JPS6250701A - 反射防止膜 - Google Patents

反射防止膜

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JPS6250701A
JPS6250701A JP60190752A JP19075285A JPS6250701A JP S6250701 A JPS6250701 A JP S6250701A JP 60190752 A JP60190752 A JP 60190752A JP 19075285 A JP19075285 A JP 19075285A JP S6250701 A JPS6250701 A JP S6250701A
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JP
Japan
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layer
refractive index
layers
base material
coating
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JP60190752A
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English (en)
Inventor
Takeaki Iriyou
毅明 井領
Junji Kawashima
川嶋 淳史
Takao Mogami
最上 隆夫
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、透明基材上忙施される反射防止@に関する。
〔発明の概要〕
本発明は、透明基材の表面反射を低減させるための反射
防止膜において、透明基材の少なくとも一部に屈折率の
異なる三層の薄膜からなる反射防止膜を液状組成物の塗
布・硬化により施すにあたリ、透明基材層よりも高屈折
率を有する薄膜を形成するための塗布液に、水または他
の溶媒に分散し定酸化セリウム微粒子のコロイド分散体
を用いることにより、け理性、硬度、耐薬品性、耐擦傷
性、耐水性、染色性などの諸物性を向上させ、大容量、
天童生産が可能な反射防止膜を提供するものである。
〔従来の技術〕
反射防止膜の理論とその積層法については、多くの方法
が提案されており、真空蒸着法により、金属酸化物や7
q化物等の薄膜を形成する方法やスパッタ蒸着、イオン
ブレーティング等のPVD法や各種のOVD技術が一般
的である。
一方、これらの物理蒸着法以外K、液状で塗布し硬化さ
せることによって反射防止膜を得る方法として、特開昭
58−46301号公報には二層からなる反射防止膜、
特開昭59−49501号公報には三層からなる反射防
止膜が提案されている。これらの方法は、チタンアルコ
ラードとコロイダルシリカからなる組成物を高屈折率薄
膜用材料に用いシランカップリング剤とエポキシ化合物
およびコロイダルシリカからなる組成物を低屈折率薄嘆
用材料に用いることにより反射防止効果を発現している
ま几、特開昭57−37301号公報には1合成樹脂の
層からなる単層または多層の反射防止膜を施した合成樹
脂製レンズht提案されており、この方法では、高屈折
率薄膜用材料として、チタン、タンタル等のアルコラー
ド、メラミン樹晰等力を用いられている。
ま九、透明材料以外の茎材上に反射防止膜を設ける例と
して、太陽電池の単結晶シリコンの表面に、テトライソ
プaボキシチタンを含む液状組成物を塗布・加熱し、分
解生成物として酸化チタンの薄膜を形成させ、単層の反
射防止効果を得る方法がある。(ROA 、 Re’v
ie1AVO1,41,42F。
135〜180 (1980)  ) 〔発明が解決しようとする問題点及び目的〕しかし、前
述の従来技術の内、真空蒸着法、スパッタ蒸着、イオン
ブレーティング、CVD法等による反射防止薄膜の形成
法は、 (1)  高度の真空度を要する為、処理すべき基材の
大きさ、材料に制限を生ずる。また製造時間が長くかか
り、生産性、経済性h=低い。
(2)  薄膜材料は、主として無機化合物でLi2、
緻密な硬い嘆を構成する反面、柔軟性に劣り、基材との
線膨張率の違いがあると環境温度の変化によりクラック
