JPS60221287A - ロボツト用力センサ - Google Patents

ロボツト用力センサ

Info

Publication number
JPS60221287A
JPS60221287A JP59075224A JP7522484A JPS60221287A JP S60221287 A JPS60221287 A JP S60221287A JP 59075224 A JP59075224 A JP 59075224A JP 7522484 A JP7522484 A JP 7522484A JP S60221287 A JPS60221287 A JP S60221287A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
robot
force
force sensor
tip
forces
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP59075224A
Other languages
English (en)
Inventor
坂上 義和
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP59075224A priority Critical patent/JPS60221287A/ja
Publication of JPS60221287A publication Critical patent/JPS60221287A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Manipulator (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は、対象物に対し作用している力状態を検出す
るロボット用力センサに関する。
〔従来技術〕
ロボットが対象物に対し力を作用させている実状をモニ
タするための力センサとして有名なものにスタンフォー
ドタイプまたはシャイマンフォースセンサと呼ばれるも
のがある。これらに、3方向と3モーメントとを合わせ
た6分力が、1つの装置により測れる特徴がある。
しかし、これらのタイプの−Vンサは、要部としてスト
レインゲージ全使用しであるため、高価につき、しかも
、調整しにくいという欠点がある。
それだけでなく、これらセンサは、ロボットでいうリス
トの部分に取り付けられていたため、つかみ機構がそれ
よシ先端側に取り付けられることとなって、つかみ機構
の重量がセンサにすべて加わシ、そのため、たとえば、
つかみ機構を下に向けたときに発生しないモーメント成
分<i横に向けたときには発生するなどロボットの姿勢
の変化によって指示する値が変化する欠点があり、また
、ロボットの加減速やぎくしやくした動作も、すべてこ
のつかみ機構のもつ重量がセンサに作用することによっ
て、モーメント力とじて発生し、それが、雑音として信
号にまぎれ込むため、力センサとしての感度を十分に上
げることができず、微妙な力の作用状況など′t−観察
することができなかった。
こうした欠点のないセンサとして、導電性ゴムなどを使
用したものがある。こ7′Lは、つかみ機構の対象物に
接する部分に取り付けて、つかんだこと全確認したり、
つかんだ位置を明確にしたシするために用いられたシ、
あるいは、ロボットの特定の部分にそのセンサを取9付
けて、なにかに接触したことを知るために用いられる程
度のものでしかなかった。つま)、このセンサはあくま
でも一つの平面部に対してのみ取り付けるものであった
から、一方向の力しか検出することができない単能力の
ものにすぎず、上記メタンフォードタイプなどのように
、6分力の力センサとして、高度な制御とか諸用途に汎
用的に用いられるまでには至らなかった。
しかしながら、こうした導電性ゴムなどによるセンサは
、安価であるとともに、メンテナンスの而からも楽であ
るというスタンフォードタイプなどにはない実用的価値
があシ、しかも、指先などに取り付けることができるの
で、力センサより先端の重量はほとんど考慮されない程
度のものとなシ、その結果、ロボットの加減速等に伴な
う雑音もスタンフォードタイプなどに比してはるプ1に
小さくなり、センサとして高感度なものとなって、その
而からも他にないメリットがある。
〔発明の概要〕
この発明は、上記従来の欠点を除去するためになされた
もので、開閉するグリップアームと、その先端の先端グ
