JPS63117921A - 切断機 - Google Patents

切断機

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JPS63117921A
JPS63117921A JP62137761A JP13776187A JPS63117921A JP S63117921 A JPS63117921 A JP S63117921A JP 62137761 A JP62137761 A JP 62137761A JP 13776187 A JP13776187 A JP 13776187A JP S63117921 A JPS63117921 A JP S63117921A
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cutting
plate
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suction
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Isao Yugawa
功 湯川
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Disco Abrasive Systems Ltd
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  • Feeding Of Workpieces (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 く技術分野〉 切断機に関する。
〈従来技術及びその問題点〉 周知の如く、光学的又は磁気的記憶媒体として、円環状
板形状の所謂光又は磁気ディスクが広く実用に供されて
いる。かかる光又は磁気ディスクの基板は、従来、アル
ミニウムの如き適宜の金属材料から形成されていたが、
表面精度の向上環の種々の理由から、近時においては、
ガラスから光又は磁気ディスクの基板を形成することが
提案され実用に供されるようになってきた。
而して、ガラスから上記基板を形成するには、一般に、
方形乃至矩形等のガラス板を同心状の円形内側及び外側
切断ラインに沿って切断し、かくして上記円形内側及び
外側切断ライン間に残留する円環状板を得ることが必要
である。
然るに、ガラス板は高脆性であり、金属板と比べて切断
が著しく困難である等の事実から、上記円形内側及び外
側切断ラインに沿ってガラス板を自動的に切断するのに
適した切断機は未だ提案されていない。現状においては
、熟練工の手作業によってガラス板を上記円形内側及び
外側切断ラインに沿って切断し、円環状板を得ている。
それ故に、生産効率が著しく低く、生産コストが著しく
高い。また、高精度のガラス製円環状板(即ち光又は磁
気ディスク基板)を安定して得ることができない。
〈発明の課題〉 従って、本発明の主たる技術的課題は、板状材料がガラ
ス板の如き高脆性で難切断性のものである場合にも、同
心状の円形内側及び外側切断ラインに沿って所要通りに
自動的に切断することができる、新規且つ優れた切断機
を提供することである。
〈解決手段〉 本発明の一局面によれば、板状材料を同心状の円形内側
及び外側切断ラインに沿って切断するための切断機にし
て; 移動自在に装着された支持基台と、 該支持基台上に配設された少なくとも2個の材料保持チ
ャック手段と、 該支持基台を間けつ的に移動せしめて、該材料保持チャ
ック手段の各々を順次に切断作業域に位置付けるための
支持基台間けっ移動手段と、該材料保持チャック手段の
各々が該切断作業域外にある時に該材料保持チャック手
段の各々に切断すべき材料を搬入するための材料搬入手
段と、該切断作業域において、該材料保持チャック手段
上に保持された材料を切断するための切断ブレード装置
であって、該支持基台に対して接近及び離隔する方向に
移動自在に且つ回転自在に装着された同心状の内側ブレ
ード及び外側ブレード、該内側ブレード及び該外側ブレ
ードを回転せしめるためのブレード回転手段、並びに該
内側ブレード及び該外側ブレードを該支持基台に対して
接近及び離隔する方向に移動せしめるためのブレード移
動手段、を含むところの切断ブレード装置と、該材料保
持チャック手段の各々が該切断作業域外にある時に該材
料保持チャック手段の各々から切断された材料を搬出す
るための材料搬出手段と、を具備することを特徴とする
切断機が提供される。
かかる本発明の切断機の一実施形態においては、切断ブ
レード装置における内側ブレードと外側ブレードとは共
通のブレード支持体に固着され、−体として回転され且
つ支持基台に対して接近及び隔離する方向に移動される
。他の実施形態においては、切断ブレード装置における
内側ブレードと外側ブレードとは、別個独立に回転され
且つ支持基台に対して接近及び隔離する方向に移動され
る。
本発明の他の局面によれば、板状材料を同心状の円形内
側及び外側切断ラインに沿って切断するための切断機に
して; 移動自在に装着された支持基台と、 該支持基台上に配設された少なくとも3個の材料保持チ
ャック手段と、 該支持基台を間けつ的に移動せしめて、該材料保持チャ
ック手段の各々を、順次に、該支持基台の移動方向に所
定間隔を置いて規定された第1の切断作業域と第2の切
断作業域との一方に位置付け、次いで該第1の切断作業
域と該第2の切断作業域との他方に位置付ける支持基台
間けつ移動手段と、 該材料保持チャック手段の各々が該切断作業域外にある
時に該材料保持チャック手段の各々に切断すべき材料を
搬入するための材料搬入手段と、該第1の切断作業域に
おいて、該材料保持チャック手段上に保持された材料を
切断するための第1の切断ブレード装置であって、該支
持基台に対して接近乃至隔離する方向に移動自在に且つ
回転自在に装着された第1のブレード、該第1のブレー
ドを回転せしめるための第1のブレード回転手段、及び
該第1のブレードを該支持基台に対して接近乃至隔離す
る方向に移動せしめるための第1のブレード移動手段、
を含む第1の切断ブレード装置と、該第2の切断作業域
において、該材料保持チャック手段上に保持された材料
を切断するための第2の切断ブレード装置であって、該
支持基台に対して接近乃至隔離する方向に移動自在に且
つ回転自在に装着された第2のブレード、該第2のブレ
ードを回転せしめるための第2のブレード回転手段、及
び該第2のブレードを該支持基台に対して接近乃至隔離
する方向に移動せしめるための第2のブレード移動手段
、を含むところの第2の切断ブレード装置と、 該材料保持チャック手段の各々が該切断作業域外にある
時に該材料保持チャック手段の各々から切断された材料
を搬送するための材料搬送手段と、を具備し、該第1の
切断ブレード装置と該第2の切断ブレード装置との一方
が該内側切断ラインに沿って材料を切断し、該第1の切
断ブレード装ごとを特徴とする切断機が提供される。
〈発明の好適具体例〉 以下、本発明に従って構成された切断機の具体例につい
て詳細に説明する。
第1図を参照して説明すると、図示の切断機は、実質上
鉛直に延びる(第1図において紙面に対して実質上垂直
に延びる)中心軸線−を中心とじて23一 回転自在に装着された円盤から成る支持基台2を含んで
いる。この支持基台2上には、90度の角度間隔を置い
て4個の材料保持チャック手段4が配設されている。上
記支持基台2は、適宜の伝動機構(図示していない)を
介して電動モータでよい間けつ移動手段6に駆動連結さ
れている。かかる間けつ移動手段6は、支持基台2を矢
印8で示す方向に90度毎間けつ的に回転せしめる。上
記支持基台2上には、90度の角度間隔を置いて、支持
基台2の矢印8で示す回転方向に見て順次に、材料搬入
域10、切断作業域12、材料搬出域14及びチャック
洗浄域16が規定されている。第1図を参照することに
よって容易に理解される如く、上記移動手段6によって
支持基台2が90度毎間けつ的に回転せしめられること
により、チャック手段4の各々は、材料搬入域10、切
断作業域12、材料搬出域14及びチャック洗浄域16
に順次に位置付けられる。
上記材料搬入域10に関連せしめて全体を番号18で示
す材料搬入手段が設けられ、上記切断作業域12に関連
せてめて全体を番号20で示す切断ブレード装置が設け
られ、上記材料搬出域14に関連せしめて全体を番号2
