JPWO2007004517A1 - 表面検査装置 - Google Patents
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Abstract
非検査ウエハWがXYステージ1に載置され、検査したい位置が対物レンズ2の下に来るように位置決めされた後、カメラ3によって検査画像(R,B,G信号)が撮影される。そして、コンピューター4によって、取り込まれたリファレンス画像と検査画像を色相に変換する。そして、色相に変換された両画像を比較し、その結果に基づいて欠陥を検出する。その際、欠陥検出で擬似欠陥の発生する可能性が高い(R,G,B)値の組合せのテーブルを持ち、前記リファレンス画像のうち、このテーブルに存在する(R,G,B)値を有する画素に対しては、欠陥が検出されても欠陥とみなさないようにする。
Description
本発明は、半導体ウェハや液晶ガラス基板などの表面検査に用いるのに好適な表面検査装置に関するものである。
従来、半導体ウェハや液晶基板の検査においては、被検物体面に照明光を照射して得られる被検物体像の像強度を測定して、その像強度変化を検出し、その結果に基づいて欠陥の検出を行っていた。
ところが、光強度が同じであるが色が異なっているような欠陥がある場合、人間の目には見えているが、検査装置で検出することは難しい。そこで、正常な被検物体の画像(リファレンス画像)と検査する被検物体の画像(検査画像)を撮像し、得られたR、G、B値を、色相H、彩度S、強度Vの情報に変換してから、色相H、彩度Sの少なくとも一方の比較をして、その結果に基づいて欠陥を検出する方法が考えられている(例えば、特開2000−162150号公報)。この場合、リファレンス画像撮像時と検査画像撮像時においては、同じ条件で撮影しなければならないが、光量調整誤差やカメラの露光時間誤差、カメラの量子化誤差などにより、両者を完全に同じ条件で撮像することは困難である。その結果、被写体の状態は変化していないにも関わらず、前述の誤差により色相、彩度が変化し擬似欠陥となる場合があった。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、擬似欠陥を除去した検査が可能な表面検査装置を提供することを課題とする。
前記課題を解決するための第1の手段は、基準となる正常な試料を撮像し、(R,G,B)信号として取り込まれたリファレンス画像及び、検査試料を撮像し、(R,G,B)信号として取り込まれた検査画像を(H,S,V)信号に変換する手段と、欠陥検出で擬似欠陥の発生する可能性が高い(R,G,B)値の組み合わせを記憶したテーブルと、前記リファレンス画像のうち、このテーブルに存在する(R,G,B)を有する画素を除き、前記色相Hに変換された両画像を比較し、その結果に基づいて欠陥を検出する欠陥検出手段とを有することを特徴とする表面検査装置である。
前記課題を解決するための第2の手段は、前記第1の手段であって、(R,G,B)の基準データの色相値と前記基準データに所定誤差量を乗せたデータの色相値との差分が閾値を超えたか否かを判定し、超えた場合の基準データの(R,G,B)の組合せを前記テーブルに記憶するテーブル作成手段を有することを特徴とするものである。
前記課題を解決するための第3の手段は、前記第1の手段であって、(R,G,B)の基準データの色相値と前記基準データに所定誤差量を乗せたデータの色相値との差分が閾値を超えたか否かを判定し、超えた場合の基準データの(R,G,B)を(H,S,V)に変換し、彩度Sと強度Vとの組合せを前記テーブルに記憶するテーブル作成手段を有することを特徴とするものである。
前記課題を解決するための第4の手段は、前記第2の手段又は第3の手段であって、前記所定誤差量は、前記試料を撮像する撮像手段の調整誤差や量子化誤差に相当する量であることを特徴とするものである。