を生じたり、成形物品を機械的に曲げ友時にクラックを
生ずる。
(3)薄膜材料が強固にけ着する基材材料が非常に限定
され、合成樹脂板やフィルムに充分なげ理性を得′6事
は非常に困難である。
(4)染色1着色等の加工性に乏しい為、可視部に吸収
帯を持つ蒸着材料による着色に限定される。
また、反射防止加工後の染色は不可能である。
等の問題点を有する。
ま之、lR開昭58−46!501号公報による方法で
は1反射防止薄膜が二層より形成される几め用途によっ
て次のような問題点がある。
(1)高い反射防止効果を発現させる定めの膜厚コント
ー−ルを精度良く行わねばならず、製造のパランそが大
きい。
(2)@に眼鏡レンズ用に要望の強い、緑色系の反射干
渉色ht得にくい。
さらには、特開昭58−46301号公報、′!#開昭
59−49501号公報による方法では、チタンのアル
コラード化合物、キレート化合物等の有機チタン化合物
が高屈折率薄膜材料として用いられているが、これらの
チタン化合物は通常!150℃もしくけ、それ以上の温
度で完全に縮重合する穴め、実施例中の硬化温度では、
チタン酸化物の薄噂h′−得られ難く、未反応アルコラ
ード等の存在により寸理性、各種耐久性の点でかなりの
問題点を有する。
また、 金属アルコラードを用いて薄膜を形成する方法
では、薄膜の表面側に未反応の一〇H等、−OR基が残
存する几め、特に耐水性の点で問題がある。この次め、
太陽電池に用いられる単結晶シリコンや、無機ガラス等
の熱安定性を有する基材であれば、高温加熱b’−可能
であり、*の耐久性の問題を解決することhtできるが
、プラスチック等の熱可塑性樹脂の場合VCは、j!h
布基材として制限を生じる念め、金属アルコラードの使
用が困難である。
まl、特開昭57−37301号公報の実施例に開示さ
れた方法では1反射防止効果が充分でなく、また耐水性
も充分ではないという問題点を有する。
そこで1本発明は、このような問題点を解決するもので
、その目的とするところは、優れ九反射防止特性を有し
、け理性、各種耐久性に富む反射防止膜を提供すること
にある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の反射防止膜は tOL)透明基材の少なくとも一部に、該基材から大気
側に向かって、■、o、θの三層の薄膜からなる反射防
止膜を施す忙あ几り、 b)■、(ロ)、(ハ)の三層の光学特性は、各々。
■ t s 5<fLcL<t a 。
n、×d、=Lλ1/4   (W?FL )@  1
.65 < TLb< 2.25nbx d6 =mλ
2/4   (ntn )θ  ’L 40 <n6 
< 150ncxdc=nλs/4     (n 愼
)(ここで、 ?La、 TLb、 ncは各々、0層
、■層、θ層の屈折率、da −db −daは各々、
■層、O層。
0層の膜厚(nfrL単位)を表し、mは正の整数、t
nは奇の正整数、λ1.λ2.λ3 は各々独立に可視
領域の波長(nm単位)を表す。ま几、nz>(基材の
屈折率)である。)の条件を満友し、−c’)  ■層
、■層、θ層の各薄膜は、各々、液状で塗布し、加熱・
乾燥或いは活性エネルギー線による硬化で得られ、 d)さらに、■層、■層を形成する几めの液状組成物の
主成分は、水ま几は他の溶媒に分散した酸化セリウム微
粒子のコロイド分散体により提供されることを特徴とす
る。
ここで、透明基材とは、ガラス成形物をけじめPMMA
やポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、シ
エチレングリコールビスアリルヵーポネート、ポリスチ
レン、核置換フェニル基を分子内に有する高屈折率樹脂
、アリル樹脂等の光学用途に用いられている合成樹脂成
形物品であり、その形状は、フィルム、パネル、レンズ
、シート、その他任意の物品に加工したものを用いるこ
とができる。これらの基材け、そのままで、或いは必W
に応じて表面を変性させて、反射防止薄膜とのけ層性を
向上させることhz可能である。この表面処理の方法と
して、アルカリ性溶液或いは酸化力のある強酸による処
理(特公昭38−13784号公報等)、オゾンによる
処理(U S F 5227605号)電荷を負荷した