2で示す材料搬出手段が設けられ、そして上記チャック
洗浄域16に関連せしめて全体を番号24で示す洗浄装
置が設けられている。
第2図乃至第4図を参照して上記チャック手段4につい
て説明すると、図示の具体例におけるチャック手段4の
各々は、チャック板26と保持板28とを具備している
。かかるチャック板26及び保持板28は、円形又は長
方形等の適宜の形状でよいが、切断すべき材料が方形の
場合はこれに対応した略方形であるのが好都合である。
第2図及び第3図に明確に図示する如く、チャック板2
6の上面には、同心状の4個の環状溝30,32゜34
及び36が形成されている。チャック板26は、外縁領
域部38と共に、上記環状溝30゜32.34及び36
が形成されている4個の略環状領域部40,42.44
及び46並びに周縁領域47及びその内側を周縁領域4
7に平行に延びる領域48においては非通気性であるが
、第3図に交差斜線を付した他の部分は通気性を有する
かかる通気性を実現するためには、第3図に交差斜線を
付した部分においてチャック板26に多数の上下方向貫
通孔49(第2図)を形成すればよい。或いは、チャッ
ク板26の第3図に交差斜線を付した部分のみを多孔性
物質から形成すればよい。第2図及び第4図を参照する
ことによって理解される如く、保持板28の上面には、
内側凹部50と外側凹部52とが形成されている。内側
凹部50は略方形であり、かかる内側凹部50内には8
個の弧状支持ランド54が残留せしめられている。外側
凹部52は内側凹部50の周縁に沿って連続して延びて
おり、内側凹部50と外側凹部52との間には連続して
延びる隔離ランド56が存在している。外側凹部52の
外側には連続して延びる外周ランド58が存在する。第
2図から明らかな如く、支持ランド54、隔離ランド5
6及び外周ランド58の上面は、同一平面上にある。
外周ランド58はチャック板26における周縁領域47
に対応して位置し、隔離ランド56はチャック板26に
おける領域48に対応して位置する。
保持板28の下面中央部には円形でよい凹部60が形成
されている。更に、保持板28には、上記内側凹部50
と凹部60とを相互に連通せしめる第1の連通路と、上
記外側凹部52と凹部60とを相互に連通せしめる第2
の連通路とが設けられている。第1の連絡路は、上記内
側凹部50に開ロした上端から上記凹部60に開口した
下端までから下方に延びる孔64、実質上水平に延びる
孔66、及び孔66の内側端部から下方に上記凹部60
に開口した下端まで延びる孔68を含んでいる。保持板
28には、更に、その片側面(第2図及び第4図におい
て左側面)から内方へ延びる大径孔70が形成されてい
る。上記孔64の下端はこの大径孔70に接続されてお
り、上記孔66の外側端もこの大径孔70に接続されて
いる。そして、上記大径孔70には、開閉制御部材72
が回転自在に装着されている。この開閉制御部材72は
、頭部74、小径部76、及び上記大径孔70の内径に
対応した外径を有する弁部78を有する。
かかる開閉制御部材72は、その小径部76を受入れる
細長いスロットが形成されている止め板80を締結ねじ
82(第3図)によって保持板28の上記片側面に固定
することによって、所定位置に回転自在に装着される。
開閉制御部材72の弁部78には、直径方向に延びる孔
84と、この孔84から先端まで延びる孔86とが形成
されている。
開閉制御部材72が第2図に図示する角度位置にある時
には、上記孔84及び86によって、上記孔64及び孔
66が相互に連通され、従って上記外側凹部52と上記
凹部60とが相互に連通される。他方、頭部74を把持
することによって開閉制御部材72を例えば90度程度
回転せしめると、上記孔84と上記孔64とが非連通に
なり、従って上記外側凹部52と上記凹部60とが非連
通になる。
第2図及び第4図に図示する如く、保持板28には、上
記外側凹部52において適宜の間隔を置いて貫通穴88
が形成されており、かかる貫通穴88を通して締結ボル
ト89を上記支持基台2に螺着することによって、支持
基台2上の所定位置に保持板28が固定される。チャッ
ク板26は、複数個の連結具90によって保持板28に
装着される。第2図に図示する如く、チャック板26の
側面には溝92が形成され、保持板28の側面には肩部
94が形成されている。連結具90は、その上部係止脚
96を上記溝92にその下部係止脚98を上記肩部94
に係止せしめて、締結ボルト100によって保持板28
の側面に固定される。
上記の通りのチャック手段4において、保持板28の下
面に形成されている上記凹部60は、支持基台2に形成
されている連通路101を含む適宜の連通路を介して、
制御弁102及び104の制御によって、真空源106
及び水供給源108に選択的に連通せしめられる。更に
詳述すると、上記材料搬入域10(第1図)においてチ
ャック板26上に切断すべき材料が載置されると、上記
凹部60は真空源106に連通せしめられる。チャック
板26上に載置されるガラス板の如き板状材料が、第2
図及び第3図に2点鎖線CLで示す如く、比較的大きい
方形であり、その外縁が上記外周領域47上に位置する
場合、上記開閉制御部材72は第2図に図示する開位置
に位置付けられる。従って、上記凹部60が孔62によ
って上記内側凹部50に連通されると共に、上記凹部6
0が孔68,66.86.84及び64を介して上記外
側凹部52に連通される。かくして、チャック板26の
全ての通気性部分を通して空気が吸引され、材料GLが
チャック板26上に吸着される。
他方、チャック板26上に載置される材料が、第2図及
び第3図に2点鎖線GSで示す如く、比較的小さい方形
であり、その外縁が上記領域48上に位置する場合には
、上記開閉制御部材72は第2図に図示する開位置から
90度程度回転せしめられて閉位置にせしめられる。従
って、上記凹部60は孔62によって上記内側凹部50
に連通せしめられるが、上記凹部60と上記外側四部5
2とは非連通にせしめられる。かくして、上記隔離ラン
ド56よりも内側の領域においてのみ、チャック板26
の通気性部分を通して空気が吸引され、材料O3がチャ
ック板26上に載置される。上記外側凹部52と上記凹
部60とは非連通であるので、上記隔離ランド56より
も外側の、材料GSによって覆われていない領域におい
て、チャック板26の通気性部分を通して空気が吸引さ
れることはなく、従って材料GSの吸着が毀損されるこ
とはない。
チャック手段4が上記材料搬出域14に位置付けられる
と、上記四部60は真空源10Gから切離されて水供給
源108に連通せしめられる。かくしで、チャック板2
6の通気性部分を通してチャック板26の上面に水が流
出せしめられ、これによってチャック板26上の材料G
L又はGSが浮上せしめられる。
再び第1図を参照して説明すると、上記材料搬入域10
に関連せしめて配設されている材料搬入手段18は、鉛
直方向に間陽を置いて複数枚の板状材料GL(又はGS
)を収納することができるカセットが載置されるカセッ
ト載置台110と、板状材料受台112と、上記カセッ
ト載置台110上に載置されているカセットから板状材
料GL(又はGS)を1枚毎受台112上に供給する供
給機l1114とを含んでいる。カセット載置台110
、その上に載置されるカセット、及び供給機構114は
、半導体ウェーハの裏面研削機等において一般に使用さ
れている周知の構成と実質上同一のものでよく、それ故
に、これらの構成及び作用についての説明は省略する。
材料搬入手段18は、更に、旋回アーム116を含んで
いる。この旋回アーム116は、実質上鉛直に延びる(
第1図において紙面に対して実質上垂直に延びる)旋回
軸線を中心として、実線で示す吸着位置と2点鎖線で示
す離脱位置との間を往復旋回動自在に、そしてまた実質
上鉛直な方向に昇降動自在に装着されている。
旋回アーム116の自由端には、適宜の形態でよい吸着
ヘッド118が設けられている。かかる吸着ヘッド11
8は、図示していないが切換弁を含む連通ラインを介し
て通常の真空ポンプ又エゼクタでよい真空源及び空気供
給源に接続されており、上記切換弁によって真空源又は
空気供給源に選択的に連通せしめられる。旋回アーム1
16が実線で示す吸着位置に位置付けられると、吸着ヘ
ッド118は上記受台112上の板状材料GL(又はG
S)の直上に位置する。かかる状態において吸着ヘッド
118が真空源に連通せしめられ、かくして吸着ヘッド
118が受台112上の板状材料GL(又はGS)を真
空吸着する。次いで、旋回アーム116が所定距離上昇
され、しかる後に2点鎖線で示す離脱位置に旋回動され
、次いで所定距離下降される。かくすると、吸着ヘッド
118は上記材料搬入域10に位置付けられているチャ
ック手段4の直上に位置する。かかる状態において吸着
ヘッド118が真空源から切離されると共に若干の時間
だけ空気供給源に連通され、従って板状材料GL(又は
GS)が吸着ヘッド118から離脱されてチャック手段
4上に載置される。かくして、板状材料GL(又はGS
)が材料搬入域10においてチャック手段4上に搬入さ
れる。しかる後に、旋回アーム116は、次の板状材料
GL(又はGS)の搬入のために、所定距離上昇され、
次いで実線で示す吸着位置に旋回動され、そ=35− して所定距離下降される。
次に、上記切断作業域12に関連して配設されている切
断ブレード装置20について説明する。
第5図を参照して説明すると、切断ブレード装置20は
、上記支持基台2の上方に配置された静止支持枠120
を含んでいる。この支持枠120の前面には、間隔を置
いて実質上鉛直に延びる一対の案内レール122が固定
されており、かかる−対の案内レール122に可動支持
体124が実質上鉛直な方向に昇降動自在に装着されて
いる。上記支持枠120の前面には、可動支持体124
を昇降動せしめるブレード移動手段126も設けられて
いる。このブレード移動手段126は、回転自在に装着
され且つ実質上鉛直に延びる雄ねしロッド128と、こ
の雄ねじロッド128を回転せしめるための電動モータ
130とを有する。上記雄ねじロッド128は上記可動
支持体124に形=36− 成されている雌ねじ穴(図示していない)に螺合されて
おり、従って雄ねじロッド128の正転及び逆転によっ
て可動支持体124が下降及び上昇せしめられる。可動
支持体124には、実質上鉛直に延びる軸132が回転
自在に装着され、そしてまた、この軸132を回転せし
めるための電動モータでよいブレード回転手段134が
装着されている。軸132は可動支持体124を越えて
下方に突出しており、その下端にはブレード支持体13
6が固定されている。第5図と共に第6図を参照して説
明すると、上記ブレード支持体136の下面には、同心
状の2個のブレード、即ち比較的小径の円筒形状である
内側ブレード138及び比較的大径の円筒形状である外
側ブレード140が固着されている。ブレード支持体1
36には、内側ブレード138及び外側ブレード140
による切断の際に水の如き冷却液を噴出するための複数
個の冷却液噴出孔142が形成されている。ダイヤモン
ド砥粒を金属等で結合することによって形成することが
できる内側ブレード138及び外側ブレード140自体
の好適構成及びその製造方法は、昭和60年特許願第2
47749号の明細書及び図面に詳細に説明されている
ので、これらについての説明は、上記明細書及び図面に
委ね、本明細書においては省略する。図示の具体例にお
ける内側ブレード138及び140は共に周方向に連続
した円筒形状であるが、所望ならば、内側ブレード13
8及び140の各々は、周方向に間隔を置いて配設され
た複数個の弧状片から構成することもできる。
第5図と共に第7図を参照して説明すると、切断作業域
12においては、ブレード回転手段134が付勢される
ことによって、軸132が比較的高速で回転せしめられ
、かくして内側ブレード138及び外側ブレード140
が比較的高速で回転せしめられる。加えて、ブレード移
動手段126が付勢されて可動支持体124が比較的低
速で下降され、かくして内側ブレード138及び外側ブ
レード140が比較的低速で下降される。かくすると、
第7図に図示する如く、比較的高速で回転せしめられて
いる内側ブレード138及び外側ブレード140が、板
状材料GLの上面から下方に向けて漸次板状材料GLに
作用してこれを切断する。従って、板状材料GLは、内
側ブレード138によって円形内側切断ラインに沿って
切断されると共に外側ブレード140によって円形外側
切断ラインに沿って切断される。かような切断の際には
、冷却液噴出孔142(第6図)から水の如き冷却液が
噴出せしめられる。第7図に図示する如く、内側ブレー
ド138及び外側ブレード140は、板状材料GLを完
全に切断するまで下降せしめられる。板状材料GLの下
面を越えて下方に突出せしめられる内側ブレード138
及び外側ブレード140の下端は、チャック手段4のチ
ャック板26の表面に形成されている上記環状溝32及
び36内に進入する。他方、切断すべき板状材料が比較
的小さい方形である場合には、比較的小径の内側ブレー
ド及び外側ブレードが使用され、この場合には内側ブレ
ード及び外側ブレードの下端は、チャック手段4のチャ
ック板26の表面に形成されている、環状溝32及び3
6ではなくて環状溝30及び34内に進入する。板状材
料GL(又はGS)の切断が終了すると、内側ブレード
138及び外側ブレード140から上昇せしめられて板
状材料GL(又はGS)から隔離せしめられる。
所望ならば、内側ブレード138及び外側ブレード14
0の最下降位置、従って板状材料GLの切断深さを、板
状材料GLの下面に若干(例えば数μm)の非切断部を
残留せしめるように設定することもできる。この場合に
は、後に板状材料GLの上記非切断部に幾分かの力を加
えることによって上記非切断部を破断せしめる。板状材
料GLの裏面に適宜の合成樹脂テープが貼着されている
場合には、テープは完全に切断することなく非切断状態
に維持し、これによって板状材料GLの一体性を維持す
るが、板状材料GLは下部に非切断部を残留せしめるこ
となく完全に切断することもできる。
第8図は、切断ブレード装置の変形例を図示している。
全体を番号150で示す切断ブレード装置は、上記支持
基台2の上方に配置された静止支持枠152を含んでい
る。この支持枠152の前面には、間隔を置いて実質上
鉛直に延びる一対の案内レール154が固定されており
、かかる一対の案内レール154に可動支持体156が
実質上鉛直な方向に昇降動自在に装着されている。上記
支持枠152の前面には、可動支持体156を昇降動せ
しめるブレード移動手段158が設けられている。この
ブレード移動手段158は、回転自在に装着され且つ実
質上鉛直に延びる雄ねじロッド160と、この雄ねじロ
ッド160を回転せしめるための電動モータ162とを
有する。上記雄ねじロッド160は上記可動支持体15
6に形成されている雌ねじ穴(図示していない)に螺合
されており、従って雄ねじロッド160の正転及び逆転
によって可動支持体156が下降及び上昇せしめられる
。可動支持体156内にも、間隔を置いて実質上鉛直に
延びる一対の案内レール164が固定されている。そし
て、この一対の案内レール164には、補助支持体16
6が実質上鉛直な方向に昇降動自在に装着されている。
可動支持体156内には、補助支持体166を昇降動せ
しめる補助移動手段168も設けられている。この補助
移動手段168は、回転自在に装着され且つ実質上鉛直
に延びる雄ねじロッド170と、この雄ねしロッド17
0を回転せしめるための電動モータ172とを有する。
上記雄ねじロッド170は上記補助支持体166に形成
されている雌ねじ穴(図示していない)に螺合されてお
り、従って雄ねじロッド170の正転及び逆転によって
補助支持体166が下降及び上昇せしめられる。補助支
持体166には、電動モータでよい第1の回転手段17
4と、この第1の回転手段174の出力軸に駆動連結さ
れた上端から実質」二鉛直に下方に延びる軸176とが
装着されている。この軸176は上記可動支持体156
を越えて下方に突出しており、その下端には略円板形状
の内側ブレード支持体178が固定されている。そして
、この内側ブレード支持体178の下面には、上述した
切断ブレード装置20における内側ブレード138 (
第5図及び第6図)と実質上同一でよい内側ブレード1
80が固着されている。上記可動支持体156内の下部
には、略円筒形状の回転部材182も回転自在に装着さ
れている。この回転部材182は可動支持体156の下
端を越えて幾分下方に突出しており、かかる下端には環
状連結部材184が固定され、そしてこの連結部材18
4の下端には環状外側ブレード支持体186が固定され
ている。外側ブレード支持体186の下面には、上述し
た切断ブレード装置20における外側ブレード140(
第5図及び第6図)と実質上同一でよい外側ブレード1
88が固着されている。更に、上記可動支持体156の
外側面には、回転軸190が回転自在に装着されている
と共に、この軸190に駆動連結された電動モータでよ
い第2の回転手段192が装着されている。上記軸19
0はベル=44= ト機構194によって上記回転部材182に駆動連結さ
れている。従って、第2の回転手段192が付勢されて
軸190が回転せしめられると、回転部材182が回転
せしめられ、従って外側ブレード188が回転せしめら
れる。
上述した通りの切断ブレード装M150の作用効果につ
いて要約して説明すると、次の通りである。実際の切断
作業に先立って、必要に応じて補助移動手段168が付
勢されて補助支持体166が下降又は上昇され、かくし
て外側ブレード188に対する内側ブレード180の上
下方向位置が適宜に調整される。内側ブレード180の
上下方向調整位置は、例えば内側ブレード180の下端
が外側ブレード188の下端に実質上合致せしめられる
(従って、外側ブレード188による板状材料GL(又
はGS)の切断深さと内側ブレード180による板状材
料GL(又はCps)の切断深さとが実質上同一にせし
められる)位置でよい。
板状材料GL(又はCps)の切断による内側ブレード
180の摩耗量と外側ブレード188の摩耗量とは必ず
しも同一ではなく、従って内側ブレード180の上下方
向位置を必要に応じて調整し得ない場合には、切断作業
を繰返し遂行すると、内側ブレード180による板状材
料GL(又はGS)の切断深さと外側ブレード188に
よる板状材料GL(又はGS)の切断深さとの一方を所
要値にせしめると他方が所要値から変動してしまう。し
かしながら、第8図に図示する切断ブレード装置150
においては、内側プレー)’180及び外側ブレード1
88の摩耗量に応じて内側ブレード180の上下方向位
置を適宜に調整することによって、内側ブレード180
による板状材料GL(又はGS)の切断深さと外側ブレ
ード188による板状材料GL(又はGS)の切断深さ
との双方を所要値にせしめることができる。
切断作業を遂行するためには、第1の回転手段174を
付勢して内側ブレード180を比較的高速で回転せしめ
ると共に、第2の回転手段192を付勢して外側ブレー
ド188を比較的高速で回転せしめる。内側ブレード1
80の回転方向と外側ブレード188の回転方向とは同
一でもよいが、相互に逆であるのが好都合である。加え
て、ブレード移動手段158が付勢されて可動支持体1
56が比較的低速で下降され、かくして内側ブレード1
80及び外側ブレード188が比較的低速で下降され、
上述した切断ブレード装置20の場合と同様に、内側ブ
レード180が円形内側切断ラインに沿って板状材料G
L(又はO3)を切断すると共に、外側ブレード188
が円形外側切断ラインに沿って板状材料GL(又はGS
)を切断する。
かかる切断の際には、例えば内側ブレード支持体178
及び/又は外側ブレード支持体186に形成されている
冷却液噴射孔(図示していない)から水の如き冷却液を
噴出することができる。第8図に図示する変形例におい
ては、切断作業の際に内側ブレード180の下降と外側
ブレード188の下降とは一体的に遂行されるが、所望
ならば、切断作業の際の内側ブレード180の下降と外
側ブレード188の下降とを別個独立に遂行することも
できる。
再び第1図を参照して、上記材料搬出域14に関連して
設けられている材料搬出手段22について説明すると、
図示の材料搬出手段22は、旋回アーム200を含んで
いる。この旋回アーム200の一端部は、実質上鉛直に
延びる(第1図において紙面に実質上垂直に延びる)旋
回軸線を中心として旋回自在に且つ実質上鉛直な方向に
昇降自在に装着されている。そして、旋回アーム200
は、適宜の昇降動手段(図示していない)によって後述
する通りに昇降動せしめられると共に、適宜の旋回動手
段(図示していない)によって旋回動せしめられ、実線
で示す吸着位置、2点鎖線200Aで示す破棄位置及び
2点鎖線200Bで示す収納位置に選択的に位置付けら
れる。旋回アーム200の自由端部には、吸着ヘッド2
02が装着されている。第1図と共に第9図及び第10
図を参照して説明すると、吸着ヘッド202は、大角形
状の主部204とこの主部204の一側縁から延在する
連結脚部206とを有する第1の支持板208を含んで
いる。この第1の支持板208の連結脚部206の突出
端部は、ボルト及びナンドの如き適宜の締結具210に
よって、上記旋回アーム200の自由端部に固定されて
いる。第1の支持板208の主部204には、その中央
に配設された1個の第1の吸着具212と、この第1の
吸着具212の外側に配設された4個の第2の吸着具2
14とが装着されている。第2の吸着具214は90度
の角度間隔を置いて配設されており、第1の吸着具21
2から第2の吸着具214の各々までの距離は実質上同
一に設定されている。
それ自体は周知の形態でよい第1の吸着具212及び第
2の吸着具214は、上記第1の支持板208から下方
に延び、その下面が吸着面として機能する。吸着ヘッド
202は、更に、上記第1の吸着具212及び第2の吸
着具214を介して上記第1の支持板208に連結され
、上記第1の支持板208の下方に位置する第2の支持
板216も含んでいる。この第2の支持板216は、9
0度の角度間隔を置いて半径方向外方に延在する4個の
支持脚部218を有する。そして、かかる4個の支持脚
部218の各々には、装着板220が半径方向に位置調
整自在に装着されている。詳述すると、上記支持脚部2
18の各々には、その中央部をその延在方向に延びる開
口221と共にその両側部をその延在方向に延びる一対
の細長いスリット222が形成されており、上記装着板
220の各々は、上記スリット222を通って延びるボ
ルトとこれと協働するナンドでよい一対の締結具  2
24によって上記支持脚部218の各々に装着されてお
り、従って上記装着板220の装着位置は、上記スリッ
ト222に沿って適宜に調整することができる。装着板
220の各々には、第3の吸着具226が装着されてい
る。第1の吸着具212及び第2の吸着具214と同様
にそれ自体は周知の形態でよい第3の吸着具226は、
上記開口221を通って下方に延び、その下面が吸着面
として機能する。第10図から理解される如く、第1.
第2及び第3の吸着具212,214及び226の下面
(即ち吸着面)は、実質上同一平面内に位置せしめられ
ている。第10図に簡略に図示する如く、第1の吸着具
212と第3の吸着具226は、制御弁228を介して
真空源230に接続されていると共に、制御弁232を
介して空気供給源234に接続されている。第2の吸着
具214は、別個の制御弁236を介して上記真空源2
30に接続されていると共に、別個の制御弁238を介
して上記空気供給源234に接続されている。真空源2
30は、通常の真空ポンプ、或いは空気供給源234か
らの空気が流動せしめられるオリフィスを有するエゼク
タ等から構成することができる。
第1図を参照して説明すると、旋回アーム200が実線
で示す上記吸着位置に位置付けられると、吸着ヘッド2
02は上記材料搬出域14において上記チャック手段4
の1個に対向してその上方に位置する。旋回アーム20
0が2点鎖線200Aで示す破棄位置に位置付けられる
と、吸着ヘッド202は破棄容器240に対向してその
上方に位置する。破棄容器240は、その上面が開口さ
れた箱でよい。旋回アーム200が2点鎖線200Bで
示す収納位置に位置付けられると、吸着へ・ノド202
は収納手段242に対向してその上方に位置する。収納
手段242は、吸着ヘッド202から製品(円環状板)
を受取る受取台244、複数枚の製品を収納することが
できるカセットが載置されるカセット載置台246、及
び受取台244からカセット載置台246上のカセット
に製品を搬入する搬入機構248を含む、それ自体は周
知の形態のものでよい。
上述した通りの材料搬出手段22の作用効果を説明する
と、次ぎの通りである。材料搬出域14に存在するチャ
ック手段4上から切断された板状材料GL(又はGS)
を搬出するためには、最初に、旋回アーム200及びそ
の自由端部に装着された吸着ヘッド202が、第1図に
実線で示す吸着位置に位置付けられる。次いで、第1.
第2及び第3の吸着具212,214及び226 (第
10図)の下面がチャック手段4上の板状材料GL(又
はGS)の表面に接触乃至近接する位置まで、旋回アー
ム200及び吸着ヘッド202が下降せしめられる。し
かる後に、制御弁228及び制御弁236が開かれて第
1.第2及び第3の吸着具212.214及び226が
真空源230に連通される。かくして、上述した如くし
てチャック手段4上に浮上せしめられる板状材料GL(
又はGS)を、第1.第2及び第3の吸着具212゜2
14及び226が吸着する。
而して、板状材料が比較的大きい方形のものGしてある
場合、吸着ヘッド202における装着板220の各々は
、第9図に実線で示す外側位置に位置付けられる。この
場合、第9図を参照することによって理解される如く、
第1の吸着具212は、板状材料GLの中央部、即ち内
側切断ラインGL−ICよりも内側の中央不要部を吸着
し、第2の吸着具214は、板状材料CLの、内側切断
ラインGL−I Cと外側切断ラインCL−QCとの間
の製品部を吸着し、そして第3の吸着具226は、板状
材料GLの、外側切断ラインGL−QCよりも外側の外
側不要部を吸着する。他方、板状材料が比較的小さい方
形のものCSである場合、吸着ヘッドにおける装着板2
20の各々は、第9図に2点鎖線で示す内側位置に位置
付けられる。
この場合、第9図を参照することによって理解される如
く、第1の吸着具212は、板状材料GSの中央部、即
ち内側切断ラインGS−I Cよりも内側の中央不要部
を吸着し、第2の吸着具214は、板状材料CSの、内
側切断ラインG5−ICと外側切断ラインG S、 −
OCとの間の製品部を吸着し、そして第3の吸着具22
6は、板状材料GSの、外側切断ラインGS−QCより
も外側の外側不要部を吸着する。
第1.第2及び第3の吸着具212,214及び226
が板状材料GL(又はGS)を吸着すると、旋回アーム
200及び吸着ヘッド202が所定距離上昇せしめられ
、かくして板状材料GL(’又はGS)の全体がチャッ
ク手段4から上方に持上げられる。次いで、旋回アーム
200及び吸着ヘッド202が第1図に2点鎖線200
A及び202Aで示す破棄位置に旋回せしめられる。し
かる後に、制御弁228が閉じられて第1及び第3の吸
着具212及び226が真空源230から切離され、こ
れと同時に或いはその直後に制御弁232が若干の時間
だけ開かれて第1及び第3の吸着具212及び226が
若干の時間だけ空気供給源234に連通せしめられる。
かくして、第1及び第3の吸着具212及び226の下
面から空気が噴出せしめられ、これによって、板状材料
GL(又はGS)の中央不要部、即ち内側切断ラインG
L−IC(又はGS−IC)よりも内側の部分と、外側
不要部、即ち外側切断ラインGL−OC(又はGS−I
C)よりも外側の部とが、第1及び第3の吸着具212
及び226から離脱されて、破棄容器240内に落下さ
れる。他方、板状材料GL(又はGS)の製品部、即ち
内側切断ラインCL−Ic(又はGS−IC)と外側切
断ラインGL−QC’(又はGS−QC)との間の部分
は、真空源230に連通せしめられ続けている第2の吸
着具214に吸着され続けている。
次いで、旋回アーム200及び吸着ヘッド202が第1
図に2点鎖線200B及び202Bで示す収納位置に旋
回せしめられる。しかる後に、制御弁236が閉じられ
て第2の吸着具214が真空源230から切離され、こ
れと同時に或いはその直後に制御弁238が若干の時間
だけ開かれて第2の吸着具214が若干の時間だけ空気
供給源234に連通せしめられる。かくして、第2の吸
着具214の下面から空気が噴出せしめられ、これによ
って、板状材料GL(又はCS)の製品部、即ち内側切
断ラインGL−IC(又は03−IC)と外側切断ライ
ンGL−QC(又はGS−QC)との間の部分が、第2
の吸着具214から離脱されて、その下方に位置する収
納手段242の受取台244上へ載置される。
次に、上記チャック洗浄域16に関連して設けられてい
る洗浄装置24について説明する。第11図及び第12
図を参照して説明すると、図示の洗浄装置24は、円筒
形状の支持体256を含んでいる。この支持体256は
、チャック洗浄域16において上記支持基台2(第1図
)の上方に配設されている静止支持枠257に固定され
ている。
上記支持体256には、実質上鉛直に延びる回転主軸2
58が軸受262を介して回転自在に装着されている。
回転主軸258の上端部は、支持体256の上端壁を貫
通して上方へ突出しており、回転主軸258の上端は、
上記支持枠257に装着された電動モータでよい回転駆
動源266に駆動連結されている。また、回転主軸25
8の下端部は、支持体256の下端壁を貫通して下方に
延び、回転主軸258の下端に支持部材268が固定さ
れている。支持部材268は半径方向外方に延びており
、その外端部には実質上鉛直に延びる回転支持軸270
が軸受274を介して回転自在に装着されている。回転
支持軸270の下端には、洗浄手段252が装着されて
いる。図示の具体例における洗浄手段252は、実質上
水平に且つ相互に実質上垂直に延在する一対のブラシ部
材276から構成されている。一対のブラシ部材276
の各々は、水平方向中間部が上記回転支持軸270の下
端に固定された基板277と、この基板277の下面に
植設された多数の毛279から構成されている。合成樹
脂製でよい毛279は、洗浄すべきチャック手段4の表
面に接触せしめられる。第12図を参照することによっ
て理解される如く、回転主軸258は、チャック洗浄域
16に位置するチャック手段4の実質上中心位置に位置
し、回転支持軸270は、チャック手段4の中心と周縁
との略中間に位置し、そして回転支持軸270の中心線
272からブラシ部材276の両端までの長さlは、回
転主軸258の中心線260と回転支持軸270の中心
線272との間11iLより幾分大きく設定されている
のが好都合である。
洗浄装置24には、回転主軸258の回転に応じて回転
支持軸270を自転及び公転せしめるための遊星運動機
構254も含んでいる。この遊星運動機構254は、上
記支持体256の下端部に固定された静止太陽歯車28
4と、回転支持軸270の上端に固定され且つ上記静止
太陽歯車284に噛合されている遊星歯車286とから
成る。回転主軸258が矢印282(第12図)で示す
方向に回転されると、回転支持軸270及びこれに固定
されたブラシ部材276は、回転主軸258の中心線2
60を中心として矢印282 (第12図)で示す方向
に公転される(従って、回転支持軸270の中心線27
2は第12図に1点鎖線287で示す円形軌跡を描く)
。そして、かかる公転の際に、上記遊星運動機構254
の作用によって、回転支持軸270及びこれに固定され
たブラシ部材276は、回転支持軸270の中心線27
2を中心として矢印278 (第12図)で示す方向に
自転せしめられる。所望ならば、太陽歯車284及び遊
星歯車286に代えて太陽摩擦車及び遊星摩擦車を使用
することもできる。
第11図を参照して説明を続けると、洗浄装置24は、
更に、カバー288及び洗浄液供給手段290を含んで
いる。カバー288は、円形(又はチャック手段4の形
状に対応した、方形の如き多角形状)でよい基盤292
と、この基盤292の周縁から垂下する円筒形(又は多
角筒形)の側壁294を有する。カバー288の基盤2
92は、上記支持体256の下端部に固定され、側壁2
94は上記ブラシ部材276を囲繞する。カバー288
の基盤292内には環状空間が形成されており、かかる
空間は洗浄液供給手段290の洗浄液マニホルド296
を構成する。かかる洗浄液マニホルド296は、基盤2
92の上壁298に形成された流入口299を介して洗
浄液供給源300に連通せしめられている。また、基盤
292の下壁301には多数の噴出孔302が形成され
ている。
上記の通りの洗浄装置24においては、洗浄液供給源3
00から洗浄液マニホルド296に水の如き洗浄液が供
給され、かかる洗浄液が噴出孔302からチャック手段
4の表面に向けて噴出せしめられる。加えて、回転駆動
