JPS61151898A - 半導体記憶装置におけるワ−ド線ドライバ回路 - Google Patents

半導体記憶装置におけるワ−ド線ドライバ回路

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JPS61151898A
JPS61151898A JP59273184A JP27318484A JPS61151898A JP S61151898 A JPS61151898 A JP S61151898A JP 59273184 A JP59273184 A JP 59273184A JP 27318484 A JP27318484 A JP 27318484A JP S61151898 A JPS61151898 A JP S61151898A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体記憶装置におけるワード線ドライバ回路
に関し、特にEPROMのロウデコーダとメモリセルと
の間に配置され、該t!FROMへのデータ書込み又は
該EFROMからのデータ読出し時、該ロウデコーダで
デコードされた出力信号にもとづいて、該メモリセルに
つながる特定の選択されたワード線に所定レベルの信号
を供給するワード線ドライバ回路の改良に関する。
〔従来の技術〕
第3図は、この種のワード線ドライバ回路としての従来
例の構成を示している。
該図中、TI乃至T、は何れもNチャンネル形のMOS
)ランジスタであって、T In T 3. T sお
よびT?はデプレフシッン形(図中では・印を付してい
る)トランジスタであり、T&はそのスレッシュホール
ド電圧を0■とするトランジスタ(図中では0印を付し
ている)であり、T2とT4はエンハンスメント形トラ
ンジスタである。
次に第3図をもとにして該ワード線ドライバ回路の動作
を説明する。
先ずEPROMからのデータ読出し時においては、該ワ
ード線ドライバ回路は、ロウデコーダでデコードされた
出力信号の立ち上りをするどくし、そのようにして立ち
上りをするどくされた所定レベルの信号を対応するワー
ド線に供給する機能を奏する。このような機能は特にメ
モリの容量が大きい場合、ロウデコーダの出力信号の立
ち上りをするどくして高速度でワード線を選択して高速
のデータ読み出しを可能とするために必要とされる。
この場合の動作を具体的に説明すると、いま該EPRO
Mにおいて、図示されたワード線Wnを選択するために
、該ワード線Wnに対応するワード線ドライバにおける
トランジスタT2およびT4の各ゲートに入力されるデ
コーダ出力Onがロウレベルになったとする。なお該続
出し時には、トランジスタT、のゲートに与えられる電
位すは例えば5v、トランジスタT、のゲートに与えら
れる電位aは例えばO■とされていて、これによりトラ
ンジスタT、はオン、トランジスタT、はオフとされて
いる。
一方、上記デコーダ出力Onがロウレベルになったこと
により、上記トランジスタT1とT2との接続点NIの
電位は反転されてハイレベルとなり、次いで該ハイレベ
ルの電位がそのゲートに入力されるデプレッション形ト
ランジスタT3が導通することにより、該トランジスタ
T3とT4との接続点N2の電位もハイレベルとなる。
この場合トランジスタT、とT2とでインバータを構成
することによってその接続点N、の電位もハイレベルと
なっているが、該トランジスタT、はそのソースとゲー
トとが接続されていて一定電流しか流し得ないのに対し
、上記トランジスタT、は、該接続点N、に生ずるハイ
レベルの電位がそのゲートに加えられることにより (
このとき該トランジスタT、のソースすなわちN2点の
電位は未だロウレベルになっている)、比較的小型の(
チャネル巾/チャネル長が小さい)トランジスタとされ
ていても、該トランジスタT、に比して大きな電流を流
すことができ、この大電流がトランジスタT、を通して
対応するワード線Wnに供給され、該ワード線Wnにつ
ながっている寄生容量のチャージアップを早め、該ワー
ド線電位の立上りをするどくして高速の読出しを可能に
するものである。
ここで上記トランジスタT、を小型にする必要性を更に
説明すると、上記選択されたワード線につながるワード
線ドライバに供給されるデコーダ出力はロウレベルであ
るのに対し、非選択のワード線につながるワード線ドラ
イバに供給されるデコーダ出力はハイレベルとなってお
り、したがって該非選択のワード線につながる各ワード
線ドライバにおける上記トランジスタT、に相当する各
デプレッション形トランジスタには、トランジスタT4
を通してVcc (+5V)からVss(QV)に向う
電流が常時流れ特にワード線ドライバの数が多い場合そ
れによる消費電力は無視できないものとなる。
したがってかかる消費電力を節約するためには各ワード
線ドライバにおける上記デプレッション形トランジスタ
をできるだけ小型なものとすることが必要とされるので
あるが、上述したワード線ドライバーの構成(所謂プッ
シュプルドライバの構成)によって、該デプレッション
形トランジスタを小型なものとした上で高速の読出しが
行われる。
次に該EPROMへのデータ書込み時(プログラム時)
の動作を説明すると、いま該EFROMにおいて図示さ
れたワード線Wnが選択された場合には、該ワード線ド
ライバにおけるトランジスタT&のゲートに与えられる
。電位aがVpp(例えば+20■)とされることによ
り、該ワード線Wnには該vppと該トランジスタT6
のvth(スレッシュホールド電圧)との差にほぼ等し
い例えば20V近くの電圧が供給され、それにより該ワ
ード線Wnが選択されてデータ書込みが行われる。なお
この書込み時にはトランジスタT、のゲートに与えられ
る電位すはO■とされ、一方該トランジスタT5のソー
スの電圧(N、点の電位)は該ワード線Wnが選択され
ている(デコーダ出力がロウレベルとされている)こと
によってVccとなっているため該トランジスタT、は
オフとなる。
また非選択のワード線につながるワード線ドライバにお
いては、該トランジスタT、に相当するトランジスタの
ソースの電位(Nz点に相当する電位)は、対応するワ
ード線が非選択とされている(すなわちデコーダ出力が
ハイレベルとされている)ことによってほぼ0■となっ
ており、したがって該トランジスタTs(デプレッショ
ン形)はオンとなる。すなわち該非選択のワード線ドラ
イバにおいてはトランジスタT s 、  T sが導
通しているとともに、該トランジスタT !、 T ?
、 T sを通る電流も流れ該ワード線の電位をほぼO
Vとする。
なおトランジスタT、はそのゲートとソースとを接続し
たデプレッション形トランジスタであって、該トランジ
スタT、を設けることにより、上記トランジスタT b
、 T ’t、 T%を通して流れる電流を制限して消
費電力の節約を図るとともに、ワード線への接続点であ
る83点の電位をほぼovにまで低下させるようにして
いる。
以上のようにして選択されたワード線につながる所定の
メモリセルのみにデータの書込みが行われる。この場合
酸メモリセルを構成するセルトランジスタのゲートには
該ワード線から上述したようにほぼ20Vの電圧が供給
され、その間該セルトランジスタが通電してそのフロー
ティングゲートには次第に電子が蓄積され、それによっ
て該データの書込みが行われたセルトランジスタにおい
ては、そのスレッシュホールド電圧がプラス方向にシフ
トする。その結果数EPRoMからのデータ読出し時に
、該ワード線から供給される上記したVcc (例えば
5V)の電圧によっては該データの書込が行われたセル
トランジスタは通電せず、したがってその通電の有無に
よって該メモリセルにデータの書込みが行われているか
否かがセンスアンプを通して読出される。
ところで一般にEFROMにおいては以上のようにして
所定のメモリセルにデータの書込みが行われた直後にお
いて、該所定のメモリセルに実際にデータが書込まれた
かどうかがチェックされる。
(このことを一般にプログラムベリファイという、)こ
のようなチェックは仮に不良のセルがあった場合、該メ
モリセルにはデータの書込みが行われないことがあるた
めに必要とされる。
そしてかかるプログラムベリファイ時には、該選択され
たワード線Wnの電位をそのデータ書込時の電位(はぼ
vppすなわち約20V)からVcc(例えば5V)ま
で落とす必要がある。その理由はデータ書込みの際の2
0Vの電位のままでは該データの書込みが行われたメモ
リセルも、該データの書込みが行われなかったメモリセ
ルも同様に通電して、上記したデータの書込みに相当す
るスレンシュホールド電圧のシフトが実際に行われたか
否かがチェックできないからである。
かかる書込み終了後のチェックすなわちプログラムベリ
ファイ時には、トランジスタT、のゲートに加えられる
電位aをOvl トランジスタT。
のゲートに加えられる電位すをVcc (+5V)とし
てこれら各ゲートに加えられる電位をデータ読出し時と
同じ状態にする。これによってトランジスタT、はオフ
となり、一方ドランジスタTsはオンとなってワード線
Wnに蓄積された電荷はトランジスタ’rs 、 T、
を通ってVccに向って流れこれによって該ワード線W
nの電位を20Vから次第にVcc (例えば5V)ま
で落とす。
この場合トランジスタT、についてみると、そのゲート
電位すなわちN1点の電位はVccであるのに対し、そ
のソース(この場合トランジスタT、に流れる電流の向
きはデータ読出し時と反対になっていることから、トラ
ンジスタT、のソースはデータ読出し時にはN1点側で
あるのに対しプログラムベリファイ時にはVcc側に移
る)の電位もVccであって該トランジスタT、はゲー
トソース間の電位がOvの状態で動作しており、しかも
前述したように該トランジスタT、は消費電力を節約す
る必要上小型(チャンル巾/チャネル長が小さい)のも
