JPWO2002085808A1 - 石英ガラス部材及び投影露光装置 - Google Patents
石英ガラス部材及び投影露光装置Info
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- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 135
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 89
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims abstract description 81
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 72
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 20
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 18
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims abstract description 16
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 32
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims description 25
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 abstract description 10
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 46
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 45
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 39
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 29
- 239000000463 material Substances 0.000 description 28
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 28
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 21
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 16
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 16
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 8
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 8
- FDNAPBUWERUEDA-UHFFFAOYSA-N silicon tetrachloride Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)Cl FDNAPBUWERUEDA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 8
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 150000003377 silicon compounds Chemical class 0.000 description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 4-[4-(4-methoxyphenyl)piperazin-1-yl]aniline Chemical compound C1=CC(OC)=CC=C1N1CCN(C=2C=CC(N)=CC=2)CC1 VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 6
- -1 silicon fluoride compound Chemical class 0.000 description 6
- 239000005049 silicon tetrachloride Substances 0.000 description 6
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 5
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 5
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 5
- 150000003961 organosilicon compounds Chemical class 0.000 description 5
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 5
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 4
- HMMGMWAXVFQUOA-UHFFFAOYSA-N octamethylcyclotetrasiloxane Chemical compound C[Si]1(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O1 HMMGMWAXVFQUOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- ABTOQLMXBSRXSM-UHFFFAOYSA-N silicon tetrafluoride Chemical compound F[Si](F)(F)F ABTOQLMXBSRXSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 3
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 3
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 3
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000516 activation analysis Methods 0.000 description 2
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 125000000864 peroxy group Chemical group O(O*)* 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 2
- 238000011002 quantification Methods 0.000 description 2
- 239000011265 semifinished product Substances 0.000 description 2
- 239000004071 soot Substances 0.000 description 2
- 230000007847 structural defect Effects 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 2
- LCGLNKUTAGEVQW-UHFFFAOYSA-N Dimethyl ether Chemical compound COC LCGLNKUTAGEVQW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910003849 O-Si Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003872 O—Si Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018557 Si O Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910008045 Si-Si Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003910 SiCl4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006411 Si—Si Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N argon Substances [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000567 combustion gas Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000000921 elemental analysis Methods 0.000 description 1
- 238000004993 emission spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisilazane Chemical compound C[Si](C)(C)N[Si](C)(C)C FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UQEAIHBTYFGYIE-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisiloxane Chemical compound C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C UQEAIHBTYFGYIE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000010583 slow cooling Methods 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001308 synthesis method Methods 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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Abstract
本発明の石英ガラス部材は、組成をSiOxと表すときxが1.85以上1.95以下であり、含有される水素分子濃度が1×1016分子/cm3以上5×1018分子/cm3以下であり、且つArFエキシマレーザ光を平均ワンパルスエネルギー密度2mJ/cm2で1×104パルス照射したときの照射終了直前の吸収係数Aと、前記ArFエキシマレーザ光の照射停止後600秒経過時における第2の吸収係数Bとの差A−Bが0.002cm−1以下のものである。この石英ガラス部材を投影露光装置の照明光学系や投影光学系に用いることにより、レチクル面やウェハ上の露光領域内での照度変動を低減して均一な露光を行うことが可能となる。
Description
技術分野
本発明は、石英ガラス部材及び投影露光装置に関するものである。より詳しくは、本発明は、例えばArFエキシマレーザ等の紫外光を発生する光源を用いる装置、例えば投影露光装置、CVD装置、レーザ加工装置などの光学系に用いられるレンズ、プリズム、プレート等の光透過性の光学部材に用いられる石英ガラス部材、並びにその石英ガラス部材を用いた投影露光装置に関するものである。
なお、本発明でいう石英ガラス部材とは、光学系に用いられるレンズ、プリズム、ミラー、プレート等の光学部材(最終製品)の他、石英ガラスインゴットやその一部分を切り出した部材(光学部材を作製するための半製品(素材))も含むものである。
背景技術
シリコン等のウェハ上に集積回路の微細パターンを露光・転写する光リソグラフィー技術においては、ステッパと呼ばれる露光装置が用いられる。このステッパの光学系は、光源からの光を集積回路パターンが描かれたレチクル上に均一に照明する照明光学系と、レチクルの集積回路パターンを所定の縮小倍率(例えば1/5)でウェハ上に投影・転写する投影光学系とで構成されている。
ステッパ等の露光装置の光源は、近年のLSIの高集積化に伴ってg線(436nm)からi線(365nm)、さらにはKrF(248.3nm)やArF(193.4nm)エキシマレーザへと短波長化が進められている。VLSIの中でDRAMを例に挙げれば、LSIからVLSIへと展開されて容量が1K→256K→1M→4M→16M→64M→256Mと増大してゆくにつれ、加工線幅がそれぞれ10μm→2μm→1μm→0.8μm→0.5μm→0.3μm→0.2μmとなり、より微細な最小加工線幅が露光可能な露光装置が要求されるようになってきた。この場合には光源としてエキシマレーザなどの250nm以下の紫外線又は真空紫外線を用いることになる。
一般的に、i線より長波長の光源を用いたステッパの照明光学系又は投影光学系のレンズ部材として用いられる光学ガラスは、i線よりも短い波長領域では光透過率が急激に低下し、特に250nm以下の波長領域ではほとんどの光学ガラスでは透過しなくなってしまう。そのため、エキシマレーザを光源としたステッパの光学系に使用可能な材料は石英ガラスや一部の結晶材料に限られる。中でも石英ガラスはエキシマレーザステッパのみならず一般の紫外、真空紫外線の光学系に広く用いられている材料である。
投影露光装置において、集積回路パターンを大きな面積で且つ高解像度で露光するためには、その光学系に用いられる石英ガラス光学部材には高品質が要求される。例えば、直径250mm程度の非常に大きな口径の部材であっても、部材の屈折率分布の最大値と最小値との差が10−6オーダー以下であるという屈折率分布の均質性が要求される。また、複屈折量を減少させること、すなわち光学部材の内部歪を減少させることが、屈折率分布の均質性を向上させることと同様に、光学系の解像度に対して重要である。