前記課題を解決するための第5の手段は、基準となる正常な試料を撮像し、R,G,B信号として取り込まれたリファレンス画像及び、検査試料を撮像し、R,G,B信号として取り込まれた検査画像を(H,S,V)信号に変換する手段と、欠陥検出で擬似欠陥の発生する可能性が高い(R,G,B)値の組み合わせを記憶したテーブルと、前記リファレンス画像のうち、このテーブルに存在する(R,G,B)を有する画素を除き、前記彩度Sに変換された両画像を比較し、その結果に基づいて欠陥を検出する欠陥検出手段とを有することを特徴とする表面検査装置である。
前記課題を解決するための第6の手段は、前記第5の手段であって、(R,G,B)の基準データの彩度値と前記基準データに所定誤差量を乗せたデータの彩度値との差分が閾値を超えたか否かを判定し、超えた場合の基準データの(R,G,B)の組合せを前記テーブルに記憶するテーブル作成手段を有することを特徴とするものである。
前記課題を解決するための第7の手段は、前記第5の手段であって、(R,G,B)の基準データの彩度値と前記基準データに所定誤差量を乗せたデータの彩度値との差分が閾値を超えたか否かを判定し、超えた場合の基準データの(R,G,B)を(H,S,V)に変換し、彩度Sと強度Vとの組合せを前記テーブルに記憶するテーブル作成手段を有することを特徴とするものである。
前記課題を解決するための第8の手段は、前記第6の手段又は第7の手段であって、前記所定誤差量は、前記試料を撮像する撮像手段の調整誤差や量子化誤差に相当する量であることを特徴とするものである。
本発明によれば、擬似欠陥を除去した検査が可能な表面検査装置を提供することができる。
以下、本発明の実施の形態の例を図1〜図5に基づいて説明する。
図1は、表面検査装置の概念図を示す。図2は、表面検査装置の欠陥検査処理のフローチャート図を示す。図3は、表面検査装置の擬似欠陥除去のためのテーブル作成処理などのフローチャート図を示す。図4及び図5は、擬似欠陥を発生する色空間の座標点をプロットした図を示す。
具体的には、図1および図2に基づき、コンピューター4の欠陥検査の処理を説明する。
まず、正常なウエハWがXYステージ1に載置され、検査したい位置が対物レンズ2の下に来るように位置決めされた後、2次元CCDカメラ3によってリファレンス画像が撮影される(ステップS31)。そして、コンピューター4によって、画素毎のR、B、G信号が色相H、彩度S、強度Vに変換される(ステップS32)。対物レンズ2は、ドライバー5によってコンピューター4の指示に従いZ軸方向に駆動され、フォーカス調整される。また、XYステージ1は、ドライバー6によってコンピューター4の指示に従いXY方向に調整される。
検査時においては、非検査ウエハWがXYステージ1に載置され、検査したい位置が対物レンズ2の下に来るように位置決めされた後、カメラ3によって検査画像が撮影される(ステップS33)。そして、コンピューター4によって、画素毎のR、B、G信号が色相H、彩度S、強度Vに変換される(ステップS34)。
詳しくは、後述するが、コンピューター4によって、擬似欠陥を生じるRGBの組合せテーブルに基づき、リファレンス画像の画素を欠陥処理から外し、その後、リファレンス画像の色相画像と検査画像の色相画像が比較され、色相の違いにより欠陥が検出される。同様に、コンピューター4によって、擬似欠陥を生じるSVの組合せテーブルに基づき、リファレンス画像の画素を欠陥処理から外し、その後、リファレンス画像の彩度画像と検査画像の彩度画像が比較され、彩度の違いにより欠陥が検出される(ステップS35,S36)。その結果は、コンピューター4のモニター7により、欠陥箇所が表示される。
(R,G、B)空間から(H,S,V)空間への変換式は既知であり、下記の通りである。但し、これらの式において、(R,G,B)空間の赤R、緑G、青Bは0〜1の実数値で表される。又、(H,S,V)空間の色相Hは色相角度で0〜360°の実数値、彩度Sと強度Vは0〜1の実数値で表される。
すなわち、R,B,G値のうち最大のものをmaxとし、最小のものをminとすると、
V=max …(1)
S=(max-min)/max …(2)
(但し、max=0のときはS=0とする。)
H=60*{(G-B)/(max-min)} (R=maxのとき)
H=60*{2+(B-R)/(max-min)} (G=maxのとき)
H=60*{4+(R-G)/(max-min)} (B=maxのとき) …(3)
(但し、H<0のときはHに360を加える。又、S=0のときはH=0とする。)
V=max …(1)
S=(max-min)/max …(2)
(但し、max=0のときはS=0とする。)
H=60*{(G-B)/(max-min)} (R=maxのとき)
H=60*{2+(B-R)/(max-min)} (G=maxのとき)
H=60*{4+(R-G)/(max-min)} (B=maxのとき) …(3)
(但し、H<0のときはHに360を加える。又、S=0のときはH=0とする。)
このようにして色相、彩度の変化を検出することが可能ではある。しかし、前述のように、カメラから出力される画像は光量調整誤差や露光時間の変動、被検物体像の撮影に使用されるCCDカメラ3の量子化誤差などにより誤差が生じてしまう。その結果、被写体の状態は変化していないにも関わらず、カメラ3の出力誤差により色相、彩度が変化し擬似欠陥となる場合がある。これは(R,G,B)空間の画像を(H,S,V)空間の画像に変換した場合、小さな(R,G,B)の変化が大きな色相、彩度の変化になる(R,G,B)の組合せがあるためである。
本実施の形態においては、このように微小なR,G,Bの変化で大きな色相、彩度の変化を与える(R,G,B)の組合せをテーブルとして作成し、検査時にそれらの組合せを有するリファレンス画像の画素のデータは検査対象外とすることで擬似欠陥を除去する。
以下、このようなテーブルの作成方法の例について図3に基づき説明する。
欠陥がない場合においても、光量調整誤差や露光時間の変動、被検物体像の撮影に使用されるCCDカメラ3の量子化誤差などにより発生する、R、G、B値の変動量をそれぞれ±α、±β、±γとする。そして、色相の検査で、色相差がその値を超えると欠陥ありと判断される閾値をδとする。
基準となるデータ(リファレンス画像側の(R,G,B)値として使われるデータ)を(R,G,B)とし、対応する色相を前記(1)式と(3)式で計算しH0とする(ステップS41)。
次に基準となるデータ(R,G,B)にα、β、γの誤差が生じた場合の色相を同様に計算し(ステップS42)、基準データの色相値H0との差を計算する(ステップS43)。すなわち、
基準データの色相値H0と(R−α、G−β,B−γ)の色相値との差をD1とする。
基準データの色相値H0と(R−α、G−β,B)の色相値との差をD2とする。
基準データの色相値H0と(R−α、G−β,B+γ)の色相値との差をD3とする。
基準データの色相値H0と(R−α、G,B−γ)の色相値との差をD4とする。
基準データの色相値H0と(R−α、G,B)の色相値との差をD5とする。
基準データの色相値H0と(R−α、G,B+γ)の色相値との差をD6とする。
基準データの色相値H0と(R−α、G+β,B−γ)の色相値との差をD7とする。
基準データの色相値H0と(R−α、G+β,B)の色相値との差をD8とする。
基準データの色相値H0と(R−α、G+β,B+γ)の色相値との差をD9とする。
基準データの色相値H0と(R、G−β,B−γ)の色相値との差をD10とする。
基準データの色相値H0と(R、G−β,B)の色相値との差をD11とする。
基準データの色相値H0と(R、G−β,B+γ)の色相値との差をD12とする。
基準データの色相値H0と(R、G,B−γ)の色相値との差をD13とする。
基準データの色相値H0と(R、G,B+γ)の色相値との差をD14とする。
基準データの色相値H0と(R、G+β,B−γ)の色相値との差をD15とする。
基準データの色相値H0と(R、G+β,B)の色相値との差をD16とする。
基準データの色相値H0と(R、G+β,B+γ)の色相値との差をD17とする。