火災による処理(特開昭48−84879号公報)、プ
ラズマガスによる処理(特開昭53−157269号公
報)、酸化剤と還元剤による処理(%開昭48〜819
66号公報)、ポリエチレングリコールを含むアルカリ
金属溶液による処理(特瓢昭59−119682号)、
その他、ニア0ナ放電、スパッタリング、紫外線や電子
線、放射線等の活性電磁波照射等の例を挙げることがで
き、基材の材質や表面の状態忙より、公知の表面処理を
施して使用することができる。
ま几、基材b”−合成樹脂のように比較的傷つき易い場
合、耐摩耗性を向上させる為、予め、耐摩耗性の便化被
膜を施し、その上に反射防止薄膜を積層することができ
る。これらの方法としては1例えば、特廚昭58−15
5455号や、特公昭57−2735号分報等に示され
た表面び化被膜を形成する方法h1トる。ま念、着色膜
や調光性能を有する被嗅を有する光学基材(4?開昭5
9−46623号公報)を用いることもできる。
本発明においては1反射防止膜として屈折率の相違なる
三層の薄膜を透明基材上に形成する訳であるが、薄膜の
光学機能は、それぞれの薄膜を形成する次めの波状組成
物およびその塗布法・硬化法により、各薄膜の光学特性
が決定付けられる。
本発明における0層、0層、0層を形成する為の液状組
成物としては、溶媒にシリカ微粒子を分散させ次コロイ
ダルシリカ、有機残基な有する金属化合物やその加水分
解線金物、天然樹脂、合成樹脂等の高分子、重合性単量
体、熱硬化反応型単量体等の反応性化合物から選ばれる
少くとも一成分からなるもので、さらに透明基材より高
屈折率を有する0層、0層を形成する念めの液状組成物
は、上記化合物から選ばれる少なくとも1種の他に、水
ま几は他の溶媒建分散し次酸化セリウム微粒子のコシイ
ド分散体により構成されるものである。
上記のコロイダルシリカとしては1粒径1〜100mμ
のシリカ微粒子を含むものが、所望の硬さを得る上で好
適であるhl、コロイダルシリカの代わり忙、他の金属
酸化物微粒子のコロイド状分散体を用いることも可能で
ある。
ま之、有機残基を有する金属化合物としては、一般式〜
RI Si X4−0−bで宍されるシランカップリン
ク剤や、テトラアルコキシシラン等M’−ある。これら
の加水分解物、部分縮合物等も同等の性貿を有する。こ
こでR1は、アル千ル基、アルケニル基。
プエニル基、ハロゲン基等、ffl、R”は、エポ千シ
基、アミノ基、アミド基、メルカプト基、メタクリロイ
ルオキシ基、シアノ基、核ハロゲン化芳香環を有する基
等を含む有機基を示し、Xは、ノ10ゲン基、アルコキ
シル基、アルコ千ジアルコキジル基、アシルオキシ基等
の加水分解可能な基な示す。さた、α、bは、各々0.
1’r&は2で。
α+b #”−1ないし3である。こからの化合物の例
としては、テトラメトキシシラン等の四官能シラン、メ
チルトリメトキシシラン、r−クロロプロピルトリメト
千ジシラン、ビニルトリメトキシシラン、r−メタクリ
ロイルオ千シブpピルトリメトキシシラン、β−(3,
4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラ
ン、r−グリシド千シプクビルトリメトキシシラン、r
−メルカプトブーピルトリメト千ジシラン、γ−7ミノ
プロビルトリメトキシシラン、N−β−(アミノエチル
)−r−7ミノプロビルトリメトキシシラン。
r−ウレイドプロピルトリメト千ジシラン、γ−シアノ
プロピルトリメト千ジシラン、r−モルフすりノフロビ
ルトリメトキシシラン、N−7二二ルアミノプロビルト
リメトそジシラン等の三官能シラン、前記三官能シラン
の一部がメチル基、エチル基、ビニル基に置換し之二官
能シラン等が挙げられる。この他、特に低屈折率層を形
成させる為に、パーフルオロアルキル基を含む官能シラ
ン化合物ht好適である。
また、他の有機残基を有する金属化合物としてチタン系
力ダブリング剤、アルミニウム系カブプリング剤−ジル
コニウム系力9プリング剤も使用することh′−できる
次に、天然樹脂、合成樹脂等の高分子材料としては、主
な目的は、金属原子の安宕化剤、或いは柔軟性、被染色
性、靭性を寸与することである。
材料f>例としては、カルボ千ジアルキル化セルーース
等ノセルロース類、テルペン、ltt哲、グ+Jコース
誘導体、ポリアミノ酸、キチン、キトサン類。
デンプン類の天然高分子やポリビニルアルコール。
ポリエチレングリコール、ポリアクリル酸、ポリアクリ
ル酸エステル、ポリメタクリル酸エステル。
ポリビニル7ξン、ポリウレタン、ボリビエルビクリド
ン、ポリビニルピリジン、ポリビニルイミダゾール等の
極性基を有する合成高分子やポリスチレン、ビスフェノ
ールA、ポリカーボネート等の含芳香族高分子やポリサ
ル7オン類の高屈折率高分子、7−1素樹脂のよ5な低
屈折率高分子ht挙げられる。
また、粘度調整、特性改質、強詐さ、耐久性を得る為に
加える反応性化合物の例としては、光硬化型の多官能ア
クリレート類をはじめとして、エチレングリコールジグ
リシジルエーテル等のエボ千シ化合物、ラクトン等の開
項重合性モノマー、インシアネート類等の反応性モノマ
ーを単げることができる。
ま几、更に、これらの反応基の反応を促進する硬化触媒
を加えて、キエアリング時間の短縮や架橋密度の増大を
図ることもできる、 ざらに、■層、■層を形成する之めの液状組成物中には
、上記化合物から選ばれる少なくとも一種の他に、水ま
几は他の溶媒に分散した酸化セリウム微粒子のコロイド
分散体が加えられる。この酸化セリウム微粒子の粒径は
、1〜100mμのものが使用され、好ましくは10〜
50mμの粒径をもつ酸化セリウム微粒子のコロイド分
散体が用いられる。これは粒径b’−、100mμ以上
になると可視領域における光の波長との兼ね合いで、7
化後の薄膜り一白濁を生じ、透明材料の反射防止噂とし
て不適当となるためである。ま之、粒径が1mμ以下で
あると、硬化後の薄膜硬度が不充分であり、嘆の耐久性
だ劣る。
ま之、酸化セリウム微粒子の分散媒としては、水の他、
メタノール、エタノール、インプロピルアルコール、メ
チルセロツル7’等ノフルコール系分散媒、酢酸、プロ
ピオン酸、酪酸などのカルボン酸等ht使用される。ま
た、水を分散媒とした場合は、酸化セリウム微粒子を酢
酸、硝酸、硫酸等で安定化させ次ものを用いることもで
きる。
この酸化セリウム微粒子は、形成された薄膜中に、0層
で10重量%以上、0層で30重重量板上含まれること
/l”−必要である。これは、0層、0層における酸化
セリウム微粒子の含有量がこれ以下であると、反射防止
薄膜として要求される所望の屈折率が得られ難いためで
ある。
また、上記の有機成分け、形成された薄膜中に少なくと
も、20i:1%含まれることh;必要である。すなわ
ち、20重量%以下では1弾力性が充分でなく、耐熱性
、耐衝撃性等の耐久性に劣る。
また薄膜各層間のけ層性も充分なものが得られ難い。ま
た、上限は限定されないが、有機成分の多いものは、硬
さht劣る傾向にあり、ま次、高屈折率層の屈折率を高
く保つこと/l”−難しい。従って。
用途との兼ねおいて該範囲で有機成分の種類と含量を決
めることが望ましい。
本発明における液状組成物は、上記の薄膜形成物の他忙
塗布作業性の問題を考慮して、適当な溶剤が加えられる
。溶剤としては、アルコール類。
ケトン類、セロソルブ類、ホルムアミド類や水。
フレオン等の溶剤を用いて、1〜20M(1%の固形分
を含む溶液hL好適であるhZ、必ずしも限定される本
のではない。
ま几、界面活性剤や紫外線吸収剤、酸化防止剤、チキン
トロピー剤、l1lji料、染料、帯電防止剤、導電性
粒子等を加えることもできる。
このようにして得られた組成物は、公知の方法で塗布・
硬化させることによって塗膜を形成させる。即ち、7a
−コート、ディップコート、スピンコード、ロールコー
ト、スプレーコートおよび各種の加害された塗布方法を
用いることができる。
ま之乾燥と硬化は、用いる成分によって決められるが、
好ましくけ40℃〜150℃で、10分〜10時間の加
熱による硬化/l”−実用的である。
ま友、用いた成分中の反応基の架橋、重合反応を促進す
る為、赤外線、紫外線や、r線、電子線の照射を行うこ
とによっても硬化を行うことができる。
また1本発明の0.090層の塗工前に、そのけ層性を
向上させる目的で、前述の基材の表面処理の方法の一種
以上の処理を行うことhtできる。
本発明における反射防止薄膜の屈折率は、基材から第1
層、!2層、第3層の屈折率b;それぞれtSS〜1.
