KR900018684A - 압전형 가속도 센서 및 압전형 가속도 센서 장치 - Google Patents
압전형 가속도 센서 및 압전형 가속도 센서 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR900018684A KR900018684A KR1019900006216A KR900006216A KR900018684A KR 900018684 A KR900018684 A KR 900018684A KR 1019900006216 A KR1019900006216 A KR 1019900006216A KR 900006216 A KR900006216 A KR 900006216A KR 900018684 A KR900018684 A KR 900018684A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- piezoelectric
- acceleration sensor
- film
- fixed
- piezoelectric acceleration
- Prior art date
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 title claims 21
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 8
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims 5
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 claims 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/09—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/09—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
- G01P15/0907—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up of the compression mode type
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S310/00—Electrical generator or motor structure
- Y10S310/80—Piezoelectric polymers, e.g. PVDF
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예의 센서의 실예를 나타낸 사시도. 제2도 내지 제7도는 도면 모두 막형상 압전체의 평면형태의 실예를 나타낸 평면도.
Claims (11)
- 피측정물에 강하게 부착되는 대좌와, 이 대좌의 감지축에 수직인 측정면에 고착된 검지체와, 이 검지체 위에 고착되어 관성질량부로서 작용하는 강체로서 이루어진 하중체를 구비하여 구성되고, 검지체는 평면형상이 상기 측정면과 평행인 면에 있어서 감지축을 대칭의 중심으로 하는 점대칭인 막형상 압전체와, 이 막형상 압전체의 양면에 각각 접합된 금속 전극체로서 이루어짐과 동시에 그 금속전극체의 적어도 한쪽이 유전성 접착제에 의하여 막형상 압전체 위에 접착되어서 이루어지며 하중체는 그의 검지체에 접하는 면의 평면형상이 감지축을 대칭의 중심으로 하는 점대칭이며, 또한 감지축을 지나서 상기 측정면에 수직인 무수의 평면에서 절단하였을 때 모든 단면에 대하여 감지축을 대칭축으로 하는 선대칭인 것을 특징으로 하는 압전형 가속도 센서.
- 제1항에 있어서, 압전형 가속도 센서에서 검지체가 대좌 및 하중체에 각각 접착제로서 고착되고, 그 접착제층 및 상기 유전접착제로서 이루어진 유전 접착층의 두께를 tA, 탄성율을 EA로 하고, 막형상 압전체의 두께를 tP, 탄성율을Ep로 하여, 아래식의 관계를 만족하는 것을 특징으로 하는 압전형 가속도 센서.(EA/tA)/(EP/tp)≥0.1
- 피측정물에 강하게 부착되는 대좌와, 이 대좌의 감지축에 수직인 측정면에 고착된 감지부와, 이 감지부 위에 고착되고 관성 질량부로서 작용하는 강체로서 이루어진 하중체를 가지며, 상기 감지부는 막형상 압전체와, 이 막형상 압전체의 양면에 고착된 판형상의 강체로서 이루어진 2매의 지지판으로서 이루어지고, 지지판을 이루는 재료의 열전도율이 0.5Wm-1K-1이하로 되고 또한 막형상 압전체의 평면형상이 상기 측정면에 평행인 면에서 감지축을 대칭의 중심으로 하는 점대칭이며, 상기 하중체는 그의 감지부에 접하는 면의 평면형상이 감지축을 대칭의 중심으로 하는 점대칭이며, 또한 감지축을 지나 상기 측정면에 수직인 무수의 평면에서 단면하였을 때 모든 단면에 대하여 감지축을 대칭축으로 하는 선대칭인 것을 특징으로 하는 압전형 가속도 센서.
- 제3항에 있어서, 압전형 가속도 센서에서 막형상 압전체와 지지판, 지지판과 대좌 및 하중체가 접착제에 의하여 고착되고, 접착제층의 두께와 지지판의 두께의 합을 tA, 접착제층과 지지판의 복합등가(復合等價)탄성율을 EA로 하고, 막형상 압전체 두께를 tp, 탄성율을 Ep로 하여 아래식의 관계를 만족하는 것을 특징으로 하는 압전형 가속도 센서.(EA/tA)/(EP/tp)≥0.1
- 제1항 또는 제3항에 있어서, 압전형 가속도센서에서 각각 산출량이 다른 분할 하중체를 감지축방향으로 적층하여 하중체로 한 것을 특징으로 하는 압전형 가속도 센서.
- 제1항 또는 제3항에 있어서, 압전형 가속도 센서에서 막형상 압전체가 2매 이상의 적층물인 것을 특징으로 하는 압전형 가속도 센서.
