JP4783271B2 - ウエハ電極の登録方法及びウエハのアライメント方法並びにこれらの方法を記録した記録媒体 - Google Patents
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Description
14 第1のCCDカメラ(撮像手段)
16 表示画面
16A 撮像画面
16B 操作パネル
16C 登録画像
M、M’アライメントマーク(位置合わせマーク)
W ウエハ
Claims (7)
- ウエハに形成された複数のチップに所定の処理を施す際に、上記ウエハを載置した載置台と撮像手段が相対移動して、上記撮像手段により上記ウエハの任意の位置にあるチップを所定の照度で撮像し、上記チップの電極を検出した後、その電極の位置を登録する方法であって、上記チップの電極の大きさをティーチングする工程と、上記撮像手段により、上記チップの電極を撮像する時の照度を制御して上記撮像手段による電極画像の輪郭を現して上記電極を認識する工程と、上記輪郭の大きさの適否を上記ティーチングによる大きさに基づいて判断する工程と、上記輪郭の大きさが許容値内にある時、上記輪郭の大きさ及びその時の照度をそれぞれ登録する工程と、を備えたことを特徴とするウエハ電極の登録方法。
- 上記所定の処理を実行する際に、上記ウエハを上記輪郭が得られた時の照度で照明する工程と、上記撮像手段により上記照明下で上記ウエハの電極画像を得て上記電極を認識する工程と、上記電極画像の大きさの適否を上記登録輪郭の大きさに基づいて判断する工程と、上記電極画像の輪郭が許容値内にある時に上記ウエハを所定の処理に供する工程と、を備えたことを特徴とする請求項1に記載のウエハ電極の登録方法。
- ウエハに形成された複数のチップに所定の処理を施す際に、上記ウエハを載置した載置台と撮像手段が相対移動して、上記撮像手段により上記ウエハを所定の照度で撮像することにより上記ウエハのアライメントを行う方法であって、上記撮像手段により上記載置台上の上記ウエハの任意のスクライブラインを撮像し、その位置を登録する工程と、上記撮像手段により上記スクライブラインの登録位置と所定の位置関係にあるチップの電極を、その電極画像の輪郭が現れる照度下で認識し、その情報を登録する工程と、上記撮像手段により上記電極を認識した時の上記載置台の位置を登録する工程と、上記位置登録された電極をアライメントに供する工程と、備え、上記電極の認識、登録工程は、上記チップの電極の大きさをティーチングする工程と、上記撮像手段により、上記チップの電極を撮像する時の照度を制御して上記撮像手段による電極画像の輪郭を現して上記電極を認識する工程と、上記輪郭の大きさの適否を上記ティーチングによる大きさに基づいて判断する工程と、上記輪郭の大きさが許容値内にある時、上記輪郭の大きさ及びその時の照度をそれぞれ登録する工程と、を有することを特徴とするウエハのアライメント方法。
- 上記アライメントに供する工程は、上記ウエハを上記輪郭が得られた時の照度で照明する工程と、上記撮像手段により上記照明下で上記ウエハの電極画像を得て上記電極を認識する工程と、上記電極画像の大きさの適否を上記登録輪郭の大きさに基づいて判断する工程と、上記電極画像の輪郭が許容値内にある時に上記ウエハを所定の処理に供する工程と、を有することを特徴とする請求項3に記載のウエハのアライメント方法。
- 上記電極の認識工程及び上記アライメントに供する工程は、上記撮像手段の高倍率下で実施されることを特徴とする請求項3または請求項4に記載のウエハのアライメント方法。
- ウエハに形成された複数のチップに所定の処理を施す際に、上記ウエハを載置した載置台と撮像手段が相対移動して、上記撮像手段により上記ウエハの任意の位置にあるチップを所定の照度で撮像し、上記チップの電極を検出した後、その電極の位置を登録するためのプログラムを記録した記録媒体であって、上記プログラムによってコンピュータを駆動させて、請求項1または請求項2に記載のウエハ電極の登録方法を実行することを特徴とする記録媒体。
- ウエハに形成された複数のチップに所定の処理を施す際に、上記ウエハを載置した載置台と撮像手段が相対移動して、上記撮像手段により上記ウエハを所定の照度で撮像することにより上記ウエハのアライメントを行うためのプログラムを記録した記録媒体であって、上記プログラムによってコンピュータを駆動させて、請求項3〜請求項5のいずれか1項に記載のウエハのアライメント方法を実行することを特徴とする記録媒体。
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