JPS5960407A - 光学フイルタ - Google Patents
光学フイルタInfo
- Publication number
- JPS5960407A JPS5960407A JP17234682A JP17234682A JPS5960407A JP S5960407 A JPS5960407 A JP S5960407A JP 17234682 A JP17234682 A JP 17234682A JP 17234682 A JP17234682 A JP 17234682A JP S5960407 A JPS5960407 A JP S5960407A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- optical filter
- glass substrate
- refractive index
- tio2
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/28—Interference filters
- G02B5/285—Interference filters comprising deposited thin solid films
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明は、光通信用分波器等の基本構成要素のＴｉｏｚ
、Ｓ １（）ｚ系の誘電体多層膜を有する帯域通過型の
光学フィルタに関するものである。
、Ｓ １（）ｚ系の誘電体多層膜を有する帯域通過型の
光学フィルタに関するものである。
従来技術と問題点
ＴｉＯ２，５ｉ０２系の誘電体多層膜を有する帯域通過
型の光学フィルタは、一般に、ガラス基板上に電子ビー
ム蒸着等の技術によりＴｉＯ２゜Ｓ ｉ Ｏ２を交互に
積層して形成するものであった。例えば第１図に示すよ
うに、ガラス基板ｌ上に′Ｉ’ ＋ ０２膜２を蒸着し
、ソノ上に５Ｉ０２膜３を蒸着し、これを交互に繰り返
して多層膜を形成し、最外層は第１層と同様なＴｉＯ２
膜２とするものである。各膜の厚さは光の波長をλとす
ると、λ／４とするものである（但し、一部の５ｉ０２
脱はλ／２とする）。
型の光学フィルタは、一般に、ガラス基板上に電子ビー
ム蒸着等の技術によりＴｉＯ２゜Ｓ ｉ Ｏ２を交互に
積層して形成するものであった。例えば第１図に示すよ
うに、ガラス基板ｌ上に′Ｉ’ ＋ ０２膜２を蒸着し
、ソノ上に５Ｉ０２膜３を蒸着し、これを交互に繰り返
して多層膜を形成し、最外層は第１層と同様なＴｉＯ２
膜２とするものである。各膜の厚さは光の波長をλとす
ると、λ／４とするものである（但し、一部の５ｉ０２
脱はλ／２とする）。
前記構成の光学フィルタをそのまま分波器用として用い
る場合は、光学的に非対称であることにより、分波器に
要求される高精度の特性を得ることができないものであ
る。そこで、従来は、第２図に示すように、最外層膜上
に接着剤４よりガラス基板５を設け、誘電体多層膜をガ
ラス基板１゜５で挾む構成とし、光学的な対称性を与え
て通過域の特性を改善するものであった。
る場合は、光学的に非対称であることにより、分波器に
要求される高精度の特性を得ることができないものであ
る。そこで、従来は、第２図に示すように、最外層膜上
に接着剤４よりガラス基板５を設け、誘電体多層膜をガ
ラス基板１゜５で挾む構成とし、光学的な対称性を与え
て通過域の特性を改善するものであった。
第３図は、前記第１図と第２図との構成による特性曲線
図であり、曲線Ａは第り図の構成９曲線Ｂは第２図の構
成の場合の一例の特性を示し、第２図の構成のようにガ
ラス基板５を設けることにより、通過域の特性が改善さ
れることが判る。
図であり、曲線Ａは第り図の構成９曲線Ｂは第２図の構
成の場合の一例の特性を示し、第２図の構成のようにガ
ラス基板５を設けることにより、通過域の特性が改善さ
れることが判る。
しかし、接着剤４を使用する為、信頼性の問題が生じる
と共に、均一の厚さの接着剤４でガラス基板５を最外層
膜上に接着する作業が容易でない欠点があった。
と共に、均一の厚さの接着剤４でガラス基板５を最外層
膜上に接着する作業が容易でない欠点があった。
発明の目的
本発明り、ガラス基板を接着することなく、フィルタ特
性を改善し得るようにすることを目的とするものである
。以下実施例について詳細に説明する。
性を改善し得るようにすることを目的とするものである
。以下実施例について詳細に説明する。
発明の実施例
第４図は本発明の実施例の概略断面図であり、第１図と
同一部分は同一符号で示す。ガラス基板１上にＴ ｉ
Ｏ２膜２と５ｉＯ２Ｎ！ｆ！３とを交互に積層すること
は従来例と同様であるが、空気側の最外層となるＳｉＯ
２膜３上にｓ ｉ３Ｎ、膜６を蒸着等により形成するも
のである。ＴｉＯ２膜２の屈折率は２．３であり、５ｉ
０２膜３の屈折率は１．４６であるから、それらの屈折
率の中間的な屈折率の１．８〜１．９の屈折率のＳ ｉ
３Ｎ４膜６を形成するものである。それによりガラス
基板を最外層に接着した第２図の構成の光学フィルタと
同程度或いはそれ以上の特性の光学フィルタを得ること
ができることを、シュミレーションにより確認された。
同一部分は同一符号で示す。ガラス基板１上にＴ ｉ
Ｏ２膜２と５ｉＯ２Ｎ！ｆ！３とを交互に積層すること
は従来例と同様であるが、空気側の最外層となるＳｉＯ
２膜３上にｓ ｉ３Ｎ、膜６を蒸着等により形成するも
のである。ＴｉＯ２膜２の屈折率は２．３であり、５ｉ
０２膜３の屈折率は１．４６であるから、それらの屈折
率の中間的な屈折率の１．８〜１．９の屈折率のＳ ｉ
３Ｎ４膜６を形成するものである。それによりガラス
基板を最外層に接着した第２図の構成の光学フィルタと
同程度或いはそれ以上の特性の光学フィルタを得ること
ができることを、シュミレーションにより確認された。
第５図は光学フィルタの特性曲線図であり、曲線Ｂは第
２図の構成の従来例の光学フィルタの特性、曲線Ｃ，Ｄ
は第４図の構成の本発明の実施例の光学フィルタについ
て、Ｓｉ３Ｎ４膜として屈折率が２及び１．８の場合の
特性を示すものである。通過域損失を改善する点のみを
考えると、誘電体多層膜の最外層に形成するＳ ｉ ３
Ｎ ４膜の屈折率は１．４６〜２．３の範囲内で選定
することができるが、帯域幅が狭くなるから、最適な屈
折率としては、１．８〜１．９程度が好適である。
２図の構成の従来例の光学フィルタの特性、曲線Ｃ，Ｄ
は第４図の構成の本発明の実施例の光学フィルタについ
て、Ｓｉ３Ｎ４膜として屈折率が２及び１．８の場合の
特性を示すものである。通過域損失を改善する点のみを
考えると、誘電体多層膜の最外層に形成するＳ ｉ ３
Ｎ ４膜の屈折率は１．４６〜２．３の範囲内で選定
することができるが、帯域幅が狭くなるから、最適な屈
折率としては、１．８〜１．９程度が好適である。
又ｓ １３Ｎ、膜６の厚さは、λ／４以上であれば良い
ので、製作も容易である。
ので、製作も容易である。
発明の詳細
な説明したように、本発明は、Ｔ ｉ Ｏ２膜２とＳ
ｉ Ｏ２膜３とを交互にガラス基板１上に形成した誘電
体多層膜の最外層にＳ ｉ ３ Ｎ ４膜６を形成した
ものであるから、誘電体多層膜の最外層にガラス基板を
接着する従来例に比較して、接着剤を用いないことによ
り信頼性を向上することができる利点があり、又誘電体
多層膜の形成と同様な手段で形成することができるから
、製作が容易となる利点がある。
ｉ Ｏ２膜３とを交互にガラス基板１上に形成した誘電
体多層膜の最外層にＳ ｉ ３ Ｎ ４膜６を形成した
ものであるから、誘電体多層膜の最外層にガラス基板を
接着する従来例に比較して、接着剤を用いないことによ
り信頼性を向上することができる利点があり、又誘電体
多層膜の形成と同様な手段で形成することができるから
、製作が容易となる利点がある。
第１図及び第２図は従来例の光学フィルタの概略断面図
、ｍ３図は第１図及び第２図の構成の光学フィルタの特
性曲線図、第４図は本発明の実施例の概略断面図、第５
図は従来例の光学フィルりと本発明の実施例の光学フィ
ルタの一例の特性曲線図である。 ｌはガラス基板、２．３は誘電体多層膜を構成する”Ｉ
” ＋ ０２股及び３ｉ０２膜、６は３ ｉ ３ Ｎ
４膜である。 特許出願人 富士通株式会社 代理人弁理士 玉蟲久五部 外３名 第 ２ 図 第４図
、ｍ３図は第１図及び第２図の構成の光学フィルタの特
性曲線図、第４図は本発明の実施例の概略断面図、第５
図は従来例の光学フィルりと本発明の実施例の光学フィ
ルタの一例の特性曲線図である。 ｌはガラス基板、２．３は誘電体多層膜を構成する”Ｉ
” ＋ ０２股及び３ｉ０２膜、６は３ ｉ ３ Ｎ
４膜である。 特許出願人 富士通株式会社 代理人弁理士 玉蟲久五部 外３名 第 ２ 図 第４図
Claims (1)
- ＴｉＯ２，Ｓ ｉ０２系の誘電体光学多層膜を有する光
学フィルタに於て、空気側の最外層に、前記’ｒ ｉ
０２と５１０２との欣の屈折率との間に相当する屈折率
のＳｉ３Ｎ４膜を形成したことを特徴とする光学フィル
タ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17234682A JPS5960407A (ja) | 1982-09-29 | 1982-09-29 | 光学フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17234682A JPS5960407A (ja) | 1982-09-29 | 1982-09-29 | 光学フイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5960407A true JPS5960407A (ja) | 1984-04-06 |
Family
ID=15940201
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17234682A Pending JPS5960407A (ja) | 1982-09-29 | 1982-09-29 | 光学フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5960407A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0573163A2 (en) * | 1992-06-05 | 1993-12-08 | Optical Coating Laboratory, Inc. | Enhanced durability optical stack such as a mirror and a process for forming the stack |
-
1982
- 1982-09-29 JP JP17234682A patent/JPS5960407A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0573163A2 (en) * | 1992-06-05 | 1993-12-08 | Optical Coating Laboratory, Inc. | Enhanced durability optical stack such as a mirror and a process for forming the stack |
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