KR100251431B1 - 웨이퍼링의 공급·반송장치 - Google Patents

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KR100251431B1
KR100251431B1 KR1019960034161A KR19960034161A KR100251431B1 KR 100251431 B1 KR100251431 B1 KR 100251431B1 KR 1019960034161 A KR1019960034161 A KR 1019960034161A KR 19960034161 A KR19960034161 A KR 19960034161A KR 100251431 B1 KR100251431 B1 KR 100251431B1
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시게루 이치카와
츠네하루 아라이
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후지야마 겐지
가부시키가이샤 신가와
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Abstract

[과제]
장치의 소형화를 꾀한다.
[해결수단]
웨이퍼링 반송수단(35)에 의해서 반송되는 웨이퍼링(1)의 양측단부를 안내하는 한쌍의 가이드 레일(69, 70)은, 웨이퍼링 카세트(10)측을 중심으로하여 상하방향에 회동이 자유롭게 설치되고, 웨이퍼링(1)의 반송때에 가이드 레일(69, 70)의 반송면(69a, 70a)이 수평이 되도록 회동시켜진다.

Description

웨이퍼링의 공급·반송장치
제1도는 본 발명의 웨이퍼링의 공급·반송장치의 하나의 실시예를 나타내는 일부 단면 정면도이다.
제2도는 제1도의 평면도이다.
제3도는 웨이퍼링을 클램프하는 상클릭 및 하클릭부분을 나타내며, 제3a도는 일부 단면 정면도, 제3b도는 저면도이다.
제4도는 가이드 레일이 수평상태에 있는 웨이퍼링 가이드수단을 나타내며, 제4a도는 평면도, 제4b도는 정면도, 제4c도는 우측단면도이다.
제5도는 가이드 레일이 수직상태에 있는 웨이퍼링 가이드수단을 나타내며, 제5a도는 평면도, 제5b도는 정면도, 제5c도는 우측면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 웨이퍼링 3 : 반도체 팰릿
10 : 웨이퍼링 카세트 12 : 수납부
13 : 엘리베이터장치 17 : 웨이퍼링 반송레벨
20 : 팰릿픽업장치 35 : 웨이퍼링 반송수단
39 : 슬라이더 44 : 에어실린더
45 : 상클릭 46 : 하클릭
47 : 화이버센서 57 : 반송벨트
65 : 웨이버링 가이드수단 66 : 틀체
67 : 회전축 69, 70 : 가이드 레일
73 : 에어실린더
[발명의 속하는 기술분야]
본 발명은 웨이퍼링의 공급·반송장치에 관한다.
[종래의 기술]
종래, 웨이퍼링의 공급·반송장치로서, 예컨대 특개소 62-106642호 공보에 기재된 것이 있다. 이 장치는, 웨이퍼링을 일정피치로 수납하는 웨이퍼링 카세트와, 이 웨이퍼링 카세트를 상하이동시키는 엘리베이터 장치와, 웨이퍼링 카세트에 수납된 웨이퍼링을 1개씩 반송하여 팰릿 픽업장치에 공급함과 함께, 반도체 팰릿이 픽업된 뒤의 사용종료 웨이퍼링을 상기 웨이퍼링 카세트의 비어 있는 수납부에 반송하는 웨이퍼링 반송수단과, 이 웨이퍼링 반송수단에 의해서 반송되는 웨이퍼링의 양측 단부를 안내하는 한쌍의 가이드 레일을 구비하고 있다. 또, 웨이퍼링에는, 웨이퍼시트의 외주부가 부착되고, 웨이퍼시트에는 반도체 팰릿이 XY방향으로 정렬하여 붙여지고 있다.
[발명의 해결하고자 하는 과제]
팰릿 픽업장치는, 웨이퍼링이 부착되는 웨이퍼링 지지링을 가지고, 이 웨이퍼링 지지랑은 반도체 팰릿을 픽업위치에 위치시키기 위해서 XY 테이블에 의해서 XY 방향에 이동시켜 진다. 그런데, 상기 종래 기술은, 웨이퍼링은 안내하기 위한 한쌍의 가이드 레일이 웨이퍼링 카세트와 팰릿 픽업장치 사이에 배열설치되어 있다. 이것 때문에, 팰릿 픽업장치는, 가이드 레일에 간섭하지 않도록 가이드 레일보다 떨어진 위치로 구동되지 않으면 안되어, 장치가 대형화한다. 본 발명의 과제는, 장치의 소형화를 꾀할 수 있는 웨이퍼링의 공급·반송장치를 제공하는 것에 있다.
[과제를 해결하기 위한 수단]
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 수단은, 팰릿이 첨부된 웨이퍼시트가 점착 고정된 웨이퍼링을 일정피치로 수납하는 웨이퍼링 카세트와, 이 웨이퍼링 카세트를 상하이동시키는 엘리베이터 장치와, 웨이퍼링 카세트에 수납된 웨이퍼링을 1개씩 반송하여 팰릿픽업장치에 공급함과 함께, 반도체 팰릿이 픽업된 뒤의 사용종료 웨이퍼링 상기 웨이퍼링 카세트의 비어 있는 수납부에 반송하는 웨이퍼링 반송수단과, 이 웨이퍼링 반송수단에 의해서 반송되는 웨이퍼링의 양측단부를 안내하는 한쌍의 가이드 레일을 구비한 웨이퍼링의 공급·반송장치에 있어서, 상기 가이드 레일은, 상기 웨이퍼링 카세트측의 회전축을 중심으로 하여 상하방향으로 회동이 자유롭게 부착되고, 웨이퍼링 반송때에 가이드 레일의 반송면이 수평이 되도록 회동시켜지는 것을 특징으로 한다.
[발명의 실시의 형태]
발명의 실시의 형태를 제1도 및 제2도에 의해 설명한다. 엘리베이터 장치(13 )에 의해서 상하이동시켜지는 웨이퍼링 카세트(10)와 팰릿 픽업장치(20)사이에는, 웨이퍼링(1)을 웨이퍼링 반송수단(35)의 상클릭(45)와 하클릭(46)으로 클램프하여 웨이퍼링 카세트(10)로부터 팰릿 픽업장치(20)에, 또한 펠릿 픽업장치(20)로부터 웨이퍼링 카세트(10)에 이송하는 때에 웨이퍼링(1)을 안내하는 가이드 레일(69,70)을 가지는 웨이퍼링 가이드수단(65)이 부착된다. 웨이퍼링 가이드수단(65)은, 웨이퍼링 카세트(10)측에 배치된 틀체(66)을 가지고, 틀체(66)의 상방부에는 회전축 (67)이 회전이 자유롭게지지되어 있다. 회전축(67)에는 가이드 레일(69,70)이나 고정되어 있고, 또한 회전축(67)은 에어실린더(73)에 의해서 회동시켜진다.
[실시예]
이하, 본 발명의 하나의 실시예를 제1도 내지 제5도에 의해 설명한다. 제1도 및 제2도에 도시한 것처럼, 웨이퍼링(1)에는, 웨이퍼시트(2)의 외주부가 부착되고, 웨이퍼시트(2)에는 반도체 팰릿(3)군이 XY 방향에 정렬하여 붙여지고 있다. 본 실시예는, 웨이퍼링(1)을 수납하는 웨이퍼링 카세트(10)와, 이 웨이퍼링 카세트(10)를 상하이동시키는 엘리베이터(13)와, 웨이퍼링 카세트(10)내의 웨이퍼링(1)을 밀어내는 푸셔수단(16)과, 웨이퍼링 카세트(10)의 수납구(11)측에 일정거리 떨어져 배열설치된 팰릿 픽업장치(20)와, 상기 웨이퍼링 카세트(10)내의 미사용의 웨이퍼링(1)을 1개씩 반송하여 팰릿 픽업장치(20)에 공급함과 함께, 반도체 팰릿(3)이 픽업된 뒤의 사용종료 웨이퍼링(1)을 웨이퍼링 카세트(10)의 비어 있는 수납부(12)에 반송하는 웨이퍼링 반송수단(35)과, 이 웨이퍼링 반송수단(35)에 의한 반송때에 웨이퍼링(1)을 안내하는 웨이퍼링 가이드수단(65)으로 되어 있다.
이하, 각 수단의 구조에 관해서 설명한다.
우선, 웨이퍼링 카세트(10), 엘리베이터 장치(13) 및 푸셔수단(16)의 구조에 관해서 설명한다. 이들 웨이퍼링 카세트(10), 엘리베이터 장치(13) 및 푸셔수단( 16)은, 종래 주지의 구조이기 때문에 간단히 설명한다. 웨이퍼링 카세트(10)는, 상하방향(Z방향)에 복수의 수납부(12)를 소정피치로 구비하고 있고, 각 수납내부(12)에는 웨이퍼링(1)이 수납되어 있다. 엘리베이터 장치(13)는, 웨이퍼링 카세트(10)를 위치 결정하여 재치하는 엘리베이터부(14)를 자기어, 엘리베이터부(14)는, 도시하지 않은 모터로 회전구동되는 나사축(15)에 나사맞춤하고 있다. 푸셔수단(16)은, 에어 실린더로 이루어지어, 웨이퍼링 카세트(10)에 수납된 웨이퍼링(1)을 작동로드 (rod)(16a)에서 수납구(11)로부터 밀어 내도록, 웨이퍼링 반송레벨(17)에 배열설치되어 있다.
다음에 팰릿 픽업장치(20)에 관해서 설명한다. 이 펠릿 픽업장치(20)도 종래 주지의 구조이기 때문에 간단히 설명한다. 기판(21)상에는 XY 방향에 구동시켜지는 XY 테이블(22)이 부착되고, XY 테이블(22)상에는 지지판(23)이 고정되어 있다. 지지판(23)상에는, 웨이퍼링(1)보다도 작은 원환부(24a)를 가지는 웨이퍼링지지링 (24)이 부착된다. 또한 웨이퍼링 지지링(24)의 윗쪽에는, 도시하지않은 상하구동 수단으로 상하방향(Z 방향)에 구동되는 지퍼링(25)이 배열부착되어 있다.
픽업위치(26)의 윗쪽측에는, 도시하지 않은 상하구동수단 및 XY 테이블로 Z방향 및 XY 방향으로 이동시켜지는 흡착노즐(27)이 배열설치되고, 픽업위치(26)의 아래쪽측에는, 도시하지 않은 상하구동수단으로 Z 방향에 이동시켜지는 니들(28)이 배열설치되어 있다.
다음에 웨이퍼링 반송수단(35)의 구조에 관해서 설명한다. 기판(21)상에는 지지판(36, 37)이 고정되어 있고, 지지판(36, 37)의 위단부에는, X방향에 신장한 가이드 레일(38)이 고정되어 있다. 가이드 레일(38)에는 슬라이더(39)가 미끄러져 움직임이 자유롭게 끼워넣어 있고, 슬라이더(39)에는 윗쪽에 신장한 지지막대(40)가 고정되어 있다. 지지막대(40)의 위단부에는 지지블록(41)이 고정되어, 지지블록 (41)에는 Y 방향에 신장한 지지막대(42)가 고정되어 있다. 지지막대(42)의 선단부에는 클릭홀더(43)가 고정되고, 클릭홀더(43)에는 제3도에 도시한 것처럼 에어 실린더(44)가 고정되어 있다. 에어 실린더(44)의 작동로드(44a)에는 상클릭(45)이 고정되어, 이 상클릭(45)의 하면에 대향하는 클릭홀더(43)에는 하클릭(46)이 고정되어 있다.
상클릭(45)의 클램프부(45a)에는 화이버센서(47)가 고정되어 있다. 하클릭 (46)에는, 상기 클램프부(45a)에 대향한 부분에 홈(46a)이 설치된다.
상기 지지판(36)의 가이드 레일(38)의 아래쪽으로는 풀리축(50)이 회전이 자유롭게 지지되어 있다. 풀리축(50)에는 2개의 풀리(51, 52)가 고정되어 있다.
상기 지지판(37)에는, 상기 풀리축(50)에 대응하여 풀리축(53)이 회전이 자유롭게 지지되고, 풀리축(53)에는 상기 풀리(51)에 대응하여 풀리(54)가 고정되어 있다.
상기 기판(21)에는 모터(55)가 고정되고, 모터(55)의 출력축으로는 출리(56)가 고정되어 있다. 그리고, 풀리(51, 54, 56)에는 반송벨트(57)가 걸어지고, 반송벨트(57)의 위단부의 일부는 상기 슬라이드(39)에 고정되어 있다. 또한 풀리(52)와 (56)에는 벨트(58)가 걸어지고 있다.
마지막으로 웨이퍼링 가이드수단(65)의 구조를 제1도 내지 제5도(특히 제4도 및 제5도참조)에 의해 설명한다. 상기 웨이퍼링 카세트(10)의 상기 팰릿 픽업장치( 20)측에는, 틀체(66)가 배열부착되어 있다. 틀체(66)의 상단부에는, 웨이퍼링 반송레벨(17)보다 약간 아래쪽에서 Y방향에서 신장한 회전축(67)이 회전이 자유롭게 지지되어 있고, 회전축(67)에는 가이드 레일 지지판(68)이 고정되어 있다.
가이드 레일 지지판(68)상에는, 웨이퍼링(1)의 양측 단부를 안내하는 한쌍의 가이드 레일(69, 70)이 고정되어 있다. 여기서, 가이드 레일(69, 70)이 수평상태인때, 가이드 레일(69, 70)의 반송면(69a, 70a)는 웨이퍼링 반송레벨(17)에는 위치하도록 되어있다.
상기 회전축(67)의 측판(66a)보다 돌출한 부분에는, 크랭크 레버(71)가 고정되어 있다.
측판(66a)의 아래쪽측에는, 에어실린더 지지블록(72)이 고정되고, 에어 실린더 지지블록(72)에는 에어 실린더(73)이 회전이 자유롭게 지지되어 있다. 에어 실린더(73)의 작동로드(73a)에는, 연결구(74)가 고정되고, 연결구(74)는 상기 크랭크 레버(71)에 회전이 자유롭게 연결되어 있다.
다음에 작용에 관해서 설명한다. 엘리베이터 장치(13)의 나사축(15)의 회전하면, 엘리베이터부(14) 및 웨이퍼링 카세트(10)가 상하이동한다. 이것에 의해, 웨이퍼링 카세트(10)의 대응하는 수납부(12)는, 웨이퍼링 반송레벨(17)에 위치한다.
이때, 웨이퍼링 가이드수단(65)의 가이드 레일(69, 70)은 수평상태에 있다. 다음에 상클릭(45)은 연 상태로 웨이퍼링 반송수단(35)의 슬라이더(39)는 웨이퍼링 카세트(10)측에 우치하여, 상클릭(45)는 제1도의 좌방에 2점쇄선으로 도시한 것처럼 웨이퍼링(1)의 윗쪽에 위치한다. 그래서, 푸셔수단(16)이 작동하여 작동로드( 16a)가 전전하여, 웨이퍼링 카세트(10)내의 웨이퍼링(1)을 눌러, 웨이퍼링(1)은 상클릭(45)과 하클릭(46)사이에 공급된다. 이것에 의해, 하클릭(46)의 홈(46a)는웨이퍼링(1)으로 막힐 수 있기 때문에, 하이버센서(47)의 빛은 차단되어, 화이버센서 (47)은 온신호를 출력한다.
이 온신호에 의해 에어실린더(44)가 작동하여 작동로드(44a)가 하강하여, 상클릭(45)과 하클릭(46)으로 웨이퍼링(1)의 단부를 클램프한다.
다음에 모터(55)가 화살표 A 방향으로 정회전하여, 풀리(56)에 의해서 반송벨트(57)가 화살표 B 방향(제1도의 오른쪽방향)에 이동하여, 슬라이더(39)가 가이드 레일(38)에 따라서 같은 방향으로 이동한다. 이것에 의해서, 웨이퍼링(1)은 웨이퍼링 가이드수단(65)의 한쌍의 가이드 레일(69, 70)에 안내되어 팰릿 픽업장치( 20)에 향하여 반송된다.
웨이퍼링(1)이 팰릿 픽업장치(20)의 웨이퍼링 지지링(24)의 중심위치(29)에 달하면 모터(55)의 회전은 일시정지한다. 다음에 에어 실린더(44)가 상기와 역방향으로 들어가고, 웨이퍼링(1)의 클램프를 해제한다. 계속해서 모터(55)가 두 번째 정회전하여, 상클릭(45) 및 하클릭(46)은 슬라이더(39)의 하강에 의해 제1도에 2점쇄선으로 도시한 것처럼 웨이퍼링 지지링(24)의 오른쪽에 위치시켜진다. 이것에 의해, 웨이퍼링(1)은 웨이퍼링 지지링(24)상에 재치된다.
또한 웨이퍼링(1)이 웨이퍼링 지지링(24)상에 이동하면, 웨이퍼링 가이드수단(65)의 에어실린더(73)가 작동하여 작동로드(73a)가 들어간다. 이것에 의해, 제4도의 상태로부터 크랭크레버(71) 및 회전축(67)이 화살표 C 방향에 회동하고, 한쌍의 가이들 레일(69, 70)도 같은 방향에 회동하여, 제5도에 도시한 것처럼 수직상태가 된다.
상기한 바와 같이, 웨이퍼링 지지링(24)상에 웨이퍼링(1)이 재치되면, 웨이퍼링 지지링(24)이 도시 하지않은 구동수단으로 하강하여 웨이퍼링(1)을 아래쪽으로 밀어 내린다.
이것에 의해, 웨이퍼시트(2)가 늘어나게 되고, 웨이퍼링(1)에 붙여진 반도체 팰릿(3) 사이에 일정한 간격이 형성된다. 다음에 XY 테이블(22)이 구동하여 픽업되는 반도체 팰릿(3)이 픽업위치(26)에 위치 결정된다. 그후, 니들(28)이 상승하여 반도체 팰릿(3)를 쳐올리어, 또한 흡착노즐(27)이 하강하여 픽업위치(26)에 위치 시켜진 바도체 팰릿(3)를 흡착하여 픽업한다. 반도체 팰릿(3)을 흡착유지한 흡착노즐(27)은 상승, XY 방향에 이동 및 하강시켜지고, 도시하지 않은 반도체 팰릿 위치결정부또는 본딩위치에 반도체 팰릿(3)를 얹어 놓아, 다시 픽업위치(26)로 이동한다.
이렇게하여 픽업위치(26)에 위치 결정된 반도체 팰릿(3)이 픽업되면, XY 테이블(22)이 구동하여 다음에 픽업되는 반도체 팰릿(3)이 픽업위치(26)에 위치 결정된다.
이렇게 하여, 반도체 팰릿(3)가 흡착노즐(27)보다 순차 픽업되어, 웨이퍼시트(2)상의 모든 반도체 팰릿(3)의 픽업이 완료되면, 웨이퍼링(1)은 사용종료 웨이퍼링으로서 다시 웨이퍼링 카세트(10)에 반송된다.
다음에 사용종료 웨이퍼링(1)의 반송에 관해서 설명한다. XY 테이블(22)이 구동되어, 팰릿 픽업장치(20)는 초기 위치(웨이퍼링(1)이 공급되는 경우의 위치)에 이동한다. 지퍼링(25)이 상승하여 웨이퍼링(1)이 웨이퍼링 지지링(24)상에 들어 올린다. 다음에 에어 실린더(73)가 상기와 역방향으로 작동하여 작동로드(73a)가 돌출하고, 크랭프레버(71), 회전축(67)이 상기와 역방향으로 회동하여 가이드 레일( 69,70)은 제3도에 도시한 것처럼 수평상태로 된다. 또한 상클릭(45), 하클릭( 46)이 열린 상태로 모터(55)가 상기와 역방향으로 회저하여 제1도의 왼쪽방향에 이동시켜지고, 상클릭(45)과 하클릭(46)사이에 사용종료 웨이퍼링(1)의 단부가 위치시켜진다.
이때, 상클릭(45)과 하클릭(46)사이에 웨이퍼링(1)이 존재하는가 아닌가는 화이버센서(47)에 의해서 검출된다. 계속해서 에어 실린더(44)의 작동로드(44a)가 작동하여 하강하고, 웨이퍼링(1)은 상클릭(45)과 하클릭(46)으로 클램프된다.
