JPS6194239A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPS6194239A JPS6194239A JP21692284A JP21692284A JPS6194239A JP S6194239 A JPS6194239 A JP S6194239A JP 21692284 A JP21692284 A JP 21692284A JP 21692284 A JP21692284 A JP 21692284A JP S6194239 A JPS6194239 A JP S6194239A
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- JP
- Japan
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- magnetic
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- electron beam
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は移動する高分子成形物などのテープ状非磁性基
体に磁性薄膜を真空蒸着法により形成せしめて磁気記録
媒体を製造する方法に関する。
体に磁性薄膜を真空蒸着法により形成せしめて磁気記録
媒体を製造する方法に関する。
さらに磁気特性および電磁変換特性の改良された磁気記
録媒体の製造方法に関する。
録媒体の製造方法に関する。
従来より磁気記録媒体としては、非磁性基体上にｒ−Ｆ
ｅ２０３ｓ Ｃｏをドープしたｒ−Ｆｅ２０３、Ｆｅ
５Ｏａ、ＣｏをドープしたＦｌ！３０４％ ｒ−Ｆｅ２
０ｓとＦｅ３Ｏ４のベルトライド化合物、ｃｏをドープ
したベルト２イド化合物、ＣｒＯ２等の酸化物磁性粉末
あるいはｌ’ｅ、Ｃｏ、Ｎｉ 等を主成分とする合金
磁性粉末等の粉末磁性材料を塩化ビニル−酢酸ビニル共
重合体、スチレン−ブタジェン共重合体、エポキシ樹脂
、ポリウレタン樹脂等の有機バインダー中に分散せしめ
、塗布、乾燥させる塗布型のものが広く使用されてきて
いる。
ｅ２０３ｓ Ｃｏをドープしたｒ−Ｆｅ２０３、Ｆｅ
５Ｏａ、ＣｏをドープしたＦｌ！３０４％ ｒ−Ｆｅ２
０ｓとＦｅ３Ｏ４のベルトライド化合物、ｃｏをドープ
したベルト２イド化合物、ＣｒＯ２等の酸化物磁性粉末
あるいはｌ’ｅ、Ｃｏ、Ｎｉ 等を主成分とする合金
磁性粉末等の粉末磁性材料を塩化ビニル−酢酸ビニル共
重合体、スチレン−ブタジェン共重合体、エポキシ樹脂
、ポリウレタン樹脂等の有機バインダー中に分散せしめ
、塗布、乾燥させる塗布型のものが広く使用されてきて
いる。
近年高密度磁気記録への要求の高ｔｂと共に、真空蒸着
、ス／＠ツタリング、イオンプレーテング等の方法によ
シ形成される強磁性金属薄膜はバインダーを使用しない
、いわゆる金属薄膜型の磁気記録媒体として注目を浴び
ておシ実用化へのＭ力ｐ＋伶σａ九き２１亀５゜ 従来の塗布型の磁気記録媒体では主として飽和磁化の小
さい金属酸化物を磁性材料として使用していると共に、
′磁性層中の磁性材料の体積含有率が３０〜ＺＯＳにす
ぎないため高出力高密度記録媒体としては限界になって
きている。さらにその製造工程も複雑で溶剤回収あるい
は公害防止のための大“きな付帯設備を必要とするとい
う欠点を有している。金属薄膜型磁気記録媒体では酸化
物磁性材料より大きな飽和磁化を有する強磁性金属を有
機バインダーの如き非磁性物質を介在させぬ状態で極め
て薄い薄膜として形成できるという利点を有する。高密
度磁気記録化につれて記録再生磁気ヘッドのギャップ長
も７．０μｍを切る時代になっているが、それに伴って
磁気記録層への記録深さも浅くなる傾向があり、磁性膜
の厚み全部が磁気信号の記録に利用され得る金属薄膜型
磁気記録媒体は高出力高密度記録媒体として極めてすぐ
れている。金属薄膜型磁気記録媒体のうちでも膜の形成