80 および1.65〜2.25 および140〜t5
0 であり、且つ屈折率はfJt2層が最も高く。
次に*1層、第3層と低くなるものである。またn、は
基材の屈折率より高いものを選択する必要がある。一方
、lli厚は溶剤或いはコーティング法で調整する事に
より任意の値に設定できる為、屈折率の組合せに応じた
任意の1厚の組合せから選択する/、1.特に各層の光
学膜厚け、可視波長の四分の−の奇の整数倍が好ましい
。これらの光学的条件から外れる場合は、反射防止特性
が劣るため好ましくない。
〔実施例〕
以下、実施例により本発明の詳細な説明するが本発明は
これに限定されるものではない。
実施例1 (1)  高屈折率用コーテイング液(A1)の調製反
応用フラスコ内圧、エチルセロツル7’ 160.9゜
r−グリシドキシプロビルトリメトキシシラン143 
g、 (LO5N塩酸水Q、!59 IIを加え、室温
下1時間攪拌し、加水分解を行なった。
その後、−上記混合物に、水を分散媒とする酸化セリウ
ム微粒子のコロイド分散体(日産化学@製平均粒子径3
5 士1mx、 Ceo□含有t 20 % ) 55
.OIを加え攪拌下、イノプロピルアルコール分散コロ
イダルシリカ(オスカル1a52. 触媒化成■、固形
分濃度30 % ) 3.33.9、グリセロールジグ
リシジルエーテル1.Og、過塩素酸マグネシウムα0
56I、およびシリコン系界面活性剤cLO2gをこの
順に加え、室温下1時間攪拌を行い、コーテイング液と
し几。このコーテイング液の粘度は、16センチストー
クス(20℃)、固形分濃度は4.9重量%であっ几。
(2)  低屈折率用コーテイング液(A2)の調製反
応用フラスコ内に、エタノール88.91.9を入れ、
攪拌下、r−グリシド千ジプロピルトリメト千ジシラン
2.53F、0.05 N塩酸水t32.Fを加え室温
下、1時間攪拌を行つ之。
この後、イソプロピルアルコール分散コロイダルシリカ
(オスカル1432.触媒化成■、虜形分濃度50 %
 )8.33g、メチルトリエト千ジシラン13.3.
9を加え、室温で30分間攪拌を行つ几。その後、メチ
ルセロソルブ135.56I11 グリセロールジグリ
シジルエーテル2.53&、過塩素酸マグネシウム(1
0745を加え溶解させた。このコーチインク液の粘度
は、1.6センチストークス(20℃)。
固形分濃度は、5.2重1%であつ之。
(3)  中屈折率用コーテイング液(A3)の調製酌
項(1)の添加量をそれぞれ下記に示すとおりに変更す
る他は、すべて同様圧してv4摂し念。
メチルセロソルブ   164g r−グリシド千ジプロピルトリメト千ジシラン2.14
F 0.05N塩酸水     0.59 !j酸化セリウ
ム微粒子のコロイド分散体 25、OF インプロピルアルコール分散コロイダルシリカ過塩素酸
マグネシウム α106II このコーテイング液の粘度け、t7センチストークス(
20”C)、固形分濃度は、5.0重量%であった。
尚、上記コーテイング液(AI)、(A2)、(A3)
は、液v4製後、各々、メンブランフィルタ−により濾
過を行い巨大粒子や不溶分を除去し念。
(4)  ハードコート加工 α)ハードコート液の調製 γ−グリシド千ジプロピルトリメトキシシラン15.5
L工タノール分散コロイダルシリカ(オスカル123’
、触媒化成■、固形分濃度30チ)22.51およびメ
チルセロソルブ155.311からなる溶液に、0.0
5N塩酸水3.69 、!i+  を徐々に滴下し加水
分解を行っ之。この溶液な0℃で24時間熟成した後、
グリセロールジグリシジルエーテル9.0.9と過塩素
酸マグネシウム0.1217pとシリコン系界面活性剤
cL04!iを加え室温下3時間攪拌し、ノ・−ドコー
ト液とし九。
b)ハードコート液の塗布及び硬化 5チ水酸化ナトリ、ラム水溶液中に5分間浸漬しアルカ
リ処理を施し次ジエチレングリコールビスアリルカーポ
ネート樹脂製プラルンズ(屈折率1.50.全光線透過
率92チ)を前記ノ・−ドコート液に浸した後、引上げ
速度15CM/分の条件で塗布を行った。続いて、熱風
乾燥炉にて80℃で1時間、130℃で1時間加熱乾燥
を行いノ・−ドコート層を得た。
この時のバートコ−)IIの膜厚は2.3μmであっ几
(5)  反射防止膜の塗布及び硬化 前記(4)で得られたレンズをアルゴンガスプラズマ処
理(400W、20秒)を行っ几後、以下の方法で反射
防止膜を設は次。
最初に中屈折率薄膜用のコーテイング液(A3)IC該
レンズを浸し、液温10′C1引上げ速度3α/分の条
件で塗布を行っ几。引上げ後、100”Cで40分硬化
を行い、中屈折率層を得之。
続いて、該レンズを強酸性水溶液中に3分間浸し処理し
た後、十分水洗を行い乾燥させた。次いで、高屈折率薄
膜用コーテイング液(A1)に没し液温10℃、引上げ
速度3吊傍の条件で塗布を行った。引上げ後、100°
Cで45分硬化を行い、高屈折率層を積層し次。
最後に、該レンズを強酸性水溶液中に3分間浸し、十分
水洗を行っ九後、低屈折率薄膜用塗布液(A2)に浸し
、液温8℃、引上げ速度2 L:In7′f+の条件で
塗布を行っ九。引上げ後130℃で30分j化させ、三
層からなる反射防止膜を得た。
(6)  試験結果 このようにして得られ九レンズの全光線透過率は97.
