JP2019192853A

JP2019192853A - 洗浄装置

Info

Publication number: JP2019192853A
Application number: JP2018086426A
Authority: JP
Inventors: 云峰楊; Yunfeng Yang
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2018-04-27
Filing date: 2018-04-27
Publication date: 2019-10-31
Anticipated expiration: 2038-04-27
Also published as: CN110416112A; JP7002400B2; CN110416112B

Abstract

【課題】洗浄装置において、飛散物がケース外へと飛散することを防止するとともに、効率よく汚れた噴霧を排気し続けることができるようにする。【解決手段】被洗浄物を保持するテーブル９０と、洗浄液を噴射するノズル９１と、テーブル９０とノズル９１とを収容し、被洗浄物を上方から搬出入させるための開口９２９を有し吸引源９２８に接続された排気口９２０ａが形成されたケース９２と、開口９２９の一部を除き覆う開閉シート９３１と、開閉シート９３１下方に配置され、開口９２９の一部を覆うサイズの固定シート９５１と、を備え、固定シート９５１は、ケース９２の上端部に一端が固定されるとともに他端側が垂れ下がり開閉シート９３１と固定シート９５１との間に隙間が形成されて開口９２９上方からケース９２内へ向かう通気口９５４を形成し外気がケース９２へ流入することを許容すると共に、洗浄液等がケース９２外へ飛散するのを防ぐ洗浄装置９。【選択図】図７

Description

本発明は、ウェーハ等の被洗浄物を洗浄するための洗浄装置に関する。

切削加工又は研削加工等が施されたウェーハは、例えば、枚葉式のスピンナー洗浄機構（例えば、特許文献１参照）において洗浄されることで、被加工面に残った切削屑等の異物が除去される。
そして、洗浄装置の収容ケースには吸引源に接続された排気口が形成されており、洗浄中に発生する汚染された噴霧（切削屑等を含む噴霧）を排気口から吸引して排気している。

特開２０１３−２２９４６２号公報

被洗浄物が切削されたウェーハの場合、洗浄液及び切削でウェーハに形成された端材（例えば、外周部に形成された三角チップ）等が洗浄中に受ける水圧及び受ける遠心力により飛散する場合がある。そこで、飛散物が収容ケース外に飛び散らないようにするために、収容ケースの開口を密閉することが考えられる。しかし、開口を密閉して収容ケース内に外気が全く取り込まれなくしてしまうと、収容ケース内が減圧されて噴霧が上手く排気されなくなるという問題がある。

よって、洗浄装置においては、洗浄中に飛散物が洗浄装置の収容ケース外へと飛散することを防止するとともに、より効率よく汚れた噴霧を排気し続けることができるようにするという課題がある。

上記課題を解決するための本発明は、洗浄装置であって、被洗浄物を保持するスピンナテーブルと、該スピンナテーブルで保持された被洗浄物に洗浄液を噴射する洗浄ノズルと、該スピンナテーブルと該洗浄ノズルとを収容し、被洗浄物を上方から内部に搬入又は内部から上方に搬出させるための開口を有するとともに吸引源に接続された排気口が形成された収容ケースと、該開口の一部を除いて該開口を覆う開閉自在シートと、被洗浄物の洗浄時に該開閉自在シートの下方に配置され、該開口の一部を覆うサイズの固定シートと、を備え、該固定シートは、該収容ケースの上端部に一端が固定されるとともに該一端に対する他端側が垂れ下がり該開閉自在シートと該固定シートとの間に隙間が形成されることで該開口の上方から該収容ケース内へ向かう通気口を形成し外気が該収容ケースへ流入することを許容するとともに、洗浄液及び洗浄中の被洗浄物の端材が該収容ケース外へ飛散するのを防止する、洗浄装置である。

本発明に係る洗浄装置は、収容ケースの開口の一部を除いて開口を覆う開閉自在シートと、被洗浄物の洗浄時に開閉自在シートの下方に配置され、開口の一部を覆うサイズの固定シートと、を備え、固定シートは、収容ケースの上端部に一端が固定されるとともに一端に対する他端側が垂れ下がっているため、開閉自在シートと固定シートとの間に隙間が形成される。そのため、開口の上方から収容ケース内へ向かう通気口を形成し外気が収容ケース内部へ流入することを許容して収容ケース内が減圧されてしまうことを防ぎ、効率よく汚れた噴霧を排気し続けることができる。また、収容ケースの開口は全面が覆われた状態となっているため、洗浄液及び洗浄中の被洗浄物の端材が収容ケース外へ飛散するのを防止できる。

