JPS61173242A - 光重合性組成物 - Google Patents

光重合性組成物

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JPS61173242A
JPS61173242A JP1411285A JP1411285A JPS61173242A JP S61173242 A JPS61173242 A JP S61173242A JP 1411285 A JP1411285 A JP 1411285A JP 1411285 A JP1411285 A JP 1411285A JP S61173242 A JPS61173242 A JP S61173242A
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肇 角丸
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正岡 和隆
Yoshitaka Minami
好隆 南
Yoji Tanaka
庸司 田中
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    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/028Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators
    • G03F7/031Organic compounds not covered by group G03F7/029

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は光重合性組成物に関し、更に詳しくは、光感度
の増大した新規な光重合性組成物に関する。
(従来の技術) 光重合性組成物の重合速度を増大させること、即ち光重
合性組成物の光感度を増大させることは、活性光の露光
時間を短縮できるという点から有益なことであり、従来
、種々の方法が行なわれてきた。
例えば光感度を増大させるためにエチレン性不飽和基含
有化合物を含んでいる光重合性組成物に、光開始剤また
は増感剤を添加する方法が行なわれている。これらの光
開始剤または増感剤としては、2−エチルアントラキノ
ン、2−t−ブチルアントラキノン等の多核キノン類、
ヘンシフエノン、4.4′−ビス(ジメチルアミノ)ベ
ンゾフェノン等の芳香族ケトン、ベンゾインメチルエー
テル、ベンゾインエチルエーテル等のベンゾイン誘導体
等が用いられる。しかしながら、これらの光開始剤また
は増感剤を使用して得られる従来の光重合性組成物の光
感度は、必ずしも十分なものではなかった。
また光感度を増大させるために、アミノフェニルケトン
等の芳香族ケトンおよび2,4.5−  トリアリール
イミダゾールニ量体の組合わせを使用すること(特公昭
4日−38403号、米国特許731733号)、アミ
ノフェニルケトンと、活性メチレン化合物またはアミノ
化合物との組合わせを使用すること(特公昭49−11
936号、米国特許877853号)が知られている。
しかしながら、これら従来の方法は、いずれも満足な光
感度を有する光重合性組成物を与えるものではなかった
(発明が解決しようとする問題点) 本発明の目的は、前記従来技術の欠点を除去し、光感度
の増大した新規な光重合性組成物を提供することにある
(問題点を解決するための手段) 本発明者らは、鋭意研究の結果、ベンゾフェノン、特定
のアミノフェニルケトンおよび特定のアミノ化合物を組
合わせたものを光開始剤として、エチレン性不飽和基含
有化合物を含んでいる組成物に添加することにより、前
記目的を達成することができることを見出して本発明に
到達した。
本発明は常圧において100℃以上の沸点を有し、かつ
少なくとも1種のエチレン性不飽和基を有する化合物1
0〜90重量%、(2)ベンゾフェノン2〜15重量%
、(3)一般式(1)(式中R1、R2、R3およびR
4は水素原子または炭素数1〜3のアルキル基を意味す
る)で表わされる化合物0.01〜5.0重量%(4)
一般式%式%() (式中R5はアルキル基で置換されていてもよいフェニ
ル基、R4は水素原子または炭素数1〜8のアルキル基
を意味する)で表わされる化合物0゜01〜1.0重量
%および(5)熱可塑性有機重合体0〜80重量%を含
有してなる光重合性組成物に関する。
本発明の光重合性組成物に用いられる、常圧において1
