CN103792705B - 检测基板缺陷的检测方法及检测装置 - Google Patents

检测基板缺陷的检测方法及检测装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种测基板缺陷的检测方法,该检测方法包括:S1、获取待检测基板的图像;其中,所述检测方法还包括精检步骤,该精检步骤包括:S2、判断所述待检测基板的图像中上是否存在第一缺陷区;当所述待检测基板的图像中存在所述第一缺陷区时,所述精检步骤包括:S3、将所述第一缺陷区内的像素的颜色转换为第一纯色,将所述图像中的正常区内的像素的颜色转换为第二纯色。本发明还提供一种检测装置。在本发明所提供的检测方法中,提高了所述第一缺陷区与所述正常区的对比度,便于检验员区分第一缺陷区和正常区,减少漏检情况的出现。

Description

检测基板缺陷的检测方法及检测装置
技术领域
本发明涉及基板的检测领域,具体地,涉及一种检测基板缺陷的检测方法和一种实施上述检测方法的检测装置。
背景技术
目前生产液晶基板的彩膜基板时,通常要利用检测装置装置检测彩膜基板上是否存在色彩不均匀(Mura)的不良。
检测装置包括图像采集单元,利用图像采集单元采集彩膜基板的图像,并将该图像处理转换为灰度图,随后由操作员对灰度图像进行观察判断,看是否存在灰度与周边区域变化较大的区域。若存在,则该区域为缺陷区。
目前的检测装置只能生成灰度图像,当缺陷区面积较大且与周边区灰度差异较大时,则容易被发现。在现有技术中采用的检测方法中,获取待检测基板的图像为灰度图,检验员凭肉眼判断检测基板的图像上是否存在缺陷区和正常区。有时缺陷区与周围正常区对比度较小(或者色差较小),检验员则难以判断该缺陷区,从而导致漏检现象。
因此,如何避免出现漏检的情况成为本领域亟待解决的技术问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种检测基板缺陷的检测方法及检测装置,利用所述检测装置执行所述检测方法可以降低漏检情况的发生。
为了实现上述目的,作为本发明的一个方面,提供一种检测基板缺陷的检测方法,该检测方法包括:
S1、获取待检测基板的图像;其中,
所述检测方法还包括精检步骤,该精检步骤包括:
S2、判断所述待检测基板的图像中上是否存在第一缺陷区;
当所述待检测基板的图像中存在所述第一缺陷区时,所述精检步骤包括:
S3、将所述第一缺陷区内的像素的颜色转换为第一纯色,将所述图像中的正常区内的像素的颜色转换为第二纯色。
优选地,在所述步骤S1中获取的所述待检测基板的图像为灰度图,所述步骤S1包括:
S11、获取所述图像上各像素的灰度值;
S12、计算所述图像上各像素的灰度值与标准灰度值之差的绝对值;
在所述步骤S2中,将灰度值与所述标准灰度值之差的绝对值超过预定值的像素对应的区域判定为所述第一缺陷区,将灰度值与所述标准灰度值之差的绝对值在不超过预定值的像素对应的区域判定为所述正常区。
优选地,在所述步骤S11和所述步骤S12之间包括:
S115、计算所述图像中各个像素的灰度值的平均灰度值,将该平均灰度值设置为所述标准灰度值。
优选地,所述第一缺陷区沿所述待检测基板的图像的高度方向延伸。
优选地,所述步骤S1与所述步骤S2之间包括粗检步骤,该粗检步骤包括:
S15、判断所述待检测基板的图像上是否存第二缺陷区,所述第二缺陷区的面积大于所述第一缺陷区的面积,和/或所述第二缺陷区沿所述待检测基板的图像的宽度方向延伸,
当所述待检测基板的图像上不存在所述第二缺陷区时,则执行所述步骤S2。
作为本发明的另一个方面,提供一种检测基板缺陷的检测装置,该检测装置包括图像采集单元,该图像采集单元能够采集待检测基板的图像,其中,所述检测装置包括处理器和色彩转换单元,所述图像采集单元分别与所述处理器和所述色彩转换单元连接,以能够将所述图像分别发送给所述处理器和所述色彩转换单元,所述处理器能够判定所述图像中的第一缺陷区和正常区,并将判定结果发送至所述色彩转换单元,所述色彩转换单元能够根据所述判断结果将所述第一缺陷区中的像素的颜色转换为第一纯色、将所述正常区中的像素的颜色转换为第二纯色。