14であり、反射干渉色は緑色を呈し友。
また、この反射防止レンズを赤、青、黄の3色を混合し
た市販の分散染料を水に分散溶解させ次染色浴を用い、
90℃、3分間染色し友。このレンズの全光線透過率は
、52.7%で、良好な染色性を示し友。
さらに、クロスカヴトテーブ試験により密着性を評価し
九ところ、膜の剥れけみられなかった。
ま之、耐水性、耐擦傷性(#0000スチールウール 
10回擦傷)、餉温水性(60℃)の結果も良好であっ
次。
尚、(A3)、(AI)、(A2)の各コーテイング液
を塗布して得られ比薄膜を各々、11,12.13層と
すると屈折率と膜厚は以下のとbりであつ次。
薄膜   屈折率   膜厚(?I犠)11     
   164        79.512   1、
75    74.5 13   1、48    137.8実施例2 (1)高屈折率用コーテイング液(B1)の調製反応用
フラスコ内に、メチルセロソルブ156 l。
r−グリシドキシプロビル(メチル)ジメト千ジシラン
tasg、α05N塩酸水α40gを加え、室温下1時
間攪拌し、加水分解を行「L その後、上記混合物に、イソプロピルアルコールを分散
媒とする酸化セリウム微粒子のコクイド分散体(平均粒
子径35±1mμ、0g0z含有量201 )szsp
を加え攪拌下、エタノール分散コロイダルシリカ(オス
カル1232.触媒化成■、 固形分濃度3o1)5.
0J、過塩素酸マグネシウムCLOO6J7およびシリ
コン系界面活性剤0.02gをこの順に加え、室温下1
時間攪拌を行いコーテイング液とした。このコーテイン
グ液の粘度は、15センチストークス(20℃)、固形
分濃度は5.0重量%であっ几・。
(2)  低屈折率用コーテイング液(B2)の調製反
応用フラスコ内に、エタノール85.72 fを入tL
、 攪拌下、 r−グリシドキシプロビル(メチル)ジ
メトキシシラン8.57.!i+、105N塩酸1.2
5 、!i+を加え、攪拌下、加水分解を1時間行つ次
。この後。
エタノール分散コロイダルシリカ(オスカル1232触
媒化成■、固形分濃度sags>2agを加え、室温で
30分間攪拌を行っ几。その後、メチルセa 7 ルア
’ 85.729、過塩素酸マグネシウム0.128I
、シリコン系界面活性剤(LG 11を加え、コーテイ
ング液とし友。このコーテイング液の粘度は、13セン
チストークス(20’C)、固形分濃度け。
62重を憾であった。
(3)  中屈折率用コーテイング液(B3)の調製前
項(1)の添加層をそれぞれ下記に示すとかりに変更す
る他は、すべて同様にして191111.た。
メチルセロソルブ   25.(1 γ−グリシドキシプロビル(メチル)ジメトキシシラン
        2.861Q、05N塩酸水    
 0.799酸化セリウム微粒子のコロイド分散体 25、 O、P エタノール分散コロイダルシリカ 16、7 g 過塩素酸マグネシウム 0.0459 コノコーテイング液の粘度は、1.4センチストークス
(20℃)、固形分濃度は5.7重量%であう次。
尚、上記コーティング液、(B1)、(B2)、(B5
)tj、波調製後、各々メンブランフィルタ−知より濾
過を行い、巨大粒子や不溶分を除去し次。
(4)  反射防止膜の塗布および硬化5俤水酸化ナト
リウム水溶液中に5分間浸漬しアルカリ処理を施したジ
エチレングリコールビスアリルカーボネート樹脂の7−
5ツト板(直径1゜傭、厚さα55I、屈折率t5o、
全光線透過率924)K反射防止膜を以下の方法で設は
比。
最初に、中屈折率薄膜用のコーテイング液(B3)k#
樹脂を浸し、液温10’C,引上げ速度3膏うの条件で
塗布を行った。引上げ後、100’Cで30分硬化を行
い、中屈折率層を得た。
続いて、該樹脂を強塩酸水溶液に3分間浸し、高屈折率
薄膜用コーテイング液(B1)に浸し、液温10℃、引
上げ速度3cIIV5+の条件で塗布を行っ友。引上げ
後、100℃で40分便化を行い、高屈折率層を積層し
九。
最後に、H樹脂を強塩酸水溶液に2分間浸し、充分水洗
を行い乾燥させた後、低屈折率薄膜用コーテイング液(
B2)に浸し、液温7℃、引上げ速度2clVf+の条