洗浄装置が組み込まれた切削装置の外観の一例を示す斜視図である。洗浄装置が組み込まれた切削装置の内部の一例を示す斜視図である。収容ケースの一例を示す斜視図である。開閉自在シートと固定シートと収容ケースとの配置を示す平面図である。開閉自在シートと固定シートと収容ケースとの配置を示す断面図である。洗浄液及び洗浄中の被洗浄物の端材が収容ケース外へ飛散するのを開閉自在シートと固定シートとにより防止しつつ、被洗浄物を洗浄装置で洗浄している状態を説明する平面図である。洗浄液及び洗浄中の被洗浄物の端材が収容ケース外へ飛散するのを開閉自在シートと固定シートとにより防止しつつ、被洗浄物を洗浄装置で洗浄している状態を説明する断面図である。

図１、２に示す加工装置１は、例えば、チャックテーブル３０に保持された被加工物Ｗに対して切削手段６によって切削加工を施す切削装置であり、本発明に係る洗浄装置９を備えている。なお、洗浄装置９は、レーザー照射によって被加工物Ｗに所望の加工を施すレーザー加工装置、回転する研削砥石で被加工物Ｗを研削して薄化する研削装置、又は研磨パッドで被加工物Ｗを研磨する研磨装置に配設されていてもよいし、洗浄装置９単体で使用可能となっていてもよい。

被加工物Ｗは、例えば、円形板状の半導体ウェーハであり、被加工物Ｗの表面Ｗａ上には、分割予定ラインＳによって区画された格子状の領域にデバイスＤが形成されている。例えば、被加工物Ｗの裏面ＷｂはダイシングテープＴの貼着面に貼着され、ダイシングテープＴの外周部は環状フレームＦに貼着されている。これにより、被加工物Ｗは、ダイシングテープＴを介して環状フレームＦに支持され、環状フレームＦを用いたハンドリングが可能となっている。なお、被加工物Ｗは上記例に限定されるものではない。

図１に示すように、加工装置１の基台１０上には、筐体１１及び装置カバー１５が配設されており、筐体１１内には加工室１２が画成されている。
加工室１２内には、チャックテーブル３０及び切削手段６が配設されており、チャックテーブル３０は、カバー３１によって周囲から囲まれ、カバー３１の下方に配設された図示しない回転手段によりＺ軸方向の軸心周りに回転可能に支持されている。カバー３１には、Ｘ軸方向に伸縮する蛇腹カバー３１１が連結しており、カバー３１及び蛇腹カバー３１１の下方には、チャックテーブル３０を切削送り方向（Ｘ軸方向）に往復移動させる図示しない切削送り手段が配設されている。切削送り手段は、モータによりボールネジを回動させることでチャックテーブル３０を切削送りするボールネジ機構である。

図１に示すチャックテーブル３０は、例えば、その外形が円形板状であり、図示しない吸引源に連通する保持面３０ａ上で被加工物Ｗを吸引保持する。また、チャックテーブル３０の周囲には、環状フレームＦを挟持固定する固定クランプ３２が例えば４つ周方向に等間隔を空けて均等に配設されている。

チャックテーブル３０のＸ軸方向の移動経路の上方に配設された切削手段６は、割り出し送り手段６９によってＹ軸方向へ移動可能となっており、また、切り込み送り手段６８によってＺ軸方向に移動可能となっている。切削手段６は、軸方向がＹ軸方向であるスピンドル６１と、スピンドル６１を回転可能に支持するスピンドルハウジング６２と、スピンドル６１を回転させる図示しないモータと、スピンドル６１に固定されている切削ブレード６３とを備えており、モータがスピンドル６１を回転駆動することに伴って切削ブレード６３も高速回転する。

例えば、スピンドルハウジング６２の側面には、被加工物Ｗの切削すべき分割予定ラインＳを撮像画像を用いたパターンマッチングを実施して検出するアライメント手段６７が配設されている。切削手段６とアライメント手段６７は連動してＹ軸方向及びＺ軸方向へと移動する。

筐体１１の正面側（−Ｘ方向側）には、切削加工が施されている最中の被加工物Ｗの状態を筐体１１外部から確認するためのガラス等の透明部材からなる覗き窓１１０が設けられている。
筐体１１の＋Ｙ方向側の側面には、作業者が加工装置１に対して加工条件等を入力するための操作画面が表示されるタッチパネル等を備える操作手段１１１が配設されている。

加工装置１の基台１０上の＋Ｙ方向側の一角には、カセット載置台１３が設置されており、カセット載置台１３は、その下方に配設された図示しない昇降エレベータによりＺ軸方向に上下動可能となっている。そして、環状フレームＦで支持された被加工物Ｗを収容した図示しないカセットがカセット載置台１３上に載置された状態で、昇降エレベータによりカセット載置台１３が昇降されることでカセットから被加工物Ｗを出し入れする際の高さ位置が調整される。
装置カバー１５の＋Ｙ方向側の側面には、図示しない被加工物搬入口が形成されており、カセットから引き出された被加工物Ｗは、該被加工物搬入口から装置カバー１５内部に搬入される。

図２に示すように、カセット載置台１３と隣接する位置において、チャックテーブル３０は、装置カバー１５（図２には不図示）の内部と筐体１１の内部との間を筐体１１の側面下部に設けられた搬入出口１１６を通りＸ軸方向に往復移動可能となっている。なお、チャックテーブル３０は、図１では筐体１１の内部に位置付けられており、図２では、装置カバー１５内部に位置付けられている。

加工装置１は、チャックテーブル３０に被加工物Ｗを搬入する搬送手段４を装置カバー１５の内部に備えており、搬送手段４は、被加工物Ｗを環状フレームＦを介して保持する搬送パッド４０と、搬送パッド４０をＹ軸方向に移動させる搬送パッド移動手段４１と、搬送パッド４０を昇降させるロアアーム４２とを具備している。

搬送パッド４０は、例えば平面視Ｈ形状の外形を有しており、その上面にロアアーム４２の下端側が取り付けられている。搬送パッド４０は、被加工物Ｗを支持する環状フレームＦを吸着する４個の吸着盤４０１をその下面に有している。各吸着盤４０１は、吸着力を生み出す図示しない吸引源に連通している。

搬送パッド移動手段４１は、例えば、筐体１１の＋Ｘ方向側面の中段部分に配設されており、Ｙ軸方向の軸心を有するボールネジ４１０と、ボールネジ４１０と平行に配設された一対のガイドレール４１１と、ボールネジ４１０の一端に連結されたモータ４１２と、ボールネジ４１０に螺合するナットを内部に備えロアアーム４２を支持する可動ブロック４１３とを備えている。
モータ４１２がボールネジ４１０を回動させると、これに伴い可動ブロック４１３が一対のガイドレール４１１にガイドされつつガイドレール４１１上をＹ軸方向に摺動し、ロアアーム４２の下端側に取り付けられた搬送パッド４０がＹ軸方向に移動する。

側面視Ｌ字状の外形を備えるロアアーム４２は、ボールネジ機構又は電動シリンダ等で構成されており、搬送パッド４０をＺ軸方向に昇降させる。

例えば、搬送パッド４０の下面中央部分には、カセット載置台１３に載置された図示しないカセットから環状フレームＦを上下方向から把持した状態で加工前の被加工物Ｗを引き出すクランプ４６が設けられている。クランプ４６は、搬送パッド移動手段４１及びロアアーム４２によって、搬送パッド４０と共にＹ軸方向及びＺ軸方向に移動可能となっている。

図２に示すように、装置カバー１５内に位置するチャックテーブル３０の上方には、クランプ４６によりカセットから引き出された被加工物Ｗを一定の位置に位置合わせする一対のガイドレールからなるセンタリングガイド３６が配設されている。断面がＬ字状に形成されＹ軸方向に延在する各ガイドレールは、Ｘ軸方向に相互に離間又は接近可能であり、段状のガイド面（内側面）が対向するように配置されている。チャックテーブル３０に被加工物Ｗが搬入される際には、クランプ４６によりカセット載置台１３に載置された図示しないカセットから被加工物Ｗが引き出されてセンタリングガイド３６に載置される。また、加工後の被加工物Ｗの洗浄が完了すると、搬送パッド４０によってセンタリングガイド３６に載置された被加工物Ｗが、クランプ４６によりカセットに押し入れられる。
センタリングガイド３６の一対のガイドレールは、被加工物Ｗの載置時には相互に接近して環状フレームＦの外周縁部を支持してチャックテーブル３０に対する位置決め（センタリング）をし、被加工物Ｗの非載置時にはチャックテーブル３０の保持面３０ａ上を空けるように相互に離間する。

図２に示すように加工装置１は、チャックテーブル３０から切削加工後の被加工物Ｗ（筐体１１内部の加工室１２から出てきた被洗浄物Ｗ）を搬出すると共に、該被洗浄物Ｗを後述するスピンナテーブル９０上に搬入する搬入手段５を備えている。搬入手段５は、例えば、チャックテーブル３０により保持されている被洗浄物Ｗを環状フレームＦを介して保持する搬入パッド５０と、搬入パッド５０をＹ軸方向に移動させる搬入パッド移動手段５１と、搬入パッド５０を昇降させるアッパーアーム５２と、を具備している。

搬入パッド５０は、例えば平面視Ｈ形状の外形を有しており、その下面側に被洗浄物Ｗを支持する環状フレームＦを吸着する４個の吸着盤５０１を備えている。各吸着盤５０１は、吸着力を生み出す図示しない吸引源に連通している。搬入パッド５０の上面には、アッパーアーム５２の下端側が固定されている。

搬入パッド移動手段５１は、例えば、筐体１１の＋Ｘ方向側面の上段部分に配設されており、Ｙ軸方向の軸心を有するボールネジ５１０と、ボールネジ５１０と平行に配設された一対のガイドレール５１１と、ボールネジ５１０の一端に連結されたモータ５１２と、ボールネジ５１０に螺合するナットを内部に備えアッパーアーム５２を支持する可動ブロック５１３とを備えている。
モータ５１２がボールネジ５１０を回動させると、これに伴い可動ブロック５１３が一対のガイドレール５１１にガイドされつつガイドレール５１１上をＹ軸方向に摺動し、アッパーアーム５２の下端側に取り付けられた搬入パッド５０がＹ軸方向に移動する。

