JPS6177125A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS6177125A JPS6177125A JP59197791A JP19779184A JPS6177125A JP S6177125 A JPS6177125 A JP S6177125A JP 59197791 A JP59197791 A JP 59197791A JP 19779184 A JP19779184 A JP 19779184A JP S6177125 A JPS6177125 A JP S6177125A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- magnetic
- medium
- magnetic recording
- recording medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、特に自直磁気記録媒体に関するものでｂる。
例えば、オーディオ用又はビデオ用の記録再生装置ｔあ
るいはコンピュータ等の記憶装置においては、ペース上
に磁性層塗膜の設けられた磁気記録媒体が用いられてお
シ、リング型磁気ヘッドを用いて磁気記録媒体の水平方
向に磁化を向けるといった水平磁気記録方式が用いられ
ている。
るいはコンピュータ等の記憶装置においては、ペース上
に磁性層塗膜の設けられた磁気記録媒体が用いられてお
シ、リング型磁気ヘッドを用いて磁気記録媒体の水平方
向に磁化を向けるといった水平磁気記録方式が用いられ
ている。
とζろが、この水平磁気記録方式による記録の場合、記
録信号が短波長になるにつれ、すなわち記録密度を増加
してゆくにつれ、媒体内の反磁界が増し、残留磁化の減
衰と回転とを生じ、再生出力が著しく減少することより
、水平磁気記録方式では高密度化に対応できない。
録信号が短波長になるにつれ、すなわち記録密度を増加
してゆくにつれ、媒体内の反磁界が増し、残留磁化の減
衰と回転とを生じ、再生出力が著しく減少することより
、水平磁気記録方式では高密度化に対応できない。
そこで、最近に至り、上記のような媒体面内に記録する
水平磁気記録方式にかわる新しい記録方式として当直磁
気記録方式が注目を集めている。
水平磁気記録方式にかわる新しい記録方式として当直磁
気記録方式が注目を集めている。
この垂直磁気記録方式とは、磁化容易軸が膜面法線方向
である磁気記録媒体を用い、膜面に対して垂直方向に記
録磁化モードを構成するものであって、記録信号が短波
長になるにつれ媒体内の反磁界が小さくなるので、高密
度化に適しているのである。
である磁気記録媒体を用い、膜面に対して垂直方向に記
録磁化モードを構成するものであって、記録信号が短波
長になるにつれ媒体内の反磁界が小さくなるので、高密
度化に適しているのである。
そして、このような垂直磁気記録媒体として、例えば非
磁性基体上に約０．１〜０，５μｍ厚、例えば０．５５
μｍ厚の非晶質のＣｏ−Ｔａ合金低抗磁力膜を設け、こ
の低抗磁力膜上にＴａが約２〜１０原子係、特にλ５〜
ａ５原子チのＣｏ−Ｃｒ −Ｔａ 合金の磁性膜を約
０．１〜０．５μｍ厚、例えば０．５μｍ厚設けた二層
膜の磁気記録媒体が提案（特開昭５８−１６９３３１号
）されている。
磁性基体上に約０．１〜０，５μｍ厚、例えば０．５５
μｍ厚の非晶質のＣｏ−Ｔａ合金低抗磁力膜を設け、こ
の低抗磁力膜上にＴａが約２〜１０原子係、特にλ５〜
ａ５原子チのＣｏ−Ｃｒ −Ｔａ 合金の磁性膜を約
０．１〜０．５μｍ厚、例えば０．５μｍ厚設けた二層
膜の磁気記録媒体が提案（特開昭５８−１６９３３１号
）されている。
ところが、この提案の磁気記録媒体は二層膜構造のもの
であり、従ってそれだけ製造工程は面倒であり、製造コ
ストも高いものであり、又、磁気ヘッドとのあたりも良
くなく、再生具合の優れたものではなかった。
であり、従ってそれだけ製造工程は面倒であり、製造コ
ストも高いものであり、又、磁気ヘッドとのあたりも良
くなく、再生具合の優れたものではなかった。
本発明者は、前記提案の磁気記録媒体を基にして一層膜
構造の磁気記録媒体、つまり特開昭５８−１６９３３１
号公報において垂直磁気異方性、記録密度及び記録感匿
の面に大巾な向上が可能とされているＴａ濃度が３．５
〜６．５原子チの、例えば４原子チのＣｏ −Ｃｒ−Ｔ
ａ合金の磁性膜を非磁性基板上に設けた磁気記録媒体を
試作してみた。
構造の磁気記録媒体、つまり特開昭５８−１６９３３１
号公報において垂直磁気異方性、記録密度及び記録感匿
の面に大巾な向上が可能とされているＴａ濃度が３．５
〜６．５原子チの、例えば４原子チのＣｏ −Ｃｒ−Ｔ
ａ合金の磁性膜を非磁性基板上に設けた磁気記録媒体を
試作してみた。
ところが、この磁気記録媒体は、予想に反してロッキン
グカーブの半値幅ΔθＳ拳がＴａを添加しない場合より
も大きくなり（結晶配向性が低下）、又、飽和磁化Ｍｓ
が著しく低下し、垂直磁気記録媒体としては実用上老く
用いられないものであった。
グカーブの半値幅ΔθＳ拳がＴａを添加しない場合より
も大きくなり（結晶配向性が低下）、又、飽和磁化Ｍｓ
が著しく低下し、垂直磁気記録媒体としては実用上老く
用いられないものであった。
本発明者は、前記特開昭５８−１６９３３１号の技術思
想を基にした、つまり最良とされるＴａを３．５〜６，
５原子％含むＣｏ−Ｃｒ−Ｔａ合金磁性膜の構成された
一層膜構造の記録媒体が何故良好なものとならないのか
を検討した結果、特開昭５８−１６９３３１号の磁気記
録媒体はＣｏ−Ｔａ非晶質合金磁性膜上にＧｏ −Ｃｒ
−Ｔａ合金磁性膜を設けた二層構造のものであるん、こ
のような差が基本的な原因となって２〜１０原子チ、特
に３．５〜６．５原子チのＣｏ−Ｃｒ −Ｔａ合金の磁
性膜は垂直磁気記録媒体として望ましくないのでおろう
と推察した。
想を基にした、つまり最良とされるＴａを３．５〜６，
５原子％含むＣｏ−Ｃｒ−Ｔａ合金磁性膜の構成された
一層膜構造の記録媒体が何故良好なものとならないのか
を検討した結果、特開昭５８−１６９３３１号の磁気記
録媒体はＣｏ−Ｔａ非晶質合金磁性膜上にＧｏ −Ｃｒ
−Ｔａ合金磁性膜を設けた二層構造のものであるん、こ
のような差が基本的な原因となって２〜１０原子チ、特
に３．５〜６．５原子チのＣｏ−Ｃｒ −Ｔａ合金の磁
性膜は垂直磁気記録媒体として望ましくないのでおろう
と推察した。
そこで、本発明者は、さらに研究した結果、非磁性基体
上にＴａを約０．１９原子チ以下しか含まないＣｏ−Ｃ
ｒ系結晶質合金膜の磁性膜を約０．１〜０．３μｍμｍ
酸形成磁気記録媒体は、実用上の目安とされる３００ｅ
ｍｕ／ｃｃを飽和磁化は越えておシ、又垂直方向の保磁
力も大きく、垂直異方性に富んでおり、垂直磁気記録媒
体として極めて優れたものであり、又、垂直磁化膜の厚
みが薄いことよりクラック等は起きにくり、柔軟性に富
み、磁気ヘッドとの６たりが艮く、従って再生具合もそ
れだけ良くなり、父、垂直磁化膜溝底材料は少なく、そ
れだけ材料費も少なくてすみ、又、成膜に要する時間も
短かく、！ｉに２層膜構造ではないので製造工程も簡単
となり、低コストでできろものであることを見い出した
。
上にＴａを約０．１９原子チ以下しか含まないＣｏ−Ｃ
ｒ系結晶質合金膜の磁性膜を約０．１〜０．３μｍμｍ
酸形成磁気記録媒体は、実用上の目安とされる３００ｅ
ｍｕ／ｃｃを飽和磁化は越えておシ、又垂直方向の保磁
力も大きく、垂直異方性に富んでおり、垂直磁気記録媒
体として極めて優れたものであり、又、垂直磁化膜の厚
みが薄いことよりクラック等は起きにくり、柔軟性に富
み、磁気ヘッドとの６たりが艮く、従って再生具合もそ
れだけ良くなり、父、垂直磁化膜溝底材料は少なく、そ
れだけ材料費も少なくてすみ、又、成膜に要する時間も
短かく、！ｉに２層膜構造ではないので製造工程も簡単
となり、低コストでできろものであることを見い出した
。
つまり、 Ｃｏ及びＣｒを言む合金にＴａを約１．９原
子チ以下、特に凪ましくけ約０．５〜１．５原子チ添加
してかくことにより、この合金微結晶のＣ軸配向性が向
上し、産直異方性が高オシ、又、飽和磁化等の磁気特性
も良好であり、薄い磁化膜で優れた垂直磁気記録媒体を
提供でさることを見い出したのである。
子チ以下、特に凪ましくけ約０．５〜１．５原子チ添加
してかくことにより、この合金微結晶のＣ軸配向性が向
上し、産直異方性が高オシ、又、飽和磁化等の磁気特性
も良好であり、薄い磁化膜で優れた垂直磁気記録媒体を
提供でさることを見い出したのである。
同、ｍ ｍ ｈｆ化膜中のＣｒの含有絃は約５〜２０原
子チのものであることが宋ましく、つ−１′シＣｒが２
０原子チを越えて多い場合あるいは５原子チ未Ａの少な
すさ゛る場合には望ましい６ム気特性のものとな９に＜
＜、特に垂直磁化膜の厚みを約０．１−０．３μｍ゛と
いったように薄くした場合に磁気特性が望ｌしいものと
なりＶこくい。
子チのものであることが宋ましく、つ−１′シＣｒが２
０原子チを越えて多い場合あるいは５原子チ未Ａの少な
すさ゛る場合には望ましい６ム気特性のものとな９に＜
＜、特に垂直磁化膜の厚みを約０．１−０．３μｍ゛と
いったように薄くした場合に磁気特性が望ｌしいものと
なりＶこくい。
尚、本発明はＧｏ−Ｃｒ−Ｔａの３成分系に限られるも
のではなく、不可避不純物の他に、例えばＭｏ、Ｎｂ、
Ｗ等を含んでいても差し支えないもので多る。
のではなく、不可避不純物の他に、例えばＭｏ、Ｎｂ、
Ｗ等を含んでいても差し支えないもので多る。
真空度的ｌＸｌ０−’Ｔｏｒｒ、フルーｆ：ｙ ｌｆス
ＦＥ ｌＸｌ０−”Ｔｏｒｒ、投入電力１０００Ｗ、タ
ーゲット基板間距離１１０ ｍの条件で、ＲＦマグネト
ロンスパッタ装置を用い、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ系合金微結
晶の垂直磁化膜の当直磁化膜組成及び膜厚は、実施例１
のものでは（Ｃｏ ｓａｇ Ｃｒ ｔａｍ ） ＊＋ｕ
Ｔａ Ｌｌ及び０．１９μｍであり、実施例２のもの
では（Ｃｏ ＋＋ａｉ Ｃｒ ｌ１ｌｏＩ＆？ Ｔａ
Ｌ３及び０８１９μｍである。
ＦＥ ｌＸｌ０−”Ｔｏｒｒ、投入電力１０００Ｗ、タ
ーゲット基板間距離１１０ ｍの条件で、ＲＦマグネト
ロンスパッタ装置を用い、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ系合金微結
晶の垂直磁化膜の当直磁化膜組成及び膜厚は、実施例１
のものでは（Ｃｏ ｓａｇ Ｃｒ ｔａｍ ） ＊＋ｕ
Ｔａ Ｌｌ及び０．１９μｍであり、実施例２のもの
では（Ｃｏ ＋＋ａｉ Ｃｒ ｌ１ｌｏＩ＆？ Ｔａ
Ｌ３及び０８１９μｍである。
〔比較例１〜３〕
約２０μｍ厚のポリイミド非磁性基板上に、前記実施例
と同様なＲＦマグネトロンスパッタ装置を用いて同様に
して膜組成及び膜厚がＣｏ ｓｏ Ｃｒ２ｏ及び０．２
８μｍ（比較例１）、（Ｃｏ ｓｌｗ Ｃ１ｓｔす９ｔ
４Ｔａｚｓ及び０．１９μｍ （比較例２）、（Ｃｏ’
ｓａｚ Ｃｒ＋ａｓ）ｏｓＴｌａ及び０．１８μｍ（比
較例３）の垂直磁化膜を構成し丸。
と同様なＲＦマグネトロンスパッタ装置を用いて同様に
して膜組成及び膜厚がＣｏ ｓｏ Ｃｒ２ｏ及び０．２
８μｍ（比較例１）、（Ｃｏ ｓｌｗ Ｃ１ｓｔす９ｔ
４Ｔａｚｓ及び０．１９μｍ （比較例２）、（Ｃｏ’
ｓａｚ Ｃｒ＋ａｓ）ｏｓＴｌａ及び０．１８μｍ（比
較例３）の垂直磁化膜を構成し丸。
上記実施例２の磁気記録媒体に記録された残留磁化をリ
ングヘッドで再生した際の再生波形を示すと、第１図に
示す通りであり、双峰性パルス状の再生波形でおること