を真空蒸着によシ行なう方法は膜の形成速度の速いこと
、製造工程が簡単であることあるいは排液処理の必要と
しないドライプロセスであること等の利点を有する。中
でも特に磁性金属の蒸発ビームを非磁性基体表面に対し
斜めに入射させて蒸着する斜方入射真空蒸着法は工程お
よび装置機構がともに比較的簡単であると同時に良好な
磁気特性を有する膜が得られるため実用化上すぐれてい
る。
、ス／＠ツタリング、イオンプレーテング等の方法によ
シ形成される強磁性金属薄膜はバインダーを使用しない
、いわゆる金属薄膜型の磁気記録媒体として注目を浴び
ておシ実用化へのＭ力ｐ＋伶σａ九き２１亀５゜ 従来の塗布型の磁気記録媒体では主として飽和磁化の小
さい金属酸化物を磁性材料として使用していると共に、
′磁性層中の磁性材料の体積含有率が３０〜ＺＯＳにす
ぎないため高出力高密度記録媒体としては限界になって
きている。さらにその製造工程も複雑で溶剤回収あるい
は公害防止のための大“きな付帯設備を必要とするとい
う欠点を有している。金属薄膜型磁気記録媒体では酸化
物磁性材料より大きな飽和磁化を有する強磁性金属を有
機バインダーの如き非磁性物質を介在させぬ状態で極め
て薄い薄膜として形成できるという利点を有する。高密
度磁気記録化につれて記録再生磁気ヘッドのギャップ長
も７．０μｍを切る時代になっているが、それに伴って
磁気記録層への記録深さも浅くなる傾向があり、磁性膜
の厚み全部が磁気信号の記録に利用され得る金属薄膜型
磁気記録媒体は高出力高密度記録媒体として極めてすぐ
れている。金属薄膜型磁気記録媒体のうちでも膜の形成
を真空蒸着によシ行なう方法は膜の形成速度の速いこと
、製造工程が簡単であることあるいは排液処理の必要と
しないドライプロセスであること等の利点を有する。中
でも特に磁性金属の蒸発ビームを非磁性基体表面に対し
斜めに入射させて蒸着する斜方入射真空蒸着法は工程お
よび装置機構がともに比較的簡単であると同時に良好な
磁気特性を有する膜が得られるため実用化上すぐれてい
る。
テープ状非磁性基体に蒸着によシ磁性薄膜を形成せしめ
て磁気テープを製造する際には、特開昭ｊ＠−／９２０
０号、特開昭ｊ３−１７７０６号に示されているように
移動するテープ状非磁性基体上に電子ビームの照射加熱
により蒸発せしめられた磁性材料の蒸気流を差し向は蒸
着する方法が用いられる。このようにして製造される蒸
着型磁気記録媒体は従来の塗布型磁気記録媒体に比し高
出力が得られることからＪ’ｍｍＶＴＲ用磁気テープあ
るいはディジタルオーデオ用磁気テープとして極めて有
望である。蒸着型の磁気記録媒体においてはノイズを低
下させＳ／Ｎをさらに改良するために磁性材料の蒸着の
際に酸素等の酸化性ガスを導入する方法が取られている
が、これＫよると磁気特性、特Ｋ（ｄＨ）ｍａｘ が
低下するために改良が望まれていた。さらに従来の電子
ビーム加熱法による蒸着型磁気記録媒体ではビデオ信号
等の特に高周波信号の記録再生波のエンベロープが充分
でなくこれに関する改良も望まれていた。
て磁気テープを製造する際には、特開昭ｊ＠−／９２０
０号、特開昭ｊ３−１７７０６号に示されているように
移動するテープ状非磁性基体上に電子ビームの照射加熱
により蒸発せしめられた磁性材料の蒸気流を差し向は蒸
着する方法が用いられる。このようにして製造される蒸
着型磁気記録媒体は従来の塗布型磁気記録媒体に比し高
出力が得られることからＪ’ｍｍＶＴＲ用磁気テープあ
るいはディジタルオーデオ用磁気テープとして極めて有
望である。蒸着型の磁気記録媒体においてはノイズを低
下させＳ／Ｎをさらに改良するために磁性材料の蒸着の
際に酸素等の酸化性ガスを導入する方法が取られている
が、これＫよると磁気特性、特Ｋ（ｄＨ）ｍａｘ が
低下するために改良が望まれていた。さらに従来の電子
ビーム加熱法による蒸着型磁気記録媒体ではビデオ信号
等の特に高周波信号の記録再生波のエンベロープが充分