- 피측정물에 강하게 부착되는 대좌와, 이 대좌의 측정면에 고착되어 양면에 전극을 구비한 막형상 압전체와, 상기 막형상 압전체위에 고착되고, 관성 질량부로서 작용하는 강체로서 이루어진 하중체를 구비하여서 이루어지고, 상기 막형상 압전체의 적어도 편면측의 전극을 복수의 전극으로 분할하고, 이들 복수의 분할한 전극 중 일부의 전극에만 하중이 걸리도록 상기 분할한 전극내 일부 또는 분할되지 않은 전극측의 일부에 하중체를 고착한 것을 특징으로 하는 압전형 가속도 센서.
- 피측정물에 강하게 부착되는 대좌와, 이 대좌의 측정면에 고착되고, 양면에 전극을 구비한 막형상 압전체와, 상기 막형상 압전체 위에 고착되어서 관성질량부로서 작용하는 강체로서 이루어진 하중체를 구비하여서 이루어지며, 상기 막형상 압전체의 표면측의 전극과 이면측의 전극을 각각 복수의 전극으로 분할하고, 막형상 압전체의 표면측의 복수의 전극중, 1부의 전극에만 하중체를 고착하여 하중체를 고착한 전극과, 하중체를 고착하고 있지 않은 전극과, 막형상 입전체의 이면측의 전극을 전기적으로 접속하여 이루어진 것을 특징으로 하는 압전형 가속도센서.
- 제1항 또는 제3항에 있어서, 압전형 가속도 센서에서, 막형상 압전체로부터의 전기적 출력을 처리하는 처리회로기판을 상기 대좌의 측정면의 반대측에 부착하고, 이것을 중공 팩케이지내에 수납하고, 센서를 그 대좌의 주변부에 있어서만 중공 팩케이지에 띄운 상태로 고정한 것을 특징으로 하는 압전형 가속도 센서장치.
- 제9항에 있어서, 압전형 가속도센서 장치에서, 센서를 열응력을 완화하는 버퍼재를 거쳐서 중공 팩케이지에 띄운 상태로 고정한 것을 특징으로 하는 압전형 가속도 센서장치.
- 제9항에 있어서, 압전형 가속도 센서 장치에서, 버퍼재로서 인장 탄성율이 107내지 105pa의 접착제를 사용한 것을 특징으로 하는 압전형 가속도 센서장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (10)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1113255A JP2732662B2 (ja) | 1989-05-02 | 1989-05-02 | 圧電型加速度センサ |
JP?1-113255 | 1989-05-02 | ||
JP?1-153617 | 1989-06-16 | ||
JP15361789A JP2688252B2 (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | 圧電型加速度センサ |
JP27311189A JPH03135774A (ja) | 1989-10-20 | 1989-10-20 | 圧電型加速度センサ装置 |
JP?1-273111 | 1989-10-20 | ||
JP31827789A JPH03179268A (ja) | 1989-12-07 | 1989-12-07 | 圧電型加速度センサ |
JP?1-318277 | 1989-12-07 | ||
JP5835390A JPH03259750A (ja) | 1990-03-09 | 1990-03-09 | 圧電型加速度センサ |
JP?2-58353 | 1990-03-09 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR900018684A true KR900018684A (ko) | 1990-12-22 |
KR940006950B1 KR940006950B1 (ko) | 1994-07-30 |
Family
ID=27523444
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019900006216A KR940006950B1 (ko) | 1989-05-02 | 1990-05-01 | 압전형 가속도센서 및 압전형 가속도센서장치 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5128581A (ko) |
EP (1) | EP0399680B1 (ko) |
KR (1) | KR940006950B1 (ko) |
CA (1) | CA2015812A1 (ko) |
DE (1) | DE69021772T2 (ko) |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5235472A (en) * | 1991-10-18 | 1993-08-10 | Seagate Technology, Inc. | Apparatus for sensing operating shock on a disk drive |
DE69226519T2 (de) * | 1991-12-23 | 1999-02-04 | Elf Atochem North America, Inc., Philadelphia, Pa. | Beschleunigungsmesser mit mehreren schwingungstypen |
SG52374A1 (en) * | 1993-03-19 | 1998-09-28 | Murata Manufacturing Co | Acceleration sensor |
US5383473A (en) * | 1993-05-10 | 1995-01-24 | Pacesetter, Inc. | Rate-responsive implantable stimulation device having a miniature hybrid-mountable accelerometer-based sensor and method of fabrication |
DE59406312D1 (de) * | 1993-10-15 | 1998-07-30 | Abb Research Ltd | Verbundwerkstoff |
JP3373032B2 (ja) * | 1994-03-15 | 2003-02-04 | 富士通株式会社 | 加速度センサ |
DE4439297A1 (de) * | 1994-11-07 | 1996-05-09 | Pi Ceramic Gmbh | Piezoelektrischer Sensor |
US5535626A (en) * | 1994-12-21 | 1996-07-16 | Breed Technologies, Inc. | Sensor having direct-mounted sensing element |
US6043588A (en) * | 1995-07-18 | 2000-03-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric sensor and acceleration sensor |
US5811910A (en) * | 1997-01-30 | 1998-09-22 | Cameron; Graham P. | Mechanical shock sensor |