リップ部とを、複数の対向面を介して嵌合させるととも
に、各対向面間に、複数の向きの力を個別に検出する分
力検出回路に接続される圧力検出素子を配列することに
よシ、高感度の検出能力をもちながら、安価でメンテナ
ンス性に優れ、とくに、複数の分力を検出できる汎用型
のロボット用カ七ンサを提供することを目的とする。
〔発明の実施例〕
以下、この発明の実施例を図面にしたがって説明する。
第1 図(a)およヒ(6)は、ロボットのつかみ機構
を示し、(1)は、ロボットのアームで、そのアーム(
1)には、フランジ(2)を介して駆動モータ(5)が
取り付けられ、その先端部に、開閉する1対のグリップ
アーム(31、(41が取シ付けられている。これら両
グリップアーム(31、(41には、対象物(8)ヲ挾
む先端グリップ部(9) 、 (10との間に第2図れ
) 、 (4’) 、 (Q)に示す力センサ(6) 
、 (7)が設けられている。
つまり、第2図(a>に示すように、グリップアーム(
8)の先端缶内側部には、四角ブロック形の突出ピース
0υが取9付けられ、この突出ピース0])の中央とグ
リップアーム(3)とを介して取出孔面ヲ貫通しである
。上記突出ピースαυは、取付面を除いて5而あり、こ
れら5面の各面には、−櫨のプリント基板である絶縁基
板(13A)〜C13E)が突出ピース0])の各面に
沿って接着されている。
これら各絶縁基板04の表面には、銅箔の上に半田を盛
った構造の圧力検出素子041(電極)が3本音1組と
して配列されており、この場合、先端グリップ(9)に
対向する而に、第3図(d)に示すように、(イ)〜に
)の4組が配列され、残る4面には、(ホ)〜(4)ま
でのy[Mの組がそれぞれ2Mづつ配列されている。こ
うして5面で合1112組のtiが配列されている。こ
t+らwr!i′kwする突状ピースαυには、突状ピ
ース0υ左5面から取り囲む形状の箱形のグリッパ支持
枠Qf9が設けられ、その支持枠(旧の内周5面には、
12組の電極(イ)〜(4)にそれぞれ対向する位置に
、0.5〜1.0順程度の厚さをもつゴム板(1119
を貼り付けである。このゴム板0Qは、5〜101゛・
または円形に切9出したものである。これらゴム板Qf
9’に有するグリッパ支持枠θOの内面、つまり、各電
極(イ)〜(イ)の外面には、ポリエチレンに、炭素の
粉末をねり込んで仕上げた半導電性フィルム0ηが覆わ
れている。
このフィルム0ηは、1〜5 Q KQOIIの表面抵
抗を示すものを用い、たとえば、半導体を実装したプリ
ント配線板を包装するのに使用される厚さ0.05〜0
.1 I’1g程度のフイルムンートを利用できる。
なお、上記フィルムαηの外側には、アルミ箔などの補
助電極を同じ形状にして設けることもある。
こうして、構成された力センサ(6) 、 (7)を第
3図←)のように、左右対向状に配し、対象物(8)か
ら加えられる各分力を検出する。この場合の分力は、第
3図に)〜(Q)に示す平行力x、y、zと、モーメン
トα、β、γの6分力からなり、これらを、それぞれ個
別的に検出するように分力検出回路を組んである。
そのための回路は、第4図および第5図に示しである。
つまυ、第4図には、一方の力センサ(6)についての
み例示されておシ、この場合、6イ。
60、・・・は、第3図(d)に示された各組の電極に
対応する。これら各組において、中央に配列された第4
図の圧力検出素子α4は、12組すべて接続され、コモ
ン(ト)として1木のリード線が取り出されている。こ
れに対し、各組の両側に配列され念圧力検出素子0→、
α◆は、各組ごとに互いに接続され、1本づつ、合計1
2本のリード線に接続され、増幅器01ヲ介して信号と
して取り出される。これらリード線は、第2図の取出孔
@とかグリップアーム(3)の先端外周などを介して導
かれ、こうして取シ出された第4図のコモン(ハ)のリ
ード線と、その他の個々の電極から取シ出されたリード
線との間の各抵抗値の増減を比較する。
つまり、第5図は、上記各分力(x、y・・・)を検出
するために、第4図の回路にもとづいて組まれた演算回
路全示し、この場合、第4図のたとえば06イが、第5
図の06イに入力されることを意味する。
こうした場合、第2図(a)に示すように、グリッパ支
持枠O谷と突状ピース0υ間に力が作用せず、圧力がな
い状態においても、それぞれの1M、Wiは半導電性フ
ィルムd7)にわずかに接しているため、高い抵抗値を
示すが、これらの間に圧力が発生し、ゴム板qすにより