でなくこれに関する改良も望まれていた。
本発明の目的は、上記の欠点を改良した蒸着法忙よる磁
性薄膜型磁気記録媒体、９すなわち磁気特性、特にＣΦ
の改良された磁性薄膜型磁ａｘ 気記録媒体の製造方法を提供することにある。さらに本
発明の目的は電磁変換特性、特に再生信号のエンベロー
プのすぐれた蒸着法による磁性薄膜型磁気記録媒体の製
造方法を提供することにある。
性薄膜型磁気記録媒体、９すなわち磁気特性、特にＣΦ
の改良された磁性薄膜型磁ａｘ 気記録媒体の製造方法を提供することにある。さらに本
発明の目的は電磁変換特性、特に再生信号のエンベロー
プのすぐれた蒸着法による磁性薄膜型磁気記録媒体の製
造方法を提供することにある。
本発明は真空雰囲気において連続して移動するテープ状
非磁性基体に、電子ビームの走査加熱により蒸発せしめ
られた磁性材料の蒸気を差し向は該非磁性基体上に蒸着
磁性薄膜を形成せしめて磁気記録媒体を製造する方法に
おいて、該非磁性基体幅方向と略平行な磁性材料蒸発源
上の電子ビーム走査域を少なくとも一個の電子ビームに
て走査すると共に、各電子ビームの走査周波数の位相を
異なるようＫすることを特徴とする磁気記録媒体の製造
方法に関する。
非磁性基体に、電子ビームの走査加熱により蒸発せしめ
られた磁性材料の蒸気を差し向は該非磁性基体上に蒸着
磁性薄膜を形成せしめて磁気記録媒体を製造する方法に
おいて、該非磁性基体幅方向と略平行な磁性材料蒸発源
上の電子ビーム走査域を少なくとも一個の電子ビームに
て走査すると共に、各電子ビームの走査周波数の位相を
異なるようＫすることを特徴とする磁気記録媒体の製造
方法に関する。
第１図は本発明による磁気記録媒体製造方法を実施する
ための装置の一例を示している。適当な真空排気系を備
えてなる真空槽（図示せず）内に配設されたシリンダー
状冷却キャン／／に沿ってテープ状非磁性基体／コが搬
送される。冷却キャン／／の下方には磁性材料／３を加
熱蒸発させるためのルツボ／４ｔが配置されており、磁
性材料／３は２個の電子銃／！、／１からの電子ビーム
／７、／♂の照射により加熱される。加熱蒸発された磁
性材料の蒸気流は冷却キャン／／の表面に沿って移動す
るテープ状差体／コの表面に達し蒸着磁性薄膜が形成さ
れる。２個の電子銃／！、／にからの電子ビーム／７、
／Ｉはルツボ／４を内の磁性材料／３の走査域／夕を走
査照射するように設計されている。走査域／りは冷却キ
ャンｌ／の表面に沿って移動するテープ状非磁性体７．
２の幅方向に略平行になっている。２個の電子銃／ｊ１
／６からの電子ビーム／７、／／はその走査周波数の
位相が異なるように設定されておシ、−個の電子ビーム
／２、／ｒは走査域／りの同一個所を同時には照射しな
いようになっている。走査域を照射する電子ビームの個
数をｎとした時、電子ビームノ位相は°３６０’ だ
けずらすようにするのが特に好ましい。さらにテープ状
非磁性基体／コの移動速度をυ（ｍ／分）とし、走査域
／りの走査幅をω（ｍ）とした時、電子ビームの走査周
波数をコωυ ｎ （Ｈｚ）以上、特に好ましくは−Ｖ（Ｈｚ）以上と
することが好ましい。本発明者らは電子ビーム走査によ
る蒸着について種々検討の結果、少なくとも一個の電子
ビームを位相をずらして走査せしめて製造された磁気記
録媒体は磁気特性がすぐれると共に電磁変換特性にすぐ
れた蒸着磁性薄膜型磁気記録媒体であることを見出し、
本発明にいたった。
ための装置の一例を示している。適当な真空排気系を備
えてなる真空槽（図示せず）内に配設されたシリンダー
状冷却キャン／／に沿ってテープ状非磁性基体／コが搬
送される。冷却キャン／／の下方には磁性材料／３を加
熱蒸発させるためのルツボ／４ｔが配置されており、磁
性材料／３は２個の電子銃／！、／１からの電子ビーム
／７、／♂の照射により加熱される。加熱蒸発された磁
性材料の蒸気流は冷却キャン／／の表面に沿って移動す
るテープ状差体／コの表面に達し蒸着磁性薄膜が形成さ
れる。２個の電子銃／！、／にからの電子ビーム／７、
／Ｉはルツボ／４を内の磁性材料／３の走査域／夕を走
査照射するように設計されている。走査域／りは冷却キ
ャンｌ／の表面に沿って移動するテープ状非磁性体７．
２の幅方向に略平行になっている。２個の電子銃／ｊ１
／６からの電子ビーム／７、／／はその走査周波数の
位相が異なるように設定されておシ、−個の電子ビーム
／２、／ｒは走査域／りの同一個所を同時には照射しな
いようになっている。走査域を照射する電子ビームの個
数をｎとした時、電子ビームノ位相は°３６０’ だ
けずらすようにするのが特に好ましい。さらにテープ状
非磁性基体／コの移動速度をυ（ｍ／分）とし、走査域
／りの走査幅をω（ｍ）とした時、電子ビームの走査周
波数をコωυ ｎ （Ｈｚ）以上、特に好ましくは−Ｖ（Ｈｚ）以上と
することが好ましい。本発明者らは電子ビーム走査によ
る蒸着について種々検討の結果、少なくとも一個の電子
ビームを位相をずらして走査せしめて製造された磁気記
録媒体は磁気特性がすぐれると共に電磁変換特性にすぐ
れた蒸着磁性薄膜型磁気記録媒体であることを見出し、
本発明にいたった。
本発明の方法によって磁気記録媒体を製造する場合、磁
性薄膜を形成させるだめの強磁性金属としてはＦｅ５Ｃ
ｏ、Ｎｉ等の金属あるいはＦｅ−ＣへＦｅ−Ｎｉ、Ｃｏ
−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｒｈ、Ｆｅ−Ｃｕ、
Ｆｅ−８ｉ、Ｃｏ−Ｃｕ、Ｃｏ−Ａｕ、Ｃｏ−Ｙ、Ｃｏ
−Ｌａ、Ｃｏ−Ｐｒ、Ｃｏ−Ｇｄ。
性薄膜を形成させるだめの強磁性金属としてはＦｅ５Ｃ
ｏ、Ｎｉ等の金属あるいはＦｅ−ＣへＦｅ−Ｎｉ、Ｃｏ
−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｒｈ、Ｆｅ−Ｃｕ、
Ｆｅ−８ｉ、Ｃｏ−Ｃｕ、Ｃｏ−Ａｕ、Ｃｏ−Ｙ、Ｃｏ
−Ｌａ、Ｃｏ−Ｐｒ、Ｃｏ−Ｇｄ。
Ｃｏ−８ｍ、Ｃｏ−ＰＬ、Ｃｏ−８ｉ、Ｃｏ−Ｍｎ。
Ｃｏ−ＰＸＮｉ−ＣｕＳＭｎ−Ｂｉ、Ｍｎ−５ｂ。
Ｍｎ−Ａ、ＣＦｅ−Ｃｒ５Ｃｏ−Ｃｒ、Ｎｉ−Ｃｒ。
Ｆｅ−Ｐ、Ｎ１−ＰＸＣｏ−Ｎｉ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎ１−Ｂ
、Ｃｏ−Ｎｉ−Ａｇ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ、Ｆｅ−Ｃｏ−
Ｃｒ、 Ｆｅ−Ｃｏ −Ｎｉ −Ｃｒ、 Ｃｏ −Ｎｉ
−Ｚｎ、Ｃｏ−Ｎ１−Ｗ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎ１−Ｐ等の
ような強磁性合金が用いられる。磁性膜の厚さは、磁気
記録媒体として充分な出力を与え得る厚さおよび高密度
記録の充分室なえる薄さを必要とすることから一般には
０．０２μｍから！、θμｍ１好ましくはθ、Ｏｊｐｍ
から２．０μｍである。
、Ｃｏ−Ｎｉ−Ａｇ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ、Ｆｅ−Ｃｏ−
Ｃｒ、 Ｆｅ−Ｃｏ −Ｎｉ −Ｃｒ、 Ｃｏ −Ｎｉ
−Ｚｎ、Ｃｏ−Ｎ１−Ｗ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎ１−Ｐ等の
ような強磁性合金が用いられる。磁性膜の厚さは、磁気
記録媒体として充分な出力を与え得る厚さおよび高密度
記録の充分室なえる薄さを必要とすることから一般には
０．０２μｍから！、θμｍ１好ましくはθ、Ｏｊｐｍ
から２．０μｍである。
なお蒸着時に０２ ％ Ｃ０２、Ｎ２、Ｎ Ｈｓ、スチ
レン等のガスを導入して磁性薄膜中にＯ，Ｎ、 Ｃ等の
元素を含有させるようにしてもいい。
レン等のガスを導入して磁性薄膜中にＯ，Ｎ、 Ｃ等の
元素を含有させるようにしてもいい。
テープ状非磁性基体としてはポリエチレンテレフタレー
ト、ポリイミド、ポリアミド、ポリ塩化ビニル、三酢酸