JPH1151960A (ja) * | 1997-08-06 | 1999-02-26 | Murata Mfg Co Ltd | 加速度センサ |
JPH1194554A (ja) * | 1997-09-17 | 1999-04-09 | Fujitsu Ltd | 音叉型圧電振動ジャイロ |
TW425478B (en) * | 1997-09-26 | 2001-03-11 | Hokuriku Elect Ind | Acceleration sensor and 3-axis acceleration sensor |
US6336365B1 (en) * | 1999-08-24 | 2002-01-08 | Personal Electronic Devices, Inc. | Low-cost accelerometer |
US5983722A (en) * | 1997-11-12 | 1999-11-16 | K.K. Holding Ag | Piezobloc accelerometer |
US7019437B2 (en) * | 2003-09-04 | 2006-03-28 | Swe-Kai Chen | High-efficiency piezoelectric single-phase uni-polar ultrasonic actuators with a notched PZT back disc |
JP2005106529A (ja) * | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Hosiden Corp | 圧電型振動センサ |
US7443082B2 (en) * | 2006-03-03 | 2008-10-28 | Basf Corporation | Piezoelectric polymer composite article and system |
DE102008062129A1 (de) * | 2008-12-16 | 2010-06-17 | Tesa Se | Selbstklebriges Basispolymer für Elektrolumineszenzmassen |
JP4962536B2 (ja) * | 2009-07-01 | 2012-06-27 | 株式会社村田製作所 | 電子部品 |
CN109509830A (zh) * | 2018-10-09 | 2019-03-22 | 佛山市卓膜科技有限公司 | 一种压电传感器 |
US11320453B2 (en) | 2019-12-30 | 2022-05-03 | Texas Instruments Incorporated | Aging compensation of a ferroelectric piezoelectric shock sensor |
USD1008059S1 (en) * | 2022-03-30 | 2023-12-19 | Kistler Holding Ag | Acceleration sensor |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB668406A (en) * | 1949-07-01 | 1952-03-19 | Vickers Electrical Co Ltd | Improvements in accelerometers responsive to mechanical movements |
GB731378A (en) * | 1952-08-15 | 1955-06-08 | Gen Electric Co Ltd | Improvements in or relating to piezoelectric accelerometers and to a method of manufacturing the same |
US2714672A (en) * | 1952-08-30 | 1955-08-02 | Wright | Accelerometer |
GB836194A (en) * | 1956-02-24 | 1960-06-01 | English Electric Co Ltd | Improvements in and relating to piezoelectric accelerometers |
US3349629A (en) * | 1964-09-08 | 1967-10-31 | Cons Electrodynamics Corp | Frequency damped transucer |
CH447679A (de) * | 1965-11-29 | 1967-11-30 | Kistler Instrumente Ag | Beschleunigungs- und Schwingungsmesswandler |
US3453457A (en) * | 1967-04-03 | 1969-07-01 | Electra Scient Corp | Wide band accelerometer |
AT307087B (de) * | 1967-10-10 | 1973-05-10 | Vibro Meter Ag | Meßwertwandler, insbesondere piezoelektrischer Geber für die Beschleunigungsmessung |
DE1967130C2 (de) * | 1968-01-25 | 1982-04-01 | Pioneer Electronic Corp., Tokyo | Mechanisch-elektrisch bzw. elektrisch-mechanischer Wandler |
AT293065B (de) * | 1968-11-06 | 1971-09-27 | List Hans | Piezoelektrischer Beschleunigungsmeßwandler |
JPS5123439B2 (ko) * | 1971-11-05 | 1976-07-16 | ||
US3735161A (en) * | 1971-12-23 | 1973-05-22 | Bell & Howell Co | Piezoelectric transducer |
US3911388A (en) * | 1973-09-21 | 1975-10-07 | Houston Products And Services | Accelerometer |
GB1601547A (en) * | 1977-05-30 | 1981-10-28 | Yokogawa Electric Works Ltd | Force detector |
FR2460485A1 (fr) * | 1979-06-29 | 1981-01-23 | Thomson Csf | Capteur d'acceleration piezo-electrique a element transducteur en materiau polymere et systeme de securite pour centrifugeuse comportant un tel capteur |
