KR900018684A - 압전형 가속도 센서 및 압전형 가속도 센서 장치 - Google Patents

압전형 가속도 센서 및 압전형 가속도 센서 장치 Download PDF

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Abstract

내용 없음

Description

압전형 가속도 센서 및 압전형 가속도 센서장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예의 센서의 실예를 나타낸 사시도. 제2도 내지 제7도는 도면 모두 막형상 압전체의 평면형태의 실예를 나타낸 평면도.

Claims (11)

  1. 피측정물에 강하게 부착되는 대좌와, 이 대좌의 감지축에 수직인 측정면에 고착된 검지체와, 이 검지체 위에 고착되어 관성질량부로서 작용하는 강체로서 이루어진 하중체를 구비하여 구성되고, 검지체는 평면형상이 상기 측정면과 평행인 면에 있어서 감지축을 대칭의 중심으로 하는 점대칭인 막형상 압전체와, 이 막형상 압전체의 양면에 각각 접합된 금속 전극체로서 이루어짐과 동시에 그 금속전극체의 적어도 한쪽이 유전성 접착제에 의하여 막형상 압전체 위에 접착되어서 이루어지며 하중체는 그의 검지체에 접하는 면의 평면형상이 감지축을 대칭의 중심으로 하는 점대칭이며, 또한 감지축을 지나서 상기 측정면에 수직인 무수의 평면에서 절단하였을 때 모든 단면에 대하여 감지축을 대칭축으로 하는 선대칭인 것을 특징으로 하는 압전형 가속도 센서.
  2. 제1항에 있어서, 압전형 가속도 센서에서 검지체가 대좌 및 하중체에 각각 접착제로서 고착되고, 그 접착제층 및 상기 유전접착제로서 이루어진 유전 접착층의 두께를 tA, 탄성율을 EA로 하고, 막형상 압전체의 두께를 tP, 탄성율을Ep로 하여, 아래식의 관계를 만족하는 것을 특징으로 하는 압전형 가속도 센서.
    (EA/tA)/(EP/tp)≥0.1
  3. 피측정물에 강하게 부착되는 대좌와, 이 대좌의 감지축에 수직인 측정면에 고착된 감지부와, 이 감지부 위에 고착되고 관성 질량부로서 작용하는 강체로서 이루어진 하중체를 가지며, 상기 감지부는 막형상 압전체와, 이 막형상 압전체의 양면에 고착된 판형상의 강체로서 이루어진 2매의 지지판으로서 이루어지고, 지지판을 이루는 재료의 열전도율이 0.5Wm-1K-1이하로 되고 또한 막형상 압전체의 평면형상이 상기 측정면에 평행인 면에서 감지축을 대칭의 중심으로 하는 점대칭이며, 상기 하중체는 그의 감지부에 접하는 면의 평면형상이 감지축을 대칭의 중심으로 하는 점대칭이며, 또한 감지축을 지나 상기 측정면에 수직인 무수의 평면에서 단면하였을 때 모든 단면에 대하여 감지축을 대칭축으로 하는 선대칭인 것을 특징으로 하는 압전형 가속도 센서.
  4. 제3항에 있어서, 압전형 가속도 센서에서 막형상 압전체와 지지판, 지지판과 대좌 및 하중체가 접착제에 의하여 고착되고, 접착제층의 두께와 지지판의 두께의 합을 tA, 접착제층과 지지판의 복합등가(復合等價)탄성율을 EA로 하고, 막형상 압전체 두께를 tp, 탄성율을 Ep로 하여 아래식의 관계를 만족하는 것을 특징으로 하는 압전형 가속도 센서.
    (EA/tA)/(EP/tp)≥0.1
  5. 제1항 또는 제3항에 있어서, 압전형 가속도센서에서 각각 산출량이 다른 분할 하중체를 감지축방향으로 적층하여 하중체로 한 것을 특징으로 하는 압전형 가속도 센서.
  6. 제1항 또는 제3항에 있어서, 압전형 가속도 센서에서 막형상 압전체가 2매 이상의 적층물인 것을 특징으로 하는 압전형 가속도 센서.
  7. 피측정물에 강하게 부착되는 대좌와, 이 대좌의 측정면에 고착되어 양면에 전극을 구비한 막형상 압전체와, 상기 막형상 압전체위에 고착되고, 관성 질량부로서 작용하는 강체로서 이루어진 하중체를 구비하여서 이루어지고, 상기 막형상 압전체의 적어도 편면측의 전극을 복수의 전극으로 분할하고, 이들 복수의 분할한 전극 중 일부의 전극에만 하중이 걸리도록 상기 분할한 전극내 일부 또는 분할되지 않은 전극측의 일부에 하중체를 고착한 것을 특징으로 하는 압전형 가속도 센서.
  8. 피측정물에 강하게 부착되는 대좌와, 이 대좌의 측정면에 고착되고, 양면에 전극을 구비한 막형상 압전체와, 상기 막형상 압전체 위에 고착되어서 관성질량부로서 작용하는 강체로서 이루어진 하중체를 구비하여서 이루어지며, 상기 막형상 압전체의 표면측의 전극과 이면측의 전극을 각각 복수의 전극으로 분할하고, 막형상 압전체의 표면측의 복수의 전극중, 1부의 전극에만 하중체를 고착하여 하중체를 고착한 전극과, 하중체를 고착하고 있지 않은 전극과, 막형상 입전체의 이면측의 전극을 전기적으로 접속하여 이루어진 것을 특징으로 하는 압전형 가속도센서.
  9. 제1항 또는 제3항에 있어서, 압전형 가속도 센서에서, 막형상 압전체로부터의 전기적 출력을 처리하는 처리회로기판을 상기 대좌의 측정면의 반대측에 부착하고, 이것을 중공 팩케이지내에 수납하고, 센서를 그 대좌의 주변부에 있어서만 중공 팩케이지에 띄운 상태로 고정한 것을 특징으로 하는 압전형 가속도 센서장치.
  10. 제9항에 있어서, 압전형 가속도센서 장치에서, 센서를 열응력을 완화하는 버퍼재를 거쳐서 중공 팩케이지에 띄운 상태로 고정한 것을 특징으로 하는 압전형 가속도 센서장치.
  11. 제9항에 있어서, 압전형 가속도 센서 장치에서, 버퍼재로서 인장 탄성율이 107내지 105pa의 접착제를 사용한 것을 특징으로 하는 압전형 가속도 센서장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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