JPS6379075A

JPS6379075A - 導通検査装置

Info

Publication number: JPS6379075A
Application number: JP61224027A
Authority: JP
Inventors: Sueyoshi Fukazawa; 深澤　季喜
Original assignee: NSK Ltd
Current assignee: NSK Ltd
Priority date: 1986-09-22
Filing date: 1986-09-22
Publication date: 1988-04-09

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］この発明は、例えば高密度化されたプリント配線板の配
線異常を検査する導通検査装置に関する。

〔従来の技術］一般に、プリント配線板は、パターンの高密度化によっ
てパターン線幅が狭くなると共に、線間の間隔もますま
す狭くなってきており、しかもパターン層を何層にも重
ねた多層基板も多くなってきている。

このようなプリント配線板においては、電子部品等を実
装する前に、配線パターンの検査を行い不良基板への電
子部品等の実装を避ける必要があり、特に、多層基板で
は、不良を発見出来ずに積層すると、全体が不良となる
ので、これを廃棄処分としなければならず、歩留まりの
低下につながると共に、生産コストの増大を招く。しか
も、高密度化されたプリント配線板は、コストが高いの
で、検査によって不良個所が発見された場合には、その
不良状態が修正可能であるときに、これを修正してコス
トの低減を図ることが望まれている。

このため、従来、プリント配線板上に形成された銅箔等
の配線パターンの断線或いは短絡を検査する場合に光学
的検査方式、容量測定方式等が採用されている。

ここで、光学的検査方式は、プリント配線板上に光線を
照射し、その反射光又は透過光を読み取って配線パター
ンに断線或いは短絡等の不良が生じているか否かを検査
ものであり、実際の導通状態を測定するものではなく、
分解能の点で細かな破断或いは短絡を検出することがで
きないと共に、プリント配線板の表面にレジストが塗ら
れていたり付着物があるときには正確な検査を行うこと
ができない問題点がある。

また、容量測定方式は、上下パターンの容量を計測する
ようにしており、断線、短絡等の不良個所を特定するこ
とができず、不良個所の特定には、人が視覚によって行
わなければならず、高密度化されたプリント配線板にあ
っては視覚による不良個所の特定が困難である問題点が
あった。

これらの問題点を解決するために、従来、多ビン式の導
通検査方式が提案されている。この導通検査方式は、例
えば特開昭４７−２１０８２号公報に開示されているよ
うに、プリント配線板のソケットピンにアダプタを介し
て第１及び第２の測定点選択部を接続し、これら測定点
選択部で選択した２つの測定点間の導通抵抗を抵抗判定
回路で測定すると共に、これを基準値と比較判定し、各
測定点選択部及び抵抗判定回路をコントローラ部で制御
すると共に、抵抗判定回路からの情報を解析することに
より、測定点間の導通を自動的に検査するように構成さ
れている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、上記多ピン式の導通検査方式にあっては
、プリント配線板のソケットピンと測定点選択部との間
の接触状態を検出する機能を備えていないために、ソケ
ットピンと測定点選択部との間に接触不良が生じたとき
には、被検査パターンの導通状態を検査する場合に被検
査パターンが正常であるにもかかわらず不良であると誤
判断したり、被検査パターンの抵抗を検査する場合に接
触抵抗が変化して抵抗値を正確に検出することができず
、被検査パターンの導通或いは抵抗を高精度で検査する
ことができないという問題点があった。

そこで、この発明は、上記従来例の問題点に着目してな
されたものであり、各測定子と被検査パターンとの接触
状態を判断してから被検査パターンの導通又は抵抗値測
定を行うことにより、それらの検査精度を格段に向上さ
せることが可能な導通検査装置を提供することを目的と
している。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、この発明は、第１及び第２
の測定子を有し、各測定子を被検査パターンに接触させ
て両測定子間の導通又は抵抗を測定する導通検査装置に
おいて、前記各々の測定子は互いに近接し且つ絶縁され
た２つの接触子を有し、当該各々の測定子の各接触子の
間の接触状態を検出する接触検出手段と、該接触検出手
段の検出値に応じて前記各々の接触子が被検査パターン
に接触しているか否かを判定する接触状態判定手段とを
備えたことを特徴としている。ここで、接触検出手段は
、接触子間に通電して電流が流れるか否かを検出する場
合の外、各接触子に抵抗を介して電源を接続し、その抵
抗の端子間電圧を検出したり、接触子間の通電電流値を
検出する場合も含むものである。

〔作用〕

この発明においては、第１及び第２の測定子を、互いに
近接し且つ絶縁した２つの接触子で構成し、これらの間
の接触状態を接触検出手段で検出する。

すなわち、各測定子が被検査パターンに接触していない
状態では、接触子間が絶縁されおり、これらが被検査パ
ターンに接触すると、被検査パターンによって接触子間
が導通状態となり、この導通状態を検出することにより
、各測定子の接触子と被検査パターンとの接触状態を判
断することができる。特に、接触子間に所定抵抗値の抵
抗を介して定電圧を印加し、その抵抗の端子間電圧を検
出するようにすると、接触子と被検査パターンとの接触
状態をより正確に判断することができる。

したがって、接触検出手段の検出値を導通判定手段に供
給し、この導通判定手段で各測定子の接触状態を判断し
、その判断結果が各測定子と被検査パターンとが正常に
接触しているものであるときに、各測定子間の導通検査
又は抵抗測定を行うことにより、それらの検出を高精度
で行うことができる。

〔実施例〕

以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図乃至第４図はこの発明の一実施例を示す図である
。

第１図において、１はテーブルＴに載置された測定対象
としてのプリント配線板、２ａ及び２ｂはそれぞれ第１
及び第２の測定ヘッド３ａ及び３ｂを保持してこれをＸ
Ｙ方向に移動させる移動機構である。

各移動機構２ａ、２ｂは、それぞれプリント配線板１の
側縁に沿うＸ方向に案内される台車４を有し、これら台
車４間にコ字状枠５が橋架されてＸ軸方向移動部６ａ、
６ｂが形成され、このＸ軸方向移動部６ａ、６ｂのコ字
状枠５にＹ軸方向に移動可能な測定ヘッド３ａ、３ｂが
配設され、この測定ヘッド３ａ、３ｂにそれぞれＺ軸方
向（図において上下方向）に移動可能される第１及び第
２の測定子としてのプローブピン７ａ、７ｂが保持され
ている。

そして、移動部６ａ、６ｂがパルスモータ、直流モータ
等の駆動機構８ａ、３ｂによって、測定へラド３ａ、３
ｂがそれぞれパルスモータ、直流モータ等の回転駆動部
とこれに連結され且つ測定ヘッド３ａ、３ｂに螺合する
ボールネジとで構成される駆動機構９ａ、９ｂによって
、プローブピン７ａ、７ｂが電磁石等の駆動機構１０ａ
、１０ｂによってそれぞれ駆動され、これら駆動機構８
ａ、８ｂ〜１０ａ、１０ｂが第３図に示す制御装置１１
によって駆動制御される。

各プローブピン７ａ及び７ｂは、それぞれ第２図に示す
如く、導電性材によって円柱状に形成され、その下端部
に円錐部１２が形成され、その中央部に絶縁体１３を介
在させることにより左右半部をそれぞれ互いに絶縁され
て独立した接触子１４Ｌ１４ｒとしている。

そして、各プローブピン？ａ、７ｂの接触子１４１．１
４ｒがそれぞれ切換スイッチＳＷ、〜ＳＷ４を介して測
定回路１５及び接触検出手段としての接触検出回路１６
に選択的に接続されている。

制御装置１１は、インタフェース回路、演算処理装置及
び記憶装置を少な（とも備えたマイクロコンピュータで
構成され、そのデータ入力側に測定回路１５からの測定
値及び接触検出回路１６の検出値が入力されると共に、
出力側に各駆動機構８ａ、８ｂ、９ａ、９ｂ及び１０ａ
、１０ｂ、切換スイッチ５ＷＩ−８Ｗ４の切換制御部１
７及び後述するマルチプレクサ２６が接続され、さらに
必要に応じてプリンタ或いはＣＲＴディスプレイ等の出
力装置が接続されている。そして、制御装置１１は、接
触検出回路１６からの検出値と予め設定した正常接触状
態の電圧値とを比較し、両者が略一致するときに正常状
態と、両者が不一致であるときに接触不良とそれぞれ判
定し、その判定結果が正常状態であるときには、切換制
御部１７に例えば論理値“１゛の制御信号を出力してこ
の切換制御部１７によって切換スイッチＳＷ、−５Ｗ４
を測定回路１５側に切換えると共に、後述する導通検査
処理を実行し、判定結果が接触不良であるときには、該
当する駆動機構１０ａ、１０ｂを再度駆動してプローブ
ピン７ａ及び／又は７ｂを再接触させ、この再接触を数
回繰り返しても不良であるときには、測定不能と判断し
て、その結果を記憶装置に記憶すると共に、プローブピ
ン７ａ、７ｂを他の測定点に移動させる。

