JP2009162483A - 電気的接続装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 多数の接触子を備える電気的接続装置であっても、中間に配置される第２の板状部材を水平方向における一方の側に確実に変位可能にすると共に、第２の板状部材をその状態に維持することにある。
【解決手段】 電気的接続装置は、それぞれが板状部をその厚さ方向に貫通する複数の第１の穴と該第１の穴から水平方向における第１の方向に間隔をおいた箇所に形成された少なくとも１つの第２の穴とを備える第１、第２及び第３の板状部材と、それぞれが第１の穴に通された複数の接触子と、前記第２の穴に挿入された棒状部材とを含む。第２の板状部材の前記第２の穴は第１の方向に長い長穴であり、第２の板状部材は、これが第１及び第３の板状部材に対し第１の方向に変位されて接触子を第１及び第３の板状部材の間において湾曲させた状態に棒状部材により維持されている。
【選択図】 図１

Description

本発明は、集積回路のような半導体デバイス等、被検査体の電気的試験に用いられるプローブカードのような電気的接続装置に関する。

半導体デバイス等の被検査体は、その内部回路が仕様書通りに動作するか否かの電気的試験（検査）をされる。そのような電気的試験は、針先を被検査体の電極に押圧されるプローブのような複数の接触子を配線基板やプローブ基板のような基板の下側に配置したプローブカードのような電気的接続装置を用いて行われる。

この種の電気的接続装置の１つとして、第１及び第３の板状部材（上下の板）を上下方向に間隔をおいて配置し、第１及び第３の板の間にシート状の第2の板（中板）を配置し、プローブ針のような複数の接触子を、これらが第１、第２及び第３の板状部材(上板、中板及び下板)を上下方向に貫通させてそれらの板状部材に組み付け、それらの板状部材を上下方向に重ねて各接触子の下端（すなわち、針先）を第３の板状部材から下方に突出させた状態に配線基板やプローブ基板のような基板の下側に配置した、縦型のものがある（例えば、特許文献１）。

上記従来の電気的接続装置において、接触子は、第２の板状部材が第１及び第３の板状部材に対し水平方向における一方の側に変位されていることにより、第１及び第３の板状部材の間において同じ側に湾曲されており、また電気的試験時にその下端（針先）を被検査体の電極に押圧されることにより、第１及び第３の板状部材の間においてさらに前記と同じ方向に湾曲される。これにより、隣り合う接触子は、互いに接触することを回避される。

上記従来の電気的接続装置は、Ｌ字状に屈曲されたプローブ針を片持ち梁状に基板に組み付けた従来の一般的な装置に比べ、プローブの組み付け作業が容易であるから、廉価であり、またプローブ、ひいては針先の配置密度を高めることができるから、電極数の多い高密度の被検査体の通電試験に好適である。

上記従来の電気的接続装置は、第１及び第３の板状部材の間にスペーサを設け、ねじ穴を有するガイドをスペーサに取り付け、第２の板状部材を水平方向における一方の側に変位可能にガイドに支持させ、スペーサを貫通してガイドのねじ穴に螺合されたねじ部材により、第２の板状部材を水平方向における一方の側に変位させている。このため、各接触子が湾曲されることにより、各接触子のばね力に起因する反発力が第２の板状部材を介してねじ部材に作用する。

上記縦型の装置のように、ガイドのねじ穴にねじ込まれたねじ部材により第２の板状部材を水平方向における一方の側に変位させる構造では、たとえ各接触子のばね力は小さくても、全ての接触子のばね力の和は電気的接続装置に備えられる接触子の数が多ければ多いほど、大きくなる。それらのばね力は、第２の板部材を介してねじ部材に反発力として作用する。

一方、最近の電気的接続装置においては、数千、場合によっては１万を超える数の接触子を備えるものが要求されている。しかし、従来の上記電気的接続装置は、前記のように多数の接触子を備える装置に適用しようとしても、備えられた全ての接触子のばね力の総和に対応する総反発力が大きくなりすぎるから、第２の板状部材を大きく変位させることが難しい。

その理由の1つとして、従来の電気的接続装置では、ねじ部材により第２の板状部材を水平方向における一方の側に変位させる構造であることをあげることができる。その結果、従来の電気的接続装置では、多数の接触子を備える装置に適用することができない。

他の理由の1つとして、第２の板状部材がポリイミドフィルムのように薄いフィルムであると、そのフィルムを一方の側から他方の側に押しても、フィルム自体が接触子による反発力により波状に湾曲されて、第１の方向に変位されない、ことを挙げることができる。そのようにフィルム自体が湾曲されると、フィルムは、大きな波状に湾曲されるだけで、第１の方向に変位されない

特開２００２−２０２３３７号公報

本発明の目的は、多数の接触子を備える電気的接続装置であっても、中間に配置される第２の板状部材を水平方向における一方の側に確実に変位可能にすると共に、第２の板状部材をその状態に維持することにある。

本発明に係る電気的接続装置は、互いに厚さ方向に間隔をおいた板状部を備える第１、第２及び第３の板状部材であってそれぞれが前記板状部をその厚さ方向に貫通する複数の第１の穴と該第１の穴から前記水平方向における第１の方向に間隔をおいた箇所に形成された少なくとも１つの第２の穴とを備える第１、第２及び第３の板状部材と、それぞれが前記第１、第２及び第３の板状部材の前記第１の穴に通された複数の接触子と、前記第１、第２及び第３の板状部材の前記第２の穴に挿入された棒状部材とを含む。

前記第２の板状部材の前記第２の穴は前記第１の方向に長い長穴であり、前記第２の板状部材は、これが前記第１及び第３の板状部材に対し前記第１の方向に変位されて前記接触子を前記第１及び第３の板状部材の間において湾曲させた状態に前記棒状部材により維持されている。

前記第２の板状部材は、前記第１及び第３の板状部材に対し前記第１の方向における一方の側に突出されていてもよい。

前記第１及び第３の板状部材の少なくとも一方は、前記第１及び第３の板状部材に対する前記第２の部材の前記第１の方向における位置を前記第１，第２及び第３の板状部材の前記第１の穴が整列する位置に規制する壁を有していてもよい。

前記第１及び第２の板状部材の前記第２の穴は、前記板状部を厚さ方向に貫通する貫通穴であってもよく、また前記第３の板状部材の前記第２の穴は、前記板状部を厚さ方向に貫通する貫通穴又は前記板状部を上方から下方へ伸びるいわゆる有底穴であってもよい。

前記第１及び第３の板状部材は、それらの前記第２の穴が整合する状態に互いに結合されていてもよい。

前記第２の板状部材の前記第１の穴は、前記第１及び第３の板状部材の前記第１の穴に対し前記第１の方向に変位されていてもよい。

前記第２の板状部材は、前記第１の方向における前記第２の穴の内面部を前記棒状部材に当接させていてもよい。

前記棒状部材は、前記第１、第２及び第３の板状部材の前記第２の穴に挿入されたピン部材を含むことができる。

前記棒状部材は、少なくとも前記第１及び第２の板状部材の前記第２の穴に挿入されかつ少なくとも前記第３の板状部材の前記第２の穴に螺合されたねじ部材を含むことができる。

前記棒状部材は、前記第１及び第２の板状部材の前記第２の穴に挿入されていると共に前記第３の板状部材の前記第２の穴の一部に通されたねじ部材であって前記第３の板状部材の前記第２の穴の残りの一部に螺合されたねじ部材を含むことができる。

本発明に係る電気的接続装置は、さらに、複数の内部配線を有する配線基板と、該配線基板の下面に配置されかつ前記第１、第２及び第３の板状部材が下面に支持された接続基板であって前記接触子の上端部と前記配線基板の内部配線とを電気的に接続する複数の接続部を有する接続基板とを含むことができる。

前記第１、第２及び第３の板状部材のそれぞれは、それらをその厚さ方向に貫通する少なくとも２つの第３の穴を備えており、前記第１の板状部材の前記第３の穴は該第１の板状部材を厚さ方向に貫通する貫通穴であり、前記第２の板状部材の前記第３の穴は前記第１の方向に長い長穴であり、前記第３の板状部材の前記第３の穴は該第２の板状部材を厚さ方向に貫通する貫通穴又は前記板状部を上方から下方へ伸びる有底穴であり、前記第１、第２及び第３の板状部材は、それらの前記第３の穴に挿入されたピンにより、前記水平方向における相対的変位を抑制されていてもよい。

本発明においては、第２の板状部材の第２の穴は第１の方向に長い長穴であり、また第２の板状部材は、これが第１及び第３の板状部材に対し第１の方向に変位されて接触子を第１及び第３の板状部材の間において湾曲させた状態に、第２の穴に挿入された棒状部材により維持されている。

このため、本発明の電気的接続装置においては、第２の板状部材をその第２の穴の長手方向に引っ張ることにより、第２の板状部材を第１及び第３の板状部材に対して第１の方向に容易に変位させて、各接触子を第１及び第３の板状部材の間において同じ方向へ湾曲させることができる。

上記の結果、本発明によれば、多数の接触子を備えていても、第２の板状部材を水平方向における一方の側に容易にかつ確実に変位させることができると共に、第２の板状部材をその状態に維持することができる。

第２の板状部材は、第１及び第３の板状部材に対し前記第１の方向における一方の側に突出されていると、第２の板状部材の突出した箇所をペンチのような工具で挟んだ状態で、第２の板状部材を引っ張ることにより、第２の板状部材を水平方向における一方の側により容易にかつより確実に変位させることができる。

第１及び第３の板状部材の少なくとも一方は、第１及び第３の板状部材に対する第２の部材の第１の方向における位置を第１，第２及び第３の板状部材の第１の穴が整列する位置に規制する壁を有していると、そのような位置に第２の板状部材を規制した状態で、接触子を第１の穴に差し込むことができるから、第１，第２及び第３の板状部材への接触子の配置作業が容易になる。

［用語の説明］

本発明においては、各接触子の伸長方向、すなわち接触子が貫通している第１、第２及び第３の板状部材の厚さ方向（図１における配線基板の側が上となりかつ針先側が下方となる方向）を上下方向といい、この上下方向に垂直な方向を水平方向という。また、本発明においては、図１において後に説明する第２の板状部材に移動方向を左右方向（第１の方向）といい、紙背方向を前後方向という。

しかし、本発明でいう上下方向及び水平方向は、テスターに対する電気的試験時の被検査体の姿勢により異なる。

したがって、本発明でいう上下方向は、実際の電気的試験時における被検査体の姿勢に応じて、上下方向、その逆の方向、実際の水平方向、及び実際の水平面に対し傾斜する傾斜方向のいずれかの方向となるように決定される。

上記同様に、本願発明でいう水平方向は、上下方向へ伸びる縦面、実際の水平方向へ伸びる水平面、及びその水平面に対し傾斜する傾斜面のいずれかの方向となるように決定される。

［実施例の説明］

図１〜図５を参照するに、電気的接続装置１０は、多数の集積回路を有する、図１に示す半導体ウエーハを被検査体１２とし、その被検査体１２上の多数の集積回路を同時に又は複数回に分けて試験するプローブカードとして用いられる。各被検査体１２は、矩形の形状を有しており、また矩形の辺の方向に間隔をおいた複数の電極１４を矩形の各辺に有している。

電気的接続装置１０は、円板状の配線基板２０と、配線基板２０の下面に組み付けられた接続基板２２と、接続基板２２の下側に組み付けられたプローブ組立体２４とを含む。

配線基板２０は、ガラス入りエポキシ樹脂やセラミック材料等の電気絶縁材料を用いて円板状に製作されている。配線基板２０は、テスターに電気的に接続される複数のテスターランド２６を上面の周縁領域に多重に有しており、それらテスターランド２６に上端部において電気的に接続された複数の内部配線２８を中央領域に有している。

テスターランド２６及び内部配線２８は、印刷配線技術のような適宜な手法により、形成することができる。各テスターランド２６は配線基板２０の上面に露出されており、各内部配線２８の下端は配線基板２０の下面に露出されている。

接続基板２２は、ポリイミドのような電気絶縁材料により配線基板２０の中央領域よりやや大きい矩形の平面形状を有する板の形に製作されており、また接続基板２２を貫通して配線基板２０に螺合された複数のねじ部材３０により配線基板２０の下面に組み付けられている。

接続基板２２は複数の内部配線３２を有している。各内部配線３２は、その上端が接続基板２２の上面に露出されて配線基板２０の内部配線２８の下端に押圧されている。これにより、各内部配線３２は、配線基板２０の内部配線２８に一対一の形に電気的に接続されている。各内部配線３２の下端は、接続基板２２の下面に露出されている。

プローブ組立体２４は、それぞれが電気的絶縁材料により製作された第１、第２及び第３の板状部材３４、３６及び３８を含む。プローブ組立体２４は、それら板状部材３４、３６及び３８により、接続基板２２よりやや小さい矩形の平面形状を有する直方体に形成されている。

第１及び第３の板状部材３４及び３８はそれぞれが同じ大きさの矩形の平面形状を有する。第１の板状部材３４は下方に開放する矩形の凹所４０を有しており、第３の板状部材３８は上方に開放する矩形の凹所４２を有している。凹所４０及び４２の奥底部は、上下方向に間隔をおいた板状部４４及び４６として作用する。

第１及び第３の板状部材３４及び３８は、凹所４０及び４２が第２の板状部材３６を介して連通する状態に、及び第１の板状部材３４が上方側となりかつ第３の板状部材３８が下方側となる状態に、板状部４４及び４６の周りの枠部４８及び５０において、互いに重ね合わされている。

第１及び第３の板状部材３４及び３８は、第１の板状部材３４の枠部４８を貫通して第３の板状部材３８の枠部５０に螺合された複数のねじ部材５２により互いに結合されている。第３（又は、第１）の板状部材３８（又は、３４）は、上方（又は下方）及び凹所４２（又は、４０）に開放されて水平面内を第１の方向（左右方向）へ伸びる一対の溝５４を枠部５０（又は、４８）に有する。

第２の板状部材３６は、長方形の平面形状を有する板状又はシート状の形に製作されており、また左右方向へ移動可能に幅方向における各縁部において溝５４に受けられている。各溝５４の左端の壁は、第１及び第３の板状部材３４及び３８に対する第２の板状部材３６の最左端位置を規制する位置決め壁５６として作用する。

第２の板状部材３６の前後方向における幅寸法は、溝５４の前後方向における寸法よりやや小さい。しかし、第２の板状部材３６の左右方向における長さ寸法は、第１及び第３の板状部材３４及び３８の左右方向の寸法より長い。

第２の板状部材３６の中央領域は、第２の板状部材３６が全体的に板状又はシート状の形状を有することから、第１及び第３の板状部材３４及び３８の板状部４４及び４６に対し上下方向に間隔をおいた板状部５８として作用する。

第１，第２及び第３の板状部材３４，３６及び３８は、第３の板状部材３６が第１の板状部材３４に重ねられているにもかかわらず、中央領域として作用する板状部４４，４６及び板状部５８において上下方向に間隔をおいている。

第１，第２及び第３の板状部材３４，３６，３８は、それぞれが板状部４４，４６及び５８をその厚さ方向に貫通する複数の第１の穴６０と、第１の穴６０から左右方向における一方の側に間隔をおいた箇所に形成された少なくとも１つの第２の穴６２と、対応する板状部材３４，３６及び３８をその厚さ方向に貫通する少なくとも２つの第３の穴６４を備えている。

図示の例では、第１，第２及び第３の板状部材３４，３６及び３８の各第１の穴６０は、いずれも、円形の平面形状と同じ直径寸法とを有する貫通穴である。第１及び第３の板状部材３４及び３８の各第２の穴６２及び各第３の穴６４は、いずれも、円形の平面形状を有する貫通穴である。第２の板状部材３６の第２の穴６２及び各第３の穴６４は、いずれも、左右方向に長い長穴である。

第２の板状部材３６の第２及び第３の穴６２及び６４の前後方向における幅寸法は、それぞれ、第１の板状部材３４の第２及び第３の穴６２及び４６の直径寸法と同じである。

第３の板状部材３８の第２の穴６２は、第１の板状部材３４の第２の穴６２と同じ直径寸法を有する上部領域と、該上部領域の直径寸法より小さい直径寸法を有する下部領域とを有する（図５参照）。

第１及び第３の板状部材３４及び３８は、それらの第１の穴６０が左右方向及び前後方向における同じ位置となるように（すなわち、整合するように）、結合されている。また、第２の板状部材３６の前後方向における位置は、第１及び第３の板状部材３４及び３８の第１の穴６０と同じ位置とされている。

第２の板状部材３６は、第１及び第３の板状部材３４及び３８に対し左右方向における一方側（図示の例では、右方側）に変位されている。これにより、第２の板状部材３６の第１の穴６０は、第１及び第３の板状部材３４及び３８の第１の穴６０に対し同方向に変位されている。

プローブ組立体２４は、また、それぞれが第１、第２及び第３の板状部材３４，３６及び３８の第１の穴６０に通された複数の接触子６６と、第１、第２及び第３の板状部材３４，３６及び３８の第２の穴６２に挿入された棒状部材６８と、第１，第２及び第３の板状部材３４，３６及び３８の第３の穴６４に挿入された複数のピン７０とを含む。

各接触子６６は、タングステン線のような導電性金属細線により弾性変形可能の針の形に製作されており、また第１、第２及び第３の板状部材３４，３６及び３８の第１の穴６０にわずかな遊びを有する状態に通されて、下端（針先）を第３の板状部材３８から下方へ突出させている。

各接触子６６の上端面は、接触子６６の上端部が第１の板状部材３４の第１の穴６０に上下方向へ移動可能に挿し込まれて、ほぼ第１の板状部材３４の上面の高さ位置とされており、また配線３２の下端面に当接されている。

各接触子６６は、第２の板状部材３６の第１の穴６０が第１及び第３の板状部材３４及び３８の第１の穴６０に対し左右方向における一方側に変位されていることにより、第１及び第３の板状部材３４及び３８の間において同方向における一方側に湾曲されている。

各接触子６６の反発力は、第２の板状部材３６を第１及び第３の板状部材３４及び３８に対し基の位置に戻すように作用し、第２の板状部材３６の第２の穴６２の内面部を棒状部材６８に当接させている。このため、棒状部材６８は、第２の板状部材３６と共同して、接触子６６を左右方向における一方側に湾曲させた状態に維持している。

棒状部材６８は、図示の例では、第１及び第２の板状部材３６及び３６の第２の穴６２に取り外し可能に嵌合されていると共に、第３の板状部材３８の第２の穴６２の上部領域に取り外し可能に嵌合されている。そのような棒状部材６８として、同じ直径寸法を有するピン部材を用いることができる。

各ピン７０は、第１及び第３の板状部材３４及び３８の第３の穴６４の直径寸法とほぼ同じ直径寸法を有しており、また第１及び第３の板状部材３４及び３８の第３の穴６４に取り外し可能に嵌合されている。

上記の結果、各ピン７０は、第１及び第３の板状部材３４及び３８の左右方向における変位を抑制して、第１，第２及び第３の穴６０，６２及び６４の左右方向における位置を整合させていると共に、第１、第２及び第３の板状部材３４，３６及び３８の前後方向における変位を抑制して、第１，第２及び第３の穴６０，６２及び６４の前後方向における位置を整合させている。

プローブ組立体２４は、例えば、以下のように組み立てることができる。

先ず、図５に示すように、第２の板状部材３６が第３の板状部材３８の溝５４に配置された後、ピン７０が第３の穴６４に挿入されると共に、第１及び第３の板状部材３４及び３８がねじ部材５２により結合される。これにより、第１及び第３の板状部材３４及び３８は、それらの第１の穴６０同士及び第３の穴６４同士が整合された状態に、維持される。

次いで、図５に示すように、第２の板状部材３６が第１及び第３の板状部材３４及び３８に対し最左端の位置に移動される。これにより、第２の板状部材３６の第２の穴６２が第１及び第３の板状部材３４及び３８の第２の穴６２に整列される。

上記の結果、第２の板状部材３６の第１，第２及び第３の穴６０，６２及び６４は、それぞれ、第１及び第３の板状部材３４及び３８の第１，第２及び第３の穴６０，６２及び６４に整列される。

次いで、図６に示すように、上記状態で、各接触子６６が第１，第２及び第３の板状部材３４，３６及び３８の第１の穴６０に差し込まれる。

次いで、図７に示すように、第２の板状部材３６の第２の穴６２が第１及び第３の板状部材３４及び３８の第２の穴６２に整合するまで、第２の板状部材３６が第１及び第３の板状部材３４及び３８に対し右方へ引っ張られる。

次いで、図８に示すように、上記状態で、棒状部材６８が第２の穴６２に挿入された後、第１及び第３の板状部材３４及び３８に対する第２の板状部材３６の右方への引っ張りが解除される。これにより、全ての接触子６６は、第２の板状部材３６及び棒状部材６８により右方へ湾曲されて、隣り合う接触子６６は互いに電気的に接触しない状態に維持される。

上記の引っ張り作業は第２の板状部材３６の右端部をペンチのような工具で挟んで右方に引くことにより行うことができるから、多数の接触子６６を備えていても、第２の板状部材３６を右方へ容易にかつ確実に変位させることができ、またその状態で棒状部材６８を第２の穴６２に挿入することができるから、第２の板状部材３６をその状態に容易に維持することができる。

図示の例では、上記のように組み立てられたプローブ組立体２４は、各接触子６６の上端が接続基板２２の内部配線３２の下端に当接された状態に、接続基板２２を貫通して第１の板状部材３４の枠部４８に螺合された図３に示す複数のねじ部材７２により接続基板２２の下面に組み付けられる。

上記のようにプローブ組立体２４を組み付けた接続基板２２は、配線基板２０の下面に既に述べた複数のねじ部材３０により、電気的接続装置１０に組み立てられる。

しかし、接続基板２２へのプローブ組立体２４の組み立て手順と、配線基板２０への接続基板２２の組み立て手順とは、上記実施例に限定されない。

上記のように組み立てられた電気的接続装置１０において、各接触子６６は、内部配線３２及び２８を介してテスターランド２６に電気的に接続されている。また、電気的接続装置１０がテスターに組み付けられた状態において、各接触子６６は、内部配線３２及び２８並びにテスターランド２６を介してテスター（図示せず）の電気回路に電気的に接続される。

電気的接続装置１０は、これがテスターに組み付けられた状態において、先ず図９に示すように、各接触子６６の下端を被検査体１２の電極１４に当接される。

次いで、電気的接続装置１０は、図１０に示すように、各接触子６６の下端を被検査体１２に対し押圧される。これにより、各接触子６６は、これに作用するオーバードライブによりさらに右方へ湾曲されて、第２の板状部材３６を第１及び第３の板状部材３４及び３８に対しさらに右方へ変位させる。この変位によって、隣り合う接触子６６は、互いに電気的に接触しない。

上記状態において、試験用の電気信号がテスターの電気回路から被検査体１２に供給され、被検査体１２からの電気信号がテスターの電気回路に供給され、それにより被検査体１２の試験が行われる。

電気的接続装置１０においては、第２の板状部材３６をその第２の穴６２の長手方向に引っ張ることにより、第２の板状部材３６を第１及び第３の板状部材３４及び３８に対して右方へ容易に変位させて、各接触子６６を第１及び第３の板状部材３４及び３８の間において同じ方向へ湾曲させることができる。

また、全ての接触子６６が予め同じ方向に湾曲されており、しかもそれら接触子６６にオーバードライブが作用しても、全ての接触子６６は同じ方向に湾曲される。

棒状部材６８は、これをピン部材とする代わりに、図１１に示すように、第１及び第２の板状部材３６及び３６の第２の穴６２に挿入されて、下端部を第３の板状部材３８の第２の穴６２の上部領域に螺合されたねじ部材であってもよい。

棒状部材６８は、図１２に示すように、第１及び第２の板状部材３６及び３６の第２の穴６２並びに第３の板状部材３８の第２の穴６２の上部領域に挿入されて、下端部を第３の板状部材３８の第２の穴６２の下部領域に螺合されたねじ部材であってもよい。

配線基板２０及び接続基板２２にそれぞれ内部配線２８及び３２を設ける代わりに、それぞれが配線基板２０及び接続基板２２を厚さ方向に貫通する複数の外部配線を設け、各接触子６６の上端を外部配線の下端に当接させるようにしてもよい。

第３の板状部材３８の第２の穴６２及び第３の穴６４は、いずれも、対応する板状部５０を上方から下方へ伸びる有底穴であってもよい。これとは逆に、第３の板状部材３８の第２の穴６２及び第３の穴６４を、いずれも、貫通穴とし、第１の板状部材３４の第２の穴６２及び第３の穴６４を、いずれも、板状部４４を下方から上方へ伸びる有底穴としてもよい。

後者の場合、棒状部材６８は、第３の板状部材３８の側から第２及び第１の板状部材３６及び３４の側に挿入される。

溝５４を、第３の板状部材３８に設ける代わりに、第１の板状部材３４に設けてもよい。また、溝５４を、第１及び第３の板状部材３４及び３８で共同して形成するように、第１及び第３の板状部材３４及び３８に設けてもよい。

本発明は、上記実施例に限定されず、特許請求の範囲に記載された趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。

本発明に係る電気的接続装置の一実施例を示す正面図である。 図１に示す電気的接続装置の底面図である。 図１における３-３線に沿って得た断面図である。 図１における４−４線に沿って得たプローブ組立体の平面図である。 図３における５−５線に沿って得たプローブ組立体の断面図であって電気的接続装置の組み立て手順の一実施例を示すべく接触子を配置しない状態のプローブ組立体の断面図である。 図１及び図２に示す電気的接続装置の図５に続く組み立て手順の一実施例を示す断面図である。 図１及び図２に示す電気的接続装置の図６に続く組み立て手順の一実施例を示す断面図である。 図１及び図２に示す電気的接続装置の図７に続く組み立て手順の一実施例を示す断面図である。 完成したプローブ組立体を接続基板と共に示す断面図である。 完成したプローブ組立体の接触子を被検査体の電極に押圧した状態で示す断面図である。 他の棒状部材を用いるプローブ組立体の実施例を示す断面図である。 さらに他の棒状部材を用いるプローブ組立体の実施例を示す断面図である。

符号の説明

１０ 電気的接続装置
１２ 被検査体
１４ 被検査体の電極
２０ 配線基板
２２ 接続基板
２４ プローブ組立体
２８，３２ 内部配線
３４，３６，３８ 第１、第２，第３の板状部材
４０，４２ 凹所
４４，４６，５８ 第１、第２，第３の板状部材の板状部
４８，５０ 枠部
５４ 溝
５６ 位置決め壁
６０，６２，６４ 第１，第２，第３の穴
６６ 接触子
６８ 棒状部材
７０ ピン

Claims (12)

1. 互いに厚さ方向に間隔をおいた板状部を備える第１、第２及び第３の板状部材であってそれぞれが前記板状部をその厚さ方向に貫通する複数の第１の穴と該第１の穴から前記水平方向における第１の方向に間隔をおいた箇所に形成された少なくとも１つの第２の穴とを備える第１、第２及び第３の板状部材と、それぞれが前記第１、第２及び第３の板状部材の前記第１の穴に通された複数の接触子と、前記第１、第２及び第３の板状部材の前記第２の穴に挿入された棒状部材とを含み、
   前記第２の板状部材の前記第２の穴は前記第１の方向に長い長穴であり、
   前記第２の板状部材は、これが前記第１及び第３の板状部材に対し前記第１の方向に変位されて前記接触子を前記第１及び第３の板状部材の間において湾曲させた状態に前記棒状部材により維持されている、電気的接続装置。
2. 前記第２の板状部材は、前記第１及び第３の板状部材に対し前記第１の方向における一方の側に突出されている、請求項１に記載の電気的接続装置。
3. 前記第１及び第３の板状部材の少なくとも一方は、前記第１及び第３の板状部材に対する前記第２の部材の前記第１の方向における位置を前記第１，第２及び第３の板状部材の前記第１の穴が整列する位置に規制する壁を有する、請求項２に記載の電気的接続装置。
4. 前記第１及び第２の板状部材の前記第２の穴は、前記板状部を厚さ方向に貫通する貫通穴であり、前記第３の板状部材の前記第２の穴は、前記板状部を厚さ方向に貫通する貫通穴又は前記板状部を上方から下方へ伸びる有底穴である、請求項１から３のいずれか１項に記載の電気的接続装置。
5. 前記第１及び第３の板状部材は、それらの少なくとも前記第２の穴が整合する状態に互いに結合されている、請求項１から４のいずれか１項に記載の電気的接続装置。
6. 前記第２の板状部材の前記第１の穴は、前記第１及び第３の板状部材の前記第１の穴に対し前記第１の方向に変位されている、請求項１から５のいずれか１項に記載の電気的接続装置。
7. 前記第２の板状部材は、前記第１の方向における前記第２の穴の内面部を前記棒状部材に当接させている、請求項１から６のいずれか１項に記載の電気的接続装置。
8. 前記棒状部材は、前記第１、第２及び第３の板状部材の前記第２の穴に挿入されたピン部材を含む、請求項１から７いずれか１項に記載の電気的接続装置。
9. 前記棒状部材は、少なくとも前記第１及び第２の板状部材の前記第２の穴に挿入されかつ少なくとも前記第３の板状部材の前記第２の穴に螺合されたねじ部材を含む、請求項１から７のいずれか１項に記載の電気的接続装置。
10. 前記棒状部材は、前記第１及び第２の板状部材の前記第２の穴に挿入されていると共に前記第３の板状部材の前記第２の穴の一部に通されたねじ部材であって前記第３の板状部材の前記第２の穴の残りの一部に螺合されたねじ部材を含む、請求項１から７のいずれか１項に記載の電気的接続装置。
11. さらに、複数の内部配線を有する配線基板と、該配線基板の下面に配置されかつ前記第１、第２及び第３の板状部材が下面に支持された接続基板であって前記接触子の上端部と前記配線基板の内部配線とを電気的に接続する複数の接続部を有する接続基板とを含む、請求項１から１０のいずれか１項に記載の電気的接続装置。
12. 前記第１、第２及び第３の板状部材のそれぞれは、それらをその厚さ方向に貫通する少なくとも２つの第３の穴を備えており、
    前記第１の板状部材の前記第３の穴は該第１の板状部材を厚さ方向に貫通する貫通穴であり、
    前記第２の板状部材の前記第３の穴は前記第１の方向に長い長穴であり、
    前記第３の板状部材の前記第３の穴は該第２の板状部材を厚さ方向に貫通する貫通穴又は前記板状部を上方から下方へ伸びる有底穴であり、
    前記第１、第２及び第３の板状部材は、それらの前記第３の穴に挿入されたピンにより、前記水平方向における相対的変位を抑制されている、請求項１から１１のいずれか１項に記載の電気的接続装置。

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