件で塗布を行っ之。引上げ後、120℃で20分硬化さ
せ、三層からなる反射防止膜を得t0 (5)  試験結果 反射防止膜を設は之ジエチレングリコールビスアリルカ
ーポネート樹脂の全光線透過率は97.4 %であり、
反射干渉色は緑色を呈しt。
さらに、クロスカプトテープ試験により密着性を評価し
友ところ、膿の剥れは入られなかっ九。
ま几、耐水性、耐擦傷性(#OOG Oスチールウール
、10回擦傷)、耐温水性(60℃)の結果も良好であ
り几。
尚、(B3)、(B1)、(B2)の各コーテイング液
を塗布して得られ比薄膜を各々、21,22.23層と
すると屈折率と膜厚は以下のとおりであう九。
薄膜   屈折率   膜厚(nm) 21    1、65   78.8 22    178   7五〇 23        1 49        87、
2実施例3 (1)  高屈折率用コーテイング液(C1)の調製反
応用フラスコ内に、エチルセロノルズ180 !qを入
れ、攪拌下、メタノールを分散媒とする酸化セリウム微
粒子のコロイド分散体(平均粒子径35±1ms、 0
g0t含有量20%)18.1を加え充分攪拌した後、
r−グリシド中ジプロピルトリエトキシシラン1711
i%105N塩酸水0.47g、エタノール分散コクイ
ダルシリカ(オスカル1232. 触媒化成■、固形分
濃度30%)2.07,9、およびシリコン系界面活性
剤Q、02,9を加え、コーティング液トシ次。この塗
布液の粘度は、1.5センチストークス(20℃)、固
形分濃度は5.6重量%であった。
(2)  低屈折率用コーテイング液(C2)の調製低
屈折率コーテイング液として市販の79素シリコーンコ
ーテイング剤(商品名“KP−801”。
信越シリコーン■製、固形分3チ)を用いた。
(3)  中屈折率用コニティング液(C3)の調製前
記実施例2における高屈折率用コーテイング液(B1)
75.0.9と低屈折率用コーテイング液(B2)6z
、ogを混合し、中屈折高用コーティング液(、C3)
とし念。このコーテイング液の粘度は14センデストー
クス(20℃)、固形分濃度は5.6重量%であっ之。
尚、上記コーテイング液(01)、(02)、(03)
け、液調裂後、各々メンブランフィルタ−により濾過を
行い、巨大粒子や不溶分を除去した。
(4)  反射防止膜の塗布及び硬化 5%水酸化ナトリウム水溶液中に3分間浸漬しアルカリ
処理を施した市販の無機ガラスパネル(直径12α、厚
さ0.2 cm 、屈折率t52.全光線透過率92優
)に以下の方法で反射防止膜を設けた。
最初に中屈折率薄膜用のコーテイング液(03)に該ガ
ラスパネルを浸し、液@9℃、引上げ速度3叫→の条件
で塗布を行った。引上げ後、100℃で25分間硬化を
行い中屈折率層を得几。
続いて訪ガラスパネルを強酸性水溶液中に3分間浸し、
十分水洗を行った後、高屈折率薄膜用コーテイング液(
C1)に浸し、液温10℃、引上げ速度3〜傍の条件で
塗布を行り友。引上げ後100℃で30分硬化を行い、
高屈折率層を積層した。
最後に、該ガラスパネルを酸素プラズマガス処理(50
0W、  10秒)を行った後、低屈折率薄膜用コーテ
イング液(C2)に浸し、液温7℃、引上げ速度2ct
v′5+の条件で塗布を行った。引上げ後、100℃で
20分間乾燥硬化させ、三層からなる反射防止膜を得た
(5)  試験結果 このようにして得られたガラスパネルの全光線透過率は
、98.04であり1反射干渉色は黄緑色を呈し比。
さらに、クロスカットテープ試験により密着性を評価し
念ところ、膜の剥れは入られなかっ九。ま九、耐水性、
耐擦傷性(#0000スチールウール10回擦傷)、耐
温水性(60℃)の結果も良好であっ几。
尚、(03)、(al)、(02)の各コーテイング液
を塗布して得られた薄膜を各々、31.!52.35層
とすると屈折率と膜厚は以下のとおりであった。
薄膜   屈折率   膜厚(nm )31    t
65 、 7&8 52    178   7五〇 33    145   89、7 比較例1 (1)  高屈折率用コーテイング液(Dl)の調製反
応用フラスコ内にイソプロピルアルコール12Z4Jl
