JPH01312437A - 巻付け型圧覚センサ - Google Patents
巻付け型圧覚センサInfo
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- JPH01312437A JPH01312437A JP14379588A JP14379588A JPH01312437A JP H01312437 A JPH01312437 A JP H01312437A JP 14379588 A JP14379588 A JP 14379588A JP 14379588 A JP14379588 A JP 14379588A JP H01312437 A JPH01312437 A JP H01312437A
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 12
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Landscapes
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、巻付は型圧覚センサに関し、詳しくは複数
の指部を有するロボットハンドの指部に装着してこれに
よりロボットハンドに触覚を具えして垂直方向に加わる
力の分布を検出する分布型圧覚センサとして、検出素子
に導電性を有するゴムまたはプラスチックを用いたもの
が提案されている。第6図はその1例で、互いに直角方
向をなす細い導電性ゴム条1,2を2層にして組合わせ
たものである。この圧覚センサのゴム条配列面に対して
垂直方向の力が加われば導電性ゴム条1゜2の接触部分
の面積が増加し抵抗が変化する。
の指部を有するロボットハンドの指部に装着してこれに
よりロボットハンドに触覚を具えして垂直方向に加わる
力の分布を検出する分布型圧覚センサとして、検出素子
に導電性を有するゴムまたはプラスチックを用いたもの
が提案されている。第6図はその1例で、互いに直角方
向をなす細い導電性ゴム条1,2を2層にして組合わせ
たものである。この圧覚センサのゴム条配列面に対して
垂直方向の力が加われば導電性ゴム条1゜2の接触部分
の面積が増加し抵抗が変化する。
従って第7図に示したように電圧端子3に、例えば5v
の電圧を1000Ωの抵抗4を介して印加しておき、出
力点5の電圧変化を測定することにより、加えられた力
の大きさを知ることができる。
の電圧を1000Ωの抵抗4を介して印加しておき、出
力点5の電圧変化を測定することにより、加えられた力
の大きさを知ることができる。
ところが、このような導電性ゴムを用いた分布型圧覚セ
ンサでは、加えられた力に比例して接触部分の面積が変
化するとは限らないため、接触部分の抵抗値変化が力に
比例せずセンサ出力が非線型になること、および電圧端
子3、グランド端子34、出力端子5をそれぞれのゴム
条に接続しなければならないため、力の分布を高密度に
検出しよて変位させ、ホール素子6の近くの磁束密度の
変化をホール素子6で検出することにより加えられた力
の大きさを知るものである。
ンサでは、加えられた力に比例して接触部分の面積が変
化するとは限らないため、接触部分の抵抗値変化が力に
比例せずセンサ出力が非線型になること、および電圧端
子3、グランド端子34、出力端子5をそれぞれのゴム
条に接続しなければならないため、力の分布を高密度に
検出しよて変位させ、ホール素子6の近くの磁束密度の
変化をホール素子6で検出することにより加えられた力
の大きさを知るものである。
しかし、このような分布型圧覚センサでは、人間型の複
数歯を有するロボットハンドにその指の形状を変更する
ことなく、巻きつけて装着することが困難である。
数歯を有するロボットハンドにその指の形状を変更する
ことなく、巻きつけて装着することが困難である。
(発明が解決しようとする問題点〕
上述したように、第6図および第7図によって示した形
態の分布型圧覚センサではセンサ出力が力に比例しない
欠点があり、第8図に示した形態のものは、ロボットハ
ンドの人間型の指部に巻回した状態で適用するには向い
ていない。
態の分布型圧覚センサではセンサ出力が力に比例しない
欠点があり、第8図に示した形態のものは、ロボットハ
ンドの人間型の指部に巻回した状態で適用するには向い
ていない。
この発明は、上述した従来の問題点に着目し、その解決
を図るべく本発明者が提案した分布型圧覚センサに基づ