から、本実施例のものは垂直磁気記録媒体でおることが
わかる。つまり、残留磁化成分が水平方向成分のみの場
合には単峰性パルス状の再生波形であるのに対し、垂直
方向成分が多くなるにつれて双峰性パルス状のものとな
るからである。
ングヘッドで再生した際の再生波形を示すと、第１図に
示す通りであり、双峰性パルス状の再生波形でおること
から、本実施例のものは垂直磁気記録媒体でおることが
わかる。つまり、残留磁化成分が水平方向成分のみの場
合には単峰性パルス状の再生波形であるのに対し、垂直
方向成分が多くなるにつれて双峰性パルス状のものとな
るからである。
父、上記実施例及び比較例の磁気記録媒体の飽和磁化Ｍ
ｓ、画直方向の保磁力ＨＣＬ、水平方向の保磁力ＨＣ／
／、水平方向磁化曲線の角型比Ｒｓ＋＋、ロッキングカ
ーブの半値幅Δ０ｓ・を測定すると、表に示す通りであ
る。
ｓ、画直方向の保磁力ＨＣＬ、水平方向の保磁力ＨＣ／
／、水平方向磁化曲線の角型比Ｒｓ＋＋、ロッキングカ
ーブの半値幅Δ０ｓ・を測定すると、表に示す通りであ
る。
すなわち、本実施例のものは、現在実用上の目安とされ
ている３００ｅｍｕ／ｃｃを飽和磁化は越えておシ、又
ＨｃＬも大きく、かりΔ＃＄・の値も小さくなっており
（結晶配向性の向上）、垂直磁気記録媒体として優れて
いることがわかる。
ている３００ｅｍｕ／ｃｃを飽和磁化は越えておシ、又
ＨｃＬも大きく、かりΔ＃＄・の値も小さくなっており
（結晶配向性の向上）、垂直磁気記録媒体として優れて
いることがわかる。
又、実施例２のものと比較例１，２のものについての波
長特性を測定すると第２図に示す通りであり、実施例２
のものは比較例１のものに比べてその膜厚が約ｉである
にもかかわらず短波長領域での再生出力はＴａ添加によ
って逆に大きくなっており、そしてＴａ添加量が多くな
りすぎると約０．５μｍ程度の記録波長では出力が低く
、従って本発明の磁気記録媒体は高密度記録に優れたも
のであることがわかる。
長特性を測定すると第２図に示す通りであり、実施例２
のものは比較例１のものに比べてその膜厚が約ｉである
にもかかわらず短波長領域での再生出力はＴａ添加によ
って逆に大きくなっており、そしてＴａ添加量が多くな
りすぎると約０．５μｍ程度の記録波長では出力が低く
、従って本発明の磁気記録媒体は高密度記録に優れたも
のであることがわかる。
そして、上記実施例のものは当直磁化膜の膜厚が約０．
２μｍと薄いにもかかわらず優れた磁気特性を示してお
り、さらにはこのように垂直磁化膜の厚みが薄いと柔軟
性に富んでいて磁気ヘッドとのめたシが良く、再生特性
が良いものとなっている。
２μｍと薄いにもかかわらず優れた磁気特性を示してお
り、さらにはこのように垂直磁化膜の厚みが薄いと柔軟
性に富んでいて磁気ヘッドとのめたシが良く、再生特性
が良いものとなっている。
優れた垂直磁気記録媒体であり、しかも垂直磁化膜の厚
みが薄いので生産性は高く、かつ材料コストも低廉であ
り、低コストでできる。
みが薄いので生産性は高く、かつ材料コストも低廉であ
り、低コストでできる。
第１図及び第２図は、磁気記録媒体の特性を示すグラフ
である。
である。
Claims (1)
- 非磁性基体上にＴａを約１．９原子％以下含むＣｏ−Ｃ
ｒ系結晶質合金の磁性膜を約０．１〜０．３μｍ厚形成
したことを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59197791A JPS6177125A (ja) | 1984-09-22 | 1984-09-22 | 磁気記録媒体 |
| KR1019850006781A KR890004255B1 (ko) | 1984-09-22 | 1985-09-17 | 자기 기록 매체 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59197791A JPS6177125A (ja) | 1984-09-22 | 1984-09-22 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6177125A true JPS6177125A (ja) | 1986-04-19 |
Family
ID=16380407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59197791A Pending JPS6177125A (ja) | 1984-09-22 | 1984-09-22 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6177125A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62233959A (ja) * | 1986-04-03 | 1987-10-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電話機 |
| JPH01176316A (ja) * | 1987-12-29 | 1989-07-12 | Nec Corp | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
| JPH08273141A (ja) * | 1995-03-27 | 1996-10-18 | Akita Pref Gov | 薄膜磁気記録媒体 |
| US5945190A (en) * | 1997-02-17 | 1999-08-31 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium and magnetic disk device |
| US6387483B1 (en) | 1997-12-18 | 2002-05-14 | Nec Corporation | Perpendicular magnetic recording medium and manufacturing process therefor |
-
1984
- 1984-09-22 JP JP59197791A patent/JPS6177125A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62233959A (ja) * | 1986-04-03 | 1987-10-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電話機 |
| JPH01176316A (ja) * | 1987-12-29 | 1989-07-12 | Nec Corp | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
| JPH08273141A (ja) * | 1995-03-27 | 1996-10-18 | Akita Pref Gov | 薄膜磁気記録媒体 |
| US5945190A (en) * | 1997-02-17 | 1999-08-31 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium and magnetic disk device |
| US6387483B1 (en) | 1997-12-18 | 2002-05-14 | Nec Corporation | Perpendicular magnetic recording medium and manufacturing process therefor |
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