00℃以上の沸点を有し、かつ少なくとも1種のエチレ
ン性不飽和基を含有する化合物(成分(1))としては
、例えば多価アルコールにα、β−不飽和カルボン酸を
付加して得られる化合物、例えばテトラエチレングリコ
ールジ(メタ)アクリレート(メタアクリレートまたは
アクリレートを意味する、以下同じ)、ポリエチレング
リコールジ(メタ)アクリレート(エチレン基の数が2
〜14のもの)、トリメチロールプロパンジ(メタ)ア
クリレート、トリメチロールプロパントリ (メタ)ア
クリレート、テトラメチロールメタントリ (メタ)ア
クリレート、テトラメチロールメタンテトラ(メタ)ア
クリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アク
リレート(プロピレン基の数が2〜14のもの)、ジペ
ンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペ
ンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、グリ
シジル基含有化合物にα、β−不飽和カルボン酸を付加
して得られる化合物、例えばトリメチロールプロパント
リグリシジルエーテルトリアクリレート、ビスフェノー
ルAジグリシジルエーテルジアクリレート等、多価カル
ボン酸、例えば無水フタル酸等と水酸基およびエチレン
性不飽和基を有する物質、例えばβ−ヒドロキシエチル
(メタ)アクリレート等とのエステル化物、アクリル酸
またはメタクリル酸のアルキルエステル、例えば(メタ
)アクリル酸メチルエステル、(メタ)アクリル酸エチ
ルエステル、(メタ)アクリル酸ブチルエステル、(メ
タ)アクリル酸2−エチルヘキシルエステル等が挙げら
れる。
これらの成分(1)の配合量は、10〜90重量%、好
ましくは20〜80重量%である。この量が10重量%
より少ない場合には光硬化物がもろく、十分な物性が得
られず、90重量%より多い場合には相対的に他成分が
少なくなり、十分な光感度が得られない。
成分(2)のベンゾフェノンは、成分(3)および成分
(4〉と組合わせて用いられる必須成分であり、これら
3成分を組合わせて用いる場合に光重合性組成物の保存
安定性を保ちながら、非常に増大した光感度が得られる
成分(2)の配合量は、2〜15重量%、好ましくは3
〜10重量%である。この量が2重量%より少ない場合
には、光感度の増大に大きな効果がなく、15重量%よ
り多い場合には光重合性組成物の保存安定性が低下する
成分(3)の前記一般式(I)で表わされる化合物とし
ては、例えばp、p’−ジメチルアミノベンゾフェノン
、p、p’−ジエチルアミノベンゾフェノン等が用いら
れる。成分(3)の配合量は0.01〜5.0重量%、
好ましくは0.1〜3.0重量%である。この量が0.
01重量%より少ない場合には十分な光感度が得られず
、5.0重量%より多い場合には露光の際、組成物表面
での光吸収が増大し、内部の光硬化が不十分となる。
成分(4)の前記一般式(If)で表わされる化合物と
しては、例えばN−フェニルグリシン、N−フェニルグ
リシンエチルエステル、N−フェニルグリシンメチルエ
ステル、N−フェニルグリシンブチルエステル、N−メ
チルフェニルグリシンエチルエステル等が用いられる。
成分(4)の配合量は0.01〜1.0重量%、好まし
くは0.1〜0.7重量%である。この量が0.01重
量%より少ない場合には十分な光感度の増大が得られず
、1.0重量%より多い場合には光重合性組成物の保存
安定性を低下させ、更に組成物に熱が加わった場合揮散
するガスにより著しい臭気がある。
熱可塑性有機重合体としては、例えば(メタ)アクリル
@(メタアクリル酸またはアクリル酸を意味する、以下
同じ)アルキルエステルと(メタ)アクリル酸との共重
合体、(メタ)アクリル酸アルキルエステルと(メタ)
アクリル酸とこれらと共重合し得るビニルモノマーとの
共重合体等が用いられる。(メタ)アクリル酸アルキル
エステルとしては、例えば(メタ)アクリル酸メチルエ
ステル、(メタ)アクリル酸エチルエステル、(メタ)
アクリル酸ブチルエステル、(メタ)アクリル酸2−エ
チルヘキシルエステル等が挙げられる。また(メタ)ア
クリル酸アルキルエステルや(メタ)アクリル酸と共重
合し得るビニルモノマーとしては、(メタ)アクリル酸
テトラヒドロフルフリルエステル、(メタ)アクリル酸
ジメチルエチルエステル、(メタ)アクリル酸ジエチル
エステル、メタクリル酸グリシジルエステル、2゜2.