US4332157A (en) * | 1980-08-29 | 1982-06-01 | Trustees Of The University Of Pennsylvania | Pyroelectric anemometer |
US4512431A (en) * | 1983-08-29 | 1985-04-23 | Pennwalt Corporation | Weight sensing apparatus employing polymeric piezoelectric film |
FR2592491B1 (fr) * | 1985-12-31 | 1988-02-12 | Onera (Off Nat Aerospatiale) | Accelerometre triaxial electrostatique avec double liaison electrique a la masse d'epreuve |
US4816713A (en) * | 1987-10-09 | 1989-03-28 | Change Jr Nicholas D | Piezoelectric sensor with FET amplified output |
US4924131A (en) * | 1987-10-14 | 1990-05-08 | Fujikura Ltd. | Piezo-electric acceleration sensor |
EP0316498B1 (de) * | 1987-11-09 | 1992-03-04 | Vibro-Meter Sa | Accelerometer |
EP0355289A1 (en) * | 1988-07-01 | 1990-02-28 | ATOCHEM NORTH AMERICA, INC. (a Pennsylvania corp.) | Accelerometer |
JPH0280966A (ja) * | 1988-09-19 | 1990-03-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 加速度センサ |
IT1223933B (it) * | 1988-11-23 | 1990-09-29 | Marelli Autronica | Trasduttore di accelerazione ad effetto capacitivo |
US4916129A (en) * | 1989-01-19 | 1990-04-10 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Combination β-blocking/angiotensin II blocking antihypertensives |
-
1990
- 1990-05-01 KR KR1019900006216A patent/KR940006950B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1990-05-01 CA CA002015812A patent/CA2015812A1/en not_active Abandoned
- 1990-05-01 US US07/517,092 patent/US5128581A/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-05-02 DE DE69021772T patent/DE69021772T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-05-02 EP EP90304780A patent/EP0399680B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5128581A (en) | 1992-07-07 |
EP0399680A3 (en) | 1992-11-25 |
KR940006950B1 (ko) | 1994-07-30 |
EP0399680B1 (en) | 1995-08-23 |
CA2015812A1 (en) | 1990-11-02 |
DE69021772T2 (de) | 1996-03-28 |
EP0399680A2 (en) | 1990-11-28 |
DE69021772D1 (de) | 1995-09-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR900018684A (ko) | 압전형 가속도 센서 및 압전형 가속도 센서 장치 | |
KR20060012292A (ko) | 커패시터 기반 힘 센서 | |
EP0984251A3 (en) | Load cell with bossed sensor plate for an electrical weighing scale | |
JP2006226858A (ja) | 変動荷重センサ及びこれを用いた触覚センサ | |
JPS6085342A (ja) | 力測定装置 | |
KR960705195A (ko) | 일체구성의 박형중량센서(thin load cell having unitary structure) | |
WO2007057943A1 (ja) | 起歪体、静電容量式力センサー及び静電容量式加速度センサー | |
JPH0252256A (ja) | 加速度計 | |
US3311761A (en) | Transducer mounting | |
JPS60221287A (ja) | ロボツト用力センサ | |
JP4230241B2 (ja) | 触圧センサ、把持ロボット | |
KR890010545A (ko) | 후막저항기를 이용한 압력변환기 | |
CN211373892U (zh) | 压电传感器模组和电子设备 | |
JP3925645B2 (ja) | ロードセル | |
JPS61184433A (ja) | ロ−ドセル | |
JPS596372B2 (ja) | ロ−ドセル | |
JPH09280982A (ja) | 3次元用荷重センサ | |
JPH0231812B2 (ko) | ||
JPS54133176A (en) | Load detector of electronic measuring instruments | |
JP2636015B2 (ja) | 加速度センサ | |
JPH03210404A (ja) | 形状センサ | |
SU658399A1 (ru) | Преобразователь | |
JPH0566149A (ja) | 圧電型振動センサ | |
FI115599B (fi) | Elektreettianturi | |
PRABHAKARAN et al. | Conductive gage for crack length measurement(Patent Application) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
G160 | Decision to publish patent application | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 19990714 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |