CN115739718A - 用于半导体集成电路的器件清洗装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供用于半导体集成电路的器件清洗装置，涉及半导体集成器件生产技术领域。该半导体集成电路的器件清洗装置，包括支撑底板，所述支撑底板顶部固定连接有第一支撑板，所述第一支撑板顶部设有转动盘，所述转动盘顶部固定连接有清理箱，所述清理箱内部设有放置台，该用于半导体集成电路的器件清洗装置，通过启动第一电动推杆，使第一电动推杆推动连接框，使连接框外侧的清理盘与器件相接触，并且推动架与连接框之间固定连接有弹簧，通过弹簧可以使清理盘进行收缩，避免清理盘对器件造成伤害，通过喷头和清理盘相结合的方式，达到对器件进行充分清洗处理。

Description

用于半导体集成电路的器件清洗装置

技术领域

本发明涉及一种半导体器件清洗装置，具体为用于半导体集成电路的器件清洗装置，属于半导体集成器件生产技术领域。

背景技术

随着平面型闪存存储器的发展，半导体的生产工艺取得了巨大的进步。但是最近几年，平面型闪存的发展遇到了各种挑战：物理极限、现有显影技术极限以及存储电子密度极限等。在此背景下，为解决平面闪存遇到的困难以及追求更低的单位存储单元的生产成本，各种不同的三维(3D)闪存存储器结构应运而生，例如3DNOR(3D或非)闪存和3DNAND(3D与非)闪存。

半导体集成电路的器件生产过程中需要通过设备进行清洗，半导体集成电路的器件进行清洗时存在以下问题：

1、在清洗时清洗的喷头都是固定设置的，无法对器件表面进行全方位地清洗，并且在清洗时，采用冲洗的方式，单一的清洗方式，无法将器件达到高效清理的效果。

2、当清洗完成后器件，需要人工进行拿取进行下一步的操作，对器件清洗后的干燥以及拿取无法达到一体化设置，需要人员进行参与，会对器件在清洗后造成二次污染的情况。

发明内容

(一)解决的技术问题

本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供用于半导体集成电路的器件清洗装置，以解决现有技术中在清洗时清洗的喷头都是固定设置的，无法对器件表面进行全方位地清洗，并且在清洗时，采用冲洗的方式，单一的清洗方式，无法将器件达到高效清理的效果；当清洗完成后器件，需要人工进行拿取进行下一步的操作，对器件清洗后的干燥以及拿取无法达到一体化设置，需要人员进行参与，会对器件在清洗后造成二次污染的情况的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：用于半导体集成电路的器件清洗装置，包括支撑底板，所述支撑底板顶部固定连接有第一支撑板，所述第一支撑板顶部设有转动盘，所述转动盘顶部固定连接有清理箱，所述清理箱内部设有放置台，所述放置台底部固定连接有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆依次贯穿清理箱和转动盘，所述第一螺纹杆与清理箱转动连接，所述第一螺纹杆与转动盘螺纹连接，所述第一螺纹杆外侧设有用升降的调节组件，所述清理箱顶部固定连接有支撑座，所述支撑座顶部转动连接有外齿圈，所述外齿圈外侧设有清理组件，所述支撑底板顶部固定连接有第二支撑板，所述第二支撑板顶部设有转盘，所述转盘底部连接有转杆，所述转杆贯穿第二支撑板并与第二支撑板转动连接，转盘底部固定连接有第二电动推杆和第三电动推杆，所述第三电动推杆底部设有夹持组件，所述支撑底板顶部固定连接有收纳框。

优选的，所述转动盘底部固定连接有转动杆，所述转动杆贯穿第一支撑板并与第一支撑板转动连接，所述支撑底板顶部固定连接有第二电机，第二电机的输出轴与转动杆固定连接，通过第二电机带动转动杆转动，从而使转动杆带动转动盘进行转动，使转动盘上的清理箱进行移动。

优选的，所述调节组件包括第一螺纹筒，所述第一螺纹筒螺纹连接于第一螺纹杆外侧，所述第一螺纹筒与第一支撑板转动连接，所述第一螺纹筒外侧固定连接有第一齿轮。

优选的，所述调节组件还包括固定齿圈，所述固定齿圈与第一齿轮啮合连接，所述转动盘顶部固定连接有限位圈，所述限位圈内壁固定连接有限位块，所述第一螺纹杆外侧开设有滑槽，所述限位块设置滑槽内部并与第一螺纹杆滑动连接，通过限位块对第一螺纹杆进行限位，使第一螺纹杆无法转动，使其只能向上移动。

优选的，所述清理组件包括安装板，所述安装板固定连接于清理箱外侧，所述外齿圈外侧啮合连接有第二齿轮，所述外齿圈内壁固定连接有连接板，所述连接板一侧固定连接有第一电动推杆，所述第一电动推杆一端固定连接有连接框。

优选的，所述清理组件还包括推动架，所述推动架设置于连接框内部并与连接框滑动连接，所述推动架一端固定连接有清理盘，所述连接框和推动架之间固定连接有弹簧，所述安装板底部固定连接有第一电机，第一电机的输出轴与第二齿轮固定连接，通过第一电机带动第二齿轮转动，从而使外齿圈绕清理箱进行转动，达到全面清理的效果。

优选的，所述支撑座内壁固定连接有喷头，所述清理箱外侧固定连接有安装架，所述安装架底部固定连接有水箱，所述水箱内部安装有水泵，所述喷头一端固定连接有可伸缩水管，所述可伸缩水管一端与水泵出水端连接，所述清理箱与水箱之间固定连通有出水管，所述出水管外侧安装有过滤装置，通过过滤装置对使用过的清理液进行净化处理。

优选的，所述支撑底板顶部固定连接有第三电机，第三电机的输出轴与转杆固定连接，所述第二电动推杆底部固定连接有连接盘，所述连接盘底部固定连接有出气头，所述转盘顶部固定连接有吹风装置，吹风装置的出气端与出气头之间连接通有出气管。

优选的，所述夹持组件包括固定框，所述固定框固定连接于第三电动推杆底部，所述固定框底部转动连接有传动齿圈，所述传动齿圈内部固定连接有锥齿轮圈，所述锥齿轮圈外侧啮合连接有两个锥齿轮，两个所述锥齿轮相对设置，所述锥齿轮一侧固定连接有第一伸缩杆，所述第一伸缩杆外侧转动连接有竖板，所述竖板与固定框固定连接，所述第一伸缩杆外侧啮合连接有第二螺纹筒，所述第二螺纹筒一端固定连接有夹持板，所述夹持板与竖板之间固定连接有第二伸缩杆，通过第二伸缩杆对夹持板限位，使夹持板进行水平移动。

优选的，所述夹持组件还包括横板，所述横板固定连接于固定框外侧，所述横板顶部固定连接有第四电机，所述传动齿圈外侧啮合连接有传动齿轮，第四电机的输出轴与传动齿轮固定连接。

本发明提供了用于半导体集成电路的器件清洗装置，其具备的有益效果如下：

1、该用于半导体集成电路的器件清洗装置，通过启动第一电动推杆，使第一电动推杆推动连接框，使连接框外侧的清理盘与器件相接触，使清理盘外侧的毛刷与器件相接触，达到对器件上的灰尘进行刷除，并且推动架与连接框之间固定连接有弹簧，通过弹簧可以使清理盘进行收缩，避免清理盘对器件造成伤害，通过喷头和清理盘相结合的方式，达到对器件进行充分清洗处理。

2、该用于半导体集成电路的器件清洗装置，当第一齿轮转动带动固定连接的第一螺纹筒转动，由于第一螺纹筒与第一螺纹杆螺纹连接，在第一螺纹杆外侧开设有滑槽，并在第一螺纹杆外侧套设有限位圈，通过限位圈内壁固定连接的限位块设置于第一螺纹杆外侧开设的滑槽中，对第一螺纹杆进行限位，使第一螺纹杆上升，从而使第一螺纹杆顶部的放置台将器件从清理箱中进行顶起，随着转动盘的转动将器件推动至清理箱顶部，并且清理箱移动至转盘的下部，达到将器件进行自动推出清理箱，达到下一步骤，便于后续的干燥操作。

3、该用于半导体集成电路的器件清洗装置，通过启动第四电机，使第四电机输出轴带动传动齿轮进行转动，当传动齿轮转动带动啮合连接的传动齿圈转动，当传动齿圈转动时带动固定连接的锥齿轮圈转动，锥齿轮圈转动带动啮合连接的锥齿轮转动，当锥齿轮转动带动固定连接的第一伸缩杆转动，使第一伸缩杆带动螺纹连接的第二螺纹筒转动，由于第二螺纹筒与夹持板固定连接，并且夹持板与竖板之间固定连接有第二伸缩杆，从而使两个夹持板相对移动，对器件进行夹持固定，再通过启动第三电机，使转盘转动，将器件放置于收纳框内部完成收纳，从而达到对器件的取出和收纳，避免人工拿取造成污染，节约了人工成本，提高了工作效率。

附图说明

图1为本发明的整体结构示意图；

图2为本发明的转动盘结构示意图；

图3为本发明的清理箱结构示意图；

图4为本发明外齿圈结构示意图；

图5为本发明连接板结构示意图；

图6为本发明清理盘结构示意图；

图7为本发明放置台结构示意图；

图8为本发明连接盘结构示意图；

图9为本发明固定框结构示意图；

图10为本发明传动齿圈结构示意图；

图11为本发明第二螺纹筒结构示意图；

图12为本发明第一支撑板结构示意图；

图13为本发明转盘结构示意图；

图14为本发明锥齿轮圈结构示意图。

图中：1、支撑底板；2、第一支撑板；3、转动杆；4、转动盘；5、清理箱；6、放置台；7、第一螺纹杆；8、第一螺纹筒；9、限位圈；10、限位块；11、第一齿轮；12、固定齿圈；13、安装板；14、第二齿轮；15、外齿圈；16、连接板；17、第一电动推杆；18、连接框；19、推动架；20、清理盘；21、弹簧；22、安装架；23、可伸缩水管；24、出水管；25、支撑座；26、第一电机；27、第二电机；28、第二支撑板；29、转杆；30、连接盘；31、出气头；32、第二电动推杆；33、出气管；34、吹风装置；35、第三电动推杆；36、固定框；37、横板；38、传动齿轮；39、锥齿轮圈；40、竖板；41、第一伸缩杆；42、第二螺纹筒；43、夹持板；44、第二伸缩杆；45、锥齿轮；46、过滤装置；47、第三电机；48、收纳框；49、第四电机；50、转盘；51、喷头；52、传动齿圈；53、水箱。

具体实施方式

本发明实施例提供用于半导体集成电路的器件清洗装置。

请参阅图1、图2、图3、图4、图5和图6，包括支撑底板1，支撑底板1顶部固定连接有第一支撑板2，第一支撑板2顶部设有转动盘4，转动盘4顶部固定连接有清理箱5，清理箱5内部设有放置台6，放置台6底部固定连接有第一螺纹杆7，第一螺纹杆7依次贯穿清理箱5和转动盘4，第一螺纹杆7与清理箱5转动连接，第一螺纹杆7与转动盘4螺纹连接，第一螺纹杆7外侧设有用升降的调节组件，清理箱5顶部固定连接有支撑座25，支撑座25顶部转动连接有外齿圈15，外齿圈15外侧设有清理组件，支撑底板1顶部固定连接有第二支撑板28，第二支撑板28顶部设有转盘50，转盘50底部连接有转杆29，转杆29贯穿第二支撑板28并与第二支撑板28转动连接，转盘50底部固定连接有第二电动推杆32和第三电动推杆35，第三电动推杆35底部设有夹持组件，支撑底板1顶部固定连接有收纳框48。

转动盘4底部固定连接有转动杆3，转动杆3贯穿第一支撑板2并与第一支撑板2转动连接，支撑底板1顶部固定连接有第二电机27，第二电机27的输出轴与转动杆3固定连接，通过第二电机27带动转动杆3转动，从而使转动杆3带动转动盘4进行转动，使转动盘4上的清理箱5进行移动。

清理组件包括安装板13，安装板13固定连接于清理箱5外侧，外齿圈15外侧啮合连接有第二齿轮14，外齿圈15内壁固定连接有连接板16，连接板16一侧固定连接有第一电动推杆17，第一电动推杆17一端固定连接有连接框18，清理组件还包括推动架19，推动架19设置于连接框18内部并与连接框18滑动连接，推动架19一端固定连接有清理盘20，连接框18和推动架19之间固定连接有弹簧21，安装板13底部固定连接有第一电机26，第一电机26的输出轴与第二齿轮14固定连接，通过第一电机26带动第二齿轮14转动，从而使外齿圈15绕清理箱5进行转动，达到全面清理的效果。

支撑座25内壁固定连接有喷头51，清理箱5外侧固定连接有安装架22，安装架22底部固定连接有水箱53，水箱53内部安装有水泵，喷头51一端固定连接有可伸缩水管23，可伸缩水管23一端与水泵出水端连接，清理箱5与水箱53之间固定连通有出水管24，出水管24外侧安装有过滤装置46，通过过滤装置46对使用过的清理液进行净化处理。

具体的，当将器件进行清洗时，操作人员将器件放置于清理箱5内部的放置台6上，通过启动第一电机26，使第一电机26输出轴带动第二齿轮14进行转动，当第二齿轮14转动带动啮合连接的连接板16在清理箱5顶部进行转动，此时由于在外齿圈15内壁固定连接有喷头51，使喷头51随着外齿圈15进行转动，此时启动水箱53内部的水泵，将水箱53内部清洗液通过可伸缩水管23注入喷头51内部，使喷头51绕外齿圈15的转动对器件外部进行均匀冲洗，从而使器件清洗更加全面，并且在清理箱5外侧固定连接有出水管24，通过将出水管24与水箱53进行连接，使用过的清理液重新流回水箱53中进行充分使用，并且通过出水管24外侧安装的过滤装置46进行净化过滤，出水管24采用现有过滤器或简易的过滤装置，在此不做进一步阐述达到循环使用的目的。

当外齿圈15转动时在外齿圈15内壁上固定连接有连接板16，在连接板16外侧固定连接有第一电动推杆17，通过启动第一电动推杆17，使第一电动推杆17推动连接框18，使连接框18外侧的清理盘20与器件相接触(在清理盘20外侧安装有毛刷)，使清理盘20外侧的毛刷与器件相接触，达到对器件上的灰尘进行刷除，并且推动架19与连接框18之间固定连接有弹簧21，通过弹簧21可以使清理盘20进行收缩，避免清理盘20对器件造成伤害，通过喷头51和清理盘20相结合的方式，达到对器件进行充分清洗处理。

请参阅图1、图2、图3、图4、图5、图6、和图7，调节组件包括第一螺纹筒8，第一螺纹筒8螺纹连接于第一螺纹杆7外侧，第一螺纹筒8与第一支撑板2转动连接，第一螺纹筒8外侧固定连接有第一齿轮11，调节组件还包括固定齿圈12，固定齿圈12与第一齿轮11啮合连接，转动盘4顶部固定连接有限位圈9，限位圈9内壁固定连接有限位块10，第一螺纹杆7外侧开设有滑槽，限位块10设置滑槽内部并与第一螺纹杆7滑动连接，通过限位块10对第一螺纹杆7进行限位，使第一螺纹杆7无法转动，使其只能向上移动。

具体的，当对清理箱5内部的器件清洗完成后，通过启动第二电机27，使第二电机27带动转动杆3进行转动，当转动杆3转动固定连接的转动盘4转动，当转动盘4转动带动固定连接的清理箱5进行转动，当清理箱5随着转动盘4转动时，由于在第一支撑板2顶部固定连接有固定齿圈12，在固定齿圈12外侧啮合连接的第一齿轮11，使第一齿轮11转动，当第一齿轮11转动带动固定连接的第一螺纹筒8转动，由于第一螺纹筒8与第一螺纹杆7螺纹连接，在第一螺纹杆7外侧开设有滑槽，并在第一螺纹杆7外侧套设有限位圈9，通过限位圈9内壁固定连接的限位块10设置于第一螺纹杆7外侧开设的滑槽中，对第一螺纹杆7进行限位，使第一螺纹杆7上升，从而使第一螺纹杆7顶部的放置台6将器件从清理箱5中进行顶起，随着转动盘4的转动将器件推动至清理箱5顶部，并且清理箱5移动至转盘50的下部，达到将器件进行自动推出清理箱5，达到下一步骤，便于后续的干燥操作。

请参阅图1、图2、图3、图4、图5、图6、图7、图8、图9、图10、图11、图12、图13和图14，支撑底板1顶部固定连接有第三电机47，第三电机47的输出轴与转杆29固定连接，第二电动推杆32底部固定连接有连接盘30，连接盘30底部固定连接有出气头31，转盘50顶部固定连接有吹风装置34，吹风装置34的出气端与出气头31之间连接通有出气管33。

夹持组件包括固定框36，固定框36固定连接于第三电动推杆35底部，固定框36底部转动连接有传动齿圈52，传动齿圈52内部固定连接有锥齿轮圈39，锥齿轮圈39外侧啮合连接有两个锥齿轮45，两个锥齿轮45相对设置，锥齿轮45一侧固定连接有第一伸缩杆41，第一伸缩杆41外侧转动连接有竖板40，竖板40与固定框36固定连接，第一伸缩杆41外侧啮合连接有第二螺纹筒42，第二螺纹筒42一端固定连接有夹持板43，夹持板43与竖板40之间固定连接有第二伸缩杆44，通过第二伸缩杆44对夹持板43限位，使夹持板43进行水平移动，夹持组件还包括横板37，横板37固定连接于固定框36外侧，横板37顶部固定连接有第四电机49，传动齿圈52外侧啮合连接有传动齿轮38，第四电机49的输出轴与传动齿轮38固定连接。

具体的，在转盘50底部固定连接有第二电动推杆32，通过启动第二电动推杆32，使第二电动推杆32推动连接盘30，使连接盘30靠近放置台6顶部的器件，此时通过吹风装置34吹风装置34排气装置通过在其内部设置加热丝，使吹出的气体具有一定较高的温度通过出气管33进行排气，使出气头31对器件进行烘干处理。

当对器件进行烘干处理后，通过启动第三电机47，使第三电机47带动转杆29进行转动，当转杆29转动带动固定连接的转盘50转动，使转盘50底部固定连接的第三电动推杆35处于清理箱5上方，此时通过启动第三电动推杆35，使第三电动推杆35推动固定框36进行下降，当固定框36底部两个夹持板43处于器件两侧时，通过启动第四电机49，使第四电机49输出轴带动传动齿轮38进行转动，当传动齿轮38转动带动啮合连接的传动齿圈52转动，当传动齿圈52转动时带动固定连接的锥齿轮圈39转动，锥齿轮圈39转动带动啮合连接的锥齿轮45转动，当锥齿轮45转动带动固定连接的第一伸缩杆41转动，使第一伸缩杆41带动螺纹连接的第二螺纹筒42转动，由于第二螺纹筒42与夹持板43固定连接，并且夹持板43与竖板40之间固定连接有第二伸缩杆44，从而使两个夹持板43相对移动，对器件进行夹持固定，再通过启动第三电机47，使转盘50转动，将器件放置于收纳框48内部完成收纳，从而达到对器件的取出和收纳，避免人工拿取造成污染，节约了人工成本，提高了工作效率。

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (10)

1.用于半导体集成电路的器件清洗装置，包括支撑底板(1)，其特征在于：所述支撑底板(1)顶部固定连接有第一支撑板(2)，所述第一支撑板(2)顶部设有转动盘(4)，所述转动盘(4)顶部固定连接有清理箱(5)，所述清理箱(5)内部设有放置台(6)，所述放置台(6)底部固定连接有第一螺纹杆(7)，所述第一螺纹杆(7)依次贯穿清理箱(5)和转动盘(4)，所述第一螺纹杆(7)与清理箱(5)转动连接，所述第一螺纹杆(7)与转动盘(4)螺纹连接，所述第一螺纹杆(7)外侧设有用升降的调节组件，所述清理箱(5)顶部固定连接有支撑座(25)，所述支撑座(25)顶部转动连接有外齿圈(15)，所述外齿圈(15)外侧设有清理组件，所述支撑底板(1)顶部固定连接有第二支撑板(28)，所述第二支撑板(28)顶部设有转盘(50)，所述转盘(50)底部连接有转杆(29)，所述转杆(29)贯穿第二支撑板(28)并与第二支撑板(28)转动连接，转盘(50)底部固定连接有第二电动推杆(32)和第三电动推杆(35)，所述第三电动推杆(35)底部设有夹持组件，所述支撑底板(1)顶部固定连接有收纳框(48)。

2.根据权利要求1所述的用于半导体集成电路的器件清洗装置，其特征在于：所述转动盘(4)底部固定连接有转动杆(3)，所述转动杆(3)贯穿第一支撑板(2)并与第一支撑板(2)转动连接，所述支撑底板(1)顶部固定连接有第二电机(27)，第二电机(27)的输出轴与转动杆(3)固定连接。

3.根据权利要求1所述的用于半导体集成电路的器件清洗装置，其特征在于：所述调节组件包括第一螺纹筒(8)，所述第一螺纹筒(8)螺纹连接于第一螺纹杆(7)外侧，所述第一螺纹筒(8)与第一支撑板(2)转动连接，所述第一螺纹筒(8)外侧固定连接有第一齿轮(11)。

4.根据权利要求3所述的用于半导体集成电路的器件清洗装置，其特征在于：所述调节组件还包括固定齿圈(12)，所述固定齿圈(12)与第一齿轮(11)啮合连接，所述转动盘(4)顶部固定连接有限位圈(9)，所述限位圈(9)内壁固定连接有限位块(10)，所述第一螺纹杆(7)外侧开设有滑槽，所述限位块(10)设置滑槽内部并与第一螺纹杆(7)滑动连接。

5.根据权利要求1所述的用于半导体集成电路的器件清洗装置，其特征在于：所述清理组件包括安装板(13)，所述安装板(13)固定连接于清理箱(5)外侧，所述外齿圈(15)外侧啮合连接有第二齿轮(14)，所述外齿圈(15)内壁固定连接有连接板(16)，所述连接板(16)一侧固定连接有第一电动推杆(17)，所述第一电动推杆(17)一端固定连接有连接框(18)。

6.根据权利要求5所述的用于半导体集成电路的器件清洗装置，其特征在于：所述清理组件还包括推动架(19)，所述推动架(19)设置于连接框(18)内部并与连接框(18)滑动连接，所述推动架(19)一端固定连接有清理盘(20)，所述连接框(18)和推动架(19)之间固定连接有弹簧(21)，所述安装板(13)底部固定连接有第一电机(26)，第一电机(26)的输出轴与第二齿轮(14)固定连接。

7.根据权利要求6所述的用于半导体集成电路的器件清洗装置，其特征在于：所述支撑座(25)内壁固定连接有喷头(51)，所述清理箱(5)外侧固定连接有安装架(22)，所述安装架(22)底部固定连接有水箱(53)，所述水箱(53)内部安装有水泵，所述喷头(51)一端固定连接有可伸缩水管(23)，所述可伸缩水管(23)一端与水泵出水端连接，所述清理箱(5)与水箱(53)之间固定连通有出水管(24)，所述出水管(24)外侧安装有过滤装置(46)。

8.根据权利要求1所述的用于半导体集成电路的器件清洗装置，其特征在于：所述支撑底板(1)顶部固定连接有第三电机(47)，第三电机(47)的输出轴与转杆(29)固定连接，所述第二电动推杆(32)底部固定连接有连接盘(30)，所述连接盘(30)底部固定连接有出气头(31)，所述转盘(50)顶部固定连接有吹风装置(34)，吹风装置(34)的出气端与出气头(31)之间连接通有出气管(33)。

9.根据权利要求8所述的用于半导体集成电路的器件清洗装置，其特征在于：所述夹持组件包括固定框(36)，所述固定框(36)固定连接于第三电动推杆(35)底部，所述固定框(36)底部转动连接有传动齿圈(52)，所述传动齿圈(52)内部固定连接有锥齿轮圈(39)，所述锥齿轮圈(39)外侧啮合连接有两个锥齿轮(45)，两个所述锥齿轮(45)相对设置，所述锥齿轮(45)一侧固定连接有第一伸缩杆(41)，所述第一伸缩杆(41)外侧转动连接有竖板(40)，所述竖板(40)与固定框(36)固定连接，所述第一伸缩杆(41)外侧啮合连接有第二螺纹筒(42)，所述第二螺纹筒(42)一端固定连接有夹持板(43)，所述夹持板(43)与竖板(40)之间固定连接有第二伸缩杆(44)。

10.根据权利要求9所述的用于半导体集成电路的器件清洗装置，其特征在于：所述夹持组件还包括横板(37)，所述横板(37)固定连接于固定框(36)外侧，所述横板(37)顶部固定连接有第四电机(49)，所述传动齿圈(52)外侧啮合连接有传动齿轮(38)，第四电机(49)的输出轴与传动齿轮(38)固定连接。

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