さらに、そのような屈折率分布の均質性や歪が高品質であると同時に、透過率が非常に優れている必要がある。例えば、露光装置の照明光学系、投影光学系には、収差補正のために非常に多くのレンズ等が必要になり、そのため光学系全体の総光路長が1000mm以上にも及ぶ場合がある。光学系のスループットを保つためには、使用中の光学部材の吸収係数は0.003cm−1以下であることが望ましい。さらに、そのような高透過率が部材の中心部だけでなく、全域に渡って保たれている必要がある。このため、単に石英ガラスといっても、エキシマレーザステッパのような精密な光学系に使用できるものは限られる。
石英ガラスの中でも、気相合成法と呼ばれる製造方法により得られた合成石英ガラスは、金属不純物が少なく高純度で、そのため波長250nm以下の紫外線領域で高透過性を有し、さらに大口径で均質な石英ガラス光学部材を得ることが可能である。このため、エキシマレーザステッパなどの露光装置の光学系には合成石英ガラスが有望視されている。
発明の開示
しかしながら、ArFエキシマレーザ等を光源とした露光装置において、前述のような優れた特性を有する合成石英ガラスで作製したレンズ等を搭載したにもかかわらず、ウェハ上の露光領域内での照度変動が発生し、均一な露光が非常に困難となるという問題が生じていた。
本発明は、上記従来技術の有する課題に鑑みてなされたものであり、紫外光を用いて露光する場合に、紫外光の吸収及び露光領域における照度変動の発生を防止でき、高解像度且つ均一な露光を行うことが可能な石英ガラス部材を提供することを目的とする。
また、本発明は、光学系における紫外線の吸収を防止すると共に、レチクル面やウェハ上の露光領域内での照度変動を低減して、高解像度且つ均一な露光を行うことができる投影露光装置を提供することを目的とする。
上記課題をするために、本発明の石英ガラス部材は、組成をSiOxと表すときxが1.85以上1.95以下であり、含有される水素分子濃度が1×1016分子/cm3以上5×1018分子/cm3以下であり、且つArFエキシマレーザ光を平均ワンパルスエネルギー密度2mJ/cm2で1×104パルス照射したときの照射終了直前の吸収係数Aと、ArFエキシマレーザ光の照射停止後600秒経過時における第2の吸収係数Bとの差A−Bが0.002cm−1以下のものである。
また、本発明の投影露光装置は、パターンを有するレチクルと、レチクルに所定波長の光を照射する照明光学系と、照明光学系により照射されたレチクル上のパターンをウェハ上に結像させる投影光学系とを備え、照明光学系又は投影光学系の少なくとも一方が、組成をSiOxと表すときxが1.85以上1.95以下であり、含有される水素分子濃度が1×1016分子/cm3以上5×1018分子/cm3以下であり、且つArFエキシマレーザ光を平均ワンパルスエネルギー密度2mJ/cm2で1×104パルス照射したときの照射終了直前の吸収係数Aと、前記ArFエキシマレーザ光の照射停止後10分経過時における第2の吸収係数Bとの差A−Bが0.002cm−1以下である石英ガラス部材を含んで構成されたものである。
本発明によれば、石英ガラス部材の組成、水素分子濃度及び吸収係数が上記特定の条件を満たすことによって、特に低ドーズ領域における吸収発生量が十分に低減されると共に、紫外光の照射と照射停止とを繰り返したときの吸収係数の変動が十分に抑制されるので、石英ガラス部材による紫外線の吸収や露光領域内における照度変動を防止することが可能となる。従って、投影露光装置の照明光学系や投影光学系に本発明の石英ガラス部材を用いることによって、高解像度且つ均一な露光を行うことが可能となる。
本発明の石英ガラス部材においては、吸収係数Aと吸収係数BとがA/B<2で表される条件を満たすことが好ましい。
また、本発明の石英ガラス部材においては、ArFエキシマレーザ光を照射する前の190〜400nmの波長領域内の所定の波長における吸収係数が0.003cm−1以下であることが好ましい。
さらに、本発明の石英ガラス部材においては、径方向の複屈折量分布において該複屈折量の最大値と最小値との差が2.0nm/cm以下であることが好ましい。
さらに、本発明の石英ガラス部材においては、OH基濃度が800ppm以上1300ppm以下であり、且つ径方向のOH基濃度分布において該OH基濃度の最大値と最小値との差が50ppm以下であることが好ましい。
さらに、本発明の石英ガラス部材においては、Naの含有量が20ppb以下であることが好ましい。
発明を実施するための最良の形態
本発明の石英ガラス部材においては、組成をSiOxと表すときxが1.85以上1.95以下であることが必要であり、1.90以上1.95以下のものであることが好ましい。xを前記の範囲内とすることによって、特に低ドーズ領域における吸収発生量を十分に低減することができる。
なお、従来のエキシマステッパ用石英ガラスは、エキシマレーザ耐性を向上させる目的で、より多くの水素を含有させるために強い還元雰囲気下で合成されることが多く、その組成SiOxにおけるxは1.85未満となりやすい。しかし、このように強い還元雰囲気下で合成した場合、酸素欠乏欠陥≡Si−Si≡や、構造欠陥である≡Si−Hがより多く生成してしまう。これらの欠陥は先に述べたE’センターの前駆体であり、ArFエキシマレーザ光やKrFエキシマレーザ光を照射すると容易にE’センターを生成する。従って、xが1.85未満の場合には、紫外光照射時の石英ガラス部材の吸収係数が大きくなるため、十分な光学特性を得ることができない。
一方、酸素過剰な条件下で石英ガラスを合成した場合には、組成SiOxにおけるxが1.95を超える値となりやすい。このように酸素原子の割合が大きくなると、ガラス中にパーオキシリンケージ≡Si−O−O−Si≡が生成しやすくなる。このパーオキシリンケージは、吸収係数が増大する原因となるパーオキシラジカル≡Si−O−O・の前駆体である。従って、xが1.95を超える場合も、吸収係数の増大により十分な光学特性を得ることができない。
また、本発明の石英ガラス部材に含有される水素分子の濃度は1×1016分子/cm3以上5×1018分子/cm3以下であることが必要であり、1×1017分子/cm3以上2.5×1018分子/cm3以下であることが好ましい。水素分子濃度が1×1016分子/cm3未満の場合、紫外光に対する耐久性が不十分となり、紫外光照射の際に透過率の低下が起こりやすくなる。また、水素分子濃度が5×1018分子/cm3を超えると、低ドーズ領域での吸収発生量が増加しやすくなる。
また、本発明の石英ガラス部材においては、ArFエキシマレーザ光を平均ワンパルスエネルギー密度2mJ/cm2で1×104パルス照射したときの照射終了直前の吸収係数Aと、ArFエキシマレーザ光の照射停止後600秒経過時における第2の吸収係数Bとの差A−Bが0.005cm−1以下であることが必要であり、0.004cm−1以下であることが好ましく、0.003cm−1以下であることがより好ましく、0.002cm−1以下であることがさらに好ましく、0.001cm−1以下であることが特に好ましい。A−Bが0.005cm−1を超えると、紫外パルスレーザ光の照射と照射停止とを繰り返したときに露光領域内での照射変動が起こりやすくなり、均一な露光を行うことが非常に困難となる。
本発明者らの知見によれば、前述した照度変動は、石英ガラス部材に対する紫外パルスレーザ光の照射と照射停止との繰り返しに伴って生ずる、石英ガラスの吸収係数の変動に起因しているものと考えられる。すなわち、露光装置における光学部材に対する紫外パルスレーザ光の照射状況について考えてみると、当該光学部材に対して通常数秒から数百秒の周期で紫外パルスレーザ光照射と照射停止とが繰り返されているが、従来の合成石英ガラスでは、後に詳述する図5中の比較例1に示すように、その繰り返しに伴って生ずる吸収係数の変動が大きくなる。そのため、吸収係数の変動に伴って光量も大きく変動し、これにより、ウェハ上の露光領域内での照度変動が発生しやすくなり、均一な露光が非常に困難であったと考えられる。この点について、以下に詳述する。
合成石英ガラスであっても高出力の紫外光やエキシマレーザ光が作用すると、E’センター(≡Si・の構造を持つ。ただし、≡は3重結合ではなく、それぞれ酸素原子と結合する3つの単結合を表し、・は不対電子を表す。)と呼ばれる構造欠陥に起因する215nmの吸収帯や、NBOHC(Non−Bridging Oxygen Hole Center、≡Si−O・の構造を持つ。)と呼ばれる構造欠陥に起因する260nm吸収帯が現れ、紫外領域の透過率が著しく低下するため、前述のような紫外線用光学レンズ材料としては不適切なものがあった。特に215nm吸収帯は、ドーズ量[=(照射エネルギー密度)×(照射時間または照射パルス数)]が小さい場合にも多量に発生する場合がある。この吸収帯は石英ガラス中に含有される水素分子によって緩和し、紫外線照射停止後に吸収係数は急激に低減する。このような吸収係数の増加・低下はある時定数をもって発生する。
ここで、露光装置中における光学素子に対する紫外線照射挙動について考えてみると、通常数秒から数百秒の周期で紫外光照射と照射停止とが繰り返されている。つまり、ある照射間隔を持って低ドーズ量の照射が繰り返されていることになる。このとき上述のような吸収が発生すると、照射時と照射停止時において吸収係数の増加と低減が繰り返されることになる。この変動幅が大きいことによって、吸収帯の発生は時定数を持っているためにウェハ上の光量が変化する時間が長くなる、つまりウェハ上の光量むらが大きくなるという現象が生じ、十分な解像度が得られなくなる。
なお、従来の合成石英ガラス部材を有する装置の例として投影露光装置について述べたが、合成石英ガラス部材を有する他の装置においても、合成石英ガラス部材に対する紫外パルスレーザ光の照射と照射停止との繰り返しに伴って生ずる石英ガラスの吸収係数の変動は、当該装置の光学特性の低下を招く。
本発明の石英ガラス部材において、吸収係数Aと吸収係数Bとの比A/Bは、A/B<2であることが好ましく、A/B<1.8であることがより好ましく、A/B<1.5であることがさらに好ましく、A/B<1.3であることが特に好ましい。A/Bが上記の条件を満たすと、紫外パルスレーザ光等の紫外光の照射と照射停止との繰り返しに伴って生ずる吸収係数の変動量をさらに低減でき、照度変動をより確実に抑制することができる。
本発明の石英ガラス部材では、ArFエキシマレーザ照射前の190〜400nmの波長領域内の所定の波長における吸収係数が0.003cm−1以下であると、例えば、投影露光装置の光学系に用いた場合であっても、当該光学系のスループットを保つことができ、好ましい。
さらに、本発明の石英ガラス部材では、径方向における複屈折量分布の最大値と最小値との差が2.0nm/cm以内であれば、内部歪みが減少し、当該部材を用いた光学系の解像度が向上するので、好ましい。
また、本発明の石英ガラス部材では、OH基濃度が800〜1300ppmであれば、紫外光に対する耐久性が向上するので、好ましい。
さらに、本発明の石英ガラス部材では、径方向におけるOH基濃度分布の最大値と最小値との差が50ppm以下であれば、複屈折量の分布が小さくなるので、好ましい。本発明者らは、石英ガラスの複屈折分布が石英ガラスの構造分布(SiO2の結合角分布)や不純物分布などに大きく影響されていることを発見した。特にOH基濃度分布の影響が強く、石英ガラス部材の径方向におけるOH基濃度分布の最大値と最小値との差を50ppm以下とすることにより、複屈折の小さい石英ガラスが得られることを見いだした。
また、本発明の石英ガラス部材では、Naの含有量が20ppb以下であれば、透過率が高まるので、好ましい。
また、本発明の石英ガラス部材では、その塩素濃度が0.1ppm以下であれば、紫外光に対する耐久性が向上する(すなわち、長期に渡って紫外光照射を行っても透過率の劣化が少なくなる)とともに、製造装置から排出される塩酸を低減することができるので、好ましい。本発明の石英ガラスの製造に際し直接法を用いる場合、塩素を実質的に含有しない、四フッ化ケイ素に代表されるフッ化ケイ素化合物や、有機ケイ素化合物を原料とすることによって、得られる石英ガラス中に塩素は実質的に含有しなくなり、塩素濃度を0.1ppm以下にすることができる。
なお、前述したように、本発明の石英ガラス部材は、最終製品としてのレンズ等の光学部材の他に、光学部材を作製するための半製品も含む。また、光学系に組み込まれるレチクル等のフォトマスク基板としても使用可能である。
本発明の石英ガラス部材を製造する際には、石英ガラスの組成、水素分子濃度、吸収係数を考慮して適度な還元雰囲気下で石英ガラスを合成することが好ましい。本発明者らは、合成実験により適切な還元雰囲気を検討した結果、後述するように、石英ガラス合成時の燃焼ガス中で水素ガス過剰となる領域を内側のみとし、周辺部では化学量論比に近い比率とすることで、上述の組成を有し、低ドーズ領域における吸収発生量が実用上問題ないレベルに抑制された石英ガラスが得られることを見出した。以下、本発明の石英ガラス部材を得るための好ましい製造方法について説明する。
本発明にかかる製造方法は、炉と、この炉の内側空間内に位置するターゲットと、噴出口がターゲットに向けて設置された多重管バーナとを用いて、火炎加水分解を行い、ターゲット上にガラス微粒子を堆積かつ溶融させて石英ガラスインゴットを得る工程を含むものである。バーナとしては、中心部に配置され原料であるケイ素化合物を含むガスを噴出する原料噴出管と、各々の群が原料噴出管の周囲に同心円状に配置されて酸素ガス及び水素ガスを噴出する複数の酸水素噴出管群とを有するものが用いられる。そして、複数の酸水素噴出管群のうち、最も外側に位置する酸水素噴出管群以外の各群の酸水素噴出管群については、当該酸水素噴出管群から噴出させる酸素ガスの水素ガスに対する流量比率が0.29以上0.4以下の範囲とされる。また、複数の酸水素噴出管群のうち、最も外側に位置する酸水素噴出管群については、当該酸水素噴出管群から噴出させる酸素ガスの水素ガスに対する流量比率が0.4から理論等量比までの範囲とされる。これにより、組成、含有される水素濃度、並びに吸収係数が上記特定の条件を満たす本発明の石英ガラス部材を好適に得ることができる。