、フェネチルアルコール3186gを入れffl押下、
エタノール分散コロイダルシリカ(オスカル1252、
触媒化成■、固形分濃度30係)6.67gおよび、テ
トラ−n−ブチルチタネート54.04I、シリコン系
界面活性剤a、aagを入れ、室温下1時間攪拌し、コ
ーテイング液とし几。このコーテイング液の粘度は、1
9センチストークス(20℃)、固形分濃度は5.2重
量%であり念。
(2)  低屈折率用コーテイング液(B2)として。
前記実施例3の(B2)を用いた。
(3)  中屈折率用コーテイング液(B3)の調製前
項(1)の添加量をそれぞれ下記に示すとおりに変更す
る他は、すべて同様にして調製し次。
イソプロピルアルコール     156.97E7エ
ネチルアルコール       24.17.9工タノ
ール分散コロイダルシリカ  13.319テトラ−n
−ブチルチタネート   25.53!jこのコーテイ
ング液の粘fa1.6センチストークス(20℃)、固
形分濃度は5.3重量%であり九(4)反射防止膜の塗
布および硬化 5チ水酸化ナトリウム水溶液中に5分間浸漬しアルカリ
処理を施し次ジエチレングリコールビスアリルカーボネ
ート樹脂の7ラヴト板を、中屈折率薄膜用のコーテイン
グ液(B3)に浸し、液温10℃、引上げ速度3叫傍の
条件で塗布を行った。引上げ後、100℃で1時間硬化
を行い、中屈折率層を得几。
しかし、該樹脂を強酸性水溶液中に5分間浸し十分水洗
を行なう念ところ、中屈折率薄膜が部分的に消失してお
り、また手拭きにより傷がけ〈事が確認された。このた
め、高屈折率薄膜の積層が不可能となっ几。
〔発明の効果〕
以上述べ比ように1本発明によれば、透明基材の少なく
とも一部に屈折率の異なる三層の薄膜からなる反射防止
膜を液状組成物の塗布および硬化により施すにあtす、
透明基材層よりも高い屈折率を有する高屈折率薄膜、中
屈折率薄膜を形成する几めの液状組成物として、水また
は他の溶媒に分散した酸化セリウム微粒子のコロイド分
散体を構成成分とすることにより、所望の屈折率が実現
され、ま几、従来の金属アルコラードを用いた場合に比
べ、け理性、硬度、耐薬品性、耐擦傷性。
耐水性、染色性などの諸物性忙優れた。大容量。
大量生産が可能な反射防止膜を得ることが可能となっ几
【図面の簡単な説明】
第1図は、実施例1の反射防止膜の断面図。 11・・・・・・中屈折率薄膜 12・・・・・・高屈折率薄膜 13・・・・・・低屈折率薄膜 14・・・・・・ハードコート層 15・・・・・・プラスチックレンズ 第2図は、実施例10反射スペクトル図。 以  上

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)a)透明基材の少なくとも一部に、該基材から大
    気側に向かって、(イ)、(ロ)、(ハ)の三層の薄膜
    からなる反射防止膜を施すにあたり、 b)(イ)、(ロ)、(ハ)の三層の光学特性は、各々
    (イ)1.55<n_a<1.80 n_a×d_a=lλ_1/4(nm) (ロ)1.65<n_b<2.25 n_b×d_b=mλ_2/4(nm) n_b>n_a (ハ)1.40<n_c<1.50 n_c×d_c=nλ_3/4(nm) (ここで、n_a、n_b、n_cは各々、(イ)層、
    (ロ)層、(ハ)層の屈折率、d_a、d_b、d_c
    は各々、(イ)層、(ロ)層、(ハ)層の膜厚(nm単
    位)を表し、mは正の整数、l、nは奇の正整数、λ_
    1、λ_2、λ_3は各々独立に可視領域の波長(nm
    単位)を表す。また、n_a>(基材の屈折率)である
    。)の条件を満たし、 c)(イ)層、(ロ)層、(ハ)層の各薄膜は、各々液
    状で塗布し、加熱、乾燥或いは活性エネルギー線による
    硬化で得られ、 d)さらに、(イ)層、(ロ)層を形成するための液状
    組成物の主成分は、水または他の溶媒に分散した酸化セ
    リウム微粒子のエロイド分散体により提供されることを
    特徴とする反射防止膜。
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