セルロース、ポリカーボネート、ホリエチレンナフタレ
ート、ホリフエエレンサルファイドのようなゾシスチツ
クベース、あるいはＡｌＸＡｌ！合金、Ｔｉ、Ｔｉ合金
、ステンレス鋼のような金属帯が用いられる。
ト、ポリイミド、ポリアミド、ポリ塩化ビニル、三酢酸
セルロース、ポリカーボネート、ホリエチレンナフタレ
ート、ホリフエエレンサルファイドのようなゾシスチツ
クベース、あるいはＡｌＸＡｌ！合金、Ｔｉ、Ｔｉ合金
、ステンレス鋼のような金属帯が用いられる。
ルツボ／４ｔから蒸発された磁性材料／３を補給するた
めに線状、粒状、帯状、棒状の磁性材料をルツボ／４ｔ
に上、下あるいは横から連続的あるいは断続的に供給す
るような機構を設けてもよい。
めに線状、粒状、帯状、棒状の磁性材料をルツボ／４ｔ
に上、下あるいは横から連続的あるいは断続的に供給す
るような機構を設けてもよい。
さらに磁性材料の蒸気流をテープ状基板面に斜めに入射
させる斜方入射真空蒸着法による場合には入射角を３０
°〜りＯｏの範囲にするのが好ましい。
させる斜方入射真空蒸着法による場合には入射角を３０
°〜りＯｏの範囲にするのが好ましい。
さらに本発明においてテープ状非磁性基体上に有機ある
いは無機物よりなる下地層を設けてもよい。磁性薄膜を
多層化したり、各磁性膜間に有機あるいは無機物よシな
る中間層を設けてもよい。
いは無機物よりなる下地層を設けてもよい。磁性薄膜を
多層化したり、各磁性膜間に有機あるいは無機物よシな
る中間層を設けてもよい。
また磁性膜上に有機あるいは無機物よシなる保護層を設
けてもよい。
けてもよい。
次に実施例をもって本発明を具体的に説明するが本発明
はこれらに限定されるものではない。
はこれらに限定されるものではない。
実施例／
第７図に示す装置を用いて７２μｍ厚のポリエチレンテ
レフタレートフィルム上に強磁性薄膜を形成し磁気記録
媒体を作製した。磁性金属材料としてはＣｏ−Ｎｉ （
Ｎｉ ２ｉ重量％）をルツボにチャージし、それぞれ加
速電圧Ｊ ｊ ｋＶの一個の電子銃よりの電子ビーム照
射により加熱蒸発させた。
レフタレートフィルム上に強磁性薄膜を形成し磁気記録
媒体を作製した。磁性金属材料としてはＣｏ−Ｎｉ （
Ｎｉ ２ｉ重量％）をルツボにチャージし、それぞれ加
速電圧Ｊ ｊ ｋＶの一個の電子銃よりの電子ビーム照
射により加熱蒸発させた。
電子ビームの走査幅はθ、ｊｍ、走査周波数は３０Ｈｚ
、ポリエチレンテレフタレートフィルムの移動速度は１
０ｍ７分とした。蒸着の際は、蒸気流の近傍に酸素を導
入して、真空度が／、♂Ｘ７０”−’Ｔｏｒｒとなるよ
うＩＩＣＬ、膜厚０−／Ｊｐｍの磁性薄膜を形成せしめ
て磁気テープを作製した。
、ポリエチレンテレフタレートフィルムの移動速度は１
０ｍ７分とした。蒸着の際は、蒸気流の近傍に酸素を導
入して、真空度が／、♂Ｘ７０”−’Ｔｏｒｒとなるよ
うＩＩＣＬ、膜厚０−／Ｊｐｍの磁性薄膜を形成せしめ
て磁気テープを作製した。
電子銃／！のみを使用して得た磁気テープをサンプル／
とし、電子銃／ｇのみを使用して得た磁気テープをサン
プルコとした。さらに２個の電子銃／ｊ、／ｌの両方を
使用し、走査周波数の位相差をそれぞれθ°、９０°、
／１００として得られた磁気テープをサンプルｊ、ｇ、
ｊとした。
とし、電子銃／ｇのみを使用して得た磁気テープをサン
プルコとした。さらに２個の電子銃／ｊ、／ｌの両方を
使用し、走査周波数の位相差をそれぞれθ°、９０°、
／１００として得られた磁気テープをサンプルｊ、ｇ、
ｊとした。
こうして得た磁気テープの磁気特性Ｂ−Ｈ曲線で００躬
値およびテープとヘッド相対速ａｘ 度が３．７Ｊ−ｍ７秒なるＶＴＲでｊＭＨｚの信号を記
録し再生した時のエンベロープ特性を測定したところ下
表のようであった。
値およびテープとヘッド相対速ａｘ 度が３．７Ｊ−ｍ７秒なるＶＴＲでｊＭＨｚの信号を記
録し再生した時のエンベロープ特性を測定したところ下
表のようであった。
