KR100218239B1 - Inspecting apparatus for substrate of liquid crystal display unit - Google Patents
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Abstract
본 발명은 큰 사이즈의 LCD용 기판을 트러블을 발생시키는 일 없이 확실하고 안정되게, 또한 고능률로 검사할 수 있는 액정표시체용 기판의 검사장치에 관한 것으로서, 복수장의 액정표시체용 기판이 수납된 카세트를 받아들이기 위한 로더부와, 기판이 재치되는 재치대를 갖고, 이 재치대상의 기판에 형성된 전극패드에 접촉자를 접촉도통시켜서 기판의 패턴회로에 테스트신호를 보내고, 그 전기적 특성을 검사하기 위한 프로버부와, 기판을 지지하여 반송하기 위한 아암부를 갖고, 이 아암부에 의해 로더부의 카세트로부터 미검사의 기판을 한장씩 꺼내어 프로버부의 재치대에 재치하고, 또한 프로버부의 재치대로부터 검사완료의 기판을 들어올려서 상기 로더부의 카세트에 수납하는 반송수단을 갖고, 로더부는 적어도 반송수단에 의한 기판의 반송상황을 감시하고, 또한 반송수단의 반송동작을 제어하는 제1 제어수단을 구비하고, 프로버부는 기판의 검사상황을 감시하고, 또한 검사동작을 제어하는 제2 제어수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection apparatus for a liquid crystal display substrate, which can reliably, stably, and efficiently inspect a large-sized LCD substrate without causing trouble, and includes a cassette in which a plurality of liquid crystal display substrates are housed. And a loader for receiving the substrate, and a mounting table on which the substrate is placed, and by bringing a contactor into contact with an electrode pad formed on the substrate to be mounted, a test signal is sent to the pattern circuit of the substrate, and a program for inspecting the electrical characteristics thereof is provided. It has a burr part and an arm part for supporting and conveying a board | substrate, and this arm part takes out an uninspected board | substrate one by one from the cassette of a loader part, mounts it on the mounting board of a prober part, and also the board | substrate of inspection completed from the mounting board of a prober part. A conveying means for lifting and storing the cassette in the cassette of the loader section, wherein the loader section conveys at least the substrate by the conveying means. And a first control means for monitoring sulfur and controlling the conveying operation of the conveying means, wherein the prober portion is provided with second control means for monitoring the inspection status of the substrate and controlling the inspecting operation. do.
Description
제1도는 기판검사장치의 전체 개요를 나타내는 분해사시도.1 is an exploded perspective view showing an overall outline of a substrate inspection apparatus.
제2도는 로더부의 반송기구를 나타내는 평면도.2 is a plan view showing a transport mechanism of the loader section.
제3도는 로더부의 반송기구를 나타내는 측면도.3 is a side view showing the transport mechanism of the loader section.
제4도는 카세트재치부의 주요부를 나타내는 사시도.4 is a perspective view showing a main part of a cassette placing portion.
제5도는 본 발명의 실시 형태에 관련되는 기판검사장치를 나타내는 블록도.5 is a block diagram showing a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
제6도는 기판 반송중의 아암부분을 나타내는 사시도.6 is a perspective view showing an arm portion during substrate transfer.
제7도는 마킹용 펜 및 재치대를 나타내는 사시도.7 is a perspective view showing a marking pen and a mounting table.
제8도는 재치대의 구동기구를 나타내는 분해사시도.8 is an exploded perspective view showing the drive mechanism of the mounting table.
제9도는 재치대 및 얼라인먼트기구를 나타내는 부분단면도.9 is a partial cross-sectional view showing the mounting table and the alignment mechanism.
제10도는 기판검사장치에 있어서의 LCD용 기판의 반송순서의 한 예를 나타내는 흐름도이다.10 is a flowchart showing an example of a conveyance procedure of an LCD substrate in the substrate inspection apparatus.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
11 : 로더부 12 : 프로버부11: loader part 12: prober part
15A : 아암 29 : 제1 제어수단15A: arm 29: first control means
32 : 재치대 34 : 제2 제어수단32: mounting table 34: second control means
본 발명은 액정표시체(이하 LCD라 한다)용의 유리기판에 형성된 회로의 전기적 특성을 검사하는 액정표시체용 기판의 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection apparatus for a liquid crystal display substrate for inspecting electrical characteristics of a circuit formed on a glass substrate for a liquid crystal display (hereinafter referred to as LCD).
예를 들면 TFT형 LCD에는 그 부품으로서 LCD의 화소를 ON, OFF구동하는 회로가 패턴형성된 유리기판이 이용된다. 이들 패턴회로는 성막장치 등의 처리장치를 이용하여 매트릭스상으로 배열되어 있다. 개개의 패턴회로는 각각 전극패드를 갖고 있다. 이들 전극패드에 프로브바늘을 각각 접촉도통시켜서 테스터로부터 테스트신호를 각 패턴회로의 각각에 보내고 테스터로 되돌아오는 신호를 기초로 하여 회로의 좋고 나쁨을 판정한다.For example, a glass substrate in which a circuit for patterning a pixel of an LCD is turned on and off is used as a TFT type LCD. These pattern circuits are arranged in a matrix using a processing apparatus such as a film forming apparatus. Each pattern circuit has electrode pads, respectively. Probe needles are brought into contact with these electrode pads, respectively, and a test signal is sent from each tester to each of the pattern circuits, and a good and bad circuit is judged based on the signal returned to the tester.
이와 같은 프로브검사를 실시하는데 있어서 전극패드와 프로브바늘을 정확하게 위치맞춤할 필요가 있다. 이 때문에 LCD용 기판의 코너부에는 예를 들면 크로스마크 등의 얼라인먼트마크를 부착하고, 이 얼라인먼트마크의 검출 결과를 기초로 하여 전극패드를 프로브바늘에 대하여 위치맞춤하도록 하고 있다.In carrying out such probe inspection, it is necessary to accurately position the electrode pad and the probe needle. For this reason, alignment marks, such as a cross mark, are attached to the corner part of an LCD substrate, and an electrode pad is aligned with a probe needle based on the detection result of this alignment mark.
일반적으로 검사장치는 기판을 장치에 반입 또는 반출하는 로더부와, 이 로더부로부터 받은 기판을 검사하는 프로버부를 구비하고 있다. 로더부는 카세트내로부터 기판을 한장씩 꺼내고, 또는 넣도록 하고 있다. 이 로더부는 예를 들면 카세트를 재치하는 카세트재치부와, 이 카세트재치부에 재치된 카세트내의 LCD용 기판을 한장씩 꺼내어 프로버부에 반송하는 반송장치를 구비하고 있다. 이 반송장치는 기판을 한장씩 흡착지지 하기 위한 아암을 구비하고, 아암은 X축, Y축, Z축의 각 축방향으로 이동 가능하게, 또한 Z축 주위에도회전 가능하게 설치되어 있다.In general, the inspection apparatus includes a loader portion for carrying in or taking out a substrate into the apparatus, and a prober portion for inspecting a substrate received from the loader portion. The loader section removes or inserts the boards one by one from the cassette. This loader part is provided with the cassette mounting part which mounts a cassette, for example, and the conveying apparatus which takes out a board | substrate for LCD in the cassette mounted by this cassette mounting part one by one, and conveys it to a prober part. This conveying apparatus has an arm for adsorbing and supporting a board | substrate one by one, and an arm is movable in each axial direction of an X-axis, a Y-axis, and a Z-axis, and also around a Z-axis. It is rotatably installed.
프로버부는 기판을 지지하기 위한 재치대와 다수의 프로브바늘을 갖는 프로브보드를 구비하고 있다. 기판재치대는 X축, Y축, Z축의 각 축방향으로 이동 가능하게, 또한 Z축 주위에도회전 가능하게 설치되어 있다. 기판재치대는 얼라인먼트한 후에 프로브보드의 바로 아래로 이동되게 되어 있다. 또한 프로브부에 있어서의 얼라인먼트상황이나 프로브바늘의 접촉 등의 검사 상황은 프로버부의 정면에 설치한 표시장치를 이용하여 감시하도록 하고 있다.The prober portion includes a mounting table for supporting a substrate and a probe board having a plurality of probe needles. The substrate mounting table is movable in each axial direction of the X, Y, and Z axes, and also around the Z axis. It is rotatably installed. The substrate placement table is to be moved directly under the probe board after alignment. In addition, the inspection state such as the alignment state in the probe part and the contact of the probe needle is monitored using a display device provided in front of the probe part.
검사장치중에는 여러가지 형태의 것이 있으며, LCD용 기판의 검사규모에 따라서 오퍼레이터가 카세트재치부에 반입, 반출하는 형태의 검사장치도 있으며 자동반송차(AGV)에 의해 카세트를 카세트재치부에 자동적으로 반입, 반출하는 형태의 검사장치도 있다. 특히 검사수량이 많아서 LCD용 기판이 대형화하고 중량화해오면 카세트의 반입/반출작업이 오퍼레이터에 있어서 과대한 부담이 되기 때문에 자동반송차를 구비한 자동반입/반출시스템이 채용된다. 이와 같은 자동화대응의 검사장치에 있어서는 오퍼레이터는 카세트의 반입, 반출작업으로부터 해방되고, 또한 프로버부의 감시에 전념할 수 있어서 오퍼레이터의 작업부담이 현격히 경감된다.There are various types of inspection devices, and there is an inspection device in which the operator carries in and out of the cassette housing according to the inspection scale of the LCD substrate. The cassette is automatically brought into the cassette housing by an automatic transport vehicle (AGV). There are also inspection devices in the form of transporting. In particular, when the LCD substrate becomes large and heavy due to the large quantity of inspection, the automatic loading / exporting system equipped with the automatic transporting vehicle is adopted because the operation of the cassette loading / exporting becomes an excessive burden on the operator. In such an inspection apparatus for automated correspondence, the operator can be freed from the cassette loading and unloading operations, and the operator can concentrate on the monitoring of the prober portion, thereby significantly reducing the burden on the operator.
근래에는 LCD의 생산기술의 진보가 현저하여 보급수량이 현격히 많아지고, 또한 그 종류도 다양화되고, 또한 표시화면이 급격히 대형화해오고 있다. 이에 동반하여 LCD용 기판의 종류, 검사수량 함께 급격히 많아져서 LCD용 기판을 취급하는 업무가 증대하고, 또한 오퍼레이터가 카세트를 공급하는 매뉴얼작업에서는 오퍼레이터에 대한 작업부담이 과대해져오고 있다. 그 때문에 LCD용 기판의 생산을 전자동화하여 LCD용 기판을 호스트컴퓨터에 의해 통합관리하게 되어오고 있다. 이에 동반하여 검사장치에 있어서의 카세트의 반입, 반출작업의 전자동화가 촉진되고 있는 중이다.In recent years, the progress of LCD production technology has been remarkable, and the supply quantity has increased significantly, the types thereof have also been diversified, and the display screen has been rapidly enlarged. Along with this, the types of LCD substrates and the number of inspections have increased rapidly, so that the handling of LCD substrates has increased, and the manual workload in which the operators supply cassettes has increased the burden on the operators. For this reason, the LCD substrate has been fully automated by the host computer. Along with this, the automatic mobilization of the cassette import and export operations in the inspection apparatus is being promoted.
그러나 LCD용 기판이 점점 대형박판화해오면 기판을 지지했을때에 기판이 크게 휘어지기 때문에 기판의 취급이 어려워져오고 있다. 그 때문에 종래의 자동화검사장치에 있어서도 오퍼레이터에 의한 감시 및 수동조작이 적지않이 남아버린다. 그런데 LCD용 기판의 대형화에 의해 검사장치 자체도 대형화하고 프로버부와 로더부 사이의 거리가 길어져오고 있기 때문에 양자를 감시 및 수동조작하기 위해서는 로더부와 프로버부의 사이를 오퍼레이터가 빈번하게 왕래하지 않으면 안되어 작업효율이 저하해버린다.However, when LCD substrates become larger and thinner, the substrates are bent greatly when the substrates are supported, which makes handling of the substrates difficult. Therefore, even in the conventional automated inspection apparatus, a lot of monitoring and manual operation by the operator remain. However, due to the large size of LCD substrates, the inspection apparatus itself has been enlarged and the distance between the prober portion and the loader portion has been increased. Therefore, if an operator does not frequently travel between the loader portion and the prober portion to monitor and manually operate them. If not, the work efficiency is reduced.
또 종래의 장치에 있어서는 LCD용 기판의 생산을 호스트컴퓨터에 의하여 통합관리하고 있기 때문에 기판을 검사장치에 공급하면 검사장치에서는 호스트컴퓨터에 등록되어 있는 기판의 생산순서, 종류, 검사내용에 따라서 검사가 실행된다. 그러나 만일 등록내용과 다른 종류의 LCD용 기판이 검사장치에 공급되면 본래의 검사와는 다른 검사를 해버리거나 같은 기판을 중복하여 검사해버리는 트러블을 발생시킨다.In the conventional apparatus, since the production of the LCD substrate is managed by the host computer, when the substrate is supplied to the inspection apparatus, the inspection apparatus inspects the substrate according to the production order, type and inspection details of the substrate registered in the host computer. Is executed. However, if an LCD substrate of a different type from the registered contents is supplied to the inspection apparatus, it may cause a different inspection from the original inspection or a problem of overlapping the same substrate.
본 발명의 목적으로 하는 점은 큰 사이즈의 LCD용 기판을 트러블을 발생시키는 일 없이 확실하고 안정되게, 또한 고능률로 검사할 수 있는 액정표시체용 기판의 검사장치를 제공하는 것에 있다.An object of the present invention is to provide an inspection apparatus for a liquid crystal display substrate that can reliably and stably and efficiently inspect a large-sized LCD substrate without causing trouble.
본 발명에 관련되는 액정표시체용 기판의 검사장치는 복수장의 액정표시체용 기판이 수납된 카세트를 받아들이기 위한 로더부와, 상기 기판이 재치되는 재치대를 갖고, 이 재치대 상의 상기 기판에 형성된 전극패드에 접촉자를 접촉도통시켜서 기판의 패턴회로에 테스트신호를 보내고, 그 전기적 특성을 검사하기 위한 프로버부와, 상기 기판을 지지하여 반송하기 위한 아암부를 갖고, 이 아암부에 의해 상기 로더부의 카세트로부터 미검사의 기판을 한장씩 꺼내어 상기 프로버부의 재치대에 재치하고, 또한 상기 프로버부의 재치대로 부터 검사완료의 기판을 들어올려서 상기 로더부의 카세트에 수납하는 반송 수단을 갖고, 상기 로더부는 적어도 상기 반송수단에 의한 기판의 반송상황을 감시하고, 또한 상기 반송수단의 반송동작을 제어하는 제1 제어수단을 구비하고, 상기 프로버부는 기판의 검사상황을 감시하고, 또한 검사동작을 제어하는 제2 제어수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.An inspection apparatus for a liquid crystal display substrate according to the present invention includes a loader for accommodating a cassette in which a plurality of liquid crystal display substrates are accommodated, and a mounting table on which the substrate is placed, and the electrode formed on the substrate on the mounting table. The contactor is brought into contact with a pad to send a test signal to a pattern circuit of the substrate, and has a prober portion for inspecting its electrical characteristics, and an arm portion for supporting and conveying the substrate. It has a conveyance means which takes out an uninspected board one by one, places it on the mounting board of the said prober part, and raises a board | substrate of inspection completed from the mounting board of the said prober part, and accommodates it in the cassette of the said loader part, The said loader part has at least said conveyance The first agent which monitors the conveyance state of the board | substrate by a means, and controls the conveyance operation | movement of the said conveying means. And means, and the prober unit monitors the status of the test substrate, and further characterized in that and a second control means for controlling the test operation.
복수의 기판이 수납된 카세트를 자동반송차가 로더부에 반입하면 로더부에서는 반송장치가 구동하여 카세트내의 기판을 한장씩 꺼내어 프로버부에 반송한다. 이 때 로더부에서는 제1 제어수단이 작동하고, 제1 제어수단에 의해 주로 반송장치에 의한 반송상황을 감시하고, 또한 반송장치를 조작할 수 있다. 그 후 반송장치에 의해 기판을 프로버부에 로드하면 프로버부에서는 그 기판의 전기적 검사를 실시한다. 이때 프로버부에서는 제2 제어수단이 작동하고, 제2 제어수단에 의해 기판의 검사상황을 프로버부의 근처에서 감시하고, 또한 프로버부를 조작할 수 있다. 프로버부에서의 검사가 종료되면 반송장치가 구동하여 프로버부의 기판을 언로드하고, 또한 다음의 기판을 프로버부에 로드하여 검사완료의 액정표시체용 기판을 카세트내로 되돌린다. 이때에도 제1 제어수단에 의해 그 상황을 감시하고, 또한 반송장치를 조작할 수 있다.When the automatic conveyance vehicle carries a cassette containing a plurality of substrates into the loader unit, the loader unit drives the conveying apparatus to take out the substrates in the cassette one by one and transfer them to the prober unit. At this time, in the loader section, the first control means operates, and the first control means can mainly monitor the conveyance status by the conveying device and can operate the conveying device. Subsequently, when the substrate is loaded into the prober portion by the transfer device, the prober portion performs electrical inspection of the substrate. At this time, the second control means is operated in the prober unit, and the second control means can monitor the inspection state of the substrate in the vicinity of the prober unit and can also operate the prober unit. When the inspection at the prober portion is finished, the conveying apparatus is driven to unload the substrate of the prober portion, and the next substrate is loaded at the prober portion to return the inspected liquid crystal display substrate to the cassette. At this time, the first control means can monitor the situation and operate the conveying apparatus.
또 복수의 기판이 수납된 카세트를 자동반송차가 로더부에 반입하면 로더부에서는 반송장치가 구동하여 카세트내의 기판을 한장씩 꺼내고 프로버부에 반송한다. 이때 로더부에서는 제1 제어수단이 작동하고, 제1 제어수단의 촬상수단에 의해 주로 반송장치에 의한 반송상황을 촬상하면, 이 촬상화상을 화상처리수단에 의해 화상처리한 후, 그 화상을 로더부 근처의 표시수단에 표시하기 위해 로더부 근처의 위치에서 반송상황을 감시하고, 또한 반송자치를 조작할 수 있다. 그 후 반송장치에 의해 기판을 프로버부에 로드하면 프로버부에서는 그 기판의 전기적 검사를 실시한다. 이 때 프로버부에서는 제2 제어수단의 촬상수단에 의해 검사상황을 촬상하면, 이 촬상화상을 화상처리수단에 의해 화상처리한 후, 그 화상을 프로버부 근처의 표시수단에 표시하기 위해 프로버부 근처의 위치에서 검사상황을 감시하고, 또한 프로버부를 조작할 수 있다. 프로버부에서의 검사가 종료되면 반송장치가 구동하여 프로버부의 기판을 언로드하고, 또한 다음의 기판을 프로버부에 로드하여 검사완료의 기판을 카세트내로 되돌린다. 이때에도 제1 제어수단에 의해 그 상황을 감시하고, 또한 반송장치를 조작할 수 있다.In addition, when the automatic transporting vehicle brings the cassette containing a plurality of substrates into the loader unit, the transport unit is driven by the loader unit to take out the substrates in the cassette one by one and transfer them to the prober unit. At this time, in the loader section, the first control means is operated, and when the image pickup means of the first control means mainly captures the conveying situation by the conveying apparatus, the image is processed by the image processing means, and then the image is loaded. The conveyance status can be monitored at the position near the loader section for display on the display means near the section, and the conveyance autonomy can be operated. Subsequently, when the substrate is loaded into the prober portion by the transfer device, the prober portion performs electrical inspection of the substrate. At this time, when the prober imaged the inspection condition by the image pickup means of the second control means, the image is processed by the image processing means, and then the image is displayed near the prober portion to display the image on the display means near the prober portion. The inspection status can be monitored at the position and the prober part can be operated. When the inspection at the prober portion is finished, the conveying apparatus is driven to unload the substrate of the prober portion, and the next substrate is loaded at the prober portion to return the inspected substrate into the cassette. At this time, the first control means can monitor the situation and operate the conveying apparatus.
본 발명에 관련되는 액정표시체용 기판의 검사장치는 복수장의 액정표시체용 기판이 수납된 카세트를 받아들이기 위한 로더부와, 상기 기판이 재치되는 재치대를 갖고, 이 재치대상의 상기 기판에 형성된 전극패드에 접촉자를 접촉도통시켜서 기판의 패턴회로에 테스트신호를 보내고, 그 전기적 특성을 검사하기 위한 프로버부와, 상기 기판을 지지하여 반송하기 위한 아암부를 갖고, 이 아암부에 의해 상기 로더부의 카세트로부터 미검사의 기판을 한장씩 꺼내어 상기 프로버부의 재치대에 재치하고, 또한 상기 프로버부의 재치대로 부터 검사완료의 기판을 들어 올려서 상기 로더부의 카세트에 수납하는 반송 수단을 갖고, 상기 카세트는 적어도 수납된 기판의 공통의 검사정보를 포함하는 제1 식별부호를 갖고, 상기 기판은 적어도 기판의 개별적인 검사정보를 포함하는 제2 식별부호를 갖고, 상기 제1 식별부호를 판독하기 위해 상기 로드부에 설치된 제1 판독수단과, 상기 제2 식별부호를 판독하기 위해 상기 로드부의 카세트로부터 상기 프로버부에 도달하기까지의 반송경로에 설치된 제2 판독수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.An inspection apparatus for a liquid crystal display substrate according to the present invention includes a loader for accommodating a cassette in which a plurality of liquid crystal display substrates are accommodated, a mounting table on which the substrate is placed, and an electrode formed on the substrate to be mounted. The contactor is brought into contact with a pad to send a test signal to a pattern circuit of the substrate, and has a prober portion for inspecting its electrical characteristics, and an arm portion for supporting and conveying the substrate. It has a conveying means which takes out an uninspected board one by one, places it on the mounting board of the said prober part, and raises the board | substrate of inspection completed from the mounting board of the said prober part, and accommodates it in the cassette of the said loader part, The said cassette is stored at least Having a first identification code comprising common inspection information of the substrate, the substrate having at least individual A first reading means having a second identification code containing private information, the first reading means provided in the rod section for reading the first identification code, and the prober section from the cassette of the rod section for reading the second identification code. And second reading means provided on the conveying path until reaching.
본 발명에 따르면 로더부에 카세트를 반입하면, 그 카세트의 제1 식별부호를 제1 판독수단장치에 의해 그 검사정보로서 카세트단위로 판독한다. 그리고 반송장치에 의해 카세트내의 액정표시체용 기판을 한장씩 꺼내어 프로버부에 액정표시체용 기판을 반송한다. 이때 반송경로에 있어서 액정표시체용 기판의 제2 식별부호를 제2 판독수단에 의해 그 검사정보로서 장엽(杖葉)단위로 판독한다. 그 후 프로버부에 있어서 액정표시체용 기판의 검사를 실시할때에는 제1, 제2 판독수단의 판독내용을 기초로 하여 액정표시체용 기판의 전기적 검사를 정확하고, 또한 확실하게 실시한다.According to the present invention, when a cassette is loaded into the loader portion, the first identification code of the cassette is read by the first reading means device in cassette units as the inspection information. Then, the liquid crystal display substrate in the cassette is taken out one by one by the transfer device, and the liquid crystal display substrate is conveyed to the prober unit. At this time, in the conveyance path, the second identification code of the substrate for liquid crystal display is read by the second reading means in long-leaf units as the inspection information. When the inspection of the liquid crystal display substrate is performed in the prober portion, the electrical inspection of the liquid crystal display substrate is accurately and reliably performed on the basis of the readings of the first and second reading means.
이하 첨부한 도면을 참조하면서 본 발명의 여러가지 바람직한 실시형태에 대하여 설명한다.Hereinafter, various preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
제1도∼제3도에 나타내는 바와 같이 검사장치(10)는 LCD용 기판(S)을 로드, 언로드하는 로더부(11)와, 이 로더부(11)로부터 받은 LCD용 기판(S)을 검사하는 프로버부(12)를 구비하고 있다. 로더부(11)와 프로버부(12)는 인접하여 설치되어 있다.As shown in Figs. 1 to 3, the inspection apparatus 10 loads and unloads the LCD substrate S, and the LCD substrate S received from the loader 11. A prober portion 12 to be inspected is provided. The loader part 11 and the prober part 12 are provided adjacently.
제4도에 나타내는 바와 같이 로더부(11)는 카세트재치부(13) 및 반송장치(14)를 구비하고 있다. 본 실시형태의 로더부(11)에는 3개의 카세트재치부(13)가 설치되고, 각 카세트재치부(13)마다 카세트(C)가 1개씩 재치되게 되어 있다. 각 카세트(C)에 있어서의 1로트의 기판수납장수는 예를 들면 25장이다.As shown in FIG. 4, the loader part 11 is equipped with the cassette mounting part 13 and the conveying apparatus 14. As shown in FIG. Three cassette mounting portions 13 are provided in the loader portion 11 of the present embodiment, and one cassette C is placed in each of the cassette mounting portions 13. The number of substrate storage sheets of one lot in each cassette C is 25 sheets, for example.
반송장치(14)는 카세트재치부(13)상에 재치된 카세트(C)내의 LCD용 기판(S)을 한장씩 꺼내어 프로버부(12)에 반입하는 한편 검사완료의 기판(S)을 프로버부(12)로부터 반출하기 위한 것이다. 또한 카세트(C)의 정면에는 기판(S)을 출입시키기 위한 개구부가 형성되어 있다. 또 카세트(C)의 내측면에는 소정 피치간격(예를 들면 10mm의 간격)으로 지지홈이 부착되고 기판(S)을 수평지지하기 위해 예를 들면 25의 슬롯이 형성되어 있다. 또한 기판정렬기구(78)가 각 카세트재치부(13)마다 설치되어 카세트(C)에 수납되어 있는 기판이 일괄하여 정렬되게 되어 있다. 또한 반사방식의 센서(49)가 각 카세트재치부(13)마다 설치되어 각 카세트재치부(13)마다 카세트(C)가 재치되었는지 재치되지 않았는지가 각각 검출되게 되어 있다.The conveying apparatus 14 takes out the LCD substrate S in the cassette C mounted on the cassette placing portion 13 one by one and carries it into the prober portion 12, while the substrate S having been inspected is transferred to the prober portion ( It is for carrying out from 12). Moreover, the opening part for allowing the board | substrate S to enter and exit is formed in the front surface of the cassette C. As shown in FIG. In addition, support grooves are attached to the inner surface of the cassette C at predetermined pitch intervals (e.g., intervals of 10 mm), and 25 slots are formed, for example, to support the substrate S horizontally. In addition, the substrate alignment mechanism 78 is provided for each cassette placing portion 13 so that the substrates accommodated in the cassette C are aligned in a batch. In addition, a reflection sensor 49 is provided for each cassette placing unit 13 so as to detect whether or not the cassette C is placed in each cassette placing unit 13.
또 제4도에 나타내는 바와 같이 카세트재치부(13)는 카세트(C)를 자동반송차(15)와의 사이에서 자동적으로 수수할 수 있도록 홈공간(16)의 주위에 각종 센서(17A)(17B)(18A)(49) 및 기구가 부착되어 있다. 로더부(11)의 한쪽에는 3개의 카세트재치부(13)가 설치되어, 각 카세트재치부(13)에 카세트(C)가 각각 재치되게 되어 있다. 또한 본 실시 형태에 관련되는 장치의 로더부(11)에서는, 3개의 카세트(C)를 받아들이도록 했는데 4개 이상의 카세트(C)를 받아들이도록 로더부를 형성해도 좋다.In addition, as shown in FIG. 4, the cassette placing unit 13 has various sensors 17A and 17B around the home space 16 so that the cassette C can be automatically transferred to and from the auto transport vehicle 15. As shown in FIG. 18A) 49 and a mechanism are attached. Three cassette placing portions 13 are provided on one side of the loader portion 11, and the cassettes C are placed on each cassette placing portion 13, respectively. In addition, although the loader part 11 of the apparatus which concerns on this embodiment is made to accept three cassettes C, you may provide a loader part so that four or more cassettes C may be accommodated.
각 카세트재치부(13)에는 장치 정면에 대하여 평행하게 홈공간(16)이 형성되어 있다. 이 홈공간(16)은 자동반송차(15)의 아암(15A)이 침입하기 위해 설치된 공간이다. 자동반송차(15)가 홈공간(16)내에서 카세트(C)를 지지한 아암(15A)을 하강시키면 카세트(C)가 카세트재치부(13)상으로 이행한다. 이와 같이 하여 카세트(C)는 홈공간(16)을 걸친 상태에서 카세트재치부(13)상에 재치된다. 또한 자동반송차(15)는 호스트컴퓨터(40)에 의하여 제어되게 되어 있다. 또 각 카세트재치부(13)에는 카세트(C)의 방향을 검출하는 반사식 센서(49)가 각각 설치되어 있다. 또한 도시하고 있지 않지만 카세트재치부(13)에는 카세트(C)의 코너부에 걸어맞추는 위치결정부품이 설치되어 있다.In each cassette placing portion 13, a groove space 16 is formed parallel to the front of the apparatus. This home space 16 is a space provided for the arm 15A of the automatic transport vehicle 15 to invade. When the auto transport vehicle 15 lowers the arm 15A supporting the cassette C in the home space 16, the cassette C moves onto the cassette placing portion 13. In this way, the cassette C is placed on the cassette placing portion 13 in the state spanning the groove space 16. In addition, the auto transport vehicle 15 is controlled by the host computer 40. Moreover, each cassette mounting part 13 is provided with the reflection type sensor 49 which detects the direction of the cassette C, respectively. In addition, although not shown, the cassette mounting part 13 is provided with the positioning component which engages in the corner part of the cassette C. As shown in FIG.
또 로더부(11)의 측면에는 자동반송차(15)의 아암(15A)을 검출하기 위한 아암검출장치(17)가 설치되어 있다. 이 아암검출장치(17)는 발광다이오드 등으로 이루어지는 발광소자를 갖는 발광부(17A)와, 이 발광부(17A)로부터의 광선을 수광하는 수광소자를 갖는 수광부(17B)를 구비한 라인센서이다. 이들 발광부(17A) 및 수광부(17B)는 홈공간(16)의 양측에 자동반송차(15)의 아암(15A)을 끼우도록 설치되어 있다. 발광부(17A) 및 수광부(17B)를 잇는 광축을 아암(15A)이 차단하면 신호가 로더콘트롤러(20)에 보내어지고 아암(15A)의 침입이 검출되게 되어 있다. 또 로더부(11)의 측면에는 통신수단(18A)이 각 홈공간(16)의 아래쪽에 위치하도록 설치되어 있다. 이 통신수단(18A)은 자동반송차(15)와의 사이에서 광통신을 실시하기 위한 것으로, 이 통신수단(18A)이 자동반송차(15)에 설치된 통신수단(18B)과의 사이에서 광통신을 실시함으로써 카세트(C)의 반입, 반출동작을 실시하게 되어 있다.Moreover, the arm detection apparatus 17 for detecting the arm 15A of the auto transport vehicle 15 is provided in the side surface of the loader part 11. The arm detecting device 17 is a line sensor provided with a light emitting portion 17A having a light emitting element made of a light emitting diode or the like, and a light receiving portion 17B having a light receiving element for receiving light rays from the light emitting portion 17A. . These light-emitting portions 17A and light-receiving portions 17B are provided so as to sandwich the arms 15A of the auto transport vehicle 15 on both sides of the groove space 16. When the arm 15A cuts off the optical axis connecting the light emitting portion 17A and the light receiving portion 17B, a signal is sent to the loader controller 20 so that the intrusion of the arm 15A is detected. Moreover, the communication means 18A is provided in the side surface of the loader part 11 in the lower part of each home space 16. As shown in FIG. This communication means 18A is for performing optical communication with the auto transport vehicle 15, and this communication means 18A performs optical communication with the communication means 18B installed in the auto transport vehicle 15. By doing so, the cassette C is loaded and unloaded.
또 카세트재치부(13)의 재치면에는 물체검출장치(19)가 설치되어 있다. 이 물체검출장치(19)는 예를 들면 정면측에 설치된 발광부(19A)와 가장 안쪽에 설치된 수광부(19B)를 구비하고 있다. 발광부(19A)와 수광부(19B)를 잇는 광축을 카세트(C) 또는 그 이외의 물체가 차단하면 그것이 검출된다. 또 자동반송차(15)와의 사이에서 카세트(C)의 수수를 실시하면 카세트재치부(13)에 설치되어 있는 반사식 센서(49)에 의하여 카세트(C)가 검출된다.In addition, an object detecting device 19 is provided on the mounting surface of the cassette placing unit 13. This object detecting device 19 includes, for example, a light emitting portion 19A provided on the front side and a light receiving portion 19B provided on the innermost side. If the cassette C or any other object blocks the optical axis connecting the light emitting portion 19A and the light receiving portion 19B, it is detected. In addition, when the cassette C is passed between the auto transport vehicle 15, the cassette C is detected by the reflective sensor 49 provided in the cassette placing unit 13.
또한 카세트(C)를 수수한 취지의 신호는 로더콘트롤러(20)에 송신하고 로더구동부(21)에 의해 반송장치(14)를 작동시키게 되어 있다. 또한 카세트(C)의 반입후에 19A, 19B사이의 광선이 차단되면 카세트(C) 이외의 물체가 장해물로서 로더부(11)내에 침입한 취지의 신호를 로더콘트롤러(20)에 송신하고 로더구동부(21)의 작동을 저지하며, 또한 파일럿라이트 등의 경고등(도시하지 않음)을 점등하거나 경고부져를 울려서 이상을 알리게 되어 있다.In addition, the signal indicating the receipt of the cassette C is transmitted to the loader controller 20, and the transfer device 14 is operated by the loader driver 21. When the light beams between 19A and 19B are blocked after the cassette C is loaded, a signal indicating that an object other than the cassette C enters the loader section 11 as an obstacle is transmitted to the loader controller 20, and the loader driver ( 21) to prevent the operation, and also to light the warning lights (not shown), such as pilot lights or to sound a warning buzzer to inform the abnormality.
카세트재치부(13)에는 카세트(C)내에 수납된 LCD용 기판(S)의 수납장수를 계수하기 위한 계수장치(22)가 설치되어 있다. 이 계수장치(22)는 발광부(22A) 및 수광부(22B)로 이루어지고, 이들 양자(22A)(22B)는 홈공간(16)의 양측에 형성된 개구부(2)에 설치되어 있다.The cassette placing unit 13 is provided with a counting device 22 for counting the number of sheets of the LCD substrate S accommodated in the cassette C. The counting device 22 is composed of a light emitting portion 22A and a light receiving portion 22B, and both of these 22A and 22B are provided in openings 2 formed on both sides of the home space 16.
발광부(22A)및 수광부(22B)의 양자는 홈공간(16)의 아래쪽에서 서로 연결되어 있으며, 볼나사기구(도시하지 않음)에 의하여 개구부(23)내를 승강되게 되어 있다. 계수장치(22)가 개구부(23)에서 승강하는 사이에 검출광선이 차단된 횟수를 계수함으로써 기판(S)의 수납장수는 계수된다.Both the light emitting portion 22A and the light receiving portion 22B are connected to each other below the groove space 16, and are lifted up and down in the opening 23 by a ball screw mechanism (not shown). By counting the number of times the detection light is interrupted while the counter 22 moves up and down in the opening 23, the storage count of the substrate S is counted.
제4도에 나타내는 바와 같이 카세트(C)의 상면에는 바코드(24)가 표시되어 있다. 바코드(24)에는 LCD용 기판(S)을 로트단위로 관리하기 위한 정보로서, 예를 들면 이용자명, 기판(S)의 장수, 종류, 검사의 종류(단선검사, 기능검사 등의 종류)등의 식별정보(검사정보)가 기입되어 있다. 또한 카세트 식별기호로서는 바코드외에 문자정보를 카세트(C)에 표시해도 좋다.As shown in FIG. 4, the barcode 24 is displayed on the upper surface of the cassette C. As shown in FIG. The barcode 24 is information for managing the LCD substrate S in the unit of lot. For example, the user name, the number of sheets, the type of the substrate S, the type of inspection (type of disconnection inspection, functional inspection, etc.) Identification information (inspection information) is entered. In addition, as the cassette identification code, character information other than a barcode may be displayed on the cassette (C).
한편 로더부(11)의 윗쪽에는 예를 들면 OCR 등으로 이루어지는 카세트 식별장치(제1 판독수단)(25)가 설치되어 있다. 카세트식별장치(25)는 카세트(C)에 표시된 바코드(또는 문자정보)(24)를 판독하기 위한 것이다.On the other hand, a cassette identification device (first reading means) 25 made of, for example, an OCR or the like is provided above the loader section 11. The cassette identification device 25 is for reading the barcode (or character information) 24 displayed on the cassette C.
제5도에 나타내는 카세트식별장치(25)는 로더콘트롤러(20)의 입력측에 접속되고, 또한 로더콘트롤러(20)는 인터페이스(20A)를 통하여 호스트컴퓨터(40)에 접속되어 있다. 이 로더콘트롤러(20)는 호스트컴퓨터(40)에 의해 백업되어 1개의 제어회로를 형성하고 있다. 또 로더콘트롤러(20)는 프로버콘트롤러(26)에도 접속되고 상호 교신하여 검사시에 연계작동하게 되어 있다. 또한 이 프로버콘트롤러(26)에는 프로버구동부(27), 테스트시스템(28) 등이 접속되어 있다. 이 테스트시스템(28)은 호스트컴퓨터(40)에 접속되어 있다. 이 프로버콘트롤러(26)는 호스트컴퓨터(40)에 의해 백업되어 1개의 제어회로를 형성하고 있다. 또한 로더부(11)에는 제1 제어수단(29)이 설치되어 있다. 이 제1 제어수단(29)은 주로 반송장치(14)에 의한 반송상황을 감시하고, 또한 반송장치(14)를 동작제어하게 되어 있다.The cassette identification device 25 shown in FIG. 5 is connected to the input side of the loader controller 20, and the loader controller 20 is connected to the host computer 40 via the interface 20A. The loader controller 20 is backed up by the host computer 40 to form one control circuit. The loader controller 20 is also connected to the prober controller 26 and communicates with each other so that the loader controller 20 is linked to each other at the time of inspection. The prober controller 26 is connected to a prober drive unit 27, a test system 28, and the like. This test system 28 is connected to a host computer 40. This prober controller 26 is backed up by the host computer 40 to form one control circuit. In addition, the loader section 11 is provided with first control means 29. This 1st control means 29 mainly monitors the conveyance state by the conveying apparatus 14, and is operation control of the conveying apparatus 14 further.
제4도에 나타내는 바와 같이 제1 제어수단(29)은 반송장치(14)에 의한 반송상황을 촬상하는 CCD카메라(29A)와, 이 CCD카메라(29A)로부터의 신호를 화상처리하는 OCR 등으로 이루어지는 화상처리장치(29B)와, 이 화상처리장치(29B)의 처리신호를 기초로 하는 화상을 표시하는 표시장치(29C)를 구비하고 있다. CCD카메라(29A)는 로더부(11)의 윗쪽에 설치되어 있다. 표시장치(29C)는 로더부(11)의 정면에 설치되어 있다. 카메라(29A) 및 표시장치(29C)의 양자에 의하여 로더부(11)의 근처위치에 있어서 카세트(C)의 반입 및 반출상황이 감시되고, 또한 반송장치(14)가 조작되게 되어 있다.As shown in FIG. 4, the first control means 29 includes a CCD camera 29A for capturing the conveying situation by the conveying device 14, and an OCR for image processing the signal from the CCD camera 29A. And a display device 29C for displaying an image based on the processing signal of the image processing device 29B. The CCD camera 29A is provided above the loader section 11. The display device 29C is provided in front of the loader section 11. Both the camera 29A and the display device 29C monitor the loading and unloading status of the cassette C at the position near the loader 11, and the conveying device 14 is operated.
카메라(29A)는 대물렌주부를 전후좌우로 진동시키기 위한 구동장치를 내장하고 있다. 카메라(29A)는 전체 방위에 정역회전 가능하며, 반입, 반출작업 외에 자동반송차(15)에 의한 카세트(C)의 반입, 반출상황 등 로더부(11)내 전체를 감시할 수 있게 되어 있다.The camera 29A has a built-in drive device for vibrating the object wheel main unit in front, rear, left and right. The camera 29A can be rotated forward and backward in the whole direction, and can monitor the whole inside of the loader part 11, such as the loading and unloading of the cassette C by the auto transport vehicle 15, in addition to the carrying in and taking out operations. .
화상처리장치(29B)와 표시장치(29C)의 사이에는 로더콘트롤러(20)가 설치되고, 이 로더콘트롤러(20)를 통하여 적, 녹, 청색의 컬러신호를 표시장치(29C)에 송신하면 표시 장치(29C)에 컬러화상이 표시되게 되어 있다. 표시장치(29C)는 구동기구(도시하지 않음)에 의하여 화면의 방향이 바뀌어지게 되어 있다.A loader controller 20 is provided between the image processing device 29B and the display device 29C. When the red, green, and blue color signals are transmitted to the display device 29C through the loader controller 20, the display is displayed. The color image is displayed on the device 29C. In the display device 29C, the direction of the screen is changed by a driving mechanism (not shown).
또 이 표시장치(29C)는 조작패널로서도 이용된다. 그 때문에 로더부(11)에서 어떠한 트러블이 발생한 경우에는 매뉴얼스위치로 전환함으로써 자동운전을 수동운전으로 전환하고 표시장치(29C)에서 반송상황을 보면서 조작패널의 표시에 따라서 로더구동부(21)를 수동조작하여 반송작업을 실시할 수 있다. 이 때문에 대형화한 검사장치(10)이어도 매뉴얼작업의 작업성이 향상한다. 또 표시장치(29C)를 보면서 로더부(11)내를 수동조작함으로써 로더부(11)내의 반송장치(14) 등의 구성기기를 소망하는 위치로 이동시킬 수 있고 로더부(11)내의 구성기기의 잇점을 용이하게 실시할 수 있게 되어 있다.This display device 29C is also used as an operation panel. Therefore, if any trouble occurs in the loader section 11, switch the manual operation to manual operation by switching to the manual switch, and manually operate the loader driver 21 according to the display of the operation panel while viewing the conveyance status on the display device 29C. The operation can be carried out by operation. For this reason, the workability of a manual operation improves even if the inspection apparatus 10 which was enlarged. In addition, by manually manipulating the interior of the loader section 11 while viewing the display device 29C, the components such as the transfer device 14 in the loader section 11 can be moved to a desired position. It is possible to easily implement the advantages.
반송장치(14)는 카세트재치부(13)상의 카세트(C)와 프로버부(13)의 사이에서 기판(S)을 반송하는 것으로, 상하 2단의 반송아암(14A)(14B)을 구비하고 있다. 이들 반송아암(14A)(14B)은 로더구동부(21)에 의하여 X축, Y축, Z축의 각 축방향으로 이동되고, 또한 Z축 주위에회전되게 되어 있다.The conveying apparatus 14 conveys the board | substrate S between the cassette C on the cassette mounting part 13, and the prober part 13, and is provided with the conveyance arms 14A and 14B of two upper and lower stages. have. These carrier arms 14A and 14B are moved in the axial directions of the X-axis, Y-axis, and Z-axis by the loader driving section 21, and around the Z-axis. It is supposed to be rotated.
제2도에 나타내는 바와 같이 반송장치(14)는 X축방향으로 연장되는 평행레일(5)을 따라서 볼나사기구에 의하여 이동되게 되어 있다. 이 볼나사기구는 로더구동부(21)의 일부를 구성하는 것으로, 볼스크류(54)와 모터(55)를 구비하고 있다. 반송장치(14)의 본체(51)는 너트(53)를 구비하고 너트(53)는 볼스크류(54)에 나사식으로 맞추고 있다. 볼스크류(54)는 스토퍼부품(56)까지 설치되어 있다. 또한 이와 같은 볼나사기구 대신에 벨트기구에 의하여 반송장치(14)를 이동하도록 해도 좋다.As shown in FIG. 2, the conveying apparatus 14 is moved by the ball screw mechanism along the parallel rail 5 extended in an X-axis direction. The ball screw mechanism constitutes a part of the loader driving unit 21, and includes a ball screw 54 and a motor 55. As shown in FIG. The main body 51 of the conveying apparatus 14 is provided with the nut 53, and the nut 53 is screwed to the ball screw 54. As shown in FIG. The ball screw 54 is provided up to the stopper part 56. Alternatively, the conveying device 14 may be moved by a belt mechanism instead of the ball screw mechanism.
2장의 반송아암(14A)(14B)은 어느쪽이나 동일형상으로 형성되고, 서로 독립하여 구동하게 되어 있다. 예를 들면 윗아암(14A)은 카세트(C)내로부터 기판(S)을 꺼내어 프로버부(12)의 재치대상에 기판(S)을 로드하는 아암으로서 이용된다. 한편 아래아암(14B)은 재치대로부터 검사완료의 기판(S)을 언로드하는 아암으로서 이용된다. 이하의 설명에서는 윗아암(14A)을 로드아암이라 하고 아래아암(14B)을 언로드아암이라 하기로 한다. 또 각 아암(14A)(14B)의 상면에는 구멍이 형성되고 각각의 이면측에 부착된 도시하지 않는 흡인배관 및 진공배기장치를 통하여 아암상의 LCD용 기판(S)을 진공흡착하게 되어 있다.Both of the conveying arms 14A and 14B are formed in the same shape and driven independently of each other. For example, the upper arm 14A is used as an arm which takes out the board | substrate S from the cassette C, and loads the board | substrate S to the mounting target of the prober part 12. As shown in FIG. On the other hand, the lower arm 14B is used as an arm for unloading the inspected substrate S from the mounting table. In the following description, the upper arm 14A will be referred to as a load arm and the lower arm 14B will be referred to as an unload arm. In addition, a hole is formed in the upper surface of each of the arms 14A and 14B, and the LCD substrate S on the arm is vacuum-adsorbed through a suction pipe and a vacuum exhaust device (not shown) attached to each rear surface side.
제3도에 나타내는 바와 같이 반송아암(14A)(14B)의 아래쪽에는 프리얼라인먼트기구(63)가 설치되고, 이 프리얼라인먼트기구(63)에 의하여 카세트(C)로부터 받은 기판(S)을 프로버부(12)의 재치대에 인도하기 전에 프리얼라인먼트하게 되어 있다. 이 프리얼라인먼트기구(63)의 재치면에는 진공흡착용의 구멍이 형성되고, 이 구멍에 의해 기판(S)이 흡착지지되게 되어 있다.As shown in FIG. 3, the prealignment mechanism 63 is provided below the conveyance arms 14A and 14B, and the board | substrate S received from the cassette C by this prealignment mechanism 63 is a prober part. Preliminary alignment is required before delivery to the mounting table in (12). A hole for vacuum suction is formed in the mounting surface of the prealignment mechanism 63, and the substrate S is sucked and supported by this hole.
반송장치(14)의 슬라이더본체(51)는 평행레일(52)에 걸쳐져서 X축방향으로 주행되게 되어 있다. 각 아암(14A)(14B)은 축(58)에 연결된 부품(59)상에 설치되고모터(57)에 의하여 부품(59)과 함께 Z축 주위에회전되게 되어 있다. 또 각 아암(14A)(14B)은 축(61)에 연결되어 Z모터(60)에 의하여 승강되게 되어 있다. 또한 복수의 아암구동용 모터(62)가 부품(59)에 부착되어 각 아암(14A)(14B)이 독립별개로 구동되게 되어 있다.The slider body 51 of the conveying apparatus 14 runs across the parallel rail 52 and runs in the X-axis direction. Each arm 14A, 14B is mounted on a component 59 connected to the shaft 58 and Around the Z axis with the component 59 by the motor 57 It is supposed to be rotated. Moreover, each arm 14A, 14B is connected to the shaft 61, and is raised and lowered by the Z motor 60. FIG. In addition, a plurality of arm driving motors 62 are attached to the component 59 so that each of the arms 14A and 14B is driven independently.
제5도∼제7도에 나타내는 바와 같이 기판식별장치(제2 판독수단)(31)가 카세트재치부(13)로부터 프로버부(12)까지의 기판반송경로내에 설치되어 있다. 이 기판식별장치(31)는 반송기판(S)의 코너부에 형성된 식별부호(30)를 판독하고 프로버콘트롤러(26)에 판독신호를 보내게 되어 있다. 또한 프로버콘트롤러(26)는 테스트시스템(28)을 경유하여 호스트컴퓨터(40)에 판독신호를 보내게 되어 있다. 호스트컴퓨터(40)로부터의 지령을 기초로 하여 프로버콘트롤러(26)는 프로버구동부(27), 화상처리부(34B) 및 표시(34C)장치를 각각 제어하게 되어 있다. 문자정보가 표시된 기판(S)으로부터 검사정보를 판독하는 경우는 OCR을 채용하는 것이 바람직하다. 이 식별부호(30)에는 기판(S)의 종류나 검사내용 등을 나타내는 검사정보가 기입되어 있다. 또한 기판식별부호(30)로서는 바코드가 주류인데 문자정보를 채용해도 좋다.As shown in Figs. 5 to 7, a substrate identifying device (second reading means) 31 is provided in the substrate conveying path from the cassette placing portion 13 to the prober portion 12. As shown in Figs. The board identification device 31 reads out the identification code 30 formed at the corner portion of the carrier substrate S and sends a read signal to the prober controller 26. The probe controller 26 also sends a readout signal to the host computer 40 via the test system 28. Based on the instructions from the host computer 40, the prober controller 26 controls the prober driver 27, the image processor 34B and the display 34C, respectively. It is preferable to employ OCR when reading inspection information from the substrate S on which character information is displayed. In this identification code 30, inspection information indicating the type of the substrate S, the inspection contents, and the like are written. In addition, although the barcode is mainstream as the board | substrate identification code 30, character information may be employ | adopted.
제8도에 나타내는 바와 같이 기판재치대(32)가 프로버부(12)내에서 X축, Y축, Z축의 각 방향 및 Z축 주위에회전할 수 있게 설치되어 있다. 기판재치대(32)는회전 가능하게 되어 있다. 기판재치대(32)의 기체(32A)는 Y테이블(73)상에 탑재되어 있다. Y테이블(73)은 볼스크류(74), 가이드레일(75), Y모터(80)를 구비하고 있다. 볼스크류(74) 및 가이드레일(75)은 Y테이블(73)의 단부에서 단부까지 설치되어 있다. Y모터(80)는 볼스크류(74)를 정역회전시키게 되어 있다. 또한 기판재치대(32)의 측부에는 CCD카메라(34A)가 부착되어 있다. 카메라(34A)의 대물렌즈는 윗쪽의 프로브보드(33) 등에 향해져 있다. 이 카메라(34A)는 제2 제어수단을 구성하는 것이다.As shown in FIG. 8, the substrate placing table 32 is provided in the prober unit 12 in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions and around the Z-axis. It is installed to rotate. Substrate placement table 32 It is rotatable. The base 32A of the substrate placing table 32 is mounted on the Y table 73. The Y table 73 includes a ball screw 74, a guide rail 75, and a Y motor 80. The ball screw 74 and the guide rail 75 are provided from the end to the end of the Y table 73. The Y motor 80 rotates the ball screw 74 forward and backward. Further, a CCD camera 34A is attached to the side of the substrate placing table 32. The objective lens of the camera 34A is directed at the upper probe board 33 or the like. This camera 34A constitutes a second control means.
또한 Y테이블(73)은 X테이블(76)상에 탑재되어 있다. X테이블(76)은 볼스크류(77), 가이드레일(78), X모터(81)를 구비하고 있다. 볼스크류(77) 및 가이드레일(78)은 X테이블(76)의 단부에서 단부까지 설치되어 있다. X모터(81)는 볼스크류(77)를 정역회전시키게 되어 있다.The Y table 73 is mounted on the X table 76. The X table 76 includes a ball screw 77, a guide rail 78, and an X motor 81. The ball screw 77 and the guide rail 78 are provided from the end to the end of the X table 76. The X motor 81 rotates the ball screw 77 forward and backward.
제9도에 나타내는 바와 같이 얼라인먼트기구(82)가 프로버부(12)내의 얼라인먼트위치에 설치되어 있다. 이 얼라인먼트기구(82)는 X축을 따라서 가늘고 길게 연장되어 있으며, 헤드플레이트(83)에 고정되어 있다. 이 얼라인먼트기구(82)는 기판재치대(32)가 동일 도면중의 가상선으로 나타내는 위치(얼라인먼트위치)에 도착했을때에 2개의 얼라인먼트마크(M1)(M2)(제8도 참조)를 기판(S)으로부터 검출하고, 이들 얼라인먼트마크(M1)(M2)를 기준으로 하여 기판(S)의 얼라인먼트를 실행하는 것이다.As shown in FIG. 9, the alignment mechanism 82 is provided in the alignment position in the prober part 12. As shown in FIG. This alignment mechanism 82 extends thin and long along the X axis, and is fixed to the head plate 83. The alignment mechanism 82 has two alignment marks M 1 (M 2 ) (see FIG. 8) when the substrate placing table 32 arrives at a position (alignment position) indicated by an imaginary line in the same drawing. Is detected from the substrate S, and the substrate S is aligned based on these alignment marks M 1 and M 2 .
얼라인먼트기구(82)는 가늘고 긴 형상의 하우징(82A)내의 일단부에 수납된 조명용의 광원(82B)과, 이 광원(82B)측에 설치된 제1 반사경(82C)과, 이 반사경(82C)으로부터 이간된 위치에서 서로 대향하여 설치된 제2 반사경(82D)과, 이들 양자(82C)(82D)의 상호간에 위치하여 이들보다도 약간 윗쪽에 설치된 제3 반사경(82E)과, 이 반사경(82E)을 제1 및 제2 반사경(82C)(82D)의 상호간에 진퇴이동시키는 전자프랜져(82F)를 구비하고 있다. 제1 반사경(82C)의 아래쪽에는 제2 감시제어수단으로서의 CCD카메라(34A)가 설치되어 있다. 또한 하우징(82A)은 하면이 개구하고, 이 개구가 헤드플레이트(83)에 의해 폐지된 상태가 되어 있다.The alignment mechanism 82 includes a light source 82B for illumination housed in one end in the elongated housing 82A, a first reflector 82C provided on the light source 82B side, and the reflector 82C. The second reflecting mirror 82D provided to face each other at a separated position, the third reflecting mirror 82E positioned mutually slightly above these 82C and 82D, and the reflecting mirror 82E are provided. The electronic flanger 82F which moves back and forth between the first and second reflecting mirrors 82C and 82D is provided. Under the first reflecting mirror 82C, a CCD camera 34A as second monitoring control means is provided. The lower surface of the housing 82A is opened, and the opening is closed by the head plate 83.
제1 반사경(82C)의 경면은 CCD카메라(34A)의 렌즈광축에 대하여 45의 각도를 갖고 교차하며, 또한 제2 및 제3 반사경(82D)(82E)에 향해져 있다. 이 제1 반사경(82C)은 광원(82B)으로부터의 광선을 투과하는 하프밀러로서 형성되어 있다.The mirror surface of the first reflector 82C is 45 with respect to the lens optical axis of the CCD camera 34A. Intersect at an angle of and are directed toward the second and third reflecting mirrors 82D and 82E. This first reflecting mirror 82C is formed as a half mirror which transmits the light beam from the light source 82B.
제2 및 제3 반사경(82D)(82E)은 어느쪽이나 제1 반사경(82C)과는 그 경사방향이 반대가 되어 있으며, 이들 양자(82D)(82E)의 상호 간격은 기판(S)의 얼라인먼트마크(M1)(M2)의 간격과 일치하게 되어 있다. 또한 헤드플레이트(83)에는 각 반사경(82C)(82D)(82E)의 아래쪽에 위치하는 개구부가 형성되어 있다. 또한 이들 개구부는 일체화된 가늘고 긴 형상의 개구부로서 형성해도 좋다.Both of the second and third reflecting mirrors 82D and 82E have opposite inclination directions with the first reflecting mirror 82C, and the mutual spacing between these 82D and 82E is aligned with the substrate S. mark is matched to the spacing of (M 1) (M 2) . In addition, the head plate 83 is formed with an opening located below each of the reflecting mirrors 82C, 82D, and 82E. These openings may be formed as integrated elongated openings.
얼라인먼트마크(M1)(M2)를 검출하는 경우에는 제9도에 나타내는 바와 같이 얼라인먼트위치에서 구동수단(82F)에 의해 제3 반사경(82E)을 하우징(82A)의 윗쪽으로 후퇴시켜도 좋다. 이 상태에서 광원(82B)을 ON하면 그 광선은 제1 반사경(82C)을 투과하여 제2 반사경(82D)에 도달하고, 그곳에서 진행방향을 90변경해서 개구부를 통하여 우측의 얼라인먼트마크(M1)에 도달하여 이를 조명한다. 이 얼라인먼트마크(M1)로부터의 반사광선은 제2 반사경(82D), 제1 반사경(82C)에 의하여 진행방향이 변경되고, 또한 개구부를 통하여 CCD카메라(34A)에 도달한다. 이에 따라 얼라인먼트마크(M1)는 CCD카메라(34A)에 의해 촬상되게 된다. 한편 좌측의 얼라인먼트마크(M2)를 검출하는 경우에는 제3 반사경(82E)을 하우징(82A)내로 진출시킨다. 이에 따라 광원(82B)은 제3 반사경(82E)을 통하여 그 아래쪽의 얼라인먼트마크(M2)를 조명하고 후에는 상기와 똑같이 그 얼라인먼트마크(M2)가 CCD카메라(34A)에 의하여 촬상된다.When detecting the alignment mark M 1 (M 2 ), the third reflecting mirror 82E may be retracted upward of the housing 82A by the driving means 82F at the alignment position as shown in FIG. 9. When the light source 82B is turned on in this state, the light beam passes through the first reflecting mirror 82C and reaches the second reflecting mirror 82D, where the traveling direction is 90 degrees. It changes to reach the alignment mark M 1 on the right through the opening and illuminate it. The reflected light from the alignment mark M 1 is changed in the traveling direction by the second reflecting mirror 82D and the first reflecting mirror 82C and reaches the CCD camera 34A through the opening. As a result, the alignment mark M 1 is picked up by the CCD camera 34A. On the other hand, when the alignment mark M 2 on the left side is detected, the third reflecting mirror 82E is advanced into the housing 82A. Accordingly, the light source 82B illuminates the alignment mark M 2 below it through the third reflecting mirror 82E, and afterwards, the alignment mark M 2 is captured by the CCD camera 34A as described above.
프로버부(12)내에는 검사상황을 감시하고, 또한 프로버부(12)를 조작하기 위해 제2 제어수단(34)이 설치되어 있다. 이 제2 제어수단(34)은 프로버부(12)내에서의 얼라인먼트시의 기판(S) 및 프로브바늘(도시하지 않음)을 촬상하는 CCD카메라(34A)와, 이 CCD카메라(34A)로부터의 신호를 화상처리하는 화상처리장치(34B)와, 이 화상처리장치(34B)의 처리화상을 표시하는 표시장치(34C)를 구비하고 있다. 이 표시장치(34C)는 프로버부(12)에 이웃하는 위치에 설치되고 프로버부(12) 근처의 위치에 있어서 프로버부(12)내의 상황을 감시하고, 또한 프로버부(12)를 조작하게 되어 있다. 또한 표시장치(34C)의 화면은 표시장치(29C)와 똑같이 좌우로 진동하며, 또한 상하로 승강할 수 있게 되어 있다. 또 화상처리장치(34B)와 표시장치(34C)의 사이에는 프로버콘트롤러(26)가 접속되고, 이 프로버콘트롤러(26)를 통하여 적, 녹, 청색의 컬러신호를 표시장치(34C)에 송신하고 표시장치(34C)의 화면에 컬러화상이 표시되게 되어 있다. 또 이 표시장치(34C)는 조작패널로서도 이용된다. 그 때문에 프로버부(12)에 있어서 어떠한 트러블이 발생한 경우에는 매뉴얼스위치로 전환함으로써 자동운전을 수동운전으로 전환하고 표시장치(34C)에서 검사상황을 보면서 조작패널의 표시에 따라서 프로버구동부(27)를 수동조작하여 검사작업을 실시할 수 있게 되어 있다. 이 때문에 대형의 검사장치(10)의 경우이어도 매뉴얼작업의 작업성이 비약적으로 향상한다. 또 표시장치(29C)를 보면서 프로버부(12)를 수동조작함으로써 프로버부(12)내의 기판재치대(32)등의 구성기기를 소망하는 위치로 이동시킬 수 있고 프로버부(12)내의 구성기기의 잇점을 용이하게 실시할 수 있다.In the prober part 12, the second control means 34 is provided in order to monitor an inspection condition and to operate the prober part 12. As shown in FIG. The second control means 34 includes a CCD camera 34A for imaging the substrate S and a probe needle (not shown) during alignment in the prober portion 12, and from the CCD camera 34A. An image processing apparatus 34B for image processing a signal and a display apparatus 34C for displaying a processed image of the image processing apparatus 34B are provided. This display device 34C is provided at a position adjacent to the prober portion 12, monitors the situation in the prober portion 12 at a position near the prober portion 12, and operates the prober portion 12. have. In addition, the screen of the display device 34C vibrates left and right similarly to the display device 29C, and can be moved up and down. Further, a prober controller 26 is connected between the image processing apparatus 34B and the display apparatus 34C, and red, green, and blue color signals are transmitted to the display apparatus 34C through the prober controller 26. The color image is displayed on the screen of the display device 34C. This display device 34C is also used as an operation panel. Therefore, if any trouble occurs in the prober unit 12, the automatic switch is switched to manual operation by switching to the manual switch and the prober drive unit 27 is displayed in accordance with the display of the operation panel while viewing the inspection status on the display device 34C. It is possible to carry out the inspection work by manual operation. For this reason, even in the case of the large inspection apparatus 10, workability of a manual work improves remarkably. In addition, by manually operating the prober unit 12 while viewing the display device 29C, the component units such as the substrate placing table 32 in the prober unit 12 can be moved to a desired position. The advantage of can be easily performed.
또 CCD카메라(34A)는 검사위치(제9도의 실선위치)에 있어서 헤드플레이트(83)에 고정된 프로브보드(33)의 프로브바늘을 촬상하고 검사시의 기준이 되는, 예를 들면 2개의 프로브바늘을 기초로 하여 기판재치대(32)의 위치결정을 실시하게 되어 있다. 이 기판재치대(32)는 기판(S)을 프로브부(12)의 프로브바늘의 바로 아래까지 이동한 후에 기판재치대(32)를 상승시켜서 프로브바늘에 기판(S)의 전극패드를 접촉시키고 회로의 검사를 실시하게 되어 있다. 또한 기판재치대(32)와 프로브바늘의 사이의 거리는, 예를 들면 정전용량센서 등으로 이루어지는 하이트센서(도시하지 않음)에 의해 검출되게 되어 있다.Further, the CCD camera 34A captures the probe needle of the probe board 33 fixed to the head plate 83 at the inspection position (solid line position in FIG. 9) and serves as a reference for inspection, for example, two probes. The substrate placing table 32 is positioned on the basis of the needle. The substrate placing table 32 moves the substrate S to just below the probe needle of the probe unit 12 and then raises the substrate placing table 32 to contact the electrode pad of the substrate S with the probe needle. The circuit is to be inspected. In addition, the distance between the board | substrate mounting stand 32 and a probe needle is detected by the height sensor (not shown) which consists of a capacitance sensor etc., for example.
제7도에 나타내는 바와 같이 프로버부(12)에는 부호부가수단으로서 펜(35A)을 구비한 마킹수단(35)이 설치되어 있다. 펜(35A)에 의하여 검사완료의 LCD용 기판(S)의 코너부에 부호로서 적절한 마크(36)가 부착되게 되어 있다. 이 마킹수단(35)의 구동부(도시하지 않음)는 프로버콘트롤러(26)에 의하여 동작제어되게 되어 있다. 펜(35A)은 기판(S)의 코너부에 레이져광을 조사하여 마크(36)를 부착하는 레이져마커이다. 마크(36)는 검사의 중복을 방지하기 위해 부착하는 것이다. 예를 들면 검사완료의 기판(S)이 반송장치(14)의 언로드아암(14B)에 의해 카세트(C)내로 되돌아가고 다시 로드아암(14B)이 이 카세트(C)로부터 검사완료의 기판(S)을 반송해온 경우에는 기판재치대(32)에 그 기판(S)을 인도하기 전에 제2 바코드리더(31)에 의해 그 마크(36)를 검출하고, 그 검출결과를 기초로 하여 로더구동부(21)를 역구동시켜서 원래의 카세트(C)에 그 기판(S)을 되돌리게 되어 있다. 또한 펜(35A)에는 레이져마커 외에 잉크마크를 부착하는 잉크펜을 이용해도 좋다.As shown in FIG. 7, the prober part 12 is provided with the marking means 35 provided with the pen 35A as a code adding means. An appropriate mark 36 is attached as a reference to the corner portion of the inspected LCD substrate S by the pen 35A. The drive part (not shown) of this marking means 35 is operation-controlled by the prober controller 26. As shown in FIG. The pen 35A is a laser marker which affixes the mark 36 by irradiating a laser beam to the corner part of the board | substrate S. FIG. Mark 36 is attached to prevent duplication of inspection. For example, the inspection-completed board | substrate S returns to the cassette C by the unloading arm 14B of the conveying apparatus 14, and the loading arm 14B returns the inspection-completed board | substrate S from this cassette C again. ), The mark 36 is detected by the second barcode reader 31 before delivering the substrate S to the substrate placing table 32, and based on the detection result, the loader driving unit ( 21 is reversely driven to return the substrate S to the original cassette C. FIG. In addition to the laser marker, an ink pen with an ink mark may be used for the pen 35A.
다음으로 제10도의 흐름도를 참조하면서 상기 기판검사장치를 이용하여 LCD용 기판(S)을 검사하는 경우에 대하여 설명한다.Next, a case of inspecting the LCD substrate S using the substrate inspection apparatus will be described with reference to the flowchart of FIG. 10.
우선 호스트컴퓨터(40)로부터 자동반송차(15)에 대하여 기판공급지령신호가 보내어진다. 자동반송차(15)는 지령신호를 수신하면 앞공정으로부터 아암(15A)에 카세트단위로 기판(S)을 받아서 검사장치(10)까지 주행하고, 그 통신수단(18B)이 검사장치(10)의 통신수단(18A)과 대치한 위치에서 정지한다. 덧붙여서 검사대상이 되는 LCD용 기판(S)의 사이즈는 두께 1.1mm세로 550mm가로 650mm이다.First, a substrate supply command signal is sent from the host computer 40 to the auto transport vehicle 15. Upon receipt of the command signal, the auto transport vehicle 15 receives the substrate S in the cassette unit from the preceding process in the unit of cassette and travels to the inspection apparatus 10, and the communication means 18B carries the inspection apparatus 10. Stop at a position opposite to the communication means 18A. Incidentally, the size of the LCD substrate S to be inspected is 1.1 mm thick. 550 mm Width is 650mm.
다음으로 자동반송차(15)가 통신수단(18A)(18B)을 통하여 검사장치(10)와의 사이에서 통신하면 검사장치(10)에서는 카세트(C)의 받아들임태세를 할 수 있다. 이에 따라 카세트(C)를 지지한 아암(15A)이 구동하고 아암(15A)에 의해 카세트재치부(13)에 대한 카세트(C)의 반입을 개시한다. 카세트반입개시시에 있어서는 우선 카세트검출장치(17)가 카세트(C)의 침입을 검출하고 로더콘트롤러(20)를 경유하여 호스트컴퓨터(40)에 검출신호를 보낸다. 호스트컴퓨터(40)가 카세트(C)의 반입을 검지하면 로더콘트롤러(20)를 경유하여 로더구동부(21)에 신호를 보낸다. 이에 따라 반송장치(14)가 작동하고 카세트(C)가 카세트재치부(13)에 반입된다(공정S1).Next, when the auto transport vehicle 15 communicates with the inspection apparatus 10 via the communication means 18A and 18B, the inspection apparatus 10 can take the cassette C. Thereby, the arm 15A which supported the cassette C is driven, and the loading of the cassette C to the cassette mounting part 13 is started by the arm 15A. At the start of cassette loading, first, the cassette detection device 17 detects the intrusion of the cassette C and sends a detection signal to the host computer 40 via the loader controller 20. When the host computer 40 detects the carrying in of the cassette C, it sends a signal to the loader driving unit 21 via the loader controller 20. Thereby, the conveying apparatus 14 operates, and the cassette C is carried in to the cassette placing part 13 (step S1).
카세트반입시에 있어서는 제1 제어수단(29)의 CCD카메라(29A)가 자동반송차(15)에 의한 카세트(C)의 반입작업을 촬상하고 있다. CCD카메라(29A)는 촬상신호를 화상처리장치(OCR)(29B)에 송신한다. 화상처리장치(29B)는 그 신호를 수신하면 그것을 화상처리하여 로더콘트롤러(20)에 신호를 보낸다. 로더콘트롤러(20)는 화상처리신호를 다시 처리하고, 이를 표시장치(29C)에 보낸다. 표시장치(29C)는 화면에 반입작업의 상황을 컬러표시한다. 이에 따라 오퍼레이터는 로더부(11) 근처의 위치에서 반입상황을 감시하고, 또한 반송장치(14)를 조작할 수 있다. 또한 표시장치(29C)의 화면은 좌우로 회전하고, 또한 그 높이를 조정할 수 있기 때문에 그 화면을 보기쉬운 각도 및 높이로조 정할 수 있다.At the time of cassette loading, the CCD camera 29A of the 1st control means 29 image | photographs the operation | movement of the cassette C by the automatic conveyance vehicle 15. As shown to FIG. The CCD camera 29A transmits an image pickup signal to an image processing apparatus (OCR) 29B. When the image processing apparatus 29B receives the signal, it processes the image and sends a signal to the loader controller 20. The loader controller 20 processes the image processing signal again and sends it to the display device 29C. The display device 29C displays the color of the loading operation on the screen. As a result, the operator can monitor the loading situation at a position near the loader section 11 and can operate the conveying apparatus 14. In addition, since the screen of the display device 29C rotates left and right and its height can be adjusted, the screen can be adjusted to an easy-to-view angle and height.
카세트반입시에 물체검출장치(19)가 카세트재치부(13)에서 카세트(C)를 검출하면 로더구동부(21)는 그대로 구동하고, 또한 카세트(C)를 카세트재치부(13)상에 탑재한다. 그런데 이때 물체검출장치(19)가 카세트(C)와 함께 카세트(C)의 통과범위 밖에서 카세트(C) 이외의 물체를 검출하면, 이 물체가 검사에 불필요한 장해물의 침입이라고 판단하여 로더구동부(21)를 긴급정지시킨다.When the object detecting device 19 detects the cassette C by the cassette placing unit 13 at the time of cassette loading, the loader driving unit 21 is driven as it is, and the cassette C is mounted on the cassette placing unit 13. do. At this time, when the object detecting device 19 detects an object other than the cassette C together with the cassette C outside the passing range of the cassette C, it is determined that the object is an intrusion of an obstacle unnecessary for inspection, and the loader driver 21 Emergency stop).
장해물을 검출하는 일 없이 카세트(C)를 재치부(13)에 재치하면 제1식별장치(25)가 바코드(24)를 카세트(C)로부터 판독한다(공정S2). 호스트컴퓨터(40)는 이 판독신호를 기초로 하여 카세트(C)가 올바른 로트인지 아닌지를 판정한다(공정S3). 카세트(C)가 검사해야 할 기판(S)을 포함하지 않은 잘못된 로트라고 판정한 경우는 호스트컴퓨터(40)는 자동제어조작모드로부터 매뉴얼조작모드로 전환하고 모드전환한 것을 표시하여 경보한다(공정S20). 오퍼레이터는 표시를 보거나 또는 경보를 듣고, 그 잘못된 카세트(C)를 재치부(13)로부터 제거한다.When the cassette C is placed on the placement unit 13 without detecting an obstacle, the first identification device 25 reads the barcode 24 from the cassette C (step S2). The host computer 40 determines whether or not the cassette C is a correct lot based on this read signal (step S3). If it is determined that the cassette C is a wrong lot that does not contain the substrate S to be inspected, the host computer 40 switches from the automatic control operation mode to the manual operation mode and displays an alarm indicating that the mode has been changed (process). S20). The operator sees the indication or hears the alarm and removes the wrong cassette C from the placement unit 13.
한편 카세트(C)가 검사해야 할 기판(S)을 포함하는 올바른 것이라고 판정한 경우는 호스트컴퓨터(40)는 지령신호를 로더콘트롤러(20)에 보내고, 또한 로더콘트롤러(20)는 구동부(21)에 신호를 보내어 반송장치(14)를 구동제어한다. 또 로더콘트롤러(20)는 카세트(C)의 반입종료신호를 호스트컴퓨터(40)에 보낸다.On the other hand, when it is determined that the cassette C is correct including the substrate S to be inspected, the host computer 40 sends a command signal to the loader controller 20, and the loader controller 20 drives the drive unit 21. A signal is sent to drive control of the conveying apparatus 14. The loader controller 20 also sends the carry-in end signal of the cassette C to the host computer 40.
반송장치(14)는 로드아암(14A)을 카세트(C)내에 삽입하고 기판(S)을 한장만 꺼낸다(공정S4). 다음으로 아암(15A)을 180선회시켜 아암(15A)으로 지지한 기판(S)을 프로버부(12)쪽으로 고쳐 향한다(공정S5). 반송장치(14)를 재치대(32)를 향하여 X축방향으로 이동시킨다. 이 이동 도중에 있어서 프리얼라인먼트기구(63)에 의하여 기판(5)을 프리얼라인먼트한다(공정S6).The conveying apparatus 14 inserts the rod arm 14A into the cassette C and takes out only one substrate S (step S4). Next, arm (15A) 180 The substrate S, which is turned and supported by the arm 15A, is fixed to the prober portion 12 (step S5). The conveying apparatus 14 is moved to the mounting table 32 in the X-axis direction. In the middle of this movement, the substrate 5 is prealigned by the prealignment mechanism 63 (step S6).
프리얼라인먼트후에 다시 기판(S)을 소정의 로드위치를 향하여 반송한다. 반송장치(14)가 소정의 로드위치에 도착하면 제2 판독장치(기판식별장치)(31)가 기판(S)을 향하여 이동한다. 기판(S)이 로드위치에서 대기하고 있는 사이에 기판식별장치(31)는 기판(S)을 스캔하면서 식별부호(30)(36)를 판독한다(공정S7). 이 판독신호는 프로버콘트롤러(27)를 경유하여 호스트컴퓨터(40)에 보내어지고, 이를 기초로 하여 호스트컴퓨터(40)는 우선 기판(S)이 검사완료의 것인지 아닌지를 판정한다(공정S8). 만일 기판(S)이 검사완료의 것이라고 판정되면 이를 카세트(C)로 되돌린다(공정S21). 이에 따라 중복검사를 방지할 수 있다.After prealignment, the board | substrate S is conveyed toward a predetermined load position again. When the conveying apparatus 14 arrives at the predetermined load position, the second reading apparatus (substrate identification device) 31 moves toward the substrate S. As shown in FIG. While the board | substrate S is waiting in a load position, the board | substrate identification apparatus 31 reads identification codes 30 and 36, scanning the board | substrate S (step S7). This read signal is sent to the host computer 40 via the prober controller 27, and on the basis of this, the host computer 40 first determines whether or not the substrate S has been inspected (step S8). . If it is determined that the substrate S has been inspected, it is returned to the cassette C (step S21). As a result, duplicate inspections can be prevented.
기판(S)이 미검사의 것이라고 판정한 경우는, 또한 호스트컴퓨터(40)는 그 기판(S)이 검사예정의 것인지 아닌지를 판정한다(공정S9). 만일 기판(S)이 검사예정 이외의 것이라고 판정한 경우는 호스트컴퓨터(40)는 자동제어조작모드에서 매뉴얼조작모드로 전환하고 모드전환한 것을 표시하여 경보한다(공정S20). 오퍼레이터는 표시를 보거나 또는 경보를 듣고, 그 잘못된 기판(S)을 재치대(32)로부터 제거한다.When determining that the substrate S is uninspected, the host computer 40 further determines whether or not the substrate S is to be inspected (step S9). If it is determined that the substrate S is out of the inspection schedule, the host computer 40 switches from the automatic control operation mode to the manual operation mode and warns by displaying the mode change (step S20). The operator sees the indication or hears the alarm and removes the wrong substrate S from the mounting table 32.
한편 그 기판(S)이 검사해야 할 것이라고 판정한 경우는 호스트컴퓨터(40)는 그 신호를 프로버콘트롤러(26)로 보내고 반송장치(14)에 그 기판(S)을 테스트부(12)내에 반입시킨다(공정S10). 그리고 기판(S)이 재치대(32)상에 재치되면 프로버구동부(27) 및 테스트시스템(28)은 그 판정결과를 기초로 하여 기판(S)의 프로브검사를 실행한다(공정S11).On the other hand, when it is determined that the substrate S should be inspected, the host computer 40 sends the signal to the prober controller 26 and sends the substrate S to the transfer device 14 in the test unit 12. It carries in (step S10). When the substrate S is placed on the mounting table 32, the prober drive unit 27 and the test system 28 execute the probe inspection of the substrate S based on the determination result (step S11).
또한 프로브검사 및 식별부호의 판독상황은 표시 장치(34C)에 표시된다. 또 반송장치(14)나 프리얼라인먼트기구(63)가 동작하고 있는 사이에 제1 제어수단(29)의 CCD카메라(29A)가 그들 일련의 동작을 촬상하고, 그 착상신호를 화상처리장치(29B) 및 로더콘트롤러(20)를 통하여 처리하고 표시장치(29C)의 화면에 일련의 동작을 컬러표시한다. 이에 따라 오퍼레이터는 로더부(11) 근처의 위치에서 반송상황을 감시하고, 또한 반송장치(14)를 조작할 수 있다.In addition, the read condition of the probe test and the identification code is displayed on the display device 34C. In addition, the CCD camera 29A of the first control means 29 captures a series of these operations while the conveying device 14 and the prealignment mechanism 63 are operating, and transmits the conception signal to the image processing apparatus 29B. And the loader controller 20 and color display a series of operations on the screen of the display device 29C. Thereby, the operator can monitor the conveyance situation at the position near the loader part 11, and can operate the conveyance apparatus 14 further.
기판식별장치(31)에 의한 판독이 종료되면 로드아암(14A)을 재치대(32)를 향하여 진출시키고 기판(S)을 재치대(32)상에 재치한다. 재치대(32)는 얼라인먼트위치로 이동하고 얼라인먼트기구(82)에 의해 기판(S)의 얼라인먼트를 실시한다. 또한 재치대(32)는 프로브보드(83)의 아래쪽으로 이동하고, 여기에서 각 바코드로부터 판독한 검사내용을 따라서 기판(S)의 검사가 실행된다.When reading by the board | substrate identification apparatus 31 is complete | finished, the rod arm 14A advances toward the mounting base 32, and mounts the board | substrate S on the mounting base 32. As shown in FIG. The mounting table 32 moves to the alignment position and aligns the substrate S by the alignment mechanism 82. In addition, the mounting table 32 moves to the lower side of the probe board 83, and the inspection of the substrate S is performed in accordance with the inspection contents read from the respective barcodes.
프로브검사중에 있어서는 제2 제어수단(34)인 CCD카메라(34A)가 기판(S)의 각 얼라인먼트상황 및 검사상황을 촬상하고 있다. CCD카메라(34A)는 그 촬상신호를 화상처리장치(34B)에 송신하고 화상처리장치(34B)에 의해 화상처리하면 프로버콘트롤러(26)를 통하여 촬상화상을 표시장치(34C)에 컬러표시한다. 그리고 프로버부(12) 근처의 위치에서 프로버부(12)의 검사상황을 감시하고, 또한 프로버부(12)를 조작할 수 있다. 또 이 사이에도 제1 제어수단(29)에 의해 로더부(11)에서의 카세트(C)의 반출입상황을 감시하고, 또한 반송장치(14)를 조작할 수 있다. 또한 표시장치(24C)(34C)의 화면은 좌우로 회전하고, 또한 그 높이를 조정할 수 있기 때문에 그 화면을 보기 쉬운 각도 및 높이로 조정할 수 있다.During the probe inspection, the CCD camera 34A, which is the second control means 34, captures the alignment and inspection conditions of each of the substrates S. As shown in FIG. The CCD camera 34A transmits the captured image signal to the image processing apparatus 34B, and when the image is processed by the image processing apparatus 34B, color images are displayed on the display apparatus 34C via the prober controller 26. . The inspection status of the prober portion 12 can be monitored at the position near the prober portion 12, and the prober portion 12 can be operated. In the meantime, the first and second control means 29 can monitor the loading and unloading state of the cassette C in the loader section 11, and the conveying device 14 can be operated. In addition, since the screens of the display devices 24C and 34C rotate left and right, and the height can be adjusted, the screen can be adjusted to an angle and height that are easy to see.
이 프로브검사중에 로드아암(14A)은 다음의 기판(S)을 꺼내고 얼라이먼트위치에서 대기하고 있다. 그리고 검사가 끝나면 검사완료의 기판(S)에 펜(35A)에 의해 마킹한다(공정S12). 마킹후 반송장치(14)의 언로드아암(14B)을 프로버부(12)에 삽입하여 재치대(32)로부터 기판(S)을 들어올리고 프로버부(12)로부터 기판(S)을 반출한다(공정S13-1). 또한 대기중인 로드아암(14A)에 의하여 미처리의 기판(S)을 반송하고, 이를 재치대(32)에 재치한다(공정S13-2). 그리고 로드아암(14A)을 로더부(11)로 되돌린다(공정S13-3).During this probe inspection, the load arm 14A takes out the next substrate S and waits at the alignment position. After the inspection is completed, the inspection is performed on the completed substrate S by the pen 35A (step S12). After marking, the unload arm 14B of the conveying apparatus 14 is inserted into the prober part 12, lifts the board | substrate S from the mounting base 32, and takes out the board | substrate S from the prober part 12 (process S13-1). Furthermore, the unprocessed board | substrate S is conveyed by the load arm 14A of waiting, and it mounts on the mounting base 32 (process S13-2). The load arm 14A is returned to the loader section 11 (step S13-3).
다음으로 언로드아암(14B)을 180선회시켜 언로드아암(14B)으로 지지한 기판(S)을 카세트재치부(13)쪽으로 고쳐 향한다(공정S14). 반송장치(14)를 카세트(C)를 향하여 X축방향으로 이동시킨다.Next, unload arm (14B) 180 The substrate S, which is pivoted and supported by the unload arm 14B, is fixed toward the cassette placing portion 13 (step S14). The conveying apparatus 14 is moved to the cassette C in the X-axis direction.
제1 식별장치(25)가 바코드(24)를 카세트(C)로부터 판독한다(공정S15). 호스트컴퓨터(40)는 이 판독신호를 기초로 하여 카세트(C)가 올바른 로트인지 아닌지를 판정한다(공정S16). 카세트(C)가 검사완료기판(S)을 수납하는 것이 아닌 잘못된 로트라고 판정한 경우는 다음의 카세트(C)의 바코드(24)를 판독한다(공정S15). 올바른 로트의 카세트(C)라고 판정하면 다음에 기판(S)의 바코드(30)를 판독한다(공정S17).The first identification device 25 reads the barcode 24 from the cassette C (step S15). The host computer 40 determines whether or not the cassette C is the correct lot based on this read signal (step S16). If it is determined that the cassette C is a wrong lot rather than accommodating the inspection completed substrate S, the barcode 24 of the next cassette C is read (step S15). If it is determined that the cassette C is in the correct lot, the barcode 30 of the substrate S is read next (step S17).
또한 센서를 이용하여 기판(S)이 수납되어야 할 위치에 있는 카세트로트를 검출하고, 그것이 올바른 번지의 것인지 아닌지를 판정한다(공정S18). 검출슬롯이 잘못된 것인 경우는 올바른 슬롯을 찾아내기까지 이 동작을 반복한다. 찾아낸 올바른 슬롯에 검사완료기판(S)을 수납한다(공정S19).Furthermore, the cassette lot at the position where the board | substrate S is to be accommodated is detected using a sensor, and it is determined whether it is a correct address (step S18). If the detection slot is wrong, repeat this operation until the correct slot is found. The inspection completed substrate S is stored in the found correct slot (step S19).
또한 언로드아암(14B)이 구동하여 얼라인먼트위치로 이동한 재치대(32)로 부터 검사완료의 기판(S)을 언로드아암(14B)에 의해 인수하고, 또한 이미 반송해온 기판(S)을 재치대(32)상에 재치한다.In addition, the unloaded arm 14B is driven from the mounting table 32 moved to the alignment position, and the unloaded arm 14B is taken over by the unloaded arm 14B. It is mounted on (32).
그리고 카세트(C)내의 모든 기판(S)의 검사가 종료되면 테스트시스템(28)으로부터 호스트컴퓨터(40)에 그 취지의 신호를 보낸다. 또 반송장치(14)가 검사완료의 기판(S)을 모두 카세트(C)내에 수납하면 로더콘트롤러(20)로부터 호스트컴퓨터에 그 취지의 신호를 송신한다. 이에 따라 호스트컴퓨터는 자동반송차(15)에 반출지령을 송신하고 자동반송차(15)에 의해 검사완료의 기판(S)을 검사장치(10) 밖으로 반출한다. 이 반출작업은 제1 제어수단(29)에 의하여 감시할 수 있다. 반출후는 자동반송차(15)에 의해 카세트(C)를 후공정으로 반송한다.When the inspection of all the substrates S in the cassette C is completed, the signal is sent from the test system 28 to the host computer 40. Moreover, when the conveying apparatus 14 accommodates all the test | inspected board | substrate S in the cassette C, the signal from the loader controller 20 is sent to the host computer. As a result, the host computer sends a carrying instruction to the auto transport vehicle 15 and takes out the inspection completed substrate S out of the inspection apparatus 10 by the auto transport vehicle 15. This carrying out operation can be monitored by the first control means 29. After carrying out, the cassette C is conveyed to a later process by the automatic conveyance vehicle 15.
본 발명의 장치에 따르면 장치의 대형화에 의해 로더부로부터 프로버부까지의 거리가 증대했다고 해도 프로버부에서의 검사상황은 그 근처에서 감시할 수 있으며, 또한 로더부에서의 반송상황은 그 근처에서 감시할 수 있기 때문에 반송기구나 검사기구를 각각 확실하고, 또한 안전하게 조작할 수 있다.According to the apparatus of the present invention, even if the distance from the loader section to the prober section is increased due to the enlargement of the apparatus, the inspection status at the prober section can be monitored nearby, and the conveyance status at the loader section is monitored nearby. Therefore, the conveyance mechanism and the inspection mechanism can be reliably and safely operated respectively.
또 로더부나 프로버부에서 트러블이 발생한 경우에는 실제로 반송동작이나 검사동작을 감시하면서 수동조작을 실시할 수 있기 때문에 작업성이 향상하여 오퍼레이터의 작업을 경감할 수 있다.In addition, when a trouble occurs in the loader section or the prober section, manual operation can be carried out while monitoring the conveyance operation or the inspection operation. Therefore, the workability can be improved and the operator's work can be reduced.
또 제1 및 제2 제어수단의 각 표시장치의 표시화면을 수평방향에서 회전가능하게 하고, 또한 상하방향에서 승강 가능하게 했기 때문에 표시화면을 보기 쉬운 상태로 조정할 수 있다.In addition, since the display screens of the display apparatuses of the first and second control means are made rotatable in the horizontal direction and allowed to move up and down in the vertical direction, the display screens can be adjusted in an easy-to-view state.
또한 제1 판독수단에 의해 기판(S)을 로트단위로 관리하고, 제2 판독수단에 의해 기판(S)을 장엽단위로 관리할 수 있다.Further, the first reading means can manage the substrate S in lot units, and the second reading means can manage the substrate S in long leaf units.
또한 이들 제1 및 제2 판독수단으로부터의 검출신호를 기초로 하여 검사를 실행하기 때문에 카세트(C)와 기판(S)에서 검사정보를 더블체크할 수 있어서 미스를 발생시키는 일 없이 항상 정확하게 검사를 실행할 수 있다.In addition, since the inspection is executed based on the detection signals from the first and second reading means, the inspection information can be double-checked in the cassette C and the substrate S, so that the inspection is always performed accurately without generating a miss. You can run
또 검사완료의 기판에 마킹하고, 마킹한 마크를 제2 판독수단에 의해 판독하도록 했기 때문에 중복검사를 확실하게 방지할 수 있다.In addition, since the inspection completed is marked on the substrate and the marked mark is read by the second reading means, duplication inspection can be reliably prevented.
또한 이 검사장치에 따르면 오퍼레이터는 앞으로 더욱 증대하는 LCD용 기판의 관리업무에서 해방되게 된다.In addition, according to this inspection apparatus, the operator will be freed from the management work of the LCD substrate which is further increased in the future.
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