JP2004048034A - 基板回転保持装置および回転式基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 回転部材1の上面に回転軸1aと同軸の円周に沿って複数の固定式回転保持部材2および2つの回転式保持部材5が取り付けられる。2つの回転式保持部材5は回転軸1aに関して点対称とならない位置に配置され、各回転式保持部材5に対向する位置に固定式保持部材2が配置される。回転式保持部材5は、円柱状の支持部6およびその支持部6よりも小さな直径を有する円柱状の保持部7からなる。支持部6は、その中心軸と同軸の回転軸の周りで回動可能に回転部材1に取り付けられる。保持部7は、支持部6の上面部に回転軸に対して偏心して設けられる。支持部6の回動に伴って保持部7の外周面が基板100の外周端縁に当接し、基板100が水平方向に保持される。
【選択図】 図1
Description
2 固定式保持部材
3 基板支持部
4 水平位置規制部
5,15 回転式保持部材
6,16 支持部
7,17 保持部
7a 中心軸
6a,16a 回転軸
17a 曲面部
Claims (7)
- 基板を水平に保持しつつ回転させる基板回転保持装置であって、
水平姿勢で回転駆動される回転部材と、
前記基板の外周端縁に当接して前記基板の水平位置を規制する複数の固定式保持部材および複数の回転式保持部材とを備え、
前記複数の回転式保持部材は、所定の回転軸の周りで回動可能に前記回転部材に取り付けられた支持部と、凸状の曲面を有する保持部とからなり、かつ前記基板の回転中心に関して互いに非対称な位置に配置され、
前記保持部の前記曲面は、前記支持部の回動に伴って前記基板の外周端縁に当接するように前記支持部に前記回転軸に対して偏心して設けられ、
前記複数の固定式保持部材は、前記基板の回転中心に関して前記複数の回転式保持部材と対向する位置および前記対向する位置に隣接する位置に配置されたことを特徴とする基板回転保持装置。 - 前記回転保持部材が互いに独立に回動可能であることを特徴とする請求項1記載の基板回転保持装置。
- 前記支持部は、前記基板の裏面の周縁部を支持する上面部を有し、
前記保持部は、前記支持部の前記上面部に前記回転軸に対して偏心して設けられた円柱体からなることを特徴とする請求項1または2記載の基板回転保持装置。 - 前記支持部は、前記基板の裏面の周縁部を支持する上面部を有し、
前記保持部の前記曲面は、前記支持部の前記上面部にほぼ前記回転軸から外周縁にかけて形成されたことを特徴とする請求項1または2記載の基板回転保持装置。 - 前記基板がオリエンテーションフラット部を有する場合に、前記保持部の前記曲面が前記オリエンテーションフラット部の中央部に当接しないように前記複数の回転式保持部材が設けられたことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の基板回転保持装置。
- 前記複数の回転式保持部材の前記支持部は磁力により回転駆動されることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の基板回転保持装置
- 請求項1〜6のいずれかに記載の基板回転保持装置を備えたことを特徴とする回転式基板処理装置。
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