JPS62128142A - 薄板状物体の回転装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は薄板状物体の回転装置に関するものであり、更
に詳しくは、周縁部の一部に切欠部を有する円形の薄板
状物体を、一対の円弧状の保持具を用いることにより、
切欠部の位置にかかわらず確実かつ正確に保持できるよ
うにしたものである。

［従来の技術１ 薄板状物体としての例えばウェハは、半導体製品の製造
過程においてその洗浄後ウェハの表裏面を同時に乾燥さ
せる場合、あるいは表裏面にレジストを塗布する場合、
第３図に示す如くウェハ１の周縁部を３個ないし４ｇの
７字溝付きローラ状保持具２で保持し、この状態でウェ
ハ１をその中心まわりに回転させている。

［発明が解決しようとする問題点］ ところで、ウェハ１の周縁部の一部には結晶方向を示す
オリエンテーションフラットという切欠部３が形成され
ており、上述した従来の回転装置においては、搬送ライ
ンにより搬送されてきたウェハ１が回転装置にセットさ
れたとき、上記切欠部３が保持具２のところにくる場合
がある。このように切欠部３が保持具２のところにくる
と、ウェハ１の保持状態が不確実となり、ウェハ１の中
心が回転中心からずれるおそれがある。そしてこのよう
な位置ずれは回転にともない撮動や騒音を発生する原因
になるとともに、保持具２とウェハ１とのＩＴＪ擦を惹
起し、これにより生じたゴミがウェハ１を汚染するとい
う問題を生じていた。また、ウェハ１の撮動は回転装置
のスピンドルやモータ等の寿命を短縮するおそれもある
。

なお、切欠部３が保持具２のところにこないように、ウ
ェハ１の位置決め機構を備えているものもあるが、この
場合は装置が複雑化するという問題がある。

［問題点を解決するための手段］ 本発明は、上述のような欠点を解決するために検討して
到達したものであって、周縁部の一部に切欠部を有する
円形の薄板状物体を保持し、その中心まわりに回転させ
る回転装置において、上記薄板状物体の切欠部を含む周
縁部に当接可能な長さを有する一対の円弧状の保持具を
、上記回転装置の回転軸に半径方向に移動可能に取付け
た薄板状物体の回転装置に関するものである。

［作　用］ 上述のように構成された本発明の薄板状物体の回転装置
においては、薄板状物体の切欠部が保持具のところにき
ても、保持具が薄板状物体の周縁部に沿った円弧状に形
成されているので、切欠部の両側の周縁部が保持具と当
接し、ウェハが確実かつ正確に保持され、従って回転に
ともなう振動や騒音が発生しないのである。

［実施例］ 以下、具体的に図面を用いて実施例を説明する。

第１図および第２図は、本発明に従って構成したウェハ
（薄板状物体）１の回転装置であって、同図において７
は一対の円弧状の保持具であり、この一対の保持具７は
それぞれＬ字状のスライドシャフト８の先端部に取付け
られている。スライドシャフト８の基端部は、回転軸９
の上端部に対して半径方向に摺動可能に取付けられてお
り、図示しない操作装置の操作によってスライドシャフ
ト８が半径方向に移動するように構成されている。

保持具７は、詳しくはその内側面にＶ字状の溝部１０が
長手方向に沿って形成されており、この溝部１０をウェ
ハ１の周縁部に押付けてウェハ１を保持できるようにな
っている。また保持具７の長さは、第１図に示す如く切
欠部３を含むウェハ１の周縁部に当接可能な長さで構成
されている。なお、保持具７にはその溝部１０から外側
面にかけて複数の液抜き孔１１が等間隔に形成されてお
り、ウェハ１表面の洗浄液が遠心力によってこれら液抜
き孔１１から半径方向外方にスムーズに排出されるよう
に構成されている。

以上のような構成を有するウェハ１の回転装置において
、ウェハ搬送ライン（図示せず。）によって搬送されて
きたウェハ１は、一対の保持具７の間にセットされ、そ
の侵スライドシャフト８を半径方向内方に移動させるこ
とにより、一対の保持具７の溝部１０がウェハ１の周縁
部に押付けられてウェハ１が保持される。

この際、ウェハ１が一対の保持具７の間にセットされた
状態でたとえウェハ１の切欠部３が保持具７のところに
きていても、切欠部３の両側の周縁部が保持具７に当接
するので、ウェハ１が確実かつ正確に保持され、いわゆ
る心ずれを起こす心配がない。

このようにして保持されたウェハ１は、回転による遠心
乾燥ないしレジスト塗布を行なった後、スライドシャフ
ト８を半径方向外方に移動させて一対の保持具７を開き
、搬送ラインに送られる。

なお、搬送ラインとしてはベルト、真空吸着ハンド、エ
アーベアリングまたはウォータベアリング等の搬送手段
を利用できる。

以上、本発明の一実施例につき述べたが、本発明はウェ
ハ１以外の薄板状物体の回転装置にも適用可能である。

［発明の効果コ 本発明の薄板状物体の回転装置は、薄板状物体の切欠部
が保持具のところにきた場合であっても、薄板状物体を
確実かつ正確に保持することができ、いわゆる心ずれに
よる振動や騒音の発生を防止し得、薄板状物体がその摩
擦により生ずるゴミにより汚染されるおそれがないので
、特にウェハ等の高い信頼性を要求される製品の歩留り
を向上さけることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に従って構成したウェハの回転装置の平
面図、第２図は第１図のｌｌ−４線矢視断面図、第３図
は従来のウェハの回転装置の平面図である。 １・・・ウェハ、３・・・切欠部、７・・・保持具、８
・・・スライドシャフト、９・・・回転軸。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 周縁部の一部に切欠部を有する円形の薄板状物体を保持
   し、その中心まわりに回転させる回転装置において、上
   記薄板状物体の切欠部を含む周縁部に当接可能な長さを
   有する一対の円弧状の保持具を、上記回転装置の回転軸
   に半径方向に移動可能に取付けたことを特徴とする薄板
   状物体の回転装置。