KR0182084B1 - 검사용 프로우브 - Google Patents

Abstract

다수의 탐침을 보다 미소한 피치로 배열시킨 검사용 프로우브가 제공된다.

블럭(1)의 단부 표면(1a)에 다수의 탐침삽입홈(2)을 형성하고, 그 각각의 탐침삽입홈(2)에, 그 자체가 길이방향으로 탄성을 지니는 도전성 탐침(3)을, 그 양단부 탐침삽입홈(2)의 양 개구단부로부터 돌출됨과 동시에 빠지지 않는 상태로, 또한 서로 전기적으로 절연시킨 상태로 삽입하여 탐침지지부재(5)에 의해 지지시킨다. 이에 따라, 블럭에 구멍을 뚫고, 그 구멍에 소켓과 슬리브를 개재하여 탐침을 삽입시킨 종래의 구성에 비하여, 보다 훨씬 미소한 피치로 다수의 탐침을 배열시키는 것이 가능하게 된다.

Description

검사용 프로우브(probe)

제1도는 본 발명의 일면에 따른 검사용 프로우브의 제1실시예를 도시한 것으로, a도는 일부절개한 정면도이고, b도는 그 평면도이며, c도는 측단면도.

제2a도 내지 e도는 제1도의 제1실시예에 있어서 탐침과 탐침삽입홈의 다른 구성예들을 도시한 측단면도.

제3a도 내지 c도는 제1도의 제1실시예에 있어서 검사용 프로우브의 다른 구성예들을 도시한 평면도.

제4도는 본 발명의 일면에 따른 검사용 프로우브의 제2실시예를 도시한 것으로, a도는 부분정면도이며, b도는 부분평면도이고, c도는 선 A-A 단면도이며, d도는 선단부가 굽혀진 탐침에 적용된 상태를 도시한 c도와 유사한 단면도.

제5도는 본 발명의 다른 일면에 따른 검사용 프로우브의 실시예를 도시한 것으로, a도는 정면도이고, b도는 그 평면도.

제6도는 종래의 검사용 프로우브의 구성을 도시한 것으로, a도는 평면도이고, b도는 그 정면도이며, c도는 측단면도.

제7도는 종래의 다른 검사용 프로우브의 구성을 도시한 것으로 a도는 평면도이고, b도는 그 중앙단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1, 1' : 블럭 1a, 1a' : 단부 표면

2, 2' : 탐침삽입홈 2a : 요홈부

2b : 탄성안내홈부 3, 3' : 탐침

3a : 금속판 3b : 구멍

3c : 노치 3d : 고무

3e : 만곡부 3f : 중앙절곡부

3g : 탐침후단부 3h : 후단절곡부

3p : 탐침선단부 5 : 탐침지지부재

11 : 심구(深溝 : 깊은 홈) 12 : 절개부

13 : 탄성부 21 : 탐침지지판

22 : 스페이서 23 : 중공블럭

25,26 :격자판 25a, 26a : 슬리트

27 : 탐침삽입공

본 발명은 반도체칩부품, LCD 등의 전기(자)부품을 전기적으로 검사할 때 사용하는 프로우브(probe)에 관한 것으로, 상세하게는 다수의 탐침을 서로 평행하게 유지하면서 각각 길이방향으로 탄성을 지니는 상태로 유지시키도록 구성하고, 그 각각의 탐침의 선단부를 피검사부품의 다수의 단자에 접촉시키므로써 그 각각의 단자로부터 전기신호를 얻을 수 있는 검사용 프로우브에 관한 것이다.

제6도는 종래의 기술에 따른 검사용 프로우브의 구성의 일예를 도시한 것으로, a도는 평면도이고, b도는 그 정면도이며, c도는 측단면도이다.

제6a도 내지 c도에 도시된 바와 같이 이 종래의 프로우브는, 절연성 블럭(52)에 형성된 다수의 지지공(53)에 각각의 도전성 슬리브(55)를 개재하여 삽입, 장착시키므로써 다수의 도전성 탐침(51)이 서로 평행하게 지지되도록 구성되어 있다. 그 탐침은 후단부가 코일스프링(57)에 의해 외측으로 가압되고 지지된 채 제6도c도에서 상부로 미끄럼운동 가능하게 도전성 소켓트(56)내에 삽입되며, 그 소켓트(56)는 슬리브(55)내에 고정된다.

다시 말하면, 각각의 탐침(51)은 각각 서로 전기적으로 절연되고 코일스프링(57)에 의해 길이방향으로 탄성을 지니는 상태로 서로 평행하게 블럭(52)의 다수의 지지공(53)에 지지된다. 또, 탐침(51)의 개수와 피치는 피검사부품의 단자에 대응하여 설정된다.

따라서, 상술한 구성의 프로우브에서는 각각의 탐침(51)의 선단부를 피검사부품의 각 단자에 접촉시키므로써 그 각 단자로부터 탐침(51), 소켓(56) 및 슬리브(55)를 통하여 전기적 신호를 얻을 수 있게 된다. 이 때, 각각의 탐침(51)은 코일스프링(57) 탄성력에 의해 각단자에 충격을 가함이 없이 일정한 압력으로 접촉하게 된다.

그러나, 상술한 종래의 검사용 프로우브의 구성으로는, 블럭(52)에 미소한 직경과 피치로 지지공(53)은 형성하는 것이 곤란하며, 더욱 그 지지공(53)은 형성하는 것이 곤란하며, 더욱 그 지지공(53)에는 코일스프링(57)에 의해 탄성을 지니는 탐침(51)이 소켓트(56) 및 슬리브(55)에 수납되며 삽입, 장착되기 때문에 최근의 점점 고밀도화되는 반도체 칩부품, LCD 등의 미소한 피치의 단자에 대응시켜서 다수의 탐침(51)을 배열하는 것이 거의 불가능하게 되었다.

또한, 제7a도 b도는 종래의 기술에 따른 다른 일예의 검사용 프로우브의 구성이 도시되는데, 여기서는 중앙에 개구(62)가 형성된 프린트 원판(61)의 내주에 다수의 신호입력 전극(65)이 형성되며, 그 신호입력전극(65)이 형성되고 그 신호입력전극(65)에는 탐침(63)의 일단(67)이 납땜 등으로 부착되고, 탐침(63)의 타단은 중앙의 개구(62)의 중심을 항하여 방사상으로 배열되어 있으며, 그 타단의 선단(68)은 개구(62)의 중심부근에서 제7b도에서와 같이 하방으로 굽혀져 있어, 그 굽혀진 선단의 끝이 피검사물의 전극(69)과 접촉하므로써 전기적 신호를 얻을 수 있게 된다.

이러한 구성의 프로우브는 주로 실리콘 웨이퍼의 검사에 사용되는데, 그 각 탐침(63)의 굽혀져 있는 선단(68)에서 탄성을 얻기 위해서는 납땜부인 일단(67)으로부터 어느 정도 굽혀져 있는 선단에서 탄성을 얻기 위해서는 거리가 유지되어야 하며, 이 때문에 조립시 각 선단(68)의 위치를 정밀하게 맞추는 것이 곤란하며 이러한 프로우브 역시 피검사물의 고밀도화에 대응해 나가지 못하는 문제점이 있다.

본 발명은 이러한 문제를 해결하기 위한 것으로, 다수의 탐침을 보다 미소한 피치로 배열시킬 수 있는 검사용 프로우브를 제공하는 데에 그 목적이 있다.

이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일면에 따른 검사용 프로우브의 구성은 다음과 같다.

즉, 블럭(1)을 관통하여 양단이 개구되도록 블럭(1)의 적어도 하나의 단부 표면(1a)에 서로 평행한 다수의 탐침삽입홈(2)의 형성되며, 길이 방향으로 탄성을 지니는 다수의 도전성 탐침(3)의 양단부가 상기 탐침삽입홈(2)의 양단에 개구로부터 돌출하며 그 탐침삽입홈(2)으로부터 빠지지 않고 서로 전기적으로 절연된 상태로 그 탐침(3)이 각각 상기 블럭(1)의 탐침삽입홈(2)에 삽입되어 지지된다.

그 탐침삽입홈(2)에서 빠지지 않으면서 길이방향으로 탄성을 가지는 구성으로는, 탐침(3)자체를 얇고 긴 금속판으로 형성하고 그 중간부분에 구멍과 노치를 형성시킴과 동시에 접착제로 탐침삽입홈(2)에 고정시키거나, 또는 탐침삽입홈(3)의 중간부분에 깊이가 더 깊은 요홈부(2a)를 형성하고 그 요홈부(2a)에 삽입되어 빠짐을 방지하고 탄성을 가지는 만곡부(3e)가 탐침(3)의 중간부분에 형성된다. 또한, 탐침(3)의 선단부(3p)가 하방으로 굽혀진 경우에는 상방으로 탐침(3)이 탄성을 지니도록 탄성안내홈부(2b)가 형성된다.

또, 본 발명의 일변에 따른 검사용 프로우브의 다른 구성예에 있어서는, 상기 블럭(1)의 다수의 탐침삽입홈(2)이 형성된 단부 표면(1a)에, 그 탐침삽입홈(2)을 직각방향으로 이등분하는 형태로 그 탐침삽입홈(2)보다 깊이가 깊은 심구(深溝)(11)를 형성시킴과 동시에 그 각각의 탐침삽입홈(2)사이에 절개부(12)를 형성시키므로써, 그 탐침삽입홈(2)의 각각의 길이방향으로 탄성을 지니는 다수 쌍의 탄성부(13)가 상기 블럭(1)에 형성되고, 탄성을 지니는 상기 도전성 탐침(3)이 그 각 다수 쌍의 탄성부(13)사이의 탐침삽입홈(2)에 삽입, 고정시킨 상태로 지지된다.

이 경우에는 탐침(3)의 선단부가 하방으로 굽혀진 것이더라도 탄성부(13)에 의해 상방으로 탄성을 지닐 수 있어, 다른 변경을 필요로 하지는 아니한다.

또, 본 발명의 다른 일면에 따른 검사용 프로우브의 구성은 다음과 같다.

즉, 다수의 슬리트(25a,26a)가 형성된 2매의 격자판(25,26)을 각각의 슬리트(25a)와 (26a)가 교차하는 상태로 중첩시키므로써, 그 다수의 슬리트교차부분이 각각 탐침삽입공(27)을 구성하는 탐침지지판(21)을 형성하고, 그 탐침지지판(21) 2매를, 스페이서(22)를 개재하여 서로 대향하는 상태로 고정시키므로써 중공블럭(23)을 형성한다.

그리고, 탐침(3)의 양단부가 상기 중공블럭(23)의 외측으로 빠지지 않게 돌출되고 또한 서로 전기적으로 절연된 상태로, 그 자체가 길이방향으로 탄성을 지니는 도전성 탐침(3)이 그 중공블럭(23)을 구성하는 상기 2매의 탐침지지판(21)의 대향하는 각 쌍의 탐침삽입공(27)에 삽입된다.

상술한 본 발명의 일면에 따른 구성에 있어서, 블럭(1)의 단부표면(1a)에 형성되는 다수의 탐침삽입홈(2)은, 구멍을 뚫는 것과는 달리, 미소한 폭과 피치로 형성될 수 있다. 또, 각각의 탐침삽입홈92)에 삽입되는 탐침(3)에 대해서도, 그 자체가 탄성을 지니도록 하였기 때문에, 종래의 기술과 같이 코일스프링과 함께 소켓트 및 슬리브에 수납할 필요가 없게 되며, 따라서 아주 얇게 형성하는 것이 가능하게 된다.

즉, 본 발명의 일면에 따른 검사용 프로우브는, 종래와 같이 구멍을 뚫고 그 구멍에 소켓트 및 슬리브를 개재하여 탐침을 삽입하는 구성에 비하여, 더 훨씬 미소한 피치로 다수의 탐침(3)을 배열시키는 것이 가능하게 된다.

또, 상술한 본 발명의 일면에 따른 검사용 프로우브의 다른 구성예에 의하면, 각각의 탐침(3)은, 그 양단부 부근이 블럭(1)의 각 쌍의 탄성부(13)에 고정되지만, 탐침(3)자체의 탄성과 탄성부(13)의 탄성에 의해 각각의 길이방향으로 탄성을 지니게 된다. 이러한 구성에 의하면, 각 탐침(3)을 블럭(1)의 각 쌍의 탄성부(13)에 직접 고정시켜 지지시킬 수 있기 때문에 각 탐침(3)의 두께를 극히 얇게 하는 것이 가능하게 되며, 이에 따라 그 피치를 더욱 미소화시킬 수 있게 된다.

또한, 상술한 본 발명의 다른 일면에 따른 검사용 프로우브에 있어서는, 각각의 탐침지지판(21)의 각 격자판(25,26)에 형성되는 슬리트(25a,26a)가, 상술한 본 발명의 일면에 따른 검사용 프로우브에서의 탐침삽입홈과 같이 미소한 폭과 피치로 용이하고도 정밀도 높게 형성될 수 있다. 따라서, 그 슬리트(25a,26a)끼리를 교차시키므로써,다수의 미세한 탐침삽입공(27)은, 미소한 피치로 용이하고도 정밀도 높게, 또한 2차원으로 확장, 배열되도록 형성시키는 것이 가능하게 된다.

이상에서 상술한 괄호내의 부호는 도면과 대조하기 위한 것일뿐, 하등 본 발명의 구성을 한정하는 것은 아니다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 설명한다.

제1도는 본 발명의 일면에 따른 검사용 프로우브의 제1실시예를 도시하는 것으로서, a도는 일부를 절개한 정면도이고, b도는 평면도이며, c도는 측단면도이다.

제1a도 내지 c도에 도시된 바와 같이 이 실시예에서는 합성수지 등의 절연재료로 된 절연성 블럭(1)의 단부 표면(1a)에는 서로 평행한 다수의 탐침삽입홈(2)이 블럭(1)의 상하부를 관통하여 그 탐침삽입홈(2)의 양단이 개방된 상태로 형성되며, 각각의 탐침삽입홈(2)에는 탐침(3)이 각각 그 양단부가 상기 탐침삽입홈(2)의 개방 양단으로부터 돌출한 상태로 삽입된다. 또, 각 탐침삽입홈(2)에 삽입된 탐침(3)이 빠지지 않고 지지되도록 그 블럭(1)의 단부 표면(1a) 고정된다.

합성수지 등의 절연재료로 된 판상의 탐침지지부재(5)가 나사(6)를 이용하여 상기 탐침(3)은 도전성이며, 그 자체가 길이방향으로 탄성을 지니는 것으로서, 예를 들면, 제1c도에 도시된 바와 같이 얇은 금속판(3a)에 다수의 구멍(3b)을 형성시키고 다수의 노치(3d)를 형성시킴과 동시에 그 금속판(3a)의 주위를 절연성 고무(3d)로 피복하여 보강한 것을 들 수 있다. 그리고 그 탐침(3)은 상기 블럭(1)의 탐침삽입홈(2)에 압입되므로써 빠지지 아니하는 상태로 삽입된다.

그래도, 주위의 고무(3d) 및 블럭(1)과 탐침지지부재(5)가 절연성이므로 그 각각의 탐침삽입홈(2)에 압입된 각각의 탐침(3)은 서로 전기적으로 절연된 상태로 유지된다.

또, 상기 탐침(3)과 같이 금속판(3a)의 주위를 절연성고무(3d)로 피복한 경우 블럭(1)과 탐침지지부재(5)를 금속 등의 도전성 재료로 구성하는 것도 가능하다.

상술한 구성에 있어서, 블럭(1)의 단부 표면(1a)에 형성되는 다수의 탐침삽입홈(2)은, 종래의 기술에서와 같이 구멍을 뚫는 것과는 달리 홈파는 정밀기계 등을 이용하여 미소한 폭과 피치, 예를 들어 0.06mm 정도의 폭과 0.12mm정도의 피치로 정밀도 높게 또한 용이하게 형성될 수 있다.

또, 각각의 탐침삽입홈(2)에 삽입되는 탐침(3)에 대해서도 그 자체가 탄성을 지니기 때문에 종래의 기술에서와 같은 코일스프링과 함께 탐침을 소켓 및 슬리브에 수납시킬 필요가 없게 되어, 두께를 아주 얇게, 예를 들어 0.05mm정도의 두께로 형성하는 것이 가능하다.

제2a도 내지 c도는 상술한 제1실시예의 탐침(3)과 탐침삽입홈(2)의 다른 구성예들을 도시한 측단면도들이다.

제2a도에서 탐침(3)은 금속판의 중앙부를 U자형으로 만곡시켜 만곡부(3e)를 형성한 것이며, 그 탐침(3)이 삽입되는 블럭(1)의 탐침삽입홈(2)에도 탐침(3)이 만곡부(3e)가 삽입되는 요홈부(2a)가 형성된다. 이 요홈부(2a)는 블럭(1)의 단부 표면(1a)에 각각의 탐침삽입홈(2)과 직각으로 교차하는 하나의 횡방향 홈을 그 탐침삽입홈(2)보다 깊게 파내므로써 용이하게 형성될 수 있다.

이러한 구성에 있어서는, 탐침(3)은 그 만곡부(3e)에 의해 그 탐침자체가 길이방향으로 탄성을 지니며, 또한, 그 만곡부(3e)가 탐침삽입홈(2)의 요홈부(2a)에 삽입되므로써 빠지지 않고 지지되게 된다.

제2b도에서는 탐침(3)에 중앙 만곡부(3e)가 형성되고 탐침삽입홈(2)에 요홈부(2a)가 형성되는 점은 제2a도에서와 동일하지만, 탐침(3)의 선단부(3f)가 제7도의 종래의 기술에서와 같이 절곡되어 있으며, 이 경우에는 탐침(3)이 제2b도에서 상하방향으로 탄성을 지녀야 하기 때문에 탄성안내홈부(2b)가 탐침삽입홈(2)의 탐침의 선단부(3f)측 상부에 형성되어 있다. 이 경우에는 제2c도에서와 같이 만곡부(3e) 및 요홈부(2a)를 제거하고 탐침(3)의 후단부(3g)에서 접착제로 나사(6)를 이용하여 부착된다. 이 구성에 의하면, 탐침(3)의 피치를 보다 미소화할 수 있다.

제3b도에 도시한 구성예는, 쌍방의 탐침삽입홈(2)(2')이 서로 평행하고 엇갈리도록 탐침삽입홈(2)측 단부 표면(1a)에 다른 하나의 블럭(1')의 탐침삽입홈(2')측 단부 표면(1a')를 접합하므로써 구성된다.

이 경우에는 쌍방의 블럭(1)(1')이 서로 상대방의 탐침(3')(3)을 지지하는 탐침삽입부재로 된다. 이 구성에 의하면 상기 제3도(a)의 구성과 같이 탐침(3)(3')의 피치가 더욱 미소화될 수 있다.

제3도c도에 도시한 구성예는 단부표면(1a)의 탐침삽입홈(2)에 탐침(3)을 삽입시킴과 동시에 그 단부 표면(1a)에 탐침지지부재(5)를 부착시킨 4개의 블럭(1)을 사각형으로 조합해서 구성한 것이다. 이러한 구성과 같이 다수의 블럭(1)을 조합하므로써 다수의 탐침(3)을 피검사부품의 단자의 다양한 배치에 대응해서 배열하는 것이 가능하다.

제4도는 본 발명의 일변에 따른 제2실시예를 도시한 것으로, (a)부분정면도이고, (b)는 부분평면도이며, (c)는 (a)의 A-A 단면도이다.

제4a도 내지 c도에 도시된 프로우브에서는 블럭(1)의 단부표면(1a)에 다수의 탐침삽입홈(2)이 형성되고, 그 탐침삽입홈(2)을 직각방향으로 이등분하는 형태로 그 탐침삽입홈(2)보다 더 깊은 심구(11)가 상기 블럭(1)의 단부표면(1a)에 형성됨과 동시에 각각의 탐침삽입홈(2)사이에 상기 심구(11)와 같은 깊이로의 절개구(12)가 형성되며, 이에 따라, 각각의 탐침삽입홈(2)에 대응하여 그 탐침삽입홈(2)의 길이방향으로 탄성을 지니는 다수 쌍의 탄성부(13)가 블럭(1)에 형성된다. 그 각 쌍의 탄성부(13)의 탐침삽입홈(2)에는 그 자체가 길이방향으로 탄성을 지니는 도전성 탐침(3)이 삽입되고 접착제(15)에 의해 고정되어 지지된다.

이러한 실시예의 경우, 그 각 쌍의 탄성부(13)는 블럭(1)의 상방과 하방에서 L자 형상을 이루게 되고, 그 각 쌍의 탄성부(13)의 상,하단부로부터는 상기 탐침(3)의 양단부가 돌출된다. 또, 탐침(3)은 얇은 금속편의 중앙부에 심구(11)의 단면형상과 거의 같은 그 향상의 중앙절곡부(3f)가 형성되므로써 그 길이방향으로 탄성을 지니도록 형성될 수 있다.

즉, 이 실시예에 따른 프로우브에서는 각각의 탐침(3)은 그 양단부 부근이 블럭(1)의 각 쌍의 탄성부(13)에 고정되더라도 탐침(3)자체의 탄성과 탄성부(13)의 탄성에 의해 각각 길이방향으로 탄성을 지니게 된다. 또한, 블럭(1)이 절연재료로 형성되기 때문에 각각의 탐침(3)사이는 서로 전기적으로 절연된 상태로 된다.

이러한 실시예에 따른 프로우브에 의하면, 각각의 탐침(3)이 블럭(1)의 각 쌍의 탄성부(13)에 직접 고정되어 지지되기 때문에 각각의 탐침(3)의 두께를 아주 얇게 할 수 있고, 따라서 그 피치를 보다 미소하게 하여 보다 미소한 피치의 단자에 대응시키는 것이 가능하게 된다.

더욱이, 탐침삽입홈(2)이 형성된 블럭(1)의 탄부표면(1a)에서는 상술한 제1실시예에서와 같은 탐침지지부재를 부착할 필요가 없기 때문에 피검사부품에 대한 공간상의 제약이 상당히 감소되게 된다. 환언하면, 보다 많은 형태의 부품에 대응시키는 것이 가능하게 된다.

제4d도에서는 제4도(a) 내지 c도의 실시예를 90도 반시계방향으로 회전시킨 상태에서 탐침(3)의 선단부(3')를 하방으로 굽힌 경우에는 탐침(3)이 상하방향으로 탄성을 지니게 되기 때문에 그 선단부(3')를 피검사물에 접촉시켜 검사할 수 있다.

그 이외에도 이러한 실시예의 구성을 응용하여 블럭(1)의 후방에서 그 블럭(1)을 삽입시킬 수 있는 깊은 홈을 가지는 다른 블럭에 삽입시켜 구성하면 더욱 미소한 피치의 단자에도 대응시킬 수 있는 등 블럭을 다양하게 응용할 수 있다.

제5도는 본 발명의 다른 일면에 따른 검사용 프로우브의 실시예를 도시한 것으로, a도는 정면도이고, b도는 평면도이다.

이 실시예에서는 도시된 바와 같이 2매의 탐침지지판(21)을 스페이서(22)를 개재하여 상하로 대향시킨 상태로 구성하므로써 중공블럭(23)이 형성되며, 그 중공블럭(23)에 의해 다수의 탐침(3)이 지지된다.

상기 탐침지지판(21)은 다수의 슬리트(slit)(25a,26a)를 각각 지지는 2매의 격자판(25,26)을, 그 슬리트(25a)와 (26a)가 직각으로 교차하도록 중첩시키므로써 그 다수의 슬리트교차부분이 각각 탐침삽입공(27)을 형성하도록 구성한 것이다. 이러한 각 탐침지지판(21)의 격자판(25,26)끼리, 또한 각 탐침지지판(21)과 스페이서(22)는 접착제를 이용하여 서로 고정된다. 또, 상기 2매의 격자판(25,26)의 각각의 슬리트(25a,26a)의 교차각도에 대해서는 반드시 직각일 필요는 없다.

그리고, 상하의 탐침지지판(21)은 각각의 탐침삽입공(27)이 대응하도록 조합하여 그 대응하는 각 쌍의 탐침삽입공(27)에 탐침(3)이 삽입되고 그 각각의 탐침(3)이 양단부는 중공블럭(23)의 외측으로 돌출된다.

상기 탐침(3)은 탄성을 지지는 피아노선 등의 가는 금속선으로 형성하여 양단부로부터 형성하여 양단부로부터 압출력을 받은 때에 중앙부가 휘어지므로써 그 길이방향으로 탄성을 지니도록 구성된다. 또, 탐침(3)은 그 하단부가 삽입되는 하측의 탐침지지판(21)의 각각의 탐침삽입공(27)의 크기를, 즉 2매의 격자판(25,26)의 각각의 슬리트(25a,26a)의 폭을 상측의 탐침지지판(21)의 것보다 작게 하므로써 하방으로 탐침(3)이 빠지는 것이 방지된다.

상기 상하의 탐침지지판(21)의 각각의 격자판(25,26)은 합성수지 등의 절연재료로 구성되고, 이에 따라, 각각의 탐침(3)은 서로 전기적으로 절연된 상태로 된다. 또, 그 각각의 탐침(3)은 상하의 탐침지지판(21) 사이의 부분에서 절연코팅을 하므로써, 피검사부품과 검사기의 쌍방의 각 단자에 압접하여 탐침(3)의 중앙부분이 휜 때에 인접하는 탐침(3)끼리 그 중앙부분에서 접촉하더라도 서로 절연상태가 보장되게 된다.

이러한 구성에 있어서, 각 탐침지지판(21)의 각각의 격자판(25,26)에 형성되는 슬리트(25a,26a)는, 상술한 본 발명의 일면에 따른 검사용 프로우브의 탐침삽입홈과 같이 홈파는 정밀기계 등에 의한 미소한 폭과 피치로 정밀도 높게, 또한 용이하게 형성될 수 있다. 따라서, 그 슬리트(25a)와 (26a)끼리르 교차시키므로써 다수의 미세한 탐침삽입공(27)이 미소한 피치로 정밀도 높게, 또한, 용이하게 형성될 수 있으며, 2차원으로 확장해서 배열하는 것도 가능하게 된다.

즉, 상술한 본 발명의 다른 일면에 따른 검사용 프로우브에 의하면, 미세한 피치와 다양한 형태로 배열된 반도체칩부품, LCD 등의 단자에도 충분하고도 용이하게 대응시키는 것이 가능하다.

이상, 설명한 바와 같이, 본 발명의 일면에 따른 검사용 프로우브에 의하면, 길이방향으로 탄성을 거니는 다수의 탐침이 종래의 것에 비하여 훨씬 미소한 피치로 배열될 수 있다. 따라서, 고밀도화된 반도체칩부품, LCD 등의 미소한 피치의 단자에도 충분히 대응시킬 수 있다. 그것도 간단한 구성으로 부품수와 조립공정이 감소되기 때문에 비용도 저렴하게 될 수 있다.

또, 블럭에 다수 쌍의 탄성부를 형성하고, 그 각 쌍의 탄성부의 탐침삽입홈에 탐침을 삽입하여 고정시키도록 구성하면, 탐침의 두께를 아주 얇게 할 수 있고, 이에 따라 그 피치를 더욱 미소화하여 더욱 미소한 피치의 단자에도 대응시키는 것이 가능하게 된다.

또한, 본 발명의 다른 일면에 따른 프로우브에 의하면, 더욱 다수의 탐침을 미소한 피치로 2차원으로 넓게 배열시킬 수 있어, 반도체칩부품, LCD 등의 미세한 피치와 다양한 형태로 배열된 단자에도 충분하고도 용이하게 대응시키는 것이 가능하게 된다.

이상에서 본 발명의 일면과 다른 일면에 따른 검사용 프로우브의 실시예들과 구성예들이 상세히 설명되었으나, 본 발명은 이들에 한정되지는 아니하며, 상술한 설명과 청구범위로부터 당업계에서 통상의 지식을 가진 자에게 가능한 여러 가지 모든 변경과 응용이 본 발명에 포함된다.

Claims (3)

1. 다수의 도전성 탐침(3)을, 서로 평행하게, 또한 서로 전기적으로 절연시킴과 동시에 각각의 길이방향으로 탄성을 지니게 한 상태로 지지시켜 구성하고, 그 각각의 탐침(3)의 선단부(3p)를 피검사부품의 다수의 단자에 접촉시키므로써, 그 각각의 단자로부터 전기신호를 얻는 검사용 프로우브에 있어서, 블럭(1)의 적어도 하나의 단부 표면(1a)에, 서로 평행한 다수의 탐침삽입홈(2)을, 그 블럭(1)을 관통하여 그 탐침상입홈(2)의 양단을 개구시킨 상태로 형성하며, 상기 블럭(1)의 다수의 탐침삽입홈(2)을 형성한 단부(1a)에, 그 각각의 탐침삽입홈(2)을 직각으로 이등분한 형태로 그 각각의 탐침삽입홈(2)의 깊이보다 깊은 심구(11)를 형성함과 동시에, 그 각각의 탐침삽입홈(2)에 대응시켜서, 그 각각의 탐침삽입홈(2)의 길이 방향 및 그 수직방향으로 탄성을 지니는 다수 쌍의 탄성부(13)를 형성하고, 그 각 쌍의 탄성부(13)의 탐침삽입홈(2)에, 그 자체 탄성을 지니는 도전성 탐침(3)을 삽입하여 고정시킨 상태로 지지시킨 것을 특징으로 하는 검사용 프로우브.
2. 다수의 도전성 탐침(3)을, 서로 평행하게, 또한 서로 전기적으로 절연시킴과 동시에 각각의 길이방향으로 탄성을 지니게 한 상태로 지지시켜 구성하고, 그 각각의 탐침(3)의 선단부(3p)를 피검사부품의 다수의 단자에 접촉시키므로써, 그 각각의 단자로부터 전기신호를 얻는 검사용 프로우브에 있어서, 다수의 슬리트(25a,26a)를 지지는 2매의 격자판(25,26)을, 각각의 슬리트(25a,26a)를 교차시켜 중첩시키므로써, 그 다수의 슬리트(25a,26a)의 교차부분이 각각 탐침삽입공(27)으로 되는 탐침지지판(21)을 형성시킴과 동시에, 그 탐침지지판(21) 2매를, 스페이서(22)를 개재하여 서로 대향시킨 상태로 고정시키므로써 중공블럭(23)을 구성하고, 그 중공블럭(23)을 구성하는 상기 2매의 탐침지지판(21)의 대응하는 각 쌍의 탐침삽입공(27)에, 그 자체가 길이 방향으로 탄성을 지니는 도전성 탐침(3)을, 그 각각의 탐침(3)의 양단부가 상기 중공블럭(23)의 외측으로 돌출됨과 동시에 빠지지 않는 상태로, 또한 서로 전기적으로 절연시킨 상태로 삽입시키며, 각각의 탐침(3)의 상기 2매의 탐침지지판(21) 사이의 부분이 절연코팅된 것을 특징으로 하는 검사용 프로우브.
3. 제1항에 있어서, 상기 다수의 탐침(3)의 선단부(3p)가 각각의 길이방향에 수직으로 절곡되어 있는 경우에는, 그 각각의 탐침(3)이 그 각각의 길이방향으로 탄성을 지니는 것 대신에, 그 절곡방향과 반대방향으로 그 각각의 탐침자체가 탄성을 지니도록 상기 탐침의 선단부(3p) 부근의 탐침삽입홈(2)에 연장하여 탐침안내홈부(2b)가 형성된 것을 특징으로 하는 검사용 프로우브.