導通検査処理は、測定回路１５からの測定値と予め設定
された測定点間の基準値とを比較して測定点間に断線、
短絡等の不良個所が存在するか否かを判定し、不良個所
が存在する場合には、何れか一方のプローブピン７ａ又
は７ｂをプリント配線板１の配線パターンｌａに沿って
隣接するランドＬまで移動するように駆動機構８ａ、８
ｂ、９ａ、９ｂ及び１０ａ、］、Ｏｂに移動指令を出力
し、測定回路１５の電圧計２２からの測定値Ｖを定電流
電源２１の定電流値Ｉ、で除して抵抗値Ｒを算出し、こ
の抵抗値Ｒの最小値又は最大値となる測定点を短絡、断
線等の近傍点として判断し、その座標情報を記憶装置の
座標情報記憶領域に記憶する。

測定回路１５は、第４図に示すように、各プローブビン
７ａ、７ｂの一方の接触子１４１が両端に接続される定
電流電源２１と、プローブビン７ａ、７ｂの他方の接触
子１４ｒが両端に接続される電圧検出手段としての電圧
計２２とを備えている。そして、定電流電源２１からの
電流値Ｉ。

（例えば０．１Ａ程度）に比較して電圧計２２に流れる
電流値Ｉｖを例えば０．０２μ八程度に極めて少なくす
ることにより（Ｉｖ＜Ｉｌ）、プローブビン７ａ、７ｂ
の各接触子１４Ａ及び１４ｒ自体の抵抗及びランドの穴
と接触子との接触抵抗をそれぞれｒＩ＋　　ｒＺ及びｒ
３＋ｒ４、銅箔の線路抵抗をＲｏとしたとき、銅箔の電
流値Ｉは１＝ＩＩとなり、このため、電圧計２２に流れ
る電流値Ｉ、は■、＝０となる。したがって、電圧計２
２の端子間電圧Ｅは、銅箔にかかる電圧をＥｏとすると
、Ｅ＝　Ｅ　ｏ　＋　Ｉ　ｖ　　（ｒ　３＋　ｒ　４）
　＝Ｅｏ　となり、各プローブビン？ａ、７ｂの接触抵
抗及び線路抵抗は、無視することが可能となり、配線パ
ターン１ａの微小抵抗値（銅箔の幅を０．４龍、厚さを
２０μ、長さを１０ｍｍとしたとき２０ｍΩ程度）に正
確に対応した測定電圧■を電圧計２２から制御装置１１
に出力する。

接触検出回路１６は、例えば１２Ｖの所定電圧を出力す
る直流電源２５と、その正極側及び各プローブビン７ａ
、７ｂの接触子１４ｒとの間に介挿した接触抵抗ｒ、−
’−’ｒ４及び線路抵抗Ｒ０に比較して血かに大きい抵
抗値の抵抗Ｒ＋、Ｒｚと、直流電源２５の負極側及び各
プローブビン７ａ、７ｂの接触子１４１との間に介挿し
た上記抵抗Ｒ１゜Ｒ２と同抵抗値の抵抗Ｒ３，Ｒ，とを
有し、抵抗Ｒ３、Ｒ４の端子間電圧Ｖａ、Ｖｂが制御装
置１１によって制御されるアナログマルチプレクサ２６
及びＡ／Ｄ変換器２７を介して制御装置１１の入力側に
供給される。

次に、上記実施例の動作を制御装置１１の処理手順を示
す第６図を伴って説明する。

今、プリント配線板１上に第５図に示すようなランドＬ
Ａ−ｗＬｔ間及びランドＬ、−Ｌ１間にそれぞれ銅箔に
よる配線パターン１ａ１．ｌａｔが正常時非導通状態と
なるように形成されているものとし、例えば多ビン式導
通検査装置で検査した結果、ランドＬＡ及びり、間で短
絡状態が発見されたものとし、且つ配線パターン１ａ＋
、ｌａｚによって接続される各ランドＬＡ−ＬＥ及びＬ
Ｆ〜Ｌ１の位置座標と、ランドＬＡ及びＬＦ間が非短絡
状態である旨とがそれぞれ制御装置１１の記憶装置に予
め記憶されているものとする。ここで、記憶装置への各
ランドＬＡ、−Ｌ、及びり、−Ｌ。

の位置座標の記憶は、プリント配線板１を作成する際に
使用したＣＡＤシステムのデータを記憶するか、或いは
プリント配線板１のランドの穴位置を穴位置読取装置で
読み取り、これを記憶させるようにしてもよい。

まず、外部から検査指令を制御装置１１に入力すること
により、この制御装置１１で第６図に示す接触状態判定
処理が実行される。

すなわち、ステップ■で、スイッチ制御部１４ａに論理
値“０”の制御信号を出力して切換スイッチＳＷ１〜Ｓ
Ｗ４を接触検出回路１６側に切換え、次いでステップ■
に移行して、移動機構２ａ。

２ｂに対して移動指令を出力して、プローブビン７ａ、
７ｂをそれぞれ上昇させた状態で、これらを測定開始点
となるランド例えばＬＡ、Ｌ、上に移動させる。次いで
、ステップ■に移行して、駆動機構ｌＯを駆動してプロ
ーブビン７ａ、７ｂを下降させてランドＬＡ、ＬＦに設
けられた穴に挿入し、それらの接触子１４ｍ！、１４ｒ
をランドＬＡ＋ＬＦ位置の銅箔に接触させる。

次いで、ステップ■に移行して、マルチプレクサ２６で
端子間電圧Ｖａを選択し、これを読み込み、次いでステ
ップ■に移行して端子間電圧Ｖａと接触子１４１．１４
ｒがランドＬに正常に接触している状態の抵抗Ｒ３，Ｒ
，の端子間電圧即ち直流電源２５の電圧をＥとすると％
Ｅで表される所定設定値■ｓと等しいか否かを判定する
。その判定結果がＶａ＝Ｖｓであるときには、プローブ
ビン７ａの各接触子１４Ｌ　　１４ｒがランドＬに正常
に接触しているものと判断してステップ■ａに移行して
後述する不一致カウンタをクリアしてからステップ■に
移行する。ここでの導通検査が非導通状態が正常である
配線パターンの短絡個所の探索であるので、接触検出回
路１６の等価回路は、第７図に示すように、直流電源２
５に抵抗ＲＩ及びＲ２の並列回路と抵抗Ｒ，を及びＲ４
の並列回路とが直列関係に接続されていることになり、
各プローブビン７ａ及び７ｂの接触子１４１，１４ｒが
ランドＬに正常に接触している状態では、接触抵抗ｒ、
〜ｒ４及び線路抵抗Ｒ０を無視すると、等価回路の合成
抵抗（１ｆｉ　Ｒｔは各抵抗ＲＩ”’　Ｒａの抵抗値を
Ｒとすると、ＲＴ＝Ｒとなり、各抵抗Ｒ１及びＲ１の端
子間電圧Ｖａ及びｖｂは共に％Ｅとなる。

ステップ■では、マルチプレクサ２６を制御して端子間
電圧ｖｂを読込み、次いでステップ■に移行して、前記
ステップ■と同様に、端子間電圧ｖｂが所定設定値Ｖｓ
と等しいか否かを判定し、その判定結果がＶｂ　＝Ｖｓ
であるときには、プローブピン７ｂの各接触子Ｌ４１，
１４ｒがランドＬに正常に接触しているものと判断して
ステップ■に移行する。

このステップ■では、スイッチ切換制御部１４ａに論理
値“１”の制御信号を出力して、切換スイッチＳＷ、〜
ＳＷ、を測定回路１５側に切換え、次いでステップ■に
移行して、導通測定処理を実行する。

一方、第７図の等価回路において、各プローブビン７ａ
及び７ｂの各接触子１４ｊ２，１４ｂの双方又は何れか
一方同士が接触不良となって、直流電源２５からの電流
が遮断される状態では、Ｖａ＝ｖｂ＝ｏとなり、プロー
ブビン？ａ（又は７ｂ）の接触子１４ｒが接触不良であ
るときには、抵抗Ｒ１（又はＲｚ）が介挿されていない
状態となってＶａ　＝Ｖｂ　＝Ｅ／３となり、プローブ
ビン？ａ（又は７ｂ）の接触子１４１が接触不良である
ときには、抵抗Ｒ３（又はＲ４）が介挿されていない状
態となってＶａ−０，Ｖｂ　＝２Ｅ／３（又はＶａ　＝
２Ｅ／３．Ｖｂ　＝Ｏ）となって、ステップ■の判定結
果がＶａ　≠Ｖｓ及びｖｂ≠Ｖｓとなるときには、ステ
ップ０に移行して、不一致回数カウンタを１”だけイン
クリメントし、次いでステップ０に移行して、不一致回
数カウンタのカウント値Ｃが所定値Ｎ（例えば３）に達
したか否かを判定する。その判定結果がＣｆ＝Ｎである
ときには、ステップ＠に移行して駆動機構１０ａを非作
動状態としてから前記ステップ■に戻り、Ｃ＝Ｎである
ときには、ステップ０に移行して接触不良であるか又は
ランドの穴に導電性部が形成されていない旨を記憶装置
に記憶し、且つステップ＠ａで不一致カウンタをクリア
してからステップ■に戻り、プルーブピン７ａ及び／又
は７ｂを次の測定点に移動させる。

