 빈 상태를 검색하여 가장 하방의 빈수납부에 기판을 수납시키며, 상기 기판 이송수단이 상기 기판수납부에서 기판을 꺼낼 때는 상기 처리유니트내 기판반송수단에 의해 수납된 기판중 가장 먼저 수납된 기판을 꺼내며, 상기 기판 이송수단이 상기 기판수납부에 대하여 기판을 수납하는 때에도 모든 수납부의 하방으로부터 빈 상태를 검색하여 가장 하방의 빈수납부에 기판을 수납시키며, 상기 처리유니트내 기판반송수단이 상기 기판수납부에서 기판을 꺼낼 때는 상기 기판 이송수단에 의해 수납된 기판 중 가장 먼저 수납된 기판을 꺼내도록 제어하는 제어수단을 구비해도 기판의 이송시간의 단축화에 공헌할 수 있다.
이하, 본 발명의 적당한 실시예를 도면에 기초하여 상세히 설명한다.
[제1실시예]
제2도는 본 발명의 제1실시예에 관한 인터페이스 장치를 구비한 기판처리장치전체의 구성을 도시한 평단면도이고, 제3도는 제2실시예 장치의 버퍼부 근처의 개략구성을 도시한 사시도, 제4도는 제1실시예 장치를 노광유니트측에서 본 정면도이다. 제2또 이후의 각 도면에는 위치관계를 명확히 하기 위해 XYZ 직교좌표계를 붙이고 있다.
또, 본 실시예 및 후술하는 각 실시예나 각종의 변형예는 반도체웨이퍼(기판)에 대하여 포토리소그래피 공정의 각 기판처리를 행하기 위한 기판처리장치에 본 발명을 적용한 경우를 예로서 채용하고 있지만, 본 발명은 액정표시기용의 유리기판 등의 각종의 기판의 기판처리장치에도 같이 적용할 수 있다.
또한, 이 제1실시예는 본 발명에 관한 기판 이송방법(청구항 1, 3~5) 및 본 발명의 제1의 인터페이스장치(청구항 6~9, 11, 12)에 대응하는 실시예이다.
제2도에 도시한 바와 같이 본 발명에 관한 인터페이스 장치가 적용되는 기판처리장치는 인덱서(indexer)(1), 처리유니트(2)(레지스트 처리유니트), 인터페이스유니트(IF 유니트) 3, 노광유니트(4) 등을 구비하고 있다. 그리고, 처리유니트(2)의 일단측에 인덱서(1)가 설치되며, 인덱서(1)의 설치측과 반대측의 처리유니트(2)의 근방에 노광유니트(4)가 설치되며, 처리유니트(2)와 노광유니트(4)와의 사이에 인터페이스 유니트(3)가 설치되어 있다.
인덱서(1)는 캐리어의 자동반송장치(Auto Guided Vehicle : 이하 「AGV」라함)(5)와의 사이에서 복수매의 기판(W)을 수납가능한 캐리어(C)의 이송을 행하기 위한 반입·반출 테이블(11)이나, 반입·반출 테이블(11)에 재치되어 있는 캐리어(C)와 후술하는 처리유니트(2)내의 기판반송 로봇(23)과의 사이의 기판(W)의 이송을 행하기 위한 기판반입·반출 로봇(12) 등을 구비하여 구성되어 있다.
처리유니트(2)는 제1의 장치배치부(21)와 제2의 장치배치부(22)와 기판반송로봇(23)(처리유니트내 기판반송수단)의 기판반송로(24)를 구비하고 있다. 제1의 장치배치부(21)에는 제2도의 X축방향에 따라 레지스트 도포를 행하기 위한 스핀 코터(SC)나, 현상을 행하기 위한 스핀 디벨로퍼(SD) 등이 각각 복수대 배치되어 있다. 또한, 제2의 장치배치부(22)에는 프리 베이크나 포스트 베이크 등을 하기 위한 베이크유니트(BU)나 복수대의 에지노광부(dege exposure unit)(EEW) 등이 배치되어 있다. 베이크유니트(BU)는 기판(W)을 소정온도로 가열하기 위한 베이크장치와 가열된 기판(W)을 상온근처로 냉각하기 위한 냉각장치를 구비하며, 이들 베이크장치와 냉각장치가 각각 복수대이고, X축방향 및 연직방향(X, Y축에 직교하는 Z축방향이고, 제2도의 지면에 수직한 방향)에 2차원적으로 배치되어 구성되어 있다. 또한, 본 실시예에서는 제2의 장치배치부(22)의 IF 유니트(3)측의 단부 근처에 후술하는 IF 유니트(3)내의 제1의 기판이송 로봇(31)과 기판(W)의 이송을 행하기 위한 기판이송대(25)를 설치하고 있다. 기판이송대(25)에는 복수개의 기판지지핀(25a)이 연직방향으로 고정입설(固定立設)되어 있고, 이들 기판지지핀(25a)에 기판(W)이 재치되어 기판(W)의 이송이 행하여진다.
기판반송 로봇(23)의 기판반송로(24)는 상기 제1, 제2의 장치배치부(21), 22의 사이에 설치되어 있다. 기판반송 로봇(23)은 제2도, 제5a도에 도시한 바와 같이 기판(W)을 재치하여 지지하는 복수의 돌기부(23a)를 구비한 말굽형의 핸드(23b)와 핸드(23b)를 수평방향(X-Y 평면)으로 신축시키는 신축부(23c)와 신축부(23c)를 통해 핸드(23b)를 Z축 주위로 회전시키는 회전부(23d)와 신축부(23c), 회전부(23d)를 통해 핸드(23b)를 Z축방향으로 이동시키는 Z방향이동부(23e)와 신축부(23c), 회전부(23d), Z방향이동부(23e)를 통해 핸드(23b)를 X축방향으로 이동시키는 X방향이동부(23f)를 구비하여 구성되어 있다. 신축부(23c)나 Z방향이동부(23e), X방향이동부(23f)는 나사축(23g), 모터(23h), 가이드축(23i)으로 이루어지는 주지의 1축방향 이동기구로 구성되며, 회전부(23d)는 모터(23j)로 구성되어 있다.
기판반송 로봇(23)은 핸드(23b)의 Z축주위의 회전이나, X, Z축방향의 이동, 신축동작을 적당히 조합하여 스핀 코터(SC)나 스핀 디벨로퍼(SD), 베이크장치, 냉각장치, 에지노광부(EEW) 등의 처리장치(기판처리부)에 대한 액세스(각 장치에 대한 기판(W)의 반입/반출 동작)나 기판이송대(25)에 대한 기판(W)의 재치/취출, 처리유니트(2)내의 각 장치 등의 사이의 기판(W)의 반송등을 행한다.
예컨대, 제5a도의 종단면에서 도시한 냉각장치(CA)에 기판(W)을 반입하는 경우에는 이하와 같이 행하여진다. 우선, 핸드(23b)를 X축방향 및 Z축방향으로 적당히 이동시키어 핸드(23b)를 액세스 대상의 냉각장치(CA)의 전방에 위치시키며 핸드(23b)의 Z축주위의 회전에 의해 핸드(23b)를 그 냉각장치(CA) 방향으로 신축할 수 있도록 한다. 다음에, 핸드(23b)를 냉각장치(CA)의 기판 반입·반출구(io)로부터 냉각장치(CA)내에 삽입하여 핸드(23b)에 재치하여 지지된 기판(W)을 냉각장치(CA)내로 삽입한다. 냉각장치(CA)내에는 승강핀(ZP)이 설치되고 있어 이 승강핀(ZP)이 상승하여 기판(W)을 핸드(23b)에서 수취(受取)한다. 그리고, 기판(W)의 이송 후 핸드(23b)를 냉각장치(CA)에서 퇴출(退出)시킨다. 다음에, 승강핀(ZP)을 하강시켜 수취한 기판(W)을 냉각판(CP)상에 재치하여 기판(W)의 냉각이 개시된다. 냉각장치(CA)로부터의 기판(W)의 반출은 상기 반입때의 동작과 반대의 동작으로 행하여진다. 그 밖의 처리장치에 대한 액세스 때의 기판반송 로봇(23)의 동작도 대략 상기한 동작과 같다. 또, 제5a도 중의 부호 BA는 베이크장치를 도시하고 있다.
또한, 제5b도에 도시한 바와 같이 기판이송대(25)에 기판(W)을 재치하는 경우에는 우선, 전술한 바와 같이 핸드(23b)의 X축방향 및 Z축방향의 이동과 Z축주위의 회전을 적당히 행하여 핸드(23b)를 그 기판이송대(25)의 상방으로 신축할 수 있도록 한다. 다음에, 핸드(23b)를 기판이송대(25) 방향으로 신장시켜 재치하여 지지하고 있는 기판(W)을 기판이송대(25)의 기판지지핀(25a)의 약간 상방으로 위치시킨다. 그리고, 핸드(23b)를 Z축방향으로 하강시켜 기판(W)을 기판지지핀(25a)에 재치하여 이송하며, 또 약간 하강시킨 위치로 핸드(23b)를 퇴출시킨다. 기핀이송대(25)에 재치된 기판(W)의 취출은 상기와 반대의 동작으로 핸드(23b)를 기판이송대(25)에 재치된 기판(W)의 하방으로부터 기판(W)을 들어 올리도록 하여 행하여진다.
또, 처리유니트(2)에는 스핀 코터(SC)나 스핀디벨로퍼(SD)에 레지스트액이나 약액, 현상액, 세정액 드의 처리액을 공급하기 위한 처리액공급부나 그들 처리액을 저류(貯留) 하여놓는 저류부(어느것도 도시하지 않음) 등도 구비되어 있다. 처리유니트(2)는 상기 각 요소를 일체적으로 유니트화하여 구성되어 있다.
IF 유니트(3)는 본 발명에 관한 인터페이스 장치에 상당하는 부분이고, 제2도 내지 제4도에 도시한 바와 같이 제1의 기판이송 로봇(31)과 버퍼부(32)와 제2의 기판이송 로봇(33)과 기판반입대(34)와 기판반출대(35)를 일체적으로 유니트화하여 구성되어 있다. 또한, 본 실시예에서는 IF 유니트(3)내에 제1, 제2의 카세트(36a,36b)를 각각 세트(set)하여 놓기 위한 2개의 테이블대(37a,37b)도 구비되어 있다.
제1의 기판이송로봇(31)은 Z방향구동부(31a), 연결부재(31b), 회전구동부(31c), 신축구동부(31d), 기판지지부(31e) 등으로 구성되어 있다.
Z방향구동부(31a)는 IF 유니트(3)의 밑면에 고정되며 나사축(31aa)이 Z축방향으로 회전이 자유롭게 내설(內設)되고 나사축(31aa)에 평행하게 가이드축(도시하지 않음)이 내설되며, 또한 나사축(31aa)을 정반대방향으로 회전시키는 모터(31ab)도 내설되어 있다.
연결부재(31b)의 기단부(基端部)는 상기 Z방향구동부(31a)내의 나사축(31aa)에 나사결합되어 가이드축에 슬라이딩이 자유롭게 끼워져 있고, 나사축(31aa)을 정반대방향으로 회전시키는 것으로 연결부재(31b)를 Z축방향으로 이동(연직방향으로 승강이동)시키도록 구성하고 있다. 또한, 연결부재(31b)의 선단부(先端部)에는 회전구동부(31c)가 고정되어 있다.
회전구동부(31c)는 상방에 회전축(31ca)이 Z축(연직)방향으로 회전이 자유롭게 입설되며, 이 회전축(31ca)을 정반대방향으로 회전시키는 모터(31cb)가 내설되어 있다. 상기 회전축(31ca)의 선단부에는 신축구동부(31d)가 고정되어 있다. 이 신축구동부(31d)에는 모터(31da)로 구성되는 타이밍벨트(31db)가 내설되어 있다. 이 타이밍벨트(31db)의 일부에 기판지지부(31e)의 기단부가 연결되어 있고, 타이밍벨트(31db)를 구동시키는 것으로 신축구동부(31d)에 대하여 기판지지부(31e)를 신축시키도록 구성하고 있다. 또한, 상기 회전구동부(31c)의 회전축(31c)의 회전축(31ca)을 정반대방향으로 회전시키는 것으로 신축구동부(31d) 및 기판지지부(31e)를 Z축(연직) 주위로 회전시켜 X-Y 평면(수평면)내의 임의의 방향으로 기판지지부(31e)를 신축가능하게 구성하고 있다. 게다가. 상개 Z방향구동부(31a)의 나사축(31aa)을 정반대방향으로 회전시키는 것으로, 연결부재(31b), 회전구동부(31c), 신축구동부(31d)를 통해 기판지지부(31e)를 신축시키는 Z축(연직)방향의 높이를 조절가능하게 구성하고 있다.
또한, 기판지지부(31e)를 처리유니트(2)내의 기판이송대(25) 및 후술하는 버퍼부(32)에 대하여 신축할 수 있도록 신축구동부(31d)는 기판이송대(25)의 X축방향 정면과 버퍼부(32)의 Y축방향 정면에 배치되어 있다. 게다가, 신축구동부(31d)가 Z축방향으로 하강된 상태라도 신축구동부(31d)가 Z축주위로 회전할 수 있도록 Z방향구동부(31a)는 연결부재(31b)룰 통해 신축구동부(31d)나 회전구동부(31c)의 하방으로부터 어긋난 위치에 배치되어 있다.
상기 구성에 의해 제1의 기판이송 로봇(31)은 처리유니트(2)내의 기판이송대(25)에 대한 기판(W)의 재치/취출과 후술하는 버퍼부(32)의 임의의 수납선반(32a)에 대한 기판(W)의 수납/취출을 행한다. 또, 제4도중의 부호 2a는 처리유니트(2)와 IF 유니트(3)와의 사이에서 기판(W)을 이송할 때에 기판(W)을 지지한 상기 제1의 기판이송 로봇(31)이 통과하기 위한 개구이다.
기판이송대(25)에 대한 기판(W)의 재치/취출은 기판지지부(31e)의 신축방향을 기판이송대(25)방향으로 하여 행해지지만, 이때의 기판(W)의 재치/취출은 전술한 처리유니트(2)내의 기판반송 로봇(23)에 의한 기판이송대(25)에 대한 기판(W)의 재치/취출과 같은 동작으로 행하여진다.
또한, 버퍼부(32)의 임의의 수납선반(32a)에의 기판(W)의 수납은 제6도에 도시한 바와 같이 행하여진다. 우선, 회전구동부(31c)에 의해 기판지지부(31e)의 신축방향을 버퍼부(32)방향으로 함과 동시에 기판(W)을 수납하고자 하는 버퍼부(32)의 수납선반(32a)이 Z축(연직)방향의 높이에 맞추어 Z방향구동부(31a)에 의해 기판지지부(31e)의 높이가 조절된다. 이 회전과 높이조절은 어느 것을 먼저 하더라도 좋다. 다음에, 기판지지부(31e)를 신장시켜 지지하고 있는 기판(W)을 목적으로 하는 수납선반(32a)에 삽입하고, Z방향구동부(31a)에 의해 기판지지부(31e)를 Z 방향으로 미소량 하강시켜 기판(W)을 그 수납선반(32a)에 재치하여 수납하며, 수납한 기판(W)의 이면과 기판지지부(31e)가 접촉하지 않은 위치에서 기판지지부(31e)의 하강을 정지한다. 그리고, 기판지지부(31e)를 수납선반(32a)에서 퇴출시켜 임의의 수납선반(32a)에의 기판(W)의 수납을 종료한다. 또한, 버퍼부(32)의 임의의 수납선반(32a)에서의 기판(W)의 취출은 상기 기판(W)의 수납과 반대의 동작으로 기판지지부(31e)가 수납되어 있는 기판(W)의 하방으로부터 기판(W)을 들어 올리도록 하여 행하여 진다.
상기 제1의 기판이송 로봇(31)은 본 발명에 있어서의 제1의 기판 이송수단에 상당하며, 또한 신축구동부(31d)와 기판지지부(31e)는 본 발명에 있어서의 제1의 기판 이송수단의 기판 수납/취출 수단을 구성하며, 이 기판 수납/취출 수단과 회전구동부(31c)는 본 발명에 있어서의 제1의 기판 이송수단의 처리유니트간 기판이송수단을 구성하며, Z방향구동부(31a)는 본 발명에 있어서의 제1의 기판 이송수단의 연직방향 이동수단을 구성한다.
버퍼부(32)는 상기 제1의 기판이송 로봇(31)과 후술하는 제2의 기판이송 로봇(33)과의 사이의 위치에 배치되고, IF 유니트(3)의 내측면에 지지되어 있다. 이 버퍼부(32)에는 복수개(예컨대 50개)의 수납선반(32a)이 Z축(연직)방향으로 다단계로 적층형성되어 있다. 또한, 각 수납선반(32a)은 상기 제1의 기판이송 로봇(31) 및 후술하는 제2의 기판이송 로봇(33)을 향하는 면이 개구되어 있거, 이들 제1, 제2의 기판이송 로봇(31,33)에 의한 기판(W)의 수납/취출이 행할 수 있도록 구성하고 있다. 이 버퍼부(32)는 본 발명에 있어서의 기판수납부에 상당하며, 수납선반(32a)은 본 발명에 있어서의 기판수납부의 수납부에 상당한다.
