JPWO2017203574A1 - ループヒートパイプ及びその製造方法並びに電子機器 - Google Patents

Abstract

ループヒートパイプ（１）を、第１板状部材（８）と第２板状部材（９）とを接合した構造にし、第１板状部材を、蒸発器（２）となる領域、凝縮器（３）を構成する凝縮管（３Ａ）となる領域、蒸気管（４）となる領域及び液管（５）となる領域に、第１凹部（１０）を備えるとともに、蒸発器となる領域に、毛細管力を発生させうる溝（１１）を備えるものとし、第２板状部材を、蒸発器となる領域、凝縮管となる領域、蒸気管となる領域及び液管となる領域に、第２凹部（１２）を備えるものとし、第２凹部に多孔質構造（１３）を設ける。

Description

本発明は、ループヒートパイプ及びその製造方法並びに電子機器に関する。

例えばスマートフォンやタブレット端末等の携帯可能な小型、薄型の電子機器（モバイル機器）では、発熱部品の熱を移動するために、例えば金属板や熱拡散シートなどのシート状の熱伝導部材が広く使用されている。
例えば、金属板としては、銅、アルミ、マグネシウム合金、及び、これらを積層した薄板などが使用されているが、その熱伝導の性能は、材料の熱伝導率によって決まる。また、例えば、熱拡散シートとしては、グラファイトシートが使用されているが、熱伝導率が約５００〜約１５００Ｗ／ｍＫ程度であり、この程度の熱伝導率では発熱部品の発熱量が多くなると、材料の熱伝導だけでは、熱移動が充分にできなくなるおそれがある。

そこで、より大きな熱量を効率的に移動・拡散させるために、冷媒の蒸発潜熱を利用した熱移動デバイスであるヒートパイプを利用することが考えられる。
ヒートパイプは冷媒の蒸発潜熱を用いた熱移動デバイスであり、例えば、直径約３〜約４ｍｍのヒートパイプの熱移動を、熱伝導率に換算した場合には、約１５００〜約２５００Ｗ／ｍＫ程度に相当し、材料の熱伝導を利用したシート状の熱伝導部材と比較して大きな値を示す。

しかしながら、効率的な熱輸送には、冷媒の流動性を良くするために、熱輸送管であるパイプの直径を大きくする必要があり、これがヒートパイプを機器に搭載する上での問題となって、モバイル機器への適用は進んでいない。
この場合、ヒートパイプのパイプ形状を扁平にすることが考えられるが、扁平にすることで、パイプ内での作動流体の流動が阻害され、熱輸送の能力が低下してしまう。

これに対し、ループヒートパイプは、気相の作動流体と液相の作動流体の流路が独立しており、作動流体が流れる方向が一方向になるため、液相の作動流体と気相の作動流体とが管内において対向するヒートパイプと比較して、作動流体の流動抵抗を小さくすることができ、効率的な熱輸送が可能である。
そこで、モバイル機器にループヒートパイプを用いることが考えられる。

特開昭６０−１７８２９１号公報 国際公開第２０１５／０８７４５１号

ところで、モバイル機器の中にループヒートパイプを設ける場合、ループヒートパイプの構成部品を薄型化することになる。
この場合、従来までのように、ループヒートパイプの蒸発器、蒸気管、凝縮器、液管を個別に製造し、これらを溶接などで接続するのでは、薄型化を実現するのは難しい。
また、蒸発器に収納されるウィックには、例えば焼結金属、焼結樹脂、セラミックスなどの多孔質体が用いられているが、蒸発器の薄型化にともない、蒸発器に収納されるウィックも薄くすることになるが、これらの材料からなる多孔質体を薄化する際に、破損や亀裂が生じるおそれがある。

そこで、複数の金属薄板を積層し、拡散接合することによって、蒸発器、凝縮器、蒸気管、液管を作製し、薄型化することが考えられる。
また、さらなる薄型化を実現するために、２枚の金属薄板（板状部材）を用い、これらを接合することで、蒸発器、凝縮器、蒸気管、液管を作製することも考えられる。
この場合、ループヒートパイプにおける作動流体の駆動源である毛細管力を発生させるために、蒸発器となる領域では、金属薄板に微細な溝を形成することが考えられる。

しかしながら、２枚の金属薄板を用いて薄型化したループヒートパイプでは、流路の断面積が小さくなり、作動流体の流動が阻害されやすくなる。このため、上述のように、蒸発器となる領域に微細な溝を設けて毛細管力を発生させるだけでは、例えば蒸発器が凝縮器よりも上方に位置する姿勢（トップヒート姿勢）で、ループ動作による熱輸送を行なえなくなることがわかった。

そこで、２つの板状部材を用いて薄型化したループヒートパイプにおいて、いかなる姿勢でもループ動作による熱輸送を行なえるようにしたい。

本ループヒートパイプは、液相の作動流体が蒸発する蒸発器と、気相の作動流体が凝縮する凝縮器と、蒸発器と凝縮器とを接続し、気相の作動流体が流れる蒸気管と、凝縮器と蒸発器とを接続し、液相の作動流体が流れる液管とを備え、蒸発器、凝縮器、蒸気管及び液管は、第１板状部材と第２板状部材とを接合した構造になっており、第１板状部材は、蒸発器となる領域、凝縮器を構成する凝縮管となる領域、蒸気管となる領域及び液管となる領域に、第１凹部を備えるとともに、蒸発器となる領域に、毛細管力を発生させうる溝を備え、第２板状部材は、蒸発器となる領域、凝縮管となる領域、蒸気管となる領域及び液管となる領域に、第２凹部を備え、第２凹部に多孔質構造が設けられている。

本電子機器は、発熱部品と、発熱部品の熱を移動するループヒートパイプとを備え、ループヒートパイプは、上述のように構成される。
本ループヒートパイプの製造方法は、第１板状部材を加工して、蒸発器となる領域、凝縮器を構成する凝縮管となる領域、蒸気管となる領域及び液管となる領域に、第１凹部を形成するとともに、蒸発器となる領域に、毛細管力を発生させうる溝を形成する工程と、第２板状部材を加工して、蒸発器となる領域、凝縮管となる領域、蒸気管となる領域及び液管となる領域に、第２凹部を形成する工程と、第２凹部に多孔質構造を設ける工程と、第１板状部材と第２板状部材とを接合する工程とを含む。

したがって、本ループヒートパイプ及びその製造方法並びに電子機器によれば、２つの板状部材を用いて薄型化したループヒートパイプにおいて、いかなる姿勢でもループ動作による熱輸送を行なえるという利点がある。

（Ａ）、（Ｂ）は、本実施形態にかかるループヒートパイプの構成を示す模式的平面図であり、（Ａ）は第１板状部材の構成を示しており、（Ｂ）は第２板状部材の構成を示している。 （Ａ）、（Ｂ）は、本実施形態にかかるループヒートパイプに備えられる蒸発器の構成例を示す模式的平面図であり、（Ａ）は第１板状部材の蒸発器部分の構成例を示しており、（Ｂ）は第２板状部材の蒸発器部分の構成例を示している。 本実施形態にかかるループヒートパイプを構成する第１板状部材の蒸発器部分の構成例を示す模式的平面図である。 本実施形態にかかるループヒートパイプを構成する第１板状部材の蒸発器部分の構成例を示す模式的平面図である。 本実施形態にかかるループヒートパイプを構成する第１板状部材の蒸発器部分の構成例を示す模式的平面図である。 本実施形態にかかるループヒートパイプに備えられる蒸気管、凝縮管、液管の構成例を示す模式的断面図である。 本実施形態にかかるループヒートパイプにおいて蒸気管、凝縮管、液管に支柱（リブ）を設ける場合の第１板状部材の構成例を示す模式的平面図である。 本実施形態にかかるループヒートパイプを備える電子機器の構成を示す模式図である。 本実施形態にかかるループヒートパイプを備える電子機器の構成を示す模式図である。 ループヒートパイプの構成及び動作を説明するための模式図である。 （Ａ）、（Ｂ）は、２枚の金属薄板を用いたループヒートパイプを説明するための模式図であって、（Ａ）は斜視図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＡ−Ａ′線及びＢ−Ｂ′線に沿う断面図である。 本実施形態にかかるループヒートパイプを構成する第１板状部材の液管部分にも溝を設ける場合について説明するための模式的平面図である。 本実施形態にかかるループヒートパイプを構成する第１板状部材の液管部分にも溝を設ける場合について説明するための模式的平面図であって、図１２の符号Ｘで示す部分を拡大して示す図である。 （Ａ）、（Ｂ）は、本実施形態にかかるループヒートパイプの具体的な構成例及びその製造方法を説明するための模式図である。 本実施形態のループヒートパイプをトップヒート姿勢にして約５Ｗの熱量を印加した場合の温度変化を示す図である。 溝加工のみの蒸発器を有するループヒートパイプをトップヒート姿勢にして約５Ｗの熱量を印加した場合の温度変化を示す図である。 （Ａ）、（Ｂ）は、溝加工のみの蒸発器を有するループヒートパイプに備えられる蒸発器の構成例を示す模式的平面図であり、（Ａ）は第１板状部材の構成例を示しており、（Ｂ）は第２板状部材の構成例を示している。 （Ａ）は、本実施形態のループヒートパイプに約５Ｗの熱量を印加した状態でループヒートパイプの姿勢を変化させた場合の温度変化を示す図であり、（Ｂ）は温度測定箇所を示す図である。

以下、図面により、本発明の実施の形態にかかるループヒートパイプ及びその製造方法並びに電子機器について説明する。
まず、本実施形態にかかるループヒートパイプについて、図１〜図１８を参照しながら説明する。
本実施形態にかかるループヒートパイプは、例えばスマートフォン、タブレット端末、デジタルカメラ等の携帯可能な小型、薄型の電子機器、即ち、モバイル用途の電子機器（モバイル機器）に備えられ、電子機器に備えられる発熱部品（例えばＬＳＩチップ）が発生した熱を移動させ、熱源である発熱部品を冷却するための薄型のループヒートパイプである。なお、発熱部品を電子部品又は発熱素子ともいう。

本実施形態のループヒートパイプは、図１（Ａ）、図１（Ｂ）に示すように、液相の作動流体が蒸発する蒸発器２と、気相の作動流体が凝縮する凝縮器３と、蒸発器２と凝縮器３とを接続し、気相の作動流体が流れる蒸気管４と、凝縮器３と蒸発器２とを接続し、液相の作動流体が流れる液管５とを備える。
ここでは、凝縮器３は、凝縮管３Ａと、熱拡散プレート（放熱プレート；放熱板）３Ｂとを備える。

そして、このように構成されるループヒートパイプ１は、図８、図９に示すように、例えばスマートフォン、タブレット端末、デジタルカメラ等のモバイル機器６に備えられる発熱部品７に蒸発器２が熱的に接続されるようにして、モバイル機器６の内部に収納される。
なお、作動流体は、例えば、水、エタノール、アセトン、メタノール、フロン類などである。

ここでは、蒸発器２は１つの液流入口と１つの蒸気流出口を有し、凝縮器３は１つの蒸気流入口と１つの液流出口を有する。
そして、蒸発器２の蒸気流出口と凝縮器３の蒸気流入口が蒸気管４を介して接続されており、凝縮器３の液流出口と蒸発器２の液流入口が液管５を介して接続されている。
つまり、蒸発器２、蒸気管４、凝縮器３、液管５がループ状に連結されており、これらの内部に封入された作動流体が一方向に流れるようになっている。

ここでは、作動流体は、発熱部品７から蒸発器２に供給される熱で液相から気相へ変化し、熱を伴って蒸気管４を通って凝縮器３へ移動し、凝縮器３における放熱によって気相から液相へ変化し、液管５を通って蒸発器２へ戻るようになっている。
このため、液相の作動流体と気相の作動流体とが管内を往復するヒートパイプと比較して、作動流体の流動抵抗を小さくすることができ、効率的な熱輸送が可能である。

本実施形態では、図１（Ａ）、図１（Ｂ）に示すように、蒸発器２、凝縮器３、蒸気管４及び液管５は、第１板状部材８と第２板状部材９とを接合した構造になっている。つまり、蒸発器２、凝縮器３、蒸気管４及び液管５は、上下２枚の板状部材８、９から構成されている。
ここで、第１板状部材８は、図１（Ａ）に示すように、蒸発器２となる領域、凝縮器３を構成する凝縮管３Ａとなる領域、蒸気管４となる領域及び液管５となる領域に、第１凹部１０を備えるとともに、蒸発器２となる領域に、毛細管力を発生させうる溝１１を備える。

ここでは、第１凹部１０及び溝１１は、板厚よりも小さい深さを有する。なお、凹部を凹構造ともいう。また、溝を微細溝又は微細幅の凹部ともいう。
ここでは、第１板状部材８は、金属板（金属薄板）であり、具体的には、銅板（銅薄板）である。
また、第１板状部材８は、蒸発器２となる領域、凝縮器３を構成する凝縮管３Ａとなる領域、蒸気管４となる領域及び液管５となる領域に、例えばハーフエッチングなどの加工によって板厚よりも小さい深さになるように設けられた第１凹部１０を備える。

また、第１板状部材８は、蒸発器２となる領域に、例えばハーフエッチングなどの加工によって、板厚よりも小さい深さになるように、毛細管力を発生させうる複数の溝１１が設けられている。
ここで、複数の溝１１は、毛細管力を発生させうる溝であれば良く、例えば、液管５が接続されている側から蒸気管４が接続されている側へ向かう長さ方向へ延びる溝であっても良いし、長さ方向に交差する幅方向へ延びる溝であっても良い。なお、複数の溝１１は、互いに平行に、即ち、同じ向きに形成されていることが好ましい。

なお、図１（Ａ）では、複数の溝１１として、長さ方向へ延びる溝を例示している。また、長さ方向を蒸発器２の長さ方向ともいう。また、幅方向を蒸発器２の幅方向ともいう。
また、第２板状部材９は、図１（Ｂ）に示すように、蒸発器２となる領域、凝縮管３Ａとなる領域、蒸気管４となる領域及び液管５となる領域に、第２凹部１２を備える。ここでは、第２凹部１２は、板厚よりも小さい深さを有する。なお、凹部を凹構造ともいう。

ここでは、第２板状部材９は、金属板（金属薄板）であり、具体的には、銅板（銅薄板）である。
また、第２板状部材９は、蒸発器２となる領域、凝縮管３Ａとなる領域、蒸気管４となる領域及び液管５となる領域に、例えばハーフエッチングなどの加工によって板厚よりも小さい深さになるように設けられた第２凹部１２を備える。

また、第２凹部１２に多孔質構造１３が設けられている。ここでは、第２凹部１２の全体に多孔質構造１３が設けられている。ここで、多孔質構造１３は、蒸発器２となる領域、凝縮管３Ａとなる領域、蒸気管４となる領域及び液管５となる領域のすべての領域に設けられている。
ここで、多孔質構造１３は、表面に空孔が露出し、かつ、空孔が連通した構造になっている。また、空孔の直径は、例えば約０．５ｍｍ以下であることが好ましい。

ここでは、多孔質構造１３は、第１板状部材８と第２板状部材９とを接合した場合に、第１板状部材８に設けられた第１凹部１０の側に空孔が露出するように、第２板状部材９の第２凹部１２に設けられている。また、多孔質構造１３は、すべての空孔が連通していることが好ましい。
多孔質構造１３は、例えば、金網状の金属製メッシュを積層してなる構造体、パンチングによりメッシュ状にした金属製シート材を積層してなる構造体、焼結金属や微細なセラミックスからなる多孔質体、３Ｄプリンタを使用して製造される金属製の多孔質体、あるいは金属製の繊維質から製造される不織布などによって構成される。

なお、多孔質構造１３は、第１板状部材８及び第２板状部材９の少なくとも一方の凹部（空間部）に設けられていれば良い。
このように構成される第１板状部材８と第２板状部材９とを第１凹部１０及び第２凹部１２が内側になるように接合することで、蒸発器２となる領域、凝縮管３Ａとなる領域、蒸気管４となる領域及び液管５となる領域に、第１凹部１０と第２凹部１２とによって流路が形成される。

そして、蒸発器２となる領域に設けられた溝１１によって、毛細管力が発生し、液相の作動流体が浸透し、気相の作動流体となる。
また、蒸発器２となる領域、凝縮管３Ａとなる領域、蒸気管４となる領域及び液管５となる領域に設けられた多孔質構造１３、即ち、ループヒートパイプ１の流路の全域にわたって設けられた多孔質構造１３によって、トップヒート姿勢でのループ動作を実現することが可能となる。

ところで、蒸発器２は、液管５が接続されている液流入口１５と、蒸気管４が接続されている蒸気流出口１６と、毛細管力を発生し、液相の作動流体が浸透し、気相の作動流体となるくし歯状部分１７と、気相の作動流体が流れるくし歯状の蒸気流路１８とを備えるものとするのが好ましい［図２（Ａ）参照］。
ここで、くし歯状部分１７は、液管５が接続されている側から分岐されて延びており、分岐されている複数の部分（分岐部分；リブ状部分）１７Ａを備える。つまり、くし歯状部分１７は、液流入口１５から内部へ向けてくし歯状に延びた部分であり、液管５につながっている。

また、くし歯状の蒸気流路１８は、くし歯状部分１７に対向するように設けられ、蒸気管４が接続されている側から分岐されて延びており、分岐されている複数の蒸気流路１８Ａを備える。つまり、くし歯状の蒸気流路１８は、蒸気流出口１６から内部へ向けてくし歯状に延びた蒸気流路であり、蒸気管４につながっている。
なお、蒸気流路１８は、蒸発器２の内部を流れる気相の作動流体を蒸気管４へ排出する流路であるため、蒸気排出流路ともいう。

ここでは、くし歯状部分１７の分岐されている複数の部分１７Ａの間に、くし歯状の蒸気流路１８の分岐されている複数の蒸気流路１８Ａが設けられている。つまり、くし歯状部分１７の分岐されている複数の部分１７Ａと、くし歯状の蒸気流路１８の分岐されている複数の蒸気流路１８Ａとが、面内方向に交互に配置されており、これにより、蒸発器２の薄型化が図られている。

この場合、図２（Ａ）に示すように、第１板状部材８の蒸発器２となる領域に、くし歯状部分１７と、くし歯状の蒸気流路１８とを設ければ良い。
また、第１板状部材８のくし歯状部分１７となる領域に溝１１を設け、くし歯状の蒸気流路１８となる領域に第１凹部１０を設ければ良い。
そして、第２板状部材９の蒸発器２となる領域に設けられた第２凹部１２に多孔質構造１３を設け［図２（Ｂ）参照］、くし歯状部分１７及びくし歯状の蒸気流路１８と多孔質構造１３とが対向するようにして、第１板状部材８と第２板状部材９とを接合すれば良い。

この場合、第１板状部材８に備えられる複数の溝１１は、くし歯状の蒸気流路１８の分岐されている複数の蒸気流路１８Ａに挟まれた複数の部分１７Ａに設けられていることになる。
ここでは、第１板状部材８に備えられる複数の溝１１は、長さ方向に交差（ここでは直交）する方向へ延びる溝である。つまり、複数の溝１１は、互いに平行に、かつ、くし歯状の蒸気流路１８の分岐されている複数の蒸気流路１８Ａ（即ち、蒸気が流れる方向）に交差（ここでは直交）する方向に延びるように設けられている。

なお、これに限られるものではなく、図３に示すように、第１板状部材８に備えられる複数の溝１１は、長さ方向へ延びる溝であっても良い。つまり、複数の溝１１は、互いに平行に、かつ、くし歯状の蒸気流路１８の分岐されている複数の蒸気流路１８Ａが延びる方向に平行に延びるように設けられていても良い。
この場合、図４に示すように、くし歯状部分１７の分岐されている複数の部分１７Ａは、それぞれ、くし歯状の蒸気流路１８の分岐されている複数の蒸気流路１８Ａのうち隣り合う２つの蒸気流路１８Ａを連通する連通溝１９を備えることが好ましい。

つまり、第１板状部材８が、くし歯状部分１７の分岐されている複数の部分１７Ａとなる領域に、くし歯状の蒸気流路１８の分岐されている複数の蒸気流路１８Ａのうち隣り合う２つの蒸気流路を連通する連通溝１９を備えることが好ましい。
このように、隣り合う蒸気流路１８Ａ同士を、連通溝１９によって連通させることで、蒸気流路１８Ａ間の圧力差がなくなり、蒸気発生に伴う蒸発器２内の圧力分布がなくなって、熱源である発熱部品７からの熱によって発生した気相の作動流体が均一に蒸気管４に排出されることになる。これにより、ループヒートパイプ１の起動時間を短縮することが可能となる。

また、図５に示すように、第１板状部材８に備えられる複数の溝１１は、長さ方向に交差（ここでは斜めに交差）する方向へ延びる溝であっても良い。つまり、複数の溝１１は、互いに平行に、かつ、長さ方向に斜めに交差するように（一定の角度を有して交差するように）設けられていても良い。
また、くし歯状の蒸気流路１８は、分岐されている複数の蒸気流路１８Ａのそれぞれの流路幅が溝１１の幅よりも広くなっていることが好ましい［図２（Ａ）、図３〜図５参照］。つまり、くし歯状の蒸気流路１８の分岐されている複数の蒸気流路１８Ａのそれぞれを構成する第１凹部１０の幅が、溝１１の幅よりも広くなっていることが好ましい。これにより、圧損を小さくすることが可能となる。

ここで、くし歯状の蒸気流路１８の分岐されている複数の蒸気流路１８Ａのそれぞれを構成する第１凹部１０は、気相の作動流体が流れ、気相の作動流体を蒸気管４へ排出する流路を構成しうるサイズであれば良く、グルーブともいう。
なお、くし歯状部分１７の分岐されている複数の部分１７Ａの本数、間隔、形状は、上述の例示しているものに限られるものではない。また、くし歯状の蒸気流路１８の分岐されている複数の蒸気流路１８Ａの本数、間隔、形状は、上述の例示しているものに限られるものではない。また、溝１１の本数、間隔、形状、向き等はここで例示しているものに限られるものではない。また、蒸発器２は、くし歯状部分１７やくし歯状の蒸気流路１８を備えないものとして構成しても良い。

ところで、凝縮管３Ａ、蒸気管４、液管５の各流路は、図６に示すように、第１板状部材８に設けられた第１凹部１０と第２板状部材９に設けられた第２凹部１２とによって構成される。
ここでは、第１板状部材８の凝縮管３Ａとなる領域、蒸気管４となる領域及び液管５となる領域に第１凹部１０を設け、第２板状部材９の凝縮管３Ａとなる領域、蒸気管４となる領域及び液管５となる領域に第２凹部１２を設け、第１凹部１０と第２凹部１２とが対向するように、第１板状部材８と第２板状部材９とを接合することによって、凝縮管３Ａ、蒸気管４、液管５の各流路が構成される。

この場合、第１板状部材８は、図６、図７に示すように、第１凹部１０に支柱（リブ）１４を備えるものとするのが好ましい。これにより、第１板状部材８を第２板状部材９に接合する際に、第１板状部材８がへこんで流路断面積が小さくなってしまうのを防ぎ、圧損増大を防止することが可能となる。
例えば、図７に示すように、第１板状部材８は、凝縮管３Ａとなる領域、蒸気管４となる領域及び液管５となる領域に設けられる第１凹部１０に、第１凹部１０が延びる方向に沿って平行に延びるように、支柱１４を備えるものとするのが好ましい。

例えば、図６に示すように、支柱１４は、第１凹部１０の内部の幅方向中央位置に設ければ良い。この場合、凝縮器３を構成する凝縮管３Ａとなる領域、蒸気管４となる領域及び液管５となる領域に設けられる第１凹部１０によって構成される流路に沿って平行に支柱１４が設けられ、この支柱１４によって流路が仕切られて２つの凹部が形成されることになる。これにより、第１板状部材８、即ち、流路の中央部がへこんで流路断面積が小さくなってしまうのを防ぎ、圧損増大を防止することができる。

なお、ここでは、第１凹部１０の内部に１つの支柱１４を設けているが、これに限られるものではなく、複数の支柱を設けても良い。また、支柱１４の本数、間隔、形状等もここで例示しているものに限られるものではない。
ところで、上述のように構成しているのは、以下の理由による。
ループヒートパイプ１は、図１０に示すように、蒸発器２、凝縮器３、蒸発器２と凝縮器３とを連結する蒸気管４及び液管５を備え、これらの内部には作動流体が一定圧力で封入されている。

作動流体は、外部に設けられた発熱部品７から蒸発器２に供給される熱で液相から気相へと変化し、熱を伴って蒸気管４を通って凝縮器３に移動する。凝縮器３における放熱によって、作動流体は気相から液相へ変化し、液管５を通って蒸発器２に戻る。
一般に、蒸発器２の内部には、微細孔（細孔）をもつウィックと呼ばれる部材（図示せず）が収納されており、ウィックに作動流体が浸透する際に、微細孔において毛細管力が発生し、これが流体移動のためのポンピング力となる。なお、本実施形態では、毛細管力を発生させうる溝１１を設けることで、ウィックと同様に機能するようにしている。

蒸発器２が、発熱部品７が発生した熱によって加熱されると、ウィック内に浸透した液相の作動流体が、ウィックの表面で蒸発して気相の作動流体が発生する。
この蒸発器２内における液から蒸気への相変化に発熱部品７が発生した熱が使われるため、発熱部品７から熱が奪われることになる。
そして、蒸発器２で発生した気相の作動流体（蒸気）は蒸気管４を通って凝縮器３へ移動し、凝縮器３で液相の作動流体（作動液）に変化する。

液相の作動流体は、液管５を通って蒸発器２へ移動する。
このような作動流体の循環が繰り返されることで、発熱部品７が発生した熱の移動が連続して行われる。
ループヒートパイプ１内では、蒸発器２における受熱によって発生した気相の作動流体（蒸気）が、蒸気管４を通過して凝縮器３へと至る。

このとき、凝縮器３の液管５側から蒸発器２にかけては、理想的には液相の作動流体（作動液）が存在し、蒸発器２内のウィックには作動液が浸透している状態になっている。
そして、ウィックの微細孔内において毛細管力が働き、この毛細管力が支えとなって蒸発器２から液管５の方向への蒸気の侵入（逆流）を防いでいる。
ウィックに作動液が浸み込む際に発生する毛細管力は、ループヒートパイプ１における冷媒の駆動源として使用される。

ループヒートパイプ１による流体の移動、即ち、蒸発器２で潜熱を奪い、凝縮器３で液化した作動流体が再び蒸発器２に戻るためには、以下の条件が必要である。
ΔＰ_ｃａｐ≧ΔＰ_{ｔｏｔａｌ}・・・（１）
ここで、ΔＰ_ｃａｐは、蒸発器２で発生する毛細管圧力、ΔＰ_{ｔｏｔａｌ}は、ループヒートパイプ１の流路のすべての圧力損失である。つまり、ΔＰ_{ｔｏｔａｌ}は、蒸発器２内のウィックの圧力損失、蒸気管４内での圧力損失、凝縮管３Ａ内での圧力損失、液管５内での圧力損失、及び、重力ヘッド（圧力水頭）の総和である。

この場合、重力の影響を含むΔＰ_{ｔｏｔａｌ}が、ΔＰ_ｃａｐよりも小さければ、いかなる姿勢であっても、ループヒートパイプはループ動作による熱移動を行なうことができる。
ところで、図８、図９に示すように、このようなループヒートパイプ１をモバイル機器６（ここではスマートフォン）に適用する場合、ループヒートパイプ１を、熱源である発熱部品７と接触する蒸発器２、蒸気管４、凝縮管３Ａと熱拡散プレート３Ｂを備える凝縮器３及び液管５から構成されるものとし、蒸発器２に接触する発熱部品７の熱を、モバイル機器６内の比較的低温の領域に輸送することで、発熱部品７の熱を拡散させることができる。

しかしながら、ループヒートパイプ１をモバイル機器６に適用する場合、ループヒートパイプ１の構成部品を薄型化する必要がある。
例えば、ループヒートパイプ１の構成部品である蒸発器２、蒸気管４、凝縮器３及び液管５を個別に製造し、これらを溶接などで接続したのでは、薄型化を実現することは難しい。

また、例えば、蒸発器２に収納されるウィックには、例えば焼結金属、焼結樹脂、セラミックスなどの多孔質体が用いられているが、蒸発器２の薄型化にともない、蒸発器２に収納されるウィックも薄くすることになるが、これらの材料からなる多孔質体を薄化する際に、破損や亀裂が生じるおそれがある。
そこで、複数の金属薄板を積層し、拡散接合することによって、蒸発器２、凝縮器３、蒸気管４、液管５を作製し、薄型化することが考えられる。

また、さらに薄型のループヒートパイプ１を実現するために、２枚の金属薄板８、９を用い、これらを接合することで、蒸発器２、凝縮器３、蒸気管４、液管５を作製することも考えられる［図１１（Ａ）、図１１（Ｂ）参照］。
この場合、２枚の金属薄板をハーフエッチングし、即ち、板厚よりも小さい深さを有する凹部をパターニングし、これらを貼り合わせることで、流路を形成すれば良い。

また、蒸発器２となる領域では、ループヒートパイプ１における作動流体の駆動源である毛細管力を発生させるために、エッチング加工（例えばハーフエッチング加工）によって、金属薄板に微細な溝を形成することが考えられる。
しかしながら、２枚の金属薄板を用いて薄型化したループヒートパイプ１では、流路の断面積が小さくなり、作動流体の流動が阻害されやすくなる。

このため、蒸発器２となる領域に微細な溝を設けて毛細管力を発生させるだけでは、例えば蒸発器２が凝縮器３よりも上方に位置する姿勢（トップヒート姿勢）で、ループ動作による熱輸送を行なえなくなることがわかった。
つまり、モバイル用途の電子機器に、薄型のループヒートパイプ１を搭載する場合、ループヒートパイプ１は、いかなる姿勢（設置姿勢）でもループ動作による熱輸送を行なえるように、上記式（１）を満足するように設計することになる。

しかしながら、２枚の金属薄板を用いて薄型のループヒートパイプ１を作製すると、流路の断面積が小さくなり、作動流体の流動が阻害されやすくなり、圧力損失が大きくなる。
また、重力の影響を受けるトップヒート姿勢では、ループヒートパイプ１の流路の圧力損失に重力ヘッドも加わることになる。

このため、特にトップヒート姿勢で、ループヒートパイプ１の熱輸送性能が著しく低下してしまうことがわかった。
これは、姿勢変化による重力ヘッドの変動があっても、蒸発器２で発生する毛細管力が流路圧損に対して十分に大きくなり、上記式（１）を満たすようにすることが難しいことに起因する。

つまり、トップヒート姿勢であっても、上記式（１）を満たすように、蒸発器２で発生する毛細管力を十分に大きくするのが難しいこと、即ち、十分に大きな毛細管力を発生しうる微細な溝を金属薄板に形成するのが難しいことに起因する。
具体的には、薄型化することで圧力損失が大きくなり、トップヒート姿勢で、蒸気管４内に存在する気相の作動流体（蒸気）の進行が停滞する。

このため、液管５及び凝縮管３Ａに存在する液相の作動流体が、蒸発器２に移動することが困難な状態となる。
そして、ループヒートパイプ１内での気液の動きが停止することで、ループヒートパイプ１による熱移動が継続的に行なわれず、やがて蒸発器２内には液がなくなりドライアウトに至ることになる。

そこで、２つの板状部材８、９を用いて薄型化したループヒートパイプ１において、トップヒート姿勢を含むいかなる姿勢でもループ動作による熱輸送を行なえるようにすべく、上述のように構成している。
つまり、上述のように、ループヒートパイプ１の流路の全体に多孔質構造１３を設けることで、蒸発器２で発生する毛細管力に、多孔質構造１３で発生する毛細管力が加わるため、トップヒート姿勢において重力ヘッドが加わった場合であっても、毛細管力が流路のすべての圧損に対して十分に大きくなるようにしている。

これにより、低コストで提供でき、かつ、薄型化を実現できる２つの板状部材８、９を用いたループヒートパイプ１において、いかなる姿勢でもループ動作による熱輸送を行なえるようにすることができる。
ところで、上述のように、第１板状部材８及び第２板状部材９の２つの板状部材によって構成されるループヒートパイプ１は、以下のようにして製造することができる。

まず、第１板状部材８を加工（例えばハーフエッチング加工）して、蒸発器２となる領域、凝縮器３を構成する凝縮管３Ａとなる領域、蒸気管４となる領域及び液管５となる領域に、第１凹部１０を形成するとともに、蒸発器２となる領域に、毛細管力を発生させうる溝１１を形成する［例えば図１（Ａ）、図２（Ａ）、図３〜図５、図６参照］。
この第１板状部材８を加工する工程において、第１板状部材８の蒸発器２のくし歯状部分１７となる領域に、溝１１を形成し、第１板状部材８の蒸発器２のくし歯状の蒸気流路１８となる領域に、第１凹部１０を形成するのが好ましい［例えば図２（Ａ）、図３〜図５参照］。なお、上述の第１板状部材８を加工する工程において、第１板状部材８の第１凹部１０に支柱１４を形成しても良い［例えば図６、図７参照］。

また、第２板状部材９を加工（例えばハーフエッチング加工）して、蒸発器２となる領域、凝縮管３Ａとなる領域、蒸気管４となる領域及び液管５となる領域に、第２凹部１２を形成する［例えば図１（Ｂ）、図２（Ｂ）、図６参照］。
また、第２凹部１２に多孔質構造１３を設ける［例えば図１（Ｂ）、図２（Ｂ）、図６参照］。

そして、第１板状部材８と第２板状部材９とを接合する［例えば図１（Ａ）、図１（Ｂ）、図２（Ａ）、図２（Ｂ）、図６参照］。
このようにして、ループヒートパイプ１を製造することができる。
好ましくは、第１板状部材８及び第２板状部材９としての２枚の金属薄板（２枚の表面シート）の一方の蒸発器２のくし歯状の蒸気流路１８となる領域、凝縮器３を構成する凝縮管３Ａとなる領域、蒸気管４となる領域及び液管５となる領域に、例えばハーフエッチングなどの加工によって板厚よりも小さい深さになるように、蒸発器２のくし歯状の蒸気流路１８、蒸気管４、凝縮器３に備えられる凝縮管３Ａ、液管５の各流路を構成する第１凹部１０を設けるとともに、蒸発器２のくし歯状部分１７となる領域に、例えばハーフエッチングなどの加工によって板厚よりも小さい深さになるように、毛細管力を発生させうる溝１１を設ける［例えば図１（Ａ）、図２（Ａ）、図３〜図５、図６参照］。

また、２枚の金属薄板の他方の蒸発器２となる領域、凝縮管３Ａとなる領域、蒸気管４となる領域及び液管５となる領域に、例えばハーフエッチングなどの加工によって板厚よりも小さい深さになるように、蒸気管４、凝縮器３に備えられる凝縮管３Ａ、液管５の各流路を構成する第２凹部１２を設ける［例えば図１（Ｂ）、図２（Ｂ）、図６参照］。
また、２枚の金属薄板の他方に設けられた第２凹部１２に多孔質構造１３を設ける［例えば図１（Ｂ）、図２（Ｂ）、図６参照］。

そして、これらの２枚の金属薄板を、溝１１及び第１凹部１０と多孔質構造１３とを対向させ、拡散接合して、薄型のループヒートパイプ１を構成すれば良い。
ここでは、第１板状部材８及び第２板状部材９の凝縮管３Ａとなる領域に設けられる凹部１０、１２は、外気との熱交換の効率を上げ、凝縮による液化が十分に行なえるように、蛇行させて設けられている。また、ここでは、蒸発器２、蒸気管４、凝縮器３及び液管５のそれぞれの形状にパターニングする際に、凝縮器３に備えられる凝縮管３Ａとなる領域の周囲に平板状に板状部材を残すことで、この部分が凝縮器３に備えられる熱拡散プレート３Ｂとして機能するようにしている。

なお、上述のループヒートパイプ１では、蒸気管４、凝縮管３Ａ及び液管５には溝１１は設けられていないが、これに限られるものではない。
例えば、上述の蒸発器２に設けられている毛細管力を発生させうる溝１１と同様の構造を、液管５にも設けても良い。
つまり、図１２、図１３に示すように、第１板状部材８は、液管５となる領域に、毛細管力を発生させうる液管用溝２０を備えるものとしても良い。なお、図１２では、液管用溝２０を設ける領域に模様を付している。

この場合、上述のループヒートパイプ１の製造方法における第１板状部材８を加工する工程において、第１板状部材８の液管５となる領域に、毛細管力を発生させうる液管用溝２０を形成するようにすれば良い。
例えば、第１板状部材８は、液管用溝２０として、液管５となる領域の長さ方向へ延びる複数の溝を備えるものとしても良い。また、例えば、第１板状部材８は、液管用溝２０として、液管５となる領域の幅方向へ延びる複数の溝を備えるものとすれば良い。なお、図１３では、液管５の長さ方向へ延びる液管用溝２０を例示している。

なお、液管用溝２０は、液管５の全体にわたって設けられていても良いし、液管５の一部分に設けられていても良い。また、液管用溝２０の本数、間隔、形状はここで例示しているものに限られるものではない。
このようにして、液管５にも、毛細管力を発生させうる液管用溝２０を設けるのは、特にトップヒート姿勢で、液相の作動流体が液管５の内部を流れ、蒸発器２へ流入しやすくし、ループヒートパイプ１が安定して動作するようにするためである。

以下、具体的な構成例及びその製造方法について説明する。
まず、厚さ約０．２５ｍｍの第１の銅薄板８を用い、これを、図１４（Ａ）に示すような形状になるように、レジストでパターニングした後に、露出した銅をエッチング加工する。
ここで、蒸気管４、及び、凝縮器３に備えられる凝縮管３Ａの幅は約７ｍｍ、液管５の幅は約６ｍｍである。

また、第１の銅薄板８を深さ約０．１５ｍｍまでエッチング加工（ハーフエッチング加工）して、蒸発器２のくし歯状の蒸気流路１８、蒸気管４、凝縮管３Ａ及び液管５の各流路を構成する第１凹部１０を形成する。この際に、第１凹部１０に支柱（リブ）１４も形成する。
また、第１の銅薄板８をエッチング加工（ハーフエッチング加工）して、蒸発器２のくし歯状部分１７に微細な溝１１を形成する［例えば図２（Ａ）参照］。

ここで、溝１１の幅及び間隔は約０．２ｍｍであり、深さは約０．１２ｍｍである。また、くし歯状の蒸気流路１８を構成する第１凹部１０（幅広溝）であるグルーブの幅は約１ｍｍであり、深さは約０．１５ｍｍである。
次に、厚さ約３ｍｍの第２の銅薄板９を用い、これを、図１４（Ｂ）に示すような形状になるように、レジストでパターニングした後に、露出した銅をエッチング加工する。

ここで、蒸気管４、及び、凝縮器３に備えられる凝縮管３Ａの幅は約７ｍｍ、液管５の幅は約６ｍｍである。
また、第２の銅薄板９を深さ約０．１５ｍｍまでエッチング加工（ハーフエッチング加工）して、蒸発器２、蒸気管４、凝縮管３Ａ及び液管５の各流路を構成する第２凹部１２を形成する。

また、第２の銅薄板９にエッチング加工された第２凹部１２に、多孔質構造１３として、線径約０．０５ｍｍの銅線を金網状にしたメッシュ材料（銅メッシュ）を３層配置する。ここでは、メッシュ材料は、ランダムに開口しており、開口部の平均的な直径は約０．１ｍｍである。
そして、上述のようにエッチング加工され溝１１及び第１凹部１０を備える第１の銅薄板８と、上述のようにエッチング加工された第２凹部１２に３層積層させた銅メッシュ１３を配置した第２の銅薄板９とを、溝１１及び第１凹部１０と多孔質構造１３とを対向させ、拡散接合して、液注入口から内部を真空排気した後、配管内に作動液として水（あるいはエタノールやフロン）を注入することで、厚さ約０．５ｍｍの薄型のループヒートパイプ１を作製することができる。

なお、このようにして作製されるループヒートパイプ１において、多孔質構造１３として、上述のメッシュ材料に代えて、例えば、第２の銅薄板９にエッチング加工された第２凹部１２の形状（図１４（Ｂ）中、模様を付した部分参照）に成型された、厚さ約０．１５ｍｍの銅の焼結金属からなる多孔質体を配置しても良い。この多孔質体の孔の平均的な直径は約０．０３ｍｍである。

また、例えば、多孔質構造１３として、第２の銅薄板９にエッチング加工された第２凹部１２の形状（図１４（Ｂ）中、模様を付した部分参照）に成型された、繊維径約０．０３ｍｍのステンレス製の不織布を配置しても良い。
また、例えば、多孔質構造１３として、第２の銅薄板９にエッチング加工された第２凹部１２の形状（図１４（Ｂ）中、模様を付した部分参照）に成型された、厚さ約０．１５ｍｍのＳＵＳの焼結金属からなる多孔質体を配置しても良い。この多孔質体の孔の平均的な直径は約０．０２ｍｍである。

また、上述のようにして作製されるループヒートパイプ１において、例えば、蒸気管４、及び、凝縮器３に備えられる凝縮管３Ａの幅は約６ｍｍとし、液管５の幅は約５ｍｍとし、厚さ約０．５ｍｍの薄型のループヒートパイプ１としても良い。また、例えば、第１の銅薄板８及び第２の銅薄板９の厚さを約０．３ｍｍとし、蒸気管４、及び、凝縮器３に備えられる凝縮管３Ａの幅は約８ｍｍとし、厚さ約０．６ｍｍの薄型のループヒートパイプ１としても良い。

また、上述のようにして作製されるループヒートパイプ１において、第１の銅薄板８及び第２の銅薄板９の蒸発器２となる領域に設けられる微細な溝１１のパターンを、例えば図１、図３〜図５に示すようなパターンが形成されるようにエッチング加工（ハーフエッチング加工）しても良い。この場合も、上述の場合と同様の寸法にすれば良い。
また、上述のようにして作製されるループヒートパイプ１において、液管５の内部にも毛細管力を発生させうる液管用溝２０を形成する場合（図１２、図１３参照）、第１の銅薄板８の液管５となる領域に液管用溝２０をエッチング加工（ハーフエッチング加工）によって形成すれば良い。

なお、ループヒートパイプ１の形状、配管パターンは、上述のものに限られるものではない。また、ここでは、金属薄板として銅薄板を用いているが、金属薄板を拡散接合することによって一括形成できれば良く、金属薄板の材料は、銅に限られるものではなく、例えばステンレス（ＳＵＳ）や合金材料等のエッチング等によるパターン形成及び拡散接合に適するものであれば良い。また、ループヒートパイプ１の各寸法は、上述のものに限られるものではなく、要求される熱輸送量と熱輸送距離、配管高さ及び配管幅によって適宜最適化すれば良い。

上述のようにして作製されたループヒートパイプ１では、多孔質構造１３に液相の作動流体が浸入することで発現する毛細管現象によって、薄型のループヒートパイプ１の蒸発器２及び流路全体に作動流体が保持される。
これにより、トップヒート姿勢において、熱源からの熱により、蒸発器２の内部で作動流体が蒸発し、蒸気（気相の作動流体）が蒸気管４内を進行するときに、多孔質構造１３に保持された作動液が少しずつ蒸発器２側に移動する。

このようにして、蒸発器２内に作動流体が供給されることで、蒸発が継続できるため、トップヒート姿勢でのループ動作による熱輸送が実現できる。
ここで、図１５は、上述のようにして作製されたループヒートパイプ１［図１４（Ａ）、図１４（Ｂ）参照］をトップヒート姿勢とし、約５Ｗの熱量を加えた場合の蒸発器温度（ＥＶＰ）、凝縮器入口温度（ＣＮＤ−ＩＮ）、凝縮器出口温度（ＣＮＤ−ＯＵＴ）の変化を示している。

なお、図１５中、実線Ａは、蒸発器温度（ＥＶＰ）の変化を示しており、実線Ｂは、凝縮器入口温度（ＣＮＤ−ＩＮ）の変化を示しており、実線Ｃは、凝縮器出口温度（ＣＮＤ−ＯＵＴ）の変化を示している。
また、図１６は、図１７（Ａ）、図１７（Ｂ）に示すような溝加工のみの蒸発器２を有するループヒートパイプをトップヒート姿勢とし、約５Ｗの熱量を加えた場合の蒸発器温度（ＥＶＰ）、凝縮器入口温度（ＣＮＤ−ＩＮ）、凝縮器出口温度（ＣＮＤ−ＯＵＴ）の変化を示している。

なお、溝加工のみの蒸発器２とは、図１７（Ａ）に示すように、２つの銅薄板の一方の第１の銅薄板８に蒸発器２の長さ方向へ延びるように溝１１を形成し、他方の第２の銅薄板９に蒸発器２の幅方向へ延びるように溝１１を形成したものである。また、図１６中、実線Ａは、蒸発器温度（ＥＶＰ）の変化を示しており、実線Ｂは、凝縮器入口温度（ＣＮＤ−ＩＮ）の変化を示しており、実線Ｃは、凝縮器出口温度（ＣＮＤ−ＯＵＴ）の変化を示している。

図１６に示すように、溝加工のみの蒸発器２を有するループヒートパイプをトップヒート姿勢として約５Ｗの熱量を加えた場合、図１６中、実線Ａで示すように、蒸発器温度は上昇しているのに対して、図１６中、実線Ｂ，Ｃで示すように、凝縮器温度は上昇していない。つまり、蒸発器２に入った熱量が凝縮器３まで運ばれていない。
これに対し、図１５に示すように、上述のようにして作製されたループヒートパイプ１をトップヒート姿勢として約５Ｗの熱量を加えた場合、図１５中、実線Ａで示すように、蒸発器温度が上昇するとともに、図１５中、実線Ｂ，Ｃで示すように、凝縮器温度も上昇している。つまり、上述のようにして作製されたループヒートパイプ１は、トップヒート姿勢において、熱輸送を行なっていると言える。

ここで、図１８（Ａ）は、蒸発器２に約５Ｗの熱量を加えた状態で、上述のようにして作製されたループヒートパイプ１の姿勢を変化させた場合の温度変化を示している。
また、図１８（Ｂ）はループヒートパイプ１の温度測定箇所、即ち、蒸発器温度（ＥＶＰ）、凝縮器入口温度（ＣＮＤ−ＩＮ）、凝縮器出口温度（ＣＮＤ−ＯＵＴ）、液管の一の部分の温度（Ｌ２）、液管の他の部分の温度（Ｌ１）のそれぞれの測定箇所を示している。

なお、トップヒート姿勢とは逆に重力に対して蒸発器が凝縮器よりも下方に位置する場合をボトムヒート姿勢と呼び、蒸発器と凝縮器が同レベルに位置する場合を水平姿勢と呼ぶ。また、図１８（Ａ）では、トップヒート姿勢を「トップ」と表記し、ボトムヒート姿勢を「ボトム」と表記し、水平姿勢を「水平」と表記している。また、図１８（Ａ）中、実線Ａは、蒸発器温度（ＥＶＰ）の変化を示しており、実線Ｂは、凝縮器入口温度（ＣＮＤ−ＩＮ）の変化を示しており、実線Ｃは、凝縮器出口温度（ＣＮＤ−ＯＵＴ）の変化を示しており、実線Ｄは、液管の一の部分の温度（Ｌ２）の変化を示しており、実線Ｅは、液管の他の部分の温度（Ｌ１）の変化を示している。

図１８（Ａ）に示すように、上述のようにして作製されたループヒートパイプ１を水平姿勢で起動して（約５Ｗの熱量を印加して）熱輸送を行なっている状態から、その姿勢をボトムヒート姿勢→トップヒート姿勢→水平姿勢→トップヒート姿勢へと遷移させた場合、図１８（Ａ）中、実線Ａ〜Ｅで示すように、ループヒートパイプ１の各部の温度はほとんど変動していない。このように、上述のようにして作製されたループヒートパイプ１は、その姿勢によって熱輸送性能の変動をなくすことが可能である。

したがって、本実施形態にかかるループヒートパイプ及びその製造方法並びに電子機器によれば、２つの板状部材８、９を用いて薄型化したループヒートパイプ１において、いかなる姿勢でもループ動作による熱輸送を行なえるという利点がある。
なお、本発明は、上述した実施形態及び変形例に記載した構成に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形することが可能であり、適宜組み合わせることも可能である。

１ ループヒートパイプ
２ 蒸発器
３ 凝縮器
３Ａ 凝縮管
３Ｂ 熱拡散プレート
４ 蒸気管
５ 液管
６ モバイル機器（電子機器）
７ 発熱部品
８ 第１板状部材
９ 第２板状部材
１０ 第１凹部
１１ 溝
１２ 第２凹部
１３ 多孔質構造
１４ 支柱（リブ）
１５ 液流入口
１６ 蒸気流出口
１７ くし歯状部分
１７Ａ 複数の部分
１８ くし歯状の蒸気流路
１８Ａ 複数の蒸気流路
１９ 連通溝
２０ 液管用溝

Claims (17)

1. 液相の作動流体が蒸発する蒸発器と、
   気相の作動流体が凝縮する凝縮器と、
   前記蒸発器と前記凝縮器とを接続し、気相の作動流体が流れる蒸気管と、
   前記凝縮器と前記蒸発器とを接続し、液相の作動流体が流れる液管とを備え、
   前記蒸発器、前記凝縮器、前記蒸気管及び前記液管は、第１板状部材と第２板状部材とを接合した構造になっており、
   前記第１板状部材は、前記蒸発器となる領域、前記凝縮器を構成する凝縮管となる領域、前記蒸気管となる領域及び前記液管となる領域に、第１凹部を備えるとともに、前記蒸発器となる領域に、毛細管力を発生させうる溝を備え、
   前記第２板状部材は、前記蒸発器となる領域、前記凝縮管となる領域、前記蒸気管となる領域及び前記液管となる領域に、第２凹部を備え、
   前記第２凹部に多孔質構造が設けられていることを特徴とするループヒートパイプ。
2. 前記多孔質構造は、前記第２凹部の全体に設けられていることを特徴とする、請求項１に記載のループヒートパイプ。
3. 前記第１板状部材は、前記溝として、前記液管が接続されている側から前記蒸気管が接続されている側へ向かう長さ方向に交差する幅方向へ延びる複数の溝を備えることを特徴とする、請求項１又は２に記載のループヒートパイプ。
4. 前記第１板状部材は、前記溝として、前記液管が接続されている側から前記蒸気管が接続されている側へ向かう長さ方向へ延びる複数の溝を備えることを特徴とする、請求項１又は２に記載のループヒートパイプ。
5. 前記蒸発器は、前記液管が接続されている側から分岐されて延びており、液相の作動流体が浸透し、気相の作動流体となるくし歯状部分と、前記くし歯状部分に対向するように設けられ、前記蒸気管が接続されている側から分岐されて延びており、気相の作動流体が流れるくし歯状の蒸気流路とを備え、
   前記第１板状部材は、前記くし歯状部分となる領域に、前記溝を備え、前記くし歯状の蒸気流路となる領域に、前記第１凹部を備えることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載のループヒートパイプ。
6. 前記第１板状部材は、前記くし歯状部分の分岐されている複数の部分となる領域に、前記くし歯状の蒸気流路の分岐されている複数の蒸気流路のうち隣り合う２つの蒸気流路を連通する連通溝を備えることを特徴とする、請求項５に記載のループヒートパイプ。
7. 前記くし歯状の蒸気流路は、分岐されている複数の蒸気流路のそれぞれの流路幅が前記溝の幅よりも広いことを特徴とする、請求項５又は６に記載のループヒートパイプ。
8. 前記第１板状部材は、前記第１凹部に支柱を備えることを特徴とする、請求項１〜７のいずれか１項に記載のループヒートパイプ。
9. 前記第１板状部材は、前記液管となる領域に、毛細管力を発生させうる液管用溝を備えることを特徴とする、請求項１〜８のいずれか１項に記載のループヒートパイプ。
10. 前記第１板状部材は、前記液管用溝として、前記液管となる領域の幅方向へ延びる複数の溝を備えることを特徴とする、請求項９に記載のループヒートパイプ。
11. 前記第１板状部材は、前記液管用溝として、前記液管となる領域の長さ方向へ延びる複数の溝を備えることを特徴とする、請求項９に記載のループヒートパイプ。
12. 前記多孔質構造は、表面に空孔が露出し、かつ、前記空孔が連通した構造になっていることを特徴とする、請求項１〜１１のいずれか１項に記載のループヒートパイプ。
13. 発熱部品と、
    前記発熱部品の熱を移動するループヒートパイプとを備え、
    前記ループヒートパイプが、
    液相の作動流体が蒸発する蒸発器と、
    気相の作動流体が凝縮する凝縮器と、
    前記蒸発器と前記凝縮器とを接続し、気相の作動流体が流れる蒸気管と、
    前記凝縮器と前記蒸発器とを接続し、液相の作動流体が流れる液管とを備え、
    前記蒸発器、前記凝縮器、前記蒸気管及び前記液管は、第１板状部材と第２板状部材とを接合した構造になっており、
    前記第１板状部材は、前記蒸発器となる領域、前記凝縮器を構成する凝縮管となる領域、前記蒸気管となる領域及び前記液管となる領域に、第１凹部を備えるとともに、前記蒸発器となる領域に、毛細管力を発生させうる溝を備え、
    前記第２板状部材は、前記蒸発器となる領域、前記凝縮管となる領域、前記蒸気管となる領域及び前記液管となる領域に、第２凹部を備え、
    前記第２凹部に多孔質構造が設けられていることを特徴とする電子機器。
14. 第１板状部材を加工して、蒸発器となる領域、凝縮器を構成する凝縮管となる領域、蒸気管となる領域及び液管となる領域に、第１凹部を形成するとともに、前記蒸発器となる領域に、毛細管力を発生させうる溝を形成する工程と、
    第２板状部材を加工して、前記蒸発器となる領域、前記凝縮管となる領域、前記蒸気管となる領域及び前記液管となる領域に、第２凹部を形成する工程と、
    前記第２凹部に多孔質構造を設ける工程と、
    前記第１板状部材と前記第２板状部材とを接合する工程とを含むことを特徴とするループヒートパイプの製造方法。
15. 前記第１板状部材を加工する工程において、前記第１板状部材の前記蒸発器のくし歯状部分となる領域に、前記溝を形成し、前記第１板状部材の前記蒸発器のくし歯状の蒸気流路となる領域に、前記第１凹部を形成することを特徴とする、請求項１４に記載のループヒートパイプの製造方法。
16. 前記第１板状部材を加工する工程において、前記第１板状部材の前記第１凹部に支柱を形成することを特徴とする、請求項１４又は１５に記載のループヒートパイプの製造方法。
17. 前記第１板状部材を加工する工程において、前記第１板状部材の前記液管となる領域に、毛細管力を発生させうる液管用溝を形成することを特徴とする、請求項１４〜１６のいずれか１項に記載のループヒートパイプの製造方法。