JP2009162483A - 電気的接続装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 多数の接触子を備える電気的接続装置であっても、中間に配置される第2の板状部材を水平方向における一方の側に確実に変位可能にすると共に、第2の板状部材をその状態に維持することにある。
【解決手段】 電気的接続装置は、それぞれが板状部をその厚さ方向に貫通する複数の第1の穴と該第1の穴から水平方向における第1の方向に間隔をおいた箇所に形成された少なくとも1つの第2の穴とを備える第1、第2及び第3の板状部材と、それぞれが第1の穴に通された複数の接触子と、前記第2の穴に挿入された棒状部材とを含む。第2の板状部材の前記第2の穴は第1の方向に長い長穴であり、第2の板状部材は、これが第1及び第3の板状部材に対し第1の方向に変位されて接触子を第1及び第3の板状部材の間において湾曲させた状態に棒状部材により維持されている。
【選択図】 図1
【解決手段】 電気的接続装置は、それぞれが板状部をその厚さ方向に貫通する複数の第1の穴と該第1の穴から水平方向における第1の方向に間隔をおいた箇所に形成された少なくとも1つの第2の穴とを備える第1、第2及び第3の板状部材と、それぞれが第1の穴に通された複数の接触子と、前記第2の穴に挿入された棒状部材とを含む。第2の板状部材の前記第2の穴は第1の方向に長い長穴であり、第2の板状部材は、これが第1及び第3の板状部材に対し第1の方向に変位されて接触子を第1及び第3の板状部材の間において湾曲させた状態に棒状部材により維持されている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、集積回路のような半導体デバイス等、被検査体の電気的試験に用いられるプローブカードのような電気的接続装置に関する。
半導体デバイス等の被検査体は、その内部回路が仕様書通りに動作するか否かの電気的試験(検査)をされる。そのような電気的試験は、針先を被検査体の電極に押圧されるプローブのような複数の接触子を配線基板やプローブ基板のような基板の下側に配置したプローブカードのような電気的接続装置を用いて行われる。
この種の電気的接続装置の1つとして、第1及び第3の板状部材(上下の板)を上下方向に間隔をおいて配置し、第1及び第3の板の間にシート状の第2の板(中板)を配置し、プローブ針のような複数の接触子を、これらが第1、第2及び第3の板状部材(上板、中板及び下板)を上下方向に貫通させてそれらの板状部材に組み付け、それらの板状部材を上下方向に重ねて各接触子の下端(すなわち、針先)を第3の板状部材から下方に突出させた状態に配線基板やプローブ基板のような基板の下側に配置した、縦型のものがある(例えば、特許文献1)。
上記従来の電気的接続装置において、接触子は、第2の板状部材が第1及び第3の板状部材に対し水平方向における一方の側に変位されていることにより、第1及び第3の板状部材の間において同じ側に湾曲されており、また電気的試験時にその下端(針先)を被検査体の電極に押圧されることにより、第1及び第3の板状部材の間においてさらに前記と同じ方向に湾曲される。これにより、隣り合う接触子は、互いに接触することを回避される。
上記従来の電気的接続装置は、L字状に屈曲されたプローブ針を片持ち梁状に基板に組み付けた従来の一般的な装置に比べ、プローブの組み付け作業が容易であるから、廉価であり、またプローブ、ひいては針先の配置密度を高めることができるから、電極数の多い高密度の被検査体の通電試験に好適である。
上記従来の電気的接続装置は、第1及び第3の板状部材の間にスペーサを設け、ねじ穴を有するガイドをスペーサに取り付け、第2の板状部材を水平方向における一方の側に変位可能にガイドに支持させ、スペーサを貫通してガイドのねじ穴に螺合されたねじ部材により、第2の板状部材を水平方向における一方の側に変位させている。このため、各接触子が湾曲されることにより、各接触子のばね力に起因する反発力が第2の板状部材を介してねじ部材に作用する。
上記縦型の装置のように、ガイドのねじ穴にねじ込まれたねじ部材により第2の板状部材を水平方向における一方の側に変位させる構造では、たとえ各接触子のばね力は小さくても、全ての接触子のばね力の和は電気的接続装置に備えられる接触子の数が多ければ多いほど、大きくなる。それらのばね力は、第2の板部材を介してねじ部材に反発力として作用する。
一方、最近の電気的接続装置においては、数千、場合によっては1万を超える数の接触子を備えるものが要求されている。しかし、従来の上記電気的接続装置は、前記のように多数の接触子を備える装置に適用しようとしても、備えられた全ての接触子のばね力の総和に対応する総反発力が大きくなりすぎるから、第2の板状部材を大きく変位させることが難しい。
その理由の1つとして、従来の電気的接続装置では、ねじ部材により第2の板状部材を水平方向における一方の側に変位させる構造であることをあげることができる。その結果、従来の電気的接続装置では、多数の接触子を備える装置に適用することができない。
他の理由の1つとして、第2の板状部材がポリイミドフィルムのように薄いフィルムであると、そのフィルムを一方の側から他方の側に押しても、フィルム自体が接触子による反発力により波状に湾曲されて、第1の方向に変位されない、ことを挙げることができる。そのようにフィルム自体が湾曲されると、フィルムは、大きな波状に湾曲されるだけで、第1の方向に変位されない
本発明の目的は、多数の接触子を備える電気的接続装置であっても、中間に配置される第2の板状部材を水平方向における一方の側に確実に変位可能にすると共に、第2の板状部材をその状態に維持することにある。
本発明に係る電気的接続装置は、互いに厚さ方向に間隔をおいた板状部を備える第1、第2及び第3の板状部材であってそれぞれが前記板状部をその厚さ方向に貫通する複数の第1の穴と該第1の穴から前記水平方向における第1の方向に間隔をおいた箇所に形成された少なくとも1つの第2の穴とを備える第1、第2及び第3の板状部材と、それぞれが前記第1、第2及び第3の板状部材の前記第1の穴に通された複数の接触子と、前記第1、第2及び第3の板状部材の前記第2の穴に挿入された棒状部材とを含む。
前記第2の板状部材の前記第2の穴は前記第1の方向に長い長穴であり、前記第2の板状部材は、これが前記第1及び第3の板状部材に対し前記第1の方向に変位されて前記接触子を前記第1及び第3の板状部材の間において湾曲させた状態に前記棒状部材により維持されている。
前記第2の板状部材は、前記第1及び第3の板状部材に対し前記第1の方向における一方の側に突出されていてもよい。
前記第1及び第3の板状部材の少なくとも一方は、前記第1及び第3の板状部材に対する前記第2の部材の前記第1の方向における位置を前記第1,第2及び第3の板状部材の前記第1の穴が整列する位置に規制する壁を有していてもよい。
前記第1及び第2の板状部材の前記第2の穴は、前記板状部を厚さ方向に貫通する貫通穴であってもよく、また前記第3の板状部材の前記第2の穴は、前記板状部を厚さ方向に貫通する貫通穴又は前記板状部を上方から下方へ伸びるいわゆる有底穴であってもよい。
前記第1及び第3の板状部材は、それらの前記第2の穴が整合する状態に互いに結合されていてもよい。
前記第2の板状部材の前記第1の穴は、前記第1及び第3の板状部材の前記第1の穴に対し前記第1の方向に変位されていてもよい。
前記第2の板状部材は、前記第1の方向における前記第2の穴の内面部を前記棒状部材に当接させていてもよい。
前記棒状部材は、前記第1、第2及び第3の板状部材の前記第2の穴に挿入されたピン部材を含むことができる。
前記棒状部材は、少なくとも前記第1及び第2の板状部材の前記第2の穴に挿入されかつ少なくとも前記第3の板状部材の前記第2の穴に螺合されたねじ部材を含むことができる。
前記棒状部材は、前記第1及び第2の板状部材の前記第2の穴に挿入されていると共に前記第3の板状部材の前記第2の穴の一部に通されたねじ部材であって前記第3の板状部材の前記第2の穴の残りの一部に螺合されたねじ部材を含むことができる。
本発明に係る電気的接続装置は、さらに、複数の内部配線を有する配線基板と、該配線基板の下面に配置されかつ前記第1、第2及び第3の板状部材が下面に支持された接続基板であって前記接触子の上端部と前記配線基板の内部配線とを電気的に接続する複数の接続部を有する接続基板とを含むことができる。
前記第1、第2及び第3の板状部材のそれぞれは、それらをその厚さ方向に貫通する少なくとも2つの第3の穴を備えており、前記第1の板状部材の前記第3の穴は該第1の板状部材を厚さ方向に貫通する貫通穴であり、前記第2の板状部材の前記第3の穴は前記第1の方向に長い長穴であり、前記第3の板状部材の前記第3の穴は該第2の板状部材を厚さ方向に貫通する貫通穴又は前記板状部を上方から下方へ伸びる有底穴であり、前記第1、第2及び第3の板状部材は、それらの前記第3の穴に挿入されたピンにより、前記水平方向における相対的変位を抑制されていてもよい。
本発明においては、第2の板状部材の第2の穴は第1の方向に長い長穴であり、また第2の板状部材は、これが第1及び第3の板状部材に対し第1の方向に変位されて接触子を第1及び第3の板状部材の間において湾曲させた状態に、第2の穴に挿入された棒状部材により維持されている。
このため、本発明の電気的接続装置においては、第2の板状部材をその第2の穴の長手方向に引っ張ることにより、第2の板状部材を第1及び第3の板状部材に対して第1の方向に容易に変位させて、各接触子を第1及び第3の板状部材の間において同じ方向へ湾曲させることができる。
上記の結果、本発明によれば、多数の接触子を備えていても、第2の板状部材を水平方向における一方の側に容易にかつ確実に変位させることができると共に、第2の板状部材をその状態に維持することができる。
第2の板状部材は、第1及び第3の板状部材に対し前記第1の方向における一方の側に突出されていると、第2の板状部材の突出した箇所をペンチのような工具で挟んだ状態で、第2の板状部材を引っ張ることにより、第2の板状部材を水平方向における一方の側により容易にかつより確実に変位させることができる。
第1及び第3の板状部材の少なくとも一方は、第1及び第3の板状部材に対する第2の部材の第1の方向における位置を第1,第2及び第3の板状部材の第1の穴が整列する位置に規制する壁を有していると、そのような位置に第2の板状部材を規制した状態で、接触子を第1の穴に差し込むことができるから、第1,第2及び第3の板状部材への接触子の配置作業が容易になる。
[用語の説明]
本発明においては、各接触子の伸長方向、すなわち接触子が貫通している第1、第2及び第3の板状部材の厚さ方向(図1における配線基板の側が上となりかつ針先側が下方となる方向)を上下方向といい、この上下方向に垂直な方向を水平方向という。また、本発明においては、図1において後に説明する第2の板状部材に移動方向を左右方向(第1の方向)といい、紙背方向を前後方向という。
しかし、本発明でいう上下方向及び水平方向は、テスターに対する電気的試験時の被検査体の姿勢により異なる。
したがって、本発明でいう上下方向は、実際の電気的試験時における被検査体の姿勢に応じて、上下方向、その逆の方向、実際の水平方向、及び実際の水平面に対し傾斜する傾斜方向のいずれかの方向となるように決定される。
上記同様に、本願発明でいう水平方向は、上下方向へ伸びる縦面、実際の水平方向へ伸びる水平面、及びその水平面に対し傾斜する傾斜面のいずれかの方向となるように決定される。
[実施例の説明]
図1〜図5を参照するに、電気的接続装置10は、多数の集積回路を有する、図1に示す半導体ウエーハを被検査体12とし、その被検査体12上の多数の集積回路を同時に又は複数回に分けて試験するプローブカードとして用いられる。各被検査体12は、矩形の形状を有しており、また矩形の辺の方向に間隔をおいた複数の電極14を矩形の各辺に有している。
電気的接続装置10は、円板状の配線基板20と、配線基板20の下面に組み付けられた接続基板22と、接続基板22の下側に組み付けられたプローブ組立体24とを含む。
配線基板20は、ガラス入りエポキシ樹脂やセラミック材料等の電気絶縁材料を用いて円板状に製作されている。配線基板20は、テスターに電気的に接続される複数のテスターランド26を上面の周縁領域に多重に有しており、それらテスターランド26に上端部において電気的に接続された複数の内部配線28を中央領域に有している。
テスターランド26及び内部配線28は、印刷配線技術のような適宜な手法により、形成することができる。各テスターランド26は配線基板20の上面に露出されており、各内部配線28の下端は配線基板20の下面に露出されている。
接続基板22は、ポリイミドのような電気絶縁材料により配線基板20の中央領域よりやや大きい矩形の平面形状を有する板の形に製作されており、また接続基板22を貫通して配線基板20に螺合された複数のねじ部材30により配線基板20の下面に組み付けられている。
接続基板22は複数の内部配線32を有している。各内部配線32は、その上端が接続基板22の上面に露出されて配線基板20の内部配線28の下端に押圧されている。これにより、各内部配線32は、配線基板20の内部配線28に一対一の形に電気的に接続されている。各内部配線32の下端は、接続基板22の下面に露出されている。
プローブ組立体24は、それぞれが電気的絶縁材料により製作された第1、第2及び第3の板状部材34、36及び38を含む。プローブ組立体24は、それら板状部材34、36及び38により、接続基板22よりやや小さい矩形の平面形状を有する直方体に形成されている。
第1及び第3の板状部材34及び38はそれぞれが同じ大きさの矩形の平面形状を有する。第1の板状部材34は下方に開放する矩形の凹所40を有しており、第3の板状部材38は上方に開放する矩形の凹所42を有している。凹所40及び42の奥底部は、上下方向に間隔をおいた板状部44及び46として作用する。
第1及び第3の板状部材34及び38は、凹所40及び42が第2の板状部材36を介して連通する状態に、及び第1の板状部材34が上方側となりかつ第3の板状部材38が下方側となる状態に、板状部44及び46の周りの枠部48及び50において、互いに重ね合わされている。
第1及び第3の板状部材34及び38は、第1の板状部材34の枠部48を貫通して第3の板状部材38の枠部50に螺合された複数のねじ部材52により互いに結合されている。第3(又は、第1)の板状部材38(又は、34)は、上方(又は下方)及び凹所42(又は、40)に開放されて水平面内を第1の方向(左右方向)へ伸びる一対の溝54を枠部50(又は、48)に有する。
第2の板状部材36は、長方形の平面形状を有する板状又はシート状の形に製作されており、また左右方向へ移動可能に幅方向における各縁部において溝54に受けられている。各溝54の左端の壁は、第1及び第3の板状部材34及び38に対する第2の板状部材36の最左端位置を規制する位置決め壁56として作用する。
第2の板状部材36の前後方向における幅寸法は、溝54の前後方向における寸法よりやや小さい。しかし、第2の板状部材36の左右方向における長さ寸法は、第1及び第3の板状部材34及び38の左右方向の寸法より長い。
第2の板状部材36の中央領域は、第2の板状部材36が全体的に板状又はシート状の形状を有することから、第1及び第3の板状部材34及び38の板状部44及び46に対し上下方向に間隔をおいた板状部58として作用する。
第1,第2及び第3の板状部材34,36及び38は、第3の板状部材36が第1の板状部材34に重ねられているにもかかわらず、中央領域として作用する板状部44,46及び板状部58において上下方向に間隔をおいている。
第1,第2及び第3の板状部材34,36,38は、それぞれが板状部44,46及び58をその厚さ方向に貫通する複数の第1の穴60と、第1の穴60から左右方向における一方の側に間隔をおいた箇所に形成された少なくとも1つの第2の穴62と、対応する板状部材34,36及び38をその厚さ方向に貫通する少なくとも2つの第3の穴64を備えている。
図示の例では、第1,第2及び第3の板状部材34,36及び38の各第1の穴60は、いずれも、円形の平面形状と同じ直径寸法とを有する貫通穴である。第1及び第3の板状部材34及び38の各第2の穴62及び各第3の穴64は、いずれも、円形の平面形状を有する貫通穴である。第2の板状部材36の第2の穴62及び各第3の穴64は、いずれも、左右方向に長い長穴である。
第2の板状部材36の第2及び第3の穴62及び64の前後方向における幅寸法は、それぞれ、第1の板状部材34の第2及び第3の穴62及び46の直径寸法と同じである。
第3の板状部材38の第2の穴62は、第1の板状部材34の第2の穴62と同じ直径寸法を有する上部領域と、該上部領域の直径寸法より小さい直径寸法を有する下部領域とを有する(図5参照)。
第1及び第3の板状部材34及び38は、それらの第1の穴60が左右方向及び前後方向における同じ位置となるように(すなわち、整合するように)、結合されている。また、第2の板状部材36の前後方向における位置は、第1及び第3の板状部材34及び38の第1の穴60と同じ位置とされている。
第2の板状部材36は、第1及び第3の板状部材34及び38に対し左右方向における一方側(図示の例では、右方側)に変位されている。これにより、第2の板状部材36の第1の穴60は、第1及び第3の板状部材34及び38の第1の穴60に対し同方向に変位されている。
プローブ組立体24は、また、それぞれが第1、第2及び第3の板状部材34,36及び38の第1の穴60に通された複数の接触子66と、第1、第2及び第3の板状部材34,36及び38の第2の穴62に挿入された棒状部材68と、第1,第2及び第3の板状部材34,36及び38の第3の穴64に挿入された複数のピン70とを含む。
各接触子66は、タングステン線のような導電性金属細線により弾性変形可能の針の形に製作されており、また第1、第2及び第3の板状部材34,36及び38の第1の穴60にわずかな遊びを有する状態に通されて、下端(針先)を第3の板状部材38から下方へ突出させている。
各接触子66の上端面は、接触子66の上端部が第1の板状部材34の第1の穴60に上下方向へ移動可能に挿し込まれて、ほぼ第1の板状部材34の上面の高さ位置とされており、また配線32の下端面に当接されている。
各接触子66は、第2の板状部材36の第1の穴60が第1及び第3の板状部材34及び38の第1の穴60に対し左右方向における一方側に変位されていることにより、第1及び第3の板状部材34及び38の間において同方向における一方側に湾曲されている。
各接触子66の反発力は、第2の板状部材36を第1及び第3の板状部材34及び38に対し基の位置に戻すように作用し、第2の板状部材36の第2の穴62の内面部を棒状部材68に当接させている。このため、棒状部材68は、第2の板状部材36と共同して、接触子66を左右方向における一方側に湾曲させた状態に維持している。
棒状部材68は、図示の例では、第1及び第2の板状部材36及び36の第2の穴62に取り外し可能に嵌合されていると共に、第3の板状部材38の第2の穴62の上部領域に取り外し可能に嵌合されている。そのような棒状部材68として、同じ直径寸法を有するピン部材を用いることができる。
各ピン70は、第1及び第3の板状部材34及び38の第3の穴64の直径寸法とほぼ同じ直径寸法を有しており、また第1及び第3の板状部材34及び38の第3の穴64に取り外し可能に嵌合されている。
上記の結果、各ピン70は、第1及び第3の板状部材34及び38の左右方向における変位を抑制して、第1,第2及び第3の穴60,62及び64の左右方向における位置を整合させていると共に、第1、第2及び第3の板状部材34,36及び38の前後方向における変位を抑制して、第1,第2及び第3の穴60,62及び64の前後方向における位置を整合させている。
プローブ組立体24は、例えば、以下のように組み立てることができる。
先ず、図5に示すように、第2の板状部材36が第3の板状部材38の溝54に配置された後、ピン70が第3の穴64に挿入されると共に、第1及び第3の板状部材34及び38がねじ部材52により結合される。これにより、第1及び第3の板状部材34及び38は、それらの第1の穴60同士及び第3の穴64同士が整合された状態に、維持される。
次いで、図5に示すように、第2の板状部材36が第1及び第3の板状部材34及び38に対し最左端の位置に移動される。これにより、第2の板状部材36の第2の穴62が第1及び第3の板状部材34及び38の第2の穴62に整列される。
上記の結果、第2の板状部材36の第1,第2及び第3の穴60,62及び64は、それぞれ、第1及び第3の板状部材34及び38の第1,第2及び第3の穴60,62及び64に整列される。
次いで、図6に示すように、上記状態で、各接触子66が第1,第2及び第3の板状部材34,36及び38の第1の穴60に差し込まれる。
次いで、図7に示すように、第2の板状部材36の第2の穴62が第1及び第3の板状部材34及び38の第2の穴62に整合するまで、第2の板状部材36が第1及び第3の板状部材34及び38に対し右方へ引っ張られる。
次いで、図8に示すように、上記状態で、棒状部材68が第2の穴62に挿入された後、第1及び第3の板状部材34及び38に対する第2の板状部材36の右方への引っ張りが解除される。これにより、全ての接触子66は、第2の板状部材36及び棒状部材68により右方へ湾曲されて、隣り合う接触子66は互いに電気的に接触しない状態に維持される。
上記の引っ張り作業は第2の板状部材36の右端部をペンチのような工具で挟んで右方に引くことにより行うことができるから、多数の接触子66を備えていても、第2の板状部材36を右方へ容易にかつ確実に変位させることができ、またその状態で棒状部材68を第2の穴62に挿入することができるから、第2の板状部材36をその状態に容易に維持することができる。
図示の例では、上記のように組み立てられたプローブ組立体24は、各接触子66の上端が接続基板22の内部配線32の下端に当接された状態に、接続基板22を貫通して第1の板状部材34の枠部48に螺合された図3に示す複数のねじ部材72により接続基板22の下面に組み付けられる。
上記のようにプローブ組立体24を組み付けた接続基板22は、配線基板20の下面に既に述べた複数のねじ部材30により、電気的接続装置10に組み立てられる。
しかし、接続基板22へのプローブ組立体24の組み立て手順と、配線基板20への接続基板22の組み立て手順とは、上記実施例に限定されない。
上記のように組み立てられた電気的接続装置10において、各接触子66は、内部配線32及び28を介してテスターランド26に電気的に接続されている。また、電気的接続装置10がテスターに組み付けられた状態において、各接触子66は、内部配線32及び28並びにテスターランド26を介してテスター(図示せず)の電気回路に電気的に接続される。
電気的接続装置10は、これがテスターに組み付けられた状態において、先ず図9に示すように、各接触子66の下端を被検査体12の電極14に当接される。
次いで、電気的接続装置10は、図10に示すように、各接触子66の下端を被検査体12に対し押圧される。これにより、各接触子66は、これに作用するオーバードライブによりさらに右方へ湾曲されて、第2の板状部材36を第1及び第3の板状部材34及び38に対しさらに右方へ変位させる。この変位によって、隣り合う接触子66は、互いに電気的に接触しない。
上記状態において、試験用の電気信号がテスターの電気回路から被検査体12に供給され、被検査体12からの電気信号がテスターの電気回路に供給され、それにより被検査体12の試験が行われる。
電気的接続装置10においては、第2の板状部材36をその第2の穴62の長手方向に引っ張ることにより、第2の板状部材36を第1及び第3の板状部材34及び38に対して右方へ容易に変位させて、各接触子66を第1及び第3の板状部材34及び38の間において同じ方向へ湾曲させることができる。
また、全ての接触子66が予め同じ方向に湾曲されており、しかもそれら接触子66にオーバードライブが作用しても、全ての接触子66は同じ方向に湾曲される。
棒状部材68は、これをピン部材とする代わりに、図11に示すように、第1及び第2の板状部材36及び36の第2の穴62に挿入されて、下端部を第3の板状部材38の第2の穴62の上部領域に螺合されたねじ部材であってもよい。
棒状部材68は、図12に示すように、第1及び第2の板状部材36及び36の第2の穴62並びに第3の板状部材38の第2の穴62の上部領域に挿入されて、下端部を第3の板状部材38の第2の穴62の下部領域に螺合されたねじ部材であってもよい。
配線基板20及び接続基板22にそれぞれ内部配線28及び32を設ける代わりに、それぞれが配線基板20及び接続基板22を厚さ方向に貫通する複数の外部配線を設け、各接触子66の上端を外部配線の下端に当接させるようにしてもよい。
第3の板状部材38の第2の穴62及び第3の穴64は、いずれも、対応する板状部50を上方から下方へ伸びる有底穴であってもよい。これとは逆に、第3の板状部材38の第2の穴62及び第3の穴64を、いずれも、貫通穴とし、第1の板状部材34の第2の穴62及び第3の穴64を、いずれも、板状部44を下方から上方へ伸びる有底穴としてもよい。
後者の場合、棒状部材68は、第3の板状部材38の側から第2及び第1の板状部材36及び34の側に挿入される。
溝54を、第3の板状部材38に設ける代わりに、第1の板状部材34に設けてもよい。また、溝54を、第1及び第3の板状部材34及び38で共同して形成するように、第1及び第3の板状部材34及び38に設けてもよい。
本発明は、上記実施例に限定されず、特許請求の範囲に記載された趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
10 電気的接続装置
12 被検査体
14 被検査体の電極
20 配線基板
22 接続基板
24 プローブ組立体
28,32 内部配線
34,36,38 第1、第2,第3の板状部材
40,42 凹所
44,46,58 第1、第2,第3の板状部材の板状部
48,50 枠部
54 溝
56 位置決め壁
60,62,64 第1,第2,第3の穴
66 接触子
68 棒状部材
70 ピン
12 被検査体
14 被検査体の電極
20 配線基板
22 接続基板
24 プローブ組立体
28,32 内部配線
34,36,38 第1、第2,第3の板状部材
40,42 凹所
44,46,58 第1、第2,第3の板状部材の板状部
48,50 枠部
54 溝
56 位置決め壁
60,62,64 第1,第2,第3の穴
66 接触子
68 棒状部材
70 ピン
Claims (12)
- 互いに厚さ方向に間隔をおいた板状部を備える第1、第2及び第3の板状部材であってそれぞれが前記板状部をその厚さ方向に貫通する複数の第1の穴と該第1の穴から前記水平方向における第1の方向に間隔をおいた箇所に形成された少なくとも1つの第2の穴とを備える第1、第2及び第3の板状部材と、それぞれが前記第1、第2及び第3の板状部材の前記第1の穴に通された複数の接触子と、前記第1、第2及び第3の板状部材の前記第2の穴に挿入された棒状部材とを含み、
前記第2の板状部材の前記第2の穴は前記第1の方向に長い長穴であり、
前記第2の板状部材は、これが前記第1及び第3の板状部材に対し前記第1の方向に変位されて前記接触子を前記第1及び第3の板状部材の間において湾曲させた状態に前記棒状部材により維持されている、電気的接続装置。 - 前記第2の板状部材は、前記第1及び第3の板状部材に対し前記第1の方向における一方の側に突出されている、請求項1に記載の電気的接続装置。
- 前記第1及び第3の板状部材の少なくとも一方は、前記第1及び第3の板状部材に対する前記第2の部材の前記第1の方向における位置を前記第1,第2及び第3の板状部材の前記第1の穴が整列する位置に規制する壁を有する、請求項2に記載の電気的接続装置。
- 前記第1及び第2の板状部材の前記第2の穴は、前記板状部を厚さ方向に貫通する貫通穴であり、前記第3の板状部材の前記第2の穴は、前記板状部を厚さ方向に貫通する貫通穴又は前記板状部を上方から下方へ伸びる有底穴である、請求項1から3のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
- 前記第1及び第3の板状部材は、それらの少なくとも前記第2の穴が整合する状態に互いに結合されている、請求項1から4のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
- 前記第2の板状部材の前記第1の穴は、前記第1及び第3の板状部材の前記第1の穴に対し前記第1の方向に変位されている、請求項1から5のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
- 前記第2の板状部材は、前記第1の方向における前記第2の穴の内面部を前記棒状部材に当接させている、請求項1から6のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
- 前記棒状部材は、前記第1、第2及び第3の板状部材の前記第2の穴に挿入されたピン部材を含む、請求項1から7いずれか1項に記載の電気的接続装置。
- 前記棒状部材は、少なくとも前記第1及び第2の板状部材の前記第2の穴に挿入されかつ少なくとも前記第3の板状部材の前記第2の穴に螺合されたねじ部材を含む、請求項1から7のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
- 前記棒状部材は、前記第1及び第2の板状部材の前記第2の穴に挿入されていると共に前記第3の板状部材の前記第2の穴の一部に通されたねじ部材であって前記第3の板状部材の前記第2の穴の残りの一部に螺合されたねじ部材を含む、請求項1から7のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
- さらに、複数の内部配線を有する配線基板と、該配線基板の下面に配置されかつ前記第1、第2及び第3の板状部材が下面に支持された接続基板であって前記接触子の上端部と前記配線基板の内部配線とを電気的に接続する複数の接続部を有する接続基板とを含む、請求項1から10のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
- 前記第1、第2及び第3の板状部材のそれぞれは、それらをその厚さ方向に貫通する少なくとも2つの第3の穴を備えており、
前記第1の板状部材の前記第3の穴は該第1の板状部材を厚さ方向に貫通する貫通穴であり、
前記第2の板状部材の前記第3の穴は前記第1の方向に長い長穴であり、
前記第3の板状部材の前記第3の穴は該第2の板状部材を厚さ方向に貫通する貫通穴又は前記板状部を上方から下方へ伸びる有底穴であり、
前記第1、第2及び第3の板状部材は、それらの前記第3の穴に挿入されたピンにより、前記水平方向における相対的変位を抑制されている、請求項1から11のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007338987A JP2009162483A (ja) | 2007-12-28 | 2007-12-28 | 電気的接続装置 |
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JP2007338987A JP2009162483A (ja) | 2007-12-28 | 2007-12-28 | 電気的接続装置 |
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JP2009162483A true JP2009162483A (ja) | 2009-07-23 |
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- 2007-12-28 JP JP2007338987A patent/JP2009162483A/ja active Pending
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