ここで、理論等量比とは、原料であるケイ素化合物が酸素ガス及び水素ガスにより加水分解して石英ガラスが合成される際に、酸素と水素とが過不足なく供給されるときの水素ガス流量に対する酸素ガス流量の比であり、加水分解の化学反応式に基づいて求められるものである。例えば、四塩化ケイ素を原料に用いる場合には、化学反応式:
SiCl4+O2+2H2→SiO2+4HCl
により、理論等量比は0.5となる。
このようにして得られた石英ガラス部材について、900℃以上で10時間以上保持した後、毎時10℃以下の降温速度で500℃以下まで降温し、その後放冷する熱処理を行うことが好ましい。
また、得られた石英ガラス部材を、500℃以上で100時間以上保持した後、放冷する熱処理を行うことが好ましい。
一方、合成条件が従来の水素過剰条件である直接法により合成された石英ガラスであっても、合成終了後に、水素分子濃度が低減するように熱処理する水素低減熱処理工程を行えば、本発明の石英ガラスを得ることが可能である。この水素低減熱処理工程は、例えば、直接法で合成された石英ガラスを、窒素ガス中あるいはその他の不活性ガス中あるいは水素ガス以外の還元ガス中あるいは水素分子を含まないその他のガス中あるいは真空中あるいは0.1気圧以下のガス中において、保持温度500〜900℃、保持時間100〜1000時間の条件で熱処理する工程とすればよい。この水素低減熱処理工程は、特に、組成SiOxにおけるxを1.85以上とする場合や、水素分子濃度を1×1016分子/cm3以下にする場合に有効である。
またさらに、前述の水素低減熱処理を行った石英ガラスや、酸素過剰条件で合成された石英ガラスについて、後述する水素増加熱処理工程を行うことによって、本発明の石英ガラスの特性を損なわずに、組成SiOxにおけるxを低減したり水素分子濃度を高めたりすることができる。例えば、水素低減熱処理工程を経た石英ガラスを、水素ガスを0.1〜100%含む1〜10気圧のガス中で、保持温度100〜500℃、保持時間100〜10000時間の条件で熱処理する工程とすればよい。この水素増加熱処理工程により、水素分子濃度を5×1017〜3×1018分子/cm3の範囲内とすることができ、紫外光に対する耐久性をより向上させることができる。また、xを1.95以下にして、石英ガラス部材の吸収係数を低減することも可能である。
次に、本発明の投影露光装置について説明する。本発明はフォトレジストでコートされたウェハ上にレチクルのパターンのイメージを投影するための、ステッパと呼ばれるような投影露光装置において特に有用である。
図1は、本発明の投影露光装置の好適な一実施形態を模式的に示す概略構成図である。図1に示した投影露光装置は、表面3aに置かれた感光剤7を塗布した基板8(これら全体を単に「基板W」と呼ぶ。)を置くことのできるウェハステージ3,露光光として用意された波長の真空紫外光を照射し、基板W上に用意されたマスクのパターン(レチクルR)を転写するための照明光学系1,照明光学系1に露光光を供給するための光源100,基板W上にマスクRのパターンのイメージを投影するためのマスクRが配された最初の表面P1(物体面)と基板Wの表面と一致させた二番目の表面(像面)との間に置かれた投影光学系5、を含む。照明光学系1は、マスクRとウェハWとの間の相対位置を調節するための、アライメント光学系110も含んでおり、マスクRは、ウェハステージ3の表面に対して平行に動くことのできるレチクルステージ2に配置される。レチクル交換系200は、レチクルステージ2にセットされたレチクル(マスクR)を交換し運搬する。レチクル交換系200は、ウェハステージ3の表面3aに対してレチクルステージ2を平行に動かすためのステージドライバーを含んでいる。投影光学系5は、スキャンタイプの露光装置に応用されるアライメント光学系を持っている。
この露光装置において、本発明の石英ガラス部材(例えば、光学レンズ)が使用される。具体的には、例えば、図1に示した露光装置は、照明光学系1の光学レンズ9および投影光学系5の光学レンズ10のうちのいずれか一方又は両方として、本発明にかかる光学レンズを備えることが可能である。この露光装置によれば、紫外パルスレーザ光等の紫外光の照射と照射停止との繰り返しに伴って生ずる吸収係数の変動量が小さくなる石英ガラス部材を備えているため、基板3上の露光領域内での照度変動が十分に抑制されるので、より均一な露光が可能になる。
ここで、図2を参照しつつ、本発明の光学部材を用いて構成される投影光学系5についてより具体的に説明する。図2は本発明にかかる投影光学系5の好適な一例を示す概略構成図である。投影光学系5は、第1物体としてのレチクルR側より順に、正のパワーの第1レンズ群G1と、正のパワーの第2レンズ群G2と、負のパワーの第3レンズ群G3と、正のパワーの第4レンズ群G4と、負のパワーの第5レンズ群G5と、正のパワーの第6レンズ群G6とから構成されている。そして、物体側(レチクルR側)及び像側(ウェハW側)においてほぼテレセントリックとなっており、縮小倍率を有するものである。また、この投影光学系のN.A.は0.6、投影倍率が1/4である。
この投影光学系において、L11〜L44、L51〜L62、L64、L68〜L610は石英ガラスからなるレンズが用いられ、L45、L46、L63、L65、L66、L67の6枚のレンズにはフッ化物結晶からなるものが用いられる。このとき、本発明の石英ガラス部材からなるレンズの光路長が、石英ガラス部材からなるレンズL11〜L44、L51〜L62、L64、L68〜L610の光路長の総和の10%以上(より好ましくは50%以上)であることが好ましく、レンズL11〜L44、L51〜L62、L64、L68〜L610の全てが本発明の光学部材であることが特に好ましい。
[実施例]
以下、実施例及び比較例に基づいて本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に何ら限定されるものではない。
実施例1〜4、比較例1、2
(石英ガラス部材の作製)
実施例1〜4及び比較例1、2では、図3に示した合成石英ガラス製造装置21を用いて合成石英ガラス部材を作製した。
合成石英ガラス製造装置21の炉22は、炉枠23と、この炉枠23内に設けられた耐火物24と、これらが載せられる炉床板25とを有して構成される。退化物24は、純度99%のアルミナ製である。耐火物24の内部にはインゴットIG形成用のターゲット26に噴出口27aを向けて設置された石英ガラス合成用の多重管バーナ27を有しており、ターゲット26上に石英ガラス微粒子を堆積しガラス化させるようになっている。また、炉枠23には石英ガラスの合成時に炉内に発生するHClなどの廃ガスを炉外に排出させるための排気口32が形成され、この排気口32には排気管33が接続されている。更に、炉の外部から炉内を観察するため、炉内監視用窓34が形成されている。この炉内監視用窓34の外側にはCCDカメラ等の炉内監視用カメラ36が設けられており、炉内の撮影ができるようになっている。図中、35は窓34の開閉蓋である。
噴出口側から見た石英ガラス合成用バーナ27の構成を図4に示す。このバーナ27は、中心部に配置されかつ原料ガスおよびこれを希釈するキャリアガスを噴出させるための第一の管(原料噴出管)41と、第一の管41の周囲に同心円状に配置された第二の管42と、該二の管42の周囲に同心円状に配置された第三の管43と、第三の管43の周囲に同心円状に配置された第四の管44と、第三の管43の外周と第四の管44の内側との間に配置された複数の第五の管45とを備えている。
原料ガスが塩化ケイ素化合物の場合、バーナ27の先端部の噴出口27aにおいて、第一の管41と第二の管42との間から酸素ガス1を噴出させ、第二の管42と第三の管43との間から水素ガス1を噴出させ、第三の管43と第四の管44との間から水素ガス2を噴出させ、複数の第五の管45から酸素ガス2を噴出させた。また、原料ガスが有機ケイ素化合物の場合には、バーナ27の先端部の噴出口27aにおいて、第一の管41と第二の管42との間から水素ガス1を噴出させ、第二の管42と第三の管43との間から酸素ガス1を噴出させ、第三の管43と第四の管44との間から水素ガス2を噴出させ、複数の第五の管45から酸素ガス2を噴出させた。
以上の説明からわかるように、原料ガスが塩化ケイ素化合物及び有機ケイ素化合物のいずれの場合であっても、第二の管42及び第三の管43が、原料噴出管41の周囲に同心円状に配置されて酸素ガス1及び水素ガス1を噴出する第一群の酸水素噴出管群を構成し、第四の管44及び複数の第五の管45が、原料噴出管41の周囲に同心円状に配置されて酸素ガス2及び水素ガス2を噴出する第二群の酸水素噴出管群を構成している。
この合成石英ガラス製造装置21を用いて、バーナ27の先端部の噴出口27aから、酸素ガス及び水素ガスを噴出させて混合・燃焼させた。同時に、原料として高純度(純度99.99%以上)の塩化ケイ素化合物又は有機ケイ素化合物のガスをキャリアガス(原料ガスが塩化ケイ素化合物の場合には酸素ガス1.8slm、原料ガスが有機ケイ素化合物の場合には窒素ガス4slm)で希釈して、バーナ27の中心の原料噴出管41から、表1に示した流量で噴出させた。これにより、燃焼火炎中で酸化反応により石英ガラス微粒子(スート)を発生させ、この微粒子を、φ200mmの石英ガラス製ターゲット26の上部に堆積させ、同時に火炎の熱によって溶融して、実施例1〜4及び比較例1,2の合成石英ガラスインゴットIGを合成した。このとき、ターゲット26は、1分間に7回転の速度で回転させ、80mmの移動距離で水平方向に90秒周期で揺動させ、一定の降下速度(原料が塩化ケイ素化合物の場合には毎時2.4mm、原料が有機ケイ素化合物の場合には毎時1.6mm)で引き下げを行った。
実施例1〜4及び比較例1、2の石英ガラスインゴット作製時の、合成条件の一覧を表1に示す。すなわち、表1には、実施例1〜4及び比較例1,2の石英ガラスインゴット作製時の、原料の種類、原料流量、酸素ガス1の噴出流量と水素ガス1の噴出流量との比(レシオ1=酸素ガス1流量/水素ガス1流量)、酸素ガス2の噴出流量と水素ガス2の噴出流量との比(レシオ2=酸素ガス2流量/水素ガス2流量)の各設定条件が示されている。なお、水素ガス1、2及び酸素ガス1、2は、前述したバーナ27の噴出口27aの各箇所から噴出される水素ガス又は酸素ガスを示している。
表1に示すように、原料ガスとして、実施例1,2及び比較例1では塩化ケイ素化合物としての四塩化ケイ素(SiCl4)を、実施例3、4及び比較例2では有機ケイ素化合物としてのオクタメチルシクロテトラシロキサン[化学式:(Si(CH3)2O)4、略字:OMCTS]を、それぞれ用いた。
実施例1〜4及び比較例1,2の各石英ガラスインゴットの径方向中心部、最上面(インゴットヘッド)から100mm内部のところから、直径280mm、厚さ40mmの円柱状のブロック材をそれぞれ切り出した。
これらのブロック材に対する熱処理条件を表1に示す。実施例1、3、4及び比較例2のブロック材については、大気雰囲気中、大気圧の熱処理炉において、保持温度1000℃で10時間保持した後、毎時10℃で500℃まで降温し、その後放冷する熱処理を施した。また、実施例2のブロック材については、窒素ガス雰囲気中、大気圧の熱処理炉において、保持温度800℃で100時間保持した後、毎時10℃で500℃まで降温し、その後放冷する熱処理を施した。この熱処理は、500℃以上で100時間以上保持した後に放冷する熱処理の一種である。一方、比較例1のブロック材については、何ら熱処理を行わなかった。
(複屈折量の測定)
各実施例1〜4及び比較例1、2のブロック材全面の複屈折率分布(複屈折量分布)は、位相変調法を用いた複屈折率測定装置を用いて測定した。ブロック材の面内で直交する2方向の直径について5mmピッチで複屈折率量の分布を測定した。実施例、比較例の合成ガラスインゴットは回転しながら合成しているため、複屈折率の分布は回転対称になっていることが確認されており、2方向の直径についての測定でブロック面内の複屈折率分布を推測することができる。そして、各ブロック材について、このようにして測定した径方向における複屈折量分布の最大値と最小値との差を算出した。その結果を複屈折量分布の差として表2に示す。複屈折量分布の差は、比較例1,2では2.0nm/cmより大きいのに対し、実施例1〜4では2.0nm/cm以内であり均質であった。
(OH基濃度及び水素分子濃度の測定)
OH基濃度及び水素分子濃度はレーザラマン分光法により測定した。OH基濃度は、石英ガラスの基本構造の振動に起因する800cm−1のラマン散乱光に対する、OH基の振動に起因する3690cm−1のラマン散乱光の強度比に基づいて算出した。また、水素分子濃度は、800cm−1のラマン散乱光に対する、水素分子の振動に起因する4135cm−1のラマン散乱光強度比に基づいて算出した。OH基濃度分布は、複屈折率分布と同様に、直交する2方向の直径について5mmピッチで測定した。水素分子濃度は、ブロック中心付近(後で透過率評価用試験片を切り出す部分)について測定した。なお、測定に際し、複屈折率の分布と同様に、OH基濃度、水素分子濃度は回転対称の分布となっていることを予め確認した。各ブロック材について、前述したようにして測定した径方向におけるOH基濃度分布の最大値と最小値との差を算出した。その結果を、OH基濃度分布の差として表2に示す。また、表2には、前述したようにして測定したOH基濃度(ブロック材の中心付近の濃度)及び水素分子濃度も示している。水素分子濃度は、実施例1〜4では1×1016分子/cm3以上5×1018分子/cm3以下であるのに対し、比較例1、2ではこの範囲から外れていた。OH基濃度は、実施例1〜4及び比較例2では800〜1300ppmであり、比較例1ではこの範囲から外れていた。また、OH基濃度分布の差は、実施例1〜4及び比較例2では50ppm以下と良好であったのに対し、比較例1では50ppmより大きくて均質性が不十分であった。
(組成SiOxの分析)
また、実施例1〜4及び比較例1、2では、組成SiOxにおけるxは表2に示す通りであった。このxは、マイクログラム法によって求めた。このxは、実施例1〜4では1.85以上1.95以下であるのに対し、比較例1、2ではこの範囲から外れていた。
(吸収係数の測定1)
次に、実施例1〜4及び比較例1、2のブロック材の中心付近から研磨面φ60mm、厚さ10mm又は研磨面15×15mm、長さ100mmの形状を持つ試験片を、各インゴットにつき1個ずつ切り出した。これらの試験片を透過率評価用の試験片とした。これらの試験片は、互いに向かい合う2面(φ60mm面又は15×15mm面)の平行度が10秒以内、片面ごとの平坦度がニュートンリング3本以内、片面ごとの表面粗さがrms=10オングストローム以下になるように精密研磨を施し、最終的に試験片の厚さが10±0.1mm又は長さが100±0.1mmとなるように研磨した。さらに、表面に研磨剤が残留しないように、高純度SiO2粉による仕上げ研磨加工を施した。
このようにして得られた試験片の波長190〜400nmの領域での内部損失係数を、特開平7−63680号公報及び特開平11−211613号公報に開示された方法で調整された分光光度計を用いて測定した。内部吸収係数は、内部損失係数から内部散乱係数を引くことによって算出した。ArFエキシマレーザの発振波長である193.4nmにおける合成石英ガラスの内部損失係数は0.0015cm−1と求められており、試験片の193.4nmにおける吸収係数は内部損失係数からその内部散乱損失値を引いた値である。すべての試験片の、イニシャルの(ArFエキシマレーザ照射前の)193.4nmにおける吸収係数は、0.003cm−1以下であった。
次に、各試験片に対して、ArFエキシマレーザによるパルスレーザ光を表2に示す平均ワンパルスエネルギー密度で1×104パルス照射する照射段階と、これに引き続く表2に示す経過時間の照射停止段階とを、1ユニットとして、このユニットを複数回繰り返しながら、当該試験片の吸収係数を測定した。その測定結果のうち、実施例2、3及び比較例1の測定結果を図5に示す。そして、各試験片について、各々のユニットにおける前記照射段階の終了直前の吸収係数と前記照射停止段階の終了時の吸収係数との差を求めた。表2には、この吸収係数の差も示している。実施例1〜4では、この吸収係数の差が0.005cm−1以下であり、吸収係数の変動量が小さいのに対し、比較例1、2では吸収係数の差が0.005cm−1より大きく、吸収係数の変動量が大きいことがわかる。
(吸収係数の測定2)
また、各試験片にArFエキシマレーザ光を平均ワンパルスエネルギー密度2mJ/cm2で1×104パルス照射したときの照射終了直前の吸収係数Aと、ArFエキシマレーザ光の照射停止後600秒経過時における吸収係数Bとを測定し、その差A−Bを算出した。得られた結果を表3に示す。
(Na濃度の測定)
また、Na濃度の測定は、各実施例1〜4及び比較例1、2の各ブロック材における透過率評価用の試験片に隣接した部分から、Na分析用試料を切り出し、熱中性子線照射による放射化分析によって行った。Na濃度は、実施例1〜4及び比較例2の試験片では5ppmより低く、比較例1では21ppmであった。
実施例5〜12
(石英ガラス部材の作製)
実施例5〜12の石英ガラスを、図3に示した合成石英ガラス製造装置21を用いて作製した。なお、実施例5〜12では図6に示す構成を有するバーナを用いた。
図7は、噴出口側から見た石英ガラス合成用バーナ27を示す概略構成図である。このバーナは、中心部に配置されかつ原料ガスおよびこれを希釈するキャリアガスを噴出させるための第一の管41と、第一の管41の周囲に同心円状に配置された第二の管42と、該二の管42の周囲に同心円状に配置された第三の管43と、第三の管43の周囲に同心円状に配置された第四の管44と、第三の管43の外周と第四の管44の内側との間に配置された複数の第五の管45と、第四の管44の周囲に同心円状に配置された第六の管46と、第四の管44の外周と第六の管46の内周との間に配置された複数の第七の管47とを備えている。各管41〜47の寸法(mm)は、下記の表4の通りであった。
原料ガスが塩化ケイ素化合物あるいはフッ化ケイ素化合物の場合、バーナ27の先端部の噴出口27aにおいて、第一の管41と第二の管42との間から酸素ガス1を噴出させ、第二の管42と第三の管43との間から水素ガス1を噴出させ、第三の管43と第四の管44との間から水素ガス2を噴出させ、複数の第五の管45から酸素ガス2を噴出させ、第四の管44と第六の管46との間から水素ガス3を噴出させ、複数の第七の管47から酸素ガス3を噴出させた。また、原料ガスが有機ケイ素化合物の場合には、バーナ27の先端部の噴出口27aにおいて、第一の管41と第二の管42との間から水素ガス1を噴出させ、第二の管42と第三の管43との間から酸素ガス1を噴出させ、第三の管43と第四の管44との間から水素ガス2を噴出させ、複数の第五の管45から酸素ガス2を噴出させ、第四の管44と第六の管46との間から水素ガス3を噴出させ、複数の第七の管47から酸素ガス3を噴出させた。
この合成石英ガラス製造装置21を用いて、バーナ27の先端部の噴出口27aから、酸素ガス及び水素ガスを噴出させて混合・燃焼させた。同時に、原料として高純度(純度99.99%以上で、金属不純物Fe濃度が10ppb以下、Ni、Cr濃度が2ppb以下。)の塩化ケイ素化合物、フッ化ケイ素化合物又は有機ケイ素化合物のガスをキャリアガス(塩化ケイ素化合物、フッ化ケイ素化合物原料の場合、酸素ガス1.8slm、有機ケイ素化合物原料の場合、窒素ガス:流量3.5slm)で希釈して、バーナ27の中心の第一の管41から、原料流量を下記の表2に示した設定流量として噴出させた。これにより、燃焼火炎中で酸化反応により石英ガラス微粒子(スート)を発生させ、この微粒子を、石英ガラス製ターゲット26の上部に堆積させ、同時に火炎の熱によって溶融して、実施例1〜12及び比較例1〜4の合成石英ガラスインゴットIG(直径300〜350mm、長さ600〜800mm)を合成した。このとき、ターゲット26は、1分間に7回転の速度で回転させ、80mmの移動距離で90秒周期で揺動させ、下記の表5に示す降下速度で引き下げた。
下記の表5及び表6に、実施例5〜12及び比較例3、4の石英ガラスインゴット作製時の、合成条件の一覧を示す。すなわち、表5及び表6は、実施例5〜12及び比較例3、4の石英ガラスインゴット作製時の、原料の種類、原料流量、インゴット降下速度、水素ガス1〜3の流量、酸素ガス1〜3の流量、酸素ガス1の噴出流量と水素ガス1の噴出流量との比(レシオ1=酸素ガス1流量/水素ガス1流量)、酸素ガス2の噴出流量と水素ガス2の噴出流量との比(レシオ2=酸素ガス2流量/水素ガス2流量)、酸素ガス3の噴出流量と水素ガス3の噴出流量との比(レシオ3=酸素ガス3流量/水素ガス3流量)の各設定条件を示している。なお、水素ガス1〜3及び酸素ガス1〜3は、前述したバーナ27の噴出口27aの各箇所から噴出される水素ガス又は酸素ガスを示している。
表5に示すように、原料ガスとして、実施例5、6では塩化ケイ素化合物としての四塩化ケイ素(SiCl4)を、実施例7、8ではフッ化ケイ素化合物としての四フッ化ケイ素(SiF4)を、実施例9、10では有機ケイ素化合物としてのヘキサメチルジシロキサン[化学式:(CH3)3SiOSi(CH3)3、略称:HMDS]を、実施例11、12では有機ケイ素化合物としてのオクタメチルシクロテトラシロキサン[化学式:(Si(CH3)2O)4、略称:OMCTS]を、それぞれ用いた。
実施例5〜12の各石英ガラスインゴットの径方向中心部、最上面(インゴットヘッド)から100mm内部のところから、直径280mm、厚さ200mmの円柱状のブロック材をそれぞれ切り出した。
切り出した直径280mm、厚さ200mmのブロック材に対して、アニール(徐冷)処理を行った。アニール条件は全て同じで、空気中1000℃まで昇温し、10時間保持した後、500℃まで10℃/時で徐冷(降温)し、500℃で放冷した。
実施例5、7、9、11のブロック材については、アニール後の熱処理を行わなかった。
また、実施例6、8、10、12のブロック材については、インゴットから切り出した後、窒素ガス雰囲気で大気圧の熱処理炉において、保持温度800℃、保持時間500時間の熱処理を行い、更にその後に、水素ガス100%の雰囲気で内部圧力6気圧の熱処理炉において、保持温度450℃、保持時間720時間の熱処理を行った。
(組成SiOxの分析)
実施例5〜12の石英ガラス部材について、組成SiOxにおけるxを表7に示す。このxは、マイクログラム法によって求めたものであり、いずれも1.85以上1.95以下の範囲内であった。
(吸収係数の測定)
実施例5〜12の各ブロック材の中心部から、研磨面15×15mm、長さ100mmの形状を持つ試験片を各インゴットにつき1個づつ切り出した。これらの試験片を透過率評価用の試験片とした。これらの試験片は、互いに向かい合う2面(15×15mm面)の平行度が10秒以内、片面ごとの平坦度がニュートンリング3本以内、片面ごとの表面粗さがrms=10オングストローム以下になるように精密研磨を施し、最終的に試験片の厚さが10±0.1mmとなるように研磨した。さらに、表面に研磨剤が残留しないように、高純度SiO2粉による仕上げ研磨加工を施した。
このようにして得られた試験片の波長190〜400nmの領域での内部損失係数を、特開平7−63680号公報及び特開平11−211613号公報に開示された方法で調整された分光光度計を用いて測定した。内部吸収係数は、内部損失係数から内部散乱係数を引くことによって算出した。ArFエキシマレーザの発振波長である193.4nmにおける合成石英ガラスの内部損失係数は0.0015cm−1と求められており、試験片の193.4nmにおける吸収係数は内部損失係数からその内部散乱損失値を引いた値である。すべての試験片の、イニシャル(光照射前)の193.4nmにおける吸収係数は0.001cm−1以下であった。
次に、試験片にArFエキシマレーザによるパルスレーザ光の照射を行い、照射によって発生した照射中の吸収係数A、照射を停止してから600秒後の吸収係数Bを測定した。ArFエキシマレーザによる照射条件は、平均ワンパルスエネルギー密度2mJ/cm2、照射パルス数1×105パルスとした。測定した吸収係数A,Bから差A−B及び比率A/Bを算出した。得られた結果を表7に示す。
また、実施例7で得られた石英ガラス部材について、平均ワンパルスエネルギー密度2mJ/cm2の照射条件でのArFエキシマレーザによる照射と照射停止を繰り返しながら、吸収係数を測定した。その測定結果を図7に示す。図7において、照射を停止したときの照射積算パルス数に矢印を付し、その際の照射停止時間を記載している。なお、図中、例えば「1.0E+05」は1.0×105を意味している。
図7からわかるように、実施例7の石英ガラス部材においては、ArFエキシマレーザによる照射と照射停止とを複数回繰り返した場合であっても、吸収係数の変動が小さいことが確認された。
(水素分子濃度及びOH基濃度の測定)
次に、水素分子濃度、OH基濃度の測定について説明する。これらの測定は、レーザラマン分光光度計を用いて行った。波長488nmのアルゴンイオンレーザ(出力400mW)を試験片に入射させ、入射光方向と直角方向に放射されるラマン散乱光のうち800cm−1(石英ガラスの基本構造の振動に起因するピーク:参照光)と4135cm−1(水素分子の振動に起因するピーク)および3690cm−1(OH基の振動に起因するピーク)の強度を測定し、その強度比に基づいて水素分子濃度、OH基濃度の測定行った。それらの測定結果も表7に示している。
(不純物濃度の測定)
また、実施例5〜12の各ブロック材における透過率評価用の試験片に隣接した部分から、10mm×10mm×5mmのCl、Na、K分析用試料を切り出した。これらの不純物濃度の定量は、熱中性子線照射による放射化分析によって行った。また、実施例5〜12及び比較例3、4の各ブロック材におけるCl、Na、K分析用試料に隣接する場所から、アルカリ土類金属、遷移金属およびAlの元素分析用の試料を切り出した。各元素の定量は、誘導結合型プラズマ発光分光法により行った。全ての試験片のNa濃度は0.001ppm以下であり、193.4nmの吸収損失に何らの影響も与えないことを確認した。さらに、四塩化ケイ素原料を用いて合成した実施例5、7の試験片では、塩素濃度は20〜60ppmであった。また、四フッ化ケイ素又は有機ケイ素を原料として合成された実施例6、8〜12及び比較例3、4の全ての試験片の塩素濃度は、検出下限(0.1ppm)以下であった。さらに、実施例5〜12及び比較例3、4の全ての試料でK濃度は検出下限(50ppb)以下であった。また、実施例5〜12の全ての試料で、アルカリ土類金属のMg、Ca、遷移金属のSc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、そしてAlの各元素濃度は、20ppb以下であった。
(投影光学系及び投影露光装置の作製)
実施例2の石英ガラス部材を複数枚用いて、ArFエキシマレーザを光源とする露光装置の投影レンズを作製し投影光学系を組み立てた。得られた投影光学系の解像度はラインアンドスペースで0.19μm以下を達成した。この投影レンズを露光装置に搭載したところ、シリコンウェハ上の露光領域内での照度変動が発生せず、均一露光が可能になり、ArFエキシマレーザステッパとして良好な結像性能を得ることができた。実施例1、3〜12の石英ガラス部材を用いた場合も同様の結果が得られた。
一方、比較例2の合成石英ガラス部材を複数枚用いて、ArFエキシマレーザを光源とする露光装置の投影レンズを作製し、投影光学系を組み立てたところ、この投影光学系を搭載した露光装置は、シリコンウェハ上の露光領域内での照度変動が発生し、均一露光ができなかった。
(照明光学系の作製及び照度変動の評価)
ArFビームレーザ導入部、ビーム整形光学系、リレーレンズからなる照明光学系を作製するに際し、上記の構成において、レチクル面上の照度変動に最も大きく影響を与えるリレーレンズ群(全て石英ガラス部材によって構成される。総光路長:400mm)の石英ガラス部材の全てに実施例2の石英ガラス部材を適用した。
