JP2540041B2 - 切断機 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ＜技術分野＞ 本発明は、ガラス板の如き板状材料を同心状の円形内
側及び外側切断ラインに沿って切断するための切断機に
関する。

＜従来技術及びその問題点＞ 周知の如く、光学的又は磁気的記憶媒体として、円環
状板形状の所謂光又は磁気ディスクが広く実用に供され
ている。かかる光又は磁気ディスクの基板は、従来、ア
ルミニウムの如き適宜の金属材料から形成されていた
が、表面精度の向上等の種々の理由から、近時において
は、ガラスから光又は磁気ディスクの基板を形成するこ
とが提案され実用に供されるようになってきた。

而して、ガラスから上記基板を形成するには、一般
に、方形乃至矩形等のガラス板を同心状の円形内側及び
外側切断ラインに沿って切断し、かくして上記円形内側
及び外側切断ライン間に残留する円環状板を得ることが
必要である。

然るに、ガラス板は高脆性であり、金属板と比べて切
断が著しく困難である等の事実から、上記円形内側及び
外側切断ラインに沿ってガラス板を自動的に切断するの
に適した切断機は未だ提案されていない。現状において
は、熟練工の手作業によってガラス板を上記円形内側及
び外側切断ラインに沿って切断し、円環状板を得てい
る。それ故に、生産効率が著しく低く、生産コストが著
しく高い。また、高精度のガラス製円環状板（即ち光又
は磁気ディスク基板）を安定して得ることができない。

＜発明の課題＞ 従って、本発明の主たる技術的課題は、板状材料がガ
ラス板の如き高脆性で難切断性のものである場合にも、
同心状の円形内側及び外側切断ラインに沿って所要通り
に自動的に切断することができる、新規且つ優れた切断
機を提供することである。

＜解決手段＞ 本発明の一局面によれば、板状材料を同心状の円形内
側及び外側切断ラインに沿って切断するための切断機に
して； 移動自在に装着された支持基台と、 該支持基台上に配設された少なくとも２個の材料保持
チャック手段と、 該支持基台を間けつ的に移動せしめて、該材料保持チ
ャック手段の各々を順次に切断作業域に位置付けるため
の支持基台間けつ移動手段と、 該材料保持チャック手段の各々が該切断作業域外にあ
る時に該材料保持チャック手段の各々に切断すべき材料
を搬入するための材料搬入手段と、 該切断作業域において、該材料保持チャック手段上に
保持された材料を切断するための切断ブレード装置であ
って、該支持基台に対して接近及び離隔する方向に移動
自在に且つ回転自在に装着された同心状の内側ブレード
及び外側ブレード、該内側ブレード及び該外側ブレード
を回転せしめるためのブレード回転手段、並びに該内側
ブレード及び該外側ブレードを該支持基台に対して接近
及び離隔する方向に移動せしめるためのブレード移動手
段、を含むところの切断ブレード装置と、 該材料保持チャック手段の各々が該切断作業域外にあ
る時に該材料保持チャック手段の各々から切断された材
料を搬出するための材料搬出手段と、 を具備することを特徴とする切断機が提供される。

かかる本発明の切断機の一実施形態においては、切断
ブレード装置における内側ブレードと外側ブレードとは
共通のブレード支持体に固着され、一体として回転され
且つ支持基台に対して接近及び隔離する方向に移動され
る。他の実施形態においては、切断ブレード装置におけ
る内側ブレードと外側ブレードとは、別個独立に回転さ
れ且つ支持基台に対して接近及び隔離する方向に移動さ
れる。

本発明の他の局面によれば、板状材料を同心状の円形
内側及び外側切断ラインに沿って切断するための切断機
にして； 移動自在に装着された支持基台と、 該支持基台上に配設された少なくとも３個の材料保持
チャック手段と、 該支持基台を間けつ的に移動せしめて、該材料保持チ
ャック手段の各々を、順次に、該支持基台の移動方向に
所定間隔を置いて規定された第１の切断作業域と第２の
切断作業域との一方に位置付け、次いで該第１の切断作
業域と該第２の切断作業域との他方に位置付ける支持基
台間けつ移動手段と、 該材料保持チャック手段の各々が該切断作業域外にあ
る時に該材料保持チャック手段の各々に切断すべき材料
を搬入するための材料搬入手段と、 該第１の切断作業域において、該材料保持チャック手
段上に保持された材料を切断するための第１の切断ブレ
ード装置であって、該支持基台に対して接近乃至隔離す
る方向に移動自在に且つ回転自在に装着された第１のブ
レード、該第１のブレードを回転せしめるための第１の
ブレード回転手段、及び該第１のブレードを該支持基台
に対して接近乃至隔離する方向に移動せしめるための第
１のブレード移動手段、を含む第１の切断ブレード装置
と、該第２の切断作業域において、該材料保持チャック
手段上に保持された材料を切断するための第２の切断ブ
レード装置であって、該支持基台に対して接近乃至隔離
する方向に移動自在に且つ回転自在に装着された第２の
ブレード、該第２のブレードを回転せしめるための第２
のブレード回転手段、及び該第２のブレードを該支持基
台に対して接近乃至隔離する方向に移動せしめるための
第２のブレード移動手段、を含むところの第２の切断ブ
レード装置と、 該材料保持チャック手段の各々が該切断作業域外にあ
る時に該材料保持チャック手段の各々から切断された材
料を搬送するための材料搬送手段と、 を具備し、該第１の切断ブレード装置と該第２の切断ブ
レード装置との一方が該内側切断ラインに沿って材料を
切断し、該第１の切断ブレード装置と該第２の切断ブレ
ード装置との他方が該外側切断ラインに沿って材料を切
断する、 ことを特徴とする切断機が提供される。

＜発明の好適具体例＞ 以下、本発明に従って構成された切断機の具体例につ
いて詳細に説明する。

第１図を参照して説明すると、図示の切断機は、実質
上鉛直に延びる（第１図において紙面に対して実質上垂
直に延びる）中心軸線を中心として回転自在に装着され
た円盤から成る支持基台２を含んでいる。この支持基台
２上には、90度の角度間隔を置いて４個の材料保持チャ
ック手段４が配設されている。上記支持基台２は、適宜
の伝動機構（図示していない）を介して電動モータでよ
い間けつ移動手段６に駆動連結されている。かかる間け
つ移動手段６は、支持基台２を矢印８で示す方向に90度
毎間けつ的に回転せしめる。上記支持基台２上には、90
度の角度間隔を置いて、支持基台２の矢印８で示す回転
方向に見て順次に、材料搬入域10、切断作業域12、材料
搬出域14及びチャック洗浄域16が規定されている。第１
図を参照することによって容易に理解される如く、上記
移動手段６によって支持基台２が90度毎間けつ的に回転
せしめられることにより、チャック手段４の各々は、材
料搬入域10、切断作業域12、材料搬出域14及びチャック
洗浄域16に順次に位置付けられる。

上記材料搬入域10に関連せしめて全体を番号18で示す
材料搬入手段が設けられ、上記切断作業域12に関連せて
めて全体を番号20で示す切断ブレード装置が設けられ、
上記材料搬出域14に関連せしめて全体を番号22で示す材
料搬出手段が設けられ、そして上記チャック洗浄域16に
関連せしめて全体を番号24で示す洗浄装置が設けられて
いる。

第２図乃至第４図を参照して上記チャック手段４につ
いて説明すると、図示の具体例におけるチャック手段４
の各々は、チャック板26と保持板28とを具備している。
かかるチャック板26及び保持板28は、円形又は長方形等
の適宜の形状でよいが、切断すべき材料が方形の場合は
これに対応した略方形であるのが好都合である。第２図
及び第３図に明確に図示する如く、チャック板26の上面
には、同心状の４個の環状溝30,32,34及び36が形成され
ている。チャック板26は、外縁領域部38と共に、上記環
状溝30,32,34及び36が形成されている４個の略環状領域
部40,42,44及び46並びに周縁領域47及びその内側を周縁
領域47に平行に延びる領域48においては非通気性である
が、第３図に交差斜線を付した他の部分は通気性を有す
る。かかる通気性を実現するためには、第３図に交差斜
線を付した部分においてチャック板26に多数の上下方向
貫通孔49（第２図）を形成すればよい。或いは、チャッ
ク板26の第３図に交差斜線を付した部分のみを多孔性物
質から形成すればよい。第２図及び第４図を参照するこ
とによって理解される如く、保持板28の上面には、内側
凹部50と外側凹部52とが形成されている。内側凹部50は
略方形であり、かかる内側凹部50内には８個の弧状支持
ランド54が残留せしめられている。外側凹部52は内側凹
部50の周縁に沿って連続して延びており、内側凹部50と
外側凹部52との間には連続して延びる隔離ランド56が存
在している。外側凹部52の外側には連続して延びる外周
ランド58が存在する。第２図から明らかな如く、支持ラ
ンド54、隔離ランド56及び外周ランド58の上面は、同一
平面上にある。外周ランド58はチャック板26における周
縁領域47に対応して位置し、隔離ランド56はチャック板
26における領域48に対応して位置する。保持板28の下面
中央部には円形でよい凹部60が形成されている。更に、
保持板28には、上記内側凹部50と凹部60とを相互に連通
せしめる第１の連通路と、上記外側凹部52と凹部60とを
相互に連通せしめる第２の連通路とが設けられている。
第１の連絡路は、上記内側凹部50に開口した上端から上
記凹部60に開口した下端まで延びる孔62によって形成さ
れている。一方、第２の連通路は、上記外側凹部52に開
口した上端から下方に延びる孔64、実質上水平に延びる
孔66、及び孔66の内側端部から下方に上記凹部60に開口
した下端まで延びる孔68を含んでいる。保持板28には、
更に、その片側面（第２図及び第４図において左側面）
から内方へ延びる大径孔70が形成されている。上記孔64
の下端はこの大径孔70に接続されており、上記孔66の外
側端もこの大径孔70に接続されている。そして、上記大
径孔70には、開閉制御部材72が回転自在に装着されてい
る。この開閉制御部材72は、頭部74、小径部76、及び上
記大径孔70の内径に対応した外径を有する弁部78を有す
る。かかる開閉制御部材72は、その小径部76を受入れる
細長いスロットが形成されている止め板80を締結ねじ82
（第３図）によって保持板28の上記片側面に固定するこ
とによって、所定位置に回転自在に装着される。開閉制
御部材72の弁部78には、直径方向に延びる孔84と、この
孔84から先端まで延びる孔86とが形成されている。開閉
制御部材72が第２図に図示する角度位置にある時には、
上記孔84及び86によって、上記孔64及び孔66が相互に連
通され、従って上記外側凹部52と上記凹部60とが相互に
連通される。他方、頭部74を把持することによって開閉
制御部材72を例えば90度程度回転せしめると、上記孔84
と上記孔64とが非連通になり、従って上記外側凹部52と
上記凹部60とが非連通になる。

第２図及び第４図に図示する如く、保持板28には、上
記外側凹部52において適宜の間隔を置いて貫通穴88が形
成されており、かかる貫通穴88を通して締結ボルト89を
上記支持基台２に螺着することによって、支持基台２上
の所定位置に保持板28が固定される。チャック板26は、
複数個の連結具90によって保持板28に装着される。第２
図に図示する如く、チャック板26の側面には溝92が形成
され、保持板28の側面には肩部94が形成されている。連
結具90は、その上部係止脚96を上記溝92にその下部係止
脚98を上記肩部94に係止せしめて、締結ボルト100によ
って保持板28の側面に固定される。

上記の通りのチャック手段４において、保持板28の下
面に形成されている上記凹部60は、支持基台２に形成さ
れている連通路101を含む適宜の連通路を介して、制御
弁102及び104の制御によって、真空源106及び水供給源1
08に選択的に連通せしめられる。更に詳述すると、上記
材料搬入域10（第１図）においてチャック板26上に切断
すべき材料が載置されると、上記凹部60は真空源106に
連通せしめられる。チャック板26上に載置されるガラス
板の如き板状材料が、第２図及び第３図に２点鎖線GLで
示す如く、比較的大きい方形であり、その外縁が上記外
周領域47上に位置する場合、上記開閉制御部材72は第２
図に図示する開位置に位置付けられる。従って、上記凹
部60が孔62によって上記内側凹部50に連通されると共
に、上記凹部60が孔68,66,86,84及び64を介して上記外
側凹部52に連通される。かくして、チャック板26の全て
の通気性部分を通して空気が吸引され、材料GLがチャッ
ク板26上に吸着される。他方、チャック板26上に載置さ
れる材料が、第２図及び第３図に２点鎖線GSで示す如
く、比較的小さい方形であり、その外縁が上記領域48上
に位置する場合には、上記開閉制御部材72は第２図に図
示する開位置から90度程度回転せしめられて閉位置にせ
しめられる。従って、上記凹部60は孔62によって上記内
側凹部50に連通せしめられるが、上記凹部60と上記外側
凹部52とは非連通にせしめられる。かくして、上記隔離
ランド56よりも内側の領域においてのみ、チャック板26
の通気性部分を通して空気が吸引され、材料GSがチャッ
ク板26上に載置される。上記外側凹部52と上記凹部60と
は非連通であるので、上記隔離ランド56よりも外側の、
材料GSによって覆われていない領域において、チャック
板26の通気性部分を通して空気が吸引されることはな
く、従って材料GSの吸着が毀損されることはない。

チャック手段４が上記材料搬出域14に位置付けられる
と、上記凹部60は真空源106から切離されて水供給源108
に連通せしめられる。かくして、チャック板26の通気性
部分を通してチャック板26の上面に水が流出せしめら
れ、これによってチャック板26上の材料GL又はGSが浮上
せしめられる。

再び第１図を参照して説明すると、上記材料搬入域10
に関連せしめて配設されている材料搬入手段18は、鉛直
方向に間隔を置いて複数枚の板状材料GL（又はGS）を収
納することができるカセットが載置されるカセット載置
台110と、板状材料受台112と、上記カセット載置台110
上に載置されているカセットから板状材料GL（又はGS）
を１枚毎受台112上に供給する供給機構114とを含んでい
る。カセット載置台110、その上に載置されるカセッ
ト、及び供給機構114は、半導体ウェーハの裏面研削機
等において一般に使用されている周知の構成と実質上同
一のものでよく、それ故に、これらの構成及び作用につ
いての説明は省略する。材料搬入手段18は、更に、旋回
アーム116を含んでいる。この旋回アーム116は、実質上
鉛直に延びる（第１図において紙面に対して実質上垂直
に延びる）旋回軸線を中心として、実線で示す吸着位置
と２点鎖線で示す離脱位置との間を往復旋回回動自在
に、そしてまた実質上鉛直な方向に昇降動自在に装着さ
れている。旋回アーム116の自由端には、適宜の形態で
よい吸着ヘッド118が設けられている。かかる吸着ヘッ
ド118は、図示していないが切換弁を含む連通ラインを
介して通常の真空ポンプ又エゼクタでよい真空源及び空
気供給源に接続されており、上記切換弁によって真空源
又は空気供給源に選択的に連通せしめられる。旋回アー
ム116が実線で示す吸着位置に位置付けられると、吸着
ヘッド118は上記受台112上の板状材料GL（又はGS）の直
上に位置する。かかる状態において吸着ヘッド118が真
空源に連通せしめられ、かくして吸着ヘッド118が受台1
12上の板状材料GL（又はGS）を真空吸着する。次いで、
旋回アーム116が所定距離上昇され、しかる後に２点鎖
線で示す離脱位置に旋回動され、次いで所定距離下降さ
れる。かくすると、吸着ヘッド118は上記材料搬入域10
に位置付けられているチャック手段４の直上に位置す
る。かかる状態において吸着ヘッド118が真空源から切
離されると共に若干の時間だけ空気供給源に連通され、
従って板状材料GL（又はGS）が吸着ヘッド118から離脱
されてチャック手段４上に載置される。かくして、板状
材料GL（又はGS）が材料搬入域10においてチャック手段
４上に搬入される。しかる後に、旋回アーム116は、次
の板状材料GL（又はGS）の搬入のために、所定距離上昇
され、次いで実線で示す吸着位置に旋回動され、そして
所定距離下降される。

次に、上記切断作業域12に関連して配設されている切
断ブレード装置20について説明する。第５図を参照して
説明すると、切断ブレード装置20は、上記支持基台２の
上方に配置された静止支持枠120を含んでいる。この支
持枠120の前面には、間隔を置いて実質上鉛直に延びる
一対の案内レール122が固定されており、かかる一対の
案内レール122に可動支持体124が実質上鉛直な方向に昇
降動自在に装着されている。上記支持枠120の前面に
は、可動支持体124を昇降動せしめるブレード移動手段1
26も設けられている。このブレード移動手段126は、回
転自在に装着され且つ実質上鉛直に延びる雄ねじロッド
128と、この雄ねじロッド128を回転せしめるための電動
モータ130とを有する。上記雄ねじロッド128は上記可動
支持体124に形成されている雌ねじ穴（図示していな
い）に螺合されており、従って雄ねじロッド128の正転
及び逆転によって可動支持体124が下降及び上昇せしめ
られる。可動支持体124には、実質上鉛直に延びる軸132
が回転自在に装着され、そしてまた、この軸132を回転
せしめるための電動モータでよいブレード回転手段134
が装着されている。軸132は可動支持体124を越えて下方
に突出しており、その下端にはブレード支持体136が固
定されている。第５図と共に第６図を参照して説明する
と、上記ブレード支持体136の下面には、同心状の２個
のブレード、即ち比較的小径の円筒形状である内側ブレ
ード138及び、比較的大径の円筒形状である外側ブレー
ド140が固着されている。ブレード支持体136には、内側
ブレード138及び外側ブレード140による切断の際に水の
如き冷却液を噴出するための複数個の冷却液噴出孔142
が形成されている。ダイヤモンド砥粒を金属等で結合す
ることによって形成することができる内側ブレード138
及び外側ブレード140自体の好適構成及びその製造方法
は、昭和60年特許願第247749号の明細書及び図面（特公
平３−10458号公報参照）に詳細に説明されているの
で、これらについての説明は、上記明細書及び図面に委
ね、本明細書においては省略する。図示の具体例におけ
る内側ブレード138及び140は共に周方向に連続した円筒
形状であるが、所望ならば、内側ブレード138及び140の
各々は、周方向に間隔を置いて配設された複数個の弧状
片から構成することもできる。

第５図と共に第７図を参照して説明すると、切断作業
域12においては、ブレード回転手段134が付勢されるこ
とによって、軸132が比較的高速で回転せしめられ、か
くして内側ブレード138及び外側ブレード140が比較的高
速で回転せしめられる。加えて、ブレード移動手段126
が付勢されて可動支持体124が比較的低速で下降され、
かくして内側ブレード138及び外側ブレード140が比較的
低速で下降される。かくすると、第７図に図示する如
く、比較的高速で回転せしめられている内側ブレード13
8及び外側ブレード140が、板状材料GLの上面から下方に
向けて漸次板状材料GLに作用してこれを切断する。従っ
て、板状材料GLは、内側ブレード138によって円形内側
切断ラインに沿って切断されると共に外側ブレード140
によって円形外側切断ラインに沿って切断される。かよ
うな切断の際には、冷却液噴出孔142（第６図）から水
の如き冷却液が噴出せしめられる。第７図に図示する如
く、内側ブレード138及び外側ブレード140は、板状材料
GLを完全に切断するまで下降せしめられる。板状材料GL
の下面を越えて下方に突出せしめられる内側ブレード13
8及び外側ブレード140の下端は、チャック手段４のチャ
ック板26の表面に形成されている上記環状溝32及び36内
に進入する。他方、切断すべき板状材料が比較的小さい
方形である場合には、比較的小径の内側ブレード及び外
側ブレードが使用され、この場合には内側ブレード及び
外側ブレードの下端は、チャック手段４のチャック板26
の表面に形成されている、環状溝32及び36ではなくて環
状溝30及び34内に進入する。板状材料GL（又はGS）の切
断が終了すると、内側ブレード138及び外側ブレード140
から上昇せしめられて板状材料GL（又はGS）から隔離せ
しめられる。

所望ならば、内側ブレード138及び外側ブレード140の
最下降位置、従って板状材料GLの切断深さを、板状材料
GLの下面に若干（例えば数μｍ）の非切断部を残留せし
めるように設定することもできる。この場合には、後に
板状材料GLの上記非切断部に幾分かの力を加えることに
よって上記非切断部を破断せしめる。板状材料GLの裏面
に適宜の合成樹脂テープが貼着されている場合には、テ
ープは完全に切断することなく非切断状態に維持し、こ
れによって板状材料GLの一体性を維持するが、板状材料
GLは下部に非切断部を残留せしめることなく完全に切断
することもできる。

第８図は、切断ブレード装置の変形例を図示してい
る。全体を番号150で示す切断ブレード装置は、上記支
持基台２の上方に配置された静止支持枠152を含んでい
る。この支持枠152の前面には、間隔を置いて実質上鉛
直に延びる一対の案内レール154が固定されており、か
かる一対の案内レール154に可動支持体156が実質上鉛直
な方向に昇降動自在に装着されている。上記支持枠152
の前面には、可動支持体156を昇降動せしめるブレード
移動手段158が設けられている。このブレード移動手段1
58は、回転自在に装着され且つ実質上鉛直に延びる雄ね
じロッド160と、この雄ねじロッド160を回転せしめるた
めの電動モータ162とを有する。上記雄ねじロッド160は
上記可動支持体156に形成されている雌ねじ穴（図示し
ていない）に螺合されており、従って雄ねじロッド160
の正転及び逆転によって可動支持体156が下降及び上昇
せしめられる。可動支持体156内にも、間隔を置いて実
質上鉛直に延びる一対の案内レール164が固定されてい
る。そして、この一対の案内レール164には、補助支持
体166が実質上鉛直な方向に昇降動自在に装着されてい
る。可動支持体156内には、補助支持体166を昇降動せし
める補助移動手段168も設けられている。この補助移動
手段168は、回転自在に装着され且つ実質上鉛直に延び
る雄ねじロッド170と、この雄ねじロッド170を回転せし
めるための電動モータ172とを有する。上記雄ねじロッ
ド170は上記補助支持体166に形成されている雌ねじ穴
（図示していない）に螺合されており、従って雄ねじロ
ッド170の正転及び逆転によって補助支持体166が下降及
び上昇せしめられる。補助支持体166には、電動モータ
でよい第１の回転手段174と、この第１の回転手段174の
出力軸に駆動連結された上端から実質上鉛直に下方に延
びる軸176とが装着されている。この軸176は上記可動支
持体156を越えて下方に突出しており、その下端には略
円板形状の内側ブレード支持体178が固定されている。
そして、この内側ブレード支持体178の下面には、上述
した切断ブレード装置20における内側ブレード138（第
５図及び第６図）と実質上同一でよい内側ブレード180
が固着されている。上記可動支持体156内の下部には、
略円筒形状の回転部材182も回転自在に装着されてい
る。この回転部材182は可動支持体156の下端を越えて幾
分下方に突出しており、かかる下端には環状連結部材18
4が固定され、そしてこの連結部材184の下端には環状外
側ブレード支持体186が固定されている。外側ブレード
支持体186の下面には、上述した切断ブレード装置20に
おける外側ブレード140（第５図及び第６図）と実質上
同一でよい外側ブレード188が固着されている。更に、
上記可動支持体156の外側面には、回転軸190が回転自在
に装着されていると共に、この軸190に駆動連結された
電動モータでよい第２の回転手段192が装着されてい
る。上記軸190はベルト機構194によって上記回転部材18
2に駆動連結されている。従って、第２の回転手段192が
付勢されて軸190が回転せしめられると、回転部材182が
回転せしめられ、従って外側ブレード188が回転せしめ
られる。