제2의 기판이송 로봇(33)은 Y방향구동부(33a), 제1의 연결부재(33b), Z방향구동부(33c), 제2의 연결부재(33d), 회전구동부(33e), 신축구동부(33f), 기판지지부(33g) 등으로 구성되어 있다.
Y 방향구동부(33a)는 IF 유니트(3)의 내측면에 고정되고, 나사축(33aa)이 Y축 방향으로 회전이 자유롭게 내설되며, 나사축(33aa)에 평행하게 가이드축(33ab)이 내설되며, 또한 나사축(33aa)을 정반대방향으로 회전시키는 모터(33ac)도 내설되어 있다. 이 Y방향구동부(33a)는 제2의 기판이송 로봇(33)의 신축구동부(33f) 및 기판지지부(33g)를 버퍼부(32)의 Y축방향 정면과 후술하는 기판반입대(34)의 X축방향 정면과의 사이에서 이동가능하게 배치되어 있다.
제1의 연결부재(33b)의 기단부는 상기 Y방향구동부(33a)내의 나사축(33aa)에 나사결합되며, 가이드축(33ab)에 슬라이딩이 자유롭게 끼워져 있어 나사축(33aa)을 정반대방향으로 회전시키는 것으로 제1의 연결부재(33b)를 Y축방향(수평 1축방향)으로 이동시키도록 구성하고 있다. 또한, 제1의 연결부재(33b)의 선단부에는 Z방향구동부(33c)가 고정설치되어 있다.
제2의 기판이송 로봇(33)의 Z방향구동부(33c), 제2의 연결부재(33d), 회전구동부(33e), 신축구동부(33f), 기판지지부(33g)는 상기 제1의 기판이송 로봇(31)의 Z방향구동부(31a), 연결부재(31b), 회전구동부(31c), 신축구동부(31d), 기판지지부(31e)와 같은 구성을 가지고 같은 동작을 한다. 즉, 기판지지부(33g)는 신축구동부(33f)에 대하여 신축가능하고, 회전구동부(33e)에 의해 신축구동부(33f) 및 기판지지부(33g)는 Z축(연직)주위로 회전되어 X-Y 평면(수평면)내의 임의의 방향으로 기판 지지부(33g)가 신축할 수 있도록 되어 있다. 또한, Z방향구동부(33c)에 의해 제2의 연결부재(33d), 회전구동부(33e), 신축구동부(33f)를 통해 기판지지부(33g)를 신축시키는 Z축(연직)방향의 높이조절이 가능하다. 게다가, 이 제2의 기판이송 로봇(33)에서는 Y방향구동부(33a)에 의해 제1의 연결부재(33b), Z방향구동부(33c), 제2의 연결부재(33d), 회전구동부(33e)를 통해 신축구동부(33f) 및 기판지지부(33g)의 Y축방향의 위치를 변위가능하게 하고 있다.
상기 구성에 의해 제2의 기판이송 로봇(33)은 버퍼부(32)의 임의의 수납선반(32a)에 대한 기판(W)의 수납/취출이나, 기판반입대(34)에의 기판(W)의 재치, 기판반출대(35)로부터의 기판(W)의 취출, 후술하는 카세트(36a,36b)에 대한 기판(W)의 수납/취출 등을 행한다.
버퍼부(32)의 임의의 수납선반(32a)에 대한 기판(W)의 수납/취출은 기판지지부(33a)의 신축방향을 버퍼부(32)방향으로 하고, 수납/취출 대상의 수납선반(32a)의 높이에 맞추어 신축구동부(33f) 및 기판지지부(33g)의 Z축방향의 높이를 조절하여 행하여지지만, 이때의 기판(W)의 수납/취출도 전술한 제1의 기판이송 로봇(31)에 의한 버퍼부(32)의 임의의 수납선반(32a)에 대한 기판(W)의 수납/취출과 같은 동작으로 행하여진다. 또한, 기판반입대(34)에의 기판(W)의 재치나, 기판반출대(35)로부터의 기판(W)의 취출은 기판지지부(33g)의 신축방향을 기판반입대(34)나 기판반출대(35) 방행으로하여 행하여지지만, 이때의 기판(W)의 재치나 취출도 전술한 처리유니트(2)내의 기판반송 로봇(23)에 의한 기판이송대(25)에 대한 기판(W)의 재치나 취출과 같은 동작으로 행하여진다.
상기 제2의 기판이송 로봇(33)은 본 발명에 있어서의 제2의 기판이송수단에 상당하며, 또한 신축구동부(31d)와 기판지지부(31e)는 본 발명에 있어서의 제2의 기판 이송수단의 기판 수납/취출 수단을 구성하며, 회전구동부(33e)는 본 발명에 있어서의 제2의 기판 이송수단의 회전수단을 구성하며, Z방향구동부(31c)는 본 발명에 있어서의 제2의 기판 이송수단이 연직방향 이동수단을 구성하며, Y방향구동부(33a)는 본 발명에 있어서의 제2의 기판 이송수단의 1축방향 이동수단을 구성한다. 또한, 본 실시예에서는 1축방향 이동수단의 이동방향인 수평 1축 방향을 도면의 Y축방향(처리유니트(2)내의 제1의 장치배치부(21), 기판반송로(24), 제2의 장치 배치부(22)의 배열 방향에 평행)으로 채용하고 있다.
또, 본 실시예에서는 제1의 기판이송 로봇(31), 버퍼부(32), 제2의 기판이송 로봇(33)이 그 순서로 제2의 기판이송 로봇(33)의 Y방향구동부(33a)(1축방향이동수단)의 이동방향(Y축방향)에 평행하게 일직선 모양으로 배치되어 있다.
기판빈입대(34), 기판반출대(35)는 상기 처리유니트(2)내의 기판이송대(25)와 같이 복수개의 기판지지핀(34a,35a)이 연직방향으로 고정입설되어 있고, 이들 기판지지핀(34a,35a)에 기판(W)이 재치되어 노광유니트(4)(도시하지 않은 노광유니트(4)내의 기판반송로봇)와의 사이에서 기판(W)의 이송이 행하여진다. 이들 기판 반입대(34)와 기판반출대(35)는 본 발명에 있어서의 기판 반입/반출대에 상당한다. 또한, 본 실시예에서는 제2의 기판이송 로봇(33)의 Y방향구동부(33a)(1축방향이동수단)의 이동방향(Y축방향)에 따라 버퍼부(32)로부터 가까운 순서로 기판반출대(35), 기판반입대(34)가 배치되어 있다. 또, 도시하지 않았으나 노광유니트(4)와 IF 유니트(3)와의 사이에서 기판(W)을 이송할 때에 기판(W)을 지지한 노광유니트(4)내의 기판반송 로봇이 통과하기 위한 개구도 노광유니트(4)와 IF 유니트(3)와의 사이에 설치되어 있다.
제1의 카세트(36a)를 세트하는 테이블대(37a)는 제2의 기판이송 로봇(33)의 Y방향구동부(33a)의 일단부(버퍼부(32)와 반대측의 단부)측에 버퍼부(32)와 마주 향하도록 IF 유니트(3)의 내측면에 고정되어 배치되어 있다.
또한, 제2의 카세트(36b)를 세트하는 테이블대(37b)는 상기 테이블대(37a) 보다도 Y축방향으로 버퍼부(32)에 가깝고, 또한 테이블대(37a) 보다도 Z축방향으로 높은 위치에 IF 유니트(3)의 내측면에 고정되어 배치되어 있다.
또한, 테이블대(37b)의 Z축방향의 높이는 제4도의 가상선으로 도시한 바와 같이 제2의 기판이송 로봇(33)이 기판반입대(34)(테이블대(37a))측에 위치하고 있을 때 제2의 기판이송 로봇(33)의 Z방향구동부(33c)의 상단이 간섭하지 않은 위치로 결정되어 있다.
제1, 제2의 카세트(36a,36b)에는 복수매의 기판(W)을 수평자세로 수납하여 놓기 위한 복수개의 수납선반(도시하지 않음)이 설치되어 있다. 이들 카세트(36a,36b)는 예컨대, 파이로트기판(노광테스트용의 기판)을 수납하여 노광테스트하는 경우에 쓰이기도 하고, IF 유니트(3)를 인덱서(1)로서 사용하는 경우에 쓰인다.
또, 「IF 유니트(3)를 인덱서(1)로서 사용하는 경우」라고 하는 것은 본 실시예 장치의 인덱서(1)나 처리유니트(2)를 거치지 않고 노광유니트(4)에서 노광처리만을 행하는 경우이고, 다른 처리장치에서 노광처리의 직전까지의 처리가 행해진 기판(노광전 기판)(W)을 카세트(36a 또는 36b)에 수납하여 테이블대(37a 또는 37b)에 세트하며, IF 유니트(3)내의 제2의 기판이송 로봇(33)이 이 카세트(36a 또는 36b)에서 노광전 기판(W)을 노광유니트(4)에 순차로 이송하여 노광처리를 행하게 하며, 노광후 기판(W)을 다시 카세트(36a 또는 36b)에 수납하고 카세트(36a 또는 36b)을 IF 유니트(3)로부터 꺼내며, 다른 처리장치에서 노광공정의 후에 행한 처리를 이들 노광후 기판(W)에 행하도록 사용하는 경우를 말한다.
또한, 카세트 (36a 또는 36b)의 테이블대(37a 또는 37b)에 대한 세트나 취출은 IF 유니트(3)의 일측면에 설치된 문(38)(제2도 참조)를 열어 거기에서 작업자가 행한다.
노광유니트(4)는 노광을 행하기 위한 예컨대, 축소투영노광기(스텝퍼) 등의 노광기나 노광기에서의 노광패턴의 인화를 위한 위치 결정을 행하는 얼라인먼트기구, 노광유니트(4)내에서 기판(W)의 반송 등을 행하는 기판반송 로봇(어느 것이나 도시하지 않음) 등을 일체적으로 유니트화하여 구성하고 있다. 또, 이 노광유니트(4)내의 기판반송 로봇은 IF 유니트(3)내의 기판반입대(34)에 재치된 노광전 기판(W)을 노광유니트(4)내에 투입함과 동시에 노광유니트(4)에서의 노광처리가 종료한 노광후 기판(W)을 노광유니트(4)로부터 반출하여 IF 유니트(3)내의 기판반출대(35)에 배치하는 동작도 행한다. 이 노광유니트(4)내의 기판반송 로봇에 의한 기판반입대(34)로부터의 기판(W)의 취출이나 기판반출대(35)에의 기판(W)의 재치의 동작은 상기 제4도에서 설명한 처리유니트(2)내의 기판반송 로봇(23)에 의한 기판이송대(25)에 대한 기판(W)의 취출/재치와 같은 동작으로 행하여진다.
또, 기판반입대(34), 기판반출대(35)는 노광유니트(4)내에 설치되고 있더라도 좋다. 그 경우에는 제2의 기판이송 로봇(33)의 기판지지부(33g)를 노광유니트(4)내에 진입시켜 기판반입대(34), 기판반출대(35)에 대한 기판(W)의 재치/취출을 행한다.
다음에, 이 기판처리 장치의 제어계의 구성을 제7도를 참조하여 설명한다.
본 장치에는 인덱서제어부(6a), 처리유니트제어부(6b), IF 유니트제어부(6c), 노광유니트제어부(6d) 등을 구비하고 있다.
인덱서제어부(6a)는 인덱서(1)내의 기판 반입·반출 로봇(12) 등을 제어하여 캐리어(C)에서의 처리전 기판(본기판처리 장치에 의한 일련의 처리를 받기 전의 기판)(W)의 취출로부터 처리유니트(2)내의 기판반송 로봇(23)에의 처리전 기판(W)의 이송에 이르기까지의 인덱서(1)에서의 기판반입동작을 제어함과 동시에 처리유니트(2)내의 기판반송 로봇(23)으로부터의 처리후 기판(본기판처리 장치에 의한 일련의 처리가 종료한 기판)(W)의 수취로부터 캐리어(C)에의 수납에 이르기까지의 인덱서(1)에서의 기판반출 동작을 제어하고 있다. 또한 인덱서제어부(6a)는 제조라인관리 컴퓨터(6e)와 정보전송하고 있어 AGV5에 의한 캐리어(C)의 반입이나 취출의 타이밍에 관한 정보의 수수 등을 행하고 있으며, 게다가 수술하는 처리유니트 제어부(6b)와도 정보전송하고 있어 처리유니트(2)내의 기판반송 로봇(23)에 대한 기판(W)의 이송의 타이밍에 관한 정보의 수수 등도 행하고 있다.
처리유니트 제어부(6b)는 처리유니트(2)내의 각 기기(스핀 코터(SC)나 스핀디벨로퍼(SD), 베이크장치(BA)나 냉각장치(CA), 에지노광부(EEW), 기판반송 로봇(23), 처리액 공급부 등)을 제어하여 처리유니트(2)내의 일련의 처리를 조작부(6f)에서 설정된 시퀀스에 기초하여 행하여 함과 동시에 기판이송대(25)에 대한 기판(W)의 재취/취출 등도 행하게 한다. 또한, 처리유니트 제어부(6b)와 후술하는 IF 유니트 제어부(6c)와의 사이에서도 정보전송이 행하여지어 기판이송대(25)에 대한 기판(W)의 재치/취출의 타이밍에 관한 정보의 수수 등을 행하고 있다.
IF 유니트 제어부(6c)는 IF 유니트(3)내의 제1, 제2의 기판이송 로봇(31,33) 또한 자세하게는, 제1의 기판이송 로봇(31)의 Z방향 구동부(31a)의 모터(31ab), 회전구동부(31c)의 모터(31cb), 신축구동부(31d)의 모터(31da) 및 제2의 기판이송 로봇(33)의 Y방향구동부(33a)의 모터(33ac), Z방향구동부(33c)의 모터, 회전구동부(33e)의 모터, 신축구동부(31f)의 모터를 제어하여 처리유니트(2)(기판이송대(25))로부터 노광유니트(4)(기판반입대(34))로의 노광전 기판(W)의 이송 및 노광유니트(4)(기판반출대(35))로부터 처리유니트(2)(기판이송대(25))에의 노광후 기판(W)의 이송(통상처리)과 카세트(36a,36b)로부터 노광유니트(4)(기판반입대(34))로의 노광전 기판(W)의 이송 및 노광유니트(4)(기판반출대(35))로부터 카세트(36a,36b)로의 노광후 기판(W)의 이송(특수처리)을 행하여 한다.
이 IF 유니트 제어부(6c)와 후술하는 노광유니트 제어부(6d)와의 사이에서도 정보전송이 행하여지어 기판반입대(34)나 기판반출대(35)에 대한 기판(W)의 재치/취출의 타이밍에 관하는 정보의 수수 등을 행하고 있다. 또한, 통상처리와 특수처리의 시행여부는 조작부(6f)에서 설정한다. 또한, IF 유니트 제어부(6c)에는 버퍼부 관리테이블(CT)이 기억되어 있는 메모리(6g)가 접속되어 있고, 버퍼부(32)의 수납선반(32a)의 사용관리는 후술하는 바와 같이 이 버퍼부 관리테이블(CT)을 사용하여 행하고 있다.
노광유니트 제어부(6d)는 노광유니트(4)내의 각 기기(노광기나 얼라인먼트기구, 기판반송 로봇 등)를 제어하여 IF 유니트(3)내의 기판반입대(34)로부터 노광전 기판(W)을 투입하고, 얼라인먼트기구로 위치결정한 후 노광기에서 노광패턴을 인화하며, 노광후의 기판(W)을 IF 유니트(3)내의 기판반출대(35)에 재치하는 일련의 노광처리를 행하게 한다.
상기 인덱서 제어부(6a), 처리유니트 제어부(6b), IF 유니트 제어부(6c), 노광유니트 제어부(6d)는 각각 소위 마이크로 컴퓨터로 구성되어 미리 작성되어 기억되어 있는 포토리소그래피에 따라 각 제어부(6a,6b,6c,6d)에서 행하는 제어가 실행된다.
다음에, 상기 구성을 갖는 기판처리장치의 동작을 설명한다. 또, 이하에서는 IF 유니트(3)로 통상처리가 되는 경우의 동작을 설명한다.
이 경우의 처리의 일례를 이하에 나타낸다.
[01] 반입·반출 테이블(11)에의 캐리어(C)의 세트
[02] 캐리어(C)에서 처리유니트(2)내의 기판반송 로봇(23)에의 처리전 기판(W)의 이송
[03] 베이크장치(BA)에 의한 베이크
[04] 냉각장치(CA)에 의한 냉각
[05] 스핀코터(SC)에 의한 레지스트도포
[06] 베이크장치(BA)에 의한 베이크
[07] 냉각장치(CA)에 의한 냉각
[08] 에지노광부(EEW)에 의한 에지노광
[09] 베이크장치(BA)에 의한 베이크
[10] 냉각장치(CA)에 의한 냉각
[11] 처리유니트(2)로부터 노광유니트(4)에의 노광전 기판(W)이 이송
[12] 노광유니트(4)에 의한 노광처리
[13] 노광유니트(4)로부터 처리유니트(2)에의 노광후 기판(W)의 이송
[14] 스핀 디벨로퍼(SD)에 의한 현상
[15] 베이크 장치(BA)에 의한 베이크
[16] 냉각장치(CA)에 의한 냉각
[17] 캐리어(C)에의 처리후 기판(W)의 수납
[18] 반입·반출 테이블(11)로부터의 캐리어(C)의 취출.