同様に、ステップ■の判定結果が、ｖｂ≠Ｖｓであると
きには、上記ステップ＠１〜０に対応するステップ″■
〜Ｏに移行し、ステップ［相］の次に駆動機構ｌＯｂを
再起動するステップ［相］に移行してからステップ■に
戻る。ここで、ステップ■〜■及び［相］〜［相］の処
理が接触状態判定手段に対応している。

このようにして、各プローブビン７ａ及び７ｂとランド
Ｌとの接触状態が良好であるとき即ち■ａ＝Ｖｓで且つ
Ｖｂ＝Ｖｓであるときに、初めてステップ■の導通測定
処理に移行する。

また、導通検査が導通状態が正常であるランド間が非導
通状態となる検査である場合には、その等価回路は第８
図に示すように、抵抗Ｒ１及びＲ３の直列回路と抵抗Ｒ
２及び抵抗Ｒ１の直列回路とが直流電源２５に並列関係
に介挿されたことになるので、各プローブビン７ａ及び
７ｂの各接触子１４１及び１４ｒが正常にランドに接触
している状態では、上記短絡状態と同様に、各抵抗Ｒ３
及びＲ４の端子間電圧Ｖａ及びｖｂは共に’Ａ　Ｅとな
り、ステップ■〜ステップ■を経てステップ■に移行し
て導通測定処理を実行するが、少なくとも各プローブビ
ン７ａ及び７ｂの何れか一方の接触子１４１及び１４ｒ
の何れか一方が接触不良状態となると、それに接続され
ている抵抗の直列回路が非導通状態となるので、Ｖａ　
＝Ｏ，Ｖｂ　＝’ＡＥ又はＶａ　＝Ｖ２Ｅ、Ｖｂ　＝Ｏ
とな’）、ステラ７’　＠からステップ［相］〜ステッ
プ＠に移行して接触不良処理を行うか又はステップ■か
らステップ■〜ステップ［相］に移行して接触不良処理
を行う。

導通測定処理は、図示しないが、まず測定回路１５の定
電流電源２１から定電流１１がプローブビン７ａ、７ｂ
の接触子１４Ｉ！を通じて配線パターン１ａ＋１ａｚに
供給される。このとき、配線パターン１ａｌ＋１ａｚ間
が非導通状態であって抵抗値が無限大である筈であるの
に短絡状態となっているので、短絡位置を含む配線パタ
ーンの長さに応じた電圧値ＶＡＦが測定回路１５の電圧
計２２で検出される。

次いで、測定開始点での基準値即ち非導通状態であると
きには無限大に近い比較的大きな抵抗値Ｒ３Ｉをセット
し、導通状態であるときには配線パターンの長さに応じ
た比較的小さな抵抗値Ｒ１＋２を七ソ］・する。このと
き、測定対象となる配線パターン１”＋＋１ａｚが非導
通状態である筈であるときには、基準値として抵抗値Ｒ
５Ｉがセットされる。

次いで、測定回路１５の電圧計２２の測定電圧ＶＡＦを
読込み、この測定電圧Ｖａｔを予め設定された定電流電
源２１からの定電流値１１で除してランドＬ＾及びＬｒ
間の配線パターンの抵抗値Ｒ（””ＲＡＦ）を算出する
。

次いで、基準値として抵抗値Ｒ３１がセットされている
か否かによって短絡個所を探索するか断線個所を探索す
るかを判断し、基準値として抵抗値Ｒ１ｌ＋がセントさ
れているので、短絡個所を探索するものと判断する。

次いで、算出した抵抗値Ｒ（”ＲＡＦ）が基準抵抗値Ｒ
ｓ＋以上であるか否かを判定する。この判定は、プロー
ブビン？ａ、７ｂが接触しているランドＬＡ、ＬＰ間が
正常であるか否かを判定するものであり、この場合、ラ
ンドＬａ、Ｌｒ間が短絡状態であるので、抵抗値ＲＡＦ
が基準抵抗値Ｒ３１未満となり、この抵抗値ＲＡＦを最
小値Ｒｍｉｎとして最小値記憶領域に記憶し、且つその
ときのランドＬＡの座標位置を記憶装置に形成された第
１の座標位置記憶領域に記憶し、次いで切換スイッチＳ
Ｗ、〜ＳＷ４を中立状態として、測定ヘッド３　ａ　＋
３ｂの移動に先立って必要に応じて測定ヘッド３ａ、３
ｂが衝突か否かの検査等を行ってから前記ステップ■に
戻る。これにより、移動機構２ａに対してプローブビン
７ａを隣接する次のランドＬ８に移動させ、ステップ■
〜［相］の接触不良検出処理を行ってから再度導通測定
処理を行い、電圧計２２の測定電圧■を読込み、これに
基づいて抵抗値Ｒを算出し、その後、上記と同様の動作
が繰り返され、測定回路１５で、プローブビン７ａ、７
ｂが接触しているランドし、及びり、間の電圧値ＶＩＩ
Ｆが測定され、これが制御装置１工に読み込まれて、抵
抗値Ｒ８Ｆが算出される。

このとき、第５図の例ではランドＬイとしわの近くが短
絡しているので今回の測定抵抗値ＲＢＦは、前回の測定
抵抗値ＲＡＦに比較してランドＬＡ及びし６間の抵抗値
を差し引いた分小さな値となるので、今回の測定抵抗値
ＰＩＦが最小値Ｒｍｉｎ＋として′最小値記憶領域に更
新記憶され、且つ座標位置記憶領域にランドＬＢの座標
情報が更新記憶される。

このようにして、順次プローブビン７ａをランドＬｃ”
”Ｌｔに移動させながら、抵抗値を測定して行き、抵抗
値が最小となるランドを検索する。

この場合、第５図に示すように、配線パターン１ａ＋＋
１ａ２のランドＬｎ　　Ｌｒ間のランドＬＤ寄り位置Ｐ
、とｔ、Ｈ−Ｌｒ間のランドＬ０寄り位置Ｐ２との間で
短絡Ｐｓが生じているので、ランドＬＤ及びランドし２
間の抵抗値Ｒ□が最小値Ｒ５１ｎとなり、これが最小値
記憶領域に更新記憶され、且つランドＬＤの座標情報が
第１の座標情報記憶領域に更新記憶される。

この状態で、次のランドＬ、の抵抗値ＲＥＦを算出した
ときに、この抵抗値ＲＥＦは前回の抵抗値ＲＤＦより大
きな値となるので、移動機構２ａに対してプローブビン
７ａを座標位置記憶領域に記憶されている座標情報即ち
ランドＬＤ位置社戻す移動指令を出力し、プローブビン
７ａがランドＬＤに接触する状態となったら、他方のプ
ローブビン７ｂを隣接する次のランドＬ、に移動させる
移動指令を移動機構２ｂに対して出力し、その移動が完
了すると、測定回路１５からのランドＬ。とランドＬＧ
の測定値■ｌ１ｌＧを読込んで抵抗値ＲＤＧを算出し、
次いで、最小値記憶領域に記憶されている最小値Ｒｍｉ
ｎ　　（＝Ｒ□）未満であるか否かを判定する。このと
き、抵抗値ＲＵＧがＲ８Ｆ未満となるので、抵抗値ＲＤ
Ｇを最小値Ｒｍｉｎとして最小値記憶領域に更新記憶す
ると共に、そのときのランドｔ、ｅの座標情報を記憶装
置に形成された第２の座標情報記憶領域に記憶する。そ
して、上記処理を繰り返して、プローブビン７ｂについ
ての最小抵抗値を示すランドＬＨを探索し、その抵抗値
ＲＤ）１が最小値記憶領域、に記憶され、且つランドＬ
ｌｌの座標情報を第２の座標情報記憶領域に記憶し、次
いで、ランドＬ、について抵抗値ＲＤＩを算出すると、
このときの抵抗値ＲＤＩは前回の最小値Ｒｍｉｎ（＝　
Ｒゎ−より大きな値となるので、第１及び第２の座標情
報記憶領域に記憶されている座標情報をそれぞれ記憶装
置に形成された不良個所座標情報記憶領域に記憶してか
ら検査を継続するか否かを判定し、検査を継続する場合
には、基準値Ｒ３Ｉをリセットすると共に、第１〜第４
の座標情報記憶領域及び最小値記憶領域をクリアしてか
らステップ■に戻り、検査を終了する場合には不良個所
座標情報記憶領域に記憶されている座標情報即ち上側の
場合にはランドｔ、ＤＩ　　Ｌｌｌの座標情報を読出し
、これをプリンタ又はＣＲＴディスプレイでなる出力装
置に出力することにより、短絡状態を生じている不良個
所を特定することができる。