いて(特願昭6l−3(11181号参照)、人間型の
複数の指部を有するハンド等の円筒形若しくはそれに類
似した形状の指部に沿って〔問題点を解決するための手
段〕 かかる目的を達成するために、本発明は、外周部の少な
くとも一部を円弧面となし、ロボットハンドの指部に嵌
着可能な環状をなすフレームと、フレームの円弧面に沿
って装着され、格子状の切込み溝によりその上面が複数
の方形型要素に分割されたシート状の弾性体と、弾性体
の個々の方形型要素の上面に接合され、半導体ストレン
ゲージを有する単結晶シリコン板と、単結晶シリコン板
に電気的に接続され、複数の単結晶シリコン板を被包す
るごとくフレームに巻回したフレキシブルプリント基板
とを具え、単結晶シリコン板を介して指部に加1えられ
る荷重を半導体ストレンゲージの電気抵抗値の変化によ
って検出するようにしたことを特徴とするものである。
を図るべく本発明者が提案した分布型圧覚センサに基づ
いて(特願昭6l−3(11181号参照)、人間型の
複数の指部を有するハンド等の円筒形若しくはそれに類
似した形状の指部に沿って〔問題点を解決するための手
段〕 かかる目的を達成するために、本発明は、外周部の少な
くとも一部を円弧面となし、ロボットハンドの指部に嵌
着可能な環状をなすフレームと、フレームの円弧面に沿
って装着され、格子状の切込み溝によりその上面が複数
の方形型要素に分割されたシート状の弾性体と、弾性体
の個々の方形型要素の上面に接合され、半導体ストレン
ゲージを有する単結晶シリコン板と、単結晶シリコン板
に電気的に接続され、複数の単結晶シリコン板を被包す
るごとくフレームに巻回したフレキシブルプリント基板
とを具え、単結晶シリコン板を介して指部に加1えられ
る荷重を半導体ストレンゲージの電気抵抗値の変化によ
って検出するようにしたことを特徴とするものである。
本発明によれば、ロボットハンドの指部の腹に相当する
フレーム部分の表面に、弾性体シートを介して単結晶シ
リコン板が保持され、さらに単結晶シリコン板と電気的
接続を有するフレキシブルにしたことによってセンサを
装着する指部の形状に合わせてセンサフレームを設ける
だけで、円筒形若しくはそれに類似した形状を有するロ
ボットハンドの指部に沿って取りつけることができて、
人間型の多数指を有するロボットハンドの作業性向上に
貢献することができる。
フレーム部分の表面に、弾性体シートを介して単結晶シ
リコン板が保持され、さらに単結晶シリコン板と電気的
接続を有するフレキシブルにしたことによってセンサを
装着する指部の形状に合わせてセンサフレームを設ける
だけで、円筒形若しくはそれに類似した形状を有するロ
ボットハンドの指部に沿って取りつけることができて、
人間型の多数指を有するロボットハンドの作業性向上に
貢献することができる。
以下に図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第1図は本発明に通用する圧覚センサの基本的構成の概
要を示し、本例は本出願人が特願昭61−301181
号公報に開示の分布型圧覚センサとして提案したもので
ある。ここで、11は固定基板、12は固定基板ll上
に配設された比較的小さいヤング率を有する弾性体であ
り、弾性体12には格子状に切込み溝12Aが穿設され
ている。13は弾性体12の上面に取付けられた単結晶
シリコン板であり、その表面には不図示の半導体ストレ
ンゲージが形成され、これらによって複数の検出素子用
が構成される。なお、15は荷重印加部であり、荷重印
加部15に力が加えられると単結晶シリコン板13が弾
性体12とともに変形し、単結晶シリコン板13上に形
成された半導体ストレンゲージの抵抗値が変化するので
、単結晶シリコン板13とはんだ電極16により電気的
に接続されているフレキシブルプリント基板17を介し
て上記抵抗値の変化を取出すことにより、単結晶シリコ
ン板13に対して垂直に加えられた力の大きさを検出す
ることができる。
要を示し、本例は本出願人が特願昭61−301181
号公報に開示の分布型圧覚センサとして提案したもので
ある。ここで、11は固定基板、12は固定基板ll上
に配設された比較的小さいヤング率を有する弾性体であ
り、弾性体12には格子状に切込み溝12Aが穿設され
ている。13は弾性体12の上面に取付けられた単結晶
シリコン板であり、その表面には不図示の半導体ストレ
ンゲージが形成され、これらによって複数の検出素子用