得られた照明光学系を、ArFエキシマレーザを光源に用いて照度変動の評価を行ったところ、照度変動率は0.5%程度であった。なお、ここでいう照度変動率とは、レチクル面での照度変動を、レーザーの照射時と照射停止時との照度比率で表した値を意味する。同様の効果は投影光学系においても確認された。
また、実施例2の石英ガラス部材の代わりに比較例3の石英ガラス部材を用いたこと以外は上記と同様にして、照明光学系を作製し、照度変動の評価を行った。その結果、照度変動率は4%程度であった。
なお、本発明は上記の実施形態及び実施例に限定されるものではない。例えば、本発明の石英ガラス部材は、投影露光装置以外の短波長レーザを用いた加工装置、測定装置などの装置において用いることもできる。
産業上の利用可能性
以上説明した通り、本発明の石英ガラス部材及び投影露光装置によれば、照明光学系や投影光学系における紫外光の吸収を防止すると共に、レチクル面やウェハ上の露光領域内での照度変動を低減して、高解像度且つ均一な露光を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
図1は本発明の投影露光装置の好適な一実施形態を示す概略構成図である。
図2は本発明にかかる投影光学系の一例を示す概略構成図である。
図3は実施例で用いた合成石英ガラス製造装置の構成を示す模式断面図である。
図4は実施例1〜4及び比較例1〜3で用いたバーナの構成を示す説明図である。
図5は、実施例2、3及び比較例1において、ArFエキシマレーザによる照射と照射停止とを繰り返したときの吸収係数を示すグラフである。
図6は実施例5〜12で用いたバーナの構成を示す説明図である。
図7は、実施例7において、ArFエキシマレーザによる照射と照射停止とを繰り返したときの吸収係数を示すグラフである。
本発明は、石英ガラス部材及び投影露光装置に関するものである。より詳しくは、本発明は、例えばArFエキシマレーザ等の紫外光を発生する光源を用いる装置、例えば投影露光装置、CVD装置、レーザ加工装置などの光学系に用いられるレンズ、プリズム、プレート等の光透過性の光学部材に用いられる石英ガラス部材、並びにその石英ガラス部材を用いた投影露光装置に関するものである。
なお、本発明でいう石英ガラス部材とは、光学系に用いられるレンズ、プリズム、ミラー、プレート等の光学部材(最終製品)の他、石英ガラスインゴットやその一部分を切り出した部材(光学部材を作製するための半製品(素材))も含むものである。
背景技術
シリコン等のウェハ上に集積回路の微細パターンを露光・転写する光リソグラフィー技術においては、ステッパと呼ばれる露光装置が用いられる。このステッパの光学系は、光源からの光を集積回路パターンが描かれたレチクル上に均一に照明する照明光学系と、レチクルの集積回路パターンを所定の縮小倍率(例えば1/5)でウェハ上に投影・転写する投影光学系とで構成されている。
ステッパ等の露光装置の光源は、近年のLSIの高集積化に伴ってg線(436nm)からi線(365nm)、さらにはKrF(248.3nm)やArF(193.4nm)エキシマレーザへと短波長化が進められている。VLSIの中でDRAMを例に挙げれば、LSIからVLSIへと展開されて容量が1K→256K→1M→4M→16M→64M→256Mと増大してゆくにつれ、加工線幅がそれぞれ10μm→2μm→1μm→0.8μm→0.5μm→0.3μm→0.2μmとなり、より微細な最小加工線幅が露光可能な露光装置が要求されるようになってきた。この場合には光源としてエキシマレーザなどの250nm以下の紫外線又は真空紫外線を用いることになる。
一般的に、i線より長波長の光源を用いたステッパの照明光学系又は投影光学系のレンズ部材として用いられる光学ガラスは、i線よりも短い波長領域では光透過率が急激に低下し、特に250nm以下の波長領域ではほとんどの光学ガラスでは透過しなくなってしまう。そのため、エキシマレーザを光源としたステッパの光学系に使用可能な材料は石英ガラスや一部の結晶材料に限られる。中でも石英ガラスはエキシマレーザステッパのみならず一般の紫外、真空紫外線の光学系に広く用いられている材料である。
投影露光装置において、集積回路パターンを大きな面積で且つ高解像度で露光するためには、その光学系に用いられる石英ガラス光学部材には高品質が要求される。例えば、直径250mm程度の非常に大きな口径の部材であっても、部材の屈折率分布の最大値と最小値との差が10−6オーダー以下であるという屈折率分布の均質性が要求される。また、複屈折量を減少させること、すなわち光学部材の内部歪を減少させることが、屈折率分布の均質性を向上させることと同様に、光学系の解像度に対して重要である。
さらに、そのような屈折率分布の均質性や歪が高品質であると同時に、透過率が非常に優れている必要がある。例えば、露光装置の照明光学系、投影光学系には、収差補正のために非常に多くのレンズ等が必要になり、そのため光学系全体の総光路長が1000mm以上にも及ぶ場合がある。光学系のスループットを保つためには、使用中の光学部材の吸収係数は0.003cm−1以下であることが望ましい。さらに、そのような高透過率が部材の中心部だけでなく、全域に渡って保たれている必要がある。このため、単に石英ガラスといっても、エキシマレーザステッパのような精密な光学系に使用できるものは限られる。
石英ガラスの中でも、気相合成法と呼ばれる製造方法により得られた合成石英ガラスは、金属不純物が少なく高純度で、そのため波長250nm以下の紫外線領域で高透過性を有し、さらに大口径で均質な石英ガラス光学部材を得ることが可能である。このため、エキシマレーザステッパなどの露光装置の光学系には合成石英ガラスが有望視されている。
発明の開示
しかしながら、ArFエキシマレーザ等を光源とした露光装置において、前述のような優れた特性を有する合成石英ガラスで作製したレンズ等を搭載したにもかかわらず、ウェハ上の露光領域内での照度変動が発生し、均一な露光が非常に困難となるという問題が生じていた。
本発明は、上記従来技術の有する課題に鑑みてなされたものであり、紫外光を用いて露光する場合に、紫外光の吸収及び露光領域における照度変動の発生を防止でき、高解像度且つ均一な露光を行うことが可能な石英ガラス部材を提供することを目的とする。
また、本発明は、光学系における紫外線の吸収を防止すると共に、レチクル面やウェハ上の露光領域内での照度変動を低減して、高解像度且つ均一な露光を行うことができる投影露光装置を提供することを目的とする。
上記課題をするために、本発明の石英ガラス部材は、組成をSiOxと表すときxが1.85以上1.95以下であり、含有される水素分子濃度が1×1016分子/cm3以上5×1018分子/cm3以下であり、且つArFエキシマレーザ光を平均ワンパルスエネルギー密度2mJ/cm2で1×104パルス照射したときの照射終了直前の吸収係数Aと、ArFエキシマレーザ光の照射停止後600秒経過時における第2の吸収係数Bとの差A−Bが0.002cm−1以下のものである。
また、本発明の投影露光装置は、パターンを有するレチクルと、レチクルに所定波長の光を照射する照明光学系と、照明光学系により照射されたレチクル上のパターンをウェハ上に結像させる投影光学系とを備え、照明光学系又は投影光学系の少なくとも一方が、組成をSiOxと表すときxが1.85以上1.95以下であり、含有される水素分子濃度が1×1016分子/cm3以上5×1018分子/cm3以下であり、且つArFエキシマレーザ光を平均ワンパルスエネルギー密度2mJ/cm2で1×104パルス照射したときの照射終了直前の吸収係数Aと、前記ArFエキシマレーザ光の照射停止後10分経過時における第2の吸収係数Bとの差A−Bが0.002cm−1以下である石英ガラス部材を含んで構成されたものである。
本発明によれば、石英ガラス部材の組成、水素分子濃度及び吸収係数が上記特定の条件を満たすことによって、特に低ドーズ領域における吸収発生量が十分に低減されると共に、紫外光の照射と照射停止とを繰り返したときの吸収係数の変動が十分に抑制されるので、石英ガラス部材による紫外線の吸収や露光領域内における照度変動を防止することが可能となる。従って、投影露光装置の照明光学系や投影光学系に本発明の石英ガラス部材を用いることによって、高解像度且つ均一な露光を行うことが可能となる。
本発明の石英ガラス部材においては、吸収係数Aと吸収係数BとがA/B<2で表される条件を満たすことが好ましい。
また、本発明の石英ガラス部材においては、ArFエキシマレーザ光を照射する前の190〜400nmの波長領域内の所定の波長における吸収係数が0.003cm−1以下であることが好ましい。
さらに、本発明の石英ガラス部材においては、径方向の複屈折量分布において該複屈折量の最大値と最小値との差が2.0nm/cm以下であることが好ましい。
さらに、本発明の石英ガラス部材においては、OH基濃度が800ppm以上1300ppm以下であり、且つ径方向のOH基濃度分布において該OH基濃度の最大値と最小値との差が50ppm以下であることが好ましい。
さらに、本発明の石英ガラス部材においては、Naの含有量が20ppb以下であることが好ましい。
発明を実施するための最良の形態
本発明の石英ガラス部材においては、組成をSiOxと表すときxが1.85以上1.95以下であることが必要であり、1.90以上1.95以下のものであることが好ましい。xを前記の範囲内とすることによって、特に低ドーズ領域における吸収発生量を十分に低減することができる。
なお、従来のエキシマステッパ用石英ガラスは、エキシマレーザ耐性を向上させる目的で、より多くの水素を含有させるために強い還元雰囲気下で合成されることが多く、その組成SiOxにおけるxは1.85未満となりやすい。しかし、このように強い還元雰囲気下で合成した場合、酸素欠乏欠陥≡Si−Si≡や、構造欠陥である≡Si−Hがより多く生成してしまう。これらの欠陥は先に述べたE’センターの前駆体であり、ArFエキシマレーザ光やKrFエキシマレーザ光を照射すると容易にE’センターを生成する。従って、xが1.85未満の場合には、紫外光照射時の石英ガラス部材の吸収係数が大きくなるため、十分な光学特性を得ることができない。
一方、酸素過剰な条件下で石英ガラスを合成した場合には、組成SiOxにおけるxが1.95を超える値となりやすい。このように酸素原子の割合が大きくなると、ガラス中にパーオキシリンケージ≡Si−O−O−Si≡が生成しやすくなる。このパーオキシリンケージは、吸収係数が増大する原因となるパーオキシラジカル≡Si−O−O・の前駆体である。従って、xが1.95を超える場合も、吸収係数の増大により十分な光学特性を得ることができない。
また、本発明の石英ガラス部材に含有される水素分子の濃度は1×1016分子/cm3以上5×1018分子/cm3以下であることが必要であり、1×1017分子/cm3以上2.5×1018分子/cm3以下であることが好ましい。水素分子濃度が1×1016分子/cm3未満の場合、紫外光に対する耐久性が不十分となり、紫外光照射の際に透過率の低下が起こりやすくなる。また、水素分子濃度が5×1018分子/cm3を超えると、低ドーズ領域での吸収発生量が増加しやすくなる。
また、本発明の石英ガラス部材においては、ArFエキシマレーザ光を平均ワンパルスエネルギー密度2mJ/cm2で1×104パルス照射したときの照射終了直前の吸収係数Aと、ArFエキシマレーザ光の照射停止後600秒経過時における第2の吸収係数Bとの差A−Bが0.005cm−1以下であることが必要であり、0.004cm−1以下であることが好ましく、0.003cm−1以下であることがより好ましく、0.002cm−1以下であることがさらに好ましく、0.001cm−1以下であることが特に好ましい。A−Bが0.005cm−1を超えると、紫外パルスレーザ光の照射と照射停止とを繰り返したときに露光領域内での照射変動が起こりやすくなり、均一な露光を行うことが非常に困難となる。
本発明者らの知見によれば、前述した照度変動は、石英ガラス部材に対する紫外パルスレーザ光の照射と照射停止との繰り返しに伴って生ずる、石英ガラスの吸収係数の変動に起因しているものと考えられる。すなわち、露光装置における光学部材に対する紫外パルスレーザ光の照射状況について考えてみると、当該光学部材に対して通常数秒から数百秒の周期で紫外パルスレーザ光照射と照射停止とが繰り返されているが、従来の合成石英ガラスでは、後に詳述する図5中の比較例1に示すように、その繰り返しに伴って生ずる吸収係数の変動が大きくなる。そのため、吸収係数の変動に伴って光量も大きく変動し、これにより、ウェハ上の露光領域内での照度変動が発生しやすくなり、均一な露光が非常に困難であったと考えられる。この点について、以下に詳述する。
合成石英ガラスであっても高出力の紫外光やエキシマレーザ光が作用すると、E’センター(≡Si・の構造を持つ。ただし、≡は3重結合ではなく、それぞれ酸素原子と結合する3つの単結合を表し、・は不対電子を表す。)と呼ばれる構造欠陥に起因する215nmの吸収帯や、NBOHC(Non−Bridging Oxygen Hole Center、≡Si−O・の構造を持つ。)と呼ばれる構造欠陥に起因する260nm吸収帯が現れ、紫外領域の透過率が著しく低下するため、前述のような紫外線用光学レンズ材料としては不適切なものがあった。特に215nm吸収帯は、ドーズ量[=(照射エネルギー密度)×(照射時間または照射パルス数)]が小さい場合にも多量に発生する場合がある。この吸収帯は石英ガラス中に含有される水素分子によって緩和し、紫外線照射停止後に吸収係数は急激に低減する。このような吸収係数の増加・低下はある時定数をもって発生する。
ここで、露光装置中における光学素子に対する紫外線照射挙動について考えてみると、通常数秒から数百秒の周期で紫外光照射と照射停止とが繰り返されている。つまり、ある照射間隔を持って低ドーズ量の照射が繰り返されていることになる。このとき上述のような吸収が発生すると、照射時と照射停止時において吸収係数の増加と低減が繰り返されることになる。この変動幅が大きいことによって、吸収帯の発生は時定数を持っているためにウェハ上の光量が変化する時間が長くなる、つまりウェハ上の光量むらが大きくなるという現象が生じ、十分な解像度が得られなくなる。
なお、従来の合成石英ガラス部材を有する装置の例として投影露光装置について述べたが、合成石英ガラス部材を有する他の装置においても、合成石英ガラス部材に対する紫外パルスレーザ光の照射と照射停止との繰り返しに伴って生ずる石英ガラスの吸収係数の変動は、当該装置の光学特性の低下を招く。
本発明の石英ガラス部材において、吸収係数Aと吸収係数Bとの比A/Bは、A/B<2であることが好ましく、A/B<1.8であることがより好ましく、A/B<1.5であることがさらに好ましく、A/B<1.3であることが特に好ましい。A/Bが上記の条件を満たすと、紫外パルスレーザ光等の紫外光の照射と照射停止との繰り返しに伴って生ずる吸収係数の変動量をさらに低減でき、照度変動をより確実に抑制することができる。
本発明の石英ガラス部材では、ArFエキシマレーザ照射前の190〜400nmの波長領域内の所定の波長における吸収係数が0.003cm−1以下であると、例えば、投影露光装置の光学系に用いた場合であっても、当該光学系のスループットを保つことができ、好ましい。
さらに、本発明の石英ガラス部材では、径方向における複屈折量分布の最大値と最小値との差が2.0nm/cm以内であれば、内部歪みが減少し、当該部材を用いた光学系の解像度が向上するので、好ましい。
また、本発明の石英ガラス部材では、OH基濃度が800〜1300ppmであれば、紫外光に対する耐久性が向上するので、好ましい。
さらに、本発明の石英ガラス部材では、径方向におけるOH基濃度分布の最大値と最小値との差が50ppm以下であれば、複屈折量の分布が小さくなるので、好ましい。本発明者らは、石英ガラスの複屈折分布が石英ガラスの構造分布(SiO2の結合角分布)や不純物分布などに大きく影響されていることを発見した。特にOH基濃度分布の影響が強く、石英ガラス部材の径方向におけるOH基濃度分布の最大値と最小値との差を50ppm以下とすることにより、複屈折の小さい石英ガラスが得られることを見いだした。
また、本発明の石英ガラス部材では、Naの含有量が20ppb以下であれば、透過率が高まるので、好ましい。
また、本発明の石英ガラス部材では、その塩素濃度が0.1ppm以下であれば、紫外光に対する耐久性が向上する(すなわち、長期に渡って紫外光照射を行っても透過率の劣化が少なくなる)とともに、製造装置から排出される塩酸を低減することができるので、好ましい。本発明の石英ガラスの製造に際し直接法を用いる場合、塩素を実質的に含有しない、四フッ化ケイ素に代表されるフッ化ケイ素化合物や、有機ケイ素化合物を原料とすることによって、得られる石英ガラス中に塩素は実質的に含有しなくなり、塩素濃度を0.1ppm以下にすることができる。
なお、前述したように、本発明の石英ガラス部材は、最終製品としてのレンズ等の光学部材の他に、光学部材を作製するための半製品も含む。また、光学系に組み込まれるレチクル等のフォトマスク基板としても使用可能である。
本発明の石英ガラス部材を製造する際には、石英ガラスの組成、水素分子濃度、吸収係数を考慮して適度な還元雰囲気下で石英ガラスを合成することが好ましい。本発明者らは、合成実験により適切な還元雰囲気を検討した結果、後述するように、石英ガラス合成時の燃焼ガス中で水素ガス過剰となる領域を内側のみとし、周辺部では化学量論比に近い比率とすることで、上述の組成を有し、低ドーズ領域における吸収発生量が実用上問題ないレベルに抑制された石英ガラスが得られることを見出した。以下、本発明の石英ガラス部材を得るための好ましい製造方法について説明する。
本発明にかかる製造方法は、炉と、この炉の内側空間内に位置するターゲットと、噴出口がターゲットに向けて設置された多重管バーナとを用いて、火炎加水分解を行い、ターゲット上にガラス微粒子を堆積かつ溶融させて石英ガラスインゴットを得る工程を含むものである。バーナとしては、中心部に配置され原料であるケイ素化合物を含むガスを噴出する原料噴出管と、各々の群が原料噴出管の周囲に同心円状に配置されて酸素ガス及び水素ガスを噴出する複数の酸水素噴出管群とを有するものが用いられる。そして、複数の酸水素噴出管群のうち、最も外側に位置する酸水素噴出管群以外の各群の酸水素噴出管群については、当該酸水素噴出管群から噴出させる酸素ガスの水素ガスに対する流量比率が0.29以上0.4以下の範囲とされる。また、複数の酸水素噴出管群のうち、最も外側に位置する酸水素噴出管群については、当該酸水素噴出管群から噴出させる酸素ガスの水素ガスに対する流量比率が0.4から理論等量比までの範囲とされる。これにより、組成、含有される水素濃度、並びに吸収係数が上記特定の条件を満たす本発明の石英ガラス部材を好適に得ることができる。
ここで、理論等量比とは、原料であるケイ素化合物が酸素ガス及び水素ガスにより加水分解して石英ガラスが合成される際に、酸素と水素とが過不足なく供給されるときの水素ガス流量に対する酸素ガス流量の比であり、加水分解の化学反応式に基づいて求められるものである。例えば、四塩化ケイ素を原料に用いる場合には、化学反応式:
SiCl4+O2+2H2→SiO2+4HCl
により、理論等量比は0.5となる。
このようにして得られた石英ガラス部材について、900℃以上で10時間以上保持した後、毎時10℃以下の降温速度で500℃以下まで降温し、その後放冷する熱処理を行うことが好ましい。
また、得られた石英ガラス部材を、500℃以上で100時間以上保持した後、放冷する熱処理を行うことが好ましい。
一方、合成条件が従来の水素過剰条件である直接法により合成された石英ガラスであっても、合成終了後に、水素分子濃度が低減するように熱処理する水素低減熱処理工程を行えば、本発明の石英ガラスを得ることが可能である。この水素低減熱処理工程は、例えば、直接法で合成された石英ガラスを、窒素ガス中あるいはその他の不活性ガス中あるいは水素ガス以外の還元ガス中あるいは水素分子を含まないその他のガス中あるいは真空中あるいは0.1気圧以下のガス中において、保持温度500〜900℃、保持時間100〜1000時間の条件で熱処理する工程とすればよい。この水素低減熱処理工程は、特に、組成SiOxにおけるxを1.85以上とする場合や、水素分子濃度を1×1016分子/cm3以下にする場合に有効である。
またさらに、前述の水素低減熱処理を行った石英ガラスや、酸素過剰条件で合成された石英ガラスについて、後述する水素増加熱処理工程を行うことによって、本発明の石英ガラスの特性を損なわずに、組成SiOxにおけるxを低減したり水素分子濃度を高めたりすることができる。例えば、水素低減熱処理工程を経た石英ガラスを、水素ガスを0.1〜100%含む1〜10気圧のガス中で、保持温度100〜500℃、保持時間100〜10000時間の条件で熱処理する工程とすればよい。この水素増加熱処理工程により、水素分子濃度を5×1017〜3×1018分子/cm3の範囲内とすることができ、紫外光に対する耐久性をより向上させることができる。また、xを1.95以下にして、石英ガラス部材の吸収係数を低減することも可能である。
次に、本発明の投影露光装置について説明する。本発明はフォトレジストでコートされたウェハ上にレチクルのパターンのイメージを投影するための、ステッパと呼ばれるような投影露光装置において特に有用である。
図1は、本発明の投影露光装置の好適な一実施形態を模式的に示す概略構成図である。図1に示した投影露光装置は、表面3aに置かれた感光剤7を塗布した基板8(これら全体を単に「基板W」と呼ぶ。)を置くことのできるウェハステージ3,露光光として用意された波長の真空紫外光を照射し、基板W上に用意されたマスクのパターン(レチクルR)を転写するための照明光学系1,照明光学系1に露光光を供給するための光源100,基板W上にマスクRのパターンのイメージを投影するためのマスクRが配された最初の表面P1(物体面)と基板Wの表面と一致させた二番目の表面(像面)との間に置かれた投影光学系5、を含む。照明光学系1は、マスクRとウェハWとの間の相対位置を調節するための、アライメント光学系110も含んでおり、マスクRは、ウェハステージ3の表面に対して平行に動くことのできるレチクルステージ2に配置される。レチクル交換系200は、レチクルステージ2にセットされたレチクル(マスクR)を交換し運搬する。レチクル交換系200は、ウェハステージ3の表面3aに対してレチクルステージ2を平行に動かすためのステージドライバーを含んでいる。投影光学系5は、スキャンタイプの露光装置に応用されるアライメント光学系を持っている。
この露光装置において、本発明の石英ガラス部材(例えば、光学レンズ)が使用される。具体的には、例えば、図1に示した露光装置は、照明光学系1の光学レンズ9および投影光学系5の光学レンズ10のうちのいずれか一方又は両方として、本発明にかかる光学レンズを備えることが可能である。この露光装置によれば、紫外パルスレーザ光等の紫外光の照射と照射停止との繰り返しに伴って生ずる吸収係数の変動量が小さくなる石英ガラス部材を備えているため、基板3上の露光領域内での照度変動が十分に抑制されるので、より均一な露光が可能になる。
ここで、図2を参照しつつ、本発明の光学部材を用いて構成される投影光学系5についてより具体的に説明する。図2は本発明にかかる投影光学系5の好適な一例を示す概略構成図である。投影光学系5は、第1物体としてのレチクルR側より順に、正のパワーの第1レンズ群G1と、正のパワーの第2レンズ群G2と、負のパワーの第3レンズ群G3と、正のパワーの第4レンズ群G4と、負のパワーの第5レンズ群G5と、正のパワーの第6レンズ群G6とから構成されている。そして、物体側(レチクルR側)及び像側(ウェハW側)においてほぼテレセントリックとなっており、縮小倍率を有するものである。また、この投影光学系のN.A.は0.6、投影倍率が1/4である。
この投影光学系において、L11〜L44、L51〜L62、L64、L68〜L610は石英ガラスからなるレンズが用いられ、L45、L46、L63、L65、L66、L67の6枚のレンズにはフッ化物結晶からなるものが用いられる。このとき、本発明の石英ガラス部材からなるレンズの光路長が、石英ガラス部材からなるレンズL11〜L44、L51〜L62、L64、L68〜L610の光路長の総和の10%以上(より好ましくは50%以上)であることが好ましく、レンズL11〜L44、L51〜L62、L64、L68〜L610の全てが本発明の光学部材であることが特に好ましい。
[実施例]
以下、実施例及び比較例に基づいて本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に何ら限定されるものではない。
実施例1〜4、比較例1、2
(石英ガラス部材の作製)
実施例1〜4及び比較例1、2では、図3に示した合成石英ガラス製造装置21を用いて合成石英ガラス部材を作製した。
合成石英ガラス製造装置21の炉22は、炉枠23と、この炉枠23内に設けられた耐火物24と、これらが載せられる炉床板25とを有して構成される。退化物24は、純度99%のアルミナ製である。耐火物24の内部にはインゴットIG形成用のターゲット26に噴出口27aを向けて設置された石英ガラス合成用の多重管バーナ27を有しており、ターゲット26上に石英ガラス微粒子を堆積しガラス化させるようになっている。また、炉枠23には石英ガラスの合成時に炉内に発生するHClなどの廃ガスを炉外に排出させるための排気口32が形成され、この排気口32には排気管33が接続されている。更に、炉の外部から炉内を観察するため、炉内監視用窓34が形成されている。この炉内監視用窓34の外側にはCCDカメラ等の炉内監視用カメラ36が設けられており、炉内の撮影ができるようになっている。図中、35は窓34の開閉蓋である。
噴出口側から見た石英ガラス合成用バーナ27の構成を図4に示す。このバーナ27は、中心部に配置されかつ原料ガスおよびこれを希釈するキャリアガスを噴出させるための第一の管(原料噴出管)41と、第一の管41の周囲に同心円状に配置された第二の管42と、該二の管42の周囲に同心円状に配置された第三の管43と、第三の管43の周囲に同心円状に配置された第四の管44と、第三の管43の外周と第四の管44の内側との間に配置された複数の第五の管45とを備えている。
原料ガスが塩化ケイ素化合物の場合、バーナ27の先端部の噴出口27aにおいて、第一の管41と第二の管42との間から酸素ガス1を噴出させ、第二の管42と第三の管43との間から水素ガス1を噴出させ、第三の管43と第四の管44との間から水素ガス2を噴出させ、複数の第五の管45から酸素ガス2を噴出させた。また、原料ガスが有機ケイ素化合物の場合には、バーナ27の先端部の噴出口27aにおいて、第一の管41と第二の管42との間から水素ガス1を噴出させ、第二の管42と第三の管43との間から酸素ガス1を噴出させ、第三の管43と第四の管44との間から水素ガス2を噴出させ、複数の第五の管45から酸素ガス2を噴出させた。
以上の説明からわかるように、原料ガスが塩化ケイ素化合物及び有機ケイ素化合物のいずれの場合であっても、第二の管42及び第三の管43が、原料噴出管41の周囲に同心円状に配置されて酸素ガス1及び水素ガス1を噴出する第一群の酸水素噴出管群を構成し、第四の管44及び複数の第五の管45が、原料噴出管41の周囲に同心円状に配置されて酸素ガス2及び水素ガス2を噴出する第二群の酸水素噴出管群を構成している。
この合成石英ガラス製造装置21を用いて、バーナ27の先端部の噴出口27aから、酸素ガス及び水素ガスを噴出させて混合・燃焼させた。同時に、原料として高純度(純度99.99%以上)の塩化ケイ素化合物又は有機ケイ素化合物のガスをキャリアガス(原料ガスが塩化ケイ素化合物の場合には酸素ガス1.8slm、原料ガスが有機ケイ素化合物の場合には窒素ガス4slm)で希釈して、バーナ27の中心の原料噴出管41から、表1に示した流量で噴出させた。これにより、燃焼火炎中で酸化反応により石英ガラス微粒子(スート)を発生させ、この微粒子を、φ200mmの石英ガラス製ターゲット26の上部に堆積させ、同時に火炎の熱によって溶融して、実施例1〜4及び比較例1,2の合成石英ガラスインゴットIGを合成した。このとき、ターゲット26は、1分間に7回転の速度で回転させ、80mmの移動距離で水平方向に90秒周期で揺動させ、一定の降下速度(原料が塩化ケイ素化合物の場合には毎時2.4mm、原料が有機ケイ素化合物の場合には毎時1.6mm)で引き下げを行った。
実施例1〜4及び比較例1、2の石英ガラスインゴット作製時の、合成条件の一覧を表1に示す。すなわち、表1には、実施例1〜4及び比較例1,2の石英ガラスインゴット作製時の、原料の種類、原料流量、酸素ガス1の噴出流量と水素ガス1の噴出流量との比(レシオ1=酸素ガス1流量/水素ガス1流量)、酸素ガス2の噴出流量と水素ガス2の噴出流量との比(レシオ2=酸素ガス2流量/水素ガス2流量)の各設定条件が示されている。なお、水素ガス1、2及び酸素ガス1、2は、前述したバーナ27の噴出口27aの各箇所から噴出される水素ガス又は酸素ガスを示している。
表1に示すように、原料ガスとして、実施例1,2及び比較例1では塩化ケイ素化合物としての四塩化ケイ素(SiCl4)を、実施例3、4及び比較例2では有機ケイ素化合物としてのオクタメチルシクロテトラシロキサン[化学式:(Si(CH3)2O)4、略字:OMCTS]を、それぞれ用いた。
実施例1〜4及び比較例1,2の各石英ガラスインゴットの径方向中心部、最上面(インゴットヘッド)から100mm内部のところから、直径280mm、厚さ40mmの円柱状のブロック材をそれぞれ切り出した。
これらのブロック材に対する熱処理条件を表1に示す。実施例1、3、4及び比較例2のブロック材については、大気雰囲気中、大気圧の熱処理炉において、保持温度1000℃で10時間保持した後、毎時10℃で500℃まで降温し、その後放冷する熱処理を施した。また、実施例2のブロック材については、窒素ガス雰囲気中、大気圧の熱処理炉において、保持温度800℃で100時間保持した後、毎時10℃で500℃まで降温し、その後放冷する熱処理を施した。この熱処理は、500℃以上で100時間以上保持した後に放冷する熱処理の一種である。一方、比較例1のブロック材については、何ら熱処理を行わなかった。
(複屈折量の測定)
各実施例1〜4及び比較例1、2のブロック材全面の複屈折率分布(複屈折量分布)は、位相変調法を用いた複屈折率測定装置を用いて測定した。ブロック材の面内で直交する2方向の直径について5mmピッチで複屈折率量の分布を測定した。実施例、比較例の合成ガラスインゴットは回転しながら合成しているため、複屈折率の分布は回転対称になっていることが確認されており、2方向の直径についての測定でブロック面内の複屈折率分布を推測することができる。そして、各ブロック材について、このようにして測定した径方向における複屈折量分布の最大値と最小値との差を算出した。その結果を複屈折量分布の差として表2に示す。複屈折量分布の差は、比較例1,2では2.0nm/cmより大きいのに対し、実施例1〜4では2.0nm/cm以内であり均質であった。
(OH基濃度及び水素分子濃度の測定)
OH基濃度及び水素分子濃度はレーザラマン分光法により測定した。OH基濃度は、石英ガラスの基本構造の振動に起因する800cm−1のラマン散乱光に対する、OH基の振動に起因する3690cm−1のラマン散乱光の強度比に基づいて算出した。また、水素分子濃度は、800cm−1のラマン散乱光に対する、水素分子の振動に起因する4135cm−1のラマン散乱光強度比に基づいて算出した。OH基濃度分布は、複屈折率分布と同様に、直交する2方向の直径について5mmピッチで測定した。水素分子濃度は、ブロック中心付近(後で透過率評価用試験片を切り出す部分)について測定した。なお、測定に際し、複屈折率の分布と同様に、OH基濃度、水素分子濃度は回転対称の分布となっていることを予め確認した。各ブロック材について、前述したようにして測定した径方向におけるOH基濃度分布の最大値と最小値との差を算出した。その結果を、OH基濃度分布の差として表2に示す。また、表2には、前述したようにして測定したOH基濃度(ブロック材の中心付近の濃度)及び水素分子濃度も示している。水素分子濃度は、実施例1〜4では1×1016分子/cm3以上5×1018分子/cm3以下であるのに対し、比較例1、2ではこの範囲から外れていた。OH基濃度は、実施例1〜4及び比較例2では800〜1300ppmであり、比較例1ではこの範囲から外れていた。また、OH基濃度分布の差は、実施例1〜4及び比較例2では50ppm以下と良好であったのに対し、比較例1では50ppmより大きくて均質性が不十分であった。
(組成SiOxの分析)
また、実施例1〜4及び比較例1、2では、組成SiOxにおけるxは表2に示す通りであった。このxは、マイクログラム法によって求めた。このxは、実施例1〜4では1.85以上1.95以下であるのに対し、比較例1、2ではこの範囲から外れていた。
(吸収係数の測定1)
次に、実施例1〜4及び比較例1、2のブロック材の中心付近から研磨面φ60mm、厚さ10mm又は研磨面15×15mm、長さ100mmの形状を持つ試験片を、各インゴットにつき1個ずつ切り出した。これらの試験片を透過率評価用の試験片とした。これらの試験片は、互いに向かい合う2面(φ60mm面又は15×15mm面)の平行度が10秒以内、片面ごとの平坦度がニュートンリング3本以内、片面ごとの表面粗さがrms=10オングストローム以下になるように精密研磨を施し、最終的に試験片の厚さが10±0.1mm又は長さが100±0.1mmとなるように研磨した。さらに、表面に研磨剤が残留しないように、高純度SiO2粉による仕上げ研磨加工を施した。
このようにして得られた試験片の波長190〜400nmの領域での内部損失係数を、特開平7−63680号公報及び特開平11−211613号公報に開示された方法で調整された分光光度計を用いて測定した。内部吸収係数は、内部損失係数から内部散乱係数を引くことによって算出した。ArFエキシマレーザの発振波長である193.4nmにおける合成石英ガラスの内部損失係数は0.0015cm−1と求められており、試験片の193.4nmにおける吸収係数は内部損失係数からその内部散乱損失値を引いた値である。すべての試験片の、イニシャルの(ArFエキシマレーザ照射前の)193.4nmにおける吸収係数は、0.003cm−1以下であった。
次に、各試験片に対して、ArFエキシマレーザによるパルスレーザ光を表2に示す平均ワンパルスエネルギー密度で1×104パルス照射する照射段階と、これに引き続く表2に示す経過時間の照射停止段階とを、1ユニットとして、このユニットを複数回繰り返しながら、当該試験片の吸収係数を測定した。その測定結果のうち、実施例2、3及び比較例1の測定結果を図5に示す。そして、各試験片について、各々のユニットにおける前記照射段階の終了直前の吸収係数と前記照射停止段階の終了時の吸収係数との差を求めた。表2には、この吸収係数の差も示している。実施例1〜4では、この吸収係数の差が0.005cm−1以下であり、吸収係数の変動量が小さいのに対し、比較例1、2では吸収係数の差が0.005cm−1より大きく、吸収係数の変動量が大きいことがわかる。
(吸収係数の測定2)
また、各試験片にArFエキシマレーザ光を平均ワンパルスエネルギー密度2mJ/cm2で1×104パルス照射したときの照射終了直前の吸収係数Aと、ArFエキシマレーザ光の照射停止後600秒経過時における吸収係数Bとを測定し、その差A−Bを算出した。得られた結果を表3に示す。
(Na濃度の測定)
また、Na濃度の測定は、各実施例1〜4及び比較例1、2の各ブロック材における透過率評価用の試験片に隣接した部分から、Na分析用試料を切り出し、熱中性子線照射による放射化分析によって行った。Na濃度は、実施例1〜4及び比較例2の試験片では5ppmより低く、比較例1では21ppmであった。
実施例5〜12
(石英ガラス部材の作製)
実施例5〜12の石英ガラスを、図3に示した合成石英ガラス製造装置21を用いて作製した。なお、実施例5〜12では図6に示す構成を有するバーナを用いた。
図7は、噴出口側から見た石英ガラス合成用バーナ27を示す概略構成図である。このバーナは、中心部に配置されかつ原料ガスおよびこれを希釈するキャリアガスを噴出させるための第一の管41と、第一の管41の周囲に同心円状に配置された第二の管42と、該二の管42の周囲に同心円状に配置された第三の管43と、第三の管43の周囲に同心円状に配置された第四の管44と、第三の管43の外周と第四の管44の内側との間に配置された複数の第五の管45と、第四の管44の周囲に同心円状に配置された第六の管46と、第四の管44の外周と第六の管46の内周との間に配置された複数の第七の管47とを備えている。各管41〜47の寸法(mm)は、下記の表4の通りであった。
原料ガスが塩化ケイ素化合物あるいはフッ化ケイ素化合物の場合、バーナ27の先端部の噴出口27aにおいて、第一の管41と第二の管42との間から酸素ガス1を噴出させ、第二の管42と第三の管43との間から水素ガス1を噴出させ、第三の管43と第四の管44との間から水素ガス2を噴出させ、複数の第五の管45から酸素ガス2を噴出させ、第四の管44と第六の管46との間から水素ガス3を噴出させ、複数の第七の管47から酸素ガス3を噴出させた。また、原料ガスが有機ケイ素化合物の場合には、バーナ27の先端部の噴出口27aにおいて、第一の管41と第二の管42との間から水素ガス1を噴出させ、第二の管42と第三の管43との間から酸素ガス1を噴出させ、第三の管43と第四の管44との間から水素ガス2を噴出させ、複数の第五の管45から酸素ガス2を噴出させ、第四の管44と第六の管46との間から水素ガス3を噴出させ、複数の第七の管47から酸素ガス3を噴出させた。
この合成石英ガラス製造装置21を用いて、バーナ27の先端部の噴出口27aから、酸素ガス及び水素ガスを噴出させて混合・燃焼させた。同時に、原料として高純度(純度99.99%以上で、金属不純物Fe濃度が10ppb以下、Ni、Cr濃度が2ppb以下。)の塩化ケイ素化合物、フッ化ケイ素化合物又は有機ケイ素化合物のガスをキャリアガス(塩化ケイ素化合物、フッ化ケイ素化合物原料の場合、酸素ガス1.8slm、有機ケイ素化合物原料の場合、窒素ガス:流量3.5slm)で希釈して、バーナ27の中心の第一の管41から、原料流量を下記の表2に示した設定流量として噴出させた。これにより、燃焼火炎中で酸化反応により石英ガラス微粒子(スート)を発生させ、この微粒子を、石英ガラス製ターゲット26の上部に堆積させ、同時に火炎の熱によって溶融して、実施例1〜12及び比較例1〜4の合成石英ガラスインゴットIG(直径300〜350mm、長さ600〜800mm)を合成した。このとき、ターゲット26は、1分間に7回転の速度で回転させ、80mmの移動距離で90秒周期で揺動させ、下記の表5に示す降下速度で引き下げた。
下記の表5及び表6に、実施例5〜12及び比較例3、4の石英ガラスインゴット作製時の、合成条件の一覧を示す。すなわち、表5及び表6は、実施例5〜12及び比較例3、4の石英ガラスインゴット作製時の、原料の種類、原料流量、インゴット降下速度、水素ガス1〜3の流量、酸素ガス1〜3の流量、酸素ガス1の噴出流量と水素ガス1の噴出流量との比(レシオ1=酸素ガス1流量/水素ガス1流量)、酸素ガス2の噴出流量と水素ガス2の噴出流量との比(レシオ2=酸素ガス2流量/水素ガス2流量)、酸素ガス3の噴出流量と水素ガス3の噴出流量との比(レシオ3=酸素ガス3流量/水素ガス3流量)の各設定条件を示している。なお、水素ガス1〜3及び酸素ガス1〜3は、前述したバーナ27の噴出口27aの各箇所から噴出される水素ガス又は酸素ガスを示している。
表5に示すように、原料ガスとして、実施例5、6では塩化ケイ素化合物としての四塩化ケイ素(SiCl4)を、実施例7、8ではフッ化ケイ素化合物としての四フッ化ケイ素(SiF4)を、実施例9、10では有機ケイ素化合物としてのヘキサメチルジシロキサン[化学式:(CH3)3SiOSi(CH3)3、略称:HMDS]を、実施例11、12では有機ケイ素化合物としてのオクタメチルシクロテトラシロキサン[化学式:(Si(CH3)2O)4、略称:OMCTS]を、それぞれ用いた。
実施例5〜12の各石英ガラスインゴットの径方向中心部、最上面(インゴットヘッド)から100mm内部のところから、直径280mm、厚さ200mmの円柱状のブロック材をそれぞれ切り出した。
切り出した直径280mm、厚さ200mmのブロック材に対して、アニール(徐冷)処理を行った。アニール条件は全て同じで、空気中1000℃まで昇温し、10時間保持した後、500℃まで10℃/時で徐冷(降温)し、500℃で放冷した。
実施例5、7、9、11のブロック材については、アニール後の熱処理を行わなかった。
また、実施例6、8、10、12のブロック材については、インゴットから切り出した後、窒素ガス雰囲気で大気圧の熱処理炉において、保持温度800℃、保持時間500時間の熱処理を行い、更にその後に、水素ガス100%の雰囲気で内部圧力6気圧の熱処理炉において、保持温度450℃、保持時間720時間の熱処理を行った。
(組成SiOxの分析)
実施例5〜12の石英ガラス部材について、組成SiOxにおけるxを表7に示す。このxは、マイクログラム法によって求めたものであり、いずれも1.85以上1.95以下の範囲内であった。
(吸収係数の測定)
実施例5〜12の各ブロック材の中心部から、研磨面15×15mm、長さ100mmの形状を持つ試験片を各インゴットにつき1個づつ切り出した。これらの試験片を透過率評価用の試験片とした。これらの試験片は、互いに向かい合う2面(15×15mm面)の平行度が10秒以内、片面ごとの平坦度がニュートンリング3本以内、片面ごとの表面粗さがrms=10オングストローム以下になるように精密研磨を施し、最終的に試験片の厚さが10±0.1mmとなるように研磨した。さらに、表面に研磨剤が残留しないように、高純度SiO2粉による仕上げ研磨加工を施した。
このようにして得られた試験片の波長190〜400nmの領域での内部損失係数を、特開平7−63680号公報及び特開平11−211613号公報に開示された方法で調整された分光光度計を用いて測定した。内部吸収係数は、内部損失係数から内部散乱係数を引くことによって算出した。ArFエキシマレーザの発振波長である193.4nmにおける合成石英ガラスの内部損失係数は0.0015cm−1と求められており、試験片の193.4nmにおける吸収係数は内部損失係数からその内部散乱損失値を引いた値である。すべての試験片の、イニシャル(光照射前)の193.4nmにおける吸収係数は0.001cm−1以下であった。
