JPS6177126A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS6177126A JPS6177126A JP59197792A JP19779284A JPS6177126A JP S6177126 A JPS6177126 A JP S6177126A JP 59197792 A JP59197792 A JP 59197792A JP 19779284 A JP19779284 A JP 19779284A JP S6177126 A JPS6177126 A JP S6177126A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- film
- magnetic recording
- recording medium
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、特に垂直磁気記録媒体に関するものである。
例えば、オーディオ用又はビデオ用の記録再生装置ある
いはコンピュータ等の記憶装置においては、ペース上に
磁性層塗膜の設けられた磁気記録媒体が用いられており
、リング型磁気ヘッドを用いて磁気記録媒体の水平方向
に磁化を向けるといった水平磁気記録方式が用いられて
いる。
いはコンピュータ等の記憶装置においては、ペース上に
磁性層塗膜の設けられた磁気記録媒体が用いられており
、リング型磁気ヘッドを用いて磁気記録媒体の水平方向
に磁化を向けるといった水平磁気記録方式が用いられて
いる。
ところが、この水平磁気記録方式による記録の場合、記
録信号が短波長になるにつれ、すなわち記録密度を増加
してゆくにつれ、媒体内の反磁界が増し、残留磁化の減
衰と回転とを生じ、再生出力が著しく減少することよシ
、水平磁気記録方式では高密度化に対応できない。
録信号が短波長になるにつれ、すなわち記録密度を増加
してゆくにつれ、媒体内の反磁界が増し、残留磁化の減
衰と回転とを生じ、再生出力が著しく減少することよシ
、水平磁気記録方式では高密度化に対応できない。
そこで、最近に至り、上記のような媒体面内に記録する
水平磁気記録方式にかわる新しい記録方式として垂直磁
気記録方式が注目を集めている。
水平磁気記録方式にかわる新しい記録方式として垂直磁
気記録方式が注目を集めている。
この垂直磁気記録方式とは、磁化容易釉が膜面法線方向
である磁気記録媒体を用い、膜面に対して垂直方向に記
録磁化モードを構成するものであって、記録信号が短波
長になるにつれ媒体内の反磁界が小さくなるので、高密
度化に適しているのでめる。
である磁気記録媒体を用い、膜面に対して垂直方向に記
録磁化モードを構成するものであって、記録信号が短波
長になるにつれ媒体内の反磁界が小さくなるので、高密
度化に適しているのでめる。
そして、このような垂直磁気記録媒体として、例えばコ
バルトにクロムを含有せしめ、更に第３成分としてタン
グステンを２〜１０原子チ、例えば４．５原子チ含有せ
しめたｌｐｍ厚の磁性膜のものが提案（／ｌ！ｉ−開昭
５７−７３９１３号ンされている。
バルトにクロムを含有せしめ、更に第３成分としてタン
グステンを２〜１０原子チ、例えば４．５原子チ含有せ
しめたｌｐｍ厚の磁性膜のものが提案（／ｌ！ｉ−開昭
５７−７３９１３号ンされている。
ところが、この磁気記録媒体は、磁性層の厚みが厚いこ
とよシフラックが起きやすく、かつリング型磁気ヘッド
とのあたりが良くなく、再生具合の悪いものであり、か
つ磁気記録媒体の製造能率も悪く（成膜に時間がかかり
すぎる）、又磁性材料も多く要るのでコスト高なものと
なるといった欠点のあることがわかった。
とよシフラックが起きやすく、かつリング型磁気ヘッド
とのあたりが良くなく、再生具合の悪いものであり、か
つ磁気記録媒体の製造能率も悪く（成膜に時間がかかり
すぎる）、又磁性材料も多く要るのでコスト高なものと
なるといった欠点のあることがわかった。
又、単に磁性膜の厚みを薄くしても望ましい垂直磁気記
録媒体は得られないことがわかった。
録媒体は得られないことがわかった。
本発明者は、基体上にＷを約１．９原子チ以下しか含ま
ないＣｏ−Ｃｒ系合金の磁性膜を形成した磁気記録媒体
は、その膜厚が例えば約０．２μｍ厚と薄くても、飽和
磁化は大きく、又垂直方向の保磁力も大きく、垂直異方
性は高く、その磁気特性に優れており、父、当直磁化膜
の厚みが薄いとクラック等は起きにくく、柔軟性に富み
、磁気ヘッドとのあたりが良く、従って再生具合もそれ
だけ良くなり、しかも磁気記録材料の使用曖も残らせら
れ、それだけ生産性もよくかつ低コストなものとなるも
のでおることを見い出した。
ないＣｏ−Ｃｒ系合金の磁性膜を形成した磁気記録媒体
は、その膜厚が例えば約０．２μｍ厚と薄くても、飽和
磁化は大きく、又垂直方向の保磁力も大きく、垂直異方
性は高く、その磁気特性に優れており、父、当直磁化膜
の厚みが薄いとクラック等は起きにくく、柔軟性に富み
、磁気ヘッドとのあたりが良く、従って再生具合もそれ
だけ良くなり、しかも磁気記録材料の使用曖も残らせら
れ、それだけ生産性もよくかつ低コストなものとなるも
のでおることを見い出した。
つまり、Ｃｏ及びＣ「を言む合金にＷを約１．９原子チ
以下、特に（召ましくは約０．５〜１．５原子チ添加し
ておくことにより、この合金微結晶のＣ軸配向性が向上
し、垂直異方性が高まり、又、飽和磁化等の磁気特性も
良好であり、薄い垂直磁化膜で優れた磁気記録材料を提
供できることを見い出したのである。すなわち、Ｗを約
１．９原子チ以下、特に約０．５〜１．５原子チ添加し
ておくことにより優れた垂直磁化膜が得られるのである
が、２原子チを越えてＷを含んでいると、垂直磁化膜の
特性は劣下し、特（（垂直磁化膜の厚みが約０．１〜０
．２５μｍといったように薄い場合には事実上垂直磁気
記録媒体としては用いられないものとなることを見い出
した。
以下、特に（召ましくは約０．５〜１．５原子チ添加し
ておくことにより、この合金微結晶のＣ軸配向性が向上
し、垂直異方性が高まり、又、飽和磁化等の磁気特性も
良好であり、薄い垂直磁化膜で優れた磁気記録材料を提
供できることを見い出したのである。すなわち、Ｗを約
１．９原子チ以下、特に約０．５〜１．５原子チ添加し
ておくことにより優れた垂直磁化膜が得られるのである
が、２原子チを越えてＷを含んでいると、垂直磁化膜の
特性は劣下し、特（（垂直磁化膜の厚みが約０．１〜０
．２５μｍといったように薄い場合には事実上垂直磁気
記録媒体としては用いられないものとなることを見い出
した。
尚、垂直磁化１１へ中のＣｒの含有量は約５〜２０原子
チのものであることが望ましく、つまりＣｒが２０原子
％を越えて多い場合８るいは５原子チ未満の少なすぎる
場合には極めて望ましい磁気特性のものとなりに＜＜、
特に化１ｕ磁化膜の厚みを約０．１〜０．２５μｍとい
ったように薄くシ九場合に磁気特性が極めて望ましいも
のとならない。
チのものであることが望ましく、つまりＣｒが２０原子
％を越えて多い場合８るいは５原子チ未満の少なすぎる
場合には極めて望ましい磁気特性のものとなりに＜＜、
特に化１ｕ磁化膜の厚みを約０．１〜０．２５μｍとい
ったように薄くシ九場合に磁気特性が極めて望ましいも
のとならない。
そして、Ｗを営むＣｏ−Ｃｒ系合金よりなる垂直磁化膜
の４与は、厚い方が丹生出力値は大きくなるものの、厚
いと磁気記録媒体の柔軟性が低下し、磁気ヘッドとのあ
たりが低下し、再生具合が良くなくなるので、垂直磁化
膜の厚みは約０．１〜αだμｍ程要であることがｊｌ（
要である。同、このように垂直磁化膜の厚みを薄くして
も、Ｗを約１．９原子チ以下しか含まない、特に約０．
５〜１．５原子係含むＣｏ−Ｃｒ系合金微結晶膜よりな
る磁性＋１１：’４は、重置磁気異方性に優れており、
又再生出力も光分るり、ざらには磁性１！！、ｆをスパ
ッタ等のＰＶＤ手役で形成するのに薄い分密時間で処理
でき、それだけ製造ｆｉｇ 率も向上し、かつ材料のｆ
ｉｌも少なくてすむので低コストでできる。
の４与は、厚い方が丹生出力値は大きくなるものの、厚
いと磁気記録媒体の柔軟性が低下し、磁気ヘッドとのあ
たりが低下し、再生具合が良くなくなるので、垂直磁化
膜の厚みは約０．１〜αだμｍ程要であることがｊｌ（
要である。同、このように垂直磁化膜の厚みを薄くして
も、Ｗを約１．９原子チ以下しか含まない、特に約０．
５〜１．５原子係含むＣｏ−Ｃｒ系合金微結晶膜よりな
る磁性＋１１：’４は、重置磁気異方性に優れており、