が構成される。なお、15は荷重印加部であり、荷重印
加部15に力が加えられると単結晶シリコン板13が弾
性体12とともに変形し、単結晶シリコン板13上に形
成された半導体ストレンゲージの抵抗値が変化するので
、単結晶シリコン板13とはんだ電極16により電気的
に接続されているフレキシブルプリント基板17を介し
て上記抵抗値の変化を取出すことにより、単結晶シリコ
ン板13に対して垂直に加えられた力の大きさを検出す
ることができる。
第2図は本発明の一実施例を示す。ここで、21はロボ
ットハンドの指部であり、本例ではその断面が円形であ
るが、要はその指部21の腹に相当する部分が円形に近
い形状でさえあれば、特にその断面形状にはこだわらな
い。22は指部21に嵌合可能なように、ある種の弾性
を有する材料例えば金属またはプラスチックなどによる
フレームであり、その一部に切欠き23を設けることに
より指部21にフレーム22が嵌め易いようにしてあっ
て、このフレーム22によって巻付は型の圧覚センサ圓
自体が保持される。
ットハンドの指部であり、本例ではその断面が円形であ
るが、要はその指部21の腹に相当する部分が円形に近
い形状でさえあれば、特にその断面形状にはこだわらな
い。22は指部21に嵌合可能なように、ある種の弾性
を有する材料例えば金属またはプラスチックなどによる
フレームであり、その一部に切欠き23を設けることに
より指部21にフレーム22が嵌め易いようにしてあっ
て、このフレーム22によって巻付は型の圧覚センサ圓
自体が保持される。
■は格子状の切込み溝25Aによって個々の方形型の要
素(荷重を担持するもの)25Bにその上面が分離され
ているシート状の弾性体であり、フレーム22よりは低
い弾性率を有するプラスチックま切込ませることによっ
て、弾性体Uをフレーム22の表面になじみ易くさせ、
更に他の要素に大きい影響を及ぼすことなく1つの要素
を独立的に変形させ、以て隣接する要素に干渉出力が発
生するのを防止する。
素(荷重を担持するもの)25Bにその上面が分離され
ているシート状の弾性体であり、フレーム22よりは低
い弾性率を有するプラスチックま切込ませることによっ
て、弾性体Uをフレーム22の表面になじみ易くさせ、
更に他の要素に大きい影響を及ぼすことなく1つの要素
を独立的に変形させ、以て隣接する要素に干渉出力が発
生するのを防止する。
26は弾性体Uの各要素25Bの上面に接着された単結
晶シリコン板であり、単結晶シリコン板26の表面には
不図示の半導体ストレンゲージや電極などが化成されて
いて、個々の荷重印加部27を介して単結晶シリコン板
26に荷重Pがかけられると、その撓みが半導体ストレ
ンゲージの抵抗値の変化として検知される゛ことにより
、指の触覚に対応した圧覚を圧覚センサ圓によって検出
することができる。
晶シリコン板であり、単結晶シリコン板26の表面には
不図示の半導体ストレンゲージや電極などが化成されて
いて、個々の荷重印加部27を介して単結晶シリコン板
26に荷重Pがかけられると、その撓みが半導体ストレ
ンゲージの抵抗値の変化として検知される゛ことにより
、指の触覚に対応した圧覚を圧覚センサ圓によって検出
することができる。
更に28は上述した単結晶シリコン板26の表面を被包
するようにして設けられたフレキシブルプリント基板で
あり、フレキシブルプリント基板28には不図示の配線
パターンが形成されていて、単結晶シリコン板26とは
、はんだ電極部29を介して電気的に接続される。また
、このフレキシブルブリプルプリント基板28から取出
された信号配線31等がこの部分から第3図に示すよう
に指部21に沿ってハンド側に導設されていることによ
って、上述した抵抗値の変化をIC回路30を介し、信
号配線31により外部にとり出すことができる。
するようにして設けられたフレキシブルプリント基板で
あり、フレキシブルプリント基板28には不図示の配線
パターンが形成されていて、単結晶シリコン板26とは
、はんだ電極部29を介して電気的に接続される。また
、このフレキシブルブリプルプリント基板28から取出
された信号配線31等がこの部分から第3図に示すよう
に指部21に沿ってハンド側に導設されていることによ
って、上述した抵抗値の変化をIC回路30を介し、信
号配線31により外部にとり出すことができる。
次に、第4A図および第4B図によって上述したような
巻付は型圧覚センサの組立手順について説明する。