1−)リフルオロエチル(メタ)アクリレート、2,2
,3.3−テトラフルオロプロピル(メタ)アクリレー
トアクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、スチレ
ン、ビニルトルエン等が挙げられる。また熱可塑性有機
重合体としては、上記化合物のホモポリマーも用い名こ
とができ、更にコポリエステル、例えばテレフタル酸、
イソフタル酸およびセバシン酸のポリエステル等、また
ブタジェンとアクリロニトリルとの共重合体、セルロー
スアセテート、セルロースアセテートブチレート、メチ
ルセルロース、エチルセルロース等も用いることができ
る。    ゛ 成分(5)である熱可塑性有機重合体の配合量は、0〜
80重量%、好ましくは20〜70重量%である。熱可
塑性有機重合体の使用によって、塗膜性や得られる硬化
物の膜強度が向上される。
この量が80重量%より多い場合には相対的に他成分が
少なくなるため光感度が低下する。またこの熱可塑性有
機重合体の重量平均分子量は、前記塗膜性や膜強度の点
から10,000以上が好ましい。上記の成分(1)、
成分(2)、成分(3)、成分(4)および成分(5)
は、上記の重量%の範囲内で総量が100重量%となる
量で用いられる。
本発明の光重合性組成物には、例えばp−メトキシフェ
ノール、ハイドロキノン、ピロガロール、ナフチルアミ
ン、フェノチアジン、t−ブチルカテコール等の熱重合
抑制剤を含有させることができる。
また本発明の光重合性組成物には、染料、顔料等の着色
剤を含有させてもよい。着色剤としては、例えばツクシ
ン、オーラミン塩基、クリスタルハイオレソト、ビグ1
−リアピアブルー、マラカイトグリーン、メチルオレン
ジ、アソシドバイオレツ) RRH等が用いられる。
更に本発明の光重合性組成物には、可塑剤、接着促進剤
、タルクなどの公知の添加物を添加してもよく、また露
光部が変色するように四臭化炭素等のハロゲン化合物と
ロイコ染料との組合わせを添加してもよい。
本発明の光重合性組成物は、前記各成分を溶解する溶剤
、例えばアセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブ
チルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ク
ロロホルム、塩化メチレン、メチルアルコール、エチル
アルコール等を用いて溶解、混合させることにより、均
一な溶液状として得られる。
本発明の光重合性組成物は、そのまま銅板等の基体に塗
布し、乾燥した後、活性光に薙光し、光硬化させて用い
ることができる。また前記溶液状の組成物をポリエチレ
ンテレフタレートフィルム上に塗布し、乾燥した後、基
体上に積層し、光硬化させて用いることもできる。
光硬化させる際に用いられる活性光の光源としては、波
長300〜4.50 n mの光を発光するものが用い
られ、例えば水銀蒸気アーク、カーボンアーク、キセノ
ンアークが好ましい。
(発明の効果) 本発明の光重合性組成物は高い光感度を示し、しかも溶
液の保存安定性にも優れたものである。
本発明の光重合性組成物は、光硬化膜をレリーフとして
使用したり、銅張積層板を基体として用い、エツチング
またはメッキのフォトレジストとして使用することがで
きる。
(実施例) 以下実施例により本発明を説明する。
実施例1および2 テトラエチレングリコールジアクリレート 400g1
マラカイトグリーン 2g1硫酸バリウム 100g、
メチルアルコール 10gおよびジメチルボルムアミド
 30gを配合して溶液Aを得た。この溶液へに、第1
表に示す配合割合で光開始剤を熔解させて本発明の光重
合性組成物の溶液を得た。
次いでこの溶液を銅板上にアプリケーターを用いて塗布
し、100℃で10分間熱風乾燥機で乾燥した。塗布厚
は約20μmであった。次いでこの銅板を7Kw高圧水
銀灯の20印下をコンベア速度3m/minで通過させ
、表面の指触タックがなくなるまでの通過回数を調べた
。その結果を第1表に示す。通過回数の少ないものほど
光感度が高いことを示している。比較のため光開始剤と
してN−フェニルグリシンを使用しない場合についても
同様にして硬化するまでの通過回数を調べ、その結果も
合わせて第1表に示す。
以下余白 第    1    表 第1表の結果から、本発明の光重合性組成物は比較例1
の場合に比して、光感度が高いことが示される。
実施例3および4 メチルメタクリレ−1−/メタクリル酸/2−エチルへ
キシルアクリレート(重量比60/20/20)共重合
体(重量平均分子量−8万)52g、テトラエチレング
リコールジアクリレート 10g、ポリ (P#5)オ
キシエチレン化ビスフェノールAのジメタクリレート(
新中村化学工業(株)製 BPE−10)30g、マラ
カイトグリーン 0.2g、ハイドロキノン 0.1g
、ロイコクリスタルバイオレット 1.0g、四臭化炭
素 0゜5g1 トルエン 10g2メチルセロソルブ
 130g、メチルアルコール 5gおよびクロロホル
ム 10gを配合して溶液B24B、8g(不揮発分合
計93.8g)を得た。この溶液Bに、第2表に示す配
合割合で光開始剤を熔解させて本発明の光重合性組成物
の溶液を得た。
次いでこの溶液を25μm厚のポリエチレンテレツクレ
ートフィルム」二に均一に塗布し、100℃の熱風対流
式乾燥機で約5分間乾燥し、光重合性エレメントを得た
。光重合性組成物の乾燥後の膜厚は25μmであった。
一方、銅はく (厚さ35μm)を両面に積層したガラ
エポキシ材である銅張積層板(日立化成工業(株)製 
MCL−E−61)の銅表面を#800のサンドペーパ
ーで研磨し、水洗して空気流で乾燥し、得られる銅張積
層板を60℃に加温し、その銅面上に前記光重合性エレ
メントを、120℃に加熱しながらラミネートした。そ
のとき発生する臭気の程度を評価した。光重合性組成物
層と銅表面との張りつき性は全て良好であった。
次いでこのようにして得られた基板にネガフィルムを使
用し、3Kw高圧水銀灯(オーク製作所(社)製、フェ
ニソクス−3000)で50 m 、J/d露光を行な
った。この際光感度を評価できるように、光透過量が段
階的に少なくなるように作られたネガフィルム(光学密
度0.05を1段目とし1段毎に光学密度が0.15ず
つ増加するステップタブレット)を用いた。
次いでポリエチレンテレフタシーl−フィルムを除去し
、30℃で2%炭酸ナトリウム水溶液を50秒間スプレ
ーすることにより未露光部を除去した。更に銅張積層板
上に形成された光硬化膜のステソプクブレソトの段数を
測定することにより光重合性組成物の光感度を評価した
。このステソプクブレソトの段数が高いほど光感度が高
いことを示している。
一方、前記光重合性組成物の溶液を密閉容器に入れ、暗
所40℃で保存し、ゲル化するまでの日数を調べること
により保存安定性を評価した。
これらの結果を比較例2〜11の場合と合わせて第2表
に示す。
以下余白 (註)1)○:48hr/40℃以上で保存してもゲル
化しない。
x:48hr/40℃以内でゲル化す る。
2)○:作業に影響する度合の臭気は発生しない。
×:作業が困難になる程度の臭気発生。
第2表の結果から、本発明の光重合性組成物は光感度が
高く、また溶液の保存安定性にも優れていることが示さ
れる。比較例の場合には、いずれも十分な光感度が得ら
れないか、または保存安定手続補正書(自発) 昭和60イ「12  月19日 特許庁長官殿        ・ら 1、事件の表示 昭和60年特許願第14112号 2、発明の名称 光重合性組成物 3、補正をする者 事件との関係     特許出願人 名 称 (445)日立化成工業株式会社5、補正の対
象 明細書の発明の詳細な説明の欄 6、補正の内容 1)本願明細書第11頁第3行に「ビクトリアビアブル
ー」とあるのを「ビクトリアピュアブルー」と訂正しま
す。
2)同第15頁下から6行に「ガラエポキシ栃」とある
のを「ガラスエポキシ材」と訂正します。
以上 一り7つ

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、(1)常圧において100℃以上の沸点を有しかつ
    少なくとも1種のエチレン性不飽和基を有する化合物1
    0〜90重量%、(2)ベンゾフェノン2〜15重量%
    、(3)一般式( I ) ▲数式、化学式、表等があります▼( I ) (式中R_1、R_2、R_3およびR_4は水素原子
    または炭素数1〜3のアルキル基を意味する)で表わさ
    れる化合物0.01〜5.0重量%、(4)一般式(I
    I) R_5−NHCH_2COO−R_6(II)(式中R_
    5はアルキル基で置換されていてもよいフェニル基、R
    _6は水素原子または炭素数1〜8のアルキル基を意味
    する)で表わされる化合物0.01〜1.0重量%およ
    び(5)熱可塑性有機重合体0〜80重量%を含有して
    なる光重合性組成物。
JP1411285A 1985-01-28 1985-01-28 光重合性組成物 Granted JPS61173242A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62123450A (ja) * 1985-07-09 1987-06-04 Hitachi Chem Co Ltd 光重合性組成物
JPH06148881A (ja) * 1992-10-30 1994-05-27 Nippon Synthetic Chem Ind Co Ltd:The 感光性樹脂組成物
WO1999064471A1 (fr) * 1998-06-08 1999-12-16 Nippon Steel Chemical Co., Ltd. Composition de resine photopolymerisable et son utilisation

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