上述した通りの切断ブレード装置150の作用効果につ
いて要約して説明すると、次の通りである。実際の切断
作業に先立って、必要に応じて補助移動手段168が付勢
されて補助支持体166が下降又は上昇され、かくして外
側ブレード188に対する内側ブレード180の上下方向位置
が適宜に調整される。内側ブレード180の上下方向調整
位置は、例えば内側ブレード180の下端が外側ブレード1
88の下端に実質上合致せしめられる（従って、外側ブレ
ード188による板状材料GL（又はGS）の切断深さと内側
ブレード180による板状材料GL（又はGS）の切断深さと
が実質上同一にせしめられる）位置でよい。板状材料GL
（又はGS）の切断による内側ブレード180の摩耗量と外
側ブレード188の摩耗量とは必ずしも同一ではなく、従
って内側ブレード180の上下方向位置を必要に応じて調
整し得ない場合には、切断作業を繰返し遂行すると、内
側ブレード180による板状材料GL（又はGS）の切断深さ
と外側ブレード188による板状材料GL（又はGS）の切断
深さとの一方を所要値にせしめると他方が所要値から変
動してしまう。しかしながら、第８図に図示する切断ブ
レード装置150においては、内側ブレード180及び外側ブ
レード188の摩耗量に応じて内側ブレード180の上下方向
位置を適宜に調整することによって、内側ブレード180
による板状材料GL（又はGS）の切断深さと外側ブレード
188による板状材料GL（又はGS）の切断深さとの双方を
所要値にせしめることができる。

切断作業を遂行するためには、第１の回転手段174を
付勢して内側ブレード180を比較的高速で回転せしめる
と共に、第２の回転手段192を付勢して外側ブレード188
を比較的高速で回転せしめる。内側ブレード180の回転
方向と外側ブレード188の回転方向とは同一でもよい
が、相互に逆であるのが好都合である。加えて、ブレー
ド移動手段158が付勢されて可動支持体156が比較的低速
で下降され、かくして内側ブレード180及び外側ブレー
ド188が比較的低速で下降され、上述した切断ブレード
装置20の場合と同様に、内側ブレード180が円形内側切
断ラインに沿って板状材料GL（又はGS）を切断すると共
に、外側ブレード188が円形外側切断ラインに沿って板
状材料GL（又はGS）を切断する。かかる切断の際には、
例えば内側ブレード支持体178及び／又は外側ブレード
支持体186に形成されている冷却液噴射孔（図示してい
ない）から水の如き冷却液を噴出することができる。第
８図に図示する変形例においては、切断作業の際に内側
ブレード180の下降と外側ブレード188の下降とは一体的
に遂行されるが、所望ならば、切断作業の際の内側ブレ
ード180の下降と外側ブレード188の下降とを別個独立に
遂行することもできる。

再び第１図を参照して、上記材料搬出域14に関連して
設けられている材料搬出手段22について説明すると、図
示の材料搬出手段22は、旋回アーム200を含んでいる。
この旋回アーム200の一端部は、実質上鉛直に延びる
（第１図において紙面に実質上垂直に延びる）旋回軸線
を中心として旋回自在に且つ実質上鉛直な方向に昇降自
在に装着されている。そして、旋回アーム200は、適宜
の昇降動手段（図示していない）によって後述する通り
に昇降動せしめられると共に、適宜の旋回動手段（図示
していない）によって旋回動せしめられ、実線で示す吸
着位置、２点鎖線200Aで示す破棄位置及び２点鎖線200B
で示す収納位置に選択的に位置付けられる。旋回アーム
200の自由端部には、吸着ヘッド202が装着されている。
第１図と共に第９図及び第10図を参照して説明すると、
吸着ヘッド202は、八角形状の主部204とこの主部204の
一側縁から延在する連結脚部206とを有する第１の支持
板208を含んでいる。この第１の支持板208の連結脚部20
6の突出端部は、ボルト及びナットの如き適宜の締結具2
10によって、上記旋回アーム200の自由端部に固定され
ている。第１の支持板208の主部204には、その中央に配
設された１個の第１の吸着具212と、この第１の吸着具2
12の外側に配設された４個の第２の吸着具214とが装着
されている。第２の吸着具214は90度の角度間隔を置い
て配設されており、第１の吸着具212から第２の吸着具2
14の各々までの距離は実質上同一に設定されている。そ
れ自体は周知の形態でよい第１の吸着具212及び第２の
吸着具214は、上記第１の支持板208から下方に延び、そ
の下面が吸着面として機能する。吸着ヘッド202は、更
に、上記第１の吸着具212及び第２の吸着具214を介して
上記第１の支持板208に連結され、上記第１の支持板208
の下方に位置する第２の支持板216も含んでいる。この
第２の支持板216は、90度の角度間隔を置いて半径方向
外方に延在する４個の支持脚部218を有する。そして、
かかる４個の支持脚部218の各々には、装着板220が半径
方向に位置調整自在に装着されている。詳述すると、上
記支持脚部218の各々には、その中央部をその延在方向
に延びる開口221と共にその両側部をその延在方向に延
びる一対の細長いスリット222が形成されており、上記
装着板220の各々は、上記スリット222を通って延びるボ
ルトとこれと協働するナットでよい一対の締結具224に
よって上記支持脚部218の各々に装着されており、従っ
て上記装着板220の装着位置は、上記スリット222に沿っ
て適宜に調整することができる。装着板220の各々に
は、第３の吸着具226が装着されている。第１の吸着具2
12及び第２の吸着具214と同様にそれ自体は周知の形態
でよい第３の吸着具226は、上記開口221を通って下方に
延び、その下面が吸着面として機能する。第10図から理
解される如く、第1,第２及び第３の吸着具212,214及び2
26の下面（即ち吸着面）は、実質上同一平面内に位置せ
しめられている。第10図に簡略に図示する如く、第１の
吸着具212と第３の吸着具226は、制御弁228を介して真
空源230に接続されていると共に、制御弁232を介して空
気供給源234に接続されている。第２の吸着具214は、別
個の制御弁236を介して上記真空源230に接続されている
と共に、別個の制御弁238を介して上記空気供給源234に
接続されている。真空源230は、通常の真空ポンプ、或
いは空気供給源234からの空気が流動せしめられるオリ
フィスを有するエゼクタ等から構成することができる。

第１図を参照して説明すると、旋回アーム200が実線
で示す上記吸着位置に位置付けられると、吸着ヘッド20
2は上記材料搬出域14において上記チャック手段４の１
個に対向してその上方に位置する。旋回アーム200が２
点鎖線200Aで示す破棄位置に位置付けられると、吸着ヘ
ッド202は破棄容器240に対向してその上方に位置する。
破棄容器240は、その上面が開口された箱でよい。旋回
アーム200が２点鎖線200Bで示す収納位置に位置付けら
れると、吸着ヘッド202は収納手段242に対向してその上
方に位置する。収納手段242は、吸着ヘッド202から製品
（円環状板）を受取る受取台244、複数枚の製品を収納
することができるカセットが載置されるカセット載置台
246、及び受取台244からカセット載置台246上のカセッ
トに製品を搬入する搬入機構248を含む、それ自体は周
知の形態のものでよい。

上述した通りの材料搬出手段22の作用効果を説明する
と、次ぎの通りである。材料搬出域14に存在するチャッ
ク手段４上から切断された板状材料GL（又はGS）を搬出
するためには、最初に、旋回アーム200及びその自由端
部に装着された吸着ヘッド202が、第１図に実線で示す
吸着位置に位置付けられる。次いで、第1,第２及び第３
の吸着具212,214及び226（第10図）の下面がチャック手
段４上の板状材料GL（又はGS）の表面に接触乃至近接す
る位置まで、旋回アーム200及び吸着ヘッド202が下降せ
しめられる。しかる後に、制御弁228及び制御弁236が開
かれて第1,第２及び第３の吸着具212,214及び226が真空
源230に連通される。かくして、上述した如くしてチャ
ック手段４上に浮上せしめられる板状材料GL（又はGS）
を、第1,第２及び第３の吸着具212,214及び226が吸着す
る。

而して、板状材料が比較的大きい方形のものGLである
場合、吸着ヘッド202における装着板220の各々は、第９
図に実線で示す外側位置に位置付けられる。この場合、
第９図を参照することによって理解される如く、第１の
吸着具212は、板状材料GLの中央部、即ち内側切断ライ
ンGL−ICよりも内側の中央不要部を吸着し、第２の吸着
具214は、板状材料GLの、内側切断ラインGL−ICと外側
切断ラインGL−OCとの間の製品部を吸着し、そして第３
の吸着具226は、板状材料GLの、外側切断ラインGL−OC
よりも外側の外側不要部を吸着する。他方、板状材料が
比較的小さい方形のものGSである場合、吸着ヘッドにお
ける装着板220の各々は、第９図に２点鎖線で示す内側
位置に位置付けられる。この場合、第９図を参照するこ
とによって理解される如く、第１の吸着具212は、板状
材料GSの中央部、即ち内側切断ラインGS−ICよりも内側
の中央不要部を吸着し、第２の吸着具214は、板状材料G
Sの、内側切断ラインGS−ICと外側切断ラインGS−OCと
の間の製品部を吸着し、そして第３の吸着具226は、板
状材料GSの、外側切断ラインGS−OCよりも外側の外側不
要部を吸着する。

第1,第２及び第３の吸着具212,214及び226が板状材料
GL（又はGS）を吸着すると、旋回アーム200及び吸着ヘ
ッド202が所定距離上昇せしめられ、かくして板状材料G
L（又はGS）の全体がチャック手段４から上方に持上げ
られる。次いで、旋回アーム200及び吸着ヘッド202が第
１図に２点鎖線200A及び202Aで示す破棄位置に旋回せし
められる。しかる後に、制御弁228が閉じられて第１及
び第３の吸着具212及び226が真空源230から切離され、
これと同時に或いはその直後に制御弁232が若干の時間
だけ開かれて第１及び第３の吸着具212及び226が若干の
時間だけ空気供給源234に連通せしめられる。かくし
て、第１及び第３の吸着具212及び226の下面から空気が
噴出せしめられ、これによって、板状材料GL（又はGS）
の中央不要部、即ち内側切断ラインGL−IC（又はGS−I
C）よりも内側の部分と、外側不要部、即ち外側切断ラ
インGL−OC（又はGS−IC）よりも外側の部とが、第１及
び第３の吸着具212及び226から離脱されて、破棄容器24
0内に落下される。他方、板状材料GL（又はGS）の製品
部、即ち内側切断ラインGL−IC（又はGS−IC）と外側切
断ラインGL−OC（又はGS−OC）との間の部分は、真空源
230に連通せしめられ続けている第２の吸着具214に吸着
され続けている。

次いで、旋回アーム200及び吸着ヘッド202が第１図に
２点鎖線200B及び202Bで示す収納位置に旋回せしめられ
る。しかる後に、制御弁236が閉じられて第２の吸着具2
14が真空源230から切離され、これと同時に或いはその
直後に制御弁238が若干の時間だけ開かれて第２の吸着
具214が若干の時間だけ空気供給源234に連通せしめられ
る。かくして、第２の吸着具214の下面から空気が噴出
せしめられ、これによって、板状材料GL（又はGS）の製
品部、即ち内側切断ラインGL−IC（又はGS−IC）と外側
切断ラインGL−OC（又はGS−OC）との間の部分が、第２
の吸着具214から離脱されて、その下方に位置する収納
手段242の受取台244上へ載置される。

次に、上記チャック洗浄域16に関連して設けられてい
る洗浄装置24について説明する。第11図及び第12図を参
照して説明すると、図示の洗浄装置24は、円筒形状の支
持体256を含んでいる。この支持体256は、チャック洗浄
域16において上記支持基台２（第１図）の上方に配設さ
れている静止支持枠257に固定されている。上記支持体2
56には、実質上鉛直に延びる回転主軸258が軸受262を介
して回転自在に装着されている。回転主軸258の上端部
は、支持体256の上端壁を貫通して上方へ突出してお
り、回転主軸258の上端は、上記支持枠257に装着された
電動モータでよい回転駆動源266に駆動連結されてい
る。また、回転主軸258の下端部は、支持体256の下端壁
を貫通して下方に延び、回転主軸258の下端に支持部材2
68が固定されている。支持部材268は半径方向外方に延
びており、その外端部には実質上鉛直に延びる回転支持
軸270が軸受274を介して回転自在に装着されている。回
転支持軸270の下端には、洗浄手段252が装着されてい
る。図示の具体例における洗浄手段252は、実質上水平
に且つ相互に実質上垂直に延在する一対のブラシ部材27
6から構成されている。一対のブラシ部材276の各々は、
水平方向中間部が上記回転支持軸270の下端に固定され
た基板277と、この基板277の下面に植設された多数の毛
279から構成されている。合成樹脂製でよい毛279は、洗
浄すべきチャック手段４の表面に接触せしめられる。第
12図を参照することによって理解される如く、回転主軸
258は、チャック洗浄域16に位置するチャック手段４の
実質上中心位置に位置し、回転支持軸270は、チャック
手段４の中心と周縁との略中間に位置し、そして回転支
持軸270の中心線272からブラシ部材276の両端までの長
さｌは、回転主軸258の中心線260と回転支持軸270の中
心線272との間隔Ｌより幾分大きく設定されているのが
好都合である。

洗浄装置24には、回転主軸258の回転に応じて回転支
持軸270を自転及び公転せしめるための遊星運動機構254
も含んでいる。この遊星運動機構254は、上記支持体256
の下端部に固定された静止太陽歯車284と、回転支持軸2
70の上端に固定され且つ上記静止太陽歯車284に噛合さ
れている遊星歯車286とから成る。回転主軸258が矢印28
2（第12図）で示す方向に回転されると、回転支持軸270
及びこれに固定されたブラシ部材276は、回転主軸258の
中心線260を中心として矢印282（第12図）で示す方向に
公転される（従って、回転支持軸270の中心線272は第12
図に１点鎖線287で示す円形軌跡を描く）。そして、か
かる公転の際に、上記遊星運動機構254の作用によっ
て、回転支持軸270及びこれに固定されたブラシ部材276
は、回転支持軸270の中心線272を中心として矢印278
（第12図）で示す方向に自転せしめられる。所望なら
ば、太陽歯車284及び遊星歯車286に代えて太陽摩擦車及
び遊星摩擦車を使用することもできる。

第11図を参照して説明を続けると、洗浄装置24は、更
に、カバー288及び洗浄液供給手段290を含んでいる。カ
バー288は、円形（又はチャック手段４の形状に対応し
た、方形の如き多角形状）でよい基盤292と、この基盤2
92の周縁から垂下する円筒形（又は多角筒形）の側壁29
4を有する。カバー288の基盤292は、上記支持体256の下
端部に固定され、側壁294は上記ブラシ部材276を囲繞す
る。カバー288の基盤292内には環状空間が形成されてお
り、かかる空間は洗浄液供給手段290の洗浄液マニホル
ド296を構成する。かかる洗浄液マニホルド296は、基盤
292の上壁298に形成された流入口299を介して洗浄液供
給源300に連通せしめられている。また、基盤292の下壁
301には多数の噴出孔302が形成されている。

上記の通りの洗浄装置24においては、洗浄液供給源30
0から洗浄液マニホルド296に水の如き洗浄液が供給さ
れ、かかる洗浄液が噴出孔302からチャック手段４の表
面に向けて噴出せしめられる。加えて、回転駆動源266
が付勢されて回転主軸258が矢印282（第12図）で示す方
向に回転され、従ってブラシ部材276が上述した通りに
公転及び自転される。かくして、ブラシ部材276がチャ
ック手段４の表面全域に作用して所要通りに洗浄する。

第13図は、本発明に従って構成された切断機の第２の
具体例を図示している。この第２の具体例においては、
支持基台402上には、72度の角度間隔を置いて５個の材
料保持チャック手段404が配設されている。そして、支
持基台404上には、72度の角度間隔を置いて、支持基台4
04の矢印408で示す回転方向に見て順次に、材料搬入域4
10、第１の切断作業域412A、第２の切断作業域412B、材
料搬出域414及びチャック洗浄域416が規定されている。
支持基台404は間けつ移動手段406によって72度毎間けつ
的に矢印408で示す方向に回転せしめられ、これによっ
てチャック手段404の各々は材料搬入域410、第１の切断
作業域412A、第２の切断作業域412B、材料搬出域414、
及びチャック洗浄域416に順次に位置付けられる。

上記第１の切断作業域412Aに関連せしめて、全体を番
号434Aで示す第１の切断ブレード装置が配設され、上記
第２の切断作業域412Bに関連せしめて、全体を番号434B
で示す第２の切断ブレード装置が配設されている。第14
図に図示する第１の切断ブレード装置434Aは、ブレード
支持体452Aの下面に比較的小径の円筒形状である第１の
ブレード454（この第１のブレード454は上記切断ブレー
ド装置20おける内側ブレード138に対応する）のみが固
着されている点を除けば、上述した第１の具体例におけ
る切断ブレード装置20と実質上同一である。また、第15
図に図示する第２の切断ブレード装置434Bは、ブレード
支持体452Bの下面に比較的大径の円筒形状である第２の
ブレード456（この第２のブレード456は上記切断ブレー
ド装置20における外側ブレード140に対応する）のみが
固着されている点を除けば、上述した第１の具体例にお
ける切断ブレード装置20と実質上同一である。

第13図と共に第14図及び第15図を参照して説明を続け
ると、上記第１の切断作業域412Aにおいては、第１の切
断ブレード装置434Aの第１のブレード454によって、チ
ャック手段４上に吸着されている板状材料GL（又はGS）
が円形内側切断ラインに沿って切断される。また、上記
第２の切断作業域412Bにおいては、第２の切断ブレード
装置434Bの第２のブレード456によって、チャック手段
４上に吸着されている板状材料GL（又はGS）が円形外側
切断ラインに沿って切断される。

第13図を参照して説明すると、第２の具体例において
は、更に、表面気体吹付け手段476及び裏面気体吹付け
手段478が配設されている。表面気体吹付け手段476は、
上記第２の切断作業域412Bと上記材料搬出域414との間
にて上記支持基台402の上方に配設された細長い吹付け
ノズル480を有する。第16図及び第17図を参照して説明
すると、上記吹付けノズル480は中空逆三角形状の断面
形状を有し、両側傾斜壁には多数の孔482が形成されて
いる。かかる吹付けノズル480には、加熱空気の如き気
体が選択的に供給され、かかる気体が孔482から射出さ
れて、支持基台402の回転に応じて吹付けノズル480の下
方を通過するチャック手段404上の板状材料GL（又はG
S）の表面に吹付けられる。かくして、切断作業の際に
付着した切屑及び冷却液等が板状材料GL（又はGS）の表
面から除去され、板状材料GL（又はGS）の表面が洗浄及
び乾燥される。裏面気体吹付け手段478は、材料搬出手
段422における吸着ヘッド502が第13図に実線で示す吸着
位置から第13図に２点鎖線502Aで示す破棄位置まで移動
される際に描く軌跡の下方に配設された細長い吹付けノ
ズル484を有する。第18図及び第19図を参照して説明す
ると、上記吹付けノズル484は中空三角形状の断面形状
を有し、両側傾斜壁には多数の孔486が形成されてい
る。かかる吹付けノズル484内には、加熱空気の如き気
体が選択的に供給され、かかる気体が孔486から射出さ
れて、吸着ヘッド502に吸着されてチャック手段404から
搬出される板状材料GL（又はGS）の裏面に吹付けられ
る。かくして、切断作業の際に付着した切屑及び冷却液
等が板状材料GL（又はGS）の裏面から除去され、板状材
料GL（又はGS）の裏面が洗浄及び乾燥される。

第２の具体例の上述した構成及び作用効果以外の構成
及び作用効果は、上述した第１の具体例と実質上同一で
あるので説明を省略する。

以上、添付図面を参照して本発明に従って構成された
切断機の好適具体例について詳細に説明したが、本発明
はかかる具体例に限定されるものではなく、本発明の範
囲を逸脱することなく種々の変形乃至修正が可能である
ことは勿論である。

例えば、図示する具体例においては、支持基台上に規
定されている作業域の数（第１の具体例では４個、第２
の具体例では５個）と同様のチャック手段を支持基台上
に配設しているが、所望ならば、作業域の数よりも多い
チャック手段を支持基台上に配設することもできる（こ
の場合、１個又は複数個のチャック手段作業域間の待期
位置にも位置付けられる）。

また、図示する具体例においては、材料搬出域、チャ
ック洗浄域及び材料搬入域を別個独立に規定している
が、所望ならば、これらの作業域を共通化してチャック
手段が共通化された単一域に位置付けられている間に、
既に切断された板状材料をチャック手段から搬出し、次
いでチャック手段を洗浄し、しかる後に次の切断すべき
板状材料をチャック手段上に搬入することもできる。

更に、図示する具体例においては、支持基台を間けつ
的に回転せしめることによって、チャック手段を複数個
の作業域に順次に位置付けているが、所望ならば、適宜
の形態の支持基台を間けつ的に直線往復動或いは旋回往
復動せしめることによって複数個の作業域に順次に位置
付けることもできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に従って構成された切断機の第１の具
体例を示す簡略平面図。 第２図は、第１図の切断機におけるチャック手段を示す
断面図。 第３図は、第２図のチャック手段の平面図。 第４図は、第２図のチャック手段における保持板の平面
図。 第５図は、第１図の切断機における切断ブレード装置
を、一部を断面で示す正面図。 第６図は、第５図の切断ブレード装置における内側ブレ
ード及び外側ブレードを示す斜面図。 第７図は、第５図の切断ブレード装置による板状材料の
切断状態を示す部分断面図。 第８図は、切断ブレード装置の変形例を、一部を断面で
示す正面図。 第９図は、第１図の切断機における材料搬出手段の吸着
ヘッドを示す平面図。 第10図は、第９図の吸着ヘッドの側面図。 第11図は、第１図の切断機における洗浄装置を示す断面
図。 第12図は、第11図の洗浄装置におけるブラシ部材の配置
及び運動を説明するための簡略平面図。 第13図は、本発明に従って構成された切断機の第２図の
具体例を示す簡略平面図。 第14図は、第13図の切断機における第１の切断ブレード
装置を示す正面図。 第15図は、第13図の切断機における第２の切断ブレード
装置を示す正面図。 第16図は、第13図の切断機における表面気体吹付け手段
を示す側面図。 第17図は、第16図の表面気体吹付け手段の断面図。 第18図は、第13図の切断機における裏面気体吹付け手段
を示す側面図。 第19図は、第18図の裏面気体吹付け手段の断面図。 ２……支持基台 ４……材料保持チャック手段 ６……間けつ移動手段 10……材料搬入域 12……切断作業域 14……材料搬出域 16……チャック洗浄域 18……材料搬入手段 20……切断ブレード装置 22……材料搬出手段 24……洗浄装置 26……チャック板 28……保持板 138……内側ブレード 140……外側ブレード 202……吸着ヘッド 212……第１の吸着具 214……第２の吸着具 226……第３の吸着具 240……破棄容器 242……収納手段 402……支持基台 404……材料保持チャック手段 410……材料搬入域 412A……第１の切断作業域 412B……第２の切断作業域 414……材料搬出域 416……チャック洗浄域 434A……第１の切断ブレード装置 434B……第２の切断ブレード装置 454……第１のブレード 456……第２のブレード GL及びGS……板状材料

Claims (27)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】板状材料を同心状の円形内側及び外側切断
   ラインに沿って切断するための切断機にして； 移動自在に装着された支持基台と、 該支持基台上に配設された少なくとも２個の材料保持チ
   ャック手段と、 該支持基台を間けつ的に移動せしめて、該材料保持チャ
   ック手段の各々を順次に切断作業域に位置付けるための
   支持基台間けつ移動手段と、 該材料保持チャック手段の各々が該切断作業域外にある
   時に該材料保持チャック手段の各々に切断すべき材料を
   搬入するための材料搬入手段と、 該切断作業域において、該材料保持チャック手段上に保
   持された材料を切断するための切断ブレード装置であっ
   て、該支持基台に対して接近及び離隔する方向に移動自
   在に且つ回転自在に装着された同心状の内側ブレード及
   び外側ブレード、該内側ブレード及び該外側ブレードを
   回転せしめるためのブレード回転手段、並びに該内側ブ
   レード及び該外側ブレードを該支持基台に対して接近及
   び離隔する方向に移動せしめるためのブレード移動手
   段、を含むところの切断ブレード装置と、 該材料保持チャックの手段の各々が該切断作業域外にあ
   る時に該材料保持チャックの手段の各々から切断された
   材料を搬出するための材料搬出手段と、 を具備することを特徴とする切断機。
2. 【請求項２】該切断ブレード装置は該支持基台に対して
   接近及び離隔する方向に移動自在に且つ回転自在に装着
   された単一のブレード支持体を含み、該内側ブレードと
   該外側ブレードとの双方は該ブレード支持体に固着され
   ており、該ブレード回転手段は該ブレード支持体を回転
   せしめ、該ブレード移動手段は該ブレード支持体を移動
   せしめる、特許請求の範囲第１項記載の切断機。
3. 【請求項３】該切断ブレード装置は回転自在に装着され
   た内側ブレード支持体と、該内側ブレード支持体とは別
   個に回転自在に装着された外側ブレード支持体とを含
   み、該内側ブレードは該内側ブレード支持体に固着さ
   れ、該外側ブレードは該外側ブレード支持体に固着され
   ており、該ブレード回転手段は該内側ブレード支持体を
   回転せしめるための第１の回転手段と、該外側ブレード
   支持体を回転せしめるための第２の回転手段とを含む、
   特許請求の範囲第１項記載の切断機。
4. 【請求項４】該内側ブレード支持体の回転方向と該外側
   ブレード支持体の回転方向とは逆である、特許請求の範
   囲第３項記載の切断機。
5. 【請求項５】該切断ブレード装置は該支持基台に対して
   接近及び離隔する方向に移動自在に装着された可動支持
   体を含み、該内側ブレード支持体と該外側ブレード支持
   体との双方は該可動支持体に回転自在に装着されてお
   り、該ブレード移動手段は該可動支持体を移動せしめ
   る、特許請求の範囲第３項又は第４項記載の切断機。
6. 【請求項６】該切断ブレード装置は該支持基台に対して
   接近及び離隔する方向に移動自在に該可動支持体に装着
   された補助支持体と、該可動支持体に対して該補助支持
   体を移動せしめる補助移動手段とを含み、該内側ブレー
   ド支持体と該外側ブレード支持体との一方は該補助支持
   体を介することなく該可動支持体に装着されているが、
   該内側ブレード支持体と該外側ブレード支持第との他方
   は該補助支持体を介して該可動支持体に装着されてい
   る、特許請求の範囲第５項記載の切断機。
7. 【請求項７】該支持基台は回転自在に装着されており、
   該支持基台間けつ移動手段は該支持基台を所定方向に間
   けつ回転せしめる、特許請求の範囲第１項乃至第６項の
   いずれかに記載の切断機。
8. 【請求項８】該支持基台の回転方向に見て順次に材料搬
   入域、該切断作業域、材料搬出域及びチャック洗浄域が
   規定されており、該支持基台には周方向に等間隔を置い
   て該材料保持チャック手段が少なくとも４個装着されて
   おり、該材料保持チャック手段のうちの１個が該切断作
   業域に位置付けられると、該材料搬出域、該チャック洗
   浄域及び該材料搬入域の各々にも夫々該材料保持チャッ
   ク手段のうちの１個が位置付けられ、該材料搬入手段は
   該材料搬入域に位置している該材料保持チャック手段に
   切断すべき材料を搬入し、該材料搬出手段は該材料搬出
   域に位置している該材料保持チャック手段から切断され
   た材料を搬出し、該チャック洗浄域には該材料保持チャ
   ック手段を洗浄するための洗浄装置が配設されている、
   特許請求の範囲第７項記載の切断機。
9. 【請求項９】該材料保持チャック手段の各々は、切断す
   べき板状材料がその表面に載置されるチャック板を含
   み、該チャック板の表面には、該内側ブレード及び該外
   側ブレードの先端部が夫々進入することができる同心状
   の少なくとも２個の環状溝が形成されている、特許請求
   の範囲第１項乃至第８項のいずれかに記載の切断機。
10. 【請求項１０】該チャック板の外縁領域部と該環状溝が
    形成されている少なくとも２個の略環状領域部は非通気
    性であり、該チャック板の該外縁領域部及び該環状領域
    部を除く他の部分は通気性であり、該チャック板の裏面
    は真空源に選択的に連通せしめられる、特許請求の範囲
    第９項記載の切断機。
11. 【請求項１１】該材料保持チャック手段の各々は、該支
    持基台に装着される保持板を含み、該チャック板は該保
    持板上に装着される、特許請求の範囲第10項記載の切断
    機。
12. 【請求項１２】該保持板はその表面に形成された凹部と
    該凹部から裏面まで延びる連通路とを含み、該チャック
    板の裏面は該凹部及び該連通路を介して該真空源に選択
    的に連通せしめられる、特許請求の範囲第11項記載の切
    断機。
13. 【請求項１３】該保持板の表面に形成された該凹部は、
    中央部に位置する内側凹部と該内側凹部から隔てられて
    該内側凹部を囲む外側凹部とを有し、該連通路は該内側
    凹部から延びる第１の連通路と該外側凹部から延びる第
    ２の連通路とを有し、該第２の連通路には開閉制御部材
    が配設されている、特許請求の範囲第12項記載の切断
    機。
14. 【請求項１４】該材料搬出手段は、該材料保持チャック
    手段の１個に対向して位置する吸着位置と、破棄容器に
    対向して位置する破棄位置と、収納手段に対向して位置
    する収納位置とに選択的に位置付けられる吸着ヘッドを
    含み、 該吸着ヘッドは、板状材料の該内側切断ラインよりも内
    側の中央不要部を吸着するための第１の吸着具と、板状
    材料の該内側切断ラインと該外側切断ラインとの間の製
    品部を吸着するための第２の吸着具と、板状材料の該外
    側切断ラインよりも外側の外側不要部を吸着するための
    第３の吸着具とを有し、 該吸着位置においては、該第1,第２及び第３の吸着具が
    真空源に連通され、該第1,第２及び第３の吸着具によっ
    て板状材料の全体が該吸着ヘッドに吸着され、該破棄位
    置においては、該第２の吸着具は該真空源に連通され続
    けるが、該第１及び第３の吸着具は該真空源から切離さ
    れ、板状材料の該中央不要部及び該外側不要部が該吸着
    ヘッドから該破棄容器内に破棄され、該収納位置におい
    ては、該第２の吸着具も該真空源から切離され、板状材
    料の該製品部が該吸着ヘッドから該収納手段に送給され
    る、特許請求の範囲第１項乃至第13項のいずれかに記載
    の切断機。
15. 【請求項１５】該破棄位置においては、該第１及び第３
    の吸着具は所定時間間隔だけ圧縮空気供給源に連通さ
    れ、該収納位置においては、該第２の吸着源は所定時間
    間隔だけ圧縮空気供給源に連通される、特許請求の範囲
    第14項記載の切断機。
16. 【請求項１６】該第３の吸着具は該吸着ヘッドの中心か
    らの半径方向位置が調節自在である、特許請求の範囲第
    14項又は第15項記載の切断機。
17. 【請求項１７】板状材料を同心状の円形内側及び外側切
    断ラインに沿って切断するための切断機にして； 移動自在に装着された支持基台と、 該支持基台上に配設された少なくとも３個の材料保持チ
    ャック手段と、 該支持基台を間けつ的に移動せしめて、該材料保持チャ
    ック手段の各々を、順次に、該支持基台の移動方向に所
    定間隔を置いて規定された第１の切断作業域と第２の切
    断作業域との一方に位置付け、次いで該第１の切断作業
    域と該第２の切断作業域との他方に位置付ける支持基台
    間けつ移動手段と、 該材料保持チャック手段の各々が該切断作業域外にある
    時に該材料保持チャック手段の各々に切断すべき材料を
    搬入するための材料搬入手段と、 該第１の切断作業域において、該材料保持チャック手段
    上に保持された材料を切断するための第１の切断ブレー
    ド装置であって、該支持基台に対して接近乃至離隔する
    方向に移動自在に且つ回転自在に装着された第１のブレ
    ード、該第１のブレードを回転せしめるための第１のブ
    レード回転手段、及び該第１のブレードを該支持基台に
    対して接近乃至離隔する方向に移動せしめるための第１
    のブレード移動手段、を含む第１の切断ブレード装置
    と、 該第２の切断作業域において、該材料保持チャック手段
    上に保持された材料を切断するための第２の切断ブレー
    ド装置であって、該支持基台に対して接近乃至離隔する
    方向に移動自在に且つ回転自在に装着された第２のブレ
    ード、該第２のブレードを回転せしめるための第２のブ
    レード回転手段、及び該第２のブレードを該支持基台に
    対して接近乃至離隔する方向に移動せしめるための第２
    のブレード移動手段、を含むところの第２の切断ブレー
    ド装置と、 該材料保持チャック手段の各々が該切断作業域外にある
    時に該材料保持チャック手段の各々から切断された材料
    を搬送するための材料搬送手段と、 を具備し、該第１の切断ブレード装置と該第２の切断ブ
    レード装置との一方が該内側切断ラインに沿って材料を
    切断し、該第１の切断ブレード装置と該第２の切断ブレ
    ード装置との他方が該外側ラインに沿って材料を切断す
    る、 ことを特徴とする切断機。
18. 【請求項１８】該支持基台は回転自在に装着されてお
    り、該支持基台間けつ移動手段は該支持基台を所定方向
    に間けつ的に回転せしめる、特許請求の範囲第17項記載
    の切断機。
19. 【請求項１９】該支持基台の回転方向に見て順次に材料
    搬入域、該第１の切断作業域、該第２の切断作業域、材
    料搬出域及びチャック洗浄域が規定されており、該支持
    基台には周方向に等間隔を置いて該材料保持チャック手
    段が少なくとも５個装着されており、該材料保持チャッ
    ク手段のうちの１個が該第１の切断作業域に位置付けら
    れると、該第２の切断作業域、該材料搬出域、チャック
    洗浄域、該材料搬入域の各々にも夫々該材料保持チャッ
    ク手段のうちの１個が位置付けられ、該材料搬入手段は
    該材料搬入域に位置している該材料保持チャック手段に
    切断すべき材料を搬入し、該材料搬出手段は該材料搬出
    域に位置している該材料保持チャック手段から切断され
    た材料を搬出し、該チャック洗浄域には該材料保持チャ
    ック手段を洗浄するための洗浄装置が配設されている、
    特許請求の範囲第18項記載の切断機。
20. 【請求項２０】該材料保持チャック手段の各々は、切断
    すべき板状材料がその表面に載置されるチャック板を含
    み、該チャック板の表面には、該第１のブレード及び該
    第２のブレードの先端部が夫々進入することができる同
    心状の少なくとも２個の環状溝が形成されている、特許
    請求の範囲第17項乃至第19項のいずれかに記載の切断
    機。
21. 【請求項２１】該チャック板の外縁領域部と該環状溝が
    形成されている少なくとも２個の略環状領域部は非通気
    性であり、該チャック板の該外縁領域部及び該環状領域
    部を除く他の部分は通気性であり、該チャック板の裏面
    は真空源に選択的に連通せしめられる、特許請求の範囲
    第20項記載の切断機。
22. 【請求項２２】該材料保持チャック手段の各々は、該支
    持基台に装着される保持板を含み、該チャック板は該保
    持板上に装着される、特許請求の範囲第21項記載の切断
    機。
23. 【請求項２３】該保持板はその表面に形成された凹部と
    該凹部から裏面まで延びる連通路とを含み、該チャック
    板の裏面は該凹部及び該連通路を介して該真空源に選択
    的に連通せしめられる、特許請求の範囲第22項記載の切
    断機。
24. 【請求項２４】該保持板の表面に形成された該凹部は、
    中央部に位置する内側凹部と該内側凹部から隔てられて
    該内側凹部を囲む外側凹部とを有し、該連通路は該内側
    凹部から延びる第１の連通路と該外側凹部から延びる第
    ２の連通路とを有し、該第２の連通路には開閉制御部材
    が配設されている、特許請求の範囲第23項記載の切断
    機。
25. 【請求項２５】該材料搬出手段は、該材料保持チャック
    手段の１個に対向して位置する吸着位置と、破棄容器に
    対向して位置する破棄位置と、収納手段に対向して位置
    する収納位置とに選択的に位置付けられる吸着ヘッドを
    含み、 該吸着ヘッドは、板状材料の該内側切断ラインよりも内
    側の中央不要部を吸着するための第１の吸着具と、板状
    材料の該内側切断ラインと該外側切断ラインとの間の製
    品部を吸着するための第２の吸着具と、板状材料の該外
    側切断ラインよりも外側の外側不要部を吸着するための
    第３の吸着具とを有し、 該吸着位置においては、該第1,第２及び第３の吸着具が
    真空源に連通され、該第1,第２及び第３の吸着具によっ
    て板状材料の全体が該吸着ヘッドに吸着され、該破棄位
    置においては、該第２の吸着具は該真空源に連通され続
    けるが、該第１及び第３の吸着具は該真空源から切離さ
    れ、板状材料の該中央不要部及び該外側不要部が該吸着
    ヘッドから該破棄容器内に破棄され、該収納位置におい
    ては、該第２の吸着具も該真空源から切離され、板状材
    料の該製品部が該吸着ヘッドから該収納手段に送給され
    る、特許請求の範囲第17項乃至第24項のいずれかに記載
    の切断機。
26. 【請求項２６】該破棄位置においては、該第１及び第３
    の吸着具は所定時間間隔だけ圧縮空気供給源に連通さ
    れ、該収納位置においては、該第２の吸着源は所定時間
    間隔だけ圧縮空気供給源に連通される、特許請求の範囲
    第25項記載の切断機。
27. 【請求項２７】該第３の吸着具は該吸着ヘッドの中心か
    らの半径方向位置が調節自在である、特許請求の範囲第
    25項又は第26項記載の切断機。