JP3662404B2 - ウエハシート引伸ばし装置およびそれを用いたペレットボンディング装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウエハリングに貼着されたウエハシートを引伸ばすウエハシート引伸ばし装置およびそれを用いたペレットボンディング装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
ウエハリングに保持され、半導体ペレット(以下、単に「ペレット」という)毎に分割されたウエハが貼り付けられたウエハシートからペレットを順次ピックアップし、リードフレームやキャリアテープ等の基板にボンディングする装置として、ペレットボンディング装置や、インナーリードボンディング装置がある。これらのボンディング装置では、ペレットのピックアップに先立って、ウエハシート引伸ばし装置を用いて、ウエハリングに保持されたウエハシートを引伸ばし、ウエハシートのたるみを取り除いたり、ペレット間に微小隙間を形成したりして、ペレットのピックアップ動作が良好に実施できるようにしている。従来、このようなウエハ引伸ばし装置として、例えば、特開平9−82783号公報に記載のものがある。
【0003】
このウエハシート引伸ばし装置は、ウエハシートを引伸ばす引伸ばし機構と、この引伸ばし機構を、引伸ばされたウエハシート面に直交する軸回りに回転させる回転機構と、引伸ばし機構をXY方向へ移動させるXYテーブルとを有して構成される。これら、引伸ばし機構、回転機構、XYテーブルは、それぞれ、モータやエアシリンダ等の駆動手段を有する。そして、ウエハリングがウエハシート引伸ばし装置に供給されると、引伸ばし機構がウエハシートを引伸ばし、引伸ばされたウエハシート上のウエハ(ペレット)の回転方向の位置ずれ量を撮像手段を用いて検出し、回転機構が、このずれを修正し、さらには、ウエハを複数の領域に分割してその領域毎にペレットをピックアップするような場合には、今回ピックアップ対象となる領域がピックアップ位置となるように回転位置を調整し、その後、ウエハリングをピックアップ動作に供する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述の引伸ばし装置においては、引伸ばし機構と回転機構とが、それぞれ専用の駆動手段を有する。そのため、個々の駆動手段を配置するスペースを確保する必要性から、装置が大型化するという不具合が生じる。しかも、引伸ばし機構の駆動手段は、ウエハリングが供給されたときの引伸ばし時、およびウエハリングを排出するときにおける引伸ばし状態のウエハシートの解放時に作動し、また、回転機構の駆動手段は、ウエハの回転ずれの修正時、あるいは、ペレットのピックアップ領域の変更時に作動するだけで、両駆動手段のペレットピックアップ動作(ペレットボンディング動作)中における稼働率は、XYテーブルの駆動手段の稼働率に比べて、きわめて少ない。このような、低い稼働率の駆動手段をそれぞれ専用に設けることは装置構成上無駄である。
【0005】
本発明は、小型で、しかも装置構成上無駄が少ないウエハシート引伸ばし装置およびペレットボンディング装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ウエハリングに保持されたウエハシートを引伸ばす引伸ばし機構と、該引伸ばし機構を回転自在に支持する回転機構とを、動力切換手段を介して単一の駆動手段に連結したことを特徴とする。
【0007】
本発明によれば、引伸ばし機構に供給されたウエハリングに保持されているウエハシートを引伸ばすとき、或いは、引伸ばされたウエハシートの引伸ばし状態を解放するときは、駆動手段を、動力切換手段を介して引伸ばし機構に連結し、引伸ばし機構で引伸ばされたウエハリングの回転位置を調整するときには、駆動手段を、動力切換手段を介して回転機構に連結する。従って、引伸ばし機構と回転機構の駆動手段を単一の駆動手段で兼用することができるので、両機構の駆動手段のために必要な配置スペースが小さくでき、装置を小型化できる。
【0008】
また、引伸ばし機構と回転機構の駆動手段を単一の駆動手段で兼用することができるので、両機構の駆動手段の稼働率を向上させることができ、無駄が少ない装置構成を得ることができる。
【0009】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図面を用いて説明する。図1は、本願発明に係るウエハシート引伸ばし装置の構成を示す正面断面図、図2は、図1のA−A断面図、図3は、図1の作動状態を示す図である。
【0010】
ウエハシート引伸ばし装置1は、引伸ばし機構2と、回転機構3と、駆動手段としてのモータ4と、動力切換手段5と、制御手段としてのCPU6とを有して構成される。
【0011】
引伸ばし機構2は、支持リング7と、引伸ばしリング8と、ネジ機構9とを有する。支持リング7は、半導体ペレット(以下、単に「ペレット」という)10毎に分割されたウエハ11が貼り付けられたウエハシート12を保持したウエハリング13を支持する。引伸ばしリング8は、支持リング7の上方に配置され、ウエハリング13に係合する係合凹部8aを備える。ネジ機構9は、支持リング7の中心に対して対称位置に配置され、支持リング7に対して引伸ばしリング8を上下動させる。そして、このネジ機構9は、ネジ軸14と、ネジ軸14の下端部14aに固定されたプーリ15とを有する。ネジ軸14は、支持リング7のフランジ部7aに形成された軸受け部16に回転自在に支持され、雄ネジ部14bが引伸ばしリング8に形成された雌ネジ部8bに螺合する。
【0012】
回転機構3は、不図示のXYテーブル上に載置された基台17と、回転リングとしての環状プーリ18とを有する。環状プーリ18は、その下半部が、基台17の上部に形成されたボス部17aにベアリング19を介して回転自在に連結され、上半部が、支持リング7の下部に形成されたボス部7bにベアリング20を介して回転自在に連結される。また、環状プーリ18の外周部には、後述の第1、2駆動ベルト22、23を巻き掛けるための溝部18aが形成される。
【0013】
モータ4は、基台17のフランジ部17bの下面に固定され、出力軸4aをフランジ部17bの上方へ突出させている。出力軸4aの先端部には、プーリ21が固定される。
【0014】
動力切換手段5は、第1駆動ベルト22と、第2駆動ベルト23と、ストッパ手段としての電磁ソレノイド24を有する。第1駆動ベルト22は、モータ4のプーリ21と環状プーリ18とに巻き掛けられる。第2駆動ベルト23は、ネジ機構9のプーリ15と環状プーリ18とに巻き掛けられる。また、第1、2駆動ベルト22、23は、張力付与機構25にて張力が付与される。ここで、各駆動ベルト22、23に設けられる張力付与機構25は、同一構造であるので、第2駆動ベルト23に設けられた張力付与機構25についてのみ説明し、第1駆動ベルトの張力付与機構25の説明は省略する。図2に示すように、張力付与機構25は、各プーリ15に対応して配置されており、それぞれ、一対の回転ローラ26と、この回転ローラ26を回転自在に支持し、かつフランジ部7aに形成された長孔27に位置調整自在に固定された支軸28とを有する。すなわち、張力付与機構25は、支軸28の、例えばボルト・ナットで構成される固定手段のナットをゆるめ、支軸28を長孔27の長手方向に沿って移動させることで、第2駆動ベルト23に付与する張力を調整できる。電磁ソレノイド24は、基部24aと、基部24aに対して突没するロッド24bを有し、基部24aを基台17の切欠き部17cに固定される。また、電磁ソレノイド24のロッド24bは、図1に2点鎖線で示すように、その突出状態において、待機位置に位置した支持リング7の凹部7cと係合する。なお、本実施の形態において、動力切換手段5は、その構成において、回転機構3の環状プーリ18を共用する。
【0015】
CPU6は、モータ4、および電磁ソレノイド24に対して電気的に接続されており、それぞれを適宜制御する。
【0016】
次に、作動について説明する。
【0017】
図3に示すように、ウエハリング13の供給に先立って、支持リング7は、待機位置に配置され、その凹部7cには突出されたロッド24bが係合される。また、引伸ばしリング8は、ウエハリング13の解放位置に配置される。
【0018】
ウエハリング13が、引伸ばしリング8の係合凹部8a内に供給されると、ウエハシート12の引伸ばし動作が開始される。
【0019】
引伸ばし動作にあたり、まず、モータ4が順方向に回転する。このとき、ロッド24bの係合により、支持リング7と基台17は相対回転不能とされているので、第1駆動ベルト22を介してモータ4にて回転される環状プーリ18は、支持リング7のボス部7b、および基台17のボス部17a回りに回転し、第2駆動ベルト23を介してプーリ15、すなわちネジ軸14を回転させる。このネジ軸14の回転により、図1に示すように、引伸ばしリング8が下降し、ウエハリング13が円環部7dの上面より下方に押し下げられ、これによりウエハシート12は、円環部7dの上面によって引伸ばされる。次に、撮像装置を用いた不図示の画像処理装置により、ペレット10の配列方向の傾きが検出され、CPU6は、この検出値に基いてウエハ12の回転方向の修正動作を行なう。
【0020】
回転方向の修正動作にあたり、図1に実線で示すように、まず、ロッド24bが下降され、支持リング7と基台17との相対回転が許容される。次に、モータ4が所定の方向に回転されて、ウエハ11の回転方向のずれが修正される。すなわち、モータ4が回転されると、第1駆動ベルト22を介して環状プーリ18が回転する。このとき、上述のように、支持リング7と基台17とは相対回転可能であるので、環状プーリ18の回転に伴って支持リング7が回転する。なお、支持リング7と環状プーリ18との間には、プーリ15と環状プーリ18とに巻き掛けられた第2駆動ベルトに付与された張力の作用による保持効果により、相対回転は生じない。
【0021】
ウエハ11の回転方向ずれの修正が完了すると、ウエハ11は、公知のペレットのピックアップ動作に供される。なお、ウエハ11を2等分、或いは4等分し、その分割した領域毎にペレット10をピックアップする場合には、上述の回転方向の修正動作と同時に、今回ピックアップの対称となる領域のピックアップ位置への配置動作を行なう。
【0022】
ペレットのピックアップ動作完了後、モータ4が所定方向に回転され、支持リング7が待機位置に位置決めされる。そして、電磁ソレノイド24が駆動され、ロッド24bが凹部7cに係合される。次に、モータ4が逆回転され、ウエハシート12の引伸ばし動作と逆の動作でウエハシート12の解放動作が行なわれ、引伸ばしリング8が解放位置に位置づけられる。この後、ウエハリング13が搬出され、新たなウエハリング13が供給された後、上述の動作を繰り返す。そして、最終のウエハリング13が排出されたならば、引伸ばし装置1の動作が停止される。
【0023】
上記の実施の形態によれば、引伸ばし機構2の駆動手段と、回転機構3の駆動手段とを単一のモータ4で兼用したので、両機構2、3の駆動手段のために必要な配置スペースを従来の約半分にでき、引伸ばし装置1を小型化できる。
【0024】
また、引伸ばし機構2の駆動手段と、回転機構3の駆動手段とを単一のモータ4で兼用したので、各機構2、3に専用の駆動手段を設けた場合に比べ、モータ4の稼働率を大幅に向上させることができ、無駄が少ない装置構成を得ることができる。
【0025】
また、引伸ばし機構2の駆動手段と、回転機構3の駆動手段とを単一のモータ4で兼用することで、基台17をXY方向に移動させるXYステージ上の荷重を低減でき、XYテーブルの慣性質量を小さくすることができる。その結果、XYテーブルの移動速度、並びに停止精度を向上させることができる。また、XYテーブルの駆動出力が小さくて済むため、XYテーブルの駆動源を小型化でき、よってXYテーブル自体を小型化することができ、さらには引伸ばし装置1を小型化することができる。
【0026】
なお、上記の実施の形態において、動力切換手段5を、ベルト22、23、プーリ18、および電磁ソレノイド24を用いて構成した例で説明したが、これに限定されるものではなく、動力切換手段5は、駆動手段の駆動力を必要に応じて引伸ばし機構2と回転機構3とに選択的に切換可能な構造であればよい。例えば、図4に示すように、歯車機構30を用いてもよい。
【0027】
図において、歯車機構30は、従動歯車31、32と、駆動歯車33とを有する。従動歯車31は、ネジ軸14の下端部14aに固定され、支持リング7のボス部7b外周にベアリング34を介して装着された環状歯車35に歯合する。従動歯車32は、基台17のフランジ部17bに突設された支軸36に回転自在に支持され、支持リング7のボス部7b下面に固定された環状歯車37に歯合する。そして、両歯車31、32は、同軸上に配置されるとともに、歯数を同一とされる。駆動歯車33は、モータ38に直結されたスプライン軸39にスライド可能に設けられるとともに、電磁ソレノイド40の係合爪41に係合される。電磁ソレノイド40はCPU6に接続されており、CPU6の指令に基づいて図4に2点鎖線で示す上位置と、実線で示す下位置とに切換えられ、これにより駆動歯車33の高さ方向位置を、従動歯車31との歯合位置と従動歯車32との歯合位置とに切換える。また、支持リング7は、基台17上にベアリング42を介して支持される。そして、ウエハシート12の引伸ばし動作、或いは解除動作を行なう際には、まず、電磁ソレノイド40を上位置に切換えて、駆動歯車33を従動歯車31と歯合させ、その後、モータ38を順方向、或いは逆方向に駆動させて、駆動歯車33、従動歯車31、並びに環状歯車35を介して各ネジ軸14を回転させ、引伸ばしリング8を上下動させる。また、ウエハ11の回転方向の修正動作を行なう際には、電磁ソレノイド40を下位置に切換えて、駆動歯車33を従動歯車32と歯合させ、その後、モータ38を所定の方向に回転させて、駆動歯車33、従動歯車32を介して環状歯車37を回転させ、支持リング7を所定の方向へ回転させる。このように構成することにより、上述の実施の形態と同様の効果が得られる。