상기 [01], [18]은 AGV5에 의해, [02], [17]은 인덱서(1)에 의해, [03]~[10] 및 [14]~[16]은 처리유니트(2)에 의해, [11], [13]는 IF 유니트(3)에 의해, [12]는 노광유니트(4)에 의해 각각 실행된다.
우선, AGV5은 이 기판처리장치에서 행하여지는 일련의 처리를 받기 전의 처리전 기판(W)이 복수매 수납된 캐리어(C)를 전공정으로부터 반송하고, 인덱서 1의 반입·반출 테이블(11)의 소정위치에 재치한다.([01])
다음에, 인덱서(1)의 기판반입·반출 로봇(12)은 반입·반출 테이블(11)에 재치된 캐리어(C)에서 처리전 기판(W)을 1장씩 꺼내어 처리유니트(2)내의 기판반송로봇(23)에 순차 인도한다.([02])
그리고, 노광처리가 행하여지기까지의 각 기판처리가 처리유니트(2)내에서 행하여진다. ([03]~[10]). 구체적으로는, 처리유니트(2)내의 기판반송 로봇(23)은 인덱서(1)로부터 수취한 처리전 기판(W)을 우선, 베이크장치(BA)에 반입하여 거기서 그 기판(W)을 소정 온도로 가열(베이크)하며, 베이크가 종료하면 기판반송 로봇(23)은 그 기판(W)을 베이크장치(BA)에서 반출한다.([03])
처리유니트(2)에는 처리전 기판(W)이 순차 반입됨과 동시에 후술하는 바와 같이 노광후 기판(W)도 순차 반입된다. 따라서, 각 단계([03],[06],[09,[15])에 있어서의 베이크처리가 경합하는 것도 있지만, 본 실시예의 처리유니트(2)에서는 베이크장치(BA)를 복수대 구비하고 있어 이들 복수매의 기판(W)에 대한 각 단계의 베이크처리를 병행하여 행할 수 있도록 하여 이 처리유니트(2)내의 처리의 스루프트를 향상시키며, 노광유니트(4)에서의 처리시간(평균 노광처리시간)이 고속화되더라도 그것에 추종시키도록 연구하고 있다. 또, 베이크장치(BA)의 사용은 스루프트가 최대가 되는 사용방법을 미리 실험적으로 또는 이론적으로 구하고, 처리유니트 제어부(6b)는 이 순서로 베이크장치(BA)를 사용한다.
또한, 본 실시예의 처리유니트(2)에서는 후술하는 냉각장치(CA)나 스핀 코터(SC), 에지노광부(EEW), 스핀 디벨로퍼(SD)도 각각 복수대 구비하고 있어(제2도 등 참조) 이 처리유니트(2)내의 처리의 스루프트의 향상에 기여시키고 있다. 이들 각 장치(CA, SC, EEW, SD)의 사용방법도 전술한 베이크장치(BA)의 사용방법과 같이 스루프트가 최대로 되도록 제어된다. 게다가, 처리유니트(2)내의 각 장치(BA, CA, SC, EEW, SD) 사이의 기판반송 로봇(23)에 의한 기판(W)의 반송도 스루프트가 최적으로 되도록 제어되어 처리유니트(2)내의 스루프트의 향상이 도모되고 있다.
기판반송 로봇(23)은 베이크처리후의 기판(W)을 냉각장치(CA)에 반입하여 거기서 가열된 기판(W)을 상온근처까지 냉각하며([04]), 냉각장치(CA)에서 반출한 냉각후의 기판(W)을 스핀 코터(SC)에 반입하여 거기서 레지스트 도포시킨다.[(05]) 그리고, 기판반송 로봇(23)은 레지스트 도포후의 기판(W)을 다시 베이크장치(BA), 냉각장치(CA)의 순서로 반입하여 베이크처리, 냉각처리를 행하여 하며 ([06], [07]), 다음에, 에지노광부(EEW)에 반입하여 거기서 에지노광을 행하게 하며([08]), 에지노광후의 기판(W)을 다시 베이크장치(BA), 냉각장치(CA)의 순서로 반입하여 베이크처리, 냉각처리를 행하게 한다.([09], [10]) [10]의 냉각이 종료한 기판(W)(이 시퀀스의 경우, 노광전 기판(W)이 됨)은 기판반송 로봇(23)에 의해 기판이송대(25)에 재치된다. 또, 기판반송 로봇(23)에 의한 노광전 기판(W)의 기판이송대(25)로의 재치의 타이밍은 후술하는 노광유니트(4)에 의한 평균 노광처리시간에 근거하여 결정되고, 소정시간(예컨대, 40초~30초)마다 노광전 기판(W)이 기판이송대(25)에 재치된다.
기판이송대(25)에 재치된 노광전 기판(W)은 IF 유니트(3)내의 제1의 기판이송로봇(31)이 꺼내어 버퍼부(32)의 임의의 수납선반(32a)에 수납하며, 이 수납선반(32a)에 수납된 노광전 기판(W)은 제2의 기판이송 로봇(33)에 의해 꺼내어지어 기판반입대(34)에 재치된다.([11]) 또, 예컨대 노광유니트(4)에서의 노광처리에 지연이 생기어 기판반입대(34)에 전에 재치한 노광전 기판(W)이 노광유니트(4)에 투입되지 않고 여전히 기판반입대(34)에 재치된 상태인 경우 기판이소대(25)에 새롭게 재치된 노광전 기판(W)을 기판반입대(34)에 재치할 수 없지만, 본 실시예에서는 기판이송대(25)에 새롭게 노광전 기판(W)이 재치되면, 기판반입대(34)의 재치상황에 관계없이 제1의 기판이송 로봇(31)은 그 새로운 노광전 기판(W)을 버퍼부(32)의 임의의 수납선반(32a)에 순차 수납하고, 제2의 기판이송 로봇(33)은 기판반입대(34)의 빈 상태에 대응해서 버퍼부(32)의 수납선반(32a)에서 노광전 기판(W)을 순차 꺼내어 기판반입대(34)에 재치한다. 따라서, 노광유니트(4)에서의 노광처리의 지연 등에 무관하게 기판이송대(25)로부터의 노광전 기판(W)의 취출은 항상 소정타이밍(처리유니트(2)내의 기판반송 로봇(23)에 의한 기판이송대(25)에의 노광전 기판의 재치 타이밍에 대응한 타이밍)마다 행할 수 있어 처리유니트(2)로부터 IF 유니트(3)에의 노광전 기판(W)의 이송에 지연이 생기지 않고, 처리유니트(2)에서의 처리의 지연을 야기하는 등의 문제점이 없다. 또, 이 경우의 버퍼부(32)의 사용관리의 상세한 설명은 후술한다.
기판반입대(34)에 재치된 노광전 기판(W)은 노광유니트(4)내의 기판반송 로봇에 의해 노광유니트(4)내에 투입되며, 얼라인먼트기구에 인도외어 거기서 위치결정처리가 행하여지며, 위치결정된 상태로 노광기에 건네 주어 소정의 노광패턴이 인화된다. 그리고, 노광처리가 종료한 노광후 기판(W)은 노광유니트(4)내의 기판 반송 로봇에 의해 노광유니트(4)내에서 반출되어 IF 유니트(3)내의 기판반출대(35)에 재치된다.([12])
기판반출대(35)에 재치된 노광후 기판(W)은 IF 유니트(3)내의 제2의 기판이송로봇(33)이 꺼내어 버퍼부(32)의 임의의 수납선반(32a)에 수납하며, 이 수납선반(32a)에 수납된 노광후 기판(W)은 제1의 기판이송 로봇(31)에 의해 꺼내져서 기판이송대(25)에 재치된다.([13]). 또, 예컨대 노광유니트(4)에 의한 노광처리시간에 장단이 생기어 노광유니트(4)로부터의 노광후 기판(W)의 반출의 타이밍과 처리유니트(2)에의 노광후 기판(W)의 투입의 타이밍에 어긋남이 생기는 등의 이유로, 종래장치에서는 기판반출대(35)에 노광후 기판(W)이 재치되었을 때 기판이송대(25)에 전의 노광후 기판(W)이나 경우에 따라서는 노광전 기판(W)이 재치되어 있는 것도 있어 이러한 경우에는 노광후 기판(W)을 기판이송대(25)에 재치할 수가 없으나, 본 실시예에서는 기판이송대(25)의 재치상황에 관계없이 기판반출대(35)에 노광후 기판(W)이 재치되면, 제2의 기판이송 로봇(33)이 그 기판(W)을 버퍼부(32)의 임의의 수납선반(32a)에 순차 수납하며, 제1의 기판이송 로봇(31)은 처리유니트(2)내의 기판반송 로봇(23)에 의한 기판이송대(25)로부터의 노광후 기판(W)의 취출 타이밍에 대응해서 버퍼부(32)의 수납선반(32a)에서 노광후 기판(W)을 순차 꺼내어 기판이송대(25)에 재치한다. 따라서, 노광유니트(4)에 의한 노광처리시간이 장단 등에 관계없이 기판반출대(35)에 노광후 기판(W)이 재치되면 빠르게 그 기판(W)을 기판반출대(35)로부터 꺼낼 수 있어 기판반출대(35)에 노광후 기판(W)을 장시간 재치시켜 놓지 않고, 노광유니트(4)내의 기판반송 로봇은 노광후 기판(W)을 빠르게 기판반출대(35)에 재치할 수가 있어 노광유니트(4)로부터의 노광후 기판(W)의 반출을 기다리게 되어 다음 노광전 기판(W)의 노광유니트(4)에의 투입이 늦어지는 등의 문제점이 없다. 또, 이 경우의 버퍼부(32)의 사용관리의 상세한 설명도 후술한다.
기판이송대(25)에 재치된 기판(W)은 처리유니트(2)내의 기판반송 로봇(23)에 의해 취출되고, 스핀디벨로퍼(SD)에 반입되어 거기서 현상처리가 행해지며, 노광유니트(4)의 노광기로 인화된 노광패턴 및 에지노광부(EEW)에서 노광된 기판(W)의 에지부가 현상 제거된다([14]). 또, 기판반송 로봇(23)에 의한 노광후 기판(W)의 기판이송대(25)로부터의 취출의 타이밍도 후술하는 노광유니트(4)에 의한 평균 노광처리시간에 근거하여 결정되어 소정시간(예컨대, 40초~30초)마다 노광후 기판(W)이 기판이송대(25)로부터 꺼낸다.
현상후의 기판(W)은 기판반송 로봇(23)에 의하여 베이크장치(BA), 냉각장치(CA)의 순서로 반입되어 베이크처리, 냉각처리가 순차로 행해진다.([15),[16]) 냉각후의 기판(이 시퀀스의 경우의 처리후 기판) W은 기판반송 로봇(23)에 의해 인덱서(1)내의 기판 반입·반출 로봇(12)에 순차 인도되고 기판 반입·반출 로봇(12)은 수취한 처리후 기판(W)을 반입·반출 테이블(11)의 소정위치에 대기되어 있는 빈 캐리어(C)에 순차 수납한다.([17]). 그리고, 처리후 기판(W)이 소정매수 수납된 캐리어(C)는 AGV5에 의해 반입·반출 테이블(11)로부터 취출되어 후 공정으로 반송된다.([18])
다음에, IF 유니트(3)내의 버퍼부(32)의 사용관리의 일례를 제8도, 제9도, 제10a도~제10e도, 제11a도~제11j도를 참조하여 설명한다.
제8도에 도시한 바와 같이, 이 예에서는 버퍼부(32)의 각 수납선반(32a)에 하방으로부터 순차로 선반 No 1~n(n은 예컨대 50)이 부여되어 선반 No1~(n/2)(예컨대 1~25)의 수납선반(32a)(제1의 수납부군)을 노광전 기판(W)(기판이송대(25)로부터 기판반입대(34)에 이송되는 기판(W))의 수납에 사용하며, 선반 No((n/2)+1)~n(예컨대 26~50)의 수납선반(32a)(제2의 수납부군)을 노광후 기판(W)(기판반출대(35)로부터 기판이송대(25)에 이송되는 기판(W))의 수납에 사용하도록 하고 있다. 그리고, 각 기판(W)의 수납에 있어서는 하방으로 위치하는 수납선반(32a)으로부터 순차로(노광전 기관(W)은 선반 No1으로부터 순차로, 노광후 기판(W)은 선반 No 26으로부터 순차로) 사용하도록 하고 있다. 또, 선반 No 1~(n/2)의 수납선반(32a)을 제2의 수납부군으로서 노광후 기판(W)의 수납에 사용하며 선반 No((n/2)+1)~n의 수납선반(32a)을 제1의 수납부군으로부터 노광전 기판(W)의 수납에 사용해도 좋다.
또한, 버퍼부관리테이블(CT)은 제9a도에 도시한 바와 같이 선반 No 마다 수납선반(32a)의 수납상황을 기억하는 영역(MA1)이 설치되어 있다. 이 기판처리장치에 반입되어 일련의 처리가 행해진 기판(W)에는 시퀀스번호(기판번호)가 부여되어 관리된다. 어떤 수납선반(32a)에 기판(W)이 수납되면 버퍼부관리테이블(CT)에 수납된 선반 No에 대응하는 영역(MA1)에 그 기판(W)의 기판번호가 기억된다.
예컨대, 제10a도에 도시한 바와 같이 노광유니트(4)내에서 기판번호 99의 기판(W99)이 노광처리되고 기판반입대(34)에 기판번호(100)의 기판(W100)이 재치되어 버퍼부(32)에 기판(W)은 1장도 수납되어 있지 않은 경우를 상정한다. 이 경우, 버퍼부관리테이블 CT은 제9a도에 도시한 바와 같이 각 선반 No에 대응하는 영역(MA1)에는 아무것도 기억되어 있지 않다.
이 상태에 있어서 기판번호 99의 기판(W99)이 노광처리되어 있는 사이에 기판이송대(25)에 다음 노광전 기판(W101)(기판번호(101))이 재치되면 IF 유니트제어부(6c)는 노광전 기판(W)의 수납에 사용하는 선반 No(1~25)의 수납선반(32a)의 사용상황을 버퍼부관리테이블(CT)에서 조사하여 가장 하방으로 있는 빈 상태의 선반 No를 검색하여 기판이송대(25)에 재치되어 있는 노광전 기판(W101)을 버퍼부(32)의 그 선반 No(이 경우는 선반 No1)의 수납선반(32a)에 수납하도록 제1의 기판이송 로봇(31)에 지시한다. 이것에 의해 제10b도에 도시한 바와 같이 버퍼부(32)의 선반 No 1의 수납선반(32a)에 기판번호 (101)의 노광전 기판(W101)이 수납되며, 또한 제9b도에 도시한 바와 같이 버퍼부관리테이블 CT의 선반 No 1에 대응하는 영역(MA1)에 그 기판(W101)의 기판번호(101)가 기억된다.
노광유니트(4)에서의 노광처리가 부드럽게 진행되고 있으면 다음 노광전 기판(W102)(기판번호 102)가 기판이송대(25)에 재치되는 것보다 전에 기판번호 99의 기판(W99)의 노광처리가 종료하며 노광유니트(4)내의 기판반송로봇에 의해 그 노광후 기판(W99)이 기판반출대(35)에 배치되며 기판반입대(34)에 재치되어 있는 다음 기판번호(100)의 노광정 기판(W100)이 노광유니트(4)내에 투입되어 노광처리가 개시된다.
기판번호 99의 노광후 기판(W99)가 기판반출대(35)에 재치되면 IF 유니트제어부(6c)는 노공후 기판(W)의 수납에 사용하는 선반 No(26~50)의 수납선반(32a)의 사용상황을 버퍼부관리테이블(CT)에서 조사하여 가장 하방으로 있는 빈 선반 No를 검색하여 기판반출대(35)에 재치되어 있는 노광후 기판(W99)을 버퍼부(32)의 그 선반 No(이 경우는 선반 No 26)의 수납선반(32a)에 수납하도록 제2의 기판이송 로봇(31)에 지시한다. 이것에 의해, 제10c도에 도시한 바와 같이 버퍼부(32)의 선반 No.26의 수납선반(32a)에 기판번호 99의 노광후 기판(W99)가 수납되며, 또한 제9c도에 도시한 바와 같이 버퍼부관리테이블(CT)의 선반 No26에 대응하는 영역(MA1)에 그 기판(W99)의 기판번호 99가 기억된다.
또한, 노광유니트(4)내의 기판반송로봇에 의해 기판반입대(34)에 재치되어 있는 기판(W100)(기판번호 100)이 노광유니트(4)내에 투입되면 기판반입대(34)는 빈 상태로 되기 때문에 IF 유니트제어부(6c)는 노광전 기판(W)의 수납에 사용하는 선반 No 1~25의 수납선반(32a)의 사용상황을 버퍼부관리테이블(CT)에서 조사하여 기판번호가 가장 작은 노광전 기판(W)이 수납되어 있는 수납선반(32a)(이 경우는 선반 No1의 수납선반(32a))의 노광전 기판(W)(W101)을 기판반입대(34)에 이송하여 재치하도록 제2의 기판이송 로봇(33)에 지시한다. 이것에 의해, 제10d도에 도시한 바와 같이 버퍼부(32)의 선반 No 1의 수납선반(32a)은 빈 상태로 되어 기판반입대(34)에 기판번호(101)의 노광전 기판(W101)이 재치되며, 또한 제9d도에 도시한 바와 같이 버퍼부관리테이블(CT)의 선반 No 1에 대응하는 영역(MA1)에 기억되어 있던 기판번호(101)는 삭제된다.