アッパーアーム５２は、ボールネジ機構又は電動シリンダ等で構成されており、搬入パッド５０をＺ軸方向に昇降させる。
例えば、可動ブロック５１３は、搬送パッド移動手段４１の可動ブロック４１３に比べて、Ｘ軸方向における寸法が長く形成されており、このように長く形成された可動ブロック５１３の＋Ｘ方向側の下面にアッパーアーム５２は取り付けられている。そのため、アッパーアーム５２の下端側に接続されている搬入パッド５０の動線上から搬送手段４のロアアーム４２はＸ軸方向においてずれている。これにより、チャックテーブル３０から被加工物Ｗを搬出する際に、搬入手段５は搬送手段４に衝突することなく被加工物ＷをＹ軸方向に搬送できる。

図２、３に示す本発明に係る洗浄装置９は、被洗浄物Ｗを保持するスピンナテーブル９０と、スピンナテーブル９０で保持された被洗浄物Ｗに洗浄液を噴射する洗浄ノズル９１と、スピンナテーブル９０と洗浄ノズル９１とを収容し、被洗浄物Ｗを上方から内部に搬入又は内部から上方に搬出させるための開口９２９を有するとともに吸引源９２８に接続された排気口９２０ａが形成された収容ケース９２と、を備えている。

図２に示すように、円形の開口９２９を有する収容ケース９２は、例えば、搬入パッド５０の移動経路下における基台１０上の−Ｙ方向側の一角に配設されている。
図３に示すように、スピンナテーブル９０は、例えば、その外形が円形板状であり、ポーラス部材等からなり被洗浄物Ｗを吸着する吸着部９００と、吸着部９００を支持する枠体９０１とを備える。吸着部９００は図示しない吸引源に連通し、吸引源が吸引することで生み出された吸引力が、吸着部９００の露出面であり枠体９０１と面一に形成された保持面９００ａに伝達されることで、スピンナテーブル９０は保持面９００ａ上で被洗浄物Ｗを吸引保持することができる。また、枠体９０１の周囲には、環状フレームＦを固定する固定クランプ９０１ａが、例えば４つ周方向に均等間隔を空けて配設されている。

スピンナテーブル９０の下側には回転手段９４が配設されており、回転手段９４によってスピンナテーブル９０はＺ軸方向の軸心周りに回転可能となっている。また、スピンナテーブル９０は、図示しない上下動手段によって上下動可能となっており、被洗浄物Ｗの搬入搬出時には、スピンナテーブル９０が上昇して搬入・搬出高さ位置に位置付けられ、また、洗浄前の被洗浄物Ｗを保持した状態のスピンナテーブル９０は、下降して収容ケース９２内における洗浄作業高さ位置に位置付けられる。

図３においては、収容ケース９２の側壁９２０等の一部を切欠いて内部が把握できるように示している。円柱状の内部空間を備える収容ケース９２は、スピンナテーブル９０を囲繞する側壁９２０と、側壁９２０の下部に一体的に形成された底９２１と、から構成されている。底９２１には、図示しない洗浄液排出口が形成されており、スピンナテーブル９０の保持面９００ａ上から底９２１に流下した洗浄液は洗浄液排出口から装置外へと排出される。

収容ケース９２の側壁９２０には、排気口９２０ａが貫通形成されており、排気口９２０ａには、金属配管又は樹脂ホースからなる排気路９２６の一端が連通している。排気路９２６の他端は、真空発生装置等の吸引源９２８に連通している。

図３に示すように、外形が側面視略Ｌ字状である洗浄ノズル９１は、例えば、収容ケース９２の底９２１上に立設されており、その先端部分に形成された噴射口９１０がスピンナテーブル９０の保持面９００ａに向かって開口している。洗浄ノズル９１は、モータ及びロータリジョイント等からなる図示しない回転手段によりＺ軸方向の軸心周りに回転可能となっており、スピンナテーブル９０の上方から退避位置まで噴射口９１０を移動することができる。洗浄ノズル９１は、被洗浄物Ｗの表面Ｗａに洗浄液（例えば、純水）を供給する図示しない洗浄液供給手段に連通している。

例えば、洗浄装置９は、洗浄後の被洗浄物Ｗをエアブローにより乾燥させるエアノズル９６を備えている。外形が側面視略Ｌ字状であるエアノズル９６は、洗浄ノズル９１に並べて配設されており、その先端部分に形成された噴射口９６０がスピンナテーブル９０の保持面９００ａに向かって開口している。エアノズル９６は、洗浄ノズル９１と共に図示しない回転手段によりＺ軸方向の軸心周りに回転可能となっており、スピンナテーブル９０の上方から退避位置まで噴射口９６０を移動することができる。エアノズル９６は、被洗浄物Ｗの表面Ｗａにエアを供給するコンプレッサー等からなる図示しないエア供給手段に連通している。

図４〜５に示すように、洗浄装置９は、被洗浄物Ｗの洗浄時に収容ケース９２の開口９２９の一部を除いて開口９２９を覆う開閉自在シート９３１と、被洗浄物Ｗの洗浄時に開閉自在シート９３１の下方に配置され、開口９２９の一部を覆うサイズの固定シート９５１と、を備えている。

図５に示す開閉自在シート９３１は、合成樹脂シート（例えば、形状記憶樹脂シートであるポリエステルシート等）をその中間部で折り曲げて第１のシート片９３１ａと第２のシート片９３１ｂとを形成し、該両シート片を重ね合わせて折り曲げた中間部からカールして巻き癖を形状記憶させることにより巻取り部が形成されており、該巻き取り部には巻き取り棒９３５が挿通されている。
図４に示すように、開閉自在シート９３１の幅（Ｘ軸方向長さ）は、収容ケース９２の開口９２９の直径以上の大きさとなっている。
開閉自在シート９３１の全長（Ｙ軸方向長さ）は、被洗浄物Ｗの洗浄時において開閉自在シート９３１が開口９２９の一部を除いて開口９２９を覆うとともに固定シート９５１に対して上方からその一部が所定長さだけ重なる長さである。
なお、開閉自在シート９３１は、本実施形態に示す中央から両シート片の伸長又は巻き取りが開始されるダブルタイプのものに限定されず、片側から第２のシート片９３１ｂの伸長又は巻き取りが開始されるシングルタイプのものであってもよい。

例えば、図４に示すように、収容ケース９２の側壁９２０の上端部（本実施形態においては上面）の＋Ｙ方向側の領域には、開閉自在シート９３１が固定される開閉自在シート固定台９３０が配設されている。開閉自在シート固定台９３０上には、例えば、図示しない取り付けブラケットを介して開閉自在シート９３１の第１のシート片９３１ａ側が固定されている。

例えば、収容ケース９２の側壁９２０の上端部（上面）のＸ方向両側の領域には、開口９２９を挟むようにしてＹ軸方向に平行に一対のガイドレール９３４が延在している。ガイドレール９３４上には、開閉自在シート９３１を開閉する移動部９３２が配設されている。

移動部９３２は、開閉自在シート９３１の第２のシート片９３１ｂ側が固定され開口９２９の上方を横断するようにＸ軸方向に延在するバー状の外形を備えている。移動部９３２の両端の底面は、ガイドレール９３４に緩嵌合してガイドレール９３４上を摺動可能となっている。移動部９３２は、図示しない電動シリンダやエアシリンダによってＹ軸方向にガイドレール９３４でガイドされつつ往復移動し、これに伴って、開閉自在シート９３１の開閉が行われる。

例えば、収容ケース９２の側壁９２０の上端部（上面）の−Ｙ方向側の領域には、固定シート９５１が貼り付けられた固定シート装着台９５０が配設されている。固定シート装着台９５０の高さは、開閉自在シート固定台９３０の高さよりも低く設定されている。
固定シート９５１は、ある程度の柔軟性を備える樹脂シート（例えば、塩ビシート）であり、平面視矩形状の外形を備えている。本実施形態においては、固定シート９５１は、長手方向をＸ軸方向に平行にして固定シート装着台９５０の上面にその一端９５１ａが適宜の接着剤等によって貼着されているが、固定シート９５１は一端９５１ａが上下方向から把持クランプで把持された状態となっていてもよい。
なお、固定シート９５１はある程度の柔軟性を備えているため、スピンナテーブル９０の上下動に応じて動くため、スピンナテーブル９０の上下動動作等を妨げない。

固定シート９５１の長手方向（Ｘ軸方向）長さは、例えば、収容ケース９２の開口９２９の直径以上の大きさとなっている。図４、５に示すように、固定シート９５１の一端９５１ａに対する他端９５１ｂ側は自重で垂れ下がるようにして、収容ケース９２の開口９２９の一部（例えば、約１／６程度）を覆っている。
図４、５に示す例において、固定シート９５１は平面視矩形状の一枚シートであるが、これに限定されるものではない。固定シート９５１は、例えば、Ｘ軸方向に所定間隔を空けてＹ軸方向に延びる切れ目が複数形成された暖簾状のシートであってもよい。また、固定シート装着台９５０をＹ軸方向に移動可能として、固定シート９５１の他端９５１ｂのＹ軸方向における位置を変更可能としてもよい。

以下に、図１、２に示す加工装置１により被加工物Ｗを切削してから、洗浄装置９により被加工物Ｗを洗浄する場合について説明する。
まず、環状フレームＦに支持された被加工物Ｗを複数枚収容した図示しないカセットが、図２に示すカセット載置台１３に載置され、その後、昇降エレベータによりカセットの高さ調整が行われる。

次に、搬送パッド移動手段４１がクランプ４６を＋Ｙ方向に移動させてカセット内部に進入させる。さらに、クランプ４６により環状フレームＦが把持され、カセットから被加工物Ｗが１枚クランプ４６により引き出され、センタリングガイド３６上に環状フレームＦが載置される。そして、センタリングガイド３６の一対のガイドレールが、Ｘ軸方向において相互に接近し環状フレームＦの外周縁部を支持しつつ、被加工物Ｗのセンタリングを行う。

搬送パッド移動手段４１により搬送パッド４０がＹ軸方向に移動し、各吸着盤４０１がセンタリングガイド３６上の環状フレームＦの上方に位置付けられる。さらに、ロアアーム４２が搬送パッド４０を降下させ、吸着盤４０１が環状フレームＦに接触して吸着を行うことで、搬送パッド４０が被加工物Ｗをピックアップする。

被加工物Ｗがピックアップされると、センタリングガイド３６の一対のガイドレールは、相互に離間する方向に移動し、一対のガイドレールの間には被加工物Ｗの通る隙間ができる。そして、ロアアーム４２が搬送パッド４０を降下させ、被加工物Ｗをチャックテーブル３０の保持面３０ａ上に載置する。固定クランプ３２が環状フレームＦを挟持固定し、また、チャックテーブル３０が保持面３０ａ上で被加工物Ｗを吸引保持した後、搬送パッド４０による環状フレームＦの吸着が解除される。

次いで、被加工物Ｗを吸引保持するチャックテーブル３０は、図示しない切削送り手段により−Ｘ方向に送られ筐体１１内部に移動する。
被加工物Ｗが−Ｘ方向に送られるとともに、図１に示すアライメント手段６７によって切削すべき分割予定ラインＳの位置が検出される。分割予定ラインＳが検出されるのに伴って、切削手段６がＹ軸方向に割り出し送りされ、分割予定ラインＳと切削ブレード６３とのＹ軸方向における位置合わせがなされる。
切り込み送り手段６８が切削手段６を降下させ、例えば、切削ブレード６３が被加工物ＷをフルカットしてダイシングテープＴに切り込む高さ位置に切削手段６を位置付ける。

図示しない切削送り手段がチャックテーブル３０を−Ｘ方向に送り出すとともに、切削ブレード６３が高速回転をしながら被加工物Ｗに切り込み、分割予定ラインＳを切削する。
切削ブレード６３が分割予定ラインＳを切削し終えるＸ軸方向の所定の位置まで被加工物Ｗが−Ｘ方向に進行すると、図示しない切削送り手段が被加工物Ｗの切削送りを一度停止させ、切り込み送り手段６８が切削手段６を上昇させて切削ブレード６３を被加工物Ｗから離間させる。そして、図示しない切削送り手段がチャックテーブル３０を＋Ｘ方向へ送り出して元の位置に戻す。隣り合う分割予定ラインＳの間隔ずつ切削手段６がＹ軸方向に割り出し送りされて順次同様の切削が行われ、同方向の全ての分割予定ラインＳが切削される。さらに、チャックテーブル３０が９０度回転されて同様の切削が行われることで、全ての分割予定ラインＳが縦横に全てカットされて被加工物ＷがデバイスＤを備えるチップへと分割される。また、被加工物Ｗの外周部分に端材となる三角チップが形成される。

図示しない切削送り手段によりチャックテーブル３０が＋Ｘ方向に送られて、チャックテーブル３０が筐体１１の内部から装置カバー１５内へと移動する。
次いで、搬入手段５がチャックテーブル３０から被加工物Ｗ（以下、被洗浄物Ｗとする）を搬出する。即ち、図２に示す搬入パッド移動手段５１により搬入パッド５０がＹ軸方向に移動し、各吸着盤５０１が被洗浄物Ｗを支持する環状フレームＦの上方に位置付けられる。さらに、アッパーアーム５２が搬入パッド５０を降下させ、吸着盤５０１が環状フレームＦに接触して吸着を行い、搬入パッド５０が被洗浄物Ｗをピックアップする。

チャックテーブル３０による被洗浄物Ｗの吸引保持及び固定クランプ３２による環状フレームＦの固定が解除される。そして、アッパーアーム５２が搬入パッド５０を上昇させ、次いで、搬入パッド移動手段５１が搬入パッド５０を−Ｙ方向に移動させて洗浄装置９へ被洗浄物Ｗを搬送する。

洗浄装置９の収容ケース９２の開口９２９は、図４に示すように被洗浄物Ｗを搬入できるように開いた状態になっている。
搬入パッド移動手段５１によって、被洗浄物Ｗがスピンナテーブル９０の上方に搬送され、被洗浄物Ｗの中心がスピンナテーブル９０の保持面９００ａの中心におおよそ合致するように、搬入パッド５０の位置の調整が行われる。