基準データの色相値H0と(R+α、G−β,B−γ)の色相値との差をD18とする。
基準データの色相値H0と(R+α、G−β,B)の色相値との差をD19とする。
基準データの色相値H0と(R+α、G−β,B+γ)の色相値との差をD20とする。
基準データの色相値H0と(R+α、G,B−γ)の色相値との差をD21とする。
基準データの色相値H0と(R+α、G,B)の色相値との差をD22とする。
基準データの色相値H0と(R+α、G,B+γ)の色相値との差をD23とする。
基準データの色相値H0と(R+α、G+β,B−γ)の色相値との差をD24とする。
基準データの色相値H0と(R+α、G+β,B)の色相値との差をD25とする。
基準データの色相値H0と(R+α、G+β,B+γ)の色相値との差をD26とする。
基準データの色相値H0と(R−α、G−β,B−γ)の色相値との差をD1とする。
基準データの色相値H0と(R−α、G−β,B)の色相値との差をD2とする。
基準データの色相値H0と(R−α、G−β,B+γ)の色相値との差をD3とする。
基準データの色相値H0と(R−α、G,B−γ)の色相値との差をD4とする。
基準データの色相値H0と(R−α、G,B)の色相値との差をD5とする。
基準データの色相値H0と(R−α、G,B+γ)の色相値との差をD6とする。
基準データの色相値H0と(R−α、G+β,B−γ)の色相値との差をD7とする。
基準データの色相値H0と(R−α、G+β,B)の色相値との差をD8とする。
基準データの色相値H0と(R−α、G+β,B+γ)の色相値との差をD9とする。
基準データの色相値H0と(R、G−β,B−γ)の色相値との差をD10とする。
基準データの色相値H0と(R、G−β,B)の色相値との差をD11とする。
基準データの色相値H0と(R、G−β,B+γ)の色相値との差をD12とする。
基準データの色相値H0と(R、G,B−γ)の色相値との差をD13とする。
基準データの色相値H0と(R、G,B+γ)の色相値との差をD14とする。
基準データの色相値H0と(R、G+β,B−γ)の色相値との差をD15とする。
基準データの色相値H0と(R、G+β,B)の色相値との差をD16とする。
基準データの色相値H0と(R、G+β,B+γ)の色相値との差をD17とする。
基準データの色相値H0と(R+α、G−β,B−γ)の色相値との差をD18とする。
基準データの色相値H0と(R+α、G−β,B)の色相値との差をD19とする。
基準データの色相値H0と(R+α、G−β,B+γ)の色相値との差をD20とする。
基準データの色相値H0と(R+α、G,B−γ)の色相値との差をD21とする。
基準データの色相値H0と(R+α、G,B)の色相値との差をD22とする。
基準データの色相値H0と(R+α、G,B+γ)の色相値との差をD23とする。
基準データの色相値H0と(R+α、G+β,B−γ)の色相値との差をD24とする。
基準データの色相値H0と(R+α、G+β,B)の色相値との差をD25とする。
基準データの色相値H0と(R+α、G+β,B+γ)の色相値との差をD26とする。
そして、色相値の差D1からD14の絶対値のいずれかが色相の検査で欠陥ありと判別される閾値δを超えた場合、その基準データ(R,G,B)を擬似欠陥が発生し易い組合せとする。この計算をR=0〜1、G=0〜1、B=0〜1の組合せ全てで行い、擬似欠陥が発生し易い(R,G,B)の組合せを抽出する。そして、リファレンス画像のうち、このような(R,G,B)を持つ画素については、欠陥検出に使用しないようにする。そのために、このような(R,G,B)の組合せのテーブルを作成し、リファレンス画像の画素の(R,G,B)がこのテーブルに記憶されている値に一致する場合には、その画素を欠陥検出に使用しないようにする(ステップS44、S45)。
又は、このような(R,G,B)の組合せから彩度Sと強度Vの組合せを求め、彩度Sと強度Vの組合せのテーブルを作成する。そして、リファレンス画像を(H,S,V)空間に変換したときの彩度Sと強度Vの組み合わせがこのテーブルに記憶されている組み合わせに一致した場合には、その画素を欠陥検出に使用しないようにする(ステップS44、S45)。
以上の説明においては、予め擬似欠陥除去のテーブルを作成しておく方法について述べたが、計算速度に問題がなければ、テーブルを持たず、欠陥検出時に計算を行って、リファレンス画像の各画素が、擬似欠陥除去の対象となるかどうかを判断してもよい。
また、欠陥検出の閾値δに応じて、テーブルを複数持ち、欠陥検出の閾値δに合ったテーブルを使用するか、欠陥検出時に欠陥検出の閾値δに応じた計算を行うことで、より正確な擬似欠陥除去が可能となる。
図4は、R=I/255(I=0〜255)、G=J/255(J=0〜255)、B=K/255(K=0〜255)の組み合わせ16777216通りについて、α=β=γ=3/255、δ=8/255とした時の計算結果で、横軸に色相S、縦軸に強度Vをとってプロットしたグラフである。プロットされた領域が擬似欠陥発生の可能性が高いとして、欠陥判定から除外される領域である。
図4を見ると、彩度Sが低い場合と強度Vが低い場合に擬似欠陥となりうることが分かる。これは、彩度Sが低い場合は赤R、緑G、青Bの値が近く白っぽいため、いずれか一つが変化すると色相Hは大きく変化すること、及び、強度Vが低い場合は赤R、緑G、青Bの値がいずれも小さいため、いずれか一つが変化すると色相Hは大きく変化することから説明できる。
次に、彩度Sの擬似欠陥除去に用いるテーブルの作成方法について説明する。なお、上述の図3に示した処理フローを使用することが出来る。
以下の説明において、α、β、γは色相Hの擬似欠陥除去のテーブルの作成方法について説明したときと同じ意味に使用する。勿論、これらの値が、色相Hの擬似欠陥除去のテーブルの作成方法の場合と同じ値であることを意味するものではない。又、彩度の検査で、彩度差がその値を超えると欠陥ありと判断される閾値をεとする。
基準となるデータ(リファレンス画像側の(R,G,B)値として使われるデータ)を(R,G,B)とし、対応する彩度を前記(1)式と(2)式で計算しS0とする。
次に基準となるデータ(R,G,B)にα、β、γの誤差が生じた場合の彩度を同様に計算し、基準データの彩度値S0との差を計算する。すなわち、
基準データの彩度値S0と(R−α、G−β,B−γ)の彩度値との差をD1とする。
基準データの彩度値S0と(R−α、G−β,B)の彩度値との差をD2とする。
基準データの彩度値S0と(R−α、G−β,B+γ)の彩度値との差をD3とする。
基準データの彩度値S0と(R−α、G,B−γ)の彩度値との差をD4とする。
基準データの彩度値S0と(R−α、G,B)の彩度値との差をD5とする。
基準データの彩度値S0と(R−α、G,B+γ)の彩度値との差をD6とする。
基準データの彩度値S0と(R−α、G+β,B−γ)の彩度値との差をD7とする。
基準データの彩度値S0と(R−α、G+β,B)の彩度値との差をD8とする。
基準データの彩度値S0と(R−α、G+β,B+γ)の彩度値との差をD9とする。
基準データの彩度値S0と(R、G−β,B−γ)の彩度値との差をD10とする。
基準データの彩度値S0と(R、G−β,B)の彩度値との差をD11とする。
基準データの彩度値S0と(R、G−β,B+γ)の彩度値との差をD12とする。
基準データの彩度値S0と(R、G,B−γ)の彩度値との差をD13とする。
基準データの彩度値S0と(R、G,B+γ)の彩度値との差をD14とする。
基準データの彩度値S0と(R、G+β,B−γ)の彩度値との差をD15とする。
基準データの彩度値S0と(R、G+β,B)の彩度値との差をD16とする。
基準データの彩度値S0と(R、G+β,B+γ)の彩度値との差をD17とする。
基準データの彩度値S0と(R+α、G−β,B−γ)の彩度値との差をD18とする。
基準データの彩度値S0と(R+α、G−β,B)の彩度値との差をD19とする。
