JPS6162674A - 真空のための電磁弁 - Google Patents

真空のための電磁弁

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JPS6162674A
JPS6162674A JP60184376A JP18437685A JPS6162674A JP S6162674 A JPS6162674 A JP S6162674A JP 60184376 A JP60184376 A JP 60184376A JP 18437685 A JP18437685 A JP 18437685A JP S6162674 A JPS6162674 A JP S6162674A
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JP
Japan
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valve
head
valve body
valve stem
solenoid valve
Prior art date
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Pending
Application number
JP60184376A
Other languages
English (en)
Inventor
フランツ‐ペーター・コンツエン
ゲアハルト・ヨーキシユ
フランツエスコ・ヴイツトリ
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Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Original Assignee
Leybold Heraeus GmbH
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
    • F16K31/06—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a magnet, e.g. diaphragm valves, cutting off by means of a liquid
    • F16K31/0644—One-way valve
    • F16K31/0655—Lift valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
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  • Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は真空に対して密な、２つの接続開口を有するケ
ーシングと、ケーシングの外部に配置されたコイルとケ
ーシングの内部に配置された可動子とを有する電磁式駆
動装置と、可動子に固定された弁棒と、弁棒によって支
持される、接続開口の内の一方に所属する弁体と、一方
にヘッド状の形状（ヘッド）を有し、他方にこのヘッド
を掴む、縁曲げされた縁を有する、弁棒と弁体との間の
結合部とを有する真空のための電磁弁に関する。
真空弁は一般的に密に閉鎖されるケーシングを必要とす
る。というのは大気圧と弁の内室内の圧力との間の圧力
比が９の１０乗及びそれ以上の値をとることがしばしば
だからである。さらに比較的に大きな定格幅を有する真
空弁においては弁棒と弁体との間の結合部がシール面全
体に亘って圧着力の均一な分配を得るために弁体の僅か
な旋回運動が与えられるように形成されていなけｊ、ば
ならない。しかも真空弁は汚染に対して過敏である。シ
ール面上で既に生じた僅かな量のちシ状の汚染は高い圧
力関係に基づいて弁の７−ル効果に悪影響を与える恐れ
がある。
それ故にケーシングから外方に向かって突出する弁棒を
取囲み、かつ、弁体に容接され、並びに弁ケーシングに
静的なシール部材を介してシールされているようなばね
ベローを使用することが公知である。このようなばねベ
ローの使用は内室をシールするという利点の他に次のよ
うな利点を有する。すなわち、弁棒と弁体との間の、適
合運動を許す結合部の範囲で生じる摩滅は弁内室、ひい
ては弁座及び弁体における７一ル面に達し得ない。
いずれにせよ電磁弁においてはこのばねベローの使用が
いくつかの欠点を生せしめる。
すなわち、一方では片側で大気圧によって負荷されるば
ねベローに基づいて弁体に作用する付加力を克服するこ
とができるために比較的に寸法の大きな電磁式駆動装置
を使用する必要が生じ、他方ではこのような電磁弁にお
いてストッパが極めて硬いという一般的な欠点が生じる
。
このストッパは寸法が犬きくなればなる程、一層硬さが
大きくなる。このストッパはばねベローを迅速に摩滅さ
せるので、ばねにローを有する電磁弁は限られた寿命し
か有さない。
それ故に電磁弁を完全な封入構造で、つまシパッキンな
しで、かつ、ばねベローなしで構成することが公知でア
リ、従って比較的に小さな電磁式駆動装置を使用するこ
とができる。このような構造においてはとりわけ弁棒及
び弁体、ひいてはこれらの結合部はケーシング内室、す
なわち真空内にある。このような結合部が適合運動を許
すように形成されていると、例え回避できたとしても僅
かながらどうしても摩滅は生じる。この摩滅はシール面
ば達してシール効果に悪影響を与える。このような公知
構造においては弁体に縁曲げされた縁が設けられており
、この縁は弁棒のヘッド状に形成された自由端部を掴む
ので、この弁体の適合運動が可能である。
付加的にこの弁体は弁体とケーシングとの間に配置され
たぜんまいばねの作用下にあるので、ぜんまいばねから
弁体に及ぼされるトルクにも基づいて、数千回と切換え
られる内に弁のシール効果に悪影響を与える摩滅が生じ
る。さらにこの摩滅は縁曲げ部の開口にもたらされ、こ
れによって弁体と弁棒との間のばね負荷される結合部が
ゆるんでこの弁が使用不能になる。
本発明の課題は冒頭に述べた形式の電磁弁のために弁棒
と弁体との間に申し分のない結合が与えられるようにす
ることにある。
この課題は本発明によればヘッド及び縁曲げされた縁の
間にシールリングが配置されていることによって解決さ
れた。このように構成された結合部においてはヘッドと
この縁曲げされた縁が直接的に接触しないので、この範
囲で弁の運転を阻止する摩滅は生じ得ない。さらにこの
シールリングは弁の内室から遮断される室を制限するの
で、この室内で生じる摩滅は外方に向けて達しず、かつ
、この弁のシール効果は悪影響を受ける恐れがない。し
かも室内で生じる摩滅はこの室内に潤滑媒体が挿入され
ることによつて回避されるか若しくはほぼ阻止される。
この場合には／−ルリングは弁室内への潤滑媒体の流出
を阻止するという役割を付加的に有する。
さらにこのシールリングは弁体への可動子の衝撃的な運
動の伝達を緩衝し、ひいては寿命を延長させるのに役立
てられる。
実施例 第１図に示された電磁弁１は接続開口３，４を備えたケ
ーシング２並びに符号５で示される電磁式駆動装置を有
している。この電磁式駆動装置の詳しくは図示されてい
ないコイルがケーシング２の外側に設けられているのに
対して、部分的に図示された可動子６はケーシング２の
内室７内に設けられている。このようにしてケー／／グ
２の、真空に対して密な構造が与えられる。
可動子６には弁棒８が固定されておシ、この弁棒それ自
体はその端部に弁体９を有している。
この弁体９は弁座１１によって取囲まれている接続開口
４に所属している。弁°木９は弁座１１に向けられた側
にシールリング１２を有しておシ、このシールリングは
弁の図示の閉鎖状態においては弁座１１に接触している
。必要なシール力を生ぜしめるためには弁体９とケーシ
ング２との間に配置されたぜんまいばね１３が役立てら
れる。
結合部が設けられている。このだめに弁棒８はその下側
端部にヘラ）′１５を有している。このヘッド１５に対
応しては弁体９に突出する縁１７を備えた切欠き１６が
設けられている。縁曲げされたこの縁１７はヘッド１５
を掴むので、弁体の適合運動を許す弁棒８と弁体９との
間の確実な結合が得られる。
第２図には第１図に示された弁棒８と弁体９との間の結
合部が拡大して示されている。縁曲げされた縁１７とヘ
ット°１５との間には本発明によるシールリング１８が
設けられている。このシールリング１８を部分的に受容
するためにヘッド１５の頚部側で先細になる範囲に溝１
９が設けられている。
シールリング１８が取付けられていることに基づいて切
欠き１６は潤滑媒体を供給するのに適した、弁の内室２
から仕切られた空間を形成する。潤滑媒体によってはヘ
ラ１；１５と弁体９との間の摩滅の発生が著しく阻止さ
れる。このシールリング１８によっては潤滑媒体の流出
が阻止される。この縁曲げされた縁１７とヘッド１５と
の間に設けられたシールリング１８に基づいて両１部材
は互いに接触せず、従ってこの範囲における有害な摩滅
は生じない。さらにこのシールリング１８は弁体９への
弁棒８の衝撃的な運動の伝達を緩衝する。
第３図には弁棒８と弁（２ｔ９との間の結合に役立てら
れる構成部材が交換された実施例が示されている。この
実施例においては弁体９にヘッド２１が設けられておシ
、このヘラ１はその頚部側にシールリング１８のための
溝２２を有している。弁棒８１は切欠き２３及び縁２４
を有している。この縁は縁曲げされてヘッド２１を掴む
。シールリング１８によって弁７の内室から仕切られた
切欠き２３内には潤滑媒体が供給されている。
ヘッド１５．２１は主にそれぞれ、１つの中央の円筒状
の部分と２つの円錐状の部分とから成っている。縁曲げ
された縁１７．２４は頚部側の、溝１９若しくは２４が
形成された円錐部分に対してそれぞれ平行に延びている
。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明による電磁弁の概略的断面図、第２図は
第１図に示された弁棒と弁体との間の結合部の拡大図、
第３図は本発明の別の実施例を示す図である。 １・・・電磁弁、２・・・ケーシング、３，４・・・接
続開口、５・・・電磁式駆動装置、６・・・可動子、７
・・・内室、８・・・弁棒、９・・・弁体、１１・・・
弁座、１２・・・シールリング、１３・・・ぜんまいば
ね、１５・・・ヘラＰ、１６・・・切欠き、１７・・・
縁、１８・・・シールリング、１９・・・溝、２１・・
・ヘット′、２２・・・溝、２３・・・切欠き、２４・
・縁 （ほか１名） ２０．ケーソング ５１頁の続き

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、真空に対して密な、２つの接続開口（３、４）を有
    するケーシング（２）と、 ケーシングの外部に配置されたコイルとケ ーシングの内部に配置された可動子（６）とを有する電
    磁式駆動装置（５）と、 可動子に固定された弁棒（８）と、 弁棒によつて支持される、接続開口の内の 一方に所属する弁体（９）と、 一方にヘッド状の形状（ヘッド１５、２１）を有し、他
    方にこのヘッドを掴む、縁曲げされた縁（１７、２４）
    を有する、弁棒（８）と弁体（９）との間の結合部とを
    有する真空のための電磁弁において、 ヘッド（１５、２１）と縁曲げされた縁（１７、２４）
    との間にシールリング（１８）が配置されていることを
    特徴とする、真空のための電磁弁。 ２、前記ヘッド（１５、２１）の頚部側に、シールリン
    グを受容する溝（１９、２２）が設けられている、特許
    請求の範囲第１項記載の電磁弁。 ３、前記ヘッド（１５）が弁棒（８）に、かつ、縁曲げ
    された縁（１７）が弁体（９）に設けられている、特許
    請求の範囲第１項又は第２項記載の電磁弁。 ４、前記シールリングによつて内室（７）から仕切られ
    た室（１６、２２）が潤滑媒体を有している、特許請求
    の範囲第１項から第３項までのいずれか１項記載の電磁
    弁。
JP60184376A 1984-08-23 1985-08-23 真空のための電磁弁 Pending JPS6162674A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

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DE3431037.1 1984-08-23
DE19843431037 DE3431037A1 (de) 1984-08-23 1984-08-23 Magnetventil fuer die vakuumanwendung

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JPS6162674A true JPS6162674A (ja) 1986-03-31

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ID=6243721

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JP60184376A Pending JPS6162674A (ja) 1984-08-23 1985-08-23 真空のための電磁弁

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EP (1) EP0173115B1 (ja)
JP (1) JPS6162674A (ja)
DE (2) DE3431037A1 (ja)

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