다음에 모터(55)가 다시 작동하여 슬라이더(39)가 제1도의 좌방에 이동하여 상클릭(45) 및 하클릭(46)에 클램프된 사용종료 웨이퍼링(1)은, 가이드 레일(69, 70)에 안내되어 웨이퍼링 카세트(10)의 비어있는 수납부(12)내에 이송된다. 그후, 에어실린더(44)가 작동하고 작동로드(44a)가 들어가고, 상클릭(45)는 웨이퍼링(1)을 개방한다.
이것에 의해, 사용종료 웨이퍼링(1)은 수납부(12)내에 수납된다. 이렇게하여, 1개의 웨이퍼링(1)의 공급·반송이 완료하면, 엘리베이터 장치(13)의 엘리베이터부(14)의 하강 동작에 의해 웨이퍼링 카세트(10)가 1피치 하강시켜지고, 다음에 공급되는 미사용의 웨이퍼링(1) 웨이퍼링 반송레벨(17)에 위치 결정된다. 그리고, 상기한 바와 같은 일련의 동작에 의해, 해당 웨이퍼링(1)의 공급·반송이 행하여진다.
이와 같이, 본 실시예에 있어서는, 웨이퍼링(1)의 공급·반송때만 가이드 레일(69, 70)은 수평상태로 되어, 팰릿 픽업장치(20)에 의한 반도체 팰릿(3)의 픽업동작시에는 회동하여 웨이퍼링 카세트(10)와 웨이퍼링 지지링(24)사이는 넓게 열려진 상태가 된다.
따라서, 팰릿 픽업장치(20)는 웨이퍼링 카세트(10)에 가까이 간 위치로 XY 방향으로 이동하는 것이든지, 장치의 소형화가 꾀할 수 있다.
[발명의 효과]
본 발명에 의하면, 웨이퍼링 반송수단에 의해서 반송되는 웨이퍼링의 양측단부를 안내하는 한쌍의 가이드 레일은, 웨이퍼링 카세트측을 중심으로 하여 상하방향에 회동이자유롭게 부착되고, 웨이퍼링 반송때에 가이드 레일의 반송면이 수평이 되도록 회동시켜지기 때문에, 장치의 소형화를 꾀할 수 있다.

Claims (2)

  1. 반도체 팰릿(3)이 첨부된 웨이퍼시트(2)가 점착고정된 웨이퍼링(1)을 일정피치로 수납하는 웨이퍼링 카세트(10)와, 이 웨이퍼링 카세트를 상하이동시키는 엘리베이터 장치(13)와, 웨이퍼링 카세트에 수납된 웨이퍼링을 1개씩 반송하여 팰릿 픽업장치(20)에 공급함과 동시에, 반도체 팰릿이 픽업된 뒤의 사용종료 웨이퍼링을 상기 웨이퍼링 카세트의 비어있는 수납웨 반송하는 웨이퍼링 반송수단(35)과, 이 웨이퍼링 반송수단에 의해서 반송되는 웨이퍼링의 양측 단부를 안내하는 한쌍의 가이드 레일(69, 70)을 구비한 웨이퍼링 가이드수단(65)를 구비한 웨이퍼링의 공급·반송장치에 있어서, 상기 웨이퍼링 가이드수단(65)은, 상기 웨이퍼링 카세트(10)측에 회전이 자유롭게 설치된 회전축(67)과, 이 회전축(67)에 고정되어, 상기 회전축(67)을 중심으로 수직위치와 수평위치와의 사이에서 요동가능한 가이드레일( 69,70)과, 웨이퍼링(1)의 반송시에는 상기 가이드 레일(69, 70)의 반송면이 수평으로 되고, 상기 팰릿 픽업장치(20)에 의한 반도체 팰릿(3)의 픽업동작시에는 상기 가이드 레일(69, 70)의 반송면이 수직이 되도록 상기 회전축(67)을 요도시키는 구동수단(73)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼링의 공급·반송장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 구동수단(73)은 에어 실린더인 것을 특징으로 하는 웨이퍼링의 공급·반송장치.
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