源266が付勢されて回転主軸258が矢印282 (
第12図)で示す方向に回転され、従ってブラシ部材2
76が上述した通りに公転及び自転される。かくして、
ブラシ部材276がチャック手段4の表面全域に作用し
て所要通りに洗浄する。
第13図は、本発明に従って構成された切断機の第2の
具体例を図示している。この第2の具体例においては、
支持基台402上には、72度の角度間隔を置いて5個
の材料保持チャック手段404が配設されている。そし
て、支持基台404上には、72度の角度間隔を置いて
、支持基台404の矢印408で示す回転方向に見て順
次に、材料搬入域410、第1の切断作業域412A、
第2の切断作業域412B、材料搬出域414及びチャ
ック洗浄域416が規定されている。支持基台404は
間けつ移動手段406によって72度毎間けつ的に矢印
408で示す方向に回転せしめられ、これによってチャ
ック手段404の各々は材料搬入域410、第1の切断
作業域412A、第2の切断作業域412B、材料搬出
域414、及びチャック洗浄域416に順次に位置付け
られる。
上記第1の切断作業域412Aに関連せしめて、全体を
番号434Aで示す第1の切断ブレード装置が配設され
、上記第2の切断作業域412Bに関連せしめて、全体
を番号434Bで示す第2の切断ブレード装置が配設さ
れて、いる。第14図に図示する第1の切断ブレード装
置434Aは、ブレード支持体452Aの下面に比較的
小径の円筒形状である第1のブレード454(この第1
のブレード454は上記切断ブレード装置20おける内
側ブレード138に対応する)のみが固着されている点
を除けば、上述した第1の具体例における切断ブレード
装置20と実質上同一である。また、第15図に図示す
る第2の切断ブレード装置434Bは、ブレード支持体
452Bの下面に比較的大径の円筒形状である第2のブ
レード456(この第2のブレード456は上記切断ブ
レード装置20における外側ブレード140に対応する
)のみが固着されている点を除けば、上述した第1の具
体例における切断ブレード装置20と実質上同一である
第13図と共に第14図及び第15図を参照して説明を
続けると、上記第1の切断作業域412Aにおいては、
第1の切断ブレード装置434Aの第1のブレード45
4によって、チャック手段4上に吸着されている板状材
料GL(又はGS)が円形内側切断ラインに沿って切断
される。また、上記第2の切断作業域412Bにおいて
は、第2の切断ブレード装置434Bの第2のブレード
456によって、チャック手段4上に吸着されている板
状材料CL(又はGS)が円形外側切断ラインに沿って
切断される。
第13図を参照して説明すると、第2の具体例において
は、更に、表面気体吹付は手段476及び裏面気体吹付
は手段478が配設されている。
表面気体吹付は手段476は、上記第2の切断作業域4
12Bと上記材料搬出域414との間にて上記支持基台
402の上方に配設された細長い吹付はノズル480を
有する。第16図及び第17図を参照して説明すると、
上記吹付はノズル480は中空逆三角形状の断面形状を
有し、両側傾斜壁には多数の孔482が形成されている
。かかる吹付はノズル480には、加熱空気の如き気体
が選択的に供給され、かかる気体が孔482から射出さ
れて、支持基台402の回転に応じて吹付はノズル48
0の下方を通過するチャック手段404上の板状材料G
L(又はGS)の表面に吹付けられる。かくして、切断
作業の際に付着した切屑及び冷却液等が板状材料OL(
又はGS)の表面から除去され、板状材料OL(又はG
S)の表面が洗浄及び乾燥される。裏面気体吹付は手段
478は、材料搬出手段422における吸着ヘッド50
2が第13図に実線で示す吸着位置から第13図に2点
鎖線502Aで示す破棄位置まで移動される際に描く軌
跡の下方に配設された細長い吹付はノズル484を有す
る。第18図及び第19図を参照して説明すると、上記
吹付はノズル484は中=67− 空三角形状の断面形状を有し、両側傾斜壁には多数の孔
486が形成されている。かがる吹付はノズル484内
には、加熱空気の如き気体が選択的に供給され、かかる
気体が孔486から射出されて、吸着ヘッド502に吸
着されてチャック手段404から搬出される板状材料C
L(又はGS)の裏面に吹付けられる。かくして、切断
作業の際に付着した切屑及び冷却液等が板状材料GL(
又はGS)の裏面から除去され、板状材料GL(又はO
3)の裏面が洗浄及び乾燥される。
第2の具体例の上述した構成及び作用効果以外の構成及
び作用効果は、上述した第1の具体例と実質上同一であ
るので説明を省略する。
以上、添付図面を参照して本発明に従って構成された切
断機の好適具体例について詳細に説明したが、本発明は
かかる具体例に限定されるものではなく、本発明の範囲
を逸脱することなく種々の変形乃至修正が可能であるこ
とは勿論である。
例えば、図示する具体例においては、支持基台上に規定
されている作業域の数(第1の具体例では4個、第2の
具体例では5個)と同様のチャック手段を支持基台上に
配設しているが、所望ならば、作業域の数よりも多いチ
ャック手段を支持基台上に配設することもできる(この
場合、1個又は複数個のチャック手段作業域間の待期位
置にも位置付けられる)。
また、図示する具体例においては、材料搬出域、チャッ
ク洗浄域及び材料搬入域を別個独立に規定しているが、
所望ならば、これらの作業域を共通化してチャック手段
が共通化された単一域に位置付けられている間に、既に
切断された板状材料をチャック手段から搬出し、次いで
チャック手段を洗浄し、しかる後に次の切断すべき板状
材料をチャック手段上に搬入することもできる。
更に、図示する具体例においては、支持基台を間けつ的
に回転せしめることによって、チャック手段を複数個の
作業域に順次に位置付けているが、所望ならば、適宜の
形態の支持基台を間けつ的に直線往復動或いは旋回往復
動せしめることによって複数個の作業域に順次に位置付
けることもできる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明に従って構成された切断機の第1の具
体例を示す簡略平面図。 第2図は、第1図の切断機におけるチャック手段を示す
断面図。 第3図は、第2図のチャック手段の平面図。 第4図は、第2図のチャック手段における保持板の平面
図。 第5図は、第1図の切断機における切断ブレード装置を
、一部を断面で示す正面図。 第6図は、第5図の切断ブレード装置における内側ブレ
ード及び外側ブレードを示す斜面図。 第7図は、第5図の切断ブレード装置による板状材料の
切断状態を示す部分断面図。 第8図は、切断ブレード装置の変形例を、一部を断面で
示す正面図。 第9図は、第1図の切断機における材料搬出手段の吸着
ヘッドを示す平面図。 第10図は、第9図の吸着ヘッドの側面図。 第11図は、第1図の切断機における洗浄装置を示す断
面図。 第12図は、第11図の洗浄装置におけるブラシ部材の
配置及び運動を説明するための簡略平面図。 第13図は、本発明に従って構成された切断機の第2図
の具体例を示す簡略平面図。 第14図は、第13図の切断機における第1の切断ブレ
ード装置を示す正面図。 第15図は、第13図の切断機における第2の切断ブレ
ード装置を示す正面図。 第16図は、第13図の切断機における表面気体吹付は
手段を示す側面図。 第17図は、第16図の表面気体吹付は手段の断面図。 第18図は、第13図の切断機における裏面気体吹付は
手段を示す側面図。 第19図は、第18図の裏面気体吹付は手段の断面図。 2・・・支持基台 4・・・材料保持チャック手段 6・・・間けつ移動手段 10・・・材料搬入域 12・・・切断作業域 14・・・材料搬出域 16・・・チャック洗浄域 18・・・材料搬入手段 20・・・切断ブレード装置 22・・・材料搬出手段 24・・・洗浄装置 26・・・チャック板 28・・・保持板 138・・・内側ブレード 140・・・外側ブレード 202・・・吸着ヘッド 212・・・第1の吸着具 214・・・第2の吸着具 226・・・第3の吸着具 240・・・破棄容器 242・・・収納手段 402・・・支持基台 404・・・材料保持チャック手段 410・・・材料搬入域 412A・・・第1の切断作業域 412B・・・第2の切断作業域 414・・・材料搬出域 416・・・チャック洗浄域 434A・・・第1の切断ブレード装置434B・・・
第2の切断ブレード装置454・・・第1のブレード 456・・・第2のブレード GL及びGS・・・板状材料 日 ぺ) 紮 口 + 咎勉 ρ 酬 汁

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、板状材料を同心状の円形内側及び外側切断ラインに
    沿って切断するための切断機にして;移動自在に装着さ
    れた支持基台と、該支持基台上に配設された少なくとも
    2個の材料保持チャック手段と、該支持基台を間けつ的
    に移動せしめて、該材料保持チャック手段の各々を順次
    に切断作業域に位置付けるための支持基台間けつ移動手
    段と、該材料保持チャック手段の各々が該切断作業域外
    にある時に該材料保持チャック手段の各々に切断すべき
    材料を搬入するための材料搬入手段と、該切断作業域に
    おいて、該材料保持チャック手段上に保持された材料を
    切断するための切断ブレード装置であって、該支持基台
    に対して接近及び離隔する方向に移動自在に且つ回転自
    在に装着された同心状の内側ブレード及び外側ブレード
    、該内側ブレード及び該外側ブレードを回転せしめるた
    めのブレード回転手段、並びに該内側ブレード及び該外
    側ブレードを該支持基台に対して接近及び離隔する方向
    に移動せしめるためのブレード移動手段、を含むところ
    の切断ブレード装置と、該材料保持チャック手段の各々
    が該切断作業域外にある時に該材料保持チャック手段の
    各々から切断された材料を搬出するための材料搬出手段
    と、を具備することを特徴とする切断機。 2、該切断ブレード装置は該支持基台に対して接近及び
    離隔する方向に移動自在に且つ回転自在に装着された単
    一のブレード支持体を含み、該内側ブレードと該外側ブ
    レードとの双方は該ブレード支持体に固着されており、
    該ブレード回転手段は該ブレード支持体を回転せしめ、
    該ブレード移動手段は該ブレード支持体を移動せしめる
    、特許請求の範囲第1項記載の切断機。 3、該切断ブレード装置は回転自在に装着された内側ブ
    レード支持体と、該内側ブレード支持体とは別個に回転
    自在に装着された外側ブレード支持体とを含み、該内側
    ブレードは該内側ブレード支持体に固着され、該外側ブ
    レードは該外側ブレード支持体に固着されており、該ブ
    レード回転手段は該内側ブレード支持体を回転せしめる
    ための第1の回転手段と、該外側ブレード支持体を回転
    せしめるための第2の回転手段とを含む、特許請求の範
    囲第1項記載の切断機。 4、該内側ブレード支持体の回転方向と該外側ブレード
    支持体の回転方向とは逆である、特許請求の範囲第3項
    記載の切断機。 5、該切断ブレード装置は該支持基台に対して接近及び
    離隔する方向に移動自在に装着された可動支持体を含み
    、該内側ブレード支持体と該外側ブレード支持体との双
    方は該可動支持体に回転自在に装着されており、該ブレ
    ード移動手段は該可動支持体を移動せしめる、特許請求
    の範囲第3項又は第4項記載の切断機。 6、該切断ブレード装置は該支持基台に対して接近及び
    離隔する方向に移動自在に該可動支持体に装着された補
    助支持体と、該可動支持体に対して該補助支持体を移動
    せしめる補助移動手段とを含み、該内側ブレード支持体
    と該外側ブレード支持体との一方は該補助支持体を介す
    ることなく該可動支持体に装着されているが、該内側ブ
    レード支持体と該外側ブレード支持第との他方は該補助
    支持体を介して該可動支持体に装着されている、特許請
    求の範囲第5項記載の切断機。 7、該支持基台は回転自在に装着されており、該支持基
    台間けつ移動手段は該支持基台を所定方向に間けつ回転
    せしめる、特許請求の範囲第1項乃至第6項のいずれか
    に記載の切断機。 8、該支持基台の回転方向に見て順次に材料搬入域、該
    切断作業域、材料搬出域及びチャック洗浄域が規定され
    ており、該支持基台には周方向に等間隔を置いて該材料
    保持チャック手段が少なくとも4個装着されており、該
    材料保持チャック手段のうちの1個が該切断作業域に位
    置付けられると、該材料搬出域、該チャック洗浄域及び
    該材料搬入域の各々にも夫々該材料保持チャック手段の
    うちの1個が位置付けられ、該材料搬入手段は該材料搬
    入域に位置している該材料保持チャック手段に切断すべ
    き材料を搬入し、該材料搬出手段は該材料搬出域に位置
    している該材料保持チャック手段から切断された材料を
    搬出し、該チャック洗浄域には該材料保持チャック手段
    を洗浄するための洗浄装置が配設されている、特許請求
    の範囲第7項記載の切断機。 9、該材料保持チャック手段の各々は、切断すべき板状
    材料がその表面に載置されるチャック板を含み、該チャ
    ック板の表面には、該内側ブレード及び該外側ブレード
    の先端部が夫々進入することができる同心状の少なくと
    も2個の環状溝が形成されている、特許請求の範囲第1
    項乃至第8項のいずれかに記載の切断機。 10、該チャック板の外縁領域部と該環状溝が形成され
    ている少なくとも2個の略環状領域部は非通気性であり
    、該チャック板の該外縁領域部及び該環状領域部を除く
    他の部分は通気性であり、該チャック板の裏面は真空源
    に選択的に連通せしめられる、特許請求の範囲第9項記
    載の切断機。 11、該材料保持チャック手段の各々は、該支持基台に
    装着される保持板を含み、該チャック板は該保持板上に
    装着される、特許請求の範囲第10項記載の切断機。 12、該保持板はその表面に形成された凹部と該凹部か
    ら裏面まで延びる連通路とを含み、該チャック板の裏面
    は該凹部及び該連通路を介して該真空源に選択的に連通
    せしめられる、特許請求の範囲第11項記載の切断機。 13、該保持板の表面に形成された該凹部は、中央部に
    位置する内側凹部と該内側凹部から隔てられて該内側凹
    部を囲む外側凹部とを有し、該連通路は該内側凹部から
    延びる第1の連通路と該外側凹部から延びる第2の連通
    路とを有し、該第2の連通路には開閉制御部材が配設さ
    れている、特許請求の範囲第12項記載の切断機。 14、該材料搬出手段は、該材料保持チャック手段の1
    個に対向して位置する吸着位置と、破棄容器に対向して
    位置する破棄位置と、収納手段に対向して位置する収納
    位置とに選択的に位置付けられる吸着ヘッドを含み、該
    吸着ヘッドは、板状材料の該内側切断ラインよりも内側
    の中央不要部を吸着するための第1の吸着具と、板状材
    料の該内側切断ラインと該外側切断ラインとの間の製品
    部を吸着するための第2の吸着具と、板状材料の該外側
    切断ラインよりも外側の外側不要部を吸着するための第
    3の吸着具とを有し、該吸着位置においては、該第1、
    第2及び第3の吸着具が真空源に連通され、該第1、第
    2及び第3の吸着具によって板状材料の全体が該吸着ヘ
    ッドに吸着され、該破棄位置においては、該第2の吸着
    具は該真空源に連通され続けるが、該第1及び第3の吸
    着具は該真空源から切離され、板状材料の該中央不要部
    及び該外側不要部が該吸着ヘッドから該破棄容器内に破
    棄され、該収納位置においては、該第2の吸着具も該真