基準データの彩度値S0と(R+α、G−β,B+γ)の彩度値との差をD20とする。
基準データの彩度値S0と(R+α、G,B−γ)の彩度値との差をD21とする。
基準データの彩度値S0と(R+α、G,B)の彩度値との差をD22とする。
基準データの彩度値S0と(R+α、G,B+γ)の彩度値との差をD23とする。
基準データの彩度値S0と(R+α、G+β,B−γ)の彩度値との差をD24とする。
基準データの彩度値S0と(R+α、G+β,B)の彩度値との差をD25とする。
基準データの彩度値S0と(R+α、G+β,B+γ)の彩度値との差をD26とする。
基準データの彩度値S0と(R−α、G−β,B−γ)の彩度値との差をD1とする。
基準データの彩度値S0と(R−α、G−β,B)の彩度値との差をD2とする。
基準データの彩度値S0と(R−α、G−β,B+γ)の彩度値との差をD3とする。
基準データの彩度値S0と(R−α、G,B−γ)の彩度値との差をD4とする。
基準データの彩度値S0と(R−α、G,B)の彩度値との差をD5とする。
基準データの彩度値S0と(R−α、G,B+γ)の彩度値との差をD6とする。
基準データの彩度値S0と(R−α、G+β,B−γ)の彩度値との差をD7とする。
基準データの彩度値S0と(R−α、G+β,B)の彩度値との差をD8とする。
基準データの彩度値S0と(R−α、G+β,B+γ)の彩度値との差をD9とする。
基準データの彩度値S0と(R、G−β,B−γ)の彩度値との差をD10とする。
基準データの彩度値S0と(R、G−β,B)の彩度値との差をD11とする。
基準データの彩度値S0と(R、G−β,B+γ)の彩度値との差をD12とする。
基準データの彩度値S0と(R、G,B−γ)の彩度値との差をD13とする。
基準データの彩度値S0と(R、G,B+γ)の彩度値との差をD14とする。
基準データの彩度値S0と(R、G+β,B−γ)の彩度値との差をD15とする。
基準データの彩度値S0と(R、G+β,B)の彩度値との差をD16とする。
基準データの彩度値S0と(R、G+β,B+γ)の彩度値との差をD17とする。
基準データの彩度値S0と(R+α、G−β,B−γ)の彩度値との差をD18とする。
基準データの彩度値S0と(R+α、G−β,B)の彩度値との差をD19とする。
基準データの彩度値S0と(R+α、G−β,B+γ)の彩度値との差をD20とする。
基準データの彩度値S0と(R+α、G,B−γ)の彩度値との差をD21とする。
基準データの彩度値S0と(R+α、G,B)の彩度値との差をD22とする。
基準データの彩度値S0と(R+α、G,B+γ)の彩度値との差をD23とする。
基準データの彩度値S0と(R+α、G+β,B−γ)の彩度値との差をD24とする。
基準データの彩度値S0と(R+α、G+β,B)の彩度値との差をD25とする。
基準データの彩度値S0と(R+α、G+β,B+γ)の彩度値との差をD26とする。
そして、彩度値の差D1からD14の絶対値のいずれかが彩度の検査で欠陥ありと判別される閾値δを超えた場合、基準データ(R,G,B)を擬似欠陥が発生し易い組合せとする。この計算をR=0〜1、G=0〜1、B=0〜1の組合せ全てで行い、擬似欠陥が発生し易い(R,G,B)の組合せを抽出する。そして、リファレンス画像のうち、このような(R,G,B)を持つ画素については、欠陥検出に使用しないようにする。そのために、このような(R,G,B)の組合せのテーブルを作成し、リファレンス画像の画素の(R,G,B)がこのテーブルに記憶されている値に一致する場合には、その画素を欠陥検出に使用しないようにする。
又は、このような(R,G,B)の組合せから彩度Sと強度Vの組合せを求め、彩度Sと強度Vの組合せのテーブルを作成する。そして、リファレンス画像を(H,S,V)空間に変換したときの彩度Sと強度Vの組合せがこのテーブルに記憶されている組合せに一致した場合には、その画素を欠陥検出に使用しないようにする。
図5はR=I/255(I=0〜255)、G=J/255(J=0〜255)、B=K/255(K=0〜255)の組み合わせ16777216通りについて、α=β=γ=3/255、δ=8/255とした時の計算結果で、横軸に色相S、縦軸に強度(明度)Vをとってプロットしたグラフである。プロットされた領域が擬似欠陥発生の可能性が高いとして、欠陥判定から除外される領域である。図5を見ると、強度Vが低い場合に擬似欠陥となりうることが分かる。
ここでは色相、彩度、強度で表現される色空間にHSV空間を使用して説明を行ったが、別の色空間、例えばHSI空間を使用しても検査及び欠陥除去を行うことができる。但し、HSI空間の場合、色相Hの値により明度I(HSV空間では強度Vに相当)の取り得る値が異なるため、テーブルの扱いが面倒になる。
Claims (10)
- 基準となる正常な試料を撮像し、(R,G,B)信号として取り込まれたリファレンス画像及び、検査試料を撮像し、(R,G,B)信号として取り込まれた検査画像を(H,S,V)信号に変換する手段と、
欠陥検出で擬似欠陥の発生する可能性が高い(R,G,B)値の組み合わせを記憶したテーブルと、
前記リファレンス画像のうち、このテーブルに存在する(R,G,B)を有する画素を除き、前記色相Hに変換された両画像を比較し、その結果に基づいて欠陥を検出する欠陥検出手段とを有することを特徴とする表面検査装置。 - (R,G,B)の基準データの色相値と前記基準データに所定誤差量を乗せたデータの色相値との差分が閾値を超えたか否かを判定し、超えた場合の基準データの(R,G,B)の組合せを前記テーブルに記憶するテーブル作成手段を有することを特徴とする請求項1に記載の表面検査装置。
- (R,G,B)の基準データの色相値と前記基準データに所定誤差量を乗せたデータの色相値との差分が閾値を超えたか否かを判定し、超えた場合の基準データの(R,G,B)を(H,S,V)に変換し、彩度Sと強度Vとの組合せを前記テーブルに記憶するテーブル作成手段を有することを特徴とする請求項1に記載の表面検査装置。
- 前記所定誤差量は、前記試料を撮像する撮像手段の調整誤差や量子化誤差に相当する量であることを特徴とする請求項2に記載の表面検査装置。
- 前記所定誤差量は、前記試料を撮像する撮像手段の調整誤差や量子化誤差に相当する量であることを特徴とする請求項3に記載の表面検査装置。
- 基準となる正常な試料を撮像し、R,G,B信号として取り込まれたリファレンス画像及び、検査試料を撮像し、R,G,B信号として取り込まれた検査画像を(H,S,V)信号に変換する手段と、
欠陥検出で擬似欠陥の発生する可能性が高い(R,G,B)値の組み合わせを記憶したテーブルと、
前記リファレンス画像のうち、このテーブルに存在する(R,G,B)を有する画素を除き、前記彩度Sに変換された両画像を比較し、その結果に基づいて欠陥を検出する欠陥検出手段とを有することを特徴とする表面検査装置。 - (R,G,B)の基準データの彩度値と前記基準データに所定誤差量を乗せたデータの彩度値との差分が閾値を超えたか否かを判定し、超えた場合の基準データの(R,G,B)の組合せを前記テーブルに記憶するテーブル作成手段を有することを特徴とする請求項6に記載の表面検査装置。
- (R,G,B)の基準データの彩度値と前記基準データに所定誤差量を乗せたデータの彩度値との差分が閾値を超えたか否かを判定し、超えた場合の基準データの(R,G,B)を(H,S,V)に変換し、彩度Sと強度Vとの組合せを前記テーブルに記憶するテーブル作成手段を有することを特徴とする請求項6に記載の表面検査装置。
- 前記所定誤差量は、前記試料を撮像する撮像手段の調整誤差や量子化誤差に相当する量であることを特徴とする請求項7に記載の表面検査装置。
- 前記所定誤差量は、前記試料を撮像する撮像手段の調整誤差や量子化誤差に相当する量であることを特徴とする請求項8に記載の表面検査装置。
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