优选地,所述图像为灰度图,所述处理器能够获取所述图像上各像素的灰度值以及所述图像上各像素的灰度值与标准灰度值之差的绝对值,且所述处理器能够将灰度值与所述标准灰度值之差的绝对值超过预定值的像素对应的区域判定为所述第一缺陷区、将灰度值与所述标准灰度值之差的绝对值在不超过预定值的像素对应的区域判定为所述正常区。
优选地,所述处理器能够计算所述图像中各个像素的灰度值的平均灰度值,并能够将该平均灰度值设置为所述标准灰度值。
优选地,所述第一缺陷区沿所述基板的高度方向延伸。
在本发明所提供的检测方法中,首先计算待检测基板的图像中是否存在第一缺陷区。当所述待检测基板的图像中存在所述第一缺陷区时,将所述第一缺陷区的像素的颜色转换为第一纯色,将所述正常区的像素的颜色转换为第二纯色,从而提高了所述第一缺陷区与所述正常区的对比度,便于检验员区分第一缺陷区和正常区,减少漏检情况的出现。
附图说明
附图是用来提供对本发明的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与下面的具体实施方式一起用于解释本发明,但并不构成对本发明的限制。在附图中:
图1是本发明所提供的检测方法的流程图;
图2是图1中所示的检查方法中,步骤S1的流程图;
图3是本发明所提供的检测装置的示意图。
附图标记说明
100:图像采集单元 200:处理器
300:色彩转换单元 400:显示单元
具体实施方式
以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是,此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明,并不用于限制本发明。
作为本发明的一个方面,提供一种检测基板缺陷的检测方法,该检测方法包括:
S1、获取待检测基板的图像;其中,所述检测方法还包括精检步骤,该精检步骤包括:
S2、判断所述待检测基板的图像中上是否存在第一缺陷区;
当所述待检测基板的图像中存在所述第一缺陷区时,所述精检步骤还包括:
S3、将所述第一缺陷区内的像素的颜色转换为第一纯色,将所述待检测基板的正常区内的像素的颜色转换为第二纯色。
在本发明所提供的检测方法中,首先计算待检测基板的图像中是否存在第一缺陷区。当所述待检测基板的图像中存在所述第一缺陷区时,将所述第一缺陷区的像素的颜色转换为第一纯色,将所述正常区的像素的颜色转换为第二纯色,从而提高了所述第一缺陷区与所述正常区的对比度,便于检验员区分第一缺陷区和正常区,减少漏检情况的出现。
在本发明中,对第一纯色和第二纯色的具体色彩并没有特殊的规定,只要第一纯色与第二纯色之间具有较大的对比度,便于检验员区分即可。例如,第一纯色可以为黑色,第二纯色可以为白色;或者第一纯色可以为红色,第二纯色可以为白色等。
由于第一纯色和第二纯色之间具有较大的对比度,因此本发明所提供的检测方法尤其适用于检测面积较小、不易被发现的缺陷。待检测的基板可以为用于显示面板的彩膜基板。
如图1中所示,当待检测基板的图像中不存在第一缺陷区时,则可以直接进入下一道工序。
可以通过引入标准灰度值的方法判断所述待检测基板的图像中是否存在第一缺陷区。如果基板的灰度图中,像素的灰度值等于所述标准灰度值,则说明该像素正常,即,该像素对应的区域为正常区域。因此,优选地,如图2所示,在所述步骤S1中获取的所述待检测基板的图像为灰度图,所述步骤S1包括:
S11、获取所述图像上各像素的灰度值Xi(i为自然数,且i小于所述图像上的像素总数);
S12、计算所述图像上各像素的灰度值Xn与标准灰度值Xs之差的绝对值|ΔX|;
在所述步骤S2中,将灰度值与所述标准灰度值之差的绝对值超过预定值Spec的像素对应的区域判定为所述第一缺陷区,将灰度值与所述标准灰度值之差的绝对值在不超过预定值Spec的像素对应的区域判定为所述正常区。
例如,在计算图像上第i个像素是否位于第一缺陷区中时,首先获取所述图像上第i个像素的灰度值Xi,然后计算第i个像素的灰度值Xi与标准灰度值Xs之差的绝对值|ΔX|=|Xi-Xs|。当|ΔX|>Spec时,则判定所述图像上第i个像素对应的区域为第一缺陷区;当|ΔX|≤Spec时,则判定第i个像素不处于所述第一缺陷区中。在本发明中,对预定值Spec并没有特殊的限定,例如,预定值Spec可以为0至3之间的任意数值。
在本发明中,可以人为地设置所述标准灰度值,也可以通过在所述步骤S11和所述步骤S12之间进行的如下步骤S115计算所述标准灰度值Xs:
S115、计算所述图像中各个像素的灰度值的平均灰度值将该平均灰度值设置为所述标准灰度值Xs。
当一个像素的灰度值与所述标准灰度值之差的绝对值超过所述预设值Spec时,则可判定所述像素处于所述第一缺陷区中。
可以利用本发明所提供的检测方法检测检验员利用现有技术中的检测方法不易发现的缺陷。
例如,所述第一缺陷区的面积可以不大于2mm2,或者所述第一缺陷区沿所述基板的高度方向延伸,且第一缺陷区的宽度不大于1mm。所谓“基板的高度方向”是指,基板用于显示装置中且该显示装置正常显示时,图像的高度方向。当所述第一缺陷区宽度较窄时(例如,所述第一缺陷区的宽度小于1mm时),图像高度方向的缺陷不易被发现。并且,如果所述第一缺陷区各像素的灰度值与该第一缺陷区周围的正常区灰度值比较接近时(例如,第一缺陷区的各像素的灰度值与该第一缺陷区周围的正常区的灰度值之差的绝对值小于2时),检验员利用现有技术中的检测方法难以发现上述第一缺陷区。由于第一纯色与第二纯色之间具有较大的对比度,利用本发明所提供的检测方法则容易检出所述第一缺陷区。
可以将本发明所提供的检测方法中的精检步骤与现有技术中的检测方法配合使用。即,如图1所示,在本发明所提供的检测方法中,所述步骤S1与所述步骤S2之间可以包括粗检步骤,该粗检步骤包括:S15、判断所述待检测基板的图像上是否存第二缺陷区,该第二缺陷区的面积大于所述第一缺陷区的面积(例如,第二缺陷区的面积可以大于2mm2),当第二缺陷区为条形缺陷时,该第二缺陷区的宽度可以大于1mm。又或者,所述第二缺陷区可以沿所述待检测基板的图像的宽度方向延伸。又或者,第二缺陷区各像素的灰度值与该第二缺陷区周围的正常区的灰度值相差较大(例如,第二缺陷区各像素的灰度值与该第二缺陷区周围的正常区的灰度值之差的绝对值大于3)。总之,与第一缺陷区相比,第二缺陷区是相对较明显的缺陷,便于检验员肉眼发现。所谓“基板的宽度方向”是指,基板用于显示装置中且该显示装置正常显示时,图像的宽度方向。
当所述待检测基板的图像上不存在所述第二缺陷区时,则执行所述步骤S2。
在本发明所提供的检测方法中增加所述粗检步骤之后,可以快速地筛选出包括第二缺陷区的基板,可以缩短整个检测方法所需的时间,提高检测方法的效率,并且可以最大限度地避免漏检。
作为本发明的另一个方面,提供一种检测基板缺陷的检测装置,该检测装置用于执行上述检测方法。如图3所示,所述检测装置可以包括图像采集单元100,该图像采集单元100可以采集待检测基板的图像,其中,所述检测装置还包括处理器200和色彩转换单元300,图像采集单元100分别与处理器200和色彩转换单元300连接,以将所述待检测基板的图像分别发送给处理器200和色彩转换单元300,处理器200可以判定所述图像中的第一缺陷区和正常区,并将判定结果发送至色彩转换单元300,该色彩转换单元300可以根据所述判断结果将所述第一缺陷区的像素的颜色转换为第一纯色、将所述正常区的像素的颜色转换为第二纯色。
容易理解的是,所述色彩转换单元300与显示单元400电连接,显示单元400可以显示经过色彩单元300转换后的图像。图像采集单元采集到待检测基板的图像后,将该图像发送给处理器200和色彩转换单元300。
处理器200中生成的“判断结果”包括所述图像中是否存在所述第一缺陷区以及当所述图像中存在所述第一缺陷区时,该第一缺陷区的位置等信息。
如上文中所述,将所述第一缺陷区的像素的颜色转换为第一纯色,将所述正常区的像素的颜色转换为第二纯色之后,提高了所述第一缺陷区与所述正常区的对比度,便于检验员区分第一缺陷区和正常区,减少漏检情况的出现。
在本发明中,对图像采集单元100的具体形式并没有特殊的限制。例如图像采集单元100可以包括线性相机和照明单元,所述线性相机与所述处理器相连,所述照明单元可以发出照射在待检测基板上的光线。
当所述图像为灰度图时,为了执行步骤S11和步骤S12,所述处理器可以获取所述图像上各像素的灰度值以及所述图像上各像素的灰度值与标准灰度值之差的绝对值,且所述处理器能够将灰度值与所述标准灰度值之差的绝对值超过预定值的像素对应的区域判定为所述第一缺陷区、将灰度值与所述标准灰度值之差的绝对值在不超过预定值的像素对应的区域判定为所述正常区。
为了执行步骤S115,所述处理器设置为该处理器可以计算所述图像中各个像素的灰度值的平均灰度值,并能够将该平均灰度值设置为所述标准灰度值。
优选地,所述第一缺陷区沿所述基板的高度方向延伸。
可以理解的是,以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式,然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言,在不脱离本发明的精神和实质的情况下,可以做出各种变型和改进,这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (9)

1.一种检测基板缺陷的检测方法,该检测方法包括:
步骤S1、获取待检测基板的图像;其特征在于,
所述检测方法还包括精检步骤,该精检步骤包括:
步骤S2、判断所述待检测基板的图像中上是否存在第一缺陷区;
当所述待检测基板的图像中存在所述第一缺陷区时,所述精检步骤包括:
步骤S3、将所述第一缺陷区内的像素的颜色转换为第一纯色,将所述图像中的正常区内的像素的颜色转换为第二纯色。
2.根据权利要求1所述的检测方法,其特征在于,在所述步骤S1中获取的所述待检测基板的图像为灰度图,所述步骤S1包括:
步骤S11、获取所述图像上各像素的灰度值;
步骤S12、计算所述图像上各像素的灰度值与标准灰度值之差的绝对值;
在所述步骤S2中,将灰度值与所述标准灰度值之差的绝对值超过预定值的像素对应的区域判定为所述第一缺陷区,将灰度值与所述标准灰度值之差的绝对值在不超过预定值的像素对应的区域判定为所述正常区。
3.根据权利要求2所述的检测方法,其特征在于,在所述步骤S11和所述步骤S12之间包括:
步骤S115、计算所述图像中各个像素的灰度值的平均灰度值,将该平均灰度值设置为所述标准灰度值。
4.根据权利要求1至3中任意一项所述的检测方法,其特征在于,所述第一缺陷区沿所述待检测基板的图像的高度方向延伸。
5.根据权利要求4所述的检测方法,其特征在于,所述步骤S1与所述步骤S2之间包括粗检步骤,该粗检步骤包括:
步骤S15、判断所述待检测基板的图像上是否存第二缺陷区,所述第二缺陷区的面积大于所述第一缺陷区的面积,和/或所述第二缺陷区沿所述待检测基板的图像的宽度方向延伸,
当所述待检测基板的图像上不存在所述第二缺陷区时,则执行所述步骤S2。
6.一种检测基板缺陷的检测装置,该检测装置包括图像采集单元,该图像采集单元能够采集待检测基板的图像,其特征在于,所述检测装置包括处理器和色彩转换单元,所述图像采集单元分别与所述处理器和所述色彩转换单元连接,以能够将所述图像分别发送给所述处理器和所述色彩转换单元,所述处理器能够判定所述图像中的第一缺陷区和正常区,并将判定结果发送至所述色彩转换单元,所述色彩转换单元能够根据所述判断结果将所述第一缺陷区中的像素的颜色转换为第一纯色、将所述正常区中的像素的颜色转换为第二纯色。
7.根据权利要求6所述的检测装置,其特征在于,所述图像为灰度图,所述处理器能够获取所述图像上各像素的灰度值以及所述图像上各像素的灰度值与标准灰度值之差的绝对值,且所述处理器能够将灰度值与所述标准灰度值之差的绝对值超过预定值的像素对应的区域判定为所述第一缺陷区、将灰度值与所述标准灰度值之差的绝对值在不超过预定值的像素对应的区域判定为所述正常区。
8.根据权利要求7所述的检测装置,其特征在于,所述处理器能够计算所述图像中各个像素的灰度值的平均灰度值,并能够将该平均灰度值设置为所述标准灰度值。
9.根据权利要求7或8所述的检测装置,其特征在于,所述第一缺陷区沿所述基板的高度方向延伸。
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