巻付は型圧覚センサの組立手順について説明する。
まず、第4A図に示すように内面形状が指部21になじ
む形を有するフレーム22のその指部の腹に相当する部
分に格子状の切込み溝25Aを入れた弾性体Uを接着に
より取りつける6次に、弾性体粒の、切込み溝25Aに
より分離された各要素25Bの表面に、不図示の半導体
ストレンゲージや電極等を形成した単結晶シリコン板2
6を接着する。
む形を有するフレーム22のその指部の腹に相当する部
分に格子状の切込み溝25Aを入れた弾性体Uを接着に
より取りつける6次に、弾性体粒の、切込み溝25Aに
より分離された各要素25Bの表面に、不図示の半導体
ストレンゲージや電極等を形成した単結晶シリコン板2
6を接着する。
さらに第4B図に示すように、単結晶シリコン板26に
付設した突起状の荷重印加部2フをフレキシブルプリン
ト基板28に形成した孔部32に挿入し、単結晶シリコ
ン板26上の不図示の電極とフレキシブルプリント基板
28上の不図示の電極とが対向位置で接触するように位
置決めし、はんだ電極部29にレーザ光33を照射して
はんだ付けし、双方間に電気的接続が得られるようにす
る。
付設した突起状の荷重印加部2フをフレキシブルプリン
ト基板28に形成した孔部32に挿入し、単結晶シリコ
ン板26上の不図示の電極とフレキシブルプリント基板
28上の不図示の電極とが対向位置で接触するように位
置決めし、はんだ電極部29にレーザ光33を照射して
はんだ付けし、双方間に電気的接続が得られるようにす
る。
しかる後、フレキシブルプリント基板28をフレーム2
2に沿って接着し、指部21の背に対応するフレーム2
2の部分にIC回路30と信号配線31をはんだ付けす
ることにより、第2図に示したような巻付は型圧覚セン
サを完成させることができる。
2に沿って接着し、指部21の背に対応するフレーム2
2の部分にIC回路30と信号配線31をはんだ付けす
ることにより、第2図に示したような巻付は型圧覚セン
サを完成させることができる。
第5八図〜第5C図は第2の組立手順を示す、まず第5
A図に示すように、不図示の半導体ストレンゲージや電
極等が形成された単結晶シリコン板26を、その表面に
付設されている荷重印加部27がフレキシブルプリント
基板28に形成した孔部32に嵌入されるようにして位
置決めし、jL!i!i晶シリコン板26の側からレー
ザ光33を照射してはんだ電極部29をはんだ付けする
。
A図に示すように、不図示の半導体ストレンゲージや電
極等が形成された単結晶シリコン板26を、その表面に
付設されている荷重印加部27がフレキシブルプリント
基板28に形成した孔部32に嵌入されるようにして位
置決めし、jL!i!i晶シリコン板26の側からレー
ザ光33を照射してはんだ電極部29をはんだ付けする
。
一方、第5B図に示すように、フレーム22の指部21
の腹に相当する部分に、格子状の切込み溝25Aを入れ
た弾性体粒を接着により取付ける0次に第5C図に示す
ようにして、第5A図に示した単結晶シリコン板26と
フレキシブルプリント基板28とを一体としたものを、
フレーム22に弾性体■を接着−体化したものにそれぞ
れ位置合わせしてその間を接着する。そして最後にフレ
キシブルプリント基板28をフレーム22に沿って接着
し、そのフレーム22の指部21の背に相当する部分に
IC回路30および信号配線31を第2図に示すように
してはんだ付けし、巻付は型圧覚センサを完成させるこ
とができる。
の腹に相当する部分に、格子状の切込み溝25Aを入れ
た弾性体粒を接着により取付ける0次に第5C図に示す
ようにして、第5A図に示した単結晶シリコン板26と
フレキシブルプリント基板28とを一体としたものを、
フレーム22に弾性体■を接着−体化したものにそれぞ
れ位置合わせしてその間を接着する。そして最後にフレ
キシブルプリント基板28をフレーム22に沿って接着
し、そのフレーム22の指部21の背に相当する部分に
IC回路30および信号配線31を第2図に示すように
してはんだ付けし、巻付は型圧覚センサを完成させるこ
とができる。
以上説明したように、本発明によれば、指部に嵌め込ま
れるフレームの指部の腹に相当する部分の外周部に、上
面に格子状の切込み溝を入れたシート状の弾性体を取付
けし、その分離された弾性体の個々の表面に単結晶シリ
コンを接着し、これらを被包するようにしてフレキシブ
ルプリント基板をフレーム上に巻回し、フレームの上述
