JPS62125301A - 光学フイルタ - Google Patents
光学フイルタInfo
- Publication number
- JPS62125301A JPS62125301A JP26479785A JP26479785A JPS62125301A JP S62125301 A JPS62125301 A JP S62125301A JP 26479785 A JP26479785 A JP 26479785A JP 26479785 A JP26479785 A JP 26479785A JP S62125301 A JPS62125301 A JP S62125301A
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- Japan
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- refractive index
- optical
- filter
- glass
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、光合分波機能を有する光学フィルタ、特に誘
電体多層膜により構成された干渉膜フィルタに関するも
のである。
電体多層膜により構成された干渉膜フィルタに関するも
のである。
誘電体多層薄膜で構成される光学フィルタは。
一般的に光学用ガラス基板トに蒸着、スパッタなどによ
って高屈折率膜と低屈折率膜を交互に規則的に積層した
構造で、各層の膜厚は光の波長をλとするとλ／４とす
るものが基本的である。
って高屈折率膜と低屈折率膜を交互に規則的に積層した
構造で、各層の膜厚は光の波長をλとするとλ／４とす
るものが基本的である。
この時、高屈折率膜物質としては、 ＺｎＳ 、 Ｔｉ
Ｑ２など、低屈折率膜物質としてはＭｇＦ２．５ｉ０２
などが適用されている。
Ｑ２など、低屈折率膜物質としてはＭｇＦ２．５ｉ０２
などが適用されている。
従来技術における光学フィルタは第３図に示すとと（、
ガラス基板１上に高屈折率膜および低屈折率膜を交互に
規則的に積層した後、安定な光学特性を得る手段として
最外表面層上に接着剤４によりガラス基板５を設け、誘
電体多層膜をガラス基板１，５ではさむ構成として光学
的な対称性を与えて特性の安定化を計るものであった。
ガラス基板１上に高屈折率膜および低屈折率膜を交互に
規則的に積層した後、安定な光学特性を得る手段として
最外表面層上に接着剤４によりガラス基板５を設け、誘
電体多層膜をガラス基板１，５ではさむ構成として光学
的な対称性を与えて特性の安定化を計るものであった。
接着剤４はその上に形成されるガラス１基板５の屈折率
とほぼ同等の値を持つ透明体が使用されるが、この接着
には高精度な平担性が要求され作業性が極めて悪（、ま
た耐環境性および吸収（損失）など製造、特性上の問題
がありコスト低減を阻む要因であった。これらの解決策
として例えば特開昭５９−６０４０７号では、ガラス基
板５の接着の代わりに最外表面層上に高屈折率物質と低
屈折率物質の中間的な屈折率を有する材料として窒化硅
素（Ｓｉ３Ｎ４）を形成し透過特性の改善を計るシミュ
レーシ層ン結果を記述しているが透過域にリップルが残
っておりその効果は充分なものではない。
とほぼ同等の値を持つ透明体が使用されるが、この接着
には高精度な平担性が要求され作業性が極めて悪（、ま
た耐環境性および吸収（損失）など製造、特性上の問題
がありコスト低減を阻む要因であった。これらの解決策
として例えば特開昭５９−６０４０７号では、ガラス基
板５の接着の代わりに最外表面層上に高屈折率物質と低
屈折率物質の中間的な屈折率を有する材料として窒化硅
素（Ｓｉ３Ｎ４）を形成し透過特性の改善を計るシミュ
レーシ層ン結果を記述しているが透過域にリップルが残
っておりその効果は充分なものではない。
本発明の目的は前記した従来技術における欠点をな（し
光学特性の安定な構造を有する光学フィルタを提供する
ことにある。
光学特性の安定な構造を有する光学フィルタを提供する
ことにある。
本発明におけるフィルタ構造は、光学用ガラス基板上に
形成される多層膜として高屈折率物質としてＴｉ０２（
ｎ ＝ ２３ ）低屈折率物質として５ｉＯ２１（ｎ
＝ １．４６ ）を各層ＩＡ波長相当の膜厚で順次規則
的に積層した状態で、この時光学用ガラス基板上の第１
層膜と、最上層に形成される物質は同一なる物質の構成
となる。さらに引続いて従来技術釦おける第２のガラス
基板の接着形成に代わる層として光学用ガラス基板と同
等の屈折率を有する酸化硅素（ＳｉＯｘ）を積層し、対
称性を有する構造とした。さらにフィルタの特性を高安
定なものとするため反射防止効果を与える目的として最
外表面層上に酸化硅素（Ｓｉｎ）を１／２波長相当の膜
厚に同一真空槽内で連続的に形成した。
形成される多層膜として高屈折率物質としてＴｉ０２（
ｎ ＝ ２３ ）低屈折率物質として５ｉＯ２１（ｎ
＝ １．４６ ）を各層ＩＡ波長相当の膜厚で順次規則
的に積層した状態で、この時光学用ガラス基板上の第１
層膜と、最上層に形成される物質は同一なる物質の構成
となる。さらに引続いて従来技術釦おける第２のガラス
基板の接着形成に代わる層として光学用ガラス基板と同
等の屈折率を有する酸化硅素（ＳｉＯｘ）を積層し、対
称性を有する構造とした。さらにフィルタの特性を高安
定なものとするため反射防止効果を与える目的として最
外表面層上に酸化硅素（Ｓｉｎ）を１／２波長相当の膜
厚に同一真空槽内で連続的に形成した。
以下１本発明の具体的な実施例を第１図および第２図で
説明する。光学用ガラス基板ｌとしては硼硅酸系ガラス
（屈折率ｎ ＝ １．５２ ）を使用し、その上に形成
する高屈折率膜ＴｉＯ２２と、低屈折率膜５ｉ０２３を
交互に積層する構造は従来技術と同様であり、実施例で
はこれらの物質の形。
説明する。光学用ガラス基板ｌとしては硼硅酸系ガラス
（屈折率ｎ ＝ １．５２ ）を使用し、その上に形成
する高屈折率膜ＴｉＯ２２と、低屈折率膜５ｉ０２３を
交互に積層する構造は従来技術と同様であり、実施例で
はこれらの物質の形。
成は電子ビーム蒸着で行い、さらに同一槽内に■
抵抗加熱蒸着機能を併せ持つ蒸着装置を適用した。あら
かじめ洗浄された光学用ガラス基板ｌ上に形成される多
層膜（Ｔｉ０ｚ 、 ５ｉＯｚ ）の形成条件の一例を
示す。
かじめ洗浄された光学用ガラス基板ｌ上に形成される多
層膜（Ｔｉ０ｚ 、 ５ｉＯｚ ）の形成条件の一例を
示す。
真空槽内をあらかじめ２ ｘ １（ｊ”６（Ｔｏｒｒ）
以下に排気した状態で加速電圧６（Ｋｖ）のもとに、各
層・の形成には反応性ガスとして酸素を微量導入し。
以下に排気した状態で加速電圧６（Ｋｖ）のもとに、各
層・の形成には反応性ガスとして酸素を微量導入し。
蒸着材料との反応を促進させ安定な膜質を得た。
この条件で得られた各々の膜の屈折率はＴｒＯｚキ２．
３０ 、５ｉ０２中１．４６であり、形成された各層の
膜厚はＩＡ波長相当の光学的膜厚を基本とし、製作する
フィルタの種類によって層構造は異なるが一部１／２波
長相当の膜厚も含まれる。この多層膜の最外表面層に形
成するガラス層６は、同１一槽内で連続的に反応性ガス
を導入しない状態で酸化硅素（，５ｉＯｚ）を蒸着材料
として形成した。５この時得られたガラス層６の屈折率
はｎ中１．５０〜１．５３であり組成的にはＳ ｉｏｘ
（ｘ ＝ １．５〜＜ ２．０ ）で示される。この
ガラス層６の膜厚はフィルタの光学特性が低下しないよ
うに１μｍ穆度に形成した。
３０ 、５ｉ０２中１．４６であり、形成された各層の
膜厚はＩＡ波長相当の光学的膜厚を基本とし、製作する
フィルタの種類によって層構造は異なるが一部１／２波
長相当の膜厚も含まれる。この多層膜の最外表面層に形
成するガラス層６は、同１一槽内で連続的に反応性ガス
を導入しない状態で酸化硅素（，５ｉＯｚ）を蒸着材料
として形成した。５この時得られたガラス層６の屈折率
はｎ中１．５０〜１．５３であり組成的にはＳ ｉｏｘ
（ｘ ＝ １．５〜＜ ２．０ ）で示される。この
ガラス層６の膜厚はフィルタの光学特性が低下しないよ
うに１μｍ穆度に形成した。
さらに最外表面層（ガラス層６）上に反射防止効果を得
る目的として一酸化硅素（Ｓｉｌ）を蒸着材料として抵
抗加熱蒸着により１／２波長相当の光学的膜厚を形成し
た。この反射防止層７の屈折率はｎ中１．８０〜１．８
５である。
る目的として一酸化硅素（Ｓｉｌ）を蒸着材料として抵
抗加熱蒸着により１／２波長相当の光学的膜厚を形成し
た。この反射防止層７の屈折率はｎ中１．８０〜１．８
５である。
以上の構造から成る光学フィルタの分光透過特性の特性
例を第２図に示す。フィルタの構造は特定波長域のみ透
過域を持つ帯域通過フィルタの測定例である。実施例に
よる構造を持つフィルタの特性曲線はＡ、従来技術にお
ける特性曲線がＢである。
例を第２図に示す。フィルタの構造は特定波長域のみ透
過域を持つ帯域通過フィルタの測定例である。実施例に
よる構造を持つフィルタの特性曲線はＡ、従来技術にお
ける特性曲線がＢである。
本発明の実施例によるフィルタの透過ピークは従来技術
に比べて１〜１．５％の上昇を示し、透過損失としては
約０．０５ （ｄＲ’）の向上である。
に比べて１〜１．５％の上昇を示し、透過損失としては
約０．０５ （ｄＲ’）の向上である。
以上のように本発明の構造を有する光学フィルタはフィ
ルタ性能の向上が計れるのみならず。
ルタ性能の向上が計れるのみならず。
従来技術におけるガラス基板の接合等に対して。
同一槽内で連続的に形成するため製造歩留りの向上、さ
らには製品コストの低減にも効果が大きい。
らには製品コストの低減にも効果が大きい。
第１図は本発明の一実施例の光学フィルタの概略断面図
、第２図は本発明における光学フイルタの分光透過特性
の測定線図、第３図は従来技術はおける光学フィルタの
概略断面図である。 ｌ・・・光学ガラス基板、 ２・・誘電体高屈折率膜
１．３・・・誘電体低屈折率膜、４・・・接着剤。 ５・・・ガラス基板、 ６・・・表面ガラス層。 ７・・・反射防止層。
、第２図は本発明における光学フイルタの分光透過特性
の測定線図、第３図は従来技術はおける光学フィルタの
概略断面図である。 ｌ・・・光学ガラス基板、 ２・・誘電体高屈折率膜
１．３・・・誘電体低屈折率膜、４・・・接着剤。 ５・・・ガラス基板、 ６・・・表面ガラス層。 ７・・・反射防止層。
Claims (1)
- １、光学ガラス基板上に被着形成された誘電体多層膜を
有する光学フィルタにおいて、最外表面層となる被着層
が膜厚深さ方向に組成および屈折率の分布を持った２層
構造より成ることを特徴とする光学フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26479785A JPS62125301A (ja) | 1985-11-27 | 1985-11-27 | 光学フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26479785A JPS62125301A (ja) | 1985-11-27 | 1985-11-27 | 光学フイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62125301A true JPS62125301A (ja) | 1987-06-06 |
Family
ID=17408339
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26479785A Pending JPS62125301A (ja) | 1985-11-27 | 1985-11-27 | 光学フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62125301A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0590403U (ja) * | 1991-11-08 | 1993-12-10 | 株式会社アドバンテスト | 光学フィルタ |
-
1985
- 1985-11-27 JP JP26479785A patent/JPS62125301A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0590403U (ja) * | 1991-11-08 | 1993-12-10 | 株式会社アドバンテスト | 光学フィルタ |
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