又再生出力も光分るり、ざらには磁性１！！、ｆをスパ
ッタ等のＰＶＤ手役で形成するのに薄い分密時間で処理
でき、それだけ製造ｆｉｇ 率も向上し、かつ材料のｆ
ｉｌも少なくてすむので低コストでできる。
向、本屈明はＣｏ−Ｃｒ−Ｗの３成分系に限られるもの
ではなく、不１ｊＪ雁不純物の四に、レリえば八４ｏ、
Ｔａ、Ｎｂ等をＢんでいても差し支えないものでろ々
Ｏ 真空既約Ｉ Ｘ １０−’ Ｔｏｒｒ、フルーｆン１ｊ
ｘＦＥＩＸＩＯ−３Ｔｏｒｒ、投入電力１０００Ｗ、タ
ーゲット基板間距離１１０ｆｌの条件で、ＲＦマグネト
ロンスパッタ装置を用い、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｗ系合金微結晶
の垂直磁化膜をの垂直磁化膜組成及び膜厚は、実施例１
のものでは（ｃｏ８１２ＣｒＩ６８）９（ｓＷＩＩＬｓ
及び０．１８μｍ であり、実施例２のものでは（Ｃｏ
５ａ２Ｃｒ １１８ ）９に！ Ｗ ａｓ及び０．１
９μｍであり、実施例３のものでは（００８ユ２Ｃ１ｔ
ａｇ ） ＋１＆７ Ｗ １．ｓ及びＱ、２９μｍであ
る。
ではなく、不１ｊＪ雁不純物の四に、レリえば八４ｏ、
Ｔａ、Ｎｂ等をＢんでいても差し支えないものでろ々
Ｏ 真空既約Ｉ Ｘ １０−’ Ｔｏｒｒ、フルーｆン１ｊ
ｘＦＥＩＸＩＯ−３Ｔｏｒｒ、投入電力１０００Ｗ、タ
ーゲット基板間距離１１０ｆｌの条件で、ＲＦマグネト
ロンスパッタ装置を用い、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｗ系合金微結晶
の垂直磁化膜をの垂直磁化膜組成及び膜厚は、実施例１
のものでは（ｃｏ８１２ＣｒＩ６８）９（ｓＷＩＩＬｓ
及び０．１８μｍ であり、実施例２のものでは（Ｃｏ
５ａ２Ｃｒ １１８ ）９に！ Ｗ ａｓ及び０．１
９μｍであり、実施例３のものでは（００８ユ２Ｃ１ｔ
ａｇ ） ＋１＆７ Ｗ １．ｓ及びＱ、２９μｍであ
る。
〔比較例１及び２〕
約２０μｍ厚のポリイミド非磁性基板上に、前記実施例
と同様なＲＦマグネトロンスパッタ装置を用いて同様に
して厚み０．２８μｍの垂直磁化膜（膜組成Ｃｏ ｓｏ
Ｃｒｚａ 、比較例１）及び厚みＱ、１９μｍ厚の垂
直磁化膜（膜組成（Ｃｏ５１ｘ Ｃｒ ｔａｇ ） ＊
ｖ、３Ｗｔｔ、比較例２）を構成した。
と同様なＲＦマグネトロンスパッタ装置を用いて同様に
して厚み０．２８μｍの垂直磁化膜（膜組成Ｃｏ ｓｏ
Ｃｒｚａ 、比較例１）及び厚みＱ、１９μｍ厚の垂
直磁化膜（膜組成（Ｃｏ５１ｘ Ｃｒ ｔａｇ ） ＊
ｖ、３Ｗｔｔ、比較例２）を構成した。
上記実施例１〜３の磁気記録媒体に記録された残留磁化
ヲリングヘッドで再生した際の再生波形を示すと、第１
＋、９〜第３図に示すｙｌｎりであり、双峰性パルス
状の再生波形であることから、本実施例のものは垂直磁
気記録〃１シ体であることがわかる。
ヲリングヘッドで再生した際の再生波形を示すと、第１
＋、９〜第３図に示すｙｌｎりであり、双峰性パルス
状の再生波形であることから、本実施例のものは垂直磁
気記録〃１シ体であることがわかる。
つまり、残菌磁化成分が水平方向成分のみの場合には単
峰性パルス状の再生波形であるのに対し、垂直方向成分
が多くなるにつれて双峰性パルス状のものとなるからで
ある。尚、Ｗ含有量が増すにつれて双峰性パルス比が大
きくなっており、従ってＷ含有量の増加につれて屯直成
分が増していることがわかる。
峰性パルス状の再生波形であるのに対し、垂直方向成分
が多くなるにつれて双峰性パルス状のものとなるからで
ある。尚、Ｗ含有量が増すにつれて双峰性パルス比が大
きくなっており、従ってＷ含有量の増加につれて屯直成
分が増していることがわかる。
又、上記実施例１〜３及び比較例１．２の磁気記録ｌｔ
’ｌ：体の飽和磁化Ｍｓ、垂直方向の保磁力ＨＣＬ ％
水平方向の保磁力Ｈｃ ｔ・、水平方向磁化曲線の角型
比Ｒｓｔ・、ロッキングカーブの半値幅Δθｓｏをｄｌ
定すると、表に示す７１へりである。
’ｌ：体の飽和磁化Ｍｓ、垂直方向の保磁力ＨＣＬ ％
水平方向の保磁力Ｈｃ ｔ・、水平方向磁化曲線の角型
比Ｒｓｔ・、ロッキングカーブの半値幅Δθｓｏをｄｌ
定すると、表に示す７１へりである。
すなわち、本実施例のもの社、現在実用上の目安とされ
ている３００ｅｍｕ／ｃｃを飽和磁化は越えており、又
ＨＣＬもブ；きく、かつΔθ１・の値も小さくなってお
り（結晶配向性の向上）、垂直磁気記録媒体として優れ
ていることがわかる。
ている３００ｅｍｕ／ｃｃを飽和磁化は越えており、又
ＨＣＬもブ；きく、かつΔθ１・の値も小さくなってお
り（結晶配向性の向上）、垂直磁気記録媒体として優れ
ていることがわかる。
又、実施ｆｉｌ １のものと比較例１のものについての
波長特性を測定すると第４図に示す通りであり、実施例
のものはその膜厚が約７であるにもかかわらず短波長領
域での再生出力はＷ添加によって逆に大きくなっており
、高密度記録に優れたものであることがわかる。
波長特性を測定すると第４図に示す通りであり、実施例
のものはその膜厚が約７であるにもかかわらず短波長領
域での再生出力はＷ添加によって逆に大きくなっており
、高密度記録に優れたものであることがわかる。
そして、上記実施１７すのものは垂直磁化膜の膜厚が約
０．２μｍとｆ考いにもかかわらず優れた磁気特性を示
しており、さらにはこのように垂直磁化膜の鯖みが薄い
と柔軟性に富んでいて磁気ヘッドとのあたりが良く、再
生特性が良いものとなっている。
０．２μｍとｆ考いにもかかわらず優れた磁気特性を示
しており、さらにはこのように垂直磁化膜の鯖みが薄い
と柔軟性に富んでいて磁気ヘッドとのあたりが良く、再
生特性が良いものとなっている。
優れた垂直磁気記録媒体一体であり、特に垂直磁化１晴
の厚みが薄くても磁気！特性は良好であり、又垂直磁化
膜の厚みが薄いので生産性も向上し、かつ材料費も低廉
であり、低コストででき、さらには再生具合も優れたも
のである。
の厚みが薄くても磁気！特性は良好であり、又垂直磁化
膜の厚みが薄いので生産性も向上し、かつ材料費も低廉
であり、低コストででき、さらには再生具合も優れたも
のである。
４、 Ｉ’！、１而の［ム１単な説明第１図〜第４図
は、磁気記録９１９体の特性を示すグラフである。
は、磁気記録９１９体の特性を示すグラフである。
Claims (1)
- 基体上にＷを約１．９原子％以下含むＣｏ−Ｃｒ系合金
の磁性膜を約０．１〜０．２５μｍ厚形成したことを特
徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59197792A JPS6177126A (ja) | 1984-09-22 | 1984-09-22 | 磁気記録媒体 |
| KR1019850006781A KR890004255B1 (ko) | 1984-09-22 | 1985-09-17 | 자기 기록 매체 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59197792A JPS6177126A (ja) | 1984-09-22 | 1984-09-22 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6177126A true JPS6177126A (ja) | 1986-04-19 |
Family
ID=16380424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59197792A Pending JPS6177126A (ja) | 1984-09-22 | 1984-09-22 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6177126A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0594794A (ja) * | 1991-10-01 | 1993-04-16 | Nec Corp | イオンソースグリツド |
-
1984
- 1984-09-22 JP JP59197792A patent/JPS6177126A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0594794A (ja) * | 1991-10-01 | 1993-04-16 | Nec Corp | イオンソースグリツド |
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