KR100226096B1

KR100226096B1 - 반도체장치 반송처리장치

Info

Publication number: KR100226096B1
Application number: KR1019970040340A
Authority: KR
Inventors: 유키오 간노; 도시유키 기요카와
Original assignee: 오우라 히로시; 가부시키가이샤 아드반테스트
Priority date: 1996-08-23
Filing date: 1997-08-23
Publication date: 1999-10-15
Also published as: US5812409A; GB2316536B; CN1063266C; TW336926B; GB9717740D0; KR19980018935A; JPH1058367A; SG66390A1; GB2316536A; DE19736622A1; CN1176214A; DE19736622C2

Abstract

반도체장치 반송처리장치는 트레이가 변형 또는 굽힘으로 인하여 기울어져도 일정 행정을 통하여 수직이동가능한 가동헤드(21)의 이용에 의하여 IC를 IC가 적재된 트레이로 부터 확실하게 파지하여 반송하기 위해 제공된다.

트레이(12)의 기울어짐은 4세트의 광학센서(24A-24D)로 구성된 자세계측수단(24)에 의해 측정되고, 기준레벨에 대한 트레이에 격납된 IC의 상면의 자세고저차가 자세고저차계산수단(28)에 의해 계산되고,그리고 이 계산된 자세고저차가 가세고저차 기억수단에 기억된다.

일단 픽업된 IC가 확인되면, 기준레벨에 관한 확인된 IC의 자세고저차는 판독되고, 트레이의 위치는 자세고저차수정수단(28C)에 의해 기준레벨에 따르도록 수직으로 이동되어 반송헤드가 IC를 픽업하는 것을 보장한다.

Description

반도체장치 반송처리장치

본 발명은 테스트될 반도체장치를 테스트부에 반송하고, 이 테스트된 반도체장치를 테스트부밖으로 운반하고 그리고 테스트 결과에 근거하여 이 반도체장치를 분류하기 위해 반도체장치를 테스트하는 반도체장치 테스트장치와 연관하여 이용하기에 적합한 반도체장치 반송처리장치(통상 처리기라함)에 관한 것이다. 보다 상세하게는 본 발명은 트레이상에 적제된 반도체장치를 반송헤드에 의해 트레이로부터 꺼내는 기술에 있어서의 개량에 관한 것이다.

소정된 패턴의 테스트 신호를 테스트될 반도체장치에 적용시킴으로써 반도체장치의 전기적 특성을 측정하는 여러 반도체장치 테스트장치, 특히 반도체장치의 통상 타입인 반도체집적회로(이후에 IC로 언급됨)의 전기적 특성을 측정하는 여러반도체장치 테스트장치(통상 IC테스터라함)는 반도체장치 반송처리장치를 일체적으로 연결하여 가지고 있다. 다음의 개시에서 본 발명은 설명의 편의를 위해 예에 의해 반도체장치를 IC타입으로 취함으로써 설명될 것이다.

도 4는 수평반송시스템으로 명명되는 종래의 반도체장치 반송처리장치(이후에 처리기로 언급됨)이 일예의 일반구조를 예시한다. IC가 각각 격납된 트레이의 복수의 그룹(2)이 이 도면에서 볼때 하측면(1A)을 따라 베이스로 구성된 가대(1)상에 배치된다. 각각의 트레이그룹(2A-2E)은 수직으로 하나 위에 다른 하나가 적재된 다수의 트레이(12)로 이루어져 있다. 이 도면에서 볼때 맨좌측 트레이그룹(2A)은 로더부에 위치되어 있다. 로더부에 있는 그룹(2A)의 트레이는 테스트될 IC로 적재된다.

X-Y반송아암수단(3A,3B)은 예를들면 로더부에서 적재된 트레이그룹(2A)의 맨위의 트레이로부터 하나의 IC를 한번에 꺼내어 소우크 스테이지로 명명되는턴테이블(4)상으로 반송한다. 턴테이블(4)에는 IC를 수용하기 위한 위치를 규정하도록, 정방형의 4변이 상방향의 경사면으로 에워싸여진 위치결정 오목부(5)가 등각간격으로 형성되고, 턴테이블(4)이 예시된 예에서 시계방향으로 1피치(하나의 위치결정 오목부(5)의 이송각도)만틈 회전할때마다. 반송아암수단(3A,3B)은 하나의 IC를 위치결정 오목부(5)들중 하나의 오목부내로 내린다. 보다 상세하게는 본예에서 X-Y반송아암수단(3A,3B)중 반송아암(3A)이 트레이(12)에서 테스트된 IC들중 하나를 파지하기에 적합하게된 반송헤드(3C)를 장착하고 있어서, 테스트될 파지된 IC가 X-Y방향으로 X-Y반송아암수단(3A,3B)의 이동에 의해 트레이(12)로부터 턴테이블(4)로 반송되도록 한다.

부호 6은 턴테이블(4)에 의해 이송되어온 IC를 테스트부(7)로 이송하는 콘택트아암인 로터리아암 수단을 나타낸다. 상세하게는 콘택트아암수단(6)은 턴테이블(4)에 있는 위치결정오목부(5)각각으로부터 IC를 픽업하여 테스트부(7)로 반송하기에 적하하게 되어 있다. 이 콘택트아암수단(6)은 반송헤드를 부착하여 각각 가진 3개의 아암을 가지고 있고 반송헤드에 의해 파지된 IC를 테스트부(7)로 3개의 아암의 회전에 의해 순차이송하고 테스트부(7)에서 테스트된 IC를 테스트부로부터 출구에 위치된 반송아암수단(8)에 순차이송하는 작동을 수행한다.

턴테이블(4), 콘택트아암수단(6)및 테스트부(7)가 일정온도챔버(9)(통상 챔버라고함)에 수납되어 있어 테스트될 IC가 소정된 온도에서 유지되면서 챔버(9)내에서 테스트를 받을 수 있도록 되어 있는 것에 주의된다. 일정온도챔버(9)의 내부는 소정된 고 또는 저 온도에서 유지되도록 온도가 유지되어 소정된 열응력이 IC에 적용되어 테스트되도록 한다.

테스트부의 출구측상의 반송아암수단(8)은 반송헤드를 부착하여 각각 가지고 있는 3개의 아암을 또한 가지고 있고, 반송헤드에 의해 파지된 테스트된 IC를 3개의 아암의 회전에 의해 언로더부로 이송하도록 구조되어 있다. 일정온도챔버(9)밖으로 빼낸 IC는 테스트결과 데이터를 근거로하여 분류되고 예를들면 언로더부에 위치된 3개 즉 트레이그룹(2C,2D,2E)들중 하나에 상응하게 저장된다. 예를들면, 불량의 IC는 맨우측 트레이그룹(2E)의 트레이에 저장되고 양품의 IC는 트레이그룹(2E)의 좌측에 있는 트레이그룹(2D)의 트레이에 저장되고, 재시험이 필요한 IC는 트레이그룹(20)의 좌측에 있는 트레이그룹(2C)의 트레이에 저장된다. 이러한 분류는 테스트결과 데이터를 근거로하여 제어되는 반송아암수단(10A,10B)에 의해 수행된다. 본예에서, 반송아암(10A)은 테스트된 IC들중 하나를 파지하여 원하는 트레이(12)에 반송하기에 적합하게된 반송헤드(10C)를 장착하고 있다.

맨좌측으로부터 제 2위치에 위치된 트레이그룹(2B)이 로더부에서 IC가 없는 트레이를 수납하기위해 버퍼부에서 위치된 빈트레이그룹이라는 것에 주의된다. 언로더부에 있는 트랙더미(2C,2D,2E)들중 어느 하나의 맨위의 트레이가 IC로 채워지면, 이 빈트레이그룹(2B)의 트레이가 IC를 저장하는데 사용될 대응 트레이더미의 상부로 이송된다.

도 4에 예시된 처리기에서, 턴테이블(4)이 동심원상에 형성된 IC를 수납하는 위치를 규정하기 위해 등각도 간격으로 이격된 위치결정오목부(55)의 단지 하나의 열을 가지고 있어 턴테이블(4)이 시계방향으로 1피치만큼 회전할때마다 반송아암수단(3A,3B)이 하나의 IC를 하나의 위치결정오목부(5)내로 위치시키는 한편, 도 5에 도시된 바와같은 다른 타입의 처리기에서는 턴테이블(4)이 동심원상에 형성된 등각으로 이격된 2개의 위치결정오목부(5)를 가진 것을 실제사용하고 있다. 후자의 경우에서의 배열은 X-Y반송아암수단(3A,3B)이 로더부에 위치된 트레이로부터 한번에 테스트된 2개의 IC를 이송하여 턴테이블(4)의 각각의 증분회전(1피치)을 갖고서 2개의 열의 상응하는 2개의 위치결정오목부(5)내로 위치시키도록 되어 있다.

도 5에 예시된 바와같은 처리기는 콘택트아암수단(6), 출구측에서의 반송아암수단(8) 및 반송아암수단(10)이 2개의 IC를 한번에 처리하게 적합하게 되어 있고 테스트부(7)가 2개의 IC를 한번에 접촉시험하도록 또한 구조되어 있는 것을 제외하고는 도 4에 도시된 것과 동일하다. 따라서, 도 5구성의 대응부들은 동일 부호로 표시되고 더 설명되지 않는다.

또한, 도 6에서 순서도로서 예시된 바와같은 수평반송시스템의 처리기는 사용자에 의해서 로더부(51)에 있는 커스터머트레이(유저트레이)(12)상에 미리 적재된 테스트중인 IC(56)가 고/저온도에 저항할 수 있는 테스트트레이(53)상에 반송되어 재적재되는 것으로 실질적으로 이용되고 있다. 그다음, 테스트트레이(53)는 일정온도챔버(9)와 언로더부(52)를 통하여 로더부(51)부터를 왕복하는 순환방식으로 이동된다. 특히, 소정된 패턴의 테스트신호가 일정온도챔버(9)내에서 테스트부(7)에 있는 트레이(14)상에 위치된 테스트중인 IC(56)에 적용되어 이 IC의 전기적 특성이 측정된다. 측정완료시 테스트트레이(53)상에 반송된 테스트된 IC는 테스트부(7)로부터 언로더부(52)로 반송되고 여기에서, 테스트된 IC는 테스트결과를 근거로하여 분류되고 테스트트레이(53)로부터 대응커스터머트레이(12)상으로 반송된다.

도 6에 구조가 잘 도시된 처리기에서, 도 4와 도 5에 도시된 구조의 처리기에서 사용된 X-Y반송아암수단(3A,3B)과 유사하게 구조된 X-Y반송아암수단(3A,3B)은 테스트될 IC를 커스터머트레이(12)로부터 로더부에 있는 테스트트레이(53)로 반송시키도록 채용되어 있다. 유사하게, 언로더에서 X-Y반송아암수단(10A,10B)과 유사하게 구조된 X-Y반송아암수단은 테스트트레이(53)로부터 언로더부에 있는 커스터머트레이(12)로 테스트된 IC를 반송시키도록 채용되어 있다.

테스트트레이(53)상에 위치된 테스트될 IC가 소정된 온도로 가열 또는 냉각되는 소우크 챔버인 챔버(54)와 그리고 테스트된 IC가 임계온도로 회복되는 출구챔버인 챔버(55)가 일정온도챔버(9)에서 입구측과 출구측 각각에 배치되어 있는 것이 도 6에 도시되어 있다. 통상, 소우크챔버(54)와 출구챔버(55)양자는 하나가 다른 하나에 적층된 복수(10개)의 테스트트레이(53)를 저장하도록 구조되어 있다.

도 4 및 도 5에 예시된 바와같은 구조의 처리기에서 사용된 트레이그룹(2A-2E)의 개개의 트레이(12)는 도 6에 예시된 바와같은 구조의 처리기에서 테스트된 IC를 저장하는데 사용된 트레이(12)와 테스트될 IC를 사용자에 의해서 위치시키는데 사용된 트레이(12)와 동일하다. 이들은 당해분야에서 커스터머트레이 또는 유저트레이로서 공지되어 있다. 이들 트레이(12)는 수지로 성형되어 있다. 즉, 이들은 수지성형부이다. 수지성형부가 온도에서 변화하고 시간과 함께 변함으로 인하여 변형되기 쉬울뿐만아니라 성형시 변형되기 쉬운 결점을 가지고 있는 것으로 공지되어 있다.

커스터머트레이(12)는 IC를 수납하기 위해 쇠창살 형태로 배열된 대다수의 오목포켓을 가진 컨테이너이다. 이 포켓에 IC가 저장되어 있는 커스터머트레이(12)는 로더부에 있는 트레이스탠드상에 놓여진다. 이 트레이스탠드는 수직이동가능 엘리베이터에 의해 바닥에 지지되어 트레이스탠드상에 반송된 트레이(12)가 엘리베이터에 의해 소정된 레벨위로 리프트되도록 한다. 도 4 및 도 5에 예시된 바와같이 구조된 처리기에서 IC가 그들 포켓에 저장되어 있는 커스터머트레이(12)가 트레이스탠드상에 수직더미로서 위치되어 있고 이에 반하여, 도 6에 도시된 바와같이 구조된 처리기에서 트레이의 더미보다는 오히려 단일의 커스터머트레이가 트레이스탠드상에 지지된다는 것을 이해하여야 한다.

트레이(12)에서 어떠한 변형이 있으면, 이 트레이는 트레이스탠드상에 놓여질때 기울어져 트레이의 IC지지면상의 자세고저차를 초래한다. 환언하면, 일부의 IC들이 트레이의 상대적으로 낮은 레벨(IC지지면)에 위치하는 한편 일부의 IC들이 동일 트레이의 상대적으로 높은 레벨(IC지지면)에 위치된다.

한편, 테스트될 IC를 로더부에 있는 트레이(12)로부터 파지하여 반송하는 X-Y반송아암의 반송헤드는 도시되지 않는 엘리베이터에 의해 소정된 행정(거리)을 통하여 내려가 반송헤드에 장착된 픽업헤드(통상진공픽업헤드)에 의해 트레이(12)에 있는 IC를 흡착하여 파지하는데 적합하게 되어 있다.

예로서 도 7에 예시된 바와같은 종래기술에서의 실예는 트레이스탠드(61)위의 소정된 위치에서 트레이(12)의 상부를 검출하는 광전도타입센서를 발광소자(광전자방출장치)(52)와 그리고 수평으로 마주하는 관계로 위치된 수광소자(63)를 함께 배치하고 있는데, 이 배열은 트레이(12)가 엘리베이터(64)에 의해 리프트될때 발광소자(62)로 부터 광을 차단하는 트레이(12)의 상부에 의해 트레이스탠드(61)상에 지지된 트레이의 상부의 위치가 검출되어, 엘리베이터(64)가 검출신호에 반응하여 정지하여 트레이스탠드(61)의 이동을 정지시켜서 이에 의해 소정된 위치에서 트레이(12)를 정지시키도록 되어 있다.

하지만, 상기된 구조를 가지고, 트레이(12)가 도 8에 도시된 바와같이 변형(경사)되면, 트레이(12)의 상부는 트레이상부의 일부(도면에서 볼때 좌측부)가 가령 화살표(96)에 의해 도시된 바와같이 트레이스탠드(61)의 상면으로 부터 위로 리프트될 정도로 편평하지가 않다. 결과적으로, 트레이 상부의 좌측끝이 화살표(97)에 의해 도시된 바와같이 정상적으로 있을때(변형되지 않을때)보다 높은 레벨에서 위치되기 때문에, 센서는 정상시보다 조기에 트레이(12)의 상부를 검출하여 트레이스탠드(61)가 정상정지위치보다 낮은 위치에서 정지된다.

결과적으로 도 6 및 도 5에 예시된 바와같은 처리기에서와 같이 2개 또는 그 이상의 픽업헤드로 반송헤드(3C)가 구비되어 있는 경우에, 반송헤드가 리프트수단에의해 소정된 행정을 통하여 가압되면, 픽업헤드들중 일부(도 8에서 91a로 표시됨)는 트레이(12)에 있는 IC를 거의 정상적으로 픽업할 수 있지만 픽업헤드들중 일부(도 8에서 91b로 표시됨)가 트레이(12)에 있는 IC를 성공적으로 픽업할 수 없는 장애가 야기된다. 더욱이, 반송헤드(3C)가 도 4에 잘 예시된 처리기에서와 같이 단일 픽업헤드로 구비되어 있는 경우에, 픽업헤드는 트레이(12)에 있는 상대적으로 높은 레벨에서 위치된 IC를 픽업할 수 있지만, 반송헤드(3C)의 하향행정으로 인하예 상대적으로 낮은 레벨에 위치된 IC를 픽업할 수가 없다.

상기된 바와같이, 트레이(12)가 트레이스탠드상에 경사지게 위치되면 트레이상에 놓인 테스트된 IC의 상면(실제적으로 IC패키지의 상면)과 반송헤드의 팁 사이의 틈은 반송헤드의 수직운동의 행정이 일정하기 때문에 특정 IC가 위치되는 트레이에 따라 가변할 것이다. 그 결과, 반송헤드는 IC를 도달시키는데 잘못으로 인하여 트레이상에 상대적으로 낮은 레벨에서 위치된 IC를 픽업하는데 있어서 때때로 성공할 수 없다. 하나가 다른 하나상에 적층된 다수의 트레이(12)로 구성된 트레이그룹(2A)이 로더부에 있는 트레이스탠드상에 위치되고 IC가 X-Y반송아암수단(3A,3B)의 반송헤드에 의해 맨위트레이(12)로부터 픽업되는 도 4 및 도 5에 예시된 바와같이 구조된 처리기에 있어서, 각각의 트레이에서 다소의 변형이 있으면, 모든 트레이의 자세고저차가 최악의 경우에 누진적으로 가산되어 보다 높은 단에 위치된 트레이가 보다 크게 경사지게 된다. 결과적으로 상기된 결점은 보다 현저하게 나타나게 된다.

그러므로, 상기된 결점을 극복하는 시도에 있어서, 소정된 위치에서 정지된 후 여분의 거리만큼 엘리베이터(64)를 이동시켜 트레이스탠드(61)를 보다 상향으로 리프트시켜서 반송헤드(3C)가 트레이(12)상에 테스트될 IC의 모두를 도달시키는 실행이 있어왔다. 이러한 배열이 트레이(12)상에서 테스트된 IC 모두를 반송헤드(3C)가 픽업할 수 있게 하여도, 상기 결점은 트레이(12)상에서 상대적으로 고레벨에서 위치된 테스트될 IC가 반송헤드와 함께 부식으로 인하여 손상되기 쉽거나 또는 테스트될 다른 IC를 충격으로 인하여 제위치밖으로 우발적으로 이동되기 쉬워 여전이 남아 있다.

이러한 이유로, 작은 질량 IC흡착패드가 제한된 수직이동을 위해 픽업헤드의 팁에 장착되어 픽업헤드의 정지위치로부터 IC의 상면까지의 거리의 변화가 흡착패드의 수직으로 가변가능한 행정에 의해 조절될 수 있는 처리기가 제공되어 왔다.

하지만, 트레이(12)에서 큰 변형이 있으면, 트레이에 저장된 IC는 트레이에 있는 IC의 위치에 따라 발생되는 매우큰 자세고저차를 빈번하게 수반하여 픽업헤드의 제한된 가변가능한 행정에 의해 조절될 수 없다. 또한, 여러단으로 적층된 다수의 트레이로 구성된 트레이그룹의 경우에, 맨위 트레이의 기울어짐은 상기된 바와같이 누진적으로 증대되어 승강의 차이가 흡착패드의 제한된 가변가능한 행정이 착수하기에는 너무크다는 문제를 남게한다.

이러한 관점에서, 레이저빔을 투영하여 일정거리르 측정하는 거리측정 센서로 구비된 픽업헤드를 제공하는 것이 제안되어져 왔다. 이 거리측정센서는 픽업된 IC의 상면과 픽업헤드사이의 거리를 검출하여 픽업헤드의 레벨을 수정하여서 거리를 일정하게 하여 픽업헤드가 IC를 일정행정을 가지고 항상 흡착하기에 적합하게 되어 있다.

하지만, 이 시스템은 값비싼 센서의 이용을 필요로 하여 초기비용에서 큰 증가를 초래한다.

본 발명의 목적은 트레이가 변형 또는 기울어져도 트레이상에 위치된 반도체장치를 확실하게 파지하여 반송할 수 있는 반도체장치 반송처리장치를 제공하는 것이다.

본 발명에 따라, 상기된 목적은 반송헤드가 복수의 반도체장치를 적재하고 있는 트레이밖으로 하나 또는 그 이상의 반도체장치를 파지하여 원하는 위치로 반송하는 반도체장치 반송처리장치를 제공함으로써 성취되는데, 상기 장치는: 트레이의 자세를 측정하는 자세계측수단; 자세계측수단에 의해 결정된 자세값을 근거로하여 트레이상에 적재된 복수의 반도체장치의 레벨과 기준자세값과의 사이의 차이를 계산하는 자세고저차계산수단; 반도체장치의 레벨과 기준자세값 사이의 자세고저차계산수단에 의해 계산된 자세고저차를 기억하는 자세고저차 기억수단; 일단 특정 반도체장치가 확인되면 자세고저차기억수단으로부터 기준자세값에 관하여 반송헤드에 의해 반송될 특정 반도체장치의 자세고저차를 판독하는 수단; 그리고 자세고저차기억수단으로 부터 판독될때의 기준자세값에 관한 장치의 자세고저차를 근거로하여 기준자세값과 같게 되도록 확인된 반도체장치의 레벨을 수정하는 자세고저차수정수단으로 구성되어 있다.

트레이는 수직으로 이동가능한 트레이스탠드상에 지지되고 자세고저차수정수단은 자세고저차기억수단으로부터 판독된 기준자세값에 관한 자세고저차를 근거로하여 기준자세값과 일치시키도록 트레이상의 확인된 반도체장치의 레벨을 수정하기 위해 트레이스탠드를 수직으로 이동시키는 엘리베이터수단을 작동시키도록 구조되어 있다.

바람직한 실시예에서, 트레이그룹은 여러단으로 수직으로 적층된 다수의 트레이로 구성되고, 복수의 반도체장치를 반송하는 각각의 트레이는 수직으로 이동가능한 트레이스탠드상에 지지된다. 반송헤드는 맨위트레이상에 위치된 반도체장치를 원하는 위치로 반송하는데 적합하게 되어 있고 자세고저차 수정수단은 트레이스탠드를 수직으로 이동시키는 엘리베이터수단을 작동시켜 맨위트레이상에 있는 확인된 반도체장치의 레벨을 수정하여 자세고저차 기억수단으로부터 판독될때의 기준자세값에 관한 자세고저차를 근거로하여 기준자세값과 일치시키도록 구조되어 있다.

자세계측수단은 4세트의 광학센서로 구성되고, 각각의 세트는 소정된 위치에 위치된 발광소자와 수광소자를 포함하고 있어, 트레이스탠드상의 트레이그룹의 맨위트레이의 4개의 모서리중 하나의 레벨을 검출할 수 있도록 한다.

자세계측수단은 트레이스탠드가 트레이스탠드상의 트레이그룹을 리프트하도록 엘리베이터수단에 의해 이동되는 동안에, 트레이그룹의 맨위트레이의 4개의 모서리가 상응하는 광학센서의 발광소자로부터 방사된 광선을 차단하는 순서를 검출하여 광의 제 1차단에서 제 2차단으로, 광의 제 2차단에서 제 3차단으로, 그리고 광의 제 3차단에서 제 4차단으로의 상향운동에서의 트레이에 의해 주행된 거리를 결정하기에 적합하게 되어 있다.

반송헤드는 반송용트레이에 있는 반도체장치를 흡착하여 파지하도록 각각이 구조된 하나 또는 그 이상의 픽업헤드로 구비된다. 픽업헤드는 수직운동을 위해 하부에 흡착패드를 장착하여 가지고 있고, 자세고저차수정수단은 자세고저차 기억수단으로부터 판독된 기준자세값에 관한 자세고저차를 근거로 하여 기준자세값과 일치시키도록 트레이에 위치된 확인된 반도체장치의 레벨을 수정하여 반송헤드가 소정된 거리만큼 내려와 트레이에 있는 확인된 반도체장치를 픽업할때 흡착패드의 전방끝이 트레이에 있는 확인된 반도체 장치의 상면과 접촉하게 되도록 구조되어 있다.

변경적으로 자세고저차 수정수단은 자세고저차 기억수단으로 부터 판독된 기준자세값에 관한 자세고저차를 근거로하여 기준자세값과, 일치시키도록 트레이에 위치된 확인된 반도체장치의 레벨을 수정하여 반송헤드가 소정된 거리만큼 내려와 트레이에 있는 확인된 반도체장치를 픽업할때 픽업헤드의 전방끝이 트레이에 있는 확인된 반도체장치의 상면과 약간 접촉하게 되도록 구조될 수 있다.

수정된 실시예에서, 자세계측수단은 3세트의 광학센서로 구성되는데 이중 2세트의 광학센서는 소정된 위치에 위치된 발광소자와 수광소자를 포함하고 있어 트레이의 대각으로 마주한 2개의 모서리의 레벨을 측정하는 한편, 나머지 한세트의 광학센서는 소정된 위치에 위치된 발광소자와 수광소자를 포함하고 있어 트레이의 마주하는 2개의 측면에 수직하고 트레이의 중앙을 관통하는 방향에서 볼때의 트레이의 레벨을 측정할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 반도체장치 반송처리장치의 일실시예의 주요부 구조를 예시하는 개략일부 단면측면도,

도 2는 제 1도의 반도체장치 반송처리장치에 이용되는 자세계측수단의 일예를 예시하는 평면도,

도 3은 제 1도의 반도체장치 반송처리장치에 이용되는 제어기의 일예를 예시하는 평면도,

도 4는 본 발명이 적절하게 적용될 수 있는 종래의 반도체장치 반송처리장치의 일예를 예시한 평면도,

도 5는 본 발명이 적절하게 적용될 수 있는 종래의 반도체장치 반송처리장치의 다른 일예를 예시한 평면도,

도 6는 본 발명이 적절하게 적용될 수 있는 종래의 반도체장치 반송처리장치의 또 다른 일예를 예시한 순서도 형태의 다이아그램,

도 7은 트레이의 상부를 검출하는 종래의 시스템의 일예를 예시하는 개략 측면도, 그리고

도 8은 도 7에 도시된 트레이 상부검출시스템의 이용에 따른 문제점들을 예시하는 트레이의 개략측면도.

도 1은 본 발명에 따른 반도체장치 반송처리장치(처리기)의 실시예의 주요부의 구조를 예시하는 부분단면도이다. 이것은 본 발명이 도 4에도시된 타입의 반도체장치 반송처리장치에 적용된 실시예 이다.

단으로 수직으로 적층된 다수의 트레이(12)로 구성된 트레이그룹이 예를들면 랙(13)과 피니언(14)으로 구성된 엘리베이터(15)에 의해 차례로 수직운동을 위해 지지되는 트레이스탠드(11)상에 놓인다. 특히 트레이스탠드(11)는 트레이상에적재된 모든 IC가 꺼내어질때 트레이스탠드(11)상에서 지지된 트레이더미의 맨위 트레이(12)가 제거될때마다 하나의 트레이 높이만큼 리프트되도록 구조되어 있고, 이것에 의해 트레이그룹의 맨위 트레이(12)는 항상 일정한 위치에 유지될 수 있다.

트레이스탠드(11)위에는 X-Y방향으로 가동되는 반송헤드(21)(도 4 및 도 5에 도시된 처리기의 반송헤드(3C)에 상당함)가 배치되어 있다. 반송헤드(21)의 상부로 부터 뻗어 있는 것은 공기실린더(19)가 아래에 체결되어있는 아암(21A)이다. 공기실린더(19)는 도시되지 않은 가압공기공급원과 연결되고 먼끝이 픽업헤드지지부(20)의 상부에 고정되는 피스톤 로드(19P)를 포함하고 있어서 공기실린더(19)의 작동은 피스톤로드(19P)가 일정한 거리만큼 픽업헤드지지부(20)를 낮추게 한다.

본 실시예에서 픽업헤드지지부(20)의 바닥에 장착된 것은 하나의 픽업헤드(16)이다. 픽업헤드(16)는 본 실시예에서 진공의 작용으로 물품을 유인하여 집는 타입인 한편 물품을 흡착 및 파지를 위해 진공과 다른 수단을 이용하는 다른 타입의 픽업헤드를 채용할 수 있다. 픽업헤드지지부(20)는 수직으로 뻗어 있는 Z축 가이드(17)와 미끄럼가능하게 결합되고 그리고 지지부(20)의 한쪽에 뻗어 있는 가이드 부재(20G)에 의해 공기실린더(19)의 작동으로 안정된 방식으로 Z축방향으로(수직으로)수직 운동한다.

스프링(18)은 픽업헤드지지부(20)의 상부와 반송헤드(21)의 아암(21A)의 밑면 사이에 배치되어 그들에 연결되어 통상 지지부(20)를 상향으로 가압한다. 그러므로 픽업헤드(16)가 트레이(12)에서 테스트중인 IC의 상면과 맞물려 픽업하도록 공기실린더(19)의 작동에 의해 픽업헤드지지부(20)가 소정의 거리만큼 하강한후 공기실린더(19)가 비작동 될때, 픽업헤드지지부(20)는 스프링(18)의 인장하에 원위치로 상승하고 이것에 의해 픽업헤드(16)로 잡혀진 IC가 트레이(12)로부터 꺼내진다.

수직으로 가동되는 흡착패드(16A)가 예시된 실시예에서 픽업헤드(16)의 하부끝에 장착되지만, 이러한 흡착패드는 누락될 수 있다. 흡착패드(16A)는 예를들면 고무 또는 금속으로 형성되고 그리고 하부끝 근처의 픽업헤드(16)에 형성된 전체적으로 원통형인 공동(16C)에 여유롭게 수용된 상부 플랜지부(16B)를 갖추고 있다. 공동(16C)의 수직길이는 흡착패드(16A)의 상부 플랜지부(16B)가 공동(16C)의 상부벽에 대하여 접합함에 따라 흡착패드(16A)의 하부끝이 픽업헤드(16)의 하부끝과 실제로 같은 높이가 되도록 하는 크기로 되어 있다. 흡착패드(16A)의 하부끝은 상부 플랜지부(16B)의 아래가 공동(16C)의 바닥벽과 접촉하여 픽업헤드(16)가 자중으로 하강하기 때문에 픽업헤드(16)의 하부끝으로 부터 통상 돌출한다. 즉, 가벼운 흡착패드(16A)는 단지 자중에 의해서만 하향한다.

진공펌프수단(도시생략)에 의해 적용된 흡착력에 의해 흡착패드(16A)가 테스트된 IC를 흡착하여 픽업헤드(16)의 하부끝이 IC의 상면과 결합될때, 흡착패드(16A)는 플랜지부가 공동(16C)의 상부벽에 대하여 접합할때까지 흡착력하에서 위로 움직인다. 테스트중인 IC는 그러므로 픽업헤드(16)의 하부끝과 접촉하는 한편 진공이 유인되어 흡착패드(16A)에 의해 잡혀진다.

X-Y방향으로 가동되는 반송헤드(21)는 스크루샤프트 또는 리드스크루(22)(도 4 및 도 5에 도시된 반송아암(3A)에 상당함)에 의해 X방향(도 1에 도시된 바와같이 도면의 평면에 대해 수직)으로 움직인다. 23은 샤프트(22)에 대한 반송헤드(21)의 회전을 방지하는 가이드 샤프트이다.

상술한 바와같이, 트레이스탠드(11)에서 단으로 적층된 다수의 트레이(12)로구성된 트레이그룹(2A)의 경우에, 각각의 트레이에 변형이 있으면, 더 높은 단에 위치된 트레이는 더 큰 경사를 갖추고 있고 자세고저차는 누진적으로 가산된다. 물론, 하부 또는 중간 단의 하나 이상의 트레이에서 변형이 있으면, 트레이더미(2A)의 맨위 트레이는 상당히 경사진다. 도 1은 모든 또는 상당히 많은 트레이가 올라가면서 전체적으로 우측이 좌측보다 상당히 더 높게 되어 트레이그룹(2A)이 트레이스탠드(11)에 지지되는 실시예를 예시하고 있다. 도 1에서 참조번호 25는 트레이그룹(2A)의 맨위 트레이의 가장 높은 부분에 의해 닿은 수평면을 나타내고 있다.

본 발명에 따라서 트레이그룹(2A)의 맨위 트레이(12)의 자세를 측정하기 위한 자세계측수단(24)이 구비되어 있다. 트레이(12)상에 위치된 복수의 반도체장치의 레벨은 기준레벨과 비교되어 검출된 자세측정을 근거로 기준레벨에 대하여 자세고저차를 계산한다. 그러므로 계산된 자세고저차는 기억수단에 미리기억된다. 그리고 트레이(12)상의 꺼내지는 특정 반도체장치의 레벨은 기억된 자세고저차를 근거로 트레이스탠드(11)를 상하향으로 움직이므로서 기준레벨과 동일하게되도록 수정된다.

자세계측수단의 일예가 도 2에 도시되어 있다. 본 실시예에서, 자세계측수단(24)은 맨위 트레이(12)의 4개의 모서리중 관련된 하나의 모서리의 레벨을 검출할 수 있도록 트레이그룹(2A)의 맨위 트레이(12)의 가장 높은 부분이 닿는 수평면(25)(도 1참조)에 위치하는 발광소자(T)와 수광소자(R)를 각각 포함하고 있는 4세트의 광학센서(24A-24D)로 구성되어 있다.

트레이스탠드(11)에 트레이그룹(2A)을 놓기 위해 트레이스탠드(11)가 엘리베이터(15)에 의해 움직이는 과정에서, 상기한 바와같이 구성된 자세계측수단은 트레이(12)의 4개의 모서리가 대응 광학센서(24A-24D)의 발광소자(T)로부터 방사된 광선(OP)을 차단하는 순서를 검출하고 그리고 광의 제 1차단으로부터 제 2차단으로, 제 2차단으로 부터 제 3차단으로, 그리고 제 3차단으로부터 제 4차단으로 상향운동으로 트레이에 의해 이송된 거리를 결정할 것이다.

상기한 바와같이, 각각의 광학센서(24A-24D)는 발광소자(T)와 수광소자(R)로 구성되는데 이것은 관련된 발광소자(T)로 부터 투영된 광선(OP)이 도 1에 도시된 수평면(25)을 따라 맨위 트레이(12)의 대응 모서리를 가로질러 통과하고 관련된 수광소자(R)에 의해 수신되도록 위치된다. 이러한 장치로, 트레이(12)가 점차위로 움직이면서, 경사진다면, 트레이(12)의 가장 높은 모서리는 제 1대응광학센서로 부터 광선(OP)을 차단하고, 그리고 트레이(12)의 두번째 높은 모서리는 제 2대응광학센서로 부터 광선(OP)을 차단한다. 이러한 방식으로 광의 차단이 발생하는 순서를 검출함으로서 트레이(12)의 경사의 방향을 알 수 있다. 또한, 4개의 모서리 사이의 자세고저차는 광의 연속차단사이에서 트레이에 의해 상향으로 이송하는 거리를 결정하므로서 알 수 있다.

광의 연속적인 차단사이에서 상향으로 이송하는 거리는 예를들면 펄스모터에 의해 엘리베이터(15)의 부분을 구성하는 피니언(14)을 구동하여 펄스모터에 적용된 펄스의 수를 계산함으로써 결정될 수 있다.

트레이의 4개의 모서리사이에서 자세고저차를 측정하므로서, 트레이(12)에 수용된 IC의 상면사이의 레벨의 차이(예를들면, 트레이(12)에서 가장 높은 IC의 상면과 다른 IC의 상면 사이의 자세고저차)를 계산할 수 있다. IC사이에서 이렇게 계산된 자세고저차는 기억수단에 미리 기억된다. IC의 실제반송시에 픽업헤드(16)가 잡으려고 하는 테스트된 특정 IC가 확인될때, 테스트될 확인된 IC의 상면의 자세고저차는 기억수단으로부터 판독되고, 맨위 트레이(12)는 픽업헤드(16)가 잡으려고 하는 IC의 상면의 레벨과 픽업헤드(16)사이의 거리가 미리 설정된 일정한 거리와 동일해질때까지 트레이의 위치를 수정하도록 판독되는 자세고저차에 따라서 엘리베이터(15)를 제어하므로서 상하이동된다.

도 3은 자세계측수단에 의해 결정된 자세값을 근거로 한 기준자세값과 트레이(12)에서 복수의 IC의 상면의 레벨사이의 차를 계산하고 계산된 자세고저차에 따라서 수직으로 트레이스탠드(11)를 이동시켜 픽업헤드(16)와 테스트될 IC의 레벨사이의 거리를 제어하여 거리가 미리설정된 일정한 거리와 동일하게 되게 하는 제어기의 일예에 대한 회로구성을 예시하고 있다.

제어기(25)는 예를들면 마이크로컴퓨터로 구성될 수 있다. 당업계에서 잘아는 바와같이, 마이크로컴퓨터는 중앙처리장치(CPU)(27), 소정의 시컨스로 중앙처리장치(CUP)(27)를 작동시키기 위한 프로그램을 기억하는 리드-온리메모리(ROM)(28), 외부로 부터 입력된 데이타를 임시로 기억하기 위한 판독가능한 랜덤-어세스 메모리(RAM)(29), 자세계측수단(24)의 광학센서(24A-24D)의 4세트의 수광소자(R)로부터 검출신호가 입력되는 입력포트(30), 그리고 제어신호가 출력되는 출력포트(31)로 구성되어 있다.

출력포트(31)로 부터 출력된 제어신호는 엘리베이터(15)를 구동하기 위한 펄스모터(32)에 적용된 펄스신호인데, 이 펄스신호는 또한 제어기(26)에 입력되어 맨위 트레이에 의해 위로이송한 거리를 결정하는데 사용된다.

제어기(26)의 작동을 설명한다. 트레이스탠드(11)상에서 트레이그룹(2A)의 맨위 트레이(12)가 비워져서 다른 스테이션(버퍼섹션)으로 이송되면 ROM(28)에 포함된 리프트 제어수단(28A)(ROM(28)에 미리 기억된 프로그램에 의해 구성됨)은 작동되어 펄스모터(32)에 출구포트(31)를통해 펄스신호를 공급하고, 이것에 의해 펄스모터(32)는 구동되어 엘리베이터(15)를 작동시켜 트레이스탠드(11) 그리고 트레이그룹(2A)을 상승시킨다. 트레이그룹(2A)의 상향운동시, 자세계측수단(24)으로 부터의 검출신호는 모니터된다.

먼저, 엘리베이터(15)는 작동되어 광학센서(24A-24D)중 임의의 하나로 부터의 검출신호가 입력포트(30)에 입력될때까지 트레이그룹(2A)을 상승시킨다. 엘리베이터(15)는 더 작동되어 제 2광학센서로 부터의 검출신호가 입력포트(30)에 입력될때까지 트레이그룹(2A)을 상승시키고 이에 따라 제 1검출신호가 입력되는때로 부터 제 2검출신호가 입력되는때까지 발생된 펄스의 수가 RAM(29)에 기억된다. 유사한 방식으로, 엘리베이터(15)는 더 작동되어 제 3광학센서로부터의 검출신호가 입력포트(30)에 입력될때까지 트레이그룹(2A)을 상승시키고 이에따라 제 2검출신호가 입력되는때로 부터 제 3검출신호가 입력될때까지 발생된 펄스의 수가 RAM(29)에 기억된다. 최종(제 4)광학센서로부터 검출신호가 입력포트(30)에 입력됨에 따라, 제 3검출신호가 입력되는 때로부터 제 4검출신호가 입력되는 때까지 발생된 펄스의 수는 RAM(29)에 기억된다.

일단 4개 세트의 광학센서(24A-24D)로부터의 검출신호가 모두 제어기(26)에 압력되면, 펄스의 펄스모터(32)로의 공급은 종료되며 이에따라 엘리베이터(15)는 트레이그룹(24)을 올리는 것을 중지하도록 정지된다.

다음에, ROM(28)내에 포함된 자세 고저차계산수단(28B)은 맨위 트레이(12)의 상승동작의 개시와 정지사이에서 입력포트(30)에 입력된 데이터에 따라 트레이(12)위의 IC의 상면사이의 위치의 고저차를 계산한다. 예컨대 계산은 트레이(12)위의 모서리와 가장 높은 모서리로부터 테스트된 각각의 IC까지의 거리 사이의 위치의 고저차에서 행해질 수도 있다. 또는 대안적으로 IC의 상면사이의 위치의 고저차는 4개 세트의 광학센서(24A-24D)로 부터의 검출신호에 의해 발생된 상술한 펄스의 수로부터 3차원(X,Y,Z)좌표상에 가상 트레이를 그리므로써, 예컨대 좌표상의 기준점을 광학센서에 의해 처음 검출된 트레이의 모서리의 높이에 설정함으로써, 그리고 기준점과 픽업헤드(16)에 의해 흡착되도록 테스트될 IC의 좌표상의 점 사이의 Z축선(수직축선)방향에서 거리차를 계산함으로써 산출될 수도 있다.

고저차계산수단(28B)에 의해 산출된 IC의 상면 사이의 자세고저차는 RAM(29)내에 포함된 자세고저차 기억수단(29A)내에 사전기억되어 있다. 그리고 트레이밖으로 테스트될 IC를 실제로 반송시 픽업헤드(16)가 흡착하려는 테스트될 특정 IC가 확인되었을 때 ROM(28)내에 포함된 자세고저차수정수단(28C)은 픽업헤드(16)에 의해 흡착된 확인된 IC의 상면의 자세고저차를 자세고저차기억수단(29A)으로부터 판독하도록 작동하며 판독된 자세고저차를 수정하기에 필요한 펄스의 수는 계산되며, 산출된 펄스는 출력포트(31)를 통해 펄스모터(32)에 공급된다. 따라서 엘리베이터(15)는 펄스의 수에 상응하는 거리만큼 트레이스탠드(11)를 수직으로 이동시켜 이에 의해 트레이스탠드(11)상의 트레이(12)의 레벨을 수정하도록 작동된다.

이 수정은 픽업헤드(16)의 전방끝과 IC의 상면사이에서 거리가 생기게하며, 흡착하려는 픽업헤드(16)는 사전 설정된 고정값(기준값)과 동일하게 된다. 따라서 트레이스탠드(11)의 정지위치는 픽업헤드(16)의 소정이 거리만큼의 하방이동으로 픽업헤드(16)의 하부끝부에 부착된 흡착패드(16A)의 전방끝부를 흡착패드가 흡착하려는 IC와 약간 접촉시킬 수 있도록 제어될 수도 있다는 것을 이해할 것이다.

흡착패드만을 흡착하려는 IC의 상면과 약간 접촉시킴으로써 흡착패드(16A)에 의해 테스트 받으려는 IC를 흡착하는 상술한 방법이외에, 픽업헤드(16)를 IC의 상면과 약간 접촉시킴으로서 픽업헤드(16)에 의해 테스트를 받으려는 IC를 흡착하는 방법과 같이 픽업헤드(16)에 의해 테스트를 받으려는 IC를 흡착하는 다양한 방법이 있으며, IC의 상면에 픽업헤드(16)를 가압함으로써 픽업헤드(16)에 의해 테스트를 받으려는 IC를 흡착하는 방법이 있다는 것에 주의해야 한다. 마지막 언급한 방법의 경우에, 픽업헤드(16)를 하방으로 가압하는 양은 정확하게 제어되어야 하는데 과다한 양의 압력은 테스트를 받을 IC를 손상시킬 수도 있기 때문이다.

전술한 실시예에서 자세계측수단(24)은 4개 세트의 광학센서(24A-24D)로 구성되는 것으로 설명되는 한편 트레이의 자세를 측정하는 만족한 기능을 가진 3개 세트의 광학센서로 구성될 수도 있다. 이 경우에 바람직하게는 광학센서세트중 2개는 트레이의 대각선으로 대향한 2개의 모서리의 레벨을 측정할 수 있도록 위치되어 있는 한편 나머지 세트는 트레이의 중심주위를 통과하는 방향에서 그리고 트레이의 대향한 2개 측면에 거의 수직인 방향에서 보았을때 트레이의 레벨을 측정할 수 있도록 위치되어 있다.

더구나 전술한 설명에서 본 발명의 송신타입의 광학센서가 사용되어 있는 경우를 참조로 하여 설명되는 한편 광선이 트레이(12)의 모서리상에 투사되어 모서리로부터 반사된 광선이 거리를 측정하도록 검출하는 반사식 광학센서를 사용함으로써 트레이(12)의 자세가 또한 측정가능한 것이다. 또한 광학센서가 단일 평면내에 불필요하게 위치되어 있다 하더라도 산수작업에 의해 트레이의 자세를 측정하는 것이 가능하다는 것에 주의해야 한다.

더욱이, 예시된 실시예에서 본 발명은 높이의 측정이 도 4 및 도 5에 예시된 바와같은 처리기에서와 같이 트레이스탠드(11)상에 지지된 트레이더미(2A)의 맨위트레이(12)상에서 행해지는 경우와 관련하여 설명되는 한편 본 발명은 단일 트레이(12)가 도 6에 도시된 바와같은 처리기에서와 같이 트레이스탠드(11)상에 배치되어 있는 경우에 동일한 기능상의 이점을 가지고 또한 적용될 수 있다는 것이 당해업자에게는 명백해질 것이다.

게다가, 전술한 실시예에서 본 발명은 IC를 반송하여 처리하기 위한 처리기에 적용되는 한편 본 발명은 이들 장치가 반송헤드에 의해 반도체 장치가 트레이 밖으로 반송되는 타입의 처리기인 한은, IC이외의 반도체장치를 반송하여 처리하기 위한 처리기에 동일한 기능상의 이점을 가지고 똑같이 적용될 수 있다는 것은 당연하다.

마지막으로 전술한 실시예는 본 발명이 로더부에서 트레이(12)밖으로 반도체장치를 반송하는데 적용되는 경우와 관련하여 예시되는 한편, 본 발명은 로더부에서 사용되는데 한정되지 않고 변형되기 쉬운 모든 트레이밖으로 반도체장치를 제거시키는데 적용될 수 있다는 것이 당해 업자에게는 명백하다.

위에서 검토된 바와같이 반송헤드가 반도체장치를 잡아서 트레이스탠드상에 놓인 트레이 밖으로 반송하는 반도체장치 반송처리장치에 있어서, 트레이의 자세가 변형 및/또는 비틀림으로 인해 경사져 있어도 본 발명은 트레이상의 반도체장치의 상면사이의 경사로 인해 발생되는 모든 고저차를 수정하며 항상 일정한 값으로 유지될 수 있도록 반송헤드의 전방끝부와 반도체장치의 상면사이의 거리를 제어하기 위해 제공되어 있어, 그 결과 반송헤드의 일정한 거리만큼의 하강 행정은 반송헤드가 이 장치상에 어떠한 과대한 압력을 가하지 않고서도 트레이상의 모든 위치에 놓인 반도체 장치를 확실히 잡을 수 있는 위치에서 반송헤드의 전방끝부가 항상 정지되는 것을 보장한다.

따라서 본 발명은 반송헤드가 트레이상의 어떤 위치에 놓인 반도체장치를 흡착할 수 없는 문제뿐만 아니라 반송헤드와의 충돌로 인해 반도체장치상에 발생된 손상과 파손의 사고로 부터 피할 수 있는 고도의 신뢰성 있는 반도체장치 반송처리장치를 제공하는 이점을 발생시키는 것을 이해할 것이다.

Claims

반송헤드가 복수의 반도체장치를 적재하고 있는 트레이밖으로 하나 또는 그 이상의 반도체장치를 파지하여 원하는 위치로 반송하는 반도체장치 반송처리장치에 있어서, 상기 장치는:

상기 트레이의 자세를 측정하는 자세계측수단;

상기 자세계측수단에 의해 결정된 자세값을 근거로하여 상기 트레이상에 적재된 복수의 반도체장치의 레벨과 기준자세값과의 사이의 차이를 계산하는 자세고저차계산수단;

반도체장치의 레벨과 상기 기준자세값 사이의 자세고저차계산수단에 의해 계산된 자세고저차를 기억하는 자세고저차 기억수단;

일단 상기 특정 반도체장치가 확인되면 상기 자세고저차기억수단으로부터 상기 기준자세값에 관하여 상기 반송헤드에 의해 반송될 특정 반도체장치의 자세고저차를 판독하는 수단; 그리고

상기 자세고저차기억수단으로 부터 판독될때의 기준자세값에 관한 상기 장치의 자세고저차를 근거로하여 상기 기준자세값과 같게 되도록 상기 확인된 반도체장치의 레벨을 수정하는 자세고저차수정수단을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 반도체장치 반송처리장치.
제 1 항에 있어서, 트레이는 수직으로 이동가능한 트레이스탠드상에 지지되고 상기 자세고저차수정수단은 상기 자세고저차기억수단으로부터 판독된 기준자세값에 관한 자세고저차를 근거로하여 상기 기준자세값과 일치시키도록 상기 트레이상의 상기 확인된 반도체장치의 레벨을 수정하기 위해 상기 트레이스탠드를 수직으로 이동시키는 엘리베이터수단을 작동시키도록 구조되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체장치 반송처리장치.
제 1 항에 있어서, 트레이그룹은 여러단으로 수직으로 적층된 다수의 트레이로 구성되고, 복수의 반도체장치를 반송하는 각각의 트레이는 수직으로 이동가능한 트레이스탠드상에 지지되고, 상기 반송헤드는 맨위트레이상에 위치된 반도체장치를 원하는 위치로 반송하는데 적합하게 되어 있고, 그리고 상기 자세고저차 수정수단은 상기 트레이스탠드를 수직으로 이동시키는 엘리베이터수단을 작동시켜 상기 맨위트레이상에 있는 상기 확인된 반도체장치의 레벨을 수정하여 상기 자세고저차 기억수단으로부터 판독된 상기 기준자세값에 관한 자세고저차를 근거로하여 상기 기준자세값과 일치시키도록 구조되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체장치 반송처리장치.
제 2 항에 있어서, 상기 자세계측수단은 4세트의 광학센서로 구성되고, 각각의 세트는 소정된 위치에 위치된 발광소자와 수광소자를 포함하고 있어, 상기 트레이의 4개의 모서리중 하나의 레벨을 검출할 수 있는 것을 특징으로 하는 반도체장치 반송처리장치.
제 3 항에 있어서, 상기 자세계측수단은 4세트의 광학센서로 구성되고, 각각의 세트는 소정된 위치에 발광소자와 수광소자를 포함하고 있어 상기 트레이스탠드상의 상기 트레이그룹의 맨위 트레이의 4개의 모서리중 하나의 레벨을 검출할 수 있는 것을 특징으로 하는 반도체장치 반송처리장치.
제 4 항에 있어서, 상기 자세계측수단은 트레이스탠드가 상기 트레이스탠드상의 트레이를 리프트하도록 상기 엘리베이터수단에 의해 이동되는 동안에, 트레이의 4개의 모서리가 상응하는 광학센서의 발광소자로부터 방사된 광선을 차단하는 순서를 검출하여 광의 제 1차단에서 제 2차단으로 광의 제 2차단에서 제 3차단으로, 그리고 광의 제 3차단에서 제 4차단으로의 상향운동에서의 트레이에 의해 주행된 거리를 결정하기에 적합하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체장치 반송처리장치.
제 5 항에 있어서, 상기 자세계측수단은 트레이스탠드가 상기 트레이스탠드상의 트레이그룹을 리프트하도록 상기 엘리베이터수단에 의해 이동되는 동안에, 상기 트레이그룹의 맨위 트레이의 4개의 모서리가 상응하는 광학센서의 발광소자로부터 방사된 광산을 차단하는 순서를 검출하여 광의 제 1차단에서 제 2차단으로 광의 제 2차단에서 제 3차단으로 그리고 광의 제 3차단에서 제 4차단으로의 상향운동에서의 트레이에 의해 주행된 거리를 결정하기에 적합하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체장치 반송처리장치.
제 1 항에 있어서, 상기 반송헤드는 반송용 상기 트레이에 있는 반도체장치를 흡착하여 파지하도록 각각이 구조된 하나 또는 그 이상의 픽업헤드로 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체장치 반송처리장치.
제 8 항에 있어서, 상기 픽업헤드는 수직운동을 위해 하부에 흡착패드를 장착하여 가지고 있고, 상기 자세고저차수정수단은 상기 자세고저차 기억수단으로부터 판독된 상기 기준자세값에 관한 자세고저차를 근거로 하여 상기 기준자세값과 일치시키도록 상기 트레이에 위치된 상기 확인된 반도체장치의 레벨을 수정하여 상기 반송헤드가 소정된 거리만큼 내려와 상기 트레이에 있는 상기 확인된 반도체장치를 픽업할때 상기 흡착패드의 전방끝이 상기 트레이에 있는 상기 확인된 반도체 장치의 상면과 접촉하게 되도록 구조되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체장치 반송처리장치.
제 8 항에 있어서, 상기 자세고저차 수정수단은 상기 자세고저차 기억수단으로 부터 판독된 상기 기준자세값에 관한 자세고저차를 근거로하여 상기 기준자세값과 일치시키도록 상기 트레이에 위치된 상기 확인된 반도체장치의 레벨을 수정하여 상기 반송헤드가 소정된 거리만큼 내려와 상기 트레이에 있는 상기 확인된 반도체장치를 픽업할때 상기 픽업헤드의 전방끝이 상기 트레이에 있는 상기 확인된 반도체장치의 상면과 약간 접촉하게 되도록 구조되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체장치 반송처리장치.
제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 자세계측수단은 3세트의 광학센서로 구성되는데 이중 2세트의 광학센서는 소정된 위치에 위치된 발광소자와 수광소자를 포함하고 있어 트레이의 대각으로 마주한 2개의 모서리의 레벨을 측정하는 한편, 나머지 한세트의 광학센서는 소정된 위치에 위치된 발광소자와 수광소자를 포함하고 있어 트레이의 마주하는 2개의 측면에 수직하고 트레이의 중앙을 관통하는 방향에서 볼때의 트레이의 레벨을 측정하는 것을 특징으로 하는 반도체장치 반송처리장치.