JPH03785B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は薄板状物体の回転装置に関するもので
あり、更に詳しくは、周縁部の一部に切欠部を有
する円形の薄板状物体を、一対の円弧状の保持具
を用いることにより、切欠部の位置にかかわらず
確実かつ正確に保持できるようにしたものであ
る。

［従来の技術］ 薄板状物体としての例えばウエハは、半導体製
品の製造過程においてその洗浄後ウエハの表裏面
を同時に乾燥させる場合、あるいは表裏面にレジ
ストを塗布する場合、第３図に示す如くウエハ１
の周縁部を３個ないし４個のＶ字溝付きローラ状
保持具２で保持し、この状態でウエハ１をその中
心まわりに回転させている。

［発明が解決しようとする問題点］ ところで、ウエハ１の周縁部の一部には結晶方
向を示すオリエンテーシヨンフラツトという切欠
部３が形成されており、上述した従来の回転装置
においては、搬送ラインにより搬送されてきたウ
エハ１が回転装置にセツトされたとき、上記切欠
部３が保持具２のところにくる場合がある。この
ように切欠部３が保持具２のところにくると、ウ
エハ１の保持状態が不確実となり、ウエハ１の中
心が回転中心からずれるおそれがある。そしてこ
のような位置ずれは回転にともない振動や騒音を
発生する原因になるとともに、保持具２とウエハ
１との摩擦を惹起し、これにより生じたゴミがウ
エハ１を汚染するという問題を生じていた。ま
た、ウエハ１の振動は回転装置のスピンドルやモ
ータ等の寿命を短縮するおそれもある。

なお、切欠部３が保持具２のところにこないよ
うに、ウエハ１の位置決め機構を備えているもの
もあるが、この場合は装置が複雑化するという問
題がある。

本発明の目的は、このような従来技術の問題点
に鑑み、周縁部の一部に切欠部を有する円形の薄
板状物体を確実に、且つ安定的に保持し、薄板状
物体を回転させている際に、振動や騒音が発生せ
ず、保持具と保持されている物体の摩擦によりゴ
ミが発生したりするおそれのない、薄板状物体の
回転装置を提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ 上記目的を達成するため本発明においては、周
縁部の一部に切欠部を有する円形の薄板状物体を
回転させる回転装置において、前記薄板状物体を
回転させる際に前記薄板状物体を保持する一対の
保持具に、前記薄板状物体の切欠部を含んで前記
薄板状物体の周縁部に当接可能な長さを有する円
弧状の溝部をそれぞれ設け、前記保持具を回転さ
せる回転軸の半径方向に前記保持具を移動させて
前記保持具の溝部を前記薄板状物体の周縁部にそ
れぞれ押付けることにより、前記薄板状物体を前
記保持具で保持すると共に、前記保持具のそれぞ
れには前記溝部から外側面に向けて貫通された孔
を設けるようにしている。

［作用］ この構成において、薄板状物体の切欠部が保持
具のところに位置しても、保持具は薄板状物体の
切欠部を含む周縁部に当接可能な長さの円弧状の
溝部を有し、これによって保持されるので、薄板
状物体は確実に、且つ安定的に保持される。した
がって、振動や騒音が発生したり、保持具と保持
されている物体の摩擦によりゴミが発生したりす
るおそれなく薄板状物体は回転される。しかも、
保持具には溝部から外側面に向けて貫通された孔
が設けられているため、薄板状物体の表面に液体
が付着しているような場合は、その貫通孔を介し
て液体が排除され、物体の乾燥は支障なく行なわ
れる。即ち、周縁部の一部に切欠部を有する円形
の薄板状物体の乾燥が、該物体を回転させること
により、確実に行なわれる。

［実施例］ 以下、具体的に図面を用いて実施例を説明す
る。

第１図および第２図は、本発明に従つて構成し
たウエハ（薄板状物体）１の回転装置であつて、
同図において７は一対の円弧状の保持具であり、
この一対の保持具７はそれぞれＬ字状のスライド
シヤフト８の先端部に取付けられている。スライ
ドシヤフト８の基端部は、回転軸９の上端部に対
して半径方向に摺動可能に取付けられており、図
示しない操作装置の操作によつてスライドシヤフ
ト８が半径方向に移動するように構成されてい
る。

保持具７は、詳しくはその内側面にＶ字状の溝
部１０が長手方向に沿つて形成されており、この
溝部１０をウエハ１の周縁部に押付けてウエハ１
を保持できるようになつている。また保持具７の
長さは、第１図に示す如く切欠部３を含むウエハ
１の周縁部に当接可能な長さで構成されている。
なお、保持具７にはその溝部１０から外側面にか
けて複数の液抜き孔１１が等間隔に形成されてお
り、ウエハ１表面の洗浄液が遠心力によつてこれ
ら液抜き孔１１から半径方向外方にスムーズに排
出されるように構成されている。

以上のような構成を有するウエハ１の回転装置
において、ウエハ搬送ライン（図示せず。）によ
つて搬送されてきたウエハ１は、一対の保持具７
の間にセツトされ、その後スライドシヤフト８を
半径方向内方に移動させることにより、一対の保
持具７の溝部１０がウエハ１の周縁部に押付けら
れてウエハ１が保持される。

この際、ウエハ１が一対の保持具７の間にセッ
トされた状態でたとえウエハ１の切欠部３が保持
具７のところにきていても、切欠部３の両側の周
縁部が保持具７に当接するので、ウエハ１が確実
かつ正確に保持され、いわゆる心ずれを起こす心
配がない。

このようにして保持されたウエハ１は、回転に
よる遠心乾燥ないしレジスト塗布を行なつた後、
スライドシヤフト８を半径方向外方に移動させて
一対の保持具７を開き、搬送ラインに送られる。
なお、搬送ラインとしてはベルト、真空吸着ハン
ド、エアーベアリングまたはウオータベアリング
等の搬送手段を利用できる。

以上、本発明の一実施例につき述べたが、本発
明はウエハ１以外の薄板状物体の回転装置にも適
用可能である。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、薄板状物
体の切欠部を含む周縁部に当節可能な長さの円弧
状の溝部を有しかつその溝部から外側面に向けて
貫通孔を有する保持具によつて薄板状物体を保持
するようにしたため、薄板状物体を確実且つ安定
的に保持し、振動や騒音の発生および摩擦による
塵埃の発生のおそれなく薄板状物体を回転させる
ことができ、しかも薄板状物体を乾燥させる場合
には、貫通孔を介して液体が排除され、乾燥を支
障なく行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に従って構成したウエハの回転
装置の平面図、第２図は第１図の−線矢視断
面図、第３図は従来のウエハの回転装置の平面図
である。 １……ウエハ、３……切欠部、７……保持具、
８……スライドシヤフト、９……回転軸。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 周縁部の一部に切欠部を有する円形の薄板状
   物体を回転させる回転装置において、前記薄板状
   物体を回転させる際に前記薄板状物体を保持する
   一対の保持具に、前記薄板状物体の切欠部を含ん
   で前記薄板状物体の周縁部に当接可能な長さを有
   する円弧状の溝部をそれぞれ設け、前記保持具を
   回転させる回転軸の半径方向に前記保持具を移動
   させて前記保持具の溝部を前記薄板状物体の周縁
   部にそれぞれ押付けることにより、前記薄板状物
   体を前記保持具で保持すると共に、前記保持具の
   それぞれには前記溝部から外側面に向けて貫通さ
   れた孔を設けたことを特徴とする薄板状物体の回
   転装置。