次に、試験片にArFエキシマレーザによるパルスレーザ光の照射を行い、照射によって発生した照射中の吸収係数A、照射を停止してから600秒後の吸収係数Bを測定した。ArFエキシマレーザによる照射条件は、平均ワンパルスエネルギー密度2mJ/cm2、照射パルス数1×105パルスとした。測定した吸収係数A,Bから差A−B及び比率A/Bを算出した。得られた結果を表7に示す。
また、実施例7で得られた石英ガラス部材について、平均ワンパルスエネルギー密度2mJ/cm2の照射条件でのArFエキシマレーザによる照射と照射停止を繰り返しながら、吸収係数を測定した。その測定結果を図7に示す。図7において、照射を停止したときの照射積算パルス数に矢印を付し、その際の照射停止時間を記載している。なお、図中、例えば「1.0E+05」は1.0×105を意味している。
図7からわかるように、実施例7の石英ガラス部材においては、ArFエキシマレーザによる照射と照射停止とを複数回繰り返した場合であっても、吸収係数の変動が小さいことが確認された。
(水素分子濃度及びOH基濃度の測定)
次に、水素分子濃度、OH基濃度の測定について説明する。これらの測定は、レーザラマン分光光度計を用いて行った。波長488nmのアルゴンイオンレーザ(出力400mW)を試験片に入射させ、入射光方向と直角方向に放射されるラマン散乱光のうち800cm−1(石英ガラスの基本構造の振動に起因するピーク:参照光)と4135cm−1(水素分子の振動に起因するピーク)および3690cm−1(OH基の振動に起因するピーク)の強度を測定し、その強度比に基づいて水素分子濃度、OH基濃度の測定行った。それらの測定結果も表7に示している。
(不純物濃度の測定)
また、実施例5〜12の各ブロック材における透過率評価用の試験片に隣接した部分から、10mm×10mm×5mmのCl、Na、K分析用試料を切り出した。これらの不純物濃度の定量は、熱中性子線照射による放射化分析によって行った。また、実施例5〜12及び比較例3、4の各ブロック材におけるCl、Na、K分析用試料に隣接する場所から、アルカリ土類金属、遷移金属およびAlの元素分析用の試料を切り出した。各元素の定量は、誘導結合型プラズマ発光分光法により行った。全ての試験片のNa濃度は0.001ppm以下であり、193.4nmの吸収損失に何らの影響も与えないことを確認した。さらに、四塩化ケイ素原料を用いて合成した実施例5、7の試験片では、塩素濃度は20〜60ppmであった。また、四フッ化ケイ素又は有機ケイ素を原料として合成された実施例6、8〜12及び比較例3、4の全ての試験片の塩素濃度は、検出下限(0.1ppm)以下であった。さらに、実施例5〜12及び比較例3、4の全ての試料でK濃度は検出下限(50ppb)以下であった。また、実施例5〜12の全ての試料で、アルカリ土類金属のMg、Ca、遷移金属のSc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、そしてAlの各元素濃度は、20ppb以下であった。
(投影光学系及び投影露光装置の作製)
実施例2の石英ガラス部材を複数枚用いて、ArFエキシマレーザを光源とする露光装置の投影レンズを作製し投影光学系を組み立てた。得られた投影光学系の解像度はラインアンドスペースで0.19μm以下を達成した。この投影レンズを露光装置に搭載したところ、シリコンウェハ上の露光領域内での照度変動が発生せず、均一露光が可能になり、ArFエキシマレーザステッパとして良好な結像性能を得ることができた。実施例1、3〜12の石英ガラス部材を用いた場合も同様の結果が得られた。
一方、比較例2の合成石英ガラス部材を複数枚用いて、ArFエキシマレーザを光源とする露光装置の投影レンズを作製し、投影光学系を組み立てたところ、この投影光学系を搭載した露光装置は、シリコンウェハ上の露光領域内での照度変動が発生し、均一露光ができなかった。
(照明光学系の作製及び照度変動の評価)
ArFビームレーザ導入部、ビーム整形光学系、リレーレンズからなる照明光学系を作製するに際し、上記の構成において、レチクル面上の照度変動に最も大きく影響を与えるリレーレンズ群(全て石英ガラス部材によって構成される。総光路長:400mm)の石英ガラス部材の全てに実施例2の石英ガラス部材を適用した。
得られた照明光学系を、ArFエキシマレーザを光源に用いて照度変動の評価を行ったところ、照度変動率は0.5%程度であった。なお、ここでいう照度変動率とは、レチクル面での照度変動を、レーザーの照射時と照射停止時との照度比率で表した値を意味する。同様の効果は投影光学系においても確認された。
また、実施例2の石英ガラス部材の代わりに比較例3の石英ガラス部材を用いたこと以外は上記と同様にして、照明光学系を作製し、照度変動の評価を行った。その結果、照度変動率は4%程度であった。
なお、本発明は上記の実施形態及び実施例に限定されるものではない。例えば、本発明の石英ガラス部材は、投影露光装置以外の短波長レーザを用いた加工装置、測定装置などの装置において用いることもできる。
産業上の利用可能性
以上説明した通り、本発明の石英ガラス部材及び投影露光装置によれば、照明光学系や投影光学系における紫外光の吸収を防止すると共に、レチクル面やウェハ上の露光領域内での照度変動を低減して、高解像度且つ均一な露光を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
図1は本発明の投影露光装置の好適な一実施形態を示す概略構成図である。
図2は本発明にかかる投影光学系の一例を示す概略構成図である。
図3は実施例で用いた合成石英ガラス製造装置の構成を示す模式断面図である。
図4は実施例1〜4及び比較例1〜3で用いたバーナの構成を示す説明図である。
図5は、実施例2、3及び比較例1において、ArFエキシマレーザによる照射と照射停止とを繰り返したときの吸収係数を示すグラフである。
図6は実施例5〜12で用いたバーナの構成を示す説明図である。
図7は、実施例7において、ArFエキシマレーザによる照射と照射停止とを繰り返したときの吸収係数を示すグラフである。
Claims (7)
- 組成をSiOxと表すときxが1.85以上1.95以下であり、含有される水素分子濃度が1×1016分子/cm3以上5×1018分子/cm3以下であり、且つArFエキシマレーザ光を平均ワンパルスエネルギー密度2mJ/cm2で1×104パルス照射したときの照射終了直前の吸収係数Aと、前記ArFエキシマレーザ光の照射停止後600秒経過時における吸収係数Bとの差A−Bが0.005cm−1以下である石英ガラス部材。
- 前記吸収係数Aと前記吸収係数BとがA/B<2で表される条件を満たす請求項1に記載の石英ガラス部材。
- 前記ArFエキシマレーザ光を照射する前の190〜400nmの波長領域内の所定の波長における吸収係数が0.003cm−1以下である請求項1に記載の石英ガラス部材。
- 径方向の複屈折量分布において該複屈折量の最大値と最小値との差が2.0nm/cm以下である請求項1に記載の石英ガラス部材。
- OH基濃度が800ppm以上1300ppm以下であり、且つ径方向のOH基濃度分布において該OH基濃度の最大値と最小値との差が50ppm以下である請求項1に記載の石英ガラス部材。
- Naの含有量が20ppb以下である請求項1に記載の石英ガラス部材。
- パターンを有するレチクルと、前記レチクルに所定波長の光を照射する照明光学系と、前記照明光学系により照射された前記レチクル上のパターンをウェハ上に結像させる投影光学系とを備え、
前記照明光学系又は前記投影光学系の少なくとも一方が、
組成をSiOxと表すときxが1.85以上1.95以下であり、含有される水素分子濃度が1×1016分子/cm3以上5×1018分子/cm3以下であり、且つArFエキシマレーザ光を平均ワンパルスエネルギー密度2mJ/cm2で1×104パルス照射したときの照射終了直前の吸収係数Aと、前記ArFエキシマレーザ光の照射停止後10分経過時における吸収係数Bとの差A−Bが0.005cm−1以下である石英ガラス部材
を含んで構成される投影露光装置。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001121811 | 2001-04-19 | ||
JP2001121812 | 2001-04-19 | ||
JP2001121811 | 2001-04-19 | ||
JP2001121812 | 2001-04-19 | ||
PCT/JP2002/003951 WO2002085808A1 (fr) | 2001-04-19 | 2002-04-19 | Element en verre de silice et aligneur de projection |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2002085808A1 true JPWO2002085808A1 (ja) | 2004-08-12 |
Family
ID=26613888
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002583345A Pending JPWO2002085808A1 (ja) | 2001-04-19 | 2002-04-19 | 石英ガラス部材及び投影露光装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6835683B2 (ja) |
EP (1) | EP1394127A4 (ja) |
JP (1) | JPWO2002085808A1 (ja) |
KR (1) | KR20030017550A (ja) |
CN (1) | CN1226212C (ja) |
WO (1) | WO2002085808A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20040162211A1 (en) * | 2001-09-27 | 2004-08-19 | Domey Jeffrey J. | Fused silica having high internal transmission and low birefringence |
AU2003235105A1 (en) * | 2002-04-23 | 2003-11-10 | Asahi Glass Company, Limited | Synthetic quartz glass for optical member, projection exposure device, and projection exposure method |
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JP5935765B2 (ja) * | 2012-07-10 | 2016-06-15 | 信越化学工業株式会社 | ナノインプリントモールド用合成石英ガラス、その製造方法、及びナノインプリント用モールド |
JP6107701B2 (ja) | 2014-02-21 | 2017-04-05 | 信越化学工業株式会社 | 合成石英ガラスの熱処理方法及び合成石英ガラス基板の製造方法 |
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JP2001089182A (ja) * | 1999-09-27 | 2001-04-03 | Nikon Corp | 石英ガラス及びそのcoガス濃度測定方法 |
US6548029B1 (en) * | 1999-11-18 | 2003-04-15 | Uop Llc | Apparatus for providing a pure hydrogen stream for use with fuel cells |
JP2001270731A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-10-02 | Nikon Corp | 合成石英ガラス部材及びこれを用いた光リソグラフィー装置 |
-
2002
- 2002-04-19 JP JP2002583345A patent/JPWO2002085808A1/ja active Pending
- 2002-04-19 KR KR1020027017324A patent/KR20030017550A/ko not_active Application Discontinuation
- 2002-04-19 CN CNB028018141A patent/CN1226212C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2002-04-19 EP EP02720535A patent/EP1394127A4/en not_active Withdrawn
- 2002-04-19 US US10/311,233 patent/US6835683B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-04-19 WO PCT/JP2002/003951 patent/WO2002085808A1/ja not_active Application Discontinuation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20030171203A1 (en) | 2003-09-11 |
KR20030017550A (ko) | 2003-03-03 |
WO2002085808A1 (fr) | 2002-10-31 |
EP1394127A4 (en) | 2008-04-30 |
CN1463256A (zh) | 2003-12-24 |
US6835683B2 (en) | 2004-12-28 |
EP1394127A1 (en) | 2004-03-03 |
CN1226212C (zh) | 2005-11-09 |
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