次いで、アッパーアーム５２が搬入パッド５０を降下させ、被洗浄物Ｗがスピンナテーブル９０の保持面９００ａ上に載置される。そして、図５に示すように、固定クランプ９０１ａが環状フレームＦを挟持固定し、また、図示しない吸引源が生み出す吸引力がスピンナテーブル９０の保持面９００ａ上に伝達されることで、スピンナテーブル９０が被洗浄物Ｗを吸引保持する。また、搬入パッド５０による環状フレームＦの吸着が解除される。
そして、被洗浄物Ｗを吸引保持するスピンナテーブル９０が、図５に示すように、収容ケース９２内における洗浄作業高さ位置まで下降する。

次いで、図６、７に示すように、移動部９３２が−Ｙ方向に移動するのに伴って、第１のシート片９３１ａおよび第２のシート片９３１ｂが巻き取り棒９３５から引き出されることにより、開閉自在シート９３１が−Ｙ方向に向かって略水平に延びていく。そして、移動部９３２が−Ｙ方向側の所定位置まで移動することで、開閉自在シート９３１が、開口９２９の一部を除いて開口９２９を覆うと共に、第２のシート片９３１ｂが固定シート９５１の他端９５１ｂ側を上方から所定面積だけ覆った状態、即ち、固定シート９５１が、被洗浄物Ｗの洗浄時に開閉自在シート９３１の下方に配置された状態になる。

固定シート９５１の他端９５１ｂ側は垂れ下がっているため、開閉自在シート９３１と固定シート９５１との間に隙間が形成されることで開口９２９の上方から収容ケース９２内へ向かう通気口９５４が形成される。また、収容ケース９２の開口９２９は、その全面が固定シート９５１と開閉自在シート９３１とで覆われた状態となる。

次いで、洗浄ノズル９１が旋回移動し、洗浄ノズル９１の噴射口９１０がスピンナテーブル９０により吸引保持された被洗浄物Ｗの表面Ｗａの中央領域上方に位置付けられる。そして、洗浄ノズル９１の噴射口９１０から被洗浄物Ｗの表面Ｗａの中心部に向かって洗浄液（例えば、純水）が噴射される。さらに、洗浄液を噴射する洗浄ノズル９１が、被洗浄物Ｗの上方をＺ軸方向の軸心周りに所定角度で往復するように旋回移動する。また、スピンナテーブル９０が所定の回転速度で回転することで、被洗浄物Ｗの表面Ｗａ全面に洗浄ノズル９１から洗浄液が噴射される。

これにより、被洗浄物Ｗが洗浄され、スピンナテーブル９０の回転により発生する遠心力によって、洗浄液が、被洗浄物Ｗの表面Ｗａ上を中心側から外周側に向けて流れていき、スピンナテーブル９０上から収容ケース９２の底９２１へと流下する。

上記洗浄中においては、被洗浄物Ｗの表面Ｗａ上に残存していた切削屑等を含む噴霧が生成されて収容ケース９２内に飛散する。そのため、吸引源９２８が作動して、吸引源９２８が収容ケース９２内から切削屑等の汚れを含んだ噴霧の吸引を行う。洗浄中においては、開口９２９の上方から収容ケース９２内へ向かう通気口９５４によって収容ケース９２内に外気が絶えず取り込まれているため、収容ケース９２内が減圧されてしまい噴霧が排気されなくなるという事態は生じない。
なお、図６、７に示す例のように、収容ケース９２の排気口９２０ａと通気口９５４とがＹ軸方向において斜めに対面するように設定することで、収容ケース９２内に取り込まれた外気がそのまま排気口９２０ａへと向かうようになり、収容ケース９２内における外気の流れが整流化するようになるため好ましい。

一方、上記洗浄中においては、切削で被洗浄物Ｗに形成された端材（例えば、被洗浄物Ｗの外周部に形成された三角チップ）や洗浄液の飛沫が開口９２９側に向かって飛散することがある。しかし、収容ケース９２の開口９２９は、その全面が固定シート９５１と開閉自在シート９３１とで覆われた状態となっているため、洗浄液の飛沫や端材が収容ケース９２外へ飛散してしまうことが防がれる。なお、通気口９５４からは外気が収容ケース９２内へ常に流れ込んでいるため、通気口９５４に向かって飛んでいった飛沫等が収容ケース９２外へ飛散してしまうことが該外気の流れによって防がれる。

洗浄液によって所定時間被洗浄物Ｗの洗浄が行われた後、洗浄ノズル９１からの洗浄液の噴射が止められる。次いで、エアノズル９６の噴射口９６０から被洗浄物Ｗの表面Ｗａの中心部に向かってエアが噴射される。さらに、エアを噴射するエアノズル９６が、被洗浄物Ｗの上方をＺ軸方向の軸心周りに所定角度で往復するように旋回移動する。さらに、回転手段９４がスピンナテーブル９０を所定の回転速度で回転させることによって、被洗浄物Ｗの表面Ｗａ全面がエアブローにより乾燥される。そして、被洗浄物Ｗの乾燥が完了すると、エアノズル９６がスピンナテーブル９０上から旋回移動して退避する。

