JP3804405B2 - 電子部品の実装装置及び電子部品実装用の吸着ノズルユニット - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品を基板に実装する電子部品の実装装置及び電子部品実装用の吸着ノズルユニットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品を基板に実装する実装装置には、電子部品を収納するテープフィーダなどのパーツフィーダが多数並設された供給部が設けられており、これらのパーツフィーダから移載ヘッドによって電子部品をピックアップして基板上に移載する実装動作が繰り返し行われる。この実装動作の効率向上を図るため、移載ヘッドに電子部品保持用の吸着ノズルを複数本設けたものが用いられる場合が多い。従来複数ノズルの配列方式としては、複数のノズルを１直線上に直列に配列した多連ノズルや、ノズルが円周上で回転するロータリ方式などが採用されている。
【０００３】
ところで、電子部品を保持して基板に実装する実装動作においては、電子部品を吸着して保持する吸着ノズルを供給部のパーツフィーダに対して、また基板上の実装点に対して昇降させる昇降機構が必要とされる。この昇降動作においては、実装対象の電子部品に応じて昇降ストロークを可変する必要がある。従来の複数ノズルを備えた移載ヘッドでは、移載ヘッド全体を昇降させる昇降機構をストローク可変とし、各吸着ノズル個別の昇降はエアシリンダ駆動が用いられていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記構成の移載ヘッドでは、移載ヘッド全体を昇降させるようにしていたためこの昇降駆動機構に対する負荷が大きく、昇降動作の高速化が妨げられると共に、エアシリンダによるノズル個別の上下動作と移載ヘッド全体の昇降動作とを重ね合わせた動作を行うため全体の動作時間が遅延して実装タクトの短縮を困難なものとしていた。このように、従来の複数ノズルを備えた移載ヘッドを用いた従来の電子部品の実装装置には、各吸着ノズルの昇降駆動方式に起因して、実装タクトタイムの短縮が困難であるという問題点があった。
【０００５】
そこで本発明は、実装タクトタイムを短縮することができる電子部品の実装装置及び電子部品実装用の吸着ノズルユニットを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の電子部品の実装装置は、電子部品の供給部に複数台並設されたパーツフィーダから移載ヘッドによって電子部品をピックアップして基板に実装する電子部品の実装装置であって、前記移載ヘッドに複数の吸着ノズルユニットが装着されており、この吸着ノズルユニットは、電子部品に当接して電子部品を吸着保持する吸着ツールと、下端部にこの吸着ツールが装着された昇降軸部材と、この昇降軸部材と結合されて共に昇降する送りねじと、この送りねじと螺合するナット部材と、このナット部材を回転駆動する駆動手段とを備え、前記昇降軸部材は前記送りねじの下端部にベアリングを保持する保持部材を介して結合されており、前記送りねじのナット部材との連れ廻りを防止する廻り止め手段として前記昇降軸部材の外周にスプリング部材を装着し、このスプリング部材が前記保持部材を介して前記送りねじに上方向への付勢力を伝達することにより送りねじの連れ廻りを防止するようにした。
【０００７】
請求項２記載の電子部品の実装装置は、請求項１記載の電子部品の実装装置であって、前記移載ヘッドに、前記吸着ノズルユニットを所定の基本ピッチで前記パーツフィーダの並設方向に直列に配列して成るノズル列が複数列設けられている。
【０００８】
請求項３記載の電子部品実装用の吸着ノズルユニットは、電子部品に当接して電子部品を吸着保持する吸着ツールと、下端部にこの吸着ツールが装着された昇降軸部材と、この昇降軸部材と結合されて共に昇降する送りねじと、この送りねじと螺合するナット部材と、このナット部材を回転駆動する駆動手段とを備え、前記昇降軸部材は前記送りねじの下端部にベアリングを保持する保持部材を介して結合されており、前記送りねじのナット部材との連れ廻りを防止する廻り止め手段として前記昇降軸部材の外周にスプリング部材を装着し、このスプリング部材が前記保持部材を介して前記送りねじに上方向への付勢力を伝達することにより送りねじの連れ廻りを防止するようにした。
【０００９】
本発明によれば、電子部品を吸着して保持する複数の吸着ノズルを個別にストローク可変に昇降させることにより、移載ヘッド全体の昇降を行う必要がなく、昇降機構の駆動負荷を軽減できると共に、吸着ノズルの昇降動作を単一動作にして全体の実装タクトタイムを短縮することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の平面図、図２は本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の移載ヘッドの斜視図、図３（ａ）は本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の移載ヘッドの正面図、図３（ｂ）は本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の移載ヘッドの側面図、図４は本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の吸着ノズルユニットの断面図、図５は本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の吸着ノズルユニットの部分詳細図、図６は本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の移載ヘッドの部分断面図、図７は本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の移載ヘッドの部分斜視図である。
【００１１】
まず図１を参照して電子部品の実装装置の全体構造について説明する。図１において、電子部品の実装装置１には搬送路２が配設されており、搬送路２は電子部品が実装される基板３を搬送し位置決めする。搬送路２の側方には電子部品の供給部４が配設されており、供給部４には多数のパーツフィーダであるテープフィーダ５が並設されている。
【００１２】
供給部４と搬送路２の上方にはＸ軸テーブル６、Ｙ軸テーブル７が配設されている。Ｘ軸テーブル６、Ｙ軸テーブル７はそれぞれ送りねじ８Ｘ，８Ｙ、駆動モータＭＸ，ＭＹを備えており、Ｙ軸駆動モータＭＹを駆動することにより、Ｘ軸テーブル６がＹ方向へ移動する。Ｘ軸テーブル６には移載ヘッド９が装着されており、移載ヘッド９は供給部４のテープフィーダ５から電子部品をピックアップし、搬送路２に位置決めされた基板３上へ移送搭載する。Ｘ軸テーブル６、Ｙ軸テーブル７は、移載ヘッド９を水平移動させる移動手段となっている。
【００１３】
搬送路２と供給部４の間には電子部品認識用のラインカメラ１０が配設されており、供給部４から電子部品をピックアップした移載ヘッド９がラインカメラ１０上を通過する際に、ラインカメラ１０は電子部品を下方から撮像する。そして得られた撮像データを画像処理することにより、電子部品の認識が行われる。すなわちラインカメラ１０は、移載ヘッド９の吸着ノズルに保持された状態の電子部品を下方から認識する認識手段となっている。
【００１４】
次に図２、図３を参照して移載ヘッド９について説明する。図２、図３に示すように、移載ヘッド９は複数の吸着ノズルが一体的に移動する多連型ヘッドであり、共通の垂直なベース部１１に吸着ノズルを昇降機構および吸引機構とともに一体化した吸着ノズルユニット１２を複数並設した構造となっている。本実施の形態に示す例では、４個の吸着ノズルユニット１２をＸ方向（テープフィーダ５の並設方向）に直列に配列して成るノズル列を、Ｙ方向に２列並設した配置となっている。
【００１５】
このような吸着ノズルユニット１２の配置を採用することにより、単一列に複数の吸着ノズルを直列配置する従来の多連ノズル型の移載ヘッドと比較して、移載ヘッドのＸ方向の長さ寸法を大幅に短縮することができる。したがって、移載ヘッドのＸ方向のストロークを短縮して装置スペースを縮小することができる。また、直列に配置されるノズル数が減少することから、各ノズル間のピッチ誤差の累積を抑制することができ、後述するように複数部品の同時ピックアップを行う際の位置ずれに起因する不具合を減少させることができる。
【００１６】
図３に示すように、Ｘ軸テーブル６のフレーム６ａの側面には、ガイドレール１３ａが水平方向に配設されており、ガイドレール１３ａとスライド自在に嵌合するスライダ１３ｂはベース部１１に固着されている。また送りねじ８Ｘに螺合するナット１４はベース部１１に固着されており、Ｘ軸駆動モータＭＸによって送りねじ８Ｘを回転駆動することにより、ベース部１１はＸ方向に水平移動する。これにより、複数の吸着ノズルユニット１２は一体的に移動する。
【００１７】
移載ヘッド９の構造について説明する。ベース部１１の側面には箱形状の上部フレーム１５および変断面形状の下部フレーム１６が固設されている。上部フレーム１５の上面には、吸着ノズルユニット１２を構成するノズル昇降モータ２０が垂直に配設されている。ノズル昇降モータ２０の回転は上部フレーム１５の下方に設けられた昇降機構２５に伝達され、ここでノズル昇降モータ２０の回転運動が昇降軸部材３０の上下動に変換される。これらのノズル昇降モータ２０を制御部３９によって個別に制御することにより、移載ヘッド９の複数の吸着ノズルを、個別にストローク可変に昇降させることができるようになっている。
【００１８】
このように複数の吸着ノズルを備えた移載ヘッド９において、吸着ノズルをストローク可変に個別に昇降させることにより、移載ヘッド９全体に昇降動作を行わせる必要がない。したがって、従来の移載ヘッド９全体を昇降させる機構と比較して、昇降機構の駆動負荷を軽減できると共に、実装動作における吸着ノズルの昇降動作を１つの駆動系のみの単一動作にして、全体の実装タクトタイムを短縮することができる。
【００１９】
昇降軸部材３０には軸回転部３２が設けられており、下部フレーム１６に固設されたノズル回転モータ５０によって、無端ベルト５１ａ，５１ｂを介して軸回転部３２に回転が伝達される。これにより、昇降軸部材３０は軸廻りに回転する。昇降軸部材３０の下端部は、スイベル部３６を挿通してノズルヘッド３７と結合されており、ノズルヘッド３７には反射板３８ａおよび吸着部３８ｂを備えた吸着ツール３８が着脱自在に装着される。すなわち、昇降軸部材３０の下端部には、吸着ツール３８が装着される。
【００２０】
スイベル部３６は真空吸引装置に接続されており、スイベル部３６から真空吸引することにより、吸着ツール３８の軸廻りの回転を許容しながら、吸着部３８ｂの下端部から真空吸引する。そして下端部に電子部品が当接した状態で真空吸引することにより、吸着ツール３８は電子部品を吸着保持する。反射板３８ａは、ラインカメラ１０による撮像時に、下方から照射される照明光を反射して、吸着部３８ｂに保持された電子部品を透過照明する。
【００２１】
次に図４、図５を参照して吸着ノズルユニット１２の構造を説明する。図４において上部フレーム１５の頂板１５ａにはノズル昇降モータ２０の軸孔１５ｃが設けられており、軸孔１５ｃ内にはカップリング部材２１が装着された回転軸２０ａが挿入されている。また軸孔１５ｃと上部フレーム１５の底板１５ｂに設けられた軸孔１５ｄには、昇降機構２５のハウジング部材２２が、それぞれベアリング２４ａ，２４ｂを介して軸支されている。ハウジング部材２２の上端部には、図５（ａ）に示すようにスリット２２ａが設けられており、スリット２２ａにはカップリング部材２１の平歯部２１ａが嵌合する。したがって、回転軸２０ａが回転するとハウジング部材２２も共に回転する。
【００２２】
ハウジング部材２２には上下に貫通する内孔２２ｂが設けられており、図５（ｂ）に示すように内孔２２ｂの下方は、ナット部材２６が嵌着される装着孔２２ｃと連通している。装着孔２２ｃ内にナット部材２６を嵌合させ、カラープレート４３を弾性材より成るリング４２を介して押さえ部材４１で押さえ込むことにより、ナット部材２６は図５（ｂ）に矢印にて示す段差部分を挟み込まれ、ハウジング部材２２に固定される。
【００２３】
ナット部材２６には内孔２２ｂを挿通する送りねじ２３が螺合しており、送りねじ２３の下端部は、ベアリング２８を上下から保持する保持部材２７，２９を介して、昇降軸部材３０と回転自在に結合されている。したがってノズル昇降モータ２０を駆動することにより、ハウジング部材２２に固定されたナット部材２６が回転する。ノズル昇降モータ２０はナット部材２６を回転駆動する駆動手段となっている。これにより送りねじ２３が上下動し、そしてこの上下動は送りねじ２３と結合された昇降軸部材３０に伝達され、送りねじ２３と昇降軸部材３０とは共に昇降する。このとき昇降軸部材３０は、ベアリング２８によって送りねじ２３に対しての相対的な回転が許容される。
【００２４】
昇降軸部材３０の外周には、スプリング部材３１が装着されており、スプリング部材３１は保持部材２９に当接して上方向への付勢力を伝達する。この付勢力はさらに保持部材２７を介して送りねじ２３に伝達される。これにより、ナット部材２６が回転して送りねじ２３を上下動させる際に、送りねじ２３はナット部材２６に対して軸方向に押圧されながら上下動し、送りねじ２３のナット部材２６との連れ廻りが防止される。すなわち、スプリング部材３１は送りねじ２３の連れ廻りを防止する廻り止め手段となっている。
【００２５】
下部フレーム１６に設けられた軸孔１６ａには、図５（ｃ）に示すようにベアリング４５ａ，４５ｂを介してハウジング部材４４が軸支されている。ハウジング部材４４には上下に貫通する内孔４４ａが設けられており、内孔４４ａの下方に設けられた装着孔４４ｂにはスライドガイド３５が嵌着されている。スライドガイド３５には、昇降軸部材３０が回転方向の変位を拘束されて挿通している。すなわち、ハウジング部材４４を回転することにより、昇降軸部材３０も共に回転するようになっている。
【００２６】
ハウジング部材４４の上部は、ノズル回転モータ５０から回転が伝達される軸回転部３２となっている。軸回転部３２には伝動プーリ部３３と、アイドラプーリ部３４が設けられている。伝動プーリ部３３はハウジング部材４４に固着されたプーリ３３ａを備えており、プーリ３３ａに調帯された無端ベルト５１ａによってハウジング部材４４に回転が伝達される。
【００２７】
これに対し、アイドラプーリ部３４に備えられたプーリ３４ｂは、ベアリング３４ａを介してハウジング部材４４に装着されている。このため、アイドラプーリ部３４に調帯された無端ベルト５１ｂからはハウジング部材４４に回転が伝達されず、単に無端ベルト５１ｂをガイドするアイドラとしてのみ機能する。
【００２８】
ここで、移載ヘッド９におけるノズル列と各ノズル列の吸着ノズルを回転させるノズル回転モータ５０の配置について説明する。図６、図７に示すように移載ヘッド９には、Ｘ軸テーブル６側、すなわち供給部４側から順にそれぞれ４個の吸着ノズルより成る第１ノズル列Ｌ１、第２ノズル列Ｌ２が設けられている。そして、供給部４側の第１ノズル列Ｌ１と基板３側の第２ノズル列Ｌ２との中間位置には、ノズル回転モータ５０が配置されている。ノズル回転モータ５０は、これらの各ノズル列の吸着ノズルをノズル軸廻りに回転させる単一のθ回転駆動手段となっている。
【００２９】
ノズル回転モータ５０による各吸着ノズルの回転は、図６、図７に示すように軸回転部３２のプーリ位置に応じて上下２段に調帯された２つの無端ベルト５１ａ，５１ｂのうちの１つの無端ベルトを介して、各ノズル列ごとにノズル回転モータ５０によって回転駆動される。すなわち図６（ａ）に示すように、下段の無端ベルト５１ａは第２ノズル列Ｌ２の４個の吸着ノズルを、また図６（ｂ）に示すように上段の無端ベルト５１ｂは第１ノズル列Ｌ１の４個の吸着ノズルをそれぞれ回転駆動する。上下各段にはテンションプーリ５３が設けられ、ベルト張力を調整できるようになっている。
【００３０】
ここで各吸着ノズルユニット１２の軸回転部３２のタイプについて説明する。図６（ｃ）に示すように、軸回転部３２の伝動プーリ部３３、アイドラプーリ部３４の組み合わせにはタイプＡ〜Ｄの４種類があり、上記各ノズル列Ｌ１，Ｌ２にはこれらの４種類のタイプが組み合わせて配列されている。
【００３１】
タイプＡは、上段にプーリ３３ａが、下段にベアリング３４ａを介してプーリ３４ｂが装着されたものであり、タイプＢは上段にプーリ３３ａが、下段にベアリング３４ａのみが装着されたものである。またタイプＣ，ＤはそれぞれタイプＢ，Ａの上段と下段とを入れ替えた構成となっている。そして第１ノズル列Ｌ１、第２ノズル列Ｌ２は、図６に示すように、それぞれ上記タイプＡ〜Ｄを（Ａ，Ｂ，Ｂ，Ａ）、（Ｄ，Ｃ，Ｃ，Ｄ）の配列で組み合わせたものとなっている。
【００３２】
このような軸回転部３２の構成および配列を採用することにより、回転駆動対象のノズル列の各軸に装着された伝動用のプーリ３３ａに無端ベルト５１ａ，５１ｂの歯面側を当接させるとともに、他のノズル列の軸回転部３２をガイド用のアイドラとして用いることが可能となっている。ここで、無端ベルト５１ａ，５１ｂの歯面側でガイドする位置にはプーリ３４ｂを、背面側でガイドする位置にはベアリング３４ａのみを用いている。図６から判るように、上段と下段における伝動プーリ部やアイドラプーリ部の配列は対称な関係にあることから、同一長さの無端ベルト５１ａ，５１ｂを上下各段に使用することが可能となっており、保守部品の管理が容易となっている。
【００３３】
このように、同一のノズル列の複数の吸着ノズルのノズル軸を一つの無端ベルトで回転駆動することにより、回転伝達誤差の小さい高精度のθ回転を行うことができるとともに、コンパクトな複数ノズル型の移載ヘッドが実現される。また上記構成において、θ軸回転手段のノズル回転モータ５０を各ノズル列の中間位置に配置することにより、伝動配置における対称性を確保するとともに、Ｘ軸テーブル６からの移載ヘッド９の張り出し部分の質量モーメントを極力小さくすることができ、駆動時の振動発生を抑制して高速駆動を可能としている。
【００３４】
次に移載ヘッド９における基板認識用のカメラ１７の配置について説明する。図６に示すように、移載ヘッド９は一体的に移動するカメラ１７を備えており、カメラ１７は供給部４側のノズル列、すなわち第１ノズル列Ｌ１と同一直線上に配置されている。Ｘ軸テーブル６、Ｙ軸テーブル７を駆動することにより、カメラ１７は移載ヘッド９とともに一体的に水平移動し、搬送路２上に位置決めされた基板３を撮像して基板３の位置を認識する。カメラ１７は基板３を撮像する撮像手段となっている。
【００３５】
この電子部品の実装装置は上記のように構成されており、以下、この実装装置による電子部品の実装について説明する。まず最初に、移載ヘッド９には実装対象の電子部品に応じた吸着ツールが装着される。この装着作業が完了したならば、実装動作が開始される。まず、図１において移載ヘッド９を供給部４に移動させ、各テープフィーダ５から吸着ツール３８によって電子部品をピックアップする。
【００３６】
このとき、供給部４におけるテープフィーダ５の電子部品ごとの配列が移載ヘッド９における吸着ツール３８の配列と一致している場合には同時吸着が可能である。この場合には複数の吸着ノズルユニット１２において吸着ツール３８の下降が同時に行われ、複数の電子部品が同時にピックアップされる。これ以外の場合には、実装シーケンスデータに従って、ピックアップ対象の電子部品を当該部品に対応した個々の吸着ツールによって個別にピックアップする。
【００３７】
上記電子部品のピックアップにおいて、移載ヘッド９のＸ方向の長さ寸法が小さく設定されていることから、ピックアップ動作における移載ヘッド９の移動距離を小さくして実装タクトタイムを短縮することができる。また、移載ヘッド９における複数の吸着ノズル間のピッチ誤差の累積が小さいことから、吸着ノズルと電子部品の位置ずれに起因するピックアップ不具合の発生を最小に抑制し、単一列に複数の吸着ノズルを直列配置する方式の多連ノズル型の移載ヘッドと比較して、同時ピックアップの確率を向上させることが可能となっている。
【００３８】
このようにして複数の電子部品を保持した移載ヘッド９は、Ｘ軸テーブル６、Ｙ軸テーブル７によって基板３の上方へ移動する。この移動の経路において移載ヘッド９はラインカメラ１０の上方を所定の移動速度で通過する。これにより、移載ヘッド９に保持された電子部品はラインカメラ１０によって下方から撮像され、この撮像結果を画像処理することにより各電子部品の認識が行われる。
【００３９】
そして位置が認識され位置ずれが検出された電子部品は、位置ずれを補正した上で基板３上の各実装点に搭載される。この搭載動作において、保持した電子部品のピッチ、すなわち吸着ノズルユニット１２の配列ピッチと基板３上の実装点のピッチとが一致している場合には、これらの電子部品を保持した吸着ツール３８を同時に下降させる。これ以外の場合には、各電子部品を保持した吸着ツールを実装シーケンスデータに基づいて順次下降させ、電子部品を各実装点に搭載する。
【００４０】
上記実装動作において、移載ヘッド９の各吸着ノズルユニットは個々に昇降可能となっており、移載ヘッド９全体を昇降させる必要がない。このため、供給部４における部品のピックアップ動作、移送経路上における部品の撮像動作、基板３上での搭載動作のいずれにおいても、電子部品を保持した吸着ツール３８の昇降にはノズル昇降モータ２０のみを駆動すればよい。したがって、移載ヘッド９の全体昇降動作と各吸着ノズル個別の昇降動作とを組み合わせた従来の移載ヘッドと比較して、昇降動作に要する時間を短縮して実装効率を向上させることができる。
【００４１】
また、各吸着ノズルユニットが個別にストローク可変に動作可能となっていることから、異なる厚さの電子部品を対象としたピックアップ、撮像および搭載の各動作において、部品に応じた適正な高さ位置を確保することができると共に、移載ヘッド９の水平移動と各吸着ノズルの昇降動作を個別に重ね合わせることが可能となっており、移載ヘッド９の水平移動と吸着ノズルの昇降動作とを合理的に組み合わせて無駄時間を排した効率のよい実装動作が実現できる。
【００４２】
【発明の効果】
本発明によれば、電子部品を吸着して保持する複数の吸着ノズルを個別にストローク可変に昇降させることにより、移載ヘッド全体の昇降を行う必要がなく、従来の移載ヘッド９全体を昇降させる機構と比較して、昇降機構の駆動負荷を軽減できると共に、吸着ノズルの昇降動作を単一動作にして全体の実装タクトタイムを短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の平面図
【図２】本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の移載ヘッドの斜視図
【図３】（ａ）本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の移載ヘッドの正面図
（ｂ）本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の移載ヘッドの側面図
【図４】本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の吸着ノズルユニットの断面図
【図５】本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の吸着ノズルユニットの部分詳細図
【図６】本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の移載ヘッドの部分断面図
【図７】本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の移載ヘッドの部分斜視図
【符号の説明】
２ 搬送路
３ 基板
４ 供給部
５ テープフィーダ
６ Ｘ軸テーブル
７ Ｙ軸テーブル
９ 移載ヘッド
１０ ラインカメラ
１２ 吸着ノズルユニット
１７ カメラ
２０ ノズル昇降モータ
２３ 送りねじ
２５ 昇降機構
３０ 昇降軸部材
３２ 軸回転部
３８ 吸着ツール
３９ 制御部
５０ ノズル回転モータ
５１ａ、５１ｂ 無端ベルト
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品を基板に実装する電子部品の実装装置及び電子部品実装用の吸着ノズルユニットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品を基板に実装する実装装置には、電子部品を収納するテープフィーダなどのパーツフィーダが多数並設された供給部が設けられており、これらのパーツフィーダから移載ヘッドによって電子部品をピックアップして基板上に移載する実装動作が繰り返し行われる。この実装動作の効率向上を図るため、移載ヘッドに電子部品保持用の吸着ノズルを複数本設けたものが用いられる場合が多い。従来複数ノズルの配列方式としては、複数のノズルを１直線上に直列に配列した多連ノズルや、ノズルが円周上で回転するロータリ方式などが採用されている。
【０００３】
ところで、電子部品を保持して基板に実装する実装動作においては、電子部品を吸着して保持する吸着ノズルを供給部のパーツフィーダに対して、また基板上の実装点に対して昇降させる昇降機構が必要とされる。この昇降動作においては、実装対象の電子部品に応じて昇降ストロークを可変する必要がある。従来の複数ノズルを備えた移載ヘッドでは、移載ヘッド全体を昇降させる昇降機構をストローク可変とし、各吸着ノズル個別の昇降はエアシリンダ駆動が用いられていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記構成の移載ヘッドでは、移載ヘッド全体を昇降させるようにしていたためこの昇降駆動機構に対する負荷が大きく、昇降動作の高速化が妨げられると共に、エアシリンダによるノズル個別の上下動作と移載ヘッド全体の昇降動作とを重ね合わせた動作を行うため全体の動作時間が遅延して実装タクトの短縮を困難なものとしていた。このように、従来の複数ノズルを備えた移載ヘッドを用いた従来の電子部品の実装装置には、各吸着ノズルの昇降駆動方式に起因して、実装タクトタイムの短縮が困難であるという問題点があった。
【０００５】
そこで本発明は、実装タクトタイムを短縮することができる電子部品の実装装置及び電子部品実装用の吸着ノズルユニットを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の電子部品の実装装置は、電子部品の供給部に複数台並設されたパーツフィーダから移載ヘッドによって電子部品をピックアップして基板に実装する電子部品の実装装置であって、前記移載ヘッドに複数の吸着ノズルユニットが装着されており、この吸着ノズルユニットは、電子部品に当接して電子部品を吸着保持する吸着ツールと、下端部にこの吸着ツールが装着された昇降軸部材と、この昇降軸部材と結合されて共に昇降する送りねじと、この送りねじと螺合するナット部材と、このナット部材を回転駆動する駆動手段とを備え、前記昇降軸部材は前記送りねじの下端部にベアリングを保持する保持部材を介して結合されており、前記送りねじのナット部材との連れ廻りを防止する廻り止め手段として前記昇降軸部材の外周にスプリング部材を装着し、このスプリング部材が前記保持部材を介して前記送りねじに上方向への付勢力を伝達することにより送りねじの連れ廻りを防止するようにした。
【０００７】
請求項２記載の電子部品の実装装置は、請求項１記載の電子部品の実装装置であって、前記移載ヘッドに、前記吸着ノズルユニットを所定の基本ピッチで前記パーツフィーダの並設方向に直列に配列して成るノズル列が複数列設けられている。
【０００８】
請求項３記載の電子部品実装用の吸着ノズルユニットは、電子部品に当接して電子部品を吸着保持する吸着ツールと、下端部にこの吸着ツールが装着された昇降軸部材と、この昇降軸部材と結合されて共に昇降する送りねじと、この送りねじと螺合するナット部材と、このナット部材を回転駆動する駆動手段とを備え、前記昇降軸部材は前記送りねじの下端部にベアリングを保持する保持部材を介して結合されており、前記送りねじのナット部材との連れ廻りを防止する廻り止め手段として前記昇降軸部材の外周にスプリング部材を装着し、このスプリング部材が前記保持部材を介して前記送りねじに上方向への付勢力を伝達することにより送りねじの連れ廻りを防止するようにした。
【０００９】
本発明によれば、電子部品を吸着して保持する複数の吸着ノズルを個別にストローク可変に昇降させることにより、移載ヘッド全体の昇降を行う必要がなく、昇降機構の駆動負荷を軽減できると共に、吸着ノズルの昇降動作を単一動作にして全体の実装タクトタイムを短縮することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の平面図、図２は本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の移載ヘッドの斜視図、図３（ａ）は本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の移載ヘッドの正面図、図３（ｂ）は本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の移載ヘッドの側面図、図４は本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の吸着ノズルユニットの断面図、図５は本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の吸着ノズルユニットの部分詳細図、図６は本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の移載ヘッドの部分断面図、図７は本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の移載ヘッドの部分斜視図である。
【００１１】
まず図１を参照して電子部品の実装装置の全体構造について説明する。図１において、電子部品の実装装置１には搬送路２が配設されており、搬送路２は電子部品が実装される基板３を搬送し位置決めする。搬送路２の側方には電子部品の供給部４が配設されており、供給部４には多数のパーツフィーダであるテープフィーダ５が並設されている。
【００１２】
供給部４と搬送路２の上方にはＸ軸テーブル６、Ｙ軸テーブル７が配設されている。Ｘ軸テーブル６、Ｙ軸テーブル７はそれぞれ送りねじ８Ｘ，８Ｙ、駆動モータＭＸ，ＭＹを備えており、Ｙ軸駆動モータＭＹを駆動することにより、Ｘ軸テーブル６がＹ方向へ移動する。Ｘ軸テーブル６には移載ヘッド９が装着されており、移載ヘッド９は供給部４のテープフィーダ５から電子部品をピックアップし、搬送路２に位置決めされた基板３上へ移送搭載する。Ｘ軸テーブル６、Ｙ軸テーブル７は、移載ヘッド９を水平移動させる移動手段となっている。
【００１３】
搬送路２と供給部４の間には電子部品認識用のラインカメラ１０が配設されており、供給部４から電子部品をピックアップした移載ヘッド９がラインカメラ１０上を通過する際に、ラインカメラ１０は電子部品を下方から撮像する。そして得られた撮像データを画像処理することにより、電子部品の認識が行われる。すなわちラインカメラ１０は、移載ヘッド９の吸着ノズルに保持された状態の電子部品を下方から認識する認識手段となっている。
【００１４】
次に図２、図３を参照して移載ヘッド９について説明する。図２、図３に示すように、移載ヘッド９は複数の吸着ノズルが一体的に移動する多連型ヘッドであり、共通の垂直なベース部１１に吸着ノズルを昇降機構および吸引機構とともに一体化した吸着ノズルユニット１２を複数並設した構造となっている。本実施の形態に示す例では、４個の吸着ノズルユニット１２をＸ方向（テープフィーダ５の並設方向）に直列に配列して成るノズル列を、Ｙ方向に２列並設した配置となっている。
【００１５】
このような吸着ノズルユニット１２の配置を採用することにより、単一列に複数の吸着ノズルを直列配置する従来の多連ノズル型の移載ヘッドと比較して、移載ヘッドのＸ方向の長さ寸法を大幅に短縮することができる。したがって、移載ヘッドのＸ方向のストロークを短縮して装置スペースを縮小することができる。また、直列に配置されるノズル数が減少することから、各ノズル間のピッチ誤差の累積を抑制することができ、後述するように複数部品の同時ピックアップを行う際の位置ずれに起因する不具合を減少させることができる。
【００１６】
図３に示すように、Ｘ軸テーブル６のフレーム６ａの側面には、ガイドレール１３ａが水平方向に配設されており、ガイドレール１３ａとスライド自在に嵌合するスライダ１３ｂはベース部１１に固着されている。また送りねじ８Ｘに螺合するナット１４はベース部１１に固着されており、Ｘ軸駆動モータＭＸによって送りねじ８Ｘを回転駆動することにより、ベース部１１はＸ方向に水平移動する。これにより、複数の吸着ノズルユニット１２は一体的に移動する。
【００１７】
移載ヘッド９の構造について説明する。ベース部１１の側面には箱形状の上部フレーム１５および変断面形状の下部フレーム１６が固設されている。上部フレーム１５の上面には、吸着ノズルユニット１２を構成するノズル昇降モータ２０が垂直に配設されている。ノズル昇降モータ２０の回転は上部フレーム１５の下方に設けられた昇降機構２５に伝達され、ここでノズル昇降モータ２０の回転運動が昇降軸部材３０の上下動に変換される。これらのノズル昇降モータ２０を制御部３９によって個別に制御することにより、移載ヘッド９の複数の吸着ノズルを、個別にストローク可変に昇降させることができるようになっている。
【００１８】
このように複数の吸着ノズルを備えた移載ヘッド９において、吸着ノズルをストローク可変に個別に昇降させることにより、移載ヘッド９全体に昇降動作を行わせる必要がない。したがって、従来の移載ヘッド９全体を昇降させる機構と比較して、昇降機構の駆動負荷を軽減できると共に、実装動作における吸着ノズルの昇降動作を１つの駆動系のみの単一動作にして、全体の実装タクトタイムを短縮することができる。
【００１９】
昇降軸部材３０には軸回転部３２が設けられており、下部フレーム１６に固設されたノズル回転モータ５０によって、無端ベルト５１ａ，５１ｂを介して軸回転部３２に回転が伝達される。これにより、昇降軸部材３０は軸廻りに回転する。昇降軸部材３０の下端部は、スイベル部３６を挿通してノズルヘッド３７と結合されており、ノズルヘッド３７には反射板３８ａおよび吸着部３８ｂを備えた吸着ツール３８が着脱自在に装着される。すなわち、昇降軸部材３０の下端部には、吸着ツール３８が装着される。
【００２０】
スイベル部３６は真空吸引装置に接続されており、スイベル部３６から真空吸引することにより、吸着ツール３８の軸廻りの回転を許容しながら、吸着部３８ｂの下端部から真空吸引する。そして下端部に電子部品が当接した状態で真空吸引することにより、吸着ツール３８は電子部品を吸着保持する。反射板３８ａは、ラインカメラ１０による撮像時に、下方から照射される照明光を反射して、吸着部３８ｂに保持された電子部品を透過照明する。
【００２１】
次に図４、図５を参照して吸着ノズルユニット１２の構造を説明する。図４において上部フレーム１５の頂板１５ａにはノズル昇降モータ２０の軸孔１５ｃが設けられており、軸孔１５ｃ内にはカップリング部材２１が装着された回転軸２０ａが挿入されている。また軸孔１５ｃと上部フレーム１５の底板１５ｂに設けられた軸孔１５ｄには、昇降機構２５のハウジング部材２２が、それぞれベアリング２４ａ，２４ｂを介して軸支されている。ハウジング部材２２の上端部には、図５（ａ）に示すようにスリット２２ａが設けられており、スリット２２ａにはカップリング部材２１の平歯部２１ａが嵌合する。したがって、回転軸２０ａが回転するとハウジング部材２２も共に回転する。
【００２２】
ハウジング部材２２には上下に貫通する内孔２２ｂが設けられており、図５（ｂ）に示すように内孔２２ｂの下方は、ナット部材２６が嵌着される装着孔２２ｃと連通している。装着孔２２ｃ内にナット部材２６を嵌合させ、カラープレート４３を弾性材より成るリング４２を介して押さえ部材４１で押さえ込むことにより、ナット部材２６は図５（ｂ）に矢印にて示す段差部分を挟み込まれ、ハウジング部材２２に固定される。
【００２３】
ナット部材２６には内孔２２ｂを挿通する送りねじ２３が螺合しており、送りねじ２３の下端部は、ベアリング２８を上下から保持する保持部材２７，２９を介して、昇降軸部材３０と回転自在に結合されている。したがってノズル昇降モータ２０を駆動することにより、ハウジング部材２２に固定されたナット部材２６が回転する。ノズル昇降モータ２０はナット部材２６を回転駆動する駆動手段となっている。これにより送りねじ２３が上下動し、そしてこの上下動は送りねじ２３と結合された昇降軸部材３０に伝達され、送りねじ２３と昇降軸部材３０とは共に昇降する。このとき昇降軸部材３０は、ベアリング２８によって送りねじ２３に対しての相対的な回転が許容される。
【００２４】
昇降軸部材３０の外周には、スプリング部材３１が装着されており、スプリング部材３１は保持部材２９に当接して上方向への付勢力を伝達する。この付勢力はさらに保持部材２７を介して送りねじ２３に伝達される。これにより、ナット部材２６が回転して送りねじ２３を上下動させる際に、送りねじ２３はナット部材２６に対して軸方向に押圧されながら上下動し、送りねじ２３のナット部材２６との連れ廻りが防止される。すなわち、スプリング部材３１は送りねじ２３の連れ廻りを防止する廻り止め手段となっている。
【００２５】
下部フレーム１６に設けられた軸孔１６ａには、図５（ｃ）に示すようにベアリング４５ａ，４５ｂを介してハウジング部材４４が軸支されている。ハウジング部材４４には上下に貫通する内孔４４ａが設けられており、内孔４４ａの下方に設けられた装着孔４４ｂにはスライドガイド３５が嵌着されている。スライドガイド３５には、昇降軸部材３０が回転方向の変位を拘束されて挿通している。すなわち、ハウジング部材４４を回転することにより、昇降軸部材３０も共に回転するようになっている。
【００２６】
ハウジング部材４４の上部は、ノズル回転モータ５０から回転が伝達される軸回転部３２となっている。軸回転部３２には伝動プーリ部３３と、アイドラプーリ部３４が設けられている。伝動プーリ部３３はハウジング部材４４に固着されたプーリ３３ａを備えており、プーリ３３ａに調帯された無端ベルト５１ａによってハウジング部材４４に回転が伝達される。
【００２７】
これに対し、アイドラプーリ部３４に備えられたプーリ３４ｂは、ベアリング３４ａを介してハウジング部材４４に装着されている。このため、アイドラプーリ部３４に調帯された無端ベルト５１ｂからはハウジング部材４４に回転が伝達されず、単に無端ベルト５１ｂをガイドするアイドラとしてのみ機能する。
【００２８】
ここで、移載ヘッド９におけるノズル列と各ノズル列の吸着ノズルを回転させるノズル回転モータ５０の配置について説明する。図６、図７に示すように移載ヘッド９には、Ｘ軸テーブル６側、すなわち供給部４側から順にそれぞれ４個の吸着ノズルより成る第１ノズル列Ｌ１、第２ノズル列Ｌ２が設けられている。そして、供給部４側の第１ノズル列Ｌ１と基板３側の第２ノズル列Ｌ２との中間位置には、ノズル回転モータ５０が配置されている。ノズル回転モータ５０は、これらの各ノズル列の吸着ノズルをノズル軸廻りに回転させる単一のθ回転駆動手段となっている。
【００２９】
ノズル回転モータ５０による各吸着ノズルの回転は、図６、図７に示すように軸回転部３２のプーリ位置に応じて上下２段に調帯された２つの無端ベルト５１ａ，５１ｂのうちの１つの無端ベルトを介して、各ノズル列ごとにノズル回転モータ５０によって回転駆動される。すなわち図６（ａ）に示すように、下段の無端ベルト５１ａは第２ノズル列Ｌ２の４個の吸着ノズルを、また図６（ｂ）に示すように上段の無端ベルト５１ｂは第１ノズル列Ｌ１の４個の吸着ノズルをそれぞれ回転駆動する。上下各段にはテンションプーリ５３が設けられ、ベルト張力を調整できるようになっている。
【００３０】
ここで各吸着ノズルユニット１２の軸回転部３２のタイプについて説明する。図６（ｃ）に示すように、軸回転部３２の伝動プーリ部３３、アイドラプーリ部３４の組み合わせにはタイプＡ〜Ｄの４種類があり、上記各ノズル列Ｌ１，Ｌ２にはこれらの４種類のタイプが組み合わせて配列されている。
【００３１】
タイプＡは、上段にプーリ３３ａが、下段にベアリング３４ａを介してプーリ３４ｂが装着されたものであり、タイプＢは上段にプーリ３３ａが、下段にベアリング３４ａのみが装着されたものである。またタイプＣ，ＤはそれぞれタイプＢ，Ａの上段と下段とを入れ替えた構成となっている。そして第１ノズル列Ｌ１、第２ノズル列Ｌ２は、図６に示すように、それぞれ上記タイプＡ〜Ｄを（Ａ，Ｂ，Ｂ，Ａ）、（Ｄ，Ｃ，Ｃ，Ｄ）の配列で組み合わせたものとなっている。
【００３２】
このような軸回転部３２の構成および配列を採用することにより、回転駆動対象のノズル列の各軸に装着された伝動用のプーリ３３ａに無端ベルト５１ａ，５１ｂの歯面側を当接させるとともに、他のノズル列の軸回転部３２をガイド用のアイドラとして用いることが可能となっている。ここで、無端ベルト５１ａ，５１ｂの歯面側でガイドする位置にはプーリ３４ｂを、背面側でガイドする位置にはベアリング３４ａのみを用いている。図６から判るように、上段と下段における伝動プーリ部やアイドラプーリ部の配列は対称な関係にあることから、同一長さの無端ベルト５１ａ，５１ｂを上下各段に使用することが可能となっており、保守部品の管理が容易となっている。
【００３３】
このように、同一のノズル列の複数の吸着ノズルのノズル軸を一つの無端ベルトで回転駆動することにより、回転伝達誤差の小さい高精度のθ回転を行うことができるとともに、コンパクトな複数ノズル型の移載ヘッドが実現される。また上記構成において、θ軸回転手段のノズル回転モータ５０を各ノズル列の中間位置に配置することにより、伝動配置における対称性を確保するとともに、Ｘ軸テーブル６からの移載ヘッド９の張り出し部分の質量モーメントを極力小さくすることができ、駆動時の振動発生を抑制して高速駆動を可能としている。
【００３４】
次に移載ヘッド９における基板認識用のカメラ１７の配置について説明する。図６に示すように、移載ヘッド９は一体的に移動するカメラ１７を備えており、カメラ１７は供給部４側のノズル列、すなわち第１ノズル列Ｌ１と同一直線上に配置されている。Ｘ軸テーブル６、Ｙ軸テーブル７を駆動することにより、カメラ１７は移載ヘッド９とともに一体的に水平移動し、搬送路２上に位置決めされた基板３を撮像して基板３の位置を認識する。カメラ１７は基板３を撮像する撮像手段となっている。
【００３５】
この電子部品の実装装置は上記のように構成されており、以下、この実装装置による電子部品の実装について説明する。まず最初に、移載ヘッド９には実装対象の電子部品に応じた吸着ツールが装着される。この装着作業が完了したならば、実装動作が開始される。まず、図１において移載ヘッド９を供給部４に移動させ、各テープフィーダ５から吸着ツール３８によって電子部品をピックアップする。
【００３６】
このとき、供給部４におけるテープフィーダ５の電子部品ごとの配列が移載ヘッド９における吸着ツール３８の配列と一致している場合には同時吸着が可能である。この場合には複数の吸着ノズルユニット１２において吸着ツール３８の下降が同時に行われ、複数の電子部品が同時にピックアップされる。これ以外の場合には、実装シーケンスデータに従って、ピックアップ対象の電子部品を当該部品に対応した個々の吸着ツールによって個別にピックアップする。
【００３７】
上記電子部品のピックアップにおいて、移載ヘッド９のＸ方向の長さ寸法が小さく設定されていることから、ピックアップ動作における移載ヘッド９の移動距離を小さくして実装タクトタイムを短縮することができる。また、移載ヘッド９における複数の吸着ノズル間のピッチ誤差の累積が小さいことから、吸着ノズルと電子部品の位置ずれに起因するピックアップ不具合の発生を最小に抑制し、単一列に複数の吸着ノズルを直列配置する方式の多連ノズル型の移載ヘッドと比較して、同時ピックアップの確率を向上させることが可能となっている。
【００３８】
このようにして複数の電子部品を保持した移載ヘッド９は、Ｘ軸テーブル６、Ｙ軸テーブル７によって基板３の上方へ移動する。この移動の経路において移載ヘッド９はラインカメラ１０の上方を所定の移動速度で通過する。これにより、移載ヘッド９に保持された電子部品はラインカメラ１０によって下方から撮像され、この撮像結果を画像処理することにより各電子部品の認識が行われる。
【００３９】
そして位置が認識され位置ずれが検出された電子部品は、位置ずれを補正した上で基板３上の各実装点に搭載される。この搭載動作において、保持した電子部品のピッチ、すなわち吸着ノズルユニット１２の配列ピッチと基板３上の実装点のピッチとが一致している場合には、これらの電子部品を保持した吸着ツール３８を同時に下降させる。これ以外の場合には、各電子部品を保持した吸着ツールを実装シーケンスデータに基づいて順次下降させ、電子部品を各実装点に搭載する。
【００４０】
上記実装動作において、移載ヘッド９の各吸着ノズルユニットは個々に昇降可能となっており、移載ヘッド９全体を昇降させる必要がない。このため、供給部４における部品のピックアップ動作、移送経路上における部品の撮像動作、基板３上での搭載動作のいずれにおいても、電子部品を保持した吸着ツール３８の昇降にはノズル昇降モータ２０のみを駆動すればよい。したがって、移載ヘッド９の全体昇降動作と各吸着ノズル個別の昇降動作とを組み合わせた従来の移載ヘッドと比較して、昇降動作に要する時間を短縮して実装効率を向上させることができる。
【００４１】
また、各吸着ノズルユニットが個別にストローク可変に動作可能となっていることから、異なる厚さの電子部品を対象としたピックアップ、撮像および搭載の各動作において、部品に応じた適正な高さ位置を確保することができると共に、移載ヘッド９の水平移動と各吸着ノズルの昇降動作を個別に重ね合わせることが可能となっており、移載ヘッド９の水平移動と吸着ノズルの昇降動作とを合理的に組み合わせて無駄時間を排した効率のよい実装動作が実現できる。
【００４２】
【発明の効果】
本発明によれば、電子部品を吸着して保持する複数の吸着ノズルを個別にストローク可変に昇降させることにより、移載ヘッド全体の昇降を行う必要がなく、従来の移載ヘッド９全体を昇降させる機構と比較して、昇降機構の駆動負荷を軽減できると共に、吸着ノズルの昇降動作を単一動作にして全体の実装タクトタイムを短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の平面図
【図２】本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の移載ヘッドの斜視図
【図３】（ａ）本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の移載ヘッドの正面図
（ｂ）本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の移載ヘッドの側面図
【図４】本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の吸着ノズルユニットの断面図
【図５】本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の吸着ノズルユニットの部分詳細図
【図６】本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の移載ヘッドの部分断面図
【図７】本発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の移載ヘッドの部分斜視図
【符号の説明】
２ 搬送路
３ 基板
４ 供給部
５ テープフィーダ
６ Ｘ軸テーブル
７ Ｙ軸テーブル
９ 移載ヘッド
１０ ラインカメラ
１２ 吸着ノズルユニット
１７ カメラ
２０ ノズル昇降モータ
２３ 送りねじ
２５ 昇降機構
３０ 昇降軸部材
３２ 軸回転部
３８ 吸着ツール
３９ 制御部
５０ ノズル回転モータ
５１ａ、５１ｂ 無端ベルト
Claims (3)
- 電子部品の供給部に複数台並設されたパーツフィーダから移載ヘッドによって電子部品をピックアップして基板に実装する電子部品の実装装置であって、前記移載ヘッドに複数の吸着ノズルユニットが装着されており、この吸着ノズルユニットは、電子部品に当接して電子部品を吸着保持する吸着ツールと、下端部にこの吸着ツールが装着された昇降軸部材と、この昇降軸部材と結合されて共に昇降する送りねじと、この送りねじと螺合するナット部材と、このナット部材を回転駆動する駆動手段とを備え、前記昇降軸部材は前記送りねじの下端部にベアリングを保持する保持部材を介して結合されており、前記送りねじのナット部材との連れ廻りを防止する廻り止め手段として前記昇降軸部材の外周にスプリング部材を装着し、このスプリング部材が前記保持部材を介して前記送りねじに上方向への付勢力を伝達することにより送りねじの連れ廻りを防止することを特徴とする電子部品の実装装置。
- 前記移載ヘッドに、前記吸着ノズルユニットを所定の基本ピッチで前記パーツフィーダの並設方向に直列に配列して成るノズル列が複数列設けられていることを特徴とする請求項１記載の電子部品の実装装置。
- 電子部品に当接して電子部品を吸着保持する吸着ツールと、下端部にこの吸着ツールが装着された昇降軸部材と、この昇降軸部材と結合されて共に昇降する送りねじと、この送りねじと螺合するナット部材と、このナット部材を回転駆動する駆動手段とを備え、前記昇降軸部材は前記送りねじの下端部にベアリングを保持する保持部材を介して結合されており、前記送りねじのナット部材との連れ廻りを防止する廻り止め手段として前記昇降軸部材の外周にスプリング部材を装着し、このスプリング部材が前記保持部材を介して前記送りねじに上方向への付勢力を伝達することにより送りねじの連れ廻りを防止することを特徴とする電子部品実装用の吸着ノズルユニット。
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