    空源から切離され、板状材料の該製品部が該吸着ヘッド
    から該収納手段に送給される、特許請求の範囲第1項乃
    至第13項のいずれかに記載の切断機。 15、該破棄位置においては、該第1及び第3の吸着具
    は所定時間間隔だけ圧縮空気供給源に連通され、該収納
    位置においては、該第2の吸着源は所定時間間隔だけ圧
    縮空気供給源に連通される、特許請求の範囲第14項記
    載の切断機。 16、該第3の吸着具は該吸着ヘッドの中心からの半径
    方向位置が調節自在である、特許請求の範囲第14項又
    は第15項記載の切断機。 17、板状材料を同心状の円形内側及び外側切断ライン
    に沿って切断するための切断機にして;移動自在に装着
    された支持基台と、該支持基台上に配設された少なくと
    も3個の材料保持チャック手段と、該支持基台を間けつ
    的に移動せしめて、該材料保持チャック手段の各々を、
    順次に、該支持基台の移動方向に所定間隔を置いて規定
    された第1の切断作業域と第2の切断作業域との一方に
    位置付け、次いで該第1の切断作業域と該第2の切断作
    業域との他方に位置付ける支持基台間けつ移動手段と、
    該材料保持チャック手段の各々が該切断作業域外にある
    時に該材料保持チャック手段の各々に切断すべき材料を
    搬入するための材料搬入手段と、該第1の切断作業域に
    おいて、該材料保持チャック手段上に保持された材料を
    切断するための第1の切断ブレード装置であって、該支
    持基台に対して接近乃至離隔する方向に移動自在に且つ
    回転自在に装着された第1のブレード、該第1のブレー
    ドを回転せしめるための第1のブレード回転手段、及び
    該第1のブレードを該支持基台に対して接近乃至離隔す
    る方向に移動せしめるための第1のブレード移動手段、
    を含む第1の切断ブレード装置と、該第2の切断作業域
    において、該材料保持チャック手段上に保持された材料
    を切断するための第2の切断ブレード装置であって、該
    支持基台に対して接近乃至離隔する方向に移動自在に且
    つ回転自在に装着された第2のブレード、該第2のブレ
    ードを回転せしめるための第2のブレード回転手段、及
    び該第2のブレードを該支持基台に対して接近乃至離隔
    する方向に移動せしめるための第2のブレード移動手段
    、を含むところの第2の切断ブレード装置と、 該材料保持チャック手段の各々が該切断作業域外にある
    時に該材料保持チャック手段の各々から切断された材料
    を搬送するための材料搬送手段と、を具備し、該第1の
    切断ブレード装置と該第2の切断ブレード装置との一方
    が該内側切断ラインに沿って材料を切断し、該第1の切
    断ブレード装置と該第2の切断ブレード装置との他方が
    該外側ラインに沿って材料を切断する、ことを特徴とす
    る切断機。 18、該支持基台は回転自在に装着されており、該支持
    基台間けつ移動手段は該支持基台を所定方向に間けつ的
    に回転せしめる、特許請求の範囲第17項記載の切断機
    。 19、該支持基台の回転方向に見て順次に材料搬入域、
    該第1の切断作業域、該第2の切断作業域、材料搬出域
    及びチャック洗浄域が規定されており、該支持基台には
    周方向に等間隔を置いて該材料保持チャック手段が少な
    くとも5個装着されており、該材料保持チャック手段の
    うちの1個が該第1の切断作業域に位置付けられると、
    該第2の切断作業域、該材料搬出域、チャック洗浄域、
    該材料搬入域の各々にも夫々該材料保持チャック手段の
    うちの1個が位置付けられ、該材料搬入手段は該材料搬
    入域に位置している該材料保持チャック手段に切断すべ
    き材料を搬入し、該材料搬出手段は該材料搬出域に位置
    している該材料保持チャック手段から切断された材料を
    搬出し、該チャック洗浄域には該材料保持チャック手段
    を洗浄するための洗浄装置が配設されている、特許請求
    の範囲第18項記載の切断機。 20、該材料保持チャック手段の各々は、切断すべき板
    状材料がその表面に載置されるチャック板を含み、該チ
    ャック板の表面には、該第1のブレード及び該第2のブ
    レードの先端部が夫々進入することができる同心状の少
    なくとも2個の環状溝が形成されている、特許請求の範
    囲第17項乃至第19項のいずれかに記載の切断機。 21、該チャック板の外縁領域部と該環状溝が形成され
    ている少なくとも2個の略環状領域部は非通気性であり
    、該チャック板の該外縁領域部及び該環状領域部を除く
    他の部分は通気性であり、該チャック板の裏面は真空源
    に選択的に連通せしめられる、特許請求の範囲第20項
    記載の切断機。 22、該材料保持チャック手段の各々は、該支持基台に
    装着される保持板を含み、該チャック板は該保持板上に
    装着される、特許請求の範囲第21項記載の切断機。 23、該保持板はその表面に形成された凹部と該凹部か
    ら裏面まで延びる連通路とを含み、該チャック板の裏面
    は該凹部及び該連通路を介して該真空源に選択的に連通
    せしめられる、特許請求の範囲第22項記載の切断機。 24、該保持板の表面に形成された該凹部は、中央部に
    位置する内側凹部と該内側凹部から隔てられて該内側凹
    部を囲む外側凹部とを有し、該連通路は該内側凹部から
    延びる第1の連通路と該外側凹部から延びる第2の連通
    路とを有し、該第2の連通路には開閉制御部材が配設さ
    れている、特許請求の範囲第23項記載の切断機。 25、該材料搬出手段は、該材料保持チャック手段の1
    個に対向して位置する吸着位置と、破棄容器に対向して
    位置する破棄位置と、収納手段に対向して位置する収納
    位置とに選択的に位置付けられる吸着ヘッドを含み、該
    吸着ヘッドは、板状材料の該内側切断ラインよりも内側
    の中央不要部を吸着するための第1の吸着具と、板状材
    料の該内側切断ラインと該外側切断ラインとの間の製品
    部を吸着するための第2の吸着具と、板状材料の該外側
    切断ラインよりも外側の外側不要部を吸着するための第
    3の吸着具とを有し、該吸着位置においては、該第1、
    第2及び第3の吸着具が真空源に連通され、該第1、第
    2及び第3の吸着具によって板状材料の全体が該吸着ヘ
    ッドに吸着され、該破棄位置においては、該第2の吸着
    具は該真空源に連通され続けるが、該第1及び第3の吸
    着具は該真空源から切離され、板状材料の該中央不要部
    及び該外側不要部が該吸着ヘッドから該破棄容器内に破
    棄され、該収納位置においては、該第2の吸着具も該真
    空源から切離され、板状材料の該製品部が該吸着ヘッド
    から該収納手段に送給される、特許請求の範囲第17項
    乃至第24項のいずれかに記載の切断機。 26、該破棄位置においては、該第1及び第3の吸着具
    は所定時間間隔だけ圧縮空気供給源に連通され、該収納
    位置においては、該第2の吸着源は所定時間間隔だけ圧
    縮空気供給源に連通される、特許請求の範囲第25項記
    載の切断機。 27、該第3の吸着具は該吸着ヘッドの中心からの半径
    方向位置が調節自在である、特許請求の範囲第25項又
    は第26項記載の切断機。
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JP2008114342A (ja) * 2006-11-06 2008-05-22 Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd 基板加工機のワークローダ
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