移動部９３２が＋Ｙ方向に移動するのに伴って、第１のシート片９３１ａおよび第２のシート片９３１ｂが形状記憶された巻き癖により巻き取り棒９３５に巻き取られていき、開口９２９が開かれた状態になる。また、スピンナテーブル９０が、上昇して被洗浄物Ｗが搬出可能な状態になる。

図２に示す搬送パッド移動手段４１により搬送パッド４０が−Ｙ方向に移動し、各吸着盤４０１がスピンナテーブル９０上の環状フレームＦの上方に位置付けられる。さらに、ロアアーム４２が搬送パッド４０を降下させ、吸着盤４０１が環状フレームＦに接触して吸着を行うことで、搬送パッド４０が被洗浄物Ｗをピックアップする。

そして、搬送パッド４０が＋Ｙ方向に移動して、センタリングガイド３６上に環状フレームＦが載置される。さらに、クランプ４６による環状フレームＦの把持が行われた後、クランプ４６によって被洗浄物Ｗがカセット載置台１３上の図示しないカセットに挿入される。

上記のように本発明に係る洗浄装置９は、収容ケース９２の開口９２９の一部を除いて開口９２９を覆う開閉自在シート９３１と、被洗浄物の洗浄時に開閉自在シート９３１の下方に配置され、開口９２９の一部を覆うサイズの固定シート９５１と、を備え、固定シート９５１は、収容ケース９２の上端部に一端９５１ａが固定されるとともに一端９５１ａに対する他端９５１ｂ側が垂れ下がっているため、開閉自在シート９３１と固定シート９５１との間に隙間が形成される。そのため、開口９２９の上方から収容ケース９２内へ向かう通気口９５４を形成し外気が収容ケース９２内部へ流入することを許容して収容ケース９２内が減圧されてしまうことを防ぎ、効率よく汚れた噴霧を排気し続けることができる。また、収容ケース９２の開口９２９は、その全面が開閉自在シート９３１と固定シート９５１とで覆われた状態となっているため、洗浄液及び洗浄中の被洗浄物Ｗの端材が収容ケース９２外へ飛散するのを防止できる。

なお、本発明に係る洗浄装置９は上記実施形態に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されている加工装置１及び洗浄装置９の各構成についても、図示の例に限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。

Ｗ：被洗浄物（被加工物）Ｔ：ダイシングテープＦ：環状フレーム
１：加工装置１０：基台１１：筐体１１０：覗き窓１１１：操作手段１１６：搬入出口
１２：加工室１５：装置カバー１３：カセット載置台
３０：チャックテーブル３１：カバー３２：固定クランプ
３６：センタリングガイド
６：切削手段６１：スピンドル６２：スピンドルハウジング６３：切削ブレード
６９：割り出し送り手段６８：切り込み送り手段６７：アライメント手段
４：搬送手段４０：搬送パッド４０１：吸着盤
４１：搬送パッド移動手段４１０：ボールネジ４１１：ガイドレール４１２：モータ４１３：可動ブロック４２：ロアアーム４６：クランプ
５：搬入手段５０：搬入パッド５０１：吸着盤
５１：搬入パッド移動手段５１０：ボールネジ５１１：ガイドレール５１２：モータ５１３：可動ブロック５２：アッパーアーム
９：洗浄装置９０：スピンナテーブル９００：吸着部９００ａ：保持面９０１：枠体９０１ａ：固定クランプ
９１：洗浄ノズル９６：エアノズル
９２：収容ケース９２０：側壁９２０ａ：排気口９２１：底９２６：排気路９２８：吸引源９２９：開口
９４：回転手段
９３０：開閉自在シート固定台９３１：開閉自在シート９３１ａ：第１のシート片９３１ｂ：第２のシート片
９３２：移動部９３４：一対のガイドレール
９５１：固定シート９５４：通気口

Claims

洗浄装置であって、
被洗浄物を保持するスピンナテーブルと、
該スピンナテーブルで保持された被洗浄物に洗浄液を噴射する洗浄ノズルと、
該スピンナテーブルと該洗浄ノズルとを収容し、被洗浄物を上方から内部に搬入又は内部から上方に搬出させるための開口を有するとともに吸引源に接続された排気口が形成された収容ケースと、
該開口の一部を除いて該開口を覆う開閉自在シートと、
被洗浄物の洗浄時に該開閉自在シートの下方に配置され、該開口の一部を覆うサイズの固定シートと、を備え、
該固定シートは、該収容ケースの上端部に一端が固定されるとともに該一端に対する他端側が垂れ下がり該開閉自在シートと該固定シートとの間に隙間が形成されることで該開口の上方から該収容ケース内へ向かう通気口を形成し外気が該収容ケースへ流入することを許容するとともに、洗浄液及び洗浄中の被洗浄物の端材が該収容ケース外へ飛散するのを防止する、洗浄装置。