JPWO2007004517A1 - 表面検査装置 - Google Patents
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Abstract
非検査ウエハＷがＸＹステージ１に載置され、検査したい位置が対物レンズ２の下に来るように位置決めされた後、カメラ３によって検査画像（Ｒ，Ｂ，Ｇ信号）が撮影される。そして、コンピューター４によって、取り込まれたリファレンス画像と検査画像を色相に変換する。そして、色相に変換された両画像を比較し、その結果に基づいて欠陥を検出する。その際、欠陥検出で擬似欠陥の発生する可能性が高い（Ｒ，Ｇ，Ｂ）値の組合せのテーブルを持ち、前記リファレンス画像のうち、このテーブルに存在する（Ｒ，Ｇ，Ｂ）値を有する画素に対しては、欠陥が検出されても欠陥とみなさないようにする。
Description
本発明は、半導体ウェハや液晶ガラス基板などの表面検査に用いるのに好適な表面検査装置に関するものである。
従来、半導体ウェハや液晶基板の検査においては、被検物体面に照明光を照射して得られる被検物体像の像強度を測定して、その像強度変化を検出し、その結果に基づいて欠陥の検出を行っていた。
ところが、光強度が同じであるが色が異なっているような欠陥がある場合、人間の目には見えているが、検査装置で検出することは難しい。そこで、正常な被検物体の画像（リファレンス画像）と検査する被検物体の画像（検査画像）を撮像し、得られたＲ、Ｇ、Ｂ値を、色相Ｈ、彩度Ｓ、強度Ｖの情報に変換してから、色相Ｈ、彩度Ｓの少なくとも一方の比較をして、その結果に基づいて欠陥を検出する方法が考えられている（例えば、特開２０００−１６２１５０号公報）。この場合、リファレンス画像撮像時と検査画像撮像時においては、同じ条件で撮影しなければならないが、光量調整誤差やカメラの露光時間誤差、カメラの量子化誤差などにより、両者を完全に同じ条件で撮像することは困難である。その結果、被写体の状態は変化していないにも関わらず、前述の誤差により色相、彩度が変化し擬似欠陥となる場合があった。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、擬似欠陥を除去した検査が可能な表面検査装置を提供することを課題とする。
前記課題を解決するための第１の手段は、基準となる正常な試料を撮像し、（Ｒ，Ｇ，Ｂ）信号として取り込まれたリファレンス画像及び、検査試料を撮像し、（Ｒ，Ｇ，Ｂ）信号として取り込まれた検査画像を（Ｈ，Ｓ，Ｖ)信号に変換する手段と、欠陥検出で擬似欠陥の発生する可能性が高い（Ｒ，Ｇ，Ｂ）値の組み合わせを記憶したテーブルと、前記リファレンス画像のうち、このテーブルに存在する（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を有する画素を除き、前記色相Ｈに変換された両画像を比較し、その結果に基づいて欠陥を検出する欠陥検出手段とを有することを特徴とする表面検査装置である。
前記課題を解決するための第２の手段は、前記第１の手段であって、（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の基準データの色相値と前記基準データに所定誤差量を乗せたデータの色相値との差分が閾値を超えたか否かを判定し、超えた場合の基準データの（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の組合せを前記テーブルに記憶するテーブル作成手段を有することを特徴とするものである。
前記課題を解決するための第３の手段は、前記第１の手段であって、（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の基準データの色相値と前記基準データに所定誤差量を乗せたデータの色相値との差分が閾値を超えたか否かを判定し、超えた場合の基準データの（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を（Ｈ，Ｓ，Ｖ）に変換し、彩度Ｓと強度Ｖとの組合せを前記テーブルに記憶するテーブル作成手段を有することを特徴とするものである。
前記課題を解決するための第４の手段は、前記第２の手段又は第３の手段であって、前記所定誤差量は、前記試料を撮像する撮像手段の調整誤差や量子化誤差に相当する量であることを特徴とするものである。
前記課題を解決するための第５の手段は、基準となる正常な試料を撮像し、Ｒ，Ｇ，Ｂ信号として取り込まれたリファレンス画像及び、検査試料を撮像し、Ｒ，Ｇ，Ｂ信号として取り込まれた検査画像を（Ｈ，Ｓ，Ｖ)信号に変換する手段と、欠陥検出で擬似欠陥の発生する可能性が高い（Ｒ，Ｇ，Ｂ）値の組み合わせを記憶したテーブルと、前記リファレンス画像のうち、このテーブルに存在する（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を有する画素を除き、前記彩度Ｓに変換された両画像を比較し、その結果に基づいて欠陥を検出する欠陥検出手段とを有することを特徴とする表面検査装置である。
前記課題を解決するための第６の手段は、前記第５の手段であって、（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の基準データの彩度値と前記基準データに所定誤差量を乗せたデータの彩度値との差分が閾値を超えたか否かを判定し、超えた場合の基準データの（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の組合せを前記テーブルに記憶するテーブル作成手段を有することを特徴とするものである。