のとされていることもあって、上述したデータ読出しの
ときほど大電流を流しえない状態になっている。
更に該トランジスタT、はそのソースの電位がVccで
あることによって、該ソースの電位に対し基板電位(O
V)が負となっており、したがって所謂バックバイアス
効果によって該トランジスタT3のスレッシュホールド
電圧が正方向に上昇し、所謂エンハンスメント形の特性
に近づくため、該トランジスタT3の通電能力は一層低
下することになる。特に現在主流となりつつある高速プ
ログラムのようにVccを高くしてプログラムベリファ
イを行うような場合には、規定時間内にワード線をVc
cまで落とすことが益々困難となり、データ書込み終了
後プログラムベリファイを行うまでに長時間を要し不良
を生ずるおそれもあるという問題点があった。
〔発明が解決しようとする問題点〕
本発明は上記問題点にかんがみなされたもので、上記デ
プレッション形トランジスタT、と並列に少くとも0V
以上のスレッシュホールド電圧を有するトランジスタを
接続し、該トランジスタをプログラムベリファイ時のみ
導通させるという着想にもとづいて、上記デプレッショ
ン形トランジスタT3を小型のままとして、非選択のワ
ード線ドライバを含むドライバ回路全体で消費される電
力を特に増大させることな(、しかも上記したデータ書
込み終了直後のプログラムベリファイを容易に行うこと
ができるようにしたものである。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明によれば、対応するワード線が選択されて該ワー
ド線につながる所定のメモリセルからデータが読み出さ
れる時には書込用直流電源から該ワード線に書込電圧を
与える回路を形成し、−労咳メモリセルへのデータ書込
み直後に行われるプログラムベリファイ時には該ワード
線側から読出し動作用の直流電源に向う電流が流れる回
路を形成するデプレッション形トランジスタ(第1図に
おけるトランジスタT、に相当)と、該デプレッション
形トランジスタに並列に接続された少くとも0V以上の
スレッシュホールド電圧を有するトランジスタ(第1図
におけるトランジスタT、に相当)であって該プログラ
ムベリファイ時のみ導通するものとを具備する、半導体
記憶装置におけるワード線ドラ゛イバ回路が提供される
〔作 用〕
上記構成によれば、EPROMに対するデータ書込み終
了直後に行われる書込みチェック(プログラムベリファ
イ)時においては、該デプレッション形トランジスタT
、と該トランジスタT3に並列に接続されたトランジス
タT、とが同時に導通して、データ書込み時にワード線
に蓄えられた電荷が該並列接続された2つのトランジス
タを通して直流電源側に流れ、これによってデータ書込
み時における該ワード線の電位を規定時間内にデータ読
出し時における電位まで低下させ、直ちにプログラムベ
リファイを行うことが可能になる。
すなわち該デプレッション形トランジスタT。
は上述したように消費電力節約の必要上小型のものとさ
れており、更にプログラムベリファイ時にはそのゲート
・ソース間電圧が0になることおよび前述したバックバ
イアス効果によって、かかるプログラムベリファイ時に
は通常のデータ読出し時はど大電流を流しえない状態と
なっているが、上記トランジスタ7口を該デプレッショ
ン形トランジスタT、と並列に接続することにより、プ
ログラムベリファイ時にワード線側から直流電源側に向
って大電流を流しうる状態とし、これによってデータ書
込み終了直後のプログラムベリファイが容易に行われる
しかも該トランジスタT、は0V以上のスレッシュホー
ルド電圧を有しているため通常のデータ読出し時におい
ては、該トランジスタT−は導通ずることがなく、した
がってデータ読出し時における消費電力の増大をもたら
すことはない。
〔実施例〕
第1図は本発明の1実施例としてのワード線ドライバ回
路を示すもので、上述した第3図に示される従来例と相
違する点は、該従来例の回路におけるデプレッション形
トランジスタT3と並列に、すなわち直流電源Vccと
Nt点との間に、そのスレッシュホールド電圧を0■と
するNチャンネルトランジスタT1が接続されている点
である。
なお該トランジスタT、のゲートは該N3点に接続され
ている。
そしてプログラムベリファイ時には、上気従来例の回路
と同様に、トランジスタT、のゲートに加えられる電位
aをOv、トランジスタT、のゲートに加えられる電位
すをVcc (+5V)としてトランジスタT、をオフ
とし、一方トランジスタT、をオンとする。その際ワー
ド線Wnに蓄積された電荷はトランジスタT、を通り、
次いで該トランジスタT、およびT8の並列回路を通っ
て直流電源Vcc側に流れる。
この場合前述したように該デプレッション形トランジス
タT、は、非選択のワード線ドライバを含むドライバ回
路全体で消費される電力を節約する必要上、小型のもの
とされており、更にプログラムベリファイ時にはそのゲ
ートおよびソース電位がともにVccとなってその電位
差がOとなっていることおよび前記バンクバイアス効果
が発生することによって大電流を流しえない状態となっ
ているのであるが、本発明では特に上記トランジスタT
、を設けることによりプログラムベリファイ時にワード
線側からVcc側(この場合トランジスタT、のソース
はVcc側となっており、そのゲート・ソース間には所
定の電位差を生ずる)に向って大電流を流すことができ
、したがって上記トランジスタT3を小型のままとして
も、データ書込み終了後規定時間内に確実にワード線の
電位をVccまで低下させ、直ちにプログラムベリファ
イを行うことができる。
しかも該トランジスタT8のスレッシュホールド電圧は
Ovとされているため通常のデータ読出し時、すなわち
対応するワード線が選択されているか又は非選択である
かに応じて、Vcc側からトランジスタT、およびN2
点を通ってワード線側へ又はVss側への電流が流れる
時には、該トランジスタT、はそのゲート・ソース間電
圧がOとなっていて導通ずることがなく、したがってデ
ータ読出し時に該トランジスタTmによって消費電力の
増大を招くことはない、したがって該トランジスタT、
を特に小型のものとすることを考慮する必要はなく、こ
のようなトランジスタT、を設けることによって上述し
たようにプログラムベリファイ時に大電流を流すことが
できるのである。
なお上記実施例ではトランジスタT、のスレッシュホー
ルド電圧をOvとしているが、上述したようなデータ読
出し時における導通をなくすためには該スレンシュホー
ルド電圧を少くとも0V以上とすればよ(、したがって
プログラムベリファイ時に必要とされる電流値によって
は、0V以上のスレッシュホールド電圧を有するエンハ
ンスメント形とすることもできる。
また第2図は本発明の第2実施例としてのワード線ドラ
イバ回路を示すもので、上記トランジスタT8のゲート
がN1点に接続される回路が示される。この場合にも該
トランジスタT、がデータ書込み後に行われるプログラ
ムベリファイ時に通電してワード線の電位を規定時間内
にVccまで低下させて直ちにプログラムベリファイを
行うことを可能にし、一方通常のデータ読出し時には導
通ずることがなく消費電力の増大をもたらさないことは
上記第1図の場合と同様である。
〔発明の効果〕
本発明によれば、非選択のワード線ドライバを含むドラ
イバ回路全体で消費される電力を節約したままで、デー
タ書込み終了直後のプログラムベリファイをその規定時
間内に確実に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の1実施例としてのワード線ドライバ
回路を示す回路図、 第2図は、本発明の他の実施例としてのワード線ドライ
バ回路を示す回路図、 第3図はこの種のワード線ドライバー回路の従来例を示
す図である。 (符号の説明) T r 、 T 3 、 T s 、 T ?・・・デ
プレッション形Nチャンネルトランジスタ、T、、T、
・・・スレッシュボールド電圧をovとするNチャンネ
ルトランジスタ、T z 、 T 4・・・エンハンス
メント形Nチャンネルトランジスタ。 第1図 Vpp 第2図 第3図 ■SS

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、対応するワード線が選択されて該ワード線につなが
    る所定のメモリセルからデータが読み出される時には書
    込用直流電源から該ワード線に書込電圧を与える回路を
    形成し、一方該メモリセルへのデータ書込み直後に行わ
    れるプログラムベリファイ時には該ワード線側から読出
    し動作用の直流電源に向う電流が流れる回路を形成する
    デプレッション形トランジスタと、該デプレッション形
    トランジスタに並列に接続された少くとも0V以上のス
    レッシュホールド電圧を有するトランジスタであって該
    プログラムベリファイ時のみ導通するものとを具備する
    ことを特徴とする、半導体記憶装置におけるワード線ド
    ライバ回路。
JP59273184A 1984-12-26 1984-12-26 半導体記憶装置におけるワ−ド線ドライバ回路 Granted JPS61151898A (ja)

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JPH0247039B2 JPH0247039B2 (ja) 1990-10-18

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EP (1) EP0186054B1 (ja)
JP (1) JPS61151898A (ja)
KR (1) KR900003932B1 (ja)
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