【0028】
また、上記実施の形態において、動力切換手段5は、CPU6で制御される例で説明したが、必要に応じて作業者が手動操作で切換えるものでもよい。
【0029】
また、本発明において、ウエハシート12の引伸ばしとは、ウエハシート12に貼り付けられたペレット10の相互間に間隙が形成される程度に引伸ばすことのみならず、ウエハリング13に保持された状態のウェハシート12のたるみを除去する程度の引伸ばしをも意味する。
【0030】
【発明の効果】
本発明によれば、装置全体を小型化でき、しかも装置構成上の無駄が少なくできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るウエハシート引伸ばし装置の構成を示す正面断面図である。
【図2】図1のA−A断面図である。
【図3】図1の作動状態を示す図である。
【図4】本発明の他の実施の形態を示す図。
【符号の説明】
1 ウエハシート引伸ばし装置
2 引伸ばし機構
3 回転機構
4 モータ(駆動手段)
5 動力切換手段
6 CPU(制御手段)
7 支持リング
8 引伸ばしリング
9 ネジ機構
12 ウエハシート
13 ウエハリング
14 ネジ軸
15 プーリ
17 基台
18 環状プーリ(回転リング)
22 第1駆動ベルト
23 第2駆動ベルト
24 電磁ソレノイド(ストッパ手段)
Claims (5)
- ウエハリングに保持されたウエハシートを引伸ばす引伸ばし機構と、この引伸ばし機構を回転自在に支持する回転機構とを、動力切換手段を介して単一の駆動手段に連結し、
前記動力切換手段は、この動力切換手段によって前記駆動手段が前記引伸ばし機構と連結されたときには、前記駆動手段の順方向と逆方向との回転を前記引伸ばし機構に伝達し、
前記引伸ばし機構は、前記動力切換手段によって前記駆動手段と連結され、かつこの駆動手段が順方向に回転すると前記ウエハシートを引伸ばし、前記駆動手段が逆方向に回転すると前記ウエハシートを解放するように構成されてなることを特徴とするウエハシート引伸ばし装置。 - 前記駆動手段の駆動力を前記引伸ばし機構と前記回転機構とに選択的に供給するように前記動力切換手段を制御する制御手段をさらに有することを特徴とする請求項1記載のウエハシート引伸ばし装置。
- ウエハシートを保持したウエハリングを支持する支持リングと、この支持リングに対向して配置される引伸ばしリングと、前記支持リングと前記引伸ばしリングとを接離する方向に相対移動させるネジ機構とを有する引伸ばし機構と、
基台と、この基台および前記支持リングそれぞれに対して回転自在に連結される回転リングとを有する回転機構と、
駆動モータと、
この駆動モータの出力軸と前記回転リングとを連結する第1駆動ベルトと、
前記回転リングと前記ネジ機構の入力軸とを連結する第2駆動ベルトと、
前記基台と前記支持リングとの相対回転動を選択的に阻止するストッパ手段と、
このストッパ手段を制御する制御手段と
を有することを特徴とするウエハシート引伸ばし装置。 - ウエハシート引伸ばし装置を有するペレットボンディング装置において、
前記ウエハシート引伸ばし装置は、
ウエハリングに保持されたウエハシートを引伸ばす引伸ばし機構と、
この引伸ばし機構を回転自在に支持する回転機構と、
前記引伸ばし機構と前記回転機構とに動力切換手段を介して連結された単一の駆動手段とを有し、
前記動力切換手段は、この動力切換手段によって前記駆動手段が前記引伸ばし機構と連結されたときには、前記駆動手段の順方向と逆方向との回転を前記引伸ばし機構に伝達し、
前記引伸ばし機構は、前記動力切換手段によって前記駆動手段と連結され、かつこの駆動手段が順方向に回転すると前記ウエハシートを引伸ばし、前記駆動手段が逆方向に回転すると前記ウエハシートを解放するように構成されてなることを特徴とするペレットボンディング装置。 - 前記駆動手段の駆動力を前記引伸ばし機構と前記回転機構とに選択的に供給するように前記動力切換手段を制御する制御手段をさらに有することを特徴とする請求項4記載のペレットボンデング装置。
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