また、被検査対象となるプリント配線板１上の配線パタ
ーン１ａｌｌｌａ２のランドＬＥとランド上３間がパタ
ーンＰ、で導通するように接続されていなければならな
いパターンであるにもががわらず、ランドＬＡ、ＬＦ間
が非導通状態であるときには、基準抵抗値Ｒ３２がセッ
トされるので、算出した抵抗値Ｒ（＝ＲＡｙ）が基準抵
抗値Ｒ３２以下であるか否かを判定する。この判定は、
ランドＬＡ、ＬＰ間が正常状態であるが否かを判定する
ものであり、この状態では、ランドＬＡ、ＬＦ間に断線
が生じているので、抵抗値ＲＡＦは無限大となり、基準
抵抗値Ｒ１より大きくなるので、プローブビン７ａ、７
ｂの何れか一方例えば７ａを固定したままで、プローブ
ビン７ｂをランドＬ！＋に移動させてから測定回路１５
の測定値■を読込んで抵抗値Ｒを算出し、次いで抵抗値
Ｒが基準値Ｒ３２を越えているか否かを判定し、Ｒ５Ｒ
３，であるときには、そのときのランドＬｍの座標情報
を記憶装置に形成した第３の座標情報記憶領域に記憶す
る。

次いで、プローブビン７ｂを隣接する次のランドＬＣに
移動させてから上記と同様の処理を繰り返す。

そして、プローブビン７ａをランドＬＡに固定したまま
、プローブビン７ｂを順次ランドＬ、。

Ｌ、、Ｌ、、Ｌ、と移動させて行き、これらランドとラ
ンドＬＡとの間の抵抗値を順次測定して行く。この場合
に、ランドＬＭまでは、プローブビン７ｂがランドＬＡ
から雌れる毎に、配線パターンｌａ＋の抵抗値が増加す
るが、その抵抗値ＲＡＣ〜ＲＡＥは基準値Ｒｏ１１より
大きくなることはなく、第３の座標情報記憶領域に順次
ランドＬｃ”＝Ｌｔの座標情報が更新されて行く。その
後、プローブビン７ｂがランドＬ、からランドＬ＋に移
動した時点で、パターンＰ、は中央部Ｐ、に断線がある
ので抵抗値Ｒ□が無限大となり、そのときのランドＬｌ
の座標情報を記憶装置に形成した第４の座標情報記憶領
域に記憶し、第３及び第４の座標情報記憶領域に記憶さ
れている座標情報をそれぞれ前記不良座標情報記憶領域
に格納し、次いで検査を終了するか否かを判定する。

そして、該当する測定ネットについて不良個所を１個所
発見したら測定を終了し、このネットについての補修を
終了した後、再度導通検査を行って確認することにより
、労力をかけることなく、不良品の補修を行うことがで
きる。

なお、上記実施例においては、接触検出回路１６が１つ
の直流電源２５を有する場合について説明したが、第９
図に示すように、各プローブビン７ａ及び７ｂに対して
個別に直流電源２５ａ、２５ｂを設けて、それらの接触
子１４１及び１４ｒの接触状態を検出するようにしても
よく、また各接触子１４１及び１４ｒに電流源を接続し
、その電流値を検出することにより、両者の導通状態を
判定し、接触不良の有無を判定するようにしてもよい。

また、上記実施例では、接触不良を検出したときに、プ
ローブビン７ａ、７ｂを再接触させる場合について説明
したが、これに限定されるものではなく、接触不良を検
出したときに１．警轢を発するようにしてもよい。

さらに、導通検査を４端子法で行う場合について説明し
たが、これに限定されるものではなく、通常の２端子法
で検査を行う場合にも、その導通検査に先立ち各プロー
ブビン７ａ、　　フｂの接触状態を検出することができ
る。

またさらに、導通検査に限らず配線パターンの抵抗値を
測定子を用いて測定する場合にもこの発明を適用し得る
ことは勿論である。

また、上記実施例においては、多ビン式ＨＬｉ１１検査
装置によって、予め導通検査を行い、その結果不良ネッ
トが存在するときにこの発明による導通検査装置を適用
する場合について説明したが、これに限定されるもので
はなく、最初からこの発明による導通検査装置を使用し
て、予め設定された所定のランド間の抵抗値を測定し、
その測定抵抗値が予め設定された基準値Ｒ＠　ｌ　ｒ　
　ＲＭ　！と比較して両者が正常であるか否かを判定し
、不良状態であるときにプローブビン７ａ、７ｂの何れ
かを順次隣接するランドに移動させてランド間の抵抗値
を測定して不良個所に隣接するランドの座標情報を記憶
装置の不良個所記憶領域に記憶するようにしてもよいこ
と勿論である。

さらに、上記実施例においては、駆動機構９ａ。

９ｂとしてボールネジを適用した場合について説明した
が、これに限らず回転駆動部と測定ヘッド３ａ、３ｂに
取付けたプーリとの間に張設されたタイミングベルト又
はワイヤとで構成するようにしてもよい。

またさらに、上記実施例においては、プローブビン７ａ
、７ｂが第２図に示すように構成されている場合につい
て説明したが、９これに限らず、第１０図に示すように
、絶縁材で形成した円柱体３０の外周面に導電性を存す
る金属３１を鍍金し、その鍍金層を中心軸を通る対称位
置で除去して絶縁部３２を形成することにより、互いに
絶縁された接触子１４１．１４ｒを形成するようにして
もよく、さらに、各接触子１４１．１４ｒを円環状の絶
縁材の内周面に所定間隙を保って保持するようにしても
よい、ここで、各接触子１４１．１４ｒを円環状の絶縁
材に保持させる場合には、両接触子の長さを比較的長め
に選定し、その弾性を利用することにより、ランド以外
の平面的な配線バクーンに所定圧力で当接させて４通検
査又は抵抗測定を行うことができる。

また、本実施例では、プリント配線板１の上面側に２つ
のヘッド３ａ、３ｂを配置するようにした場合について
説明したが基板を挾んで上下に１つづつヘッドを設けて
も良い。

〔発明の効果〕

以上説明したように、この発明によれば、第１及び第２
の測定子を有し、各測定子を被検査パターンに接触させ
て両測定子間の導通又は抵抗を測定する導通検査装置に
おいて、前記各々の測定子は互いに近接し且つｗＡ縁さ
れた２つの接触子を有し、当該各々の測定子の各接触子
の間の接触状態を検出する接触検出手段と、該接触検出
−手段の検出結果に応じて前記各々の接触子が被検査パ
ターンに接触しているか否かを判定する接触状態判定手
段とを備えた構成としたので、各測定子が正常状態で被
検査パターンに接触したことを確認した後に、正規の導
ｉｉ１検査又は抵抗値測定を行うことができ、各測定子
における各接触子の接触不良による導通検査又は抵抗値
測定における誤検出を確実に防止することができ、検査
装置の検査精度を格段に向上させて信鯨性を向上させる
ことができるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す斜視図、第２図はこ
の発明に適用し得る測定子の一例を示す拡大断面図、第
３図はこの発明に適用し得る制御装置の一例を示すブロ
ック図、第４図はこの発明に適用し得る測定回路の一例
を示す回路図、第５図はプリント配線板の配線パターン
の一例を示す平面図、第６図はこの発明に適用し得る制
御装置の処理手順の一例を示すフローチャート、第７図
及び第８図はそれぞれ配線パターンが導通状態及び非導
通状態における接触検出回路の等価回路を示す回路図、
第９図は接触検出回路１６の他の実施例を示す回路図、
第１０図はこの発明に適用し得る測定子の他の実施例を
示す断面図である。図中、１はプリント配線板、１ａ＋、ｌａ２は配線パタ
ーン、２ａ、２ｂは移動機構、３ａ、３ｂは測定ヘッド
、７ａ、７ｂはプローブビン（測定子）、１１は制御装
置、１４１，１４ｒは接触子、１５は測定回路、１６は
接触検出回路、２５は直流電源、２６はアナログマルチ
プレクサ、２７はＡ／Ｄ変換器、Ｌ、〜Ｌ１はランドで
ある。第　１　図第２図第４図ＲＯ第５図１フ゛リント白Ｃ＋糸掌本ワ第６図第７図づ５第８図３゜

Claims

【特許請求の範囲】

　第１及び第２の測定子を有し、各測定子を被検査パタ
ーンに接触させて両測定子間の導通又は抵抗を測定する
導通検査装置において、前記各々の測定子は互いに近接
し且つ絶縁された２つの接触子を有し、当該各々の測定
子の各接触子の間の接触状態を検出する接触検出手段と
、該接触検出手段の検出値に応じて前記各々の接触子が
被検査パターンに接触しているか否かを判定する接触状
態判定手段とを備えたことを特徴とする導通検査装置。