′半導電性フィルムqηが第3(2)(d)に示す電極
(イ)〜(2)に加圧されると、[極間の抵抗値は、低
下する。この圧力が上昇するにしたがってこの抵抗値が
低下する。この抵抗値と圧力との間には、ある圧力範囲
において関連をもたせることができる。この場合、第2
図れ)に示す各圧力検出素子04において半田はカマボ
コ形状にすれば、広い範囲の圧力に対し抵抗変化を検出
しうるようになる。
こうして実際に対象物(8)全つかみ、第3図(a)。
(力、 (Q)に示すような、6種類の力(X、Y・・
・)が力センサ(6) 、 (7)に発生した場合につ
いて説明する。
X、Y、Zは、それぞれ1ぼ液内な圧力であり、α。
β、γは、回転モーメントである。そうした各種の力が
発生したときに個々の電極(イ22ロ、ハ・・)の抵抗
値の変化を示したものが第6図であり、この場合、第6
図左欄が一方の力センサ(6)に、また、第6図右欄が
他方の力センサ(7)に対応し、また、図示した(→は
、抵抗増加であシ、←)は抵抗低下を示す。さらに、(
イ)〜(4)は、第3図(的に示す電極配置を、各力セ
ンサ(a) 、 (7)について示したものである。し
たがって、第6図中の(ト)は正に、(→は、反転した
うえで第5図の演算器(イ)に信号を加え合わせ、これ
により、x、y、z、α、β、γの6種類の力會それぞ
れ分離した形で検出できるものとされている。
なお、上記実施例では、突状ピースミυ側に絶縁基板(
13A)〜(13E)を、また、グリッパ支持枠(至)
側にゴム板aQを貼りつけであるが、その逆に配置して
もよいし、ま九、上記では、ゴム板Mとしであるが、よ
シ硬いものでもよく、しかも、貼シ付は状態は、九とえ
ば、グリッパ支持枠QI19の全面に貼シ付けるもので
もよい。さらに、半導電性フィルムαηは、上記以外の
組成のものでもよく、また、圧力検出素子04の配列パ
ターンも上記実施例以外のものでもよい。さらに、上記
では、6種類の分力?すべて測定するものとし念が、そ
れが5種以下の場合もある。また、上記実施例では、先
端グリップ部(9)側を箱形の凹状とし、グリップアー
ム(3)側を凸状としたが、第7図のように、凹凸の関
係を逆にしてもよい。
〔発明の効果〕
以上説明し友ように、この発明によれば、開閉するグリ
ップアーふと、その先端の先端グリップ部とを、複数の
対向面を介して嵌合させるとともに、各対向面間に、複
数の向きの力を個別に検出する分力検出回路に接続され
る圧力検出素子を配列することによシ、高感度の検出能
力をもちながら、安価でメンテナンス性に優れ、とくに
、複数の分力を検出できる汎用型のロボット用力七ンサ
を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はロボットのつかみ機Sを示し、第1図(a)は
その正面図、第1図C)はその底面図、第2図は力セン
サ部分を示し、第2図(a)はその縦断正面図、第2図
(力は第2図(a)のI善−IA線に沿う横断平面図、
第2図(C)は第2図(a)の1c−1c線に沿う縦断
面図、第3図は対象物からかかる力の種類を示し、第3
図(a)はその正面図、第3図(イ)はその右側面図、
第3図(0)はその底面図、第3図(d)は電極配置を
示し、第4図および第5図はその分力検出回路図、第6
図は6種類の分力と各電極における抵抗の増減との関係
を表わした検出比較図、第7図は力センサの嵌合構造に
ついての他の一例を示した縦断正面図である。 (3) 、 (4)は、グリップアーム、(6) 、 
(7)は、力センサ、(9)、(11は、先端グリップ
部、041は、圧力検出素子である。 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 大 岩 増 雄 αυ 第1図 (a) (b) (J(J(J(J u(J(J(J ベ セ 手続補正書(自発) 11i”fn 59s、 913゜ 特許庁長官殿 1、事件の表示 1.¥願昭59−075224号2、
発明の名称 ロボット用カセンサ 3、補正をする者 代表者片111仁八部 5、補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄。 6、補正の内容 A、明細書: (1)第8頁第15行目; 「半円はカマポコ形状にすれば、」とあるのを「絶縁板
−にの銅箔面を半田付けすればその断面は、カマポコ形
状となり広い圧力範囲において接触する面積が変化する
ため」と訂正します。 以 上

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)開閉されるグリップアームと、その先端の先端グ
    リップ部とを、複数の対向面を介して嵌合させるととも
    に、各対向面間に、複数の向きの力を個別に検出する分
    力検出回路に接続される圧力検出素子を配列してなるロ
    ボット用力センサ。
JP59075224A 1984-04-13 1984-04-13 ロボツト用力センサ Pending JPS60221287A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59075224A JPS60221287A (ja) 1984-04-13 1984-04-13 ロボツト用力センサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59075224A JPS60221287A (ja) 1984-04-13 1984-04-13 ロボツト用力センサ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60221287A true JPS60221287A (ja) 1985-11-05

Family

ID=13570038

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59075224A Pending JPS60221287A (ja) 1984-04-13 1984-04-13 ロボツト用力センサ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60221287A (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007108079A (ja) * 2005-10-14 2007-04-26 Tokai Univ 6軸力センサ
JP2011043442A (ja) * 2009-08-21 2011-03-03 Hiroshima Univ 変動荷重検出パッド及びこれを用いた変動荷重検出板、分布型変動荷重検出板、並びに変動荷重検出装置
JP2013180366A (ja) * 2012-03-01 2013-09-12 Seiko Epson Corp ロボット及びロボットハンド
WO2016170848A1 (ja) * 2015-04-20 2016-10-27 学校法人早稲田大学 多軸力センサ
CN109153128A (zh) * 2016-04-20 2019-01-04 Agr 国际公司 容器夹持器组件
WO2020066061A1 (ja) * 2018-09-26 2020-04-02 オムロン株式会社 エンドエフェクタおよびエンドエフェクタ装置
CN113874178A (zh) * 2019-06-06 2021-12-31 欧姆龙株式会社 触觉传感器、机械手以及机器人
WO2023054155A1 (ja) * 2021-10-01 2023-04-06 Thk株式会社 接触センサモジュール

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007108079A (ja) * 2005-10-14 2007-04-26 Tokai Univ 6軸力センサ
JP2011043442A (ja) * 2009-08-21 2011-03-03 Hiroshima Univ 変動荷重検出パッド及びこれを用いた変動荷重検出板、分布型変動荷重検出板、並びに変動荷重検出装置
JP2013180366A (ja) * 2012-03-01 2013-09-12 Seiko Epson Corp ロボット及びロボットハンド
WO2016170848A1 (ja) * 2015-04-20 2016-10-27 学校法人早稲田大学 多軸力センサ
CN109153128B (zh) * 2016-04-20 2022-04-12 Agr 国际公司 容器夹持器组件
CN109153128A (zh) * 2016-04-20 2019-01-04 Agr 国际公司 容器夹持器组件
EP3445540A4 (en) * 2016-04-20 2019-12-18 AGR International, Inc. CONTAINER SEIZURE ASSEMBLY
WO2020066061A1 (ja) * 2018-09-26 2020-04-02 オムロン株式会社 エンドエフェクタおよびエンドエフェクタ装置
CN112638598A (zh) * 2018-09-26 2021-04-09 欧姆龙株式会社 末端执行器及末端执行器装置
JP2020049581A (ja) * 2018-09-26 2020-04-02 オムロン株式会社 エンドエフェクタおよびエンドエフェクタ装置
US12017345B2 (en) 2018-09-26 2024-06-25 Omron Corporation End effector and end effector device
CN113874178A (zh) * 2019-06-06 2021-12-31 欧姆龙株式会社 触觉传感器、机械手以及机器人
EP3981559A4 (en) * 2019-06-06 2023-01-11 OMRON Corporation TOUCH SENSOR, ROBOT HAND AND ROBOT
WO2023054155A1 (ja) * 2021-10-01 2023-04-06 Thk株式会社 接触センサモジュール
JP2023053735A (ja) * 2021-10-01 2023-04-13 Thk株式会社 接触センサモジュール

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104596681B (zh) 传感器设备、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置及部件加工装置
US5311779A (en) Pressure-sensitive sensor
JPH0448597B2 (ja)
JPS60221287A (ja) ロボツト用力センサ
US20220214232A1 (en) Capacitance sensor
KR900018684A (ko) 압전형 가속도 센서 및 압전형 가속도 센서 장치
JPS6034293A (ja) 皮膚感覚センサ
JP2008128940A (ja) 触覚センサ
JP2004330370A (ja) ロボットハンド用触覚センサ
JP2006337315A (ja) 触覚センサ及び触覚センサの感度調節方法
JP6384575B2 (ja) センサーデバイス、力検出装置、およびロボット
JPH076860B2 (ja) 触覚センサ
JPS6037401B2 (ja) 面圧力の重心位置検出方法
JP6183158B2 (ja) センサーデバイス、力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置および部品加工装置
JPH0454422A (ja) 触覚センサ
JPS63217241A (ja) 接触覚センサ
JPS57198839A (en) Pressure sensor
JP2004245717A (ja) 触圧センサ、把持ロボット
JPH0663881B2 (ja) 圧覚センサ
JPS6132601B2 (ja)
JPH04204026A (ja) 触覚センサ
JPS6034294A (ja) 皮膚感覚センサ
JP2984547B2 (ja) ロードセル及びロードセルの製作方法
JPH01312437A (ja) 巻付け型圧覚センサ
JPH01312433A (ja) 圧覚センサ