前記課題を解決するための第７の手段は、前記第５の手段であって、（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の基準データの彩度値と前記基準データに所定誤差量を乗せたデータの彩度値との差分が閾値を超えたか否かを判定し、超えた場合の基準データの（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を（Ｈ，Ｓ，Ｖ）に変換し、彩度Ｓと強度Ｖとの組合せを前記テーブルに記憶するテーブル作成手段を有することを特徴とするものである。
前記課題を解決するための第８の手段は、前記第６の手段又は第７の手段であって、前記所定誤差量は、前記試料を撮像する撮像手段の調整誤差や量子化誤差に相当する量であることを特徴とするものである。
本発明によれば、擬似欠陥を除去した検査が可能な表面検査装置を提供することができる。
以下、本発明の実施の形態の例を図１〜図５に基づいて説明する。
図１は、表面検査装置の概念図を示す。図２は、表面検査装置の欠陥検査処理のフローチャート図を示す。図３は、表面検査装置の擬似欠陥除去のためのテーブル作成処理などのフローチャート図を示す。図４及び図５は、擬似欠陥を発生する色空間の座標点をプロットした図を示す。
具体的には、図１および図２に基づき、コンピューター４の欠陥検査の処理を説明する。
まず、正常なウエハＷがＸＹステージ１に載置され、検査したい位置が対物レンズ２の下に来るように位置決めされた後、２次元ＣＣＤカメラ３によってリファレンス画像が撮影される（ステップＳ３１）。そして、コンピューター４によって、画素毎のＲ、Ｂ、Ｇ信号が色相Ｈ、彩度Ｓ、強度Ｖに変換される（ステップＳ３２）。対物レンズ２は、ドライバー５によってコンピューター４の指示に従いＺ軸方向に駆動され、フォーカス調整される。また、ＸＹステージ１は、ドライバー６によってコンピューター４の指示に従いＸＹ方向に調整される。
検査時においては、非検査ウエハＷがＸＹステージ１に載置され、検査したい位置が対物レンズ２の下に来るように位置決めされた後、カメラ３によって検査画像が撮影される（ステップＳ３３）。そして、コンピューター４によって、画素毎のＲ、Ｂ、Ｇ信号が色相Ｈ、彩度Ｓ、強度Ｖに変換される（ステップＳ３４）。
詳しくは、後述するが、コンピューター４によって、擬似欠陥を生じるＲＧＢの組合せテーブルに基づき、リファレンス画像の画素を欠陥処理から外し、その後、リファレンス画像の色相画像と検査画像の色相画像が比較され、色相の違いにより欠陥が検出される。同様に、コンピューター４によって、擬似欠陥を生じるＳＶの組合せテーブルに基づき、リファレンス画像の画素を欠陥処理から外し、その後、リファレンス画像の彩度画像と検査画像の彩度画像が比較され、彩度の違いにより欠陥が検出される（ステップＳ３５，Ｓ３６）。その結果は、コンピューター４のモニター７により、欠陥箇所が表示される。
（Ｒ，Ｇ、Ｂ）空間から（Ｈ，Ｓ，Ｖ）空間への変換式は既知であり、下記の通りである。但し、これらの式において、（Ｒ，Ｇ，Ｂ）空間の赤Ｒ、緑Ｇ、青Ｂは０〜１の実数値で表される。又、（Ｈ，Ｓ，Ｖ）空間の色相Ｈは色相角度で０〜３６０°の実数値、彩度Ｓと強度Ｖは０〜１の実数値で表される。
すなわち、Ｒ，Ｂ，Ｇ値のうち最大のものをmaxとし、最小のものをminとすると、
Ｖ＝max …(1)
Ｓ＝（max-min）/max …(2)
（但し、max＝０のときはＳ＝０とする。）
Ｈ＝60*{(G-B)/(max-min)} （Ｒ＝maxのとき）
Ｈ＝60*{2+(B-R)/(max-min)} （Ｇ＝maxのとき）
Ｈ＝60*{4+(R-G)/(max-min)} （Ｂ＝maxのとき） …(3)
（但し、Ｈ＜０のときはＨに360を加える。又、Ｓ＝０のときはＨ＝０とする。）
Ｖ＝max …(1)
Ｓ＝（max-min）/max …(2)
（但し、max＝０のときはＳ＝０とする。）
Ｈ＝60*{(G-B)/(max-min)} （Ｒ＝maxのとき）
Ｈ＝60*{2+(B-R)/(max-min)} （Ｇ＝maxのとき）
Ｈ＝60*{4+(R-G)/(max-min)} （Ｂ＝maxのとき） …(3)
（但し、Ｈ＜０のときはＨに360を加える。又、Ｓ＝０のときはＨ＝０とする。）
このようにして色相、彩度の変化を検出することが可能ではある。しかし、前述のように、カメラから出力される画像は光量調整誤差や露光時間の変動、被検物体像の撮影に使用されるＣＣＤカメラ３の量子化誤差などにより誤差が生じてしまう。その結果、被写体の状態は変化していないにも関わらず、カメラ３の出力誤差により色相、彩度が変化し擬似欠陥となる場合がある。これは（Ｒ，Ｇ，Ｂ）空間の画像を（Ｈ，Ｓ，Ｖ）空間の画像に変換した場合、小さな（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の変化が大きな色相、彩度の変化になる（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の組合せがあるためである。
本実施の形態においては、このように微小なＲ，Ｇ，Ｂの変化で大きな色相、彩度の変化を与える（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の組合せをテーブルとして作成し、検査時にそれらの組合せを有するリファレンス画像の画素のデータは検査対象外とすることで擬似欠陥を除去する。
以下、このようなテーブルの作成方法の例について図３に基づき説明する。
欠陥がない場合においても、光量調整誤差や露光時間の変動、被検物体像の撮影に使用されるＣＣＤカメラ３の量子化誤差などにより発生する、Ｒ、Ｇ、Ｂ値の変動量をそれぞれ±α、±β、±γとする。そして、色相の検査で、色相差がその値を超えると欠陥ありと判断される閾値をδとする。
基準となるデータ（リファレンス画像側の（Ｒ，Ｇ，Ｂ）値として使われるデータ）を（Ｒ，Ｇ，Ｂ）とし、対応する色相を前記（１）式と（３）式で計算しＨ０とする（ステップＳ４１）。
次に基準となるデータ（Ｒ，Ｇ，Ｂ）にα、β、γの誤差が生じた場合の色相を同様に計算し（ステップＳ４２）、基準データの色相値Ｈ０との差を計算する（ステップＳ４３）。すなわち、
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ−α、Ｇ−β，Ｂ−γ）の色相値との差をＤ１とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ−α、Ｇ−β，Ｂ）の色相値との差をＤ２とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ−α、Ｇ−β，Ｂ＋γ）の色相値との差をＤ３とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ−α、Ｇ，Ｂ−γ）の色相値との差をＤ４とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ−α、Ｇ，Ｂ）の色相値との差をＤ５とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ−α、Ｇ，Ｂ＋γ）の色相値との差をＤ６とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ−α、Ｇ＋β，Ｂ−γ）の色相値との差をＤ７とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ−α、Ｇ＋β，Ｂ）の色相値との差をＤ８とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ−α、Ｇ＋β，Ｂ＋γ）の色相値との差をＤ９とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ、Ｇ−β，Ｂ−γ）の色相値との差をＤ１０とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ、Ｇ−β，Ｂ）の色相値との差をＤ１１とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ、Ｇ−β，Ｂ＋γ）の色相値との差をＤ１２とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ、Ｇ，Ｂ−γ）の色相値との差をＤ１３とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ、Ｇ，Ｂ＋γ）の色相値との差をＤ１４とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ、Ｇ＋β，Ｂ−γ）の色相値との差をＤ１５とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ、Ｇ＋β，Ｂ）の色相値との差をＤ１６とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ、Ｇ＋β，Ｂ＋γ）の色相値との差をＤ１７とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ＋α、Ｇ−β，Ｂ−γ）の色相値との差をＤ１８とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ＋α、Ｇ−β，Ｂ）の色相値との差をＤ１９とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ＋α、Ｇ−β，Ｂ＋γ）の色相値との差をＤ２０とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ＋α、Ｇ，Ｂ−γ）の色相値との差をＤ２１とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ＋α、Ｇ，Ｂ）の色相値との差をＤ２２とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ＋α、Ｇ，Ｂ＋γ）の色相値との差をＤ２３とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ＋α、Ｇ＋β，Ｂ−γ）の色相値との差をＤ２４とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ＋α、Ｇ＋β，Ｂ）の色相値との差をＤ２５とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ＋α、Ｇ＋β，Ｂ＋γ）の色相値との差をＤ２６とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ−α、Ｇ−β，Ｂ−γ）の色相値との差をＤ１とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ−α、Ｇ−β，Ｂ）の色相値との差をＤ２とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ−α、Ｇ−β，Ｂ＋γ）の色相値との差をＤ３とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ−α、Ｇ，Ｂ−γ）の色相値との差をＤ４とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ−α、Ｇ，Ｂ）の色相値との差をＤ５とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ−α、Ｇ，Ｂ＋γ）の色相値との差をＤ６とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ−α、Ｇ＋β，Ｂ−γ）の色相値との差をＤ７とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ−α、Ｇ＋β，Ｂ）の色相値との差をＤ８とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ−α、Ｇ＋β，Ｂ＋γ）の色相値との差をＤ９とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ、Ｇ−β，Ｂ−γ）の色相値との差をＤ１０とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ、Ｇ−β，Ｂ）の色相値との差をＤ１１とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ、Ｇ−β，Ｂ＋γ）の色相値との差をＤ１２とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ、Ｇ，Ｂ−γ）の色相値との差をＤ１３とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ、Ｇ，Ｂ＋γ）の色相値との差をＤ１４とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ、Ｇ＋β，Ｂ−γ）の色相値との差をＤ１５とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ、Ｇ＋β，Ｂ）の色相値との差をＤ１６とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ、Ｇ＋β，Ｂ＋γ）の色相値との差をＤ１７とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ＋α、Ｇ−β，Ｂ−γ）の色相値との差をＤ１８とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ＋α、Ｇ−β，Ｂ）の色相値との差をＤ１９とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ＋α、Ｇ−β，Ｂ＋γ）の色相値との差をＤ２０とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ＋α、Ｇ，Ｂ−γ）の色相値との差をＤ２１とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ＋α、Ｇ，Ｂ）の色相値との差をＤ２２とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ＋α、Ｇ，Ｂ＋γ）の色相値との差をＤ２３とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ＋α、Ｇ＋β，Ｂ−γ）の色相値との差をＤ２４とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ＋α、Ｇ＋β，Ｂ）の色相値との差をＤ２５とする。
基準データの色相値Ｈ０と（Ｒ＋α、Ｇ＋β，Ｂ＋γ）の色相値との差をＤ２６とする。
そして、色相値の差Ｄ１からＤ１４の絶対値のいずれかが色相の検査で欠陥ありと判別される閾値δを超えた場合、その基準データ（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を擬似欠陥が発生し易い組合せとする。この計算をＲ＝０〜１、Ｇ＝０〜１、Ｂ＝０〜１の組合せ全てで行い、擬似欠陥が発生し易い（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の組合せを抽出する。そして、リファレンス画像のうち、このような（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を持つ画素については、欠陥検出に使用しないようにする。そのために、このような（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の組合せのテーブルを作成し、リファレンス画像の画素の（Ｒ，Ｇ，Ｂ）がこのテーブルに記憶されている値に一致する場合には、その画素を欠陥検出に使用しないようにする（ステップＳ４４、Ｓ４５）。
又は、このような（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の組合せから彩度Ｓと強度Ｖの組合せを求め、彩度Ｓと強度Ｖの組合せのテーブルを作成する。そして、リファレンス画像を（Ｈ，Ｓ，Ｖ）空間に変換したときの彩度Ｓと強度Ｖの組み合わせがこのテーブルに記憶されている組み合わせに一致した場合には、その画素を欠陥検出に使用しないようにする（ステップＳ４４、Ｓ４５）。
以上の説明においては、予め擬似欠陥除去のテーブルを作成しておく方法について述べたが、計算速度に問題がなければ、テーブルを持たず、欠陥検出時に計算を行って、リファレンス画像の各画素が、擬似欠陥除去の対象となるかどうかを判断してもよい。
また、欠陥検出の閾値δに応じて、テーブルを複数持ち、欠陥検出の閾値δに合ったテーブルを使用するか、欠陥検出時に欠陥検出の閾値δに応じた計算を行うことで、より正確な擬似欠陥除去が可能となる。
図４は、Ｒ＝Ｉ／２５５（Ｉ＝０〜２５５）、Ｇ＝Ｊ／２５５（Ｊ＝０〜２５５）、Ｂ＝Ｋ／２５５（Ｋ＝０〜２５５）の組み合わせ16777216通りについて、α＝β＝γ＝３／２５５、δ＝８／２５５とした時の計算結果で、横軸に色相Ｓ、縦軸に強度Ｖをとってプロットしたグラフである。プロットされた領域が擬似欠陥発生の可能性が高いとして、欠陥判定から除外される領域である。
図４を見ると、彩度Ｓが低い場合と強度Ｖが低い場合に擬似欠陥となりうることが分かる。これは、彩度Ｓが低い場合は赤Ｒ、緑Ｇ、青Ｂの値が近く白っぽいため、いずれか一つが変化すると色相Ｈは大きく変化すること、及び、強度Ｖが低い場合は赤Ｒ、緑Ｇ、青Ｂの値がいずれも小さいため、いずれか一つが変化すると色相Ｈは大きく変化することから説明できる。
次に、彩度Ｓの擬似欠陥除去に用いるテーブルの作成方法について説明する。なお、上述の図３に示した処理フローを使用することが出来る。
以下の説明において、α、β、γは色相Ｈの擬似欠陥除去のテーブルの作成方法について説明したときと同じ意味に使用する。勿論、これらの値が、色相Ｈの擬似欠陥除去のテーブルの作成方法の場合と同じ値であることを意味するものではない。又、彩度の検査で、彩度差がその値を超えると欠陥ありと判断される閾値をεとする。
基準となるデータ（リファレンス画像側の（Ｒ，Ｇ，Ｂ）値として使われるデータ）を（Ｒ，Ｇ，Ｂ）とし、対応する彩度を前記（１）式と（２）式で計算しＳ０とする。
次に基準となるデータ（Ｒ，Ｇ，Ｂ）にα、β、γの誤差が生じた場合の彩度を同様に計算し、基準データの彩度値Ｓ０との差を計算する。すなわち、
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ−α、Ｇ−β，Ｂ−γ）の彩度値との差をＤ１とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ−α、Ｇ−β，Ｂ）の彩度値との差をＤ２とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ−α、Ｇ−β，Ｂ＋γ）の彩度値との差をＤ３とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ−α、Ｇ，Ｂ−γ）の彩度値との差をＤ４とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ−α、Ｇ，Ｂ）の彩度値との差をＤ５とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ−α、Ｇ，Ｂ＋γ）の彩度値との差をＤ６とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ−α、Ｇ＋β，Ｂ−γ）の彩度値との差をＤ７とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ−α、Ｇ＋β，Ｂ）の彩度値との差をＤ８とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ−α、Ｇ＋β，Ｂ＋γ）の彩度値との差をＤ９とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ、Ｇ−β，Ｂ−γ）の彩度値との差をＤ１０とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ、Ｇ−β，Ｂ）の彩度値との差をＤ１１とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ、Ｇ−β，Ｂ＋γ）の彩度値との差をＤ１２とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ、Ｇ，Ｂ−γ）の彩度値との差をＤ１３とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ、Ｇ，Ｂ＋γ）の彩度値との差をＤ１４とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ、Ｇ＋β，Ｂ−γ）の彩度値との差をＤ１５とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ、Ｇ＋β，Ｂ）の彩度値との差をＤ１６とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ、Ｇ＋β，Ｂ＋γ）の彩度値との差をＤ１７とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ＋α、Ｇ−β，Ｂ−γ）の彩度値との差をＤ１８とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ＋α、Ｇ−β，Ｂ）の彩度値との差をＤ１９とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ＋α、Ｇ−β，Ｂ＋γ）の彩度値との差をＤ２０とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ＋α、Ｇ，Ｂ−γ）の彩度値との差をＤ２１とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ＋α、Ｇ，Ｂ）の彩度値との差をＤ２２とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ＋α、Ｇ，Ｂ＋γ）の彩度値との差をＤ２３とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ＋α、Ｇ＋β，Ｂ−γ）の彩度値との差をＤ２４とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ＋α、Ｇ＋β，Ｂ）の彩度値との差をＤ２５とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ＋α、Ｇ＋β，Ｂ＋γ）の彩度値との差をＤ２６とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ−α、Ｇ−β，Ｂ−γ）の彩度値との差をＤ１とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ−α、Ｇ−β，Ｂ）の彩度値との差をＤ２とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ−α、Ｇ−β，Ｂ＋γ）の彩度値との差をＤ３とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ−α、Ｇ，Ｂ−γ）の彩度値との差をＤ４とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ−α、Ｇ，Ｂ）の彩度値との差をＤ５とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ−α、Ｇ，Ｂ＋γ）の彩度値との差をＤ６とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ−α、Ｇ＋β，Ｂ−γ）の彩度値との差をＤ７とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ−α、Ｇ＋β，Ｂ）の彩度値との差をＤ８とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ−α、Ｇ＋β，Ｂ＋γ）の彩度値との差をＤ９とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ、Ｇ−β，Ｂ−γ）の彩度値との差をＤ１０とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ、Ｇ−β，Ｂ）の彩度値との差をＤ１１とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ、Ｇ−β，Ｂ＋γ）の彩度値との差をＤ１２とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ、Ｇ，Ｂ−γ）の彩度値との差をＤ１３とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ、Ｇ，Ｂ＋γ）の彩度値との差をＤ１４とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ、Ｇ＋β，Ｂ−γ）の彩度値との差をＤ１５とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ、Ｇ＋β，Ｂ）の彩度値との差をＤ１６とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ、Ｇ＋β，Ｂ＋γ）の彩度値との差をＤ１７とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ＋α、Ｇ−β，Ｂ−γ）の彩度値との差をＤ１８とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ＋α、Ｇ−β，Ｂ）の彩度値との差をＤ１９とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ＋α、Ｇ−β，Ｂ＋γ）の彩度値との差をＤ２０とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ＋α、Ｇ，Ｂ−γ）の彩度値との差をＤ２１とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ＋α、Ｇ，Ｂ）の彩度値との差をＤ２２とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ＋α、Ｇ，Ｂ＋γ）の彩度値との差をＤ２３とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ＋α、Ｇ＋β，Ｂ−γ）の彩度値との差をＤ２４とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ＋α、Ｇ＋β，Ｂ）の彩度値との差をＤ２５とする。
基準データの彩度値Ｓ０と（Ｒ＋α、Ｇ＋β，Ｂ＋γ）の彩度値との差をＤ２６とする。
そして、彩度値の差Ｄ１からＤ１４の絶対値のいずれかが彩度の検査で欠陥ありと判別される閾値δを超えた場合、基準データ（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を擬似欠陥が発生し易い組合せとする。この計算をＲ＝０〜１、Ｇ＝０〜１、Ｂ＝０〜１の組合せ全てで行い、擬似欠陥が発生し易い（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の組合せを抽出する。そして、リファレンス画像のうち、このような（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を持つ画素については、欠陥検出に使用しないようにする。そのために、このような（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の組合せのテーブルを作成し、リファレンス画像の画素の（Ｒ，Ｇ，Ｂ）がこのテーブルに記憶されている値に一致する場合には、その画素を欠陥検出に使用しないようにする。
又は、このような（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の組合せから彩度Ｓと強度Ｖの組合せを求め、彩度Ｓと強度Ｖの組合せのテーブルを作成する。そして、リファレンス画像を（Ｈ，Ｓ，Ｖ）空間に変換したときの彩度Ｓと強度Ｖの組合せがこのテーブルに記憶されている組合せに一致した場合には、その画素を欠陥検出に使用しないようにする。
図５はＲ＝Ｉ／２５５（Ｉ＝０〜２５５）、Ｇ＝Ｊ／２５５（Ｊ＝０〜２５５）、Ｂ＝Ｋ／２５５（Ｋ＝０〜２５５）の組み合わせ16777216通りについて、α＝β＝γ＝３／２５５、δ＝８／２５５とした時の計算結果で、横軸に色相Ｓ、縦軸に強度（明度）Ｖをとってプロットしたグラフである。プロットされた領域が擬似欠陥発生の可能性が高いとして、欠陥判定から除外される領域である。図５を見ると、強度Ｖが低い場合に擬似欠陥となりうることが分かる。
ここでは色相、彩度、強度で表現される色空間にＨＳＶ空間を使用して説明を行ったが、別の色空間、例えばＨＳＩ空間を使用しても検査及び欠陥除去を行うことができる。但し、ＨＳＩ空間の場合、色相Ｈの値により明度Ｉ（ＨＳＶ空間では強度Ｖに相当）の取り得る値が異なるため、テーブルの扱いが面倒になる。
Claims (10)
- 基準となる正常な試料を撮像し、（Ｒ，Ｇ，Ｂ）信号として取り込まれたリファレンス画像及び、検査試料を撮像し、（Ｒ，Ｇ，Ｂ）信号として取り込まれた検査画像を（Ｈ，Ｓ，Ｖ)信号に変換する手段と、
欠陥検出で擬似欠陥の発生する可能性が高い（Ｒ，Ｇ，Ｂ）値の組み合わせを記憶したテーブルと、
前記リファレンス画像のうち、このテーブルに存在する（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を有する画素を除き、前記色相Ｈに変換された両画像を比較し、その結果に基づいて欠陥を検出する欠陥検出手段とを有することを特徴とする表面検査装置。 - （Ｒ，Ｇ，Ｂ）の基準データの色相値と前記基準データに所定誤差量を乗せたデータの色相値との差分が閾値を超えたか否かを判定し、超えた場合の基準データの（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の組合せを前記テーブルに記憶するテーブル作成手段を有することを特徴とする請求項１に記載の表面検査装置。
- （Ｒ，Ｇ，Ｂ）の基準データの色相値と前記基準データに所定誤差量を乗せたデータの色相値との差分が閾値を超えたか否かを判定し、超えた場合の基準データの（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を（Ｈ，Ｓ，Ｖ）に変換し、彩度Ｓと強度Ｖとの組合せを前記テーブルに記憶するテーブル作成手段を有することを特徴とする請求項１に記載の表面検査装置。
- 前記所定誤差量は、前記試料を撮像する撮像手段の調整誤差や量子化誤差に相当する量であることを特徴とする請求項２に記載の表面検査装置。
- 前記所定誤差量は、前記試料を撮像する撮像手段の調整誤差や量子化誤差に相当する量であることを特徴とする請求項３に記載の表面検査装置。
- 基準となる正常な試料を撮像し、Ｒ，Ｇ，Ｂ信号として取り込まれたリファレンス画像及び、検査試料を撮像し、Ｒ，Ｇ，Ｂ信号として取り込まれた検査画像を（Ｈ，Ｓ，Ｖ)信号に変換する手段と、
欠陥検出で擬似欠陥の発生する可能性が高い（Ｒ，Ｇ，Ｂ）値の組み合わせを記憶したテーブルと、
前記リファレンス画像のうち、このテーブルに存在する（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を有する画素を除き、前記彩度Ｓに変換された両画像を比較し、その結果に基づいて欠陥を検出する欠陥検出手段とを有することを特徴とする表面検査装置。 - （Ｒ，Ｇ，Ｂ）の基準データの彩度値と前記基準データに所定誤差量を乗せたデータの彩度値との差分が閾値を超えたか否かを判定し、超えた場合の基準データの（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の組合せを前記テーブルに記憶するテーブル作成手段を有することを特徴とする請求項６に記載の表面検査装置。
- （Ｒ，Ｇ，Ｂ）の基準データの彩度値と前記基準データに所定誤差量を乗せたデータの彩度値との差分が閾値を超えたか否かを判定し、超えた場合の基準データの（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を（Ｈ，Ｓ，Ｖ）に変換し、彩度Ｓと強度Ｖとの組合せを前記テーブルに記憶するテーブル作成手段を有することを特徴とする請求項６に記載の表面検査装置。
- 前記所定誤差量は、前記試料を撮像する撮像手段の調整誤差や量子化誤差に相当する量であることを特徴とする請求項７に記載の表面検査装置。
- 前記所定誤差量は、前記試料を撮像する撮像手段の調整誤差や量子化誤差に相当する量であることを特徴とする請求項８に記載の表面検査装置。
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