した指部の背に対応する部分にIC回路や信号配線を取
りつける構成としたので、指部の腹に相当する部分に力
が加わった時に単結晶シリコンが弾性体シートとともに
変形するのを、単結晶シリコン表面に形成した半導体ス
トレンゲージの抵抗値の変化として検出することができ
、また、円筒形あるいはそれに類似した形状を有するロ
ボットハンドの指部に容易に嵌着させることができるの
で、ハンドの指部に加わる力の分布を精度よく検出する
ことが可能となった。
れるフレームの指部の腹に相当する部分の外周部に、上
面に格子状の切込み溝を入れたシート状の弾性体を取付
けし、その分離された弾性体の個々の表面に単結晶シリ
コンを接着し、これらを被包するようにしてフレキシブ
ルプリント基板をフレーム上に巻回し、フレームの上述
した指部の背に対応する部分にIC回路や信号配線を取
りつける構成としたので、指部の腹に相当する部分に力
が加わった時に単結晶シリコンが弾性体シートとともに
変形するのを、単結晶シリコン表面に形成した半導体ス
トレンゲージの抵抗値の変化として検出することができ
、また、円筒形あるいはそれに類似した形状を有するロ
ボットハンドの指部に容易に嵌着させることができるの
で、ハンドの指部に加わる力の分布を精度よく検出する
ことが可能となった。
第1図は本発明を適用する圧覚センサの基本的形態を示
す断面図、 第2図は本発明の一実施例を示す断面図、第3図は第2
図を矢印方向から見て示す上面図、 第4A図および第4B図は本発明の組立順序を示す説明
図、 第5A図、第5B図および第5C図は本発明の別の組立
順序を示す説明図、 第6図および第7図は従来の圧覚センサの基本的構成の
一例を示す斜視図およびその回路構成図、 第8図は従来の他の圧覚センサの例を模式的に示す構成
図である。 21・・・指部、 22・・・フレーム、 23・・・切欠き、 ■・・・圧覚センサ、 25・・・弾性体、 25A・・・切込み溝、 25B・・・要素、 2ト・・単結晶シリコン板、 27・・・荷重印加部、 28・・・フレキシブルプリント基板、29・・・はん
だ電極部、 30・・・IC回路、 31・・・信号配線。 特許出願人 工tJL術院長飯塚幸ユ 本光明を適用するf−を也ンすの基杏的形悲(示すす印
面図第1図 本把明り一文プ乞例を爪す吋面凹 第2図 第2図を大印方同旬゛う活で示す上面図第3図 ネ尤明f)ホ旦文i順庁を示す夜剋明凶第4A図 ネ彪明/)#旦立順序をホす吉佑ヨ月図第4B図 本む明の別の希旦文順房を示す鋭朗凹 第5A図 ネ光ロ月f)FIJの朱at用頁序を示すか咄p月図第
5B図 22フし−ム 木把明の別Lf)紙切順序を示す審佑明図第5C図 イ芝来の圧覚ゼンザ/l甚本的樗収の 一イ列を示す糾キも図 第6図 第6凶の圧tゼンサl:b゛■する回路〃楕成図第7図 f来りイ也の圧寛七ンすのイ列を ネ灸べ6勺10示オ構θく1図 第8図
す断面図、 第2図は本発明の一実施例を示す断面図、第3図は第2
図を矢印方向から見て示す上面図、 第4A図および第4B図は本発明の組立順序を示す説明
図、 第5A図、第5B図および第5C図は本発明の別の組立
順序を示す説明図、 第6図および第7図は従来の圧覚センサの基本的構成の
一例を示す斜視図およびその回路構成図、 第8図は従来の他の圧覚センサの例を模式的に示す構成
図である。 21・・・指部、 22・・・フレーム、 23・・・切欠き、 ■・・・圧覚センサ、 25・・・弾性体、 25A・・・切込み溝、 25B・・・要素、 2ト・・単結晶シリコン板、 27・・・荷重印加部、 28・・・フレキシブルプリント基板、29・・・はん
だ電極部、 30・・・IC回路、 31・・・信号配線。 特許出願人 工tJL術院長飯塚幸ユ 本光明を適用するf−を也ンすの基杏的形悲(示すす印
面図第1図 本把明り一文プ乞例を爪す吋面凹 第2図 第2図を大印方同旬゛う活で示す上面図第3図 ネ尤明f)ホ旦文i順庁を示す夜剋明凶第4A図 ネ彪明/)#旦立順序をホす吉佑ヨ月図第4B図 本む明の別の希旦文順房を示す鋭朗凹 第5A図 ネ光ロ月f)FIJの朱at用頁序を示すか咄p月図第
5B図 22フし−ム 木把明の別Lf)紙切順序を示す審佑明図第5C図 イ芝来の圧覚ゼンザ/l甚本的樗収の 一イ列を示す糾キも図 第6図 第6凶の圧tゼンサl:b゛■する回路〃楕成図第7図 f来りイ也の圧寛七ンすのイ列を ネ灸べ6勺10示オ構θく1図 第8図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 外周部の少なくとも一部を円弧面となし、ロボットハ
ンドの指部に嵌着可能な環状をなすフレームと、 該フレームの前記円弧面に沿って装着され、格子状の切
込み溝によりその上面が複数の方形型要素に分割された
シート状の弾性体と、 該弾性体の個々の前記方形型要素の上面に接合され、半
導体ストレンゲージを有する単結晶シリコン板と、 該単結晶シリコン板に電気的に接続され、複数の前記単
結晶シリコン板を被包するごとく前記フレームに巻回し
たフレキシブルプリント基板とを具え、 前記単結晶シリコン板を介して前記指部に加えられる荷
重を前記半導体ストレンゲージの電気抵抗値の変化によ
って検出するようにしたことを特徴とする巻付け型圧覚
センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63143795A JPH0660857B2 (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | 巻付け型圧覚センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63143795A JPH0660857B2 (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | 巻付け型圧覚センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01312437A true JPH01312437A (ja) | 1989-12-18 |
JPH0660857B2 JPH0660857B2 (ja) | 1994-08-10 |
Family
ID=15347162
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63143795A Expired - Lifetime JPH0660857B2 (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | 巻付け型圧覚センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0660857B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03252539A (ja) * | 1990-03-02 | 1991-11-11 | Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd | 分布型触覚センサ |
JP4519332B2 (ja) * | 2001-01-18 | 2010-08-04 | イビデン株式会社 | ロボット |
CN114193488A (zh) * | 2021-11-26 | 2022-03-18 | 杭州电子科技大学 | 一种柔性自适应的触觉传感器、夹持指和机械爪 |
-
1988
- 1988-06-13 JP JP63143795A patent/JPH0660857B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03252539A (ja) * | 1990-03-02 | 1991-11-11 | Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd | 分布型触覚センサ |
JP4519332B2 (ja) * | 2001-01-18 | 2010-08-04 | イビデン株式会社 | ロボット |
CN114193488A (zh) * | 2021-11-26 | 2022-03-18 | 杭州电子科技大学 | 一种柔性自适应的触觉传感器、夹持指和机械爪 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0660857B2 (ja) | 1994-08-10 |
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Legal Events
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---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |