JPH085662A - 検査用プローブ - Google Patents
検査用プローブInfo
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- JPH085662A JPH085662A JP6159281A JP15928194A JPH085662A JP H085662 A JPH085662 A JP H085662A JP 6159281 A JP6159281 A JP 6159281A JP 15928194 A JP15928194 A JP 15928194A JP H085662 A JPH085662 A JP H085662A
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Abstract
とのできる検査用プローブを提供する。 【構成】 ブロック1の端面1aに複数の探針嵌着溝2
を形成し、その各溝2に、それ自体が長さ方向に弾性を
備えた導電性の探針3を、その両端部を溝2の両開口端
から突出させるとともに抜き止めした状態で、かつ互い
に電気的に絶縁した状態で嵌着し、探針保持部材5によ
り保持する。この構成では、従来の、ブロックに孔をあ
け、その孔にソケットおよびスリーブを介して探針を挿
着する構成に比べ、格段に微小なピッチで多数の探針を
配列することが可能になる。
Description
LCD等の電気部品を電気的に検査する際に使用するプ
ローブに係り、詳しくは、複数の探針を、互いに平行
に、かつそれぞれの長さ方向に弾性を持たせた状態で保
持して成り、その各探針の先端部を被検査部品の複数の
端子に接触させることにより、その各端子から電気信号
を取り出す検査用プローブに関する。
の構成を示す図で、(a)は平面図、(b)は正面図、
(c)は側断面図である。
導電性の探針51を、絶縁性のブロック52に設けた複
数の保持孔53に、それぞれ導電性のスリーブ55を介
して挿着することにより、互いに平行に保持して構成さ
れている。各探針51は、それぞれの後端部が導電性の
ソケット56内に、コイルスプリング57によって外方
へ付勢され、かつ抜け止めされた状態で摺動自在に嵌合
されており、そのソケット56がスリーブ55内に固定
されている。言い換えれば、各探針51は、ブロック5
2の各保持孔53に、互いに電気的に絶縁された状態
で、しかもコイルスプリング57によって長さ方向に弾
性を備えた状態で、互いに平行に保持されている。ま
た、探針51の数とピッチとは、被検査部品の端子に対
応して設定されている。
1の先端部を、被検査部品の各端子に接触させることに
より、その各端子から、探針51とソケット56とスリ
ーブ55とを通して電気信号を取り出すことができる。
その際、各探針51は、コイルスプリング57の弾性力
により、各端子に、ショックを与えることなく圧接す
る。
従来の検査用プローブの構成では、ブロック52に、微
小な径とピッチとで保持孔53をあけることが困難であ
り、しかもその保持孔53に、コイルスプリング57で
弾性を持たせた探針51をソケット56およびスリーブ
55に納めて挿着するため、多数の探針51を、近年の
ますます高密度化されるチップ部品,LSI,LCD等
の微小なピッチの端子に対応させて配列することが、ほ
とんど不可能になってきた。
されたもので、複数の探針をより微小なピッチで配列す
ることのできる検査用プローブを提供することを目的と
する。
に、第1の発明に係る検査用プローブでは、次のような
構成とした。
(1a)に、複数の互いに平行な探針嵌着溝(2)を、
そのブロック(1)を貫通してその溝(2)の両端を開
口させた状態で形成する。そして上記ブロック(1)の
各探針嵌着溝(2)に、それ自体が長さ方向に弾性を備
えた導電性の探針(3)を、その各探針(3)の両端部
を上記各探針嵌着溝(2)の両開口端から突出させると
ともに抜き止めした状態で、かつ互いに電気的に絶縁し
た状態で嵌着して保持する。
て、上記ブロック(1)の上記複数の探針嵌着溝(2)
を形成した端面(1a)に、その各探針嵌着溝(2)を
直角方向に二分した形でその各探針嵌着溝(2)より深
い深溝(11)を形成するとともに、上記各探針嵌着溝
(2)の間に切り込み(12)を入れることにより、上
記ブロック(1)に、上記各探針嵌着溝(2)させて、
その各探針嵌着溝(2)の長さ方向に弾性を備えた複数
対の弾性部(13)を形成し、その各対の弾性部(1
3)の探針嵌着溝(2)に、上記弾性を備えた導電性の
探針(3)を嵌着して、固定した状態で保持する。
では、次のような構成とした。
を有する2枚の格子板(25,26)を、それぞれのス
リット(25a,26a)を交差させた状態で重ねるこ
とにより、その複数のスリット交差部分をそれぞれ探針
挿着孔(27)とした探針保持板(21)を形成すると
ともに、その探針保持板(21)を2枚、スペーサ(2
2)を介して互いに対向させた状態で組み合わせること
により中空ブロック(23)を構成する。そしてその中
空ブロック(23)を構成する上記2枚の探針保持板
(21)の相対する各対の探針挿着孔(27)に、それ
自体が長さ方向に弾性を備えた導電性の探針(3)を、
その各探針(3)の両端部を上記中空ブロック(23)
の外側へ突出させるとともに抜き止めした状態で、かつ
互いに電気的に絶縁した状態で挿着する。
ク(1)の端面(1a)に形成する複数の探針嵌着溝
(2)は、孔をあけるのと異なり、微小な幅とピッチと
で形成することができる。また、各探針嵌着溝(2)に
嵌着する探針(3)についても、それ自体が弾性を備え
るようにしたため、コイルスプリングと共にソケットお
よびスリーブに納める必要がなくなり、非常に薄く形成
することができる。
ーブでは、従来例のような、ブロックに孔をあけ、その
孔にソケットおよびスリーブを介して探針を挿着する構
成に比べ、格段に微小なピッチで多数の探針(3)を配
列することが可能となる。
は、各探針(3)は、その両端部付近がブロック(1)
の各対の弾性部(13)に固定され、しかも探針(3)
自体の弾性と弾性部(13)の弾性とにより、それぞれ
の長さ方向に弾性を備えることになる。この構成によれ
ば、各探針(3)を、ブロック(1)の各対の弾性部
(13)に直接固定して保持し得るため、各探針(3)
の厚さを非常に薄くすることができ、よってそのピッチ
をさらに微小化することが可能となる。
ローブでは、各探針保持板(21)のそれぞれの格子板
(25,26)に設けるスリット(25a,26a)
は、上記第1の発明の検査用プローブにおける探針嵌着
溝と同様に、微小な幅とピッチとで、精度良く、かつ容
易に形成することができる。従って、そのスリット(2
5a,26a)どうしを交差させることにより、複数の
微細な探針挿着孔(27)を、微小なピッチで精度良
く、かつ容易に、しかも2次元に広げて配列した状態で
形成することができる。そして、その各探針挿着孔(2
7)に探針(3)を挿着することにより、多数の探針
(3)を、微小なピッチで2次元に広げて配列すること
が可能となる。
るためのものであり、何等本発明の構成を限定するもの
ではない。
する。 〈第1の発明〉図1は、第1の発明に係る検査用プロー
ブの第1の実施例を示す図で、(a)は一部を破断した
正面図、(b)は平面図、(c)は側断面図である。
の絶縁材料から成るブロック1の端面1aに、複数の互
いに平行な探針嵌着溝2が、ブロック1を上下に貫通し
てその溝2の両端を開口させた状態で形成され、その各
探針嵌着溝2にそれぞれ、探針3が、その両端部を各溝
2の両開口端から突出させた状態で嵌着されている。さ
らにこのブロック1の端面(溝形成端面)1aに、合成
樹脂等の絶縁材料から成る板状の探針保持部材5がネジ
6を用いて取り付けられ、それによって、各探針嵌着溝
2に嵌着された探針3が外れないように保持されてい
る。
自体が長さ方向に弾性を備えたもので、例えば図1
(c)に示すように、薄い金属板3aに多数の孔3bと
切り欠き3cとを設けるとともに、その金属板3aの周
囲を絶縁性のゴム3dで覆って補強することにより形成
されている。そしてこの探針3は、上記ブロック1の探
針嵌着溝2に圧入されることによって、抜け止めされた
状態で嵌着される。しかも各探針嵌着溝2に圧入嵌着さ
れた各探針3は、周囲のゴム3d、およびブロック1と
探針保持部材5とが絶縁性であるため、互いに電気的に
絶縁された状態にある。
周囲を絶縁性のゴム3dで覆ったものであれば、ブロッ
ク1と探針保持部材5とを、金属等の導電性の材料で構
成することも可能である。
に形成する複数の探針嵌着溝2は、孔をあけるのと異な
り、精密溝彫り機などを用いて、微小な幅とピッチ、例
えば幅0.06mm程度、ピッチ0.12mm程度で、
精度良く、かつ容易に形成することができる。また、各
探針嵌着溝2に嵌着する探針3についても、それ自体が
弾性を備えるようにしたため、コイルスプリングと共に
ソケットおよびスリーブに納める必要がなくなり、非常
に薄く、例えば厚さ0.05mm程度に形成することが
できる。
ような、ブロックに孔をあけ、その孔にソケットおよび
スリーブを介して探針を挿着する構成に比べ、格段に微
小なピッチで多数の探針3を配列することが可能とな
る。従って、チップ部品,LSI,LCD等のピッチの
細かい端子にも、充分に対応させることが可能となる。
しかも構成が簡単で、部品数と組立工数とが減るため、
コストを下げることもできる。
I,LCD等の電気部品を検査するには、各探針3の一
端を被検査部品の各端子(図示せず)に接触させるとと
もに、他端を検査機あるいは測定機の入力端子(図示せ
ず)に接触させる。これにより、被検査部品の各端子か
ら、上記プローブの各探針3を通して電気信号を取り出
すことができる。その際、各探針3は、その長さ方向の
弾性力により、被検査部品と検査機との双方の各端子に
確実に圧接し、しかもショックを与えることもない。
および探針嵌着溝2の他の構成例を示す側断面図であ
る。
ンの中央部をU字状に湾曲させることによって形成され
ており、その探針3を嵌着させるブロック1の探針嵌着
溝2には、探針3の湾曲部3eを係合させる凹部2aが
形成されている。この凹部2aは、ブロック1の端面1
aに、各探針嵌着溝2と直角に交わる1本の横溝を、探
針嵌着溝2より深く彫ることによって容易に形成するこ
とができる。
によってそれ自体が長さ方向に弾性を備え、しかもその
湾曲部3eが探針嵌着溝2の凹部2aに係合することに
より抜け止めされることになる。
非常に単純であるため、より簡単に低コストで製作する
ことができる。ただし、探針3どうしを絶縁するため
に、ブロック1と探針保持部材5とを絶縁材料で形成す
る必要がある。
の実施例における検査用プローブの他の構成例を示す平
面図である。
1の正面側と裏面側との2つの端面1aにそれぞれ複数
の探針嵌着溝2が、位置を交互にずらせた状態で形成さ
れており、その各溝2に探針3が嵌着されるとともに、
双方の端面1aにはそれぞれ探針保持部材5がネジ6を
用いて取り付けられている。この構成によれば、探針3
のピッチをより微小化することができる。
ロック1の、探針嵌着溝2を形成した端面1aに、他の
ブロック1’の、探針嵌着溝2’を形成した端面1’a
を、双方の探針嵌着溝2,2’を平行に、かつ互いにず
らせた状態で接合することによって構成されている。こ
の場合には、双方のブロック1,1’が、互いに相手の
探針3,3’を保持する探針保持部材となる。この構成
によれば、上記図3(a)の構成と同じように、探針
3,3’のピッチをより微小化することができる。
の探針嵌着溝2に探針3を嵌着するとともにその端面1
aに探針保持部材5を取り付けた4つのブロック1を、
矩形に組み合わせることによって構成されている。この
構成のように、複数のブロック1を組み合わせることに
より、多数の探針3を、被検査部品の端子の様々な配置
に対応させて配列することができる。
の第2の実施例を示す図で、(a)は部分正面図、
(b)は部分平面図、(c)は(a)のA−A線断面図
である。
の絶縁材料から成るブロック1の、複数の探針嵌着溝2
が形成された端面1aに、その各探針嵌着溝2を直角方
向に二分した形で、その各探針嵌着溝2より深い深溝1
1が形成されるとともに、各探針嵌着溝2の間に、上記
深溝11と同じ深さの切り込み12が入れられ、これに
よりブロック1に、各探針嵌着溝2に対応して、その各
探針嵌着溝2の長さ方向に弾性を備えた複数対の弾性部
13が形成されている。そしてその各対の弾性部13の
探針嵌着溝2に、それ自体が長さ方向に弾性を備えた導
電性の探針3が嵌着され、接着材15により固定された
状態で保持されている。
は、ブロック1の上方と下方とに延びた状態でL状に形
成されており、その各対の弾性部13の上下端部から、
上記探針3の両端部が突出している。また探針3は、薄
い金属片の中央部に深溝11の断面形状とほぼ同じよう
なコ字状の折曲部3fが形成されることによって、その
長さ方向に弾性を備えるように構成されている。
の両端部付近がブロック1の各対の弾性部13に固定さ
れ、しかも探針3自体の弾性と弾性部13の弾性とによ
り、それぞれの長さ方向に弾性を備えることになる。ま
た、各探針3どうしは、ブロック1が絶縁材料から成る
ため、互いに電気的に絶縁された状態にある。
探針3を、ブロック1の各対の弾性部13に直接固定し
て保持するため、各探針3の厚さを非常に薄くすること
ができ、よってそのピッチをより微小化して、より微小
なピッチの端子にも対応させることが可能になる。
ク1の端面1aに、上記第1の実施例のような探針保持
部材を取り付ける必要がないため、被検査部品に対する
スペース上の制約が格段に減ることになる。言い換えれ
ば、より多くの形態の部品に対応させることが可能にな
る。
ブロック1の後方から、そのブロック1を緩挿し得るよ
うな深溝を有する他のブロックを被せるようにして組み
合わせれば、さらに微小なピッチの端子にも対応させる
ことが可能になる。 〈第2の発明〉図5は、第2の発明に係る検査用プロー
ブの実施例を示す図で、(a)は正面図、(b)は平面
図である。
保持板21を、スペーサ22を介して上下に対向させた
状態で組み合わせることで中空ブロック23が構成さ
れ、その中空ブロック23によって複数の探針3が保持
されている。
25a,26aを有する2枚の格子板25,26を、そ
れぞれのスリット25a,26aを直角に交差させた状
態で重ねることにより、その複数のスリット交差部分を
それぞれ探針挿着孔27としたものである。この各探針
保持板21の格子板25,26どうし、および各探針保
持板21とスペーサ22とは、接着材を用いて互いに接
着固定されている。なお、上記2枚の格子板25,26
のそれぞれのスリット25a,26aの交差角度につい
ては、直角でなくてもよい。
の探針挿着孔27が相対するように組み合わされてお
り、その相対する各対の探針挿着孔27に、探針3が、
その各探針3の両端部を中空ブロック23の外側へ突出
させた状態で挿着されている。
細い金属線から成り、しかも両端部から圧縮力を受けた
際に中央部が撓むことにより、その長さ方向に弾性を備
えるように構成されている。また、この探針3は、その
下端部の径を上部より細くするとともに、その下端部を
挿着する下側の探針保持板21の各探針挿着孔27の大
きさ、つまり2枚の格子板25,26の各スリット25
a,26aの幅を上側のものより小さくすることによっ
て、下方へ抜け止めされている。
子板25,26は、合成樹脂等の絶縁材料で構成されて
おり、それによって、各探針3は互いに電気的に絶縁さ
れた状態にある。さらに、各探針3は、上下の探針保持
板21間の部分に絶縁コーティングが施されており、被
検査部品と検査機との双方の各端子に圧接して撓んだ際
に、隣接する探針3どうしが接触したとしても、互いに
絶縁された状態が保たれるようになっている。
れぞれの格子板25,26に設けるスリット25a,2
6aは、上述した第1の発明の検査用プローブにおける
探針嵌着溝と同様に、精密溝彫り機などを用いて、微小
な幅とピッチとで、精度良く、かつ容易に形成すること
ができる。従って、そのスリット25a,26aどうし
を交差させることにより、複数の微細な探針挿着孔27
を、微小なピッチで精度良く、かつ容易に、しかも2次
元に広げて配列した状態で形成することができる。そし
て、その各探針挿着孔27に探針3を挿着することによ
り、多数の探針3を、微小なピッチで2次元に広げて配
列することが可能となる。
ブによれば、チップ部品,LSI,LCD等の、細かい
ピッチで様々な形に配列された端子にも、充分に、かつ
より容易に対応させることが可能となる。
検査用プローブによれば、長さ方向に弾性を備えた多数
の探針を、従来のものに比べて格段に微小なピッチで配
列することができる。従って、高密度化されたチップ部
品,LSI,LCD等の微小なピッチの端子にも充分に
対応させることができる。しかも構成が簡単で、部品数
と組立工数とが減るため、コストを下げることもでき
る。
し、その各対の弾性部の探針嵌着溝に探針を嵌着して固
定するように構成すれば、探針の厚さを非常に薄くする
ことができ、よってそのピッチをさらに微小化して、よ
り微小なピッチの端子にも対応させることが可能にな
る。
によれば、多数の探針を、微小なピッチで2次元に広げ
て配列することができ、そのため、チップ部品,LS
I,LCD等の、細かいピッチで様々な形に配列された
端子にも、充分に、かつより容易に対応させることが可
能となる。
例を示す図で、(a)は一部を破断した正面図、(b)
は平面図、(c)は側断面図である。
他の構成例を示す側断面図である。
ける検査用プローブの他の構成例を示す平面図である。
例を示す図で、(a)は部分正面図、(b)は部分平面
図、(c)は(a)のA−A線断面図である。
す図で、(a)は正面図、(b)は平面図である。
(a)は平面図、(b)は正面図、(c)は側断面図で
ある。
Claims (4)
- 【請求項1】 複数の導電性の探針を、互いに平行に、
かつ互いに電気的に絶縁するとともに、それぞれの長さ
方向に弾性を持たせた状態で保持して成り、該各探針の
先端部を被検査部品の複数の端子に接触させることによ
り、該各端子から電気信号を取り出す検査用プローブに
おいて、 ブロックの少なくとも一端面に、複数の互いに平行な探
針嵌着溝を、該ブロックを貫通して該溝の両端を開口さ
せた状態で形成し、 前記ブロックの各探針嵌着溝に、それ自体が長さ方向に
弾性を備えた導電性の探針を、該各探針の両端部を前記
各探針嵌着溝の両開口端から突出させるとともに抜き止
めした状態で、かつ互いに電気的に絶縁した状態で嵌着
して保持した、 ことを特徴とする検査用プローブ。 - 【請求項2】 前記ブロックの前記複数の探針嵌着溝を
形成した端面に、該各探針嵌着溝を直角方向に二分した
形で該各探針嵌着溝より深い深溝を形成するとともに、
前記各探針嵌着溝の間に切り込みを入れることにより、
前記ブロックに、前記各探針嵌着溝に対応させて、該各
探針嵌着溝の長さ方向に弾性を備えた複数対の弾性部を
形成し、該各対の弾性部の探針嵌着溝に、前記弾性を備
えた導電性の探針を嵌着して、固定した状態で保持し
た、 ことを特徴とする請求項1記載の検査用プローブ。 - 【請求項3】 複数の導電性の探針を、互いに平行に、
かつ互いに電気的に絶縁するとともに、それぞれの長さ
方向に弾性を持たせた状態で保持して成り、該各探針の
先端部を被検査部品の複数の端子に接触させることによ
り、該各端子から電気信号を取り出す検査用プローブに
おいて、 複数のスリットを有する2枚の格子板を、それぞれのス
リットを交差させた状態で重ねることにより、その複数
のスリット交差部分をそれぞれ探針挿着孔とした探針保
持板を形成するとともに、該探針保持板を2枚、スペー
サを介して互いに対向させた状態で組み合わせることに
より中空ブロックを構成し、 該中空ブロックを構成する前記2枚の探針保持板の相対
する各対の探針挿着孔に、それ自体が長さ方向に弾性を
備えた導電性の探針を、該各探針の両端部を前記中空ブ
ロックの外側へ突出させるとともに抜き止めした状態
で、かつ互いに電気的に絶縁した状態で挿着した、 ことを特徴とする検査用プローブ。 - 【請求項4】 前記各探針の、前記2枚の探針保持板間
の部分に、絶縁コーティングを施したことを特徴とする
請求項3記載の検査用プローブ。
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