＠（１）Ｂ−Ｈ特性は振動型マグネトメーターにて外部
磁場ｊ ０００ Ｃｅ印加によシ測定し、（ｄＨ）ｍａ
ｘ は相対値として求めた。
磁場ｊ ０００ Ｃｅ印加によシ測定し、（ｄＨ）ｍａ
ｘ は相対値として求めた。
（２） エンベロープは次の！段階評価によシ判定し
た。
た。
◎ 非常に良い Ｏ良 い
Δ普通 Ｘ悪い
×× 非常に悪い
このように位相の異なる２個の電子ビームによシ磁性金
属材料を走査加熱蒸発させることにより得られる磁気テ
ープは（：Ｈ）ｍａエ 値が向上し、すぐれたエンベロ
ープ特性を示すことが確かめられた。
属材料を走査加熱蒸発させることにより得られる磁気テ
ープは（：Ｈ）ｍａエ 値が向上し、すぐれたエンベロ
ープ特性を示すことが確かめられた。
実施例λ
実施例／と同様の装置において、電子銃を３個設置した
装置によシ、ｌコ、！μｍ厚のポリイミドフィルム上Ｋ
ＣｏＣｒ （Ｃｒ ： ｊｗ ｔ Ｔｏ ）よ構成る強
磁性薄膜を形成せしめ磁気記録媒体を作製した。真空度
／、ｊＸ１０−８ＴｏｒｒＫてＣｏ−Ｃｒを蒸着せしめ
膜厚Ｏ，コ！μｍとなるよう磁性薄膜を形成した。電子
ビームの走査幅は０８２ｍ。
装置によシ、ｌコ、！μｍ厚のポリイミドフィルム上Ｋ
ＣｏＣｒ （Ｃｒ ： ｊｗ ｔ Ｔｏ ）よ構成る強
磁性薄膜を形成せしめ磁気記録媒体を作製した。真空度
／、ｊＸ１０−８ＴｏｒｒＫてＣｏ−Ｃｒを蒸着せしめ
膜厚Ｏ，コ！μｍとなるよう磁性薄膜を形成した。電子
ビームの走査幅は０８２ｍ。
走査周波数はｊ）Ｈｚ、ポリイミドフィルムの移動速度
はｌ０ｍ１分とした。７個の電子ビームのみを使用して
得た磁気テープをサンプル４とし、３個の電子銃を全て
使用し走査周波数の位相値をｏ Ｏ１Δ００、／２０°
として得られた磁気テープをそれぞれサンプルク、１１
タとした。これらのサンプルについて実施例／と同様
にして７ｍａｘ値およびエンベロープ特性を測定したと
ころ下表のようであった。
はｌ０ｍ１分とした。７個の電子ビームのみを使用して
得た磁気テープをサンプル４とし、３個の電子銃を全て
使用し走査周波数の位相値をｏ Ｏ１Δ００、／２０°
として得られた磁気テープをそれぞれサンプルク、１１
タとした。これらのサンプルについて実施例／と同様
にして７ｍａｘ値およびエンベロープ特性を測定したと
ころ下表のようであった。
このように３個の電子ビームの走査周波数の位相を異な
らせて得た蒸着型磁気テープは（脣Ｈ）ｍａｘ値が向上
し、すぐれたエンベロープ特性を示すことが確かめられ
た。
らせて得た蒸着型磁気テープは（脣Ｈ）ｍａｘ値が向上
し、すぐれたエンベロープ特性を示すことが確かめられ
た。
本発明の蒸着法による磁気記録媒体の製造方法によれば
磁気特性および電磁変換特性の改良された磁気記録媒体
を得ることができるものである。
磁気特性および電磁変換特性の改良された磁気記録媒体
を得ることができるものである。
高密度記録に際しては記録波長が小さくなると自己減磁
損失が増すためけす Ｈｍａｘ 値の大なるこ とが必要となるが本発明の方法によるとこの目的に合っ
た磁気記録媒体を製造することができる。
損失が増すためけす Ｈｍａｘ 値の大なるこ とが必要となるが本発明の方法によるとこの目的に合っ
た磁気記録媒体を製造することができる。
さらにすぐれたＶＴＲ再生画像を得るにはエンベロープ
のすぐれることが必要であるが、本発明によればエンベ
ロープの改良された磁性薄膜型磁気記録媒体を得ること
ができる。
のすぐれることが必要であるが、本発明によればエンベ
ロープの改良された磁性薄膜型磁気記録媒体を得ること
ができる。
第７図は本発明による磁気記録媒体を製造する方法を実
施するための装置例を示している。 ｌ／ニジリンダ−状冷却キャン ｌλ：テープ状非磁性基体 ／３：磁性材料 ／ダニＭ発源ルツボ ／！、ｌご：電子銃 ／７、／／：電子ビーム ／り：走査域
施するための装置例を示している。 ｌ／ニジリンダ−状冷却キャン ｌλ：テープ状非磁性基体 ／３：磁性材料 ／ダニＭ発源ルツボ ／！、ｌご：電子銃 ／７、／／：電子ビーム ／り：走査域