또, 노광유니트(4)내의 기판반송로봇에 의한 기판번호 100의 노광전 기판(W100)의 노광유니트(4)내에의 투입동작과 제2의 기판이송 로봇(33)에 의한 기판번호 99의 노광후 기판(W99)의 기판반출대(35)로부터 버퍼부(32)의 선반 No26의 수납선반(32a)에의 이송·수납동작과는 병행하여 행하여지기 때문에 버퍼부(32)의 선반 No 26의 수납선반(32a)에 기판번호 99의 노광후 기판(W99)이 수납될 때에는 기판반입대(34)는 빈 상태로 되어 있다. 따라서, 제2의 기판이송 로봇(33)은 기판번호(101)의 노광전 기판(W101)의 기판반입대(34)에의 이송 동작으로 곧 옮길 수 있다. 또한, 이때 제2의 기판이송 로봇(33)은 버퍼부(32)의 근처에 위치하고 있기 때문에 기판번호 99의 노광후 기판(W99)을 선반 No 26의 수납선반(32a)에 수납하고나서 기판지지부(33g) 등을 Z축방향으로 하강시키면 기판번호(101)의 노광전 기판(W101)을 선반 N01의 수납선반(32a)으로부터 꺼내는 동작으로 옮길 수 있어 제2의 기판이송 로봇(33)은 쓸데 없는 동작을 하지 않으며 노광후 기판(W)의 소정의 수납선반(32a)에의 수납동작으로부터 노광전 기판(W)의 소정의 수납선반(32a)에서의 추출동작에의 일련의 동작을 빠르게 행할 수 있다.
처리유니트(2)내의 기판반송로봇(23)에 의한 노광후 기판(W)의 기판이송대(25)로부터의 취출(처리유니트(2)내에의 투입)의 타이밍에 대응하여 상기 투입이 행하여지기 전에 기판이송대(25)에 노광후 기판(W)을 재치하여 놓도록 IF 유니트 제어부(6c)는 제1의 기판이송 로봇(31)에 노광후 기판(W)을 버퍼부(32)로부터 기판이송대(25)로 이송시키는 지시를 한다. 이 경우에도 IF 유니트제어부(6c)는 노광후 기판(W)의 수납에 사용하는 선반 No 26~50의 수납선반(32a)의 사용상황을 버퍼부관리테이블(CT)에서 조사하여 기판번호가 가장 작은 노광후 기판(W)이 수납되어 있는 수납선반(32a)(이 경우는 선반 No 26의 수납선반(32a)의 노광후 기판(W)(W99)을 기판이송대(25)에 이송하여 재치 하도록 제1의 기핀아송 로봇(31)에 지시한다. 이것에 의해 제10e도에 도시한 바와 같이 버퍼부(32)의 선반 No 26의 수납선반(32a)은 빈 상태로 되어 기판이송대(25)에 기판번호 99의 노광후 기판(W99)가 재치되며, 또한 제9e도에 도시한 바와 같이 버퍼부관리테이블(CT)의 선반 No26에 대응하는 영역(MA1)에 기억되어 있던 기판번호(99)는 삭제된다.
또, 상기 선반 No 1의 수납선반(32a)으로부터 기판반입대(34)에의 노광전 기판(W101)의 이송 타이밍과 선반 No 26의 수납선반(32a)으로부터 기판이송대(25)에의 노광후 기판(W99)의 이송 타이밍이 시간적으로 겹친 경우더라도 본 실시예에 의하면 전자의 이송은 제2의 기판이송 로봇(33)에 의해, 후자의 이송은 제1의 기판이송 로봇(31)에 의해 각각 독립하여 행하여지기 때문에 이들 이송 동작은 병행하여 이루어지고, 개개의 이송 동작이 겹치더라도 기다리는 시간이 생기지 않아 이들 일련의 이송 동작을 부드럽게 행할 수 있다.
기판이송대(25)에 재치된 기판번호 99의 노광후 기판(W)이 처리유니트(2)내의 기판반송로봇(23)에 의해 꺼내지면 제9a도, 제10a도와 같은 상태(기판번호가 1씩 커진 상태)로 된다. 그리고, 기판번호 102가 새로운 노광전 기판(W102)이 기판이송대(25)에 재치 되면 전술(제9b도~제9e도, 제10b도~제10e도)한 것과 같은 동작이 반복되어 처리유니트(2)로부터 노광유니트(4)에의 노광전 기판(W)의 이송과 노광유니트(4)로부터 처리유니트(2)로의 노광후 기판(W)의 이송을 순차로 할 수 있다. 이와 같이 노광유니트(4)에서의 노광처리가 부드럽게 행하여지고 있는 경우에는 노광전 기판(W)은 선반 No 1의 수납선반(32a)만을 사용하고, 노광후기판(W)은 선반 No 26의 수납선반(32a)만을 사용하여 기판(W)의 이송을 한다.
요컨대, 이 경우에는 선반 No 1과 26의 수납선반(32a)은 기판(W)의 이송대로서 제1의 기판이송 로봇(31)과 제2의 기판이송 로봇(33)과의 사이의 기판(W)의 이송을 하는 것에 불과하다.
그렇지만, 노광유니트(4)에서의 노광처리시간에는 편차가 생기는 것이 간혹있어 노광유니트(4)에서의 평균노광처리시간에 대응시켜 내부처리시간이 설정되어 있는 처리유니트에서의 처리시간과 노광유니트(4)에서의 실제의 노광처리시간과의 시간차에 대응시켜 IF 유니트(3)내에서의 기판(W)의 이송을 하지 않으면 안된다. 버퍼부(32)는 이러한 경우를 위해 복수개의 수납선반(32a)을 설치하고 있다.
예컨대, 노광처리유니트 4에서의 노광처리에 지연이 생기어 제11a도, 제11b도에 도시한 바와 같이 선반 No 1에 기판번호 m의 노광전 기판(Wm)이 수납되어 있는 상태에서 기판번호(m+1)의 새로운 노광전 기판(Wm+1)이 기판이송대(25)에 재치 되면 IF 유니트제어부(6c)는 노광전 기판(W)의 수납에 사용하는 선반 No(1~25)의 수납선반(32a)의 사용상황을 버퍼부관리테이블(CT)에서 조사하여 가장 하방에 있는 빈 상태의 선반 No를 검색하여 기판이송대(25)에 재치되어 있는 노광전 기판(Wm+1)을 버퍼부(32)의 그 선반 No(이 경우에는 선반 No2)이 수납선반(32a)에 수납하도록 제1의 기판이송 로봇(31)에 지시를 하는 것이 딘다. 이것에 의해, 버퍼부(32)의 수납상태와 버퍼부관리테이블(CT)의 기억상태는 제11c도, 제11d도에 도시한 바와 같이 된다. 게다가, 노광처리유니트 4에서의 노광처리가 지연되어 제11c도, 제11d도에 도시한 상태에서 기판번호(m+2)인 새로운 노광전 기판(Wm+2)이 기판이송대(25)에 재치 되면 제11e도, 제11f도에 도시한 바와 같이 이 새로운 노광전 기판(Wm+2)은 선반 No 3의 수납선반(32a)에 수납되게 된다.
이와 같은 방법으로 새로운 노광전 기판(W)의 일시 수납이 행해지며 버퍼부(32)의 수납선반(32a)의 개수를 n(예컨대 50)으로 하면 노광전 기판(W)은 최대(n/2)(25)매까지 일시수납할 수가 있다.
또한, 예컨대, 제11e도, 제11f도의 상태에서 기판반입대(34)가 빈 상태로 되면 버퍼부(32)에 수납되어 있는 노광전 기판(W) 중 가장 작은 기판번호의 (가장 먼저 수납된) 노광전 기판(W)(이 경우 수납선반 No 1의 수납선반(32a)에 수납되어 있는 노광전 기판(Wm)이 제2의 기판이송 로봇(33)에 의해 기판반입대(34)에 이송되어 재치된다.(제11g도, 제11h도)
그리고, 제11g도, 제11h도의 상태에서 기판번호(m+3)인 새로운 노광전 기판(Wm+3)이 기판이송대(25)에 재치되면 제11ㄷi도, 제11j도에 도시한 바와 같이 이 새로운 노광전 기판(Wm+3)은 빈 상태의 수납선반(32a) 중 가장 하방에 있는 선반 No 1의 수납선반(32a)에 수납된다.
또한, 제11i도, 제11j도의 상태에서 기판반입대(34)가 빈 상태로 되면 버퍼부(32)에 수납되어 있는 노광전 기판(W) 중 가장 작은 기판번호의 (가장 먼저 수납된) 노광전 기판(W)(이 경우 수납선반 No 2의 수납선반(32a)에 수납되어 있는 노광전 기판(Wm+1))이 제2의 기판이송 로봇(33)에 의해 기판반입대(34)에 이송되어 재치된다. 게다가, 그 상태(선반 No 1,3의 수납선반(32a)에만 노광전 기판(Wm+3, Wm+2)이 수납되어 있는 상태)에서 기판반입대(34)가 빈 상태로 되면 수납선반 No 3의 수납선반(32a)에 수납되어 있는 노광전 기판(Wm+2)이 제2의 기판이송 로봇(33)에 의해 기판반입대(34)에 이송되어 재치된다.
또, 제11i도, 제11j도의 상태에서 기판번호(m+4)인 새로운 노광전 기판(Wm+1)이 기판이송대(25)에 재치되면 이 새로운 노광전 기판(Wm+4)은 빈 상태의 수납선반(32a) 중 가장 하방에 있는 선반 No4의 수납선반(32a)에 수납된다.
또한, 노광후 기판(W)의 선반 No((n/2)+1)~n(예컨대 26~50)의 사용관리도, 전술한 노광전 기판(W)의 선반 No1~(n/2)(예컨대 1~25)의 사용관리와 같은 순서로 행하여진다.
이와 같이, 본 실시예에 의하면 버퍼부(32)를 구비하고 있기 때문에 처리유니트(2)에서의 처리시간과 노광유니트(4)에서의 처리시간에 시간차가 생기더라도 그것에 유연하게 대응하여 기판이송대(25)나 기판반출대(35)에 기판(W)을 재치한채로 하지 않고 일련의 기판이송을 부드럽게 행할 수 있다.
또한 본 실시예에 의하면, 기판이송대(25)와 버퍼부(32)와의 사이의 기판(W)의 이송을 제1의 기판이송 로봇(31)이 행하며, 버퍼부(32)와 기판반입대(34) 및 기판반출대(35)와의 사이의 기판(W)의 이송을 제2의 기판이송 로봇(33)이 행하며, 이들 각 기판이송 로봇(31,33)이 협동하여 IF 유니트(3)내의 기판(W)의 이송을 행하도록 구성하고 있기 때문에 각 기판이송 로봇(31,33)의 각각의 기판(W)의 이송의 포지션수가 적어지며, 또한 각 이송 동작을 독립, 병행하게 행할 수 있어 IF유니트(3)내의 기판(W)의 이송 동작의 고속화를 도모할 수 있다. 게다가, 버퍼부(32)를 제1, 제2의 기판이송 로봇(31,33)의 사이에 배치하여 두고 각 기관이송 로봇(31,33)은 기판(W)의 이송시에 버퍼부(32)나 기판이송대(25), 기관반입대(34), 기관반출대(35) 등을 피하도록 이동할 필요가 없기 때문에 각 기판이송 로봇(31,33)의 동작이 부드럽게 이루어진다. 따라서, IF 유니트(3)내에서의 기판(W)의 이송을 고속화된 노광유니트(4)나 그것에 추종시킨 처리유니트(2)에 추종시켜 고속화할 수가 있다.
또, 제1의 기판이송 로봇(31), 버퍼부(32), 제2의 기판이송 로봇(33)을 그 순서로 Y축방향으로 평행하여 대략 일직선 모양으로 배치함과 동시에 Y축방향에 따라 기판반입대(34), 기판반출대(35)를 배치하였기 때문에 제2도의 도시한 바와 같이 이들을 유니트화한 IF 유니트(3)를 Y축방향으로 길게 할 수가 있다. 따라서, 예컨대, 제2도와 같이 처리유니트(2), IF 유니트(3), 노광유니트(4)를 X축방향으로 배치하는 경우 IF 유니트(3)의 긴방향으로 X축방향에 직교시켜 유니트(2,3,4)를 배치하는 것으로 처리유니트(2)와 노광유니트(4)와의 사이의 간격 B3(제2도 참조)을 작게 할 수 있고 처리유니트(2)로부터 노광유니트(4)까지의 폭 B가 작게 되어 이들 유니트(2~4)가 전유하는 플로어의 면적 이용 효율을 높일 수 있다. 또한, 버퍼부(32)의 수납선반(32a)을 Z축방향으로 다단계로 적층 형성하였기 때문에 버퍼부(32)를 배치하는데 필요한 플로어의 이용 면적을 작게 할 수 있고 그만큼 IF 유니트(3)를 수평방향으로 조밀하게 구성할 수 있어 IF 유니트(3)의 플로어의 전유 면적을 작게 할 수 있다. 이 종류의 기판처리장치는 운용코스크가 높은 청정실내에 설치되지만, 본 실시예에 의하면 청정실의 플로어면을 효율적으로 이용할 수가 있다.
또, 버퍼부(32)의 사용관리의 방법은, 상기에서 예시한 방법에 한하지 않고 예컨대 노광전 기판(W) 수납용의 수납선반(32a)과, 노광후 기판(W) 수납용의 수납선반(32a)을 구분하지 않고 이들을 혼재시켜 하방의 수납선반(32a)으로부터 순차 수납하도록 해도 좋다.
예컨대, 기판번호 m의 노광전 기판(Wm), 기판번호(m+1)의 노광전 기판(Wm+1), 기판번호(m-4)의 노고아후 기판(Wm-4), 기판번호(m+2)의 노광전 기판(Wm+2), 기판번호(m-3)의 노광후 기판(Wm-3)이 그 순서로 버퍼부(32)에 수납된 경우(이 경우, 기판번호(m-1)의 노광전 기판(Wm-1)은 기판반입대(34)에 재치되어 있고, 기판번호(m-2)의 기판(Wm-2)은 노광유니트(4)에서 노광처리를 받고 있음) 상기 변형예에 관한 방법에서는 각 기판(Wm-4, Wm-3, Wm~Wm+2)은 제12a도에 도시한 바와 같이 수납된다. 또, 버퍼부관리테이블(CT)에는 제12b도에 도시한 바와 같이 수납되어 있는 기판(W)이 노광전의 기판(W)를 「0」, 노광후 기판(W)를 「1」이라 하고 있음)를 기억하는 영역(MA2)를 설치하고 있다.
제12a도, 제12b도의 상태에서 예컨대 새로운 노광전 기판(Wm+3) 또는 노광후 기판(Wm-2)를 버퍼부(32)에 수납하는 경우에는 빈 상태의 수납선반(32a) 중 가장 하방에 있는 선반 No6의 수납선반(32a)에 그 기판(W)이 수납되는 것이 된다. 또한, 버퍼부관리테이블(CT)의 선반 No6에 대응하는 영역(MA1)에는 새롭게 수납된 기판(W)의 기판번호가 기억되며 영역(MA2)에는 수납된 기판(W)의 종별(노광전인지 노광후인지)에 대응하여 플래그(「0」이나 「1」)가 기억된다.
또한, 제12a도, 제12b도의 상태에서 예컨대 노광전 기판(W)을 기판반입대(34)에 이송할 때에는 버퍼부(32)에 수납되어 있는 노광전 기판(W) 중 기판번호가 가장 작은(가장 먼저 수납된) 노광전 기판(W)(이 경우 기판번호 m의 노광전 기판(Wm))을 버퍼부관리테이블(CT)에서 검색(플래그가 「0」인 수납기판(W)만을 검색)하고, 그 기판(W)m을 버퍼부(32)의 선반 No1의 수납선반(32a)으로부터 꺼내어 기판반입대(34)로 이송하며 버퍼부관리테이블(CT)의 선반 No1에 대응하는 영역(MA1, MA2)의 기억내용을 삭제한다. 또, 상기 노광전 기판(Wm)이 꺼내진 상태에서 노광전 기판(Wm+3) 또는 노광후 기판(Wm-2)을 새롭게 버퍼부(32)에 수납하는 경우에는 빈 상태의 수납선반(32a) 중 가장 하방에 있는 선반 No1의 수납선반(32a)에 그 기판(W)이 수납되어 버퍼부관리테이블(CT)의 해당 영역에 소정의 정보가 기억된다.
또한, 제12a도, 제12b도의 상태에서 예컨대 노광후 기판(W)을 기판이송대(25)에 이송할 때에는 버퍼부(32)에 수납되어 있는 노광후 기판(W) 중 기판번호가 가장 작은(가장 먼저 수납된) 노광후 기판(W)(이 경우, 기판번호(m-4)인 노광전 기판(Wm-4)을 버퍼부관리테이블(CT)로부터 검색(플래그 「1」인 수납기판(W)만을 검색)하여 그 기판(Wm-4)을 버퍼부(32)의 선반 No3의 수납선반(32a)으로부터 꺼내어 기판이송대(25)로 이송하며 버퍼부관리테이블(CT)의 선반 No3에 대응하는 영역(MA1, MA2)의 기억 내용을 삭제한다. 또한, 상기 노광후 기판(Wm+4)이 꺼내진 상태에서 노광전 기판(Wm+3) 또는 노광후 기판(Wm-2)을 새롭게 버퍼부(32)에 수납하는 경우에는 빈 상태의 수납선반(32a) 중 가장 하방에 있는 선반 No3의 수납선반(32a)에 그 기판(W)이 수납되어 버퍼부관리테이블(CT)의 해당영역에 소정의 정보가 기억된다.
이와 같이 버퍼부(32)를 사용 관리하는 것에 의해 노광전 기판(W)과 노광후 기판(W)을 합쳐 최대로 수납선반의 수만큼 일시수납하여 놓을 수 있어 노광전기판(W)의 일시수납매수와 노광후 기판(W)의 일시수납매수와의 차가 클 때 등에 한쪽 종류의 기판(W)의 일시수납이 행해지지 않는 등의 사태를 회피할 수 있다.
또한, 버퍼부(32)의 사용관리는 상기 2예이외의 방법으로도 행할 수 있지만 상기 2예와 같이 하방의 수납선반(32a)으로부터 순차로 사용하도록 관리하는 것이 바람직하다. 처리유니트(2)나 노광유니트(4)의 구성상 기판이송대(25)나 기판반입대(34), 기판반출대(35)는 버퍼부(32) 보다도 Z축방향으로 하방에 배치되기 때문에 버퍼부(32)의 상방의 수납선반(32a)에 대하여 기판(W)의 수납/취출을 행하면 그만큼 제1, 제2의 기판이송 로봇(31,33)의 기판지지부(31e,33g)의 Z축방향의 이동이 크게 되지 않을 수가 없다. 이에 비해 하방의 수납선반(32a)으로부터 순차로 사용하면 제1, 제2의 기판이송 로봇(31,33)의 기판지지부(31e,33g)의 Z축방향의 이동이 작게 되어 그만큼 제1, 제2의 기판이송 로봇(31,33)의 기판의 이송시의 동작에 낭비가 없어지기 때문에 IF 유니트(3)내에서의 기판(W)의 이송의 고속화에 공헌한다.
다음에, IF 유니트(3)로 특수처리를 행하는 경우의 동작을 간단하게 설명한다.
작업자는 예컨대 처리유니트(2) 이외의 다른 처리장치로 노광처리를 받기 직전까지의 처리가 행해진 노광전 기판(W)을 1매 또는 복수매, 카세트(36a 또는 36b)에 수납하여 IF 유니트(3)의 문(38)을 열어 그 카세트(36a 또는 36b)를 테이블대(37a 또는 37b)에 세트하여 문(38)을 닫는다. 그리고, 조작부(6f)에서 특수처리를 설정한다.
이것에 의해, IF 유니트(3)에서는 제2의 기판이송 로봇(33)이 카세트(36a,36b)로부터 노광전 기판(W)을 1매 꺼내어 기판반입대(34)에 이송하여 재치한다. 이 기판(W)은 노광유니트(4)내에 투입되어 노광처리가 행해진다. 기판반입대(34)가 빈 상태로 되면 제2의 기판반송 로봇(33)은 카세트(36a,36b)로부터 다음 노광전 기판(W)을 1매 꺼내어 기판반입대(34)에 이송하여 재치한다. 또한, 노광처리가 종료하여 기판반출대(35)에 노광후 기판(W)이 재치되면 제2의 기판이송 로봇(33)은 그 노광후 기판(W)을 기판반출대(35)로부터 꺼내어 카세트(36a,36b)의 소정의 수납장소(그 기판(W)이 최초에 수납되어 있던 수납장소)에 수납한다. 상기 동작을 반복하여 모든 기판(W)의 노광처리가 종료하여 카세트(36a,36b)에 수납되면 작업자는 문(38)을 열어 그 카세트(36a,36b)를 IF 유니트(3)로부터 꺼내고 문(38)을 닫는다. 그리고, 노광후 기판(W)이 수납된 그 카세트(36a,36b)를 다른 처리장치에 운반하여 거기서 노광처리후의 각종 기판처리(현상이나 포스트베이크 등)를 행할 수 있다. 또, 상기 동작에 있어서 노광유니트(4)에서의 노광처리시간에 장단이 생기더라도 제2의 기판이송 로봇(33)은 기본적으로 기판반입대(34)가 빈 상태로 되면 다음 노광전 기판(W)을 카세트(36a,36b)로부터 꺼내어 기판반입대(34)에 이송하여 재치하며 또한, 기판반출대(35)에 노광후 기판(W)이 재치되면 그 기판(W)을 꺼내어 카세트(36a,36b)에 수납하도록 동작하기때문에 특별한 문제는 없다.
또한, 파일롯(pilot)기판(W)을 1매 또는 복수매 카세트(36a 또는 36b)에 수납하여 노광유니트(4)에서 노광처리를 행하고 노광처리후의 기판(W)을 사용하여 노광상태를 시험(노광테스트)을 행하는 경두도 IF 유니트(3)내에서는 상기와 같이 동작한다.
이와 같이, 본 실시예에 의하면 IF 유니트(3)를 인덱서로서 사용하는 것이나 노광테스트를 하는 것 등에도 유연하게 대응할 수가 있다.
[제2실시예]
본 발명의 제2실시예 장치의 구성을 제13도, 제14도 등을 참조하여 설명한다.
이 제2실시예는 청구항 1, 3~8, 10~12에 대응하는 실시예이다.
이 제2실시예는 제1의 기판이송 로봇(31)으로부터 회전구동부(31c)를 생략하고 제1의 기판이송 로봇(31)의 기판지지부(31e)의 신축방향을 버퍼부(32)방향으로 고정하며 또한, Z축방향으로 진퇴가능한 복수개(도면에서는 3개)의 기판지지핀(31f)을 제1의 기판이송 로봇(31)의 신축구동부(31d) 윗면에 설치한 것을 특징으로 하고 있다. 기판지지핀(31f)의 진퇴동작은 제1의 기판이송 로봇(31)의 신추구동부(31d)내에 설치된 에어실린더(도시하지 않음) 등에 의해 행하여진다. 그 밖의 구성은 상기 제1실시예와 같고 제2도 등과 동일부호를 붙쳐 중복하는 설명은 생략한다.
이 제2실시예에 관한 IF 유니트(3)(인터페이스장치)는 제13도에 도시한 바와 같은 처리유니트(2) 즉, 처리유니트(2)의 제2의 장치배치부(22)를 끼워 기판반송로(제1의 기판반송로)(24)와 반대측에 제2의 기판반송로(41)를 설치하여 이 제2의 기판반송로(41)에 제2의 기판반송로봇(42)(처리유니트내 제2기판반송수단)을 구비한 처리유니트(2)에 적용하도록 구성한 것이다.
이러한 구성의 처리유니트(2)는 후술하는 목적을 위해 본원 출원인에 의해 개발된 것이다.
여기서, 상기 구성의 처리유니트(2)의 목적, 구성 등을 설명한다.
앞서 말한 바와 같이 처리유니트(2)에 있어서의 베이크처리는 기판(W)을 가열하는 소위 열처리이지만 한편, 레지스트도포나 현상 등의 처리는 일반적으로 상온(실온)에서 행하여지며 또한, 이들 비열처리에 있어서는 기판(W) 및 그것들을 처리하는 스핀 코터(SC)나 스핀 디벨로퍼(SD) 내에서의 온도를 상온부근의 소정온도로 엄밀히 관리하며 안정시켜 놓을 필요가 있다.
그런데, 종래 예나 상기 제1실시예가 적용되는 처리유니트(2)(이하, 종래 처리유니트라 함)는 1대의 기판반송로봇(23)이 열처리를 행하는 장치(이하, 열처리부라 함)과 비열처리를 하는 장치(이하, 비열처리부라 함)의 어떠한 곳에도 액세스하게 되어 있기 때문에 열처리부에서 따뜻해진 기판반송로봇(23)의 핸드(23b)가 비열처리부에 들어가게 될 뿐만 아니라, 상온상태를 유지해야되는 단계에 있는 기판(W)을 그 따뜻해진 핸드(23b)로 유지하거나, 따뜻하게 된 기판(W)으로부터 열복사 등에 의해 다른 기판(W)이나 비열처리부의 온도가 부분적으로 상승하며 그 결과로의 처리의 열적 안정성의 저해를 초래하고 있다.
또한, 종래 처리유니트(2)에서는 1대의 기판반송로봇(23)으로 각 장치(BA, CA, SC, SD, EEW) 등에 액세스하지 않으면 안되고 처리유니트(2) 전체의 스루프트의 향상에 한계가 있다.
게다가, 종래 처리유니트(2)는 제1의 장치배치부(21)와 제2의 장치배치부(22)의 사이에 기판반송로봇(23)의 기판반송로(24)가 설치되어 있기 때문에 열처리부의 반입·반출구(io)(제4도 참조)가 비열처리부측에 향하고 있고, 이 때문에 기판반송로봇(23)의 핸드(23b)가 열처리부에 액세스할 때마다 열처리부에서 열기나 분진(particle)이 주변에 흩뿌려지고 그것들이 비열처리부에 혼입하여 비열처리부의 열적안정성의 저해나 오염등의 악영향도 초래하고 있다.
그래서, 상기 문제점을 감안하여
① 열처리부로부터의 열의 영향을 비열처리부로 주지 않는 것,
② 처리유니트전체의 스루프트의 향상을 가능하게 하는 것,
③ 열처리부에서의 열기나 분진이 비열처리부에 혼입하는 것을 방지하는 것 등을 목적으로 본원 출원인은 처리유니트의 개량을 하였다.
이 개량된 처리유니트(2)의 구체적인 구성을 제13도, 제15도, 제16도 등을 참조하여 설명한다.
이 처리유니트(2)는 평면배열로 제1의 장치배치부(21), 제1의 기판반송로봇(23)(처리유니트내 제1기판반송수단)의 제1의 기판반송로(24), 제2의 장치배열부(22), 제2의 기판반송로봇(42)의 제2의 기판반송로(41)가 그 순서로 배치되어 있다.
제1의 장치배치부(21)에는 종래 처리유니트(2)와 같이 스핀 코터(SC)나 스핀 디벨로퍼(SD)가 각각 복수대(도면에서는 2대씩) 배치되어 있다.
제1의 기판반송로봇(23)은 종래 처리유니트(2)의 기판반송로봇(23)과 같이 구성되고, 핸드(23b)가 수평방향으로의 신축과, Z축주위로의 회전과, 또한, Z축(연직)방향 및 X축(제1의 기판반송로(24)의 긴 방향)으로의 이동이 자유롭게 구성되어 있다. 이 제1의 기판반송로봇(23)은 제1의 장치배치부(21)에 배치된 비열처리부를 구성하는 각 장치(SC, SD)에 대하여 액세스함과 동시에 후술하는 제2의 장치배치부(22)에 구비된 기판이송부(IF), 냉각장치(CA), 에지노광부(EEW)에 대하여 액세스한다.
제2의 장치배치부(22)에는 베이크유니트(BU)와 복수대의 에지노광부(EEW)가 배치되어 있다. 베이크유니트(BU)는 제15도에 도시한 바와 같이 베이크장치(BA)와 냉각장치(CA)와 기판이송부(IF)가 복수대씩, X축 및 Z축으로 2차원 적층배열되어 구성되어 있다. 또한, 제16도에 도시한 바와 같이 기판이송부(IF)는 제1의 기판반송로(24) 및 제2의 기판반송로(41)의 쌍방을 향하여 기판 반입·반출구(io)가 설치되어 제1, 제2의 기판반송로봇(23,42)의 쌍방이 액세스할 수 있도록 하고 내부에는 기판(W)을 지지하는 복수개의 기판지지핀(43)이 연직방향으로 고정입설되어 있다. 냉각장치(CA)는 종래의 것과 같은 구성을 갖지만 기판 반입·반출구(io)는 제1의 기판반송로(24) 및 제2의 기판반송로(41)의 쌍방을 향하여 설치되고, 제1, 제2의 기판반송로봇(23,42)의 쌍방이 액세스할 수 있도록 하고 있다. 상기 기판이송부 IF는 제1, 제2의 기판반송로봇(23,42)의 사이에서의 기판(W)의 이송을 위해 특별히 설치한 것이지만 냉각장치(CA)도 제1, 제2의 기판반송로봇(23,42)의 사이에서의 기판(W)의 이송에 사용하고 있다. 이것은 냉각장치(CA)에서는 가열된 기판(W)이 반출시에는 상온부근까지 냉각되어 있기 때문에 제1의 기판반송로봇(23)이 반출때의 기판(W)에 접촉하더라도 제1의 장치배치부(21)에 배치된 비열처리부에 열적 영향을 줄 염려가 없기 때문이다. 또한, 베이크장치(BA)의 기판 반입·반출구(io)는 제2의 기판반송로(41)에만 향하여 설치되어 있어 제2의 기판반송로봇(42)만이 액세스할 수 있도록 하고 있다. 이것에 의해 베이크장치(BA)(열처리부)의 기판 반입·반출구(io)에서의 열기나 분진 등이 제1의 장치배치부(21)의 비열처리부(스핀 코터(SC)나 스핀디벨로퍼(SD))에 혼입하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 도시하지는 않았으나 에지노광부(EEW)의 기판 반입·반출구는 제1의 기판반송로(24)에만 향하여 설치되고 있고, 제1의 기판반송로봇(23)만이 액세스할 수 있도록 하고 있고, 이것에 의해 베이크장치(BA)(열처리부)의 기판 반입·반출구(io)에서의 열기나 분진 등이 이 에지노광부(EEW)(비열처리부)에 혼입하는 것도 방지하고 있다. 또, 각 장치의 기판 반입·반출구(io)에는 개폐가 자유로운 문(도시하지 않음)이 설치되어 각 기판반송로봇(23),(42)이 액세스할 때만 자동개폐되도록 구성되어 있다.
제2의 기판반송로봇(42)도 종래 처리유니트(2)의 기판반송로봇(23)와 같이 구성되고, 핸드(23b)가 수평방향으로의 신축과 Z축주위로의 회전과 또한, Z축방향 및 X축방향으로의 이동이 자유롭게 구성되어 있다. 이 제2의 기판반송로봇(42)은 제2의 장치배치부(22)에 배치된 베이크장치(BA), 냉각장치(CA), 기판이송부(IF)에 대하여 액세스한다.
제1의 기판반송로봇(23)으로부터 제2의 기판반송로봇(42)으로의 기판(W)의 이송은 제1의 기판반송로봇(23)이 기판(W)을 기판이송부(IF)내의 기판지지핀(43)에 재치시켜 다음에 제2의 기판반송로봇(42)이 그 기판(W)을 기판이송부(IF로부터 꺼내어 행하여진다. 또한, 제2의 기판반송로봇(42)으로부터 제1의 기판반송로봇(23)으로의 기판(W)의 이송은 제2의 기판반송로봇(42)가 베이크장치(BA)에서 가열된 기판(W)을 냉각장치(CA)에 반입하여 그 기판(W)이 상온부근까지 냉각된 후 제1의 기판반송로봇(23)이 그 기판(W)을 냉각장치(CA)로부터 꺼내어 행하여 진다. 또, 처리유니트(2)에 있어서의 일련의 처리에서는 베이크장치(BA)에 의한 베이크처리 후에 냉각장치(CA)에 의한 냉각처리가 행해지기 때문에 상기한 바와 같이, 제2의 기판반송로봇(42)으로부터 제1의 기판반송로봇(23)으로의 기판(W)의 이송에 냉각장치(CA)를 사용하는 것에 의해 처리의 시퀀스에 따른 기판(W)의 이송이 가능해진다.
이와 같이, 열처리부에 대한 액세스는 제2의 기판반송로봇(42)만이 행하며 비열처리부에 대하여 액세스하는 제1의 기판반송로봇(23)은 일체 행하지 않고 또한, 기판(W)의 이송시에도 제1, 제2의 기판반송로봇(23,42)이 접촉하거나 접근하는 것도 없기 때문에 열처리부의 열에 의한 비열처리부의 열적안정성의 저해 등의 문제점이 해소된다. 또한, 이 처리유니트(2)에 의하면 제1, 제2의 기판반송로봇(23,42)이 협동하여 처리유니트(2)내의 기판반송 등을 행하기 때문에 처리효율이 향상하여 처리유니트(2)내의 스루프트를 한층 향상시킬 수 있다.
그런데, 상기 구성의 처리유니트(2)에 적용한 제2실시예에 관한 인터페이스장치에서는 제1의 기판이송 로봇(31)을 처리유니트(2)내의 제2의 기판반송로봇(42)측에 배치(제2의 기판반송로(41)의 단부에 인접하게 설치)하고 있다.
그리고, 처리유니트(2)와 IF 유니트(3)와의 사이의 기판(W)의 이송은 처리유니트(2)내의 제2의 기판반송로봇(42)과 IF 유니트(3)내의 제1의 기판이송 로봇(31)의 기판지지핀(31f)에 의해 행하여진다. 즉, 처리유니트(2)로부터 IF 유니트(3)로 노광전 기판(W)을 반입하는 경우에는 제17a도에 도시한 바와 같이 처리유니트(2)내의 제2의 기판반송로봇(42)의 핸드(23b)를 IF 유니트(3) 내의 제1의 기판이송로봇(31)방향으로 신장시켜 핸드(23b)에 지지되어 있는 노광전 기판(W)을 IF 유니트(3) 내의 제1의 기판이송 로봇(31)의 기판지지부(31e)의 약간 상방에 위치시킨다. 다음에 제17b도에 도시한 바와 같이 IF 유니트(3)내의 제1의 기판이송 로봇(31)은 기판지지핀(31f)을 상승시켜 그 기판(W)을 핸드(23b)에서 수취한다. 그리고, 핸드(23b)가 후퇴하여 기판지지핀(31f)이 하강되어 그 기판(W)이 IF 유니트(3)내의 제1의 기판이송 로봇(31)의 기판지지부(31e)에 재치하여 지지시킨다. 또한, IF 유니트(3)로부터 처리유니트(2)로 노광후 기판(W)을 반출하는 경우에는 상기와 반대의 동작으로 기판지지핀(31f)을 상승시켜 기판지지부(31e)에 재치하여 지지되어 있는 노광후 기판(W)을 들어 올리며, 그 하방으로 핸드(23b)를 삽입하며, 기판지지핀(31f)이 하강하여 그 기판(W)이 핸드(23b)에 이송된다.
상기 처리유니트(2)와 IF 유니트(3)와의 사이의 기판(W)의 이송 이외의 IF 유니트(3) 내의 동작은 상기 제1실시예와 같기 때문에 여기서의 상세한 설명은 생략한다. 이 제2실시예에 있어서는 IF 유니트(3)내의 제1의 기판이송 로봇(31)의 기판지지핀(31f))이 본 발명에 있어서의 제1의 기판 이송수단의 처리유니트간 기판 이송수단을 구성한다.
또, 제13도의 구성의 처리유니트(2)를 구비한 장치에 있어서, 상기 제1실시예에서 설명한 [01]~[18]의 순서로 일련의 처리를 행하는 경우, [10]의 「냉각장치(CA)에 의한 냉각」이 종료한 기판(노광전 기판)(W)은 IF 유니트(3)내의 제1의 기판 이송로봇(31)에 인도된다. 따라서, 이 [10]의 냉각이 종료한 기판(W)을 냉각장치(CA)로부터의 꺼내는 것은 처리유니트(2)내의 제2의 기판반송로봇(42)이 행한다. 또한, IF 유니트(3)내의 제1의 기판이송 로봇(31)으로부터 수취한 노광후 기판(W)은 「스핀 디벨로퍼(SD)에 의한 현상」([14])이 행하여지지만, IF 유니트(3)로부터의 노광후 기판(W)의 수취는 처리유니트(2)내의 제2의 기판반송로봇(42)이 행하며, 스핀 디벨로퍼(SD)에의 노광후 기판(W)의 반입은 처리유니트(2)내의 제1의 기판반송로봇(23)이 행하기 때문에, 그 사이에 상기 제2의 기판반송로봇(42)과 제1의 기판반송로봇(23)에서 기판(W)의 이송이 필요하게 된다. 이 경우의 기판(W)의 이송은 냉각장치(CA)에서가 아니라 기판이송부(IF)를 통해 행하여 진다.
[제3실시예]
제18도는 본 발명의 제3실시예에 관한 인터페이스장치를 구비한 기판처리장치전체의 구성을 도시한 평단면도이고, 제19도는 제3실시예 장치의 버퍼부근처의 개략구성을 도시한 사시도, 제20도는 제3실시예장치를 노광유니트측에서 본 정면도이다.
이 제3실시예는, 본 발명에 관한 기판이송방법(청구항 1~5) 및 본 발명의 제2의 인터페이스장치(청구항 13~16,18,19)에 대응하는 실시예이다.
이 제3실시예에서는 처리유니트(2)내의 기판반송로봇(23)이 버퍼부(32)의 임의의 수납선반(32a)에 대하여 기판(W)의 수납/취출을 행할 수 있도록 버퍼부(32)를 구성하고 있다. 그리고, 제1실시예의 제1의 기판이송 로봇(31)을 생략하고, 버퍼부(32)와 기판반입대(34) 및 기판반출대(35)와의 사이의 기판(W)의 이송을 행하는 기판이송 로봇(제1실시예의 제2의 기판이송 로봇(33)과 같은 구성이고, 제1실시예의 제2의 기판이송 로봇(33)과 같은 동작을 행하는 로봇)(33)을 설치하고 있다. 이 기판이송 로봇(33)은 청구항 13 등에 있어서의 기판 이송수단에 상당한다. 또, 제20도 중의 나사축(33aa), 가이드축(33ab), 모터(33ac)는, 기판이송 로봇(33)의 Y방향 구동기구(33a)의 구동기구를 도시하고, 나사축(33ca), 모터(33cb)는, Z방향 구동기구(33c)의 구동기구를 도시하고 있다. 또한, 회전축(33ea), 모터(33eb)는 회전구동부(33e)의 구동기구를, 모터(33fa), 타이밍벨트(33fb)는 신축구동부(33f)의 구동기구를 각각 도시하고 있다.
이 제3실시예의 버퍼부(32)는 처리유니트(2)내의 기판반송 로봇(23)과 IF 유니트(3)내의 기판이송 로봇(33)이 각각 임의의 수납선반(32a)에 기판(W)을 수납/꺼낼 수 있도록 아래와 같이 구성하고 있다.
즉, 처리유니트(2)내의 기판반송 로봇(23)의 X축방향의 이동경로의 연장선과 후술하는 IF 유니트(3)내의 기판이송 로봇(33)의 X축방향의 이동경로의 연장선과의 교차하는 위치에(기판반송로(24)의 단부에 인접하게 설치함)배치되어 있다. 또한, 이 버퍼부(32)에는 복수개의 수납선반(32a)이 Z축(연직)방향으로 다단계로 적층형성되어 있다. 그리고, 각 수납선반(32a)은 노광유니트(4)측의 측벽(32b)에 처리유니트(2)측으로 향하여 신장하여 설치된 한쌍의 지지암(32c)에 복수개의 기판지지핀(32d)이 연직방향으로 고정입설되어 구성되며, 기판지지핀(32d)에 기판(W)이 재치되어 그 기판(W)이 수납선반(32a)에 수납된다. 또한, 각 수납선반(32a)은 상기 유니트2내의 기판반송로봇(23) 및 IF 유니트(3)내의 기판이송 로봇(33)을 향하는 면이 개구되어 있다.
처리유니트(2)내의 기판반송로봇(23)은 제1실시예의 기판반송로봇(23)과 같은 구성이고, 핸드(23b)의 Z축주위의 회전이나, X, Z축방향의 이동, 신축 동작을 적당히 조합하여 스핀 코터(SC)나 스핀디벨로퍼(SD), 베이크장치(BA), 냉각장치(CA), 에지노광부(EEW) 등의 처리장치에 대한 액세스나, IF 유니트(3)내의 버퍼부(32)의 임의의 수납선반(32a)에 대한 기판(W)의 수납/취출, 처리유니트(2)내의 각 장치, 버퍼부(32) 등의 사이의 기판(W)의 반송등을 행한다. 또, 이 제3실시예의 처리유니트(2)에서는 기판이송대(25)를 생략하고 있다. 또한, 기판반송로봇(23)의 돌기부(23a), 핸드(23b)는 처리유니트내 기판반송수단의 기판지지부에 상당하며, 신축부(23c)는 처리유니트내 기판반송수단의 신축수단에 상당하며, Z방향이동부(23e)는 처리유니트내 기판반송수단의 연직방향 이동수단에 상당한다.
상기 처리유니트(2)내의 기판반송로봇(23)에 의한 버퍼부(32a)로의 기판(W)의 수납은 제21a도, 제21b도에 도시한 바와 같이 행하여진다. 우선, X방향이동부(23f)에 의해 핸드(23b)를 X축방향으로 IF 유니트(3)측의 단부로 이동시킴과 동시에 회전부(23d)에 의한 핸드(23b)의 Z축주위의 회전에 의해 핸드(23b)를 버퍼부(32)방향으로 신축할 수 있도록 한다. 그리고, 기판(W)을 수납하고자 하는 버퍼부(32)의 수납선반(32a)의 Z축(연직)방향의 높이에 맞추어 Z방향이동부(23e)에 의해 핸드(23b)의 높이가 조절된다. 또, 핸드(23b)의 X축방향의 이동, Z축주위의 회전, Z축방향의 이동은 어느것을 먼저 행하더라도 좋다. 다음에, 핸드(23b)를 신장시켜 지지하고 있는 기판(W)을 목적으로 하는 수납선반(32a)에 삽입하며, Z방향이동부(23e)에 의해 핸드(23b)를 Z축방향으로 미소량 하강시켜 기판(W)을 그 수납선반(32a)의 기판지지핀(32d)에 재치하여 수납하며, 수납한 기판(W)의 이면과 그 수납선반(32a)의 지지암(32c)의 상면과의 사이에서 수납한 기판(W)의 이면과 핸드(23b)와가 접촉하지 않은 위치까지 핸드(23b)를 하강시킨다. 그리고, 핸드(23d)를 수납선반(32a)에서 퇴출시켜 임의의 수납선반(32a)에의 기판(W)의 수납을 종료한다. 또한, 버퍼부(32)의 임의의 수납선반(32a)으로부터의 기판(W)의 취출은 상기 기판(W)의 수납과 반대의 동작으로, 핸드(23b)가 수납되어 있는 기판(W)의 하방으로부터 기판(W)을 들어 올리도록 하여 행하여진다.
버퍼부(32)의 임의의 수납선반(32a)에 대한 기판(W)의 수납/취출은 기판지지부(33g)의 신축방향을 버퍼부(32)방향으로 하며, 수납/취출대상의 수납선반(32a)의 높이에 맞추어 신축구동부(33f) 및 기판지지부(33g)의 Z축방향의 높이를 조절하여 행하여지지만, 이때의 기판(W)의 수납/취출도 전술한 처리유니트(2)내의 기판반송로봇(23)에 의한 버퍼부(32)의 임의의 수납선반(32a)에 대한 기판(W)의 수납/취출이나, 제1실시예의 (제1), 제2의 기판이송 로봇(31),(33)에 의한 버퍼부(32)의 임의의 수납선반(32a)에 대한 기판(W)의 수납/취출과 같은 동작으로 행하여진다.
이 제3실시예에서는, 처리유니트(2)내의 기판반송로봇(23)이 노광전 기판(W)을 IF 유니트(3)에 인도하는 타이밍이 되면(예커대, 30~40초마다) 그 기판(W)을 버퍼부(32)의 임의의 수납선반(32a)에 직접 수납하며, 노광후 기판(W)을 처리유니트(2)내에 투입하는 타이밍이 되면(예컨대, 30~40초마다) 버퍼부(32)로부터 노광후 기판(W)을 직접 꺼낸다. 한편, IF 유니트(3)내의 기판이송 로봇(33)은 노광유니트(4)내에서의 처리의 진행사황에 대응하여 기판반입대(34)가 빈 상태로 되면 노광전 기판(W)을 버퍼부(32)로부터 꺼내어 기판반입대(34)에 재치하며, 기판반출대(35)에 노광후 기판(W)이 재치되면 그 기판(W)을 기판반출대(35)로부터 꺼내어 버퍼부(32)의 임의의 수납선반(32a)에 수납한다.
또, 이 제3실시예에서는 제22도에 도시한 바와 같이 처리유니트 제어부(6b)에도 버퍼부관리테이블(CT)이 기억되어 있는 메모리(6g)가 접속되어 있어, 처리유니트제어부 6b와 IF 유니트제어부(6c)에 의해 제1실시예에서 설명한 버퍼부(32)의 사용관리를 실현하고 있다.
그 밖의 구성은 제1실시예와 같기 때문에, 공통하는 부분은 제2도~제12도와 동일부호를 붙여 상세한 설명을 생략한다.
이 제3실시예에 의하면, 제1실시예와 같이 처리유니트(2)에서의 처리시간과 노광유니트(4)에서의 처리시간과 시간차가 생기더라도 그것에 유연하게 대응하여 처리유니트(2)로부터 IF 유니트(3)에의 노광전 기판(W)의 송출이나 노광유니트(4)로부터 IF 유니트(3)에의 노광후 기판(W)의 송출 등을 빠르게 해아여 처리유니트(2)와 노광유니트(4)와의 사이의 기판(W)의 이송의 정체 등이 생기는 것을 방지할 수 있다.
또한, 이 제3실시예에서는 버퍼부(32)를 처리유니트내(2)의 기판반송로봇(23)과 IF 유니트(3)내의 기판이송 로봇(33)와의 이송 포지션으로서 겸용하고 있기 때문에 IF 유니트(3)내의 기판이송 로봇(33)의 기판(W)의 이송의 포지션수가 적어져 IF 유니트(3)내의 기판(W)의 이송 동작의 고속화를 도모할 수 있다. 게다가, IF 유니트(3)내의 기판이송 로봇(33)은 버퍼부(32)와 기판반입대(34) 및 기판반출대(35)와의 사이에서 기판(W)을 이송하면 좋고, IF 유니트(3)내의 기판이송 로봇(33)은 버퍼부(32)나 기판반입대(34), 기판반출대(35) 등을 피하도록 이동할 필요가 없어 IF 유니트(3)내의 기판이송 로봇(33)의 동작을 부드럽게 행할 수 있다.
또한, 이 제3실시예에서는 제1실시예에 있어서의 제1의 기판이송 로봇(31)에 의한 기판(W)의 이송이 없어지기 때문에 그만큼 기판(W)의 이송 동작을 간략화, 고속화할 수 있다. 따라서, IF 유니트(3)내에서의 기판의 이송을 고속화된 노광유니트(4)나 그것에 추종시킨 처리유니트(2)에 추종시켜 고속화할 수가 있다.
[제4실시예]
본 발명의 제4실시예 장치의 구성을 제23도를 참조하여 설명한다.
이 제4실시예장치는, 청구항 1~5, 13~15, 17~19에 대응하여 제2실시예에서 설명한 개량된 처리유니트(2)에 본 발명의 제2의 인터페이스장치를 적용한 실시예이다. 또, 이 제4실시예에서는 버퍼부(32)를 제2의 기판반송로(41)의 단부에 인접하게 설치하여 제2의 기판반송 로봇(42)이 버퍼부(32)의 임의의 수납선반(32a)에 대하여 기판(W)의 수납 취출을 하도록 구성하고 있다. 그 밖의 구성은 제2, 제3실시예와 같기 때문에 공통하는 부분은 제13도~제22도와 동일부호를 붙여 그 상세한 설명을 생략한다.
다음에, 상기 각 실시예의 변형예를 몇 개 소개한다.
상기 제1실시예에서는 제1의 기판이송 로봇(31)을 제2의 장치배치부(22)의 단부에 인접하게 설치하였지만, 제24a도에 도시한 바와 같이 제1의 장치배치부(21)의 단부에 인접하게 설치하더라도 좋다. 또한, 상기 제2실시예에서는 제1의 기판이송 로봇(31)을 제2의 기판반송로(41)의 단부에 인접하게 설치하였지만, 제24b도에 도시한 바와 같이 제1의 기판반송로(24)의 단부에 인접하게 설치하여 제1의 기판반송로봇(23)과 제1의 기판이송 로봇(31)과의 사이에서 기판(W)의 이송을 하도록 구성해도 좋다. 게다가, 상기 제4실시예에서는 버퍼부(32)를 제2의 기판반송로(41)의 단부에 인접하게 설치하였지만, 제1의 기판반송로(24)의 단부에 인접하게 설치하여 제1의 기판반송 로봇(23)이 버퍼부(32)에 대하여 기판(W)의 수납/취출을 하도록 구성해도 좋다.
상기 제2실시예에서 설명한 개량된 처리유니트(2)와, IF 유니트(3)와의 사이에서 기판(W)의 이송을 행하기 위해서는 IF 유니트(3)내의 제1의 기판이송 로봇(31)을 제2실시예와 같이 제1의 기판이송 로봇(31)의 기판지지부(31e)의 신축방향을 버퍼부(32)방향으로 고정하며, 신축구동부(31d)의 윗면으로부터 진퇴가능한 기관지지핀(31f)을 설치하는 구성이외에도, IF 유니트(3)내의 제1의 기판이송 로봇(31)을 상기 제1실시예와 같이 제1의 기판이송 로봇(31)의 신축구동부(31d) 및 기판지지부(31e)를 Z축주위로 회전이 자유롭게 구성하며, 또한 개량된 처리유니트(2)의 제2의 기판반송로(41) 또는 제1의 기판반송로(24)의 IF 유니트(3)측의 단부에 기판이송대(25)를 설치하는 것이라도 이들 유니트(2,3) 사이의 기판(W)의 이송을 행할 수 있다.
상기 제1, 제2실시예에서는 IF 유니트(3)내의 제1의 기판이송 로봇(31), 버퍼부(32), 제2의 기판이송 로봇(33)의 배열을 제2의 기판이송 로봇(33)의 1축방향 이동수단에 의한 이동방향(Y축방행)에 평행하게 일직선 모양으로 배치하였지만, 제(25a)도에 도시한 바와 같이 버퍼부(32), 제2의 기판이송 로봇(33)의 배열을 제2의 기판이송 로봇(33)의 1축방향 이동수단에 의한 이동방향(Y축방향)에 평행하게 일직선 모양으로 배치하며, 도한 제1의 기판이송로봇(31), 버퍼부(32)의 배열을 상기 버퍼부(32), 제2의 기판이송 로봇(33)의 배열방향(Y축방향)과 대략 직교(X축방향에 평행)시켜도 좋다. 이때, 버퍼부(32)는 예컨대 제25b도에 도시한 바와 같이 각 수납선반(32b)을 구성하여 서로 인접하는 측면(X축방향 및 Y축방향)으로부터 기판(W)의 수납/취출을 행할 수 있도록 한다.
상기 배열에 있어서도, 처리유니트(2)와 IF 유니트(3)와의 사이의 기판(W)의 이송을 전술한 제1, 제2실시예와 같은 구성에 의해 실현할 수가 있다. 예컨대, 제1실시예와 같이 제1의 기판이송 로봇(31)의 신축구동부(31d) 및 기판지지부(31e)를 Z축주위로 회전이 자유롭게 구성하는 경우는 제25a도의 점선에 도시한 위치에 기판이송대(25)를 설치하면 좋다.
또한, 제2실시예와 같이 제1의 기판이송 로봇(31)의 기판지지부(31e)의 신축방향을 버퍼부(32)방향으로 고정하여 신축구동부(31d)의 윗면으로부터 신축가능한 기판지지핀(31f)을 설치하는 경우에는 이 기판지지핀(31f)과 처리유니트(2)내의 기판반송 로봇 (23 또는 42)이 협동하여 처리유니트(2)와 IF 유니트(3)와의 사이의 기판(W)의 이송을 행할 수 있다. 또, 이 경우 제1의 기판이송 로봇(31)으로부터 제1의 카세트(36a)(의 테이블대(67a))까지의 Y축방향의 길이 L(제25a도 참조)가 상기 제1, 제2실시예에 비해 짧게 되는 결과 제1실시예에서 설명한 종래 처리유니트(2)의 기판반송로봇(23)과의 사이에서 기판(W)의 이송을 행할 수 있어 IF 유니트(3)내의 제1의 기판이송 로봇(31)을 제2실시예와 같이 구성하면서 종래 처리유니트(2)를 구비한 기판처리장치에 적용할 수가 있다. 또한, 제2실시예에서 설명한 개량된 처리유니트(2)와의 사이에서 기판(W)의 이송을 행할 때에는 처리유니트(2)내의 제1, 제2의 어느쪽의 기판반송 로봇(23,42)와의 사이에서 기판(W)의 이송을 행하는 것도 가능하다.
제3, 제4실시예에 있어서 IF 유니트(3)내의 버퍼부(32), 기판이송 로봇(33), 기판반입대(34), 기판반출대(35)의 배치는 상기 제3, 제4실시예의 것에 한정하지 않고, 제26a도~제26d도, 제27a도~제27c도의 각 도면과 같이 변형하는 것도 가능하다.
제26b도에서는 버퍼부(32)에 대한 기판이송 로봇(33), 기판반입대(34), 기판반출대(35)의 위치관계를 제3, 제4실시예와 같이 Y축방향에 반대로 한 것이다. 또, 비교를 위해, 제3, 제4실시예의 IF 유니트(3)내의 주요 요소의 배치를 제26a도에 도시한다. 도한, 앞서도 말한 바와 같이 제4실시예의 개량된 처리유니트(2)에 있어서는 버퍼부(32)에 대한 기판(W)의 수납/취출을 행하는 처리유니트(2)내의 기판반송로봇은 제1, 제2의 기판반송로봇(23,42)의 어느쪽의 기판반송 로봇이라도 좋다. 이에 관하여는 제26c도, 제26d도, 제27a도~제27c도에 있어서도 같고, 이들 각 도면의 처리유니트(2)내의 기판반송 로봇의 부호를 「23(42)」로 나타낸다.
제26c도, 제26d도에서는 IF 유니트(3)내의 기판이송 로봇(33)의 X-Y 평면내에서의 이동방향을 X축방향(제3, 제4실시예에서는 Y축방향)으로 한 것이다. 이 배치의 경우 기판반입대(34), 기판반출대(35)는 기판이송 로봇(33)의 X축방향의 이동경로에 따르고 있으면, 동도면의 위쪽(실선으로 도시함)이라고 좋고, 하방(점선으로 도시함)이라도 좋다. 또, 제26c도에 있어서 기판반입대(34), 기판반출대(35)를 실선으로 도시한 위치에 배치하였을 때 IF 유니트(3)내의 기판이송 로봇(33)은 기판지지부(33g) 등을 Z축주위로 회전하지 않고, 버퍼부(32)에 임의의 수납선반(32a)에 대하여 기판(W)의 수납/취출 및 기판반입대(34), 기판반출대(35)에 대한 기판(W)의 재치, 취출을 행할 수 있기 때문에 기판이송 로봇(33)의 회전구동부(33e)를 생략할 수가 있다. 이것에 관하여는 제26d도에 있어서 기판반입대(34), 기판반출대(35)를 점선으로 도시한 위치에 배치할 때도 같은 것이라고 말할 수가 있다. 또, 상기 제26c도, 제26d도에 관하여는 상기 제1, 제2실시예의 제2의 기판이송 로봇(33)에 있어서도 같은 것이라고 말할 수가 있다.
제27a도, 제27b도에서는 IF 유니트(3)내의 기판이송 로봇(33)에 의한 버퍼부(32)에 대한 기판(W)의 수납/취출 방향(제3, 제4실시예에서는 Y축방향)을 처리유니트(2)내의 기판반송로봇(23)(42)에 의한 버퍼부(32)에 대한 기판(W)의 수납/취출 방향과 같은 X축방향으로 한 것이다.
제27c도에서는 IF 유니트(3)내의 기판이송 로봇(33)에 의한 버퍼부(32)에 대한 기판(W)의 수납/취출 방향을 처리유니트(2)내의 기판반송 로봇(23)(42)에 의한 버퍼부(32)에 대한 기판(W)의 수납/취출 방향과 같은 X축방향으로 하며, 또한 IF 유니트(3)내의 기판이송 로봇(33)의 X-Y 평면내에서의 이동방향을 X축방향으로 한 것이다. 또, 이러한 배치의 경우도 상기 제26c도, 제16d도의 변형예와 같이 기판반입대(34), 기판반출대(35)는 기판이송 로봇(33)의 X축방향의 이동경로를 따르고 있으면 동도면의 상측(실선으로 도시함)에 있더라도 좋고, 하측(점선으로 도시함)에 있더라도 좋다.
또한, 상기 제26a도~제26d도, 제27a도~제27c도의 각 도면에 있어서 기판반입대(34)와 기판반출대(35)의 배치위치를 교환하는 것도 가능하다.
또, 제26a도~제26d도, 제27a도~제27c도에 관한 레이아웃트는 제1, 제2실시예에서도 적당하게 변형실시 가능하다.
처리유니트(2), IF 유니트(3), 노광유니트(4)의 레이아웃트는 상기 각 실시예와 같이 수평 1축방향으로 배치하는 경우에 한하지 않고, 예컨대 「U」글자형으로 배치하는 경우나, 「L」자형으로 배치하는 경우 등 여러가지의 레이아웃트가 채용되지만, 그와 같은 여러가지의 레이아웃트에 대하여도, 예컨대 제28a도~제28d도(제1, 제2실시예의 경우)나 제29a도~제29f도(제3, 제4실시예의 경우)에 도시한 바와 같이 본 발명은 같이 적용할 수가 있다.
제28a도, 제28b도의 레이아웃트에 있어서 IF 유니트(3)내의 제1의 기판이송로봇(31)을 제1실시예와 같이 구성하는 경우는 동 도면의 점선으로 도시한 위치에 기판이송대(25)를 설치하면 좋다. 또, 이 경우 처리유니트가 상기 제1실시예에서 설명한 종래 처리유니트(2)인 때는 기판이송대(25)는 종래 처리유니트(2)의 제2의 장치배치부(22)의 IF 유니트(3)측의 단부에 설치되며, 처리유니트(2)가 상기 제2실시예로 설명한 개량된 처리유니트(2)인 때는, 기판이송대(25)는 이 처리유니트(2)의 제2의 기판반송로(41)의 IF 유니트(3)측의 단부에 설치된다.
또한, 제28a도, 제28b도의 레이아웃트에 있어서 IF 유니트(3)내의 제1의 기판이송 로봇(31)을 제2실시예와 같이 구성한 경우에는 상기 제2실시예에서 설명한 개량된 처리유니트(2)내의 제2의 기판반송로봇(42)과 협동하여 이들 유니트(2,3) 사이의 기판(W)의 이송을 행할 수 있다.
또한, 제28c도, 제28d도에 도시한 바와 같이 IF 유니트(3)내의 제1의 기판이송 로봇(31)의 처리유니트(2)와의 연이어 접속된 위치를 제28a도, 제28b도의 레이아웃트보다도 처리유니트(2)의 단면의 중앙부방향으로 비켜 놓아 레이아웃트하면 IF 유니트(3)내의 제1의 기판이송 로봇(31)을 제2실시예와 같이 구성하여 처리유니트(2)를 종래 처리유니트(2)로 하더라도 IF 유니트(3)내의 제1의 기판이송 로봇(31)의 기판지지핀(31f)과 종래 처리유니트(2)의 기판반송로봇(23)이 협동하여 이들 유니트(2,3) 사이에서 기판(W)의 이송을 행할 수 있다. 게다가, 제28c도, 제28d도의 레이아웃트에 있어서, IF 유니트(3)내의 제1의 기판이송 로봇(31)을 제2실시예와 같이 구성하여 처리유니트(2)를 종래 처리유니트(2)로 한 경우에는 동도면의 점선으로 도시한 바와 같이 종래 처리유니트(2)의 기판반송로(24)의 IF 유니트(3)측의 단부에 기판이송대(25)를 설치하면, 이들 유니트(2,3) 사이에서 기판(W)의 이송을 행할 수 있다.
또한, 제28c도, 제28d도의 레이아웃트인 경우는 IF 유니트(3)내의 제1의 기판이송 로봇(31)을 제2실시예와 같이 구성하여 처리유니트(2)를 개량된 처리유니트(2)로 해도 IF 유니트(3)내의 제1의 기판이송 로봇(31)의 기판지지판(31f)과, 개량된 처리유니트(2)의 제1의 기판이송 로봇(23)이 협동하여 이들 유니트(2,3) 사이에서 기판(W)의 이송을 행할 수 있고, IF 유니트(3) 내의 제1의 기판이송 로봇(31)을 제1실시예와 같이 구성하는 경우에는 개량된 처리유니트(2)의 제2의 장치배치부(22)나 제1의 기판반송로(24)의 IF 유니트(3)측의 단부에 기판이송대(25)를 배치하는 것으로 이들 유니트(2,3) 사이에서 기판(W)의 이송을 행할 수 있다.
또한, IF 유니트(3)내의 제1의 기판이송 로봇(31)의 처리유니트(2)와의 연이어 접속한 위치를 또한 처리유니트(2)의 제1의 장치배치부(21) 근처까지 비키어 놓아 레이아웃트하는 경우에는 IF 유니트(3)내의 제1의 기판이송 로봇(31)을 제1실시예와 같이 구성하여 처리유니트(종래 처리유니트, 개량된 처리유니트의 어느 것이나 좋음)(2)의 제1의 장치배치부(21)의 IF 유니트(3)측의 단부에 기판이송대(25)를 설치하는 것으로 이들 유니트(2,3) 사이의 기판(W)의 이송을 행할 수 있다.
또, 제28a도~제28d도와 같은 레이아웃트에 있어서도 IF 유니트(3)내의 제1의 기판이송 로봇(31), 버퍼부(32), 제2의 기판이송 로봇(33)의 배열을 상기 제25a도, 제25b도, 제26a도~제26d도, 제27a도~제27c도에서 말한 변형예와 같이 구성한 IF 유니트(3)를 사용하는 것도 가능하다. 제29a도~제29f도의 레이아웃트에 있어서의 IF 유니트(3)내의 버퍼부(32), 기판이송 로봇(33), 기판반입대(34), 기판반출대(35)의 배치는 제26a도~제26d도, 제27a도~제27c도에서 말한 변형예와 같이 구성한 IF 유니트(3)를 사용하는 것도 가능하다.
또, 제29a도, 제29b도는 처리유니트(2)를 제3실시예에서 설명한 종래 처리유니트(2)로 한 경우의 구성을 도시하며, 제29c도~제29f도는 처리유니트(2)를 제4실시예의 개량된 처리유니트(2)로 한 경우의 구성을 도시하고 있다. 또한, 제29c도, 제29d도는 버퍼부(32)에 대한 기판(W)의 수납/취출을 행하는 처리유니트(2)내의 기판반송 로봇을 제2의 기판반송로봇(42)으로 한 경우의 구성을 도시하며, 제29e도, 제29f도는 제1의 기판반송로봇(23)이 버퍼부(32)에 대한 기판(W)의 수납/취출을 행하는 경우의 구성을 도시하고 있다.

Claims (19)

  1. 포토리소그래피 공정 중, 노광처리전후의 각종의 기판처리를 행하기 위한 처리유니트와 노광처리를 행하기 위한 노광유니트와의 사이에서 기판의 이송(受渡)을 행하기 위한 기판이송방법에 있어서,
    처리유니트로부터 노광유니트에 인도하는 기판을, 처리유니트로부터 복수매의 기판을 일시 수납하여 놓을 수 있는 복수의 수납선반을 구비한 버퍼부에 이송하여 상기 버퍼의 임의의 수납선반에 수납하는 제1의 이송공정과,
    상기 제1의 이송공정에서 상기 버퍼부에 수납된 기판을 상기 버퍼부로부터 꺼내어 그 기판을 상기 버퍼부로부터 노광유니트에 이송하는 제2의 이송공정과,
    노광유니트로부터 처리유니트에 인도하는 기판을 노광유니트로부터 상기 버퍼부에 이송하여 상기 버퍼부의 임의의 수납선반에 수납하는 제3의 이송공정과,
    상기 제3의 이송공정에서 상기 버퍼부에 수납된 기판을 상기 버퍼부로부터 꺼내어 그 기판을 상기 버퍼부로부터 처리유니트에 이송하는 제4의 이송 공정을 구비하며,
    상기 제1의 이송공정 및 상기 제4의 이송공정과, 상기 제2의 이송공정 및 상기 제3의 이송공정을 별개의 기판 이송로보트로 행하는 것을 특징으로 하는 기판 이송방법.
  2. 제1항에 있어서,
    노광처리전후의 각종의 기판처리를 행하는 처리유니트내의 복수개의 기판처리장치에 대하여 기판을 반입·반출함과 동시에, 상기 처리유니트내에서의 기판의 반송로 행하는 처리유니트내 기판반송로보트가 상기 제1의 이송공정 및 상기 제4의 이송공정을 행하는 것을 특징으로 하는 기판이송(受渡)방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1의 이송공정과 상기 제4의 이송공정은 처리유니트내의 동작정보에 기초하여 행하며, 상기 제2의 이송공정과 상기 제3의 이송공정은 노광유니트내의 동작정보에 기초하여 행하는 것을 특징으로 하는 기판이송(受渡)방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 버퍼부의 복소의 수납선반은 연직방향으로 다단계로 적층되어,
    상기 버퍼부의 복수의 수납선반을 상하로 2개의 수납선반군으로 나눠 사용관리하며,
    어느 한쪽의 수납선반군(제1의 수납선반군)은 상기 제1의 이송공정에서의 기판의 수납에 사용되며,
    다른쪽의 수납선반군(제2의 수납선반군)은 상기 제3의 이송공정에서의 기판의 수납에 사용되며,
    상기 제1의 이송공정에서는, 상기 제1의 수납선반군의 하방으로부터 빈 상태를 검색하여 가장 하방의 빈 수납선반에 기판을 수납하며,
    상기 제2의 이송공정에서는, 상기 제1의 이송 공정에서 수납된 기판 중 가장 먼저 수납된 기판을 상기 버퍼부에서 꺼내며,
    상기 제3의 이송공정에서는, 상기 제2의 수납선반군의 하방으로부터 빈 상태를 검색하여 가장 하방의 빈 수납선반에 기판을 수납하며,
    상기 제4의 이송공정에서는, 상기 제3의 이송 공정에서 수납된 기판 중 가장 먼저 수납된 기판을 상기 버퍼부로부터 꺼내는 것을 특징으로 하는 기판이송(受渡)방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 버퍼부의 복수의 수납선반은 연직방향으로 다단계로 적층되며,
    상기 제1의 이송공정에서는, 모든 수납선반의 하방으로부터 빈 상태를 검색하여 가장 하방의 빈 수납선반에 기판을 수납하며,
    상기 제2의 이송공정에서는, 상기 제1의 이송공정에서 수납된 기판 중 가장 먼저 수납된 기판을 상기 버퍼부로부터 꺼내며,
    상기 제3의 이송공정에서도, 모든 수납선반의 하방으로부터 빈상태를 검색하여 가장 하방의 빈 수납선반에 기판을 수납하며,
    상기 제4의 이송공정에서는, 상기 제3의 이송공정에서 수납된 기판 중 가장 먼저 수납된 기판을 상기 버퍼부로부터 꺼내는 것을 특징으로 하는 기판이송(受渡)방법.
  6. 포토리소그래피 공정 중, 노광처리전후의 각종의 기판처리를 행하기 위한 처리유니트와 노광처리를 행하기 위한 노광유니트와의 사이에서 기판의 이송을 행하기 위한 인터페이스장치로서,
    복수매의 기판을 일시 수납하여 놓을 수 있는 복수의 수납선반을 구비한 버퍼부와,
    처리유니트부터 수취한 기판을 상기 버퍼부의 임의의 수납선반에 수납하고, 상기 버퍼부의 임의의 수납선반으로부터 꺼낸 기판을 처리유니트에 인도하는 제1의 기판 이송(受渡)로보트와,
    상기 버퍼부의 임의의 수납선반으로부터 꺼낸 기판을 노광유니트에 인도하고, 노광유니트로부터 수취한 기판을 상기 버퍼부의 임의의 수납선반에 수납하는 제2의 기판 이송로보트를 포함하는 것을 특징으로 하는 인터페이스장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1의 기판 이송로보트는 처리유니트내의 동작정보에 기초하여 처리유니트로부터 수취한 기판을 상기 버퍼부의 임의의 수납선반에 수납하는 공정과, 상기 버퍼부의 임의의 수납선반으로부터 꺼낸 기판을 처리유니트에 인도하는 공정을 행하며,
    상기 제2의 기판 이송로보트는 노광유니트내의 동작정보에 기초하여 상기 버퍼부의 임의의 수납선반으로부터 꺼낸 기판을 노광유니트에 인도하는 공정과, 노광유니트로부터 수취한 기판을 상기 버퍼부의 임의의 수납선반에 수납하는 공정을 행하는 것을 특징으로 하는 인터페이스장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 버퍼부의 복수의 수납선반은 연직방향으로 다단계로 적층되며,
    상기 제1의 기판 이송로보트는,
    처리유니트와의 사이에서 기판의 이송(受渡)을 행하는 처리유니트간 기판 이송수단과,
    기판을 지지하고 수평방향으로 신축하여 상기 버퍼부의 임의의 수납선반에 대하여 기판의 수납/인출(取出)을 행하는 기판 수납/인출수단과,
    상기 기판 수납/인출수단을 연직방향으로 이동시키는 연직방향 이동수단을 구비하여 구성되며,
    상기 제2의 기판 이송로보트는,
    기판을 지지하고 수평방향으로 신축하여 상기 버퍼부의 임의의 수납선반에 대하여 기판의 수납/인출을 행함과 동시에, 노광유니트와의 사이에서 기판의 이송을 행하기 위한 기판 반입/반출대에 대하여 기판의 재치(載置)/인출(取出)을 행하는 기판 수납/인출수단과,
    상기 기판 수납/인출수단을 연직축 주위로 회전시키는 회전수단과,
    상기 기판 수납/인출수단을 연직방향으로 이동시키는 연직방향 이동수단과,
    상기 기판 수납/인출수단을 수평 1축방향으로 이동시키는 1축방향 이동수단을 구비하여 구성되며,
    상기 제1의 기판 이송로보트, 상기 버퍼부, 상기 제2의 기판 이송로보트를 그 순서로 상기 제2의 기판 이송수단의 상기 1축방향 이동수단의 이동방향에 평행하게 대략 일직선 모양으로 배치함과 동시에, 상기 1축방향 이동수단의 이동방향을 따라 상기 기판 반입/반출대를 배치하여 설치한 것을 특징으로 하는 인터페이스장치.
  9. 제8항에 있어서, 처리유니트는
    포토리소그래피 공정 중, 노광처리전후의 각종의 기판처리를 행하기 위한 복수개의 기판처리장치와, 복수개의 기판지지핀이 세워 설치된 기판이송(受渡)대와 상기 각 기판처리장치에 대한 기판의 반입·반출 및 처리유니트내의 기판의 반송, 상기 기판이송대에 대한 기판의 재치(載置)/인출(取出)을 행하는 처리유니트내 기판반송로보트를 구비하며,
    상기 복수개의 기판처리장치를 나눠 배치하기 위한 제1의 장치배치부 및 제2의 장치배치부가 설치되며,
    평면으로 볼때 상기 제1의 장치배치부, 상기 처리유니트내 기판반송로보트의 기판반송로, 상기 제2의 장치배치부가 그 순서로 배치되며,
    상기 제1의 장치배치부 또는 상기 제2의 장치배치부의 인터페이스장치측의 단부에 상기 기판이송대가 배치되어 구성되며,
    상기 제2의 기판 이송로보트의 상기 1축방향 이동수단의 이동방향이 처리유니트내의 상기 제1의 장치배치부, 상기 기판반송로, 상기 제2의 장치배치부의 배열방향에 평행하게 되도록 상기 제2의 기판 이송로보트의 상기 1축방향 이동수단을 배치하며,
    상기 제1의 기판 이송로보트를 처리유니트내의 상기 제1의 장치배치부 또는 상기 제2의 장치배치부의 상기 기판이송대측이 단부에 인접하게 설치하며,
    상기 제1의 기판 이송로보트는 상기 처리유니트내 기판반송로보트와의 사이에서 상기 기판이송대를 통해 기판을 이송하는 것으로 상기 처리유니트로부터의 기판의 인출 및 상기 처리유니트로의 기판의 인도를 행하는 것을 특징으로 하는 인터페이스장치.
  10. 제8항에 있어서, 처리유니트는
    포토리소그래피 공정 중, 노광처리전후의 각종의 기판처리를 행하기 위한 복수개의 기판처리장치와, 상기 각 기판처리장치에 대한 기판의 반입·반출 및 처리유니트내의 기판의 반송, 상기 제1의 기판 이송로보트와의 사이의 기판의 이송(受渡)을 분담하여 행하는 처리유니트내 제1기판 반송로보트 및 처리유니트내 제2기판 반송로보트를 구비하며,
    상기 복수개의 기판처리장치를 나눠 배치하기 위한 제1의 장치배치부 및 제2의 장치배치부가 설치되며,
    평면으로 볼 때 상기 제1의 장치배치부, 상기 처리유니트내 제1기판 반송로보트의 제1의 기판반송로, 상기 제2의 장치배치부, 상기 처리유니트내 제2기판 반송로보트의 제2의 기판반송로가 그 순서로 배치되어 구성되며,
    상기 제2의 기판 이송로보트의 상기 1축방향 이동수단의 이동방향이 처리유니트내의 상기 제1의 장치배치부, 상기 제1의 기판반송로, 상기 제2의 장치배치부, 상기 제2의 기판반송로의 배열방향에 평행하게 되도록 상기 제2의 기판 이송로보트의 상기 1축방향 이동수단을 배치하며,
    상기 제1의 기판 이송로보트를 처리유니트내의 상기 제1의 기판반송로 또는 상기 제2의 기판반송로의 단부에 인접하게 설치하며,
    상기 제1의 기판 이송로보트는 상기 처리유니트내 제1기판 반송로보트 또는 상기 처리유니트내 제2기판 반송로보트와의 사이에서 기판을 이송하는 것으로 상기 처리유니트로부터의 기판의 인출(取出) 및 상기 처리유니트로의 기판의 인도를 행하는 것을 특징으로 하는 인터페이스장치.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 버퍼부의 복수의 수납선반을 상하로 2개의 수납선반군으로부터 나눠 사용관리함과 동시에, 어느 한쪽의 수납선반군(제1의 수납선반군)은 상기 제1의 기판 이송(受渡)로보트가 처리유니트로부터 수취한 기판을 수납하는데 사용하며, 다른쪽의 수납선반군(제2의 수납선반군)은 상기 제2의 기판 이송로보트가 노광유니트로부터 수취한 기판을 수납하는데 사용하며, 상기 제1의 기판 이송로보트가 상기 제1의 수납선반군에 대하여 기판을 수납하는 때에는 상기 제1의 수납선반군의 하방으로부터 빈 상태를 검색하여 가장 하방의 빈 수납선반에 기판을 수납시키며, 상기 제2의 기판 이송로보트가 상기 제1의 수납선반군으로부터 기판을 꺼낼 때에는 상기 제1의 수납선반군에 가장 먼저 수납된 기판을 꺼내며, 상기 제2의 기판 이송로보트가 상기 제2의 수납선반군에 대하여 기판을 수납하는 때에는 상기 제2의 수납선반군의 하방으로부터 빈 상태를 검색하여 가장 하방의 빈 수납선반에 기판을 수납시키며, 상기 제1의 기판 이송로보트가 상기 제2의 수납선반군으로부터 기판을 꺼낼 때에는 상기 제2의 수납선반군에 가장 수납된 기판을 꺼내도록 제어하는 제어수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 인터페이스장치.
  12. 제8항에 있어서,
    상기 제1의 기판 이송(受渡)로보트가 상기 버퍼부에 대하여 기판을 수납하는 때에는 모든 수납선반의 하방으로부터 빈 상태를 검색하여 가장 하방의 빈 수납 선반에 기판을 수납시키며, 상기 제2의 기판 이송로보트가 상기 버퍼부에서 기판을 꺼내는 때에는 상기 제1의 기판 이송로보트에 의해 수납된 기판 중 가장 먼저 수납된 기판을 꺼내며, 상기 제2의 기판 이송로보트가 상기 버퍼부에 대하여 기판을 수납하는 때에도 모든 수납선반의 하방으로부터 빈 상태를 검색하여 가장 하방의 빈 수납선반에 기판을 수납시키며, 상기 제1의 기판 이송로보트가 상기 버퍼부에서 기판을 꺼낼 때에는 상기 제2의 기판 이송로보트에 의해 수납된 기판 중 가장 먼저 수납된 기판을 꺼내도록 제어하는 제어수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 인터페이스장치.
  13. 포토리소그래피 공정 중, 노광처리전후의 각종의 기판처리를 행하기 위한 처리유니트와 노광처리를 행하기 위한 노광유니트와의 사이에서 기판의 이송(受渡)을 행하기 위한 인터페이스장치로서,
    복수매의 기판을 일시 수납하여 놓을 수 있는 복수의 수납선반을 구비하여 노광처리전후의 각종의 기판처리를 행하는 처리유니트내의 복수개의 기판처리장치에 대하여 기판을 반입·반출함과 동시에, 상기 처리유니트내에서의 기판의 반송도 행하는 처리유니트내 기판반송로보트가 임의의 수납선반에 대하여 기판의 수납/인출(取出)을 행하는 버퍼부와,
    상기 버퍼부의 임의의 수납선반에서 꺼낸 기판을 노광유니트에 인도하고 노광유니트로부터 수취한 기판을 상기 버퍼부의 임의의 수납선반에 수납하는 기판 이송로보트를 포함하는 것을 특징으로 하는 인터페이스장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 기판 이송(受渡)로보트는 노광유니트내의 동작정보에 기초하여 상기 버퍼부의 임의의 수납선반에서 꺼낸 기판을 노광유니트에 인도하는 공정과, 노광유니트로부터 수취한 기판을 상기 버퍼부의 임의의 수납선반에 수납하는 공정을 행하는 것을 특징으로 하는 인터페이스장치.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 처리유니트내 기판반송로보트는 적어도
    기판을 지지하는 기판지지부와,
    상기 기판지지부를 수평방향으로 신축시키는 신축수단과,
    상기 기판지지부를 연직방향으로 이동시키는 연직방향 이동수단
    을 구비하고 있으며,
    상기 버퍼부의 복수의 수납선반은 연직방향으로 다단계로 적층되며,
    상기 기판 이송로보트는, 기판을 지지하고 수평방향으로 신축하여 상기 버퍼부의 임의의 수납선반에 대하여 기판의 수납/인출(取出)을 행함과 동시에, 노광유니트와의 사이에서 기판의 이송(受渡)을 행하기 위한 기판 반입/반출대에 대하여 기판의 재치(載置)/인출을 행하는 기판 수납/인출수단과,
    상기 기판 수납/인출수단을 연직축 주위로 회전시키는 회전수단과,
    상기 기판 수납/인출수단을 연직방향으로 이동시키는 연직방향 이동수단과,
    상기 기판 수납/인출수단을 수평 1축방향으로 이동시키는 1축방향 이동수단을 구비하여 구성되며,
    상기 버퍼부, 상기 기판 이송로보트를 그 순서로 상기 기판 이송로보트의 상기 1축방향 이동수단의 이동방향에 평행하게 대략 일직선 모양으로 배치함과 동시에, 상기 1축방향 이동수단의 이동방향을 따라 상기 기판 반입/반출대를 배열설치한 것을 특징으로 하는 인터페이스장치.
  16. 제15항에 있어서, 처리유니트는
    포토리소그래피 공정 중, 노광처리전후의 각종의 기판처리를 행하기 위한 복수개의 기판처리장치와, 상기 각 기판처리장치에 대한 기판의 반입·반출 및 처리유니트내의 기판이 반송, 상기 인터페이스장치내의 상기 버퍼부의 임의의 수납선반에 대한 기판의 수납/인출(取出)을 행하는 처리유니트내 기판반송로보트를 구비하며,
    상기 복수개의 기판처리장치를 나눠 배치하기 위한 제1의 장치배치부 및 제2의 장치배치부가 설치되며,
    평면으로 볼 때 상기 제1의 장치배치부, 상기 처리유니트내 기판반송로보트의 기판반송로, 상기 제2의 장치배치부가 그 순서로 배치되어 구성되며,
    상기 기판 이송(受渡)로보트의 상기 1축방향 이동수단의 이동방향이 처리유니트내의 상기 제1의 장치배치부, 상기 기판반송로, 상기 제2의 장치배치부의 배열방향에 평행하게 되도록 상기 기판 이송로보트의 상기 1축방향 이동수단을 배치하며,
    상기 버퍼부를 처리유니트내의 상기 기판반송로의 단부에 인접하게 설치한 것을 특징으로 하는 인터페이스장치.
  17. 제15항에 있어서, 처리유니트는
    포토리소그래피 공정 중, 노광처리전후의 각종의 기판처리를 행하기 위한 복수개의 기판처리장치와, 상기 각 기판처리장치에 대한 기판의 반입·반출 및 처리유니트내의 기판의 반송, 상기 인터페이스장치내의 상기 버퍼부의 임의의 수납선반에 대한 기판의 수납/인출(取出)을 분담하여 행하는 처리유니트내 제1기판 반송로보트 및 처리유니트내 제2기판반송로보트를 구비하며,
    상기 복수개의 기판처리장치를 나눠 배치하기 위한 제1의 장치배치부 및 제2의 장치배치부가 설치되며,
    평면으로 볼 때 상기 제1의 장치배치부, 상기 처리유니트내 제1기판반송로보트의 제1의 기판반송로, 상기 제2의 장치배치부, 상기 처리유니트내 제2기판반송로보트의 제2의 기판반송로가 그 순서로 배치되어 구성되며,
    상기 기판이송(受渡)로보트의 상기 1축방향 이동수단의 이동방향이 처리유니트내의 상기 제1의 장치배치부, 상기 제1의 기판반송로, 상기 제2의 장치배치부, 상기 제2의 기판반송로의 배열방향에 평행하게 되도록 상기 기판 이송로보트의 상기 1축방향 이동수단을 배치하며,
    상기 버퍼부를 처리유니트내의 상기 제1의 기판반송로 또는 상기 제2의 기판반송로의 단부에 인접하게 설치한 것을 특징으로 하는 인터페이스장치.
  18. 제15항에 있어서,
    상기 버퍼부의 복수의 수납선반을 상하로 2개의 수납선반군으로 나눠 사용관리함과 동시에, 어느 한쪽의 수납선반군(제1의 수납선반군)은 상기 처리유니트내 기판반송로보트가 기판을 수납하는데 사용되며, 다른쪽의 수납선반군(제2의 수납선반군)은 상기 기판이송(受渡)로보트가 노광유니트로부터 수취한 기판을 수납하는데 사용되며, 상기 처리유니트내 기판반송로보트가 상기 제1의 수납선반군에 대하여 기판을 수납하는 때에는 상기 제1의 수납선반군의 하방으로부터 빈 상태를 검색하여 가장 하방의 빈 수납선반에 기판을 수납시키며, 상기 기판 이송로보트가 상기 제1의 수납선반군으로부터 기판을 꺼낼 때에는 상기 제1의 수납선반군에 가장 먼저 수납된 기판을 꺼내며, 상기 기판 이송로보트가 상기 제2의 수납선반군에 대하여 기판을 수납하는 때에는 상기 제2의 수납선반군의 하방으로부터 빈 상태를 검색하여 가장 하방의 빈 수납선반에 기판을 수납시키며, 상기 처리유니트내 기판반송로보트가 상기 제2의 수납선반군으로부터 기판을 꺼낼 때에는 상기 제2의 수납선반군에 가장 먼저 수납된 기판을 꺼내도록 제어하는 제어수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 인터페이스장치.
  19. 제15항에 있어서,
    상기 처리유니트내 기판반송로보트가 상기 버퍼부에 대하여 기판을 수납하는 때에는 모든 수납선반이 하방으로부터 빈 상태를 검색하여 가장 하방의 빈 수납 선반에 기판을 수납시키며, 상기 기판 이송(受渡)로보트가 상기 버퍼부에서 기판을 꺼낼 때에는 상기 처리유니트내 기판반송로보트에 의해 수납된 기판 중 가장 먼저 수납된 기판을 꺼내며, 상기 기판 이송로보트가 상기 버퍼부에 대하여 기판을 수납하는 때에도 모든 수납선반의 하방으로부터 빈 상태를 검색하여 가장 하방의 빈 수납선반에 기판을 수납시키며, 상기 처리유니트내 기판반송로보트가 상기 버퍼부에서 기판을 꺼낼 때에는 상기 기판 이송로보트에 의해 수납된 기판 중 가장 먼저 수납된 기판을 꺼내도록 제어하는 제어수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 인터페이스장치.
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