Claims (1)
- 真空雰囲気において連続して移動するテープ状非磁性基
体上に、電子ビームの走査加熱により蒸発せしめられた
磁性材料の蒸気流を差し向け、該非磁性基体上に蒸着磁
性薄膜を形成せしめて磁気記録媒体を製造する方法にお
いて、該非磁性基体幅方向と略平行な磁性材料蒸発源上
の電子ビーム走査域を少なくとも２個の電子ビームにて
走査すると共に、各電子ビームの走査周波数の位相を異
なるようにすることを特徴とする磁気記録媒体の製造方
法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21692284A JPS6194239A (ja) | 1984-10-16 | 1984-10-16 | 磁気記録媒体の製造方法 |
| US06/788,177 US4604293A (en) | 1984-10-16 | 1985-10-16 | Process for producing magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21692284A JPS6194239A (ja) | 1984-10-16 | 1984-10-16 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6194239A true JPS6194239A (ja) | 1986-05-13 |
| JPH0341898B2 JPH0341898B2 (ja) | 1991-06-25 |
Family
ID=16696026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21692284A Granted JPS6194239A (ja) | 1984-10-16 | 1984-10-16 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6194239A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5302208A (en) * | 1992-02-08 | 1994-04-12 | Leybold Aktiengesellschaft | Vacuum coating installation |
| WO1997040206A1 (fr) * | 1996-04-22 | 1997-10-30 | Toyo Metallizing Co., Ltd. | Dispositif et procede pour le depot en phase vapeur en continu sur un film |
-
1984
- 1984-10-16 JP JP21692284A patent/JPS6194239A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5302208A (en) * | 1992-02-08 | 1994-04-12 | Leybold Aktiengesellschaft | Vacuum coating installation |
| WO1997040206A1 (fr) * | 1996-04-22 | 1997-10-30 | Toyo Metallizing Co., Ltd. | Dispositif et procede pour le depot en phase vapeur en continu sur